CN104380580A - 马达、定位装置、输送装置 - Google Patents

Abstract

提供部件个数少且以成本低的方法赋予了防水性能的马达、被该马达定位驱动的定位装置以及输送装置。马达(A)具备：圆柱状的马达主体(1)，在马达主体(1)形成有沿轴向贯通的中心孔(11)；以及壳体(2)，其收纳马达主体(1)。壳体(2)由以下部分构成：圆筒部(21)，其覆盖马达主体(1)的外周面；旋转输出部(22)，其设置在圆筒部(21)的轴向上侧并固定于马达主体(1)的旋转体(51、41)；以及固定部(23)，其设置在圆筒部(21)的轴向下侧并固定于马达主体(1)的固定体(52、42)。只在圆筒部(21)的轴向的一个部位利用密封机构(10)对壳体(2)进行密封。

Description

马达、定位装置、输送装置

技术领域

该发明涉及具有防水性和防尘性的马达、利用该马达进行定位驱动的定位装置、以及输送装置。

背景技术

一直以来，具有高转矩和高分辨率的直接驱动马达能够直接驱动分度工作台，由于具有高速动作性并且没有齿隙，因此适合在需要高精度的定位的用途中使用。

例如，将具有直接驱动马达的分度工作台使用于半导体晶片的研磨工序、清洗工序的输送的情况下，有时在半导体晶片上会附着水等液体，附着的液体落下并积存在直接驱动马达的上表面。并且，若液体侵入到直接驱动马达内，则会成为产生马达内部的腐蚀或短路等电气故障的原因。由此，谋求具有防止液体浸入的性能(防水性)和防止尘埃侵入的性能(防尘性)的直接驱动马达。

作为具有防水性的直接驱动马达的现有例，可以列举出专利文献1中记载的防水马达。

如图25所示，该防水马达中，马达主体被输出轴(输出旋转力的旋转体)160和具有圆筒部120的马达壳体100覆盖。输出轴160为大致T字状，并具有轴部161、圆板状伞部162、周缘壁163和定位圆筒部164。

马达壳体100是将壳体底座123和覆盖马达主体的外周面的圆筒部120形成为一体而成的。在马达壳体100的圆筒部120的输出轴160侧的开口端隔着O形环113嵌入有密封壳体124。密封壳体124的内周面和输出轴160的定位圆筒部164之间用油封191密封。密封壳体124的上侧和输出轴160的圆板状伞部162之间用防尘密封件192密封。

马达壳体100的壳体底座123的中央开口部123a和输出轴160的轴部161之间用油封193密封。并且，在马达壳体100的圆筒部120形成有侧面开口部120a，并经由连接隔套(connector spacer)129安装有防水连接器131。连接隔套129和侧面开口部120a之间用衬垫(packing)128密封。

在壳体底座123的底部形成有开口部123b，开口部123b被盖板125覆盖。由此，在壳体底座123的下部形成配线空间125a。

构成马达主体的马达转子141和旋转变压器转子151(resolver rotor)在轴向上被固定，且固定于滚动轴承106的外圈。旋转变压器转子151固定在输出轴160的定位圆筒部164内。马达铁心142固定于马达壳体100的圆筒部210。旋转变压器定子152和壳体底座123的内侧部分123c都固定于滚动轴承6的内圈。即，该防水马达的马达主体是内转子型。

在比定位圆筒部164靠中心侧的部分，输出轴160借助螺栓170固定于旋转变压器转子151。并且，一端与旋转变压器定子152连接的配线的另一端，与防水连接器131连接。该配线配置于旋转变压器定子152的贯通孔152a、壳体底座123的贯通孔123d、配线空间125a、和连接隔套129的内部空间129a中。

在专利文献2中记载了下述内容：通过构成为利用组装了油封和防尘密封件的防水罩覆盖马达整体而完全密闭的结构，从而将不具有防水性的马达作为防水马达来使用。在专利文献2中记载的防水马达的例子中，也与专利文献1的防水马达同样地，具有大致T字状的输出轴，壳体底座的中央开口部和输出轴的轴部之间用油封密闭，具有由输出轴的外缘部处的油封和防尘密封件形成的双重密封构造。并且，壳体底座和防水罩的下端被O形环密封。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-250504号公报

专利文献2：日本特开2011-250586号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1和2所记载的防水马达中，大致T字状的输出轴的形状复杂，并且配置有多个油封和O形环，因此成本高。

而且，在广泛使用的防水马达中，关于圆柱状的马达的上下表面的防水，可以通过在安装时使用O形环等来简单地应对。并且，由于马达的中心孔被用作供空气管和电气配线穿过，因此通常在安装时使中心孔整体为防水构造。由此，实际上只考虑马达的外周面的防水性即可，可以说专利文献1和2中记载的防水马达的防水性能是规格浪费，因此在成本削减方面具有改善的余地。

该发明的课题在于提供部件个数少且以成本低的方法赋予了防水性能的马达、被该马达定位驱动的定位装置以及输送装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，该发明的一个方式的马达的特征在于，其具备：圆柱状的马达主体，在所述马达主体形成有沿轴向贯通的中心孔；以及壳体，其收纳所述马达主体，所述壳体由以下部分构成：圆筒部，其覆盖所述马达主体的外周面；旋转输出部，其设置在该圆筒部的轴向上侧并固定于所述马达主体的旋转体；以及固定部，其设置在所述圆筒部的轴向下侧并固定于所述马达主体的固定体，只在所述圆筒部的轴向的一个部位利用密封机构(油封、V形密封件、迷宫等)对所述壳体进行密封。

该方式的马达中，由于只在所述圆筒部的轴向的一个部位利用密封机构对所述壳体进行密封，所以与专利文献1和2中记载的防水马达相比，部件个数少，且以成本低的方法赋予了防水性能。并且，由于通常的密封机构不仅具有防水性能，还具有防尘性能，所以该方式的马达也具有防尘性(防止尘埃侵入的性能)。

并且，在该方式的马达中可以是，所述密封机构配置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封。

并且，在该方式的马达中优选为，所述壳体具有与所述马达主体的所述中心孔对应的贯通孔，并且所述马达具备一端固定于所述马达主体的配线电缆，所述配线电缆通过所述马达主体的轴向端面的所述中心孔的附近部和所述壳体的所述贯通孔而使另一端配置在外部(马达的外部)。

并且，在该方式的马达中可以是，所述圆筒部与所述固定部和所述旋转输出部中的至少一方形成为一体。

在该情况下，包括以下结构：(a)所述圆筒部与所述固定部形成为一体；(b)所述圆筒部与所述旋转输出部形成为一体；以及(c)所述圆筒部与所述固定部和所述旋转输出部两者形成为一体。

并且，在结构(a)的情况下，密封机构配置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封。在结构(b)的情况下，密封机构配置在所述旋转输出部和所述固定部之间，对所述旋转输出部和所述固定部之间进行密封。并且，在结构(c)的情况下，所述圆筒部在轴向上被分成两部分，各分割体分别与所述固定部和所述旋转输出部形成为一体，所述密封机构配置在分割体之间，对分割体之间进行密封。

另外，相比于结构(c)，优选结构(a)和结构(b)。在为结构(c)的情况下，由于密封机构配置在所述圆筒部的轴向中间位置，所以优选密封机构配置在所述圆筒部的端部的结构(a)和结构(b)。在所述结构(a)和所述结构(b)的比较中，优选为所述结构(a)。也就是说，通过将所述圆筒部与所述固定部形成为一体，与所述结构(b)和(c)的情况相比，能够减小所述旋转输出部的惯性。

并且，在该方式的马达中优选为，所述固定部具有与基座连接的连接面，所述旋转输出部具有与安装旋转体连接的连接面，在所述固定部的连接面和所述旋转输出部的连接面中的至少任意一方形成有配置密封件(O形环、封闭用复合物、粘结剂、敛缝件)的槽。

而且，在该方式的马达中也可以是，所述密封机构具有密封件，所述密封件设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封，所述旋转输出部由轻量件构成，且与所述密封件接触的密封接触面的硬度比该密封接触面以外的部分的硬度高。

根据该马达，在旋转输出部的密封接触面确保了需要的硬度的基础上，能够实现旋转输出部的轻量化和低惯性化。

并且，在该方式的马达中优选为，所述旋转输出部的至少所述密封接触面被实施了硬度提高处理。

而且，在该方式的马达中可以是，所述硬度提高处理是表面处理。

并且，在该方式的马达中优选为，所述轻量件是铝件。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述硬度提高处理是热处理，所述轻量件是超硬杜拉铝。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述密封接触面的表面粗糙度为Ra0.05～1.60，所述密封件的内径与安装该密封件的密封件安装部的外径的配合为5.0～25.00mm的过盈配合。

而且，在该方式的马达中也可以是，在所述马达主体内置有旋转变压器，所述旋转变压器在内侧具有旋转变压器定子，在该旋转变压器定子的外周侧具有旋转变压器转子，所述旋转输出部和所述旋转变压器转子成为一体。

