KR20160000464A

KR20160000464A - 모터, 위치결정장치, 반송장치

Info

Publication number: KR20160000464A
Application number: KR1020157033222A
Authority: KR
Inventors: 마사유키 마루야마; 유스케 오타; 가즈노리 고이즈미; 하야오 와타나베; 도시노리 사토
Original assignee: 닛본 세이고 가부시끼가이샤
Priority date: 2013-05-20
Filing date: 2014-05-07
Publication date: 2016-01-04
Also published as: KR101728625B1; JP5765486B2; US20160118855A1; JPWO2014188672A1; WO2014188672A1; CN104380580B; CN104380580A

Abstract

부품 개수가 적고, 코스트가 낮은 방법으로 방수성능이 부여된 모터, 그 모터에 의해 위치결정 구동되는 위치결정장치 및 반송장치를 제공한다. 모터(A)는, 축방향으로 관통하는 중심구멍(11)이 형성된 원주형상의 모터 본체(1)와, 모터 본체(1)를 수납하는 하우징(2)을 구비한다. 하우징(2)은, 모터 본체(1)의 외주면을 덮는 원통부(21)와, 원통부(21)의 축방향 상측에 마련된, 모터 본체(1)의 회전체(51, 41)에 고정되는 회전 출력부(22)와, 원통부(21)의 축방향 하측에 마련된, 모터 본체(1)의 고정체(52, 42)에 고정되는 고정부(23)로 이루어진다. 하우징(2)은, 원통부(21)의 축방향의 1 개소에서만 밀봉 기구(10)에 의해 밀봉되어 있다.

Description

모터, 위치결정장치, 반송장치{MOTOR, POSITIONING DEVICE, CONVEYANCE DEVICE}

본 발명은, 방수성이나 방진성을 가지는 모터, 그 모터에 의해 위치결정 구동되는 위치결정장치 및 반송장치에 관한 것이다.

종래부터 고토오크 또한 고분해능을 가지는 다이렉트 드라이브 모터는, 인덱스 테이블이 직접 구동하는 것이 가능하고, 고속 동작성을 가지면서 백 래쉬가 없기 때문에, 고정밀도인 위치결정을 필요로 하는 용도로 적합하게 사용되고 있다.

예를 들어, 다이렉트 드라이브 모터를 가지는 인덱스 테이블이 반도체 웨이퍼의 연마공정이나 세척 공정의 반송용에 사용되는 경우, 반도체 웨이퍼에는 물 등의 액체가 부착되어 있고, 부착된 액체가 떨어져 다이렉트 드라이브 모터의 상면에 고이는 일이 있다. 그리고 다이렉트 드라이브 모터 내에 액체가 침입하면 모터 내부의 부식이나 단락(短絡) 등의 전기적 고장이 생기는 원인이 된다. 따라서, 액체의 침입이 방지되는 성능(방수성) 및 먼지의 침입이 방지되는 성능(방진성)을 가지는 다이렉트 드라이브 모터가 요구되고 있다.

방수성을 가지는 다이렉트 드라이브 모터의 종래예로서는, 특허문헌 1에 기재된 방수 모터를 들 수 있다.

이 방수 모터는, 도 25에 나타내는 바와 같이, 모터 본체가 출력축(회전력을 출력하는 회전체)(160)과, 원통부(120)를 가지는 모터 하우징(100)으로 덮여 있다. 출력축(160)은 대략 T자형상이고, 축부(161)와, 원판형상 우산부(162)와, 주연벽(163)과, 위치결정 원통부(164)를 가진다.

모터 하우징(100)은, 모터 본체의 외주면을 덮는 원통부(120)와, 하우징 베이스(123)가 일체화된 것이다. 모터 하우징(100)의 원통부(120)의 출력축(160) 측의 개구단에, O링(113)을 개재시켜 시일 하우징(124)이 감입되어 있다. 시일 하우징(124)의 내주면과 출력축(160)의 위치결정 원통부(164)와의 사이가 오일 시일(191)로 밀봉되어 있다. 시일 하우징(124)의 상측과 출력축(160)의 원판형상 우산부(162)와의 사이가 더스트 시일(192)로 밀봉되어 있다.

모터 하우징(100)의 하우징 베이스(123)의 중앙 개구부(123a)에는, 출력축(160)의 축부(161)와의 사이가 오일 시일(132)로 밀봉되어 있다. 또한, 모터 하우징(100)의 원통부(120)에는 측면 개구부(120a)가 형성되고, 커넥터 스페이서(129)를 개재시켜 방수 커넥터(131)가 부착되어 있다. 커넥터 스페이서(129)와 측면 개구부(120a)와의 사이가 패킹(128)으로 밀봉되어 있다.