并且，在该方式的马达中也可以是，在所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面或者在所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面设置有密封件用的槽，所述密封件用的槽被设置在比所述旋转变压器转子靠外周侧的位置，从所述旋转输出部的旋转轴线中心起设置有开口部，所述开口部开口至所述槽的内侧的到达所述旋转变压器转子附近的部分。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述密封机构具有密封件，所述密封件设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封，所述旋转输出部由轻量件构成，且与所述密封件接触的密封接触面的硬度比该密封接触面以外的部分的硬度高，所述旋转输出部的至少所述密封接触面被实施了硬度提高处理，所述硬度提高处理是表面处理并且所述轻量件是铝件，所述密封接触面的表面粗糙度为Ra0.05～1.60，所述密封件的内径与安装该密封件的密封件安装部的外径的配合为5.0～25.00mm的过盈配合，并且，在所述马达主体内置有旋转变压器，所述旋转变压器在内侧具有旋转变压器定子，在该旋转变压器定子的外周侧具有旋转变压器转子，所述旋转输出部和所述旋转变压器转子成为一体，在所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面或者在所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面设置有密封件用的槽，所述密封件用的槽被设置在比所述旋转变压器转子靠外周侧的位置，在所述旋转输出部从所述旋转输出部的旋转轴线中心起设置有开口部，所述开口部开口至所述密封件用的槽的内侧的到达所述旋转变压器转子附近的部分。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述密封机构设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，构成防止液体从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间而侵入到内部的液体侵入防止构件。

并且，在该方式的马达中优选为，所述液体侵入防止构件是油封。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述液体侵入防止构件是防尘密封件。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述液体侵入防止构件是低旋转阻力密封件。

并且，在该方式的马达中优选为，所述液体侵入防止构件还具有迷宫。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述液体侵入防止构件是迷宫。

而且，在该方式的马达中优选为，在所述旋转输出部的外缘形成有向所述圆筒部侧突出的周缘部，在所述圆筒部的轴向上端形成有外径不同的台阶，所述迷宫这样构成：在所述圆筒部的由台阶形成的小径部分的外周面和所述旋转输出部的所述周缘部的内周面之间设置规定的间隙，并且，在作为所述圆筒部的大径部分与小径部分的边界的台阶面、和所述旋转输出部的所述周缘部的下端面之间设置规定的间隙。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述圆筒部的小径部分的外径和所述旋转输出部的所述周缘部的内径以从所述圆筒部的轴向上侧朝向轴向下侧变大的方式相对于所述旋转输出部的旋转轴线倾斜。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述液体侵入防止构件在所述迷宫的附近具备多孔质部件。

并且，在该方式的马达中优选为，通过吹气清洗提高了马达内压。

并且，在该方式的马达中优选为，所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面和所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面之间被密闭。

并且，在该方式的马达中优选为，在所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面或所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面设置密封件用的槽。

而且，在该方式的马达中也可以是，所述密封机构设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，构成防止液体从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间侵入到内部的液体侵入防止构件，而且该马达具备故障防止构件，所述故障防止构件在所述液体侵入到内部时防止发生故障。

并且，在该方式的马达中优选为，所述故障防止构件是设置于在所述圆筒部的轴向下侧设置的所述固定部上的液体检测传感器或液体通过孔。

而且，在该方式的马达中优选为，所述固定部具有相对于所述圆筒部的轴向倾斜的倾斜部、和从该倾斜部的轴向最下侧部分水平地延伸的底面部，所述故障防止构件被设置在所述底面部上。

并且，在该方式的马达中优选为，轴承为一个。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述密封机构具有密封件，所述密封件配置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封，所述旋转输出部构成为封闭所述马达主体的所述中心孔。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述液体侵入防止构件构成防止异物从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间而侵入到内部的异物侵入防止构件。

也就是说，在该方式的马达中也可以是，所述密封机构设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，构成防止异物从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间而侵入到内部的异物侵入防止构件。

并且，在该方式的马达中优选为，所述异物侵入防止构件是油封。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述异物侵入防止构件是防尘密封件。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述异物侵入防止构件是低旋转阻力密封件。

并且，在该方式的马达中优选为，所述液体侵入防止构件还具有迷宫。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述异物侵入防止构件是迷宫。

而且，在该方式的马达中优选为，在所述旋转输出部的外缘形成有向所述圆筒部侧突出的周缘部，在所述圆筒部的轴向上端形成有外径不同的台阶，所述迷宫这样构成：在所述圆筒部的由台阶形成的小径部分的外周面和所述旋转输出部的所述周缘部的内周面之间设置规定的间隙，并且，在作为所述圆筒部的大径部分与小径部分的边界的台阶面、和所述旋转输出部的所述周缘部的下端面之间设置规定的间隙。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述圆筒部的小径部分的外径和所述旋转输出部的所述周缘部的内径以从所述圆筒部的轴向上侧朝向轴向下侧变大的方式相对于所述旋转输出部的旋转轴线倾斜。

并且，在该方式的马达中也可以是，所述异物侵入防止构件在所述迷宫的附近具备多孔质部件。

并且，在该方式的马达中优选为，通过吹气清洗提高了马达内压。

并且，在该方式的马达中优选为，所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面和所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面之间被密闭。

并且，在该方式的马达中优选为，在所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面或所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面设置密封件用的槽。

并且，在该方式的马达中优选为，所述马达主体是外转子型。

当马达主体为外转子型时，与为内转子型的情况相比，能够容易地进行配线电缆在马达主体内的布线，因此是优选的。

而且，本发明的另一方式的定位装置被前述的马达驱动。

并且，本发明的又一方式的输送装置将前述的马达作为驱动源。

发明效果

根据该发明，与专利文献1和2中记载的马达相比，能够提供部件个数少且以成本低的方法赋予了防水性能的马达、被该马达定位驱动的定位装置、以及输送装置。

附图说明

图1是本发明的马达的第1～第3、第5～第13以及第15～第22实施方式的俯视图。

图2是本发明的马达的第1实施方式的马达的剖视图(沿图1中的A-A线的剖视图)。

图3是本发明的马达的第1～第22实施方式的仰视图。其中，在图3中，没有图示第8实施方式、第11实施方式、第15实施方式和第18实施方式中的内压用气体通道。

图4是本发明的马达的第2实施方式的剖视图(沿图1中的A-A线的剖视图)。

图5是本发明的马达的第3实施方式的剖视图(沿图1中的A-A线的剖视图)。

图6是本发明的马达的第4实施方式的剖视图。

图7是本发明的马达的第5实施方式的剖视图。

图8是本发明的马达的第6实施方式的剖视图。

图9是本发明的马达的第7实施方式的剖视图。

图10是本发明的马达的第8实施方式的剖视图。

图11是本发明的马达的第9实施方式的剖视图。

图12是本发明的马达的第10实施方式的剖视图。

图13是本发明的马达的第11实施方式的剖视图。

图14是本发明的马达的第12实施方式的剖视图。

图15是本发明的马达的第13实施方式的剖视图。

图16是本发明的马达的第14实施方式的剖视图。

图17是本发明的马达的第15实施方式的剖视图。

图18是本发明的马达的第16实施方式的剖视图。

图19是本发明的马达的第17实施方式的剖视图。

图20是本发明的马达的第18实施方式的剖视图。

图21是本发明的马达的第19实施方式的剖视图。

图22是本发明的马达的第20实施方式的剖视图。

图23是本发明的马达的第21实施方式的剖视图。

图24是本发明的马达的第22实施方式的剖视图。

图25是示出专利文献1的防水马达的剖视图。

具体实施方式

在下文中，对该发明的实施方式进行说明，但该发明不限定于该实施方式。

[第1实施方式]

如图1～图3所示，该实施方式的马达A由圆柱状的马达主体1、壳体2和配线电缆31、32构成。马达A是直接驱动马达，用于对定位装置(未图示)进行定位驱动。

这里，马达主体1具有沿轴向贯通的中心孔11。马达主体1具有马达部4、旋转变压器(磁式旋转传感器)5和滚动轴承6，将马达部4配置在马达主体1的轴向下侧，将旋转变压器5配置在马达主体1的轴向上侧。马达部4是外转子型，并具有在内侧配置的马达定子(固定体)42、和在马达定子42的外周侧配置的马达转子(旋转体)41。并且，旋转变压器5具备在内侧配置的旋转变压器定子(固定体)52、和在旋转变压器定子52的外周侧配置的旋转变压器转子(旋转体)51。

马达定子42具有马达铁心42a和大致圆筒状的内侧部42b，马达铁心42a固定在内侧部42b的外周。并且，在马达铁心42a卷绕有线圈43。

另一方面，马达转子41形成为大致圆筒状并构成轭部。并且，在马达转子41的内周面设置有圆环状的永久磁铁41a。

而且，马达转子41和旋转变压器转子51固定于滚动轴承6的外圈。马达定子42的内侧部42b和旋转变压器定子52固定于滚动轴承6的内圈。马达转子41和旋转变压器转子51被螺栓B1固定在一起。马达定子42的内侧部42b和旋转变压器定子52被螺栓B2固定在一起。

马达主体1还具有：封闭马达部4的轴向下端面的马达部罩7；和封闭旋转变压器5的轴向上端面的旋转变压器罩8。马达部罩7具有内径比马达定子42的内侧部42b的外径稍大的中心孔71。马达定子42的内侧部42b的轴向下端部被插入在马达部罩7的中心孔71中。旋转变压器罩8具有直径与旋转变压器定子52的内径大致相同的中心孔81。

在马达定子42的内侧部42b形成有沿轴向延伸的贯通孔42c。在内侧部42b的轴向下端(与旋转变压器5相反的一侧的端部)的2个部位形成有切口部42d。在各切口部42d配置有配线电缆31、32的外皮的一端。配线电缆31的内部配线的一端通过马达定子42的贯通孔42c和旋转变压器定子52的贯通孔而与旋转变压器5的旋转位置检测部连接。在配线电缆31的另一端安装有连接器31a。

配线电缆32的内部配线的一端与卷绕于马达铁心42a的线圈43连接，在配线电缆32的另一端安装有连接器32a。在图1的A-A截面(图2)中配线电缆32的连接器无法看到。图3中省略了两配线电缆31、32的连接器。

在内侧部42b的轴向下端(与旋转变压器5相反的一侧的端部)的没有形成有切口部42d的6个部位形成有内螺纹42e。

旋转变压器转子51的外缘部51a被配置在旋转变压器罩8的外侧。在旋转变压器转子51的外缘部51a的马达转子41侧的端面形成有螺栓B1的贯插孔，在相反侧的端面形成有供螺栓B3螺合的内螺纹51b。

马达主体1的中心孔11由马达定子42和旋转变压器定子52的内周面(中心孔)、以及旋转变压器罩8的中心孔81构成。

壳体2由以下部分构成：圆筒部21，其覆盖马达主体1的外周面；旋转输出部22，其设置在圆筒部21的轴向上侧并固定于马达主体1的旋转体；以及固定部23，其设置在圆筒部21的轴向下侧并固定于马达主体1的固定体，其中，圆筒部21和固定部23形成为一体。

旋转输出部22是外径与圆筒部21的外径相同的圆板状部件，并具有直径与马达主体1的中心孔11大致相同的中心孔(贯通孔)22a。在旋转输出部22的外缘形成有向圆筒部21侧突出的薄的周缘部22b。在旋转输出部22形成有与旋转变压器转子51的内螺纹51b相对应的螺栓孔22c，在旋转输出部22的比螺栓孔22c靠内侧的位置形成有环状的槽22d。在旋转输出部22的外缘部形成有内螺纹22e。

在圆筒部21的轴向上端(旋转输出部22侧)的内缘形成有向旋转输出部22侧突出的薄的周缘部21a，在圆筒部21的轴向上端的外缘形成有台阶部21b，该台阶部21b与旋转输出部22的周缘部22b一起形成迷宫L。在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中配置有油封9。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。即，圆筒部21和旋转输出部22之间被由油封9和迷宫L构成的密封机构10密封。

固定部23是具有从圆筒部21的外径伸出的凸缘部23a的圆板状部件，在凸缘部23a形成有螺栓贯插孔23b。固定部23具有直径与马达主体1的中心孔11相同的中心孔(贯通孔)23c。在中心孔23c的2个部位形成有向径向外侧呈U字状凹陷的凹部23d。由于存在凹部23d，配线电缆31、32能够不弯曲地通过各凹部23d，并延伸到壳体2的外部。

在固定部23的与马达定子42的内螺纹42e相对应的位置形成有螺栓贯插孔23e。

旋转输出部22被螺栓B3固定在马达主体1的旋转变压器转子(旋转体)51。固定部23被螺栓B4固定在马达主体1的马达定子(固定体)42的内侧部42b。

由圆筒部21和固定部23形成为一体而成的部件(壳体底座)能够通过铝的切削加工或压铸法获得，旋转输出部22也能够同样地获得。对于旋转输出部22的供油封9的唇部滑动的面，需要进行防蚀铝加工等，提高硬度，减小表面粗糙度。

关于该马达A，例如如图2中用双点划线表示那样，能够将固定部23固定在具有中心孔61a的基座61上，并将具有中心孔62a的工作台(安装旋转体)62固定在旋转输出部22上来使用。将穿过螺栓贯插孔23b的螺栓B5与基座61的内螺纹螺合，来进行固定部23相对于基座61的固定。将穿过工作台62的螺栓贯插孔的螺栓B6与旋转输出部22的内螺纹22e螺合，来进行工作台62相对于旋转输出部22的固定。

这样一来，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

这时，通过在旋转输出部22的槽22d中配置作为密封件63的O形环，能够获得工作台62和马达A的轴向上侧之间的防水性。通过在基座61的上表面设置环状的槽61b，并在槽61b中配置作为密封件63的O形环，或者在设置好马达A的状态下，利用敛缝件(密封件)64将固定部23的凸缘部23a和基座61之间的角部密封等，能够获得工作台62和马达A的下侧之间的防水性。

该实施方式的马达A中，虽然壳体2的中心孔22a、23c与马达主体1的中心孔11连通，但不具有针对这些中心孔的密封机构。如前述那样，在通常的使用中，只考虑马达的外周面的防水性即可，这是没有问题的。并且由此，该实施方式的防水马达中，部件个数少，成本低。并且，由于部件个数少，因而组装、分解容易，生产性和维护性高。

并且，该实施方式马达A中，因滑动而消耗的部件只有安装在一个部位的油封9，因此，维护时的工时数和更换部件的成本低。

并且，该实施方式的马达A中，借助油封9和迷宫L，不仅具有防水性能，还具有防尘性能。

并且，该实施方式的马达A中，圆筒部21和固定部23形成为一体，因此，与圆筒部21和旋转输出部22形成为一体的情况相比，具有能够减小惯性的效果。

并且，通过在固定部23设置吹气清洗(air purging)用的孔，能够防止油封9的功能降低。也就是说，该实施方式的马达A还具有能够简单地设置吹气清洗机构的效果。

该实施方式的马达A能够通过以下方式获得：将由非防水马达(具有带飞防水连接器的配线电缆)构成的马达主体1放入到由固定部23和圆筒部21形成为一体而成的壳体底座，利用旋转输出部22盖住，使油封9的唇部与旋转输出部22接触，利用螺栓B3、B4将马达主体1和壳体2固定。

另外，壳体2也可以是圆筒部21与旋转输出部22形成为一体结构。

并且，也可以是油封9固定于旋转输出部22，油封9的唇部与圆筒部21接触。

并且，根据用途的不同，也可以不设置油封9而只设置迷宫L。

并且，密封机构10既可以使用像油封9那样只具有一个唇部的结构，也可以使用具有防尘唇和密封唇两者的结构。

[第2实施方式]

该实施方式的马达A除了图1的A-A截面为图4所示的形状这一点以外，其余与图2所示的第1实施方式相同。在图4中，有时对与图2所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在该实施方式的马达A中，与第1实施方式同样地，在旋转输出部22的外缘形成有向圆筒部21侧突出的薄的周缘部22b，但周缘部22b的端面为向外周侧扩径的锥面22f。与该锥面22f以规定间隙对置的锥面21d形成于圆筒部21的轴向一端(旋转输出部22侧)的外缘部。也就是说，圆筒部21和旋转输出部22之间只被油封9密封，从而构成密封机构10。虽然油封9的外周侧被包围，但不具有由迷宫构成的密封机构。

由此，根据该实施方式的马达A，在与第1实施方式的马达A相同的效果的基础上，还获得如下效果：在马达A旋转时，由旋转输出部22的周缘部22b、圆筒部21和油封9形成的空间K内的液体，借助离心力被从周缘部22b的锥面22f和圆筒部21的锥面21d之间的间隙排出。也即是说，该实施方式的马达A中，能够防止空间K内的液体浸入到马达主体1内的效果比第1实施方式的马达A高。

[第3实施方式]

该实施方式的马达A除了图1的A-A截面为图5所示的形状这一点以外，其余与图2所示的第1实施方式相同。在图5中，有时对与图2所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，该实施方式的马达A中，在旋转输出部22的外缘没有形成向圆筒部21侧突出的薄的周缘部22b。并且，在圆筒部21的轴向上端(旋转输出部22侧)的外缘部没有形成台阶部21b。也就是说，圆筒部21和旋转输出部22之间只被油封9密封而构成密封机构10，油封9的外周侧是敞开的。

由此，根据该实施方式的马达A，在与第1实施方式的马达A相同的效果基础上，还能够获得如下效果：由于在旋转输出部22的外缘没有形成薄的周缘部22b，从而旋转输出部22的形状变简单，因此能够降低成本。

另外，在第1～第3实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

[第4实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图6所示的形状这一点以外，其余与图2所示的第1实施方式相同。在图6中，有时对与图2所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图6所示的马达A中，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10具有密封件12，该密封件12设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，对圆筒部21和旋转输出部22之间进行密封，旋转输出部22由轻量件构成，且与密封件12接触的密封接触面22h的硬度比该密封接触面22h以外的部分的硬度高。

密封件12优选由油封构成，并配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。密封件12安装于圆筒部21，密封件12的唇部与旋转输出部22的密封接触面22h接触。

这里，通常旋转输出部22的密封接触面22h需要具有硬度，因此旋转输出部22的母材需要为钢材并实施了非电解镀镍。因此，旋转输出部整体为钢材，所以非常重。针对于此，在本实施方式的马达A中，旋转输出部22由使密封接触面22h的硬度比该密封接触面22h以外的部分的硬度高的轻量件构成。因此，在旋转输出部22的密封接触面22h确保了必要的硬度的基础上，能够实现旋转输出部22的轻量化和低惯性化。

并且，旋转输出部22至少是对密封接触面22h实施了硬度提高处理，该硬度提高处理是表面处理。并且，旋转输出部22的轻量件是铝件。在本实施方式的马达A中，旋转输出部22使用对密封接触面22h实施了硬性的表面处理的铝件，由此，在旋转输出部22的密封接触面22h确保了必要的硬度的基础上，能够实现旋转输出部22的轻量化和低惯性化。

并且，旋转输出部22使用热传导率高的铝件，由此散热性提高，从而能够提高马达A的额定输出。

这里，所谓“铝件”是主要由铝组成的材料，包括铝合金。并且，作为表面处理，优选阳极氧化处理。

并且，在该马达A中，前述的硬度提高处理可以是热处理，前述的轻量件可以是超硬杜拉铝。

并且，在马达A中，使旋转输出部22的密封接触面22h的表面粗糙度为Ra0.05～1.60，使密封件12的内径与安装该密封件12的密封件安装部(在圆筒部21形成的周缘部21a)的外径的配合为5.0～25.00mm的过盈配合。

并且，如在马达A的第1实施方式的说明中所述那样，马达主体1是外转子型，在马达主体1内置有旋转变压器5，该旋转变压器5在内侧具有旋转变压器定子52，在旋转变压器定子52的外周侧具有旋转变压器转子51。并且，在该实施方式的马达A中，将旋转输出部22和旋转变压器转子51形成为一体，利用螺栓B1经由螺栓用贯通孔22g将旋转输出部22和旋转变压器转子51形成为一体而得的部件安装到马达转子41，其中，螺栓用贯通孔22g是在旋转输出部22和旋转变压器转子51形成为一体的部分形成的。

这里，旋转变压器5是利用磁的传感器，因此，旋转变压器5的包括旋转变压器转子51的周边部件需要使用磁影响小的非磁性材料。因此，在过去，旋转变压器5的包括旋转变压器转子51的周边部件和由钢材构成的旋转输出部22无法形成为一体。在本实施方式的马达A中，由于旋转输出部22利用的是铝件或超硬杜拉铝这样的非磁性材料，因此，能够将旋转变压器5的旋转变压器转子51和旋转输出部22一体化。通过将旋转变压器5的旋转变压器转子51和旋转输出部22使用非磁性材料而形成为一体，从而热传导率增高，散热性提高，能够缓解由发热造成的马达A的额定输出的限制。

另外，将旋转变压器5的旋转变压器转子51和旋转输出部22形成为一体，将在旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面设置的密封件63用的槽22d设置在比旋转变压器转子51靠外周侧的位置，并且在旋转输出部22从旋转输出部22的旋转轴线中心起设置开口部22i，该开口部22i开口至密封件63用的槽22d的内侧的到达旋转变压器转子51附近的部分。

该开口部22i的直径比马达A的中心孔11的直径、即在图2所示的第1实施方式的马达A的旋转输出部22中形成的中心孔(贯通孔)22a的直径大。因此，与第1实施方式相比能够增加布线布管的自由度。并且，开口部22i从旋转输出部22的旋转轴线中心起开口至密封件63用的槽22d的内侧的到达旋转变压器转子51附近的部分，因此，能够经由直径大的开口部22i来容易地进行旋转变压器5的部件更换和调节。

另外，密封件63用的槽22d也可以不设置在旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面，而是设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面。由此，能够简化旋转输出部22的构造，并且能够提高布局的自由度。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第4实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

并且，马达主体1也可以是内周侧旋转的内转子型。

[第5实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图7所示的形状这一点以外，其余与图2所示的第1实施方式相同。在图7中，有时对与图2所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图7所示的马达A中，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，构成防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13。

根据该实施方式的马达A，防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13，只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的液体侵入防止构件(密封件)的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。

而且，液体侵入防止构件13由油封9构成，该油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。由此，圆筒部21和旋转输出部22之间被油封9密封。

另外，液体侵入防止构件13也可以不是油封9，而是防尘密封件、或在轴承密封部使用那样的低旋转阻力密封件。

在液体侵入防止构件13为油封9的情况下，为提高旋转部件22的密封接触面的硬度，旋转部件22所使用的材料被限定，或者需要对密封接触面进行表面处理。但是，作为液体侵入防止构件13，在使用防尘密封件或低旋转阻力密封件的情况下，能够自由地选择旋转输出部22和对旋转输出部22实施的表面处理。并且，作为液体侵入防止构件13，在使用防尘密封件或低旋转阻力密封件的情况下，能够成为旋转阻力小、效率高、节能的马达A。并且，能够提高马达A的输出，由于因摩擦产生的发热少，所以能够提高马达A的额定输出。

并且，在该实施方式的马达A中，通过吹气清洗提高了马达内压。具体来说，在壳体2的固定部23和马达部罩7设置有从固定部23的底面延伸至马达部罩7的贯通孔72的内压用气体通道23g。在该内压用气体通道23g的固定部23的外部连接有管82，从该管82向箭头X方向供给空气。并且，从管82向箭头X方向供给的空气通过内压用气体通道23g而从马达部罩7的贯通孔72进入到马达主体1内。由此，能够提高马达主体1内的内压。由此，即使在液体侵入防止构件13的部位，内压也会比外压高，能够进一步防止液体从外部侵入。

并且，在该实施方式的马达A中，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。由此，防止了液体侵入到马达主体1的中心孔11。

而且，在该实施方式的马达A中，为了将旋转输出部22的相对于工作台62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该实施方式的马达A中，马达主体1如前述那样为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第5实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

[第6实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图8所示的形状这一点以外，其余与图7所示的第5实施方式相同。在图8中，有时对与图7所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图8所示的马达A中，相对于图7所示的马达A，液体侵入防止构件13还具有迷宫L。具体来说，液体侵入防止构件13由油封9和迷宫L构成。

而且，油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。

并且，在圆筒部21的轴向上端形成有外径不同的台阶21c，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

在该实施方式的马达A中，借助于由油封9和迷宫L构成的液体侵入防止构件13，能够防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部。

另外，与第5实施方式的马达A同样地，根据用途的不同，也可以不是油封9，而是防尘密封件、或在轴承密封部使用那样的低旋转阻力密封件。

并且，在第6实施方式的马达A中，与第5实施方式的马达A同样地，液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的液体侵入防止构件的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。

并且，在第6实施方式的马达A中，也可以与第5实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗来提高马达内压。

并且，在第6实施方式的马达A中，与第5实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第6实施方式的马达A中，与第5实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该实施方式的马达A中，马达主体1与第5实施方式同样地为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第6实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

[第7实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图9所示的形状这一点以外，其余与第6实施方式相同。在图9中，有时对与图8所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图9所示的马达A中，液体侵入防止构件13不具有油封9而只由迷宫L构成。

这里，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

在该实施方式的马达A中，借助于由迷宫L构成的液体侵入防止构件13，能够防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部。

另外，为了实现更可靠的液体侵入防止，最好像第6实施方式那样将迷宫L与油封9组合，但根据用途的不同，有时只有迷宫L就足够了。由于没有使用油封9，所以削减了制造成本，而且，由于不需要油封9的更换，所以维护性优异。并且，液体侵入防止构件13为非接触式的，与使用油封9的情况不同，能够避免旋转输出部22的密封接触面的硬度和表面粗糙度的制约，并且能够减小旋转阻力，能够实现马达输出的提高。并且，由于没有因油封的摩擦产生的发热，所以能够提高马达A的额定输出。

在该第7实施方式的马达A中，与第5实施方式的马达A和第6实施方式的马达A同样地，液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位。

并且，在第7实施方式的马达A中，也可以与第5实施方式的马达A和第6实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗来提高马达内压。在第7实施方式的马达A中，由于液体侵入防止构件13只是迷宫L，所以吹气清洗对于液体侵入能够特别有效地发挥功能。

并且，在第7实施方式的马达A中，与第5实施方式的马达A和第6实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第7实施方式的马达A中，与第5实施方式的马达A和第6实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该第7实施方式的马达A中，马达主体1与第5实施方式的马达A和第6实施方式的马达A同样地为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第7实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

[第8实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图10所示的形状这一点以外，其余与图9所示的第7实施方式相同。在图10中，有时对与图9所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图10所示的马达A中，液体侵入防止构件13在迷宫L的附近具备多孔质部件14。

具体来说，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

并且，在圆筒部21的小径部分的外周形成有从该外周刻入而成的圆环状的凹槽，在该凹槽内配置有圆环状的多孔质部件14。多孔质部件14为圆环状，但在其组装上，是组合多个部件而构成的。

在该实施方式的马达A中，在迷宫L的附近具有多孔质部件14，由此，若进入到迷宫L的液体是少量的话，则能够通过毛细管现象进行吸收。

并且，在圆筒部61的小径部分设置有将马达主体1的内部和多孔质部件14连通起来的多孔质部件用气体通道21f。由此，在进行了吹气清洗时(在第8实施方式的马达A中，与第5实施方式至第7实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗而提高了马达内压时)，能够从多孔质部件14朝向旋转输出部22的周缘部22b吹出均匀的空气，防止液体从迷宫L侵入。

另外，吹气清洗如在第5实施方式的马达A中说明的那样，是通过将管82连接到在壳体2的固定部23和马达部罩7设置的内压用气体通道23g，并从该管82向箭头X方向供给空气来进行的。

在该第8实施方式的马达A中，液体侵入防止构件13也为非接触式，与使用油封9的情况不同，能够避免旋转输出部22的密封接触面的硬度和表面粗糙度的制约，并且能够减小旋转阻力，能够实现马达输出的提高。并且，由于没有因油封的摩擦产生的发热，所以能够提高马达A的额定输出。

在该第8实施方式的马达A中，也与第5实施方式至第7实施方式的马达A同样地，液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位。

并且，在第8实施方式的马达A中，与第5实施方式至第7实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第8实施方式的马达A中，与第5实施方式至第7实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该第8实施方式的马达A中，马达主体1与第5实施方式至第7实施方式的马达A同样地为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第8实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

另外，在第5至第8实施方式的马达A中，马达主体1也可以不是外转子型，而是内周侧旋转的内转子型。

[第9实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图11所示的形状这一点以外，其余与图7所示的第5实施方式相同。在图11中，有时对与图7所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图11所示的马达A中，与图7所示的马达A同样地，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，构成防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13。

根据该实施方式的马达A，与第5实施方式所示的马达A同样地，防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13，只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的液体侵入防止构件(密封件)的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。

并且，液体侵入防止构件13由油封9和迷宫L构成。

这里，油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。

并且，在圆筒部21的轴向上端形成有外径不同的台阶21c，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

并且，在该迷宫L中，圆筒部21的小径部分的外径和旋转输出部22的周缘部22b的内径以从圆筒部21的轴向上侧朝向轴向下侧变大的方式，相对于旋转输出部22的旋转轴线CL倾斜角度θ。

通过使迷宫L为这样的锥形形状，能够对侵入到迷宫L的液体作用马达旋转时的离心力，防止液体的侵入，并且能够将侵入的液体强制地从迷宫L排出。

并且，通过使迷宫L为这样的锥形形状，在组装马达A时，壳体2的圆筒部21和旋转输出部22的周缘部22b之间的嵌入容易进行，能够提高组装性和维护性。

迷宫L的前述的角度θ为1°以上20°以下，优选为5°以上15°以下。在角度θ小于1°的情况下，无法获得基于离心力的排水性的效果、以及提高组装性和维护性的效果，所以不优选。并且，在角度θ比20°大的情况下，作用于液体的重力的影响变小，排水性降低，并且迷宫L的距离难以确保，有可能无法防止液体和异物的侵入，这是不优选的。

另外，与第5实施方式的马达A同样地，根据用途的不同，也可以不使用油封9，而是使用防尘密封件、或在轴承密封部使用那样的低旋转阻力密封件。

在使用油封9的情况下，为了提高旋转部件22的密封接触面的硬度，旋转部件22所使用的材料被限定，或者需要对密封接触面进行表面处理。但是，在使用防尘密封件或低旋转阻力密封件的情况下，能够自由地选择旋转输出部22和对旋转输出部22实施的表面处理。并且，在使用防尘密封件或低旋转阻力密封件的情况下，能够成为旋转阻力小、效率高、节能的马达A。并且，能够提高马达A的输出，由于因摩擦产生的发热少，所以能够提高马达A的额定输出。

并且，在该实施方式的马达A中，与图7所示的第5实施方式的马达A同样地，可以通过吹气清洗来提高马达内压。

并且，在该实施方式的马达A中，与图7所示的5实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。由此，防止了液体侵入到马达主体1的中心孔11。

而且，在该实施方式的马达A中，与图7所示的第5实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该实施方式的马达A中，与图7所示的第5实施方式的马达A同样地，马达主体1为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第9实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

[第10实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图12所示的形状这一点以外，其余与图11所示的第9实施方式相同。在图12中，有时对与图11所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图12所示的马达A中，液体侵入防止构件13不具有油封9而只由迷宫L构成。

这里，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。并且，在该迷宫L中，圆筒部21的小径部分的外径和旋转输出部22的周缘部22b的内径以从圆筒部21的轴向上侧朝向轴向下侧变大的方式，相对于旋转输出部22的旋转轴线CL倾斜角度θ。

在该实施方式的马达A中，借助于由迷宫L构成的液体侵入防止构件13，能够防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部。

另外，为了实现更可靠的液体侵入防止，最好像图11所示的第9实施方式的马达A那样将迷宫L与油封9组合，但根据用途的不同，有时只有迷宫L就足够了。由于没有使用油封9，所以削减了制造成本，而且，由于不需要油封9的更换，所以维护性优异。并且，液体侵入防止构件13为非接触式，与使用油封9的情况不同，能够避免旋转输出部22的密封接触面的硬度和表面粗糙度的制约，并且能够减小旋转阻力，能够实现马达输出的提高。并且，由于没有因油封的摩擦产生的发热，所以能够提高马达A的额定输出。

在该第10实施方式的马达A中，与图11所示的第9实施方式的马达A同样地，液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位。

并且，在第10实施方式的马达A中，也可以与第9实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗来提高马达内压。在第10实施方式的马达A中，由于液体侵入防止构件13只是迷宫L，所以吹气清洗对于液体侵入能够特别有效地发挥功能。

并且，在第10实施方式的马达A中，与图11所示的第9实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第10实施方式的马达A中，与图11所示的第9实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面。

并且，在该第10实施方式的马达A中，马达主体1与图11所示的第9实施方式的马达A同样地为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第10实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

[第11实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图13所示的形状这一点以外，其余与图12所示的第10实施方式相同。在图13中，有时对与图12所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图13所示的马达A中，液体侵入防止构件13在迷宫L的附近具备多孔质部件14。

具体来说，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。并且，在该迷宫L中，圆筒部21的小径部分的外径和旋转输出部22的周缘部22b的内径以从圆筒部21的轴向上侧朝向轴向下侧变大的方式，相对于旋转输出部22的旋转轴线CL倾斜角度θ。

并且，在圆筒部21的小径部分的外周形成有从该外周刻入而成的圆环状的凹槽，在该凹槽内配置有圆环状的多孔质部件14。多孔质部件14为圆环状，但在其组装上，是组合多个部件而构成的。

在该实施方式的马达A中，在迷宫L的附近具有多孔质部件14，由此，若进入到迷宫L的液体是少量的话，则能够通过毛细管现象进行吸收。

并且，在圆筒部61的小径部分设置有将马达主体1的内部和多孔质部件14连通起来的多孔质部件用气体通道21f。由此，在进行了吹气清洗时，能够从多孔质部件14朝向旋转输出部22的周缘部22b吹出均匀的空气，防止液体从迷宫L侵入。

另外，吹气清洗是通过将管82连接到在壳体2的固定部23和马达部罩7设置的内压用气体通道23g，并从该管82向箭头X方向供给空气来进行的。

在该第11实施方式的马达A中，也与图12所示的第10实施方式的马达A同样地，液体侵入防止构件13为非接触式，与使用油封9的情况不同，能够避免旋转输出部22的密封接触面的硬度和表面粗糙度的制约，并且能够减小旋转阻力，能够实现马达输出的提高。并且，由于没有因油封的摩擦产生的发热，所以能够提高马达A的额定输出。

在该第11实施方式的马达A中，也与第9实施方式和第10实施方式的马达A同样地，液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位。

并且，在第11实施方式的马达A中，与第9实施方式和第10实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第11实施方式的马达A中，与第9实施方式和第10实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该第11实施方式的马达A中，马达主体1与第9实施方式和第10实施方式的马达A同样地为外转子型。

并且，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，不采用昂贵的防水规格也可以。

并且，能够将该实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在第11实施方式中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

另外，在第9至第11实施方式的马达A中，马达主体1也可以不是外转子型，而是内周侧旋转的内转子型。

[第12实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图14所示的形状这一点以外，其余与图2所示的第1实施方式相同。在图14中，有时对与图2所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

在图14所示的马达A中，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，构成防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13，而且具备故障防止构件90，该故障防止构件90在液体侵入到内部时防止发生故障。

这里，根据该实施方式的马达A，液体侵入防止构件13防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间侵入到内部，该液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的液体侵入防止构件(密封件)的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。

而且，液体侵入防止构件13由油封9构成，该油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。由此，圆筒部21和旋转输出部22之间被油封9密封。

并且，故障防止构件90是液体检测传感器91，并被设置于壳体2的固定部23，该固定部23设置在圆筒部21的轴向下侧。该液体检测传感器91能够检测从壳体2的外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到马达主体1的内部的液体。液体检测传感器91在检测到液体时，发出异常信号并通过线(コード)92将该异常信号发送给未图示的异常灯等异常通知构件。然后，异常通知构件在收到异常信号时，利用声或光等将液体侵入的异常通知给作业人员。此外，也可以是，将液体检测传感器91与未图示的马达A的控制器连接，将来自液体检测传感器91的异常信号发送给该控制器，利用该控制器使马达A在安全的位置停止。

作业人员能够收到液体侵入的异常通知，并针对液体向马达主体1的侵入进行液体侵入防止构件13的更换等适当的处置。这样，根据第12实施方式的马达A，能够将水和油等液体积存在马达主体1内的情况防范于未然，防止马达A的故障。

而且，设置有构成故障防止构件90的液体检测传感器91的固定部23具有：相对于圆筒部21的轴向倾斜的倾斜部93；和从倾斜部93的轴向最下侧部分水平地延伸的底面部94，液体检测传感器91设置在底面部94上。由此，侵入到马达主体1内的液体由于重力而被聚集起来并集中到液体检测传感器91，因此，能够更早地利用液体检测传感器91测知，从而能够将马达A的故障的可能性抑制得更低。

另外，倾斜部93的倾斜的方式只要是相对于圆筒部21的轴向倾斜即可。在图14所示的马达A中，在倾斜部93，固定部23的内周侧在轴向上位于上侧的高位置，固定部23的外周侧在轴向上位于下侧的低位置，但也可以反过来是，固定部23的内周侧在轴向上位于下侧的低位置，固定部23的外周侧在轴向上位于上侧的高位置。并且，对于倾斜部93，不仅可以是使高度在固定部23的径向上发生变化的情况，还可以是使高度在周向上发生变化。无论哪一种，都是构成为底面部94从倾斜部93的轴向最下侧部分水平地延伸，并在该底面部94上设置液体检测传感器91。

[第13实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图15所示的形状这一点以外，其余与图14所示的第12实施方式相同。在图15中，有时对与图14所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

在图15所示的马达A中，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，构成防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13，而且具备故障防止构件90，该故障防止构件90在液体侵入到内部时防止发生故障。

这里，根据该实施方式的马达A，液体侵入防止构件13防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部，该液体侵入防止构件13只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的液体侵入防止构件(密封件)的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。

而且，液体侵入防止构件13由油封9构成，该油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。由此，圆筒部21和旋转输出部22之间被油封9密封。

并且，故障防止构件90是液体通过孔95，该液体通过孔95是在壳体2的固定部23上形成的，该固定部23设置在圆筒部21的轴向下侧。液体通过孔95形成为从固定部23的轴向上表面贯通轴向下表面。该液体通过孔95能够使从壳体2的外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到马达主体1的内部的液体去到壳体2的轴向下方侧。当液体侵入到马达主体1内时，液体由于重力而向下方流动，当液体到达液体通过孔95时，则会通过液体通过孔95排出到壳体2的下方侧。若没有液体通过孔95，当液体侵入到马达主体1内时，液体会积存在固定部23上，但由于具有液体通过孔95，液体通过液体通过孔95排出到壳体2的下方侧。由此，能够防止侵入到马达主体1内的液体积存在壳体2内。并且，通过向马达主体1的内部送入空气的吹气清洗等来提高内压，由此液体更容易从液体通过孔95排出，能够将马达A的故障的可能性抑制得更低。

而且，形成有构成故障防止构件90的液体通过孔95的固定部23与图14所示的第12实施方式的马达A同样地具有：相对于圆筒部21的轴向倾斜的倾斜部93；和从倾斜部93的轴向最下侧部分水平地延伸的底面部94。而且，液体通过孔95以沿轴向上下贯通的方式形成于底面部94。由此，侵入到马达主体1内的液体由于重力而被聚集起来并集中到液体通过孔95，因此，能够提高基于液体通过孔95的液体放出效率，减少液体积存的量，能够将马达A的故障的可能性抑制得更低。

另外，倾斜部93的倾斜的方式与图14所示的第12实施方式同样地，只要是相对于圆筒部21的轴向倾斜即可。在图15所示的马达A中，在倾斜部93，固定部23的内周侧在轴向上位于上侧的高位置，固定部23的外周侧在轴向上位于下侧的低位置，但也可以反过来是，固定部23的内周侧在轴向上位于下侧的低位置，固定部23的外周侧在轴向上位于上侧的高位置。并且，对于倾斜部93，不仅可以是使高度在固定部23的径向上发生变化的情况，还可以是使高度在周向上发生变化。无论哪一种，都是构成为底面部94从倾斜部93的轴向最下侧部分水平地延伸，并以沿轴向上下贯通底面部94的方式形成液体通过孔95。

另外，在图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A中，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。因此，对于马达主体1的中心孔11，无需利用液体侵入防止构件13进行密封，而只在壳体2的轴向外周侧一个部位配置液体侵入防止构件13。

并且，在图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A中，滚动轴承6为一个。通过使滚动轴承6为一个，能够减少结构部件，简化构造，使组装容易，并且，由于结构部件少，从而能够使马达A小型化。作为滚动轴承6，优选能够承受轴向载荷和径向载荷的四点接触球轴承、交叉滚子轴承或者深沟球轴承。

并且，在图14所示的第12实施方式的马达A中，使用了液体检测传感器91作为故障防止构件90，在图15所示的第13实施方式的马达A中，使用了液体通过孔95作为故障防止构件90，但本发明不限定于此，故障防止构件90也可以构成为具有液体检测传感器91和液体通过孔95。

并且，在图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A中，旋转输出部22经由旋转变压器转子51固定于马达转子41。利用该结构，使旋转变压器5的调节变得容易。

并且，在图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A中，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，可以不采用昂贵的防水规格。

并且，能够将图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

另外，在图14所示的第12实施方式和图15所示的第13实施方式的马达A中，马达主体1也可以不是外转子型，而是内周侧旋转的内转子型。

[第14实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图16所示的形状这一点以外，其余与图2所示的第1实施方式相同。在图16中，有时对与图2所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图16所示的马达A中，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10具有密封件12，该密封件12配置在圆筒部21和旋转输出部22之间，对圆筒部21和旋转输出部22之间进行密封，旋转输出部22构成为封闭马达主体1的中心孔11。作为密封件12，优选是油封。

通常，在马达主体1具有中心孔11的马达A中，为了穿过配线、配管而使用了中心孔11，因此，输出侧(旋转输出部22侧)也开口，使得配线、配管能够从马达固定侧穿过到输出侧。因此，旋转输出部22也具有沿轴向贯通的中心孔。在图16所示的第14实施方式的马达A中，虽然追求防水性，但将旋转输出部22构成为封闭马达主体1的中心孔11，适合于不需要穿过马达主体1的中心孔11进行的布线、布管的情况。

并且，在图16所示的第14实施方式的马达A中，滚动轴承6为一个。通过使滚动轴承6为一个，能够减少结构部件，简化构造，使组装容易，并且，由于结构部件少，从而能够使马达A小型化。作为滚动轴承6，优选能够承受轴向载荷和径向载荷的四点接触球轴承、交叉滚子轴承或者深沟球轴承。

并且，在图16所示的第14实施方式的马达A中，旋转输出部22经由旋转变压器转子51固定于马达转子41。利用该结构，使旋转变压器5的调节变得容易。

并且，在图16所示的第14实施方式的马达A中，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，也可以不采用昂贵的防水规格。

并且，能够将图16所示的第14实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在图16所示的第14实施方式的马达A中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

另外，在图16所示的第14实施方式的马达A中，马达主体1也可以不是外转子型，而是内周侧旋转的内转子型。

[第15实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图17所示的形状这一点以外，其余与图7所示的第5实施方式相同。在图17中，有时对与图7所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图7所示的第5实施方式的马达A中，只在圆筒部21的轴向一个部位对壳体2进行密封的密封机构10设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，构成防止液体从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的液体侵入防止构件13，而在图17所示的第15实施方式的马达A的情况下，该液体侵入防止构件13构成防止异物从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的异物侵入防止构件15。

也就是说，在图17所示的第15实施方式的马达A中，密封机构10设置在圆筒部21和旋转输出部22之间，构成防止异物从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部的异物侵入防止构件15。

根据该实施方式的马达A，异物侵入防止构件15防止异物从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部，该异物侵入防止构件15只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的异物侵入防止构件(密封件)15的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。这里，作为“异物”，假想为水、油等液体、尘埃或金属粉等粉末等。

并且，异物侵入防止构件15由油封9构成，该油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。由此，圆筒部21和旋转输出部22之间被油封9密封。

另外，异物侵入防止构件15也可以不是油封9，而是防尘密封件、或在轴承密封部使用那样的低旋转阻力密封件。

在异物侵入防止构件15为油封9的情况下，为了提高旋转部件22的密封接触面的硬度，旋转部件22所使用的材料被限定，或者需要对密封接触面进行表面处理。但是，作为异物侵入防止构件15，在使用防尘密封件或低旋转阻力密封件的情况下，能够自由地选择旋转输出部22和对旋转输出部22实施的表面处理。并且，作为异物侵入防止构件15，在使用防尘密封件或低旋转阻力密封件的情况下，能够成为旋转阻力小、效率高、节能的马达A。并且，能够提高马达A的输出，由于因摩擦产生的发热少，所以能够提高马达A的额定输出。

并且，在该实施方式的马达A中，通过吹气清洗提高了马达内压。具体来说，在壳体2的固定部23和马达部罩7设置从固定部23的底面延伸至马达部罩7的贯通孔72的内压用气体通道23g。在该内压用气体通道23g的固定部23的外部连接有管82，从该管82向箭头X方向供给空气。并且，从管82向箭头X方向供给的空气通过内压用气体通道23g而从马达部罩7的贯通孔72进入到马达主体1内。由此，能够提高马达主体1内的内压。由此，即使在异物侵入防止构件15的部位，内压也会比外压高，从而能够进一步防止液体从外部侵入。

并且，在该实施方式的马达A中，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。由此，防止了异物侵入到马达主体1的中心孔11。

而且，在该实施方式的马达A中，为了将旋转输出部22的相对于工作台62(安装旋转体)的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止异物侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该实施方式的马达A中，马达主体1如前述那样为外转子型。

[第16实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图18所示的形状这一点以外，其余与图17所示的第15实施方式相同。在图18中，有时对与图17所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图18所示的马达A中，相对于图17所示的马达A，异物侵入防止构件15还具有迷宫L。具体来说，异物侵入防止构件15由油封9和迷宫L构成。

而且，油封9配置在由旋转输出部22的周缘部22b和圆筒部21的周缘部21a形成的空间中。油封9安装于圆筒部21，油封9的唇部与旋转输出部22接触。

并且，在圆筒部21的轴向上端形成有外径不同的台阶21c，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

在该实施方式的马达A中，借助于由油封9和迷宫L构成的异物侵入防止构件15，能够防止异物从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部。

另外，在第16实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A同样地，根据用途的不同，也可以不使用油封9，而是使用防尘密封件、或在轴承密封部使用那样的低旋转阻力密封件。

并且，在第16实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A同样地，异物侵入防止构件15只设置在圆筒部21的轴向一个部位，因此，能够削减作为消耗部件的异物侵入防止构件的个数，实现低成本构造，并且还能够削减维护的劳力和时间。

并且，在第16实施方式的马达A中，也可以与第15实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗提高了马达内压。

并且，在第16实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第16实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止异物侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该实施方式的马达A中，马达主体1与第15实施方式同样地为外转子型。

[第17实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图19所示的形状这一点以外，其余与图18所示的第6实施方式相同。在图19中，有时对与图18所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图19所示的马达A中，异物侵入防止构件15不具有油封9而只由迷宫L构成。

这里，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

在该实施方式的马达A中，借助于由迷宫L构成的异物侵入防止构件15，能够防止异物从外部穿过圆筒部21和旋转输出部22之间而侵入到内部。

另外，为了进一步实现可靠的异物侵入防止，最好像第16实施方式那样将迷宫L与油封9组合，但根据用途的不同，有时只有迷宫L就足够了。由于没有使用油封9，所以削减了制造成本，而且，由于不需要油封9的更换，所以维护性优异。此外，异物侵入防止构件15为非接触式，与使用油封9的情况不同，能够避免旋转输出部22的密封接触面的硬度和表面粗糙度的制约，并且能够减小旋转阻力，能够实现马达输出的提高。并且，由于没有因油封的摩擦产生的发热，所以能够提高马达A的额定输出。

在该第17实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A和第16实施方式的马达A同样地，异物侵入防止构件15只设置在圆筒部21的轴向一个部位。

并且，在第17实施方式的马达A中，也可以与第15实施方式的马达A和第16实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗来提高马达内压。在第17实施方式的马达A中，由于异物侵入防止构件15只是迷宫L，所以吹气清洗对于液体侵入能够特别有效地发挥功能。

并且，在第17实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A和第16实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第17实施方式的马达A中，与第15实施方式的马达A和第16实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止异物侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该第17实施方式的马达A中，马达主体1与第15实施方式的马达A和第16实施方式的马达A同样地为外转子型。

[第18实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图20所示的形状这一点以外，其余与图19所示的第17实施方式相同。在图20中，有时对与图19所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

即，在图20所示的马达A中，异物侵入防止构件15在迷宫L的附近具备多孔质部件14。

具体来说，迷宫L这样构成：在圆筒部21的由台阶21c形成的小径部分的外周面和旋转输出部22的周缘部21a的内周面之间设置规定的间隙，并且在圆筒部21的大径部分与小径部分的边界即台阶21c的面、和旋转输出部22的周缘部22b的下端面之间设置规定的间隙。

并且，在圆筒部21的小径部分的外周形成有从该外周刻入而成的圆环状的凹槽，在该凹槽内配置有圆环状的多孔质部件14。多孔质部件14为圆环状，但在其组装上，是组合多个部件而构成的。

在该实施方式的马达A中，在迷宫L的附近具有多孔质部件14，由此，若进入到迷宫L的液体是异物且少量的话，则能够通过毛细管现象进行吸收。

并且，在圆筒部61的小径部分设置有将马达主体1的内部和多孔质部件14连通起来的多孔质部件用气体通道21f。由此，在进行了吹气清洗时(在第18实施方式的马达A中与第15实施方式至第17实施方式的马达A同样地，通过吹气清洗提高了马达内压时)，能够从多孔质部件14朝向旋转输出部22的周缘部22b吹出均匀的空气，防止异物从迷宫L侵入。

另外，吹气清洗如在第15实施方式的马达A中说明的那样，是通过将管82连接到在壳体2的固定部23和马达部罩7设置的内压用气体通道23g，并从该管82向箭头X方向供给空气来进行的。

在该第18实施方式的马达A中，异物侵入防止构件15也为非接触式，与使用油封9的情况不同，能够避免旋转输出部22的密封接触面的硬度和表面粗糙度的制约，并且能够减小旋转阻力，能够实现马达输出的提高。并且，由于没有因油封的摩擦产生的发热，所以能够提高马达A的额定输出。

在该第18实施方式的马达A中，也与第15实施方式至第17实施方式的马达A同样地，异物侵入防止构件15只设置在圆筒部21的轴向一个部位。

并且，在第18实施方式的马达A中，与第15实施方式至第17实施方式的马达A同样地，旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间被密闭。

而且，在第18实施方式的马达A中，与第15实施方式至第17实施方式的马达A同样地，为了将旋转输出部22的相对于工作台(安装旋转体)62的连接面和工作台62的相对于旋转输出部22的连接面之间密闭，而在旋转输出部22的相对于工作台62的连接面设置密封件63用的槽22d，并在该槽22d中配置密封件63，由此防止液体侵入到马达主体1的中心孔11。密封件63用的槽22d也可以设置在工作台62的相对于旋转输出部22的连接面上。

并且，在该第18实施方式的马达A中，马达主体1与第15实施方式至第17实施方式的马达A同样地为外转子型。

[第19实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图21所示的形状这一点以外，其余与图17所示的第15实施方式相同。在图21中，左侧半部分是没有与连接器32a连接的配线的相位。在图21中，有时对与图17所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

在图21所示的第19实施方式的马达A中，相对于图17所示的第15实施方式的马达A，在马达主体1的内周侧具有吹气清洗用的气体通道85。

这里，气体通道85设置在构成马达主体1的马达定子42的内侧部42b的周面的一部分，并由使马达主体1的中心孔11和马达主体1的内部连通的贯通孔构成。在气体通道85的中心孔11侧形成有内螺纹槽，在该内螺纹槽中螺合有螺纹接套84。而且，管83通过马达主体1的中心孔11嵌合于该螺纹接套84，从而将气体通道85和管83连接起来。优选使用夹紧件固定管83以使其不会从螺纹接套84脱落。

通过向箭头X的方向将空气送入到该管83，能够进行吹气清洗，提高马达主体1的内压。这样，通过将吹气清洗用的气体通道85设置在马达主体1的内周侧，使管83的布管变得容易。这是因为，原本中心孔11是为了布线、布管而设置的，在设置马达A的基座61侧也具有同样的布线、布管用的孔的情况较多。

这样，通过进行吹气清洗，能够提高马达主体1的内压，在构成异物侵入防止构件15的油封9的部位，使内压比外压高，从而能够进一步抑制异物的侵入。

[第20实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图22所示的形状这一点以外，其余与图18所示的第16实施方式相同。在图22中，左侧半部分是没有与连接器32a连接的配线的相位。在图22中，有时对与图18所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

在图22所示的第20实施方式的马达A中，相对于图18所示的第16实施方式的马达A，在马达主体1的内周侧具有吹气清洗用的气体通道85。

这里，气体通道85设置在构成马达主体1的马达定子42的内侧部42b的周面的一部分，并由使马达主体1的中心孔11和马达主体1的内部连通的贯通孔构成。在气体通道85的中心孔11侧形成有内螺纹槽，在该内螺纹槽中螺合有螺纹接套84。而且，管83通过马达主体1的中心孔11嵌合于该螺纹接套84，从而将气体通道85和管83连接起来。优选使用夹紧件固定管83以使其不会从螺纹接套84脱落。

通过向箭头X的方向将空气送入到该管83，能够进行吹气清洗，提高马达主体1的内压。这样，通过将吹气清洗用的气体通道85设置在马达主体1的内周侧，使管83的布管变得容易。这是因为，原本中心孔11是为了布线、布管而设置的，而在设置马达A的基座61侧也具有同样的布线、布管用的孔的情况较多。

这样，通过进行吹气清洗，能够提高马达主体1的内压，在构成异物侵入防止构件15的油封9的部位，使内压比外压高，从而能够进一步抑制异物的侵入。

[第21实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图23所示的形状这一点以外，其余与图19所示的第17实施方式相同。在图23中，左侧半部分是没有与连接器32a连接的配线的相位。在图23中，有时对与图19所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

在图23所示的第21实施方式的马达A中，相对于图19所示的第17实施方式的马达A，在马达主体1的内周侧具有吹气清洗用的气体通道85。

这里，气体通道85设置在构成马达主体1的马达转子42的内侧部42b的周面的一部分，并由使马达主体1的中心孔11和马达主体1的内部连通的贯通孔构成。在气体通道85的中心孔11侧形成有内螺纹槽，在该内螺纹槽中螺合有螺纹接套84。而且，管83通过马达主体1的中心孔11嵌合于该螺纹接套84，从而将气体通道85和管83连接起来。优选使用夹紧件固定管83以使其不会从螺纹接套84脱落。

通过向箭头X的方向将空气送入到该管83，能够进行吹气清洗，提高马达主体1的内压。这样，通过将吹气清洗用的气体通道85设置在马达主体1的内周侧，管83的布管变得容易。这是因为，原本中心孔11是为了布线、布管而设置的，而在设置马达A的基座61侧也具有同样的布线、布管用的孔的情况较多。

这样，通过进行吹气清洗，能够提高马达主体1的内压，在构成异物侵入防止构件15的迷宫L的部位，使内压比外压高，从而能够进一步抑制异物的侵入。

[第22实施方式]

该实施方式的马达A除了其截面为图24所示的形状这一点以外，其余与图20所示的第18实施方式相同。在图24中，左侧半部分是没有与连接器32a连接的配线的相位。在图24中，有时对与图20所示的部件相同的部件标注相同的标号，并省略其说明。

在图24所示的第22实施方式的马达A中，相对于图20所示的第18实施方式的马达A，在马达主体1的内周侧具有吹气清洗用的气体通道85。

这里，气体通道85设置在构成马达主体1的马达转子42的内侧部42b的周面的一部分，并由使马达主体1的中心孔11和马达主体1的内部连通的贯通孔构成。在气体通道85的中心孔11侧形成有内螺纹槽，在该内螺纹槽中螺合有螺纹接套84。而且，管83通过马达主体1的中心孔11嵌合于该螺纹接套84，从而将气体通道85和管83连接起来。优选使用夹紧件固定管83以使其不会从螺纹接套84脱落。

通过向箭头X的方向将空气送入到该管83，能够进行吹气清洗，提高马达主体1的内压。这样，通过将吹气清洗用的气体通道85设置在马达主体1的内周侧，管83的布管变得容易。这是因为，原本中心孔11是为了布线、布管而设置的，而在设置马达A的基座61侧也具有同样的布线、布管用的孔的情况较多。

这样，通过进行吹气清洗，能够提高马达主体1的内压，在构成异物侵入防止构件15的迷宫L和多孔质部件14的部位，使内压比外压高，从而能够进一步抑制异物的侵入。

并且，在图17所示的第15实施方式的马达A至图24所示的第22实施方式的马达A中，旋转输出部22经由旋转变压器转子51固定于马达转子41。利用该结构，使旋转变压器5的调节变得容易。

并且，在图17所示的第15实施方式的马达A至图24所示的第22实施方式的马达A中，连接器31a、32a在马达主体1的内周侧设置在中心孔11的附近，也可以不采用昂贵的防水规格。

并且，能够将图17所示的第15实施方式的马达A至图24所示的第22实施方式的马达A作为驱动源，而作为在工作台62上搭载电子部件等并进行旋转移动的输送装置来使用。而且，该实施方式的马达A也能够作为带式输送机的旋转机构的驱动源来使用。而且，该实施方式的马达A能够作为对定位装置进行定位驱动的装置来使用。

并且，在图17所示的第15实施方式的马达A至图24所示的第22实施方式的马达A中，对马达主体为直接驱动马达(不使用减速器地直接驱动负载的马达)的马达的例子进行了说明，但该发明也适用于马达主体为齿轮减速方式的马达(使用减速器来增大转矩的马达)以及作为一般马达(例如，只向一个方向旋转的马达等)的马达。

另外，在图17所示的第15实施方式的马达A至图24所示的第22实施方式的马达A中，马达主体1也可以不是外转子型，而是内周侧旋转的内转子型。

标号说明

1：马达主体；

11：中心孔；

12：密封件；

13：液体侵入防止构件；

14：多孔质部件；

15：异物侵入防止构件；

2：壳体；

21：圆筒部；

21a：周缘部(密封件安装部)；

21c：台阶；

22：旋转输出部；

22a：中心孔(贯通孔)；

22b：周缘部；

22f：开口部；

22h：密封接触面；

23：固定部；

23c：中心孔(贯通孔)；

23d：密封件用的槽；

31：配线电缆；

32：配线电缆；

4：马达部；

41：马达转子(旋转体)；

42：马达定子(固定体)；

5：旋转变压器；

51：旋转变压器转子(旋转体)；

52：旋转变压器定子(固定体)；

9：油封；

10：密封机构；

61：基座；

62：工作台(安装旋转体)；

63：密封件；

90：故障防止构件；

91：液体检测传感器；

95：液体通过孔；

A：马达；

L：迷宫。

Claims (23)

1.一种马达，其特征在于，

所述马达具备：圆柱状的马达主体，在所述马达主体形成有沿轴向贯通的中心孔；以及壳体，其收纳所述马达主体，

所述壳体由以下部分构成：圆筒部，其覆盖所述马达主体的外周面；旋转输出部，其设置在该圆筒部的轴向上侧并固定于所述马达主体的旋转体；以及固定部，其设置在所述圆筒部的轴向下侧并固定于所述马达主体的固定体，

只在所述圆筒部的轴向的一个部位利用密封机构对所述壳体进行密封。

2.根据权利要求1所述的马达，其特征在于，

所述密封机构配置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封。

3.根据权利要求1或2所述的马达，其特征在于，

所述壳体具有与所述马达主体的所述中心孔对应的贯通孔，并且所述马达具备一端固定于所述马达主体的配线电缆，

所述配线电缆通过所述马达主体的轴向端面的所述中心孔的附近部和所述壳体的所述贯通孔而使另一端配置在外部。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的马达，其特征在于，

所述固定部具有与基座连接的连接面，

所述旋转输出部具有与安装旋转体连接的连接面，

在所述固定部的连接面和所述旋转输出部的连接面的至少任意一方形成有配置密封件的槽。

5.根据权利要求1所述的马达，其特征在于，

所述密封机构具有密封件，所述密封件设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封，所述旋转输出部由轻量件构成，且与所述密封件接触的密封接触面的硬度比该密封接触面以外的部分的硬度高。

6.根据权利要求5所述的马达，其特征在于，

所述旋转输出部的至少所述密封接触面被实施了硬度提高处理。

7.根据权利要求1所述的马达，其特征在于，

所述密封机构具有密封件，所述密封件设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封，所述旋转输出部由轻量件构成，且与所述密封件接触的密封接触面的硬度比该密封接触面以外的部分的硬度高，所述旋转输出部的至少所述密封接触面被实施了硬度提高处理，所述硬度提高处理是表面处理并且所述轻量件是铝件，所述密封接触面的表面粗糙度为Ra0.05～1.60，所述密封件的内径与安装该密封件的密封件安装部的外径的配合为5.0～25.00mm的过盈配合，并且，在所述马达主体中内置有旋转变压器，所述旋转变压器在内侧具有旋转变压器定子，在该旋转变压器定子的外周侧具有旋转变压器转子，所述旋转输出部和所述旋转变压器转子成为一体，在所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面或者在所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面设置有密封件用的槽，所述密封件用的槽被设置在比所述旋转变压器转子靠外周侧的位置，从所述旋转输出部的旋转轴线中心起设置有开口部，所述开口部开口至所述密封件用的槽的内侧的到达所述旋转变压器转子附近的部分。

8.根据权利要求1所述的马达，其特征在于，

所述密封机构设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，构成防止液体从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间而侵入到内部的液体侵入防止构件。

9.根据权利要求8所述的马达，其特征在于，

所述液体侵入防止构件是油封。

10.根据权利要求9所述的马达，其特征在于，

所述液体侵入防止构件还具有迷宫。

11.根据权利要求8所述的马达，其特征在于，

所述液体侵入防止构件是迷宫。

12.根据权利要求10或11所述的马达，其特征在于，

在所述旋转输出部的外缘形成有向所述圆筒部侧突出的周缘部，在所述圆筒部的轴向上端形成有外径不同的台阶，

所述迷宫这样构成：在所述圆筒部的由台阶形成的小径部分的外周面和所述旋转输出部的所述周缘部的内周面之间设置规定的间隙，并且，在作为所述圆筒部的大径部分与小径部分的边界的台阶面、和所述旋转输出部的所述周缘部的下端面之间设置规定的间隙。

13.根据权利要求12所述的马达，其特征在于，

所述圆筒部的小径部分的外径和所述旋转输出部的所述周缘部的内径以从所述圆筒部的轴向上侧朝向轴向下侧变大的方式相对于所述旋转输出部的旋转轴线倾斜。

14.根据权利要求10～13中的任一项所述的马达，其特征在于，

所述液体侵入防止构件在所述迷宫的附近具备多孔质部件。

15.根据权利要求8～14中的任一项所述的马达，其特征在于，

通过吹气清洗提高了马达内压。

16.根据权利要求8～15中的任一项所述的马达，其特征在于，

所述旋转输出部的相对于安装旋转体的连接面和所述安装旋转体的相对于所述旋转输出部的连接面之间被密闭。

17.根据权利要求1所述的马达，其特征在于，

所述密封机构设置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，构成防止液体从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间而侵入到内部的液体侵入防止构件，

而且所述马达具备故障防止构件，所述故障防止构件在所述液体侵入到内部时防止发生故障。

18.根据权利要求17所述的马达，其特征在于，

所述故障防止构件是在设置于所述圆筒部的轴向下侧的所述固定部上设置的液体检测传感器或液体通过孔。

19.根据权利要求1所述的马达，其特征在于，

所述密封机构具有密封件，所述密封件配置在所述圆筒部和所述旋转输出部之间，对所述圆筒部和所述旋转输出部之间进行密封，所述旋转输出部构成为封闭所述马达主体的所述中心孔。

20.根据权利要求8～16中的任一项所述的马达，其特征在于，

所述液体侵入防止构件构成异物侵入防止构件，该异物侵入防止构件防止异物从外部穿过所述圆筒部和所述旋转输出部之间而侵入到内部。

21.根据权利要求1～20中的任一项所述的马达，其特征在于，

所述马达主体为外转子型。

22.一种定位装置，其被权利要求1～21中的任一项所述的马达定位驱动。

23.一种输送装置，其以权利要求1～21中的任一项所述的马达为驱动源。