하우징 베이스(123)의 저부에 개구부(123b)가 형성되고, 개구부(123b)가 커버 플레이트(125)로 덮여 있다. 이로써, 하우징 베이스(123)의 하부에 배선 공간(125a)이 형성되어 있다.

모터 본체를 구성하는 모터 로터(141)와 리졸버 로터(151)가, 축방향에서 고정되어 롤링 베어링(106)의 외륜에 고정되어 있다. 리졸버 로터(151)는 출력축(160)의 위치결정 원통부(164) 내에 고정되어 있다. 모터 코어(142)가 모터 하우징(100)의 원통부(210)에 고정되어 있다. 리졸버 스테이터(152)는, 하우징 베이스(123)의 내측 부분(123c)과 함께, 롤링 베어링(6)의 내륜에 고정되어 있다. 즉, 이 방수 모터의 모터 본체는 이너 로터형이다.

위치결정 원통부(164)보다 중심측의 부분에서, 출력축(160)이 리졸버 로터(151)에 볼트(170)로 고정되어 있다. 또한, 일단이 리졸버 스테이터(152)에 접속된 배선의 타단이, 방수 커넥터(131)에 접속된다. 이 배선은, 리졸버 스테이터(152)의 관통구멍(152a), 하우징 베이스(123)의 관통구멍(123d), 배선공간(125a), 및 커넥터 스페이서(129)의 내부 공간(129a)에 배치된다.

특허문헌 2에는, 모터 전체를, 오일 시일과 더스트 시일을 장착한 방수 커버로 덮어 완전히 밀폐된 구조로 함으로써, 방수성을 갖지 않은 모터를 방수 모터로서 사용하는 것이 기재되어 있다. 특허문헌 2에 기재되어 있는 방수 모터의 예에서도, 특허문헌 1의 방수 모터와 마찬가지로, 대략 T자형상의 출력축을 가지고, 하우징 베이스의 중앙 개구부와 출력축의 축부와의 사이가 오일 시일로 밀폐되고, 출력축의 외연부에서의 오일 시일과 더스트 시일에 의한 2중 밀봉구조를 가지고 있다. 또한, 하우징 베이스와 방수 커버의 하단이 O링으로 밀봉되어 있다.

일본국 특개 2011-250504호 공보 일본국 특개 2011-250586호 공보

특허문헌 1 및 2에 기재된 방수 모터에서는, 대략 T자형상 출력축의 형상이 복잡한 것과 동시에, 복수 개의 오일 시일 및 O링이 배치되어 있기 때문에, 코스트가 높은 것이었다.

또한, 범용의 방수 모터에서는, 원주형상의 모터 상하면의 방수에 관해서는, 부착시에 O링을 사용하는 것 등으로 간단하게 대응할 수 있다. 또한, 모터의 중심구멍은, 에어 호스나 전기 배선을 통하여 사용되기 때문에, 통상은, 부착시에 중심구멍 전체를 방수 구조로 하고 있다. 따라서, 실제로는, 모터 외주면의 방수성만을 고려하면 되는 것이고, 특허문헌 1 및 2에 기재된 방수 모터는, 방수성능이 오버 스팩이라 할 수 있기 때문에, 코스트 삭감면에서 개선의 여지가 있다.

본 발명의 과제는, 부품 개수가 적고, 코스트가 낮은 방법으로 방수성능이 부여된 모터, 그 모터에 의해 위치결정 구동되는 위치결정장치 및 반송장치를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 양태의 모터는, 축 방향으로 관통하는 중심구멍이 형성된 원주형상의 모터 본체와, 상기 모터 본체를 수납하는 하우징을 구비하고, 상기 하우징은, 상기 모터 본체의 외주면을 덮는 원통부와, 그 원통부의 축방향 상측에 마련된, 상기 모터 본체의 회전체에 고정되는 회전 출력부와, 상기 원통부의 축방향 하측에 마련된, 상기 모터 본체의 고정체에 고정되는 고정부로 이루어지고, 상기 하우징은, 상기 원통부의 축방향의 1 개소에서만 밀봉 기구(오일 시일, V 시일, 래버린스 등)에 의해 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

이 양태의 모터는, 상기 하우징이, 상기 원통부의 축방향의 1 개소에서만 밀봉 구조에 의해 밀봉되어 있기 때문에, 특허문헌 1 및 2에 기재된 방수 모터와 비교하여, 부품 개수가 적고, 코스트가 낮은 방법으로 방수성능이 부여되어 있다. 또한, 통상의 밀봉 기구는, 방수성능뿐만 아니라 방진성능도 갖기 때문에, 이 양태의 모터는 방진성(먼지의 침입이 방지되는 성능)도 갖는다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 배치되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 것으로 하면 된다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 하우징은, 상기 모터 본체의 상기 중심구멍에 대응하는 관통구멍을 가지는 동시에, 상기 모터 본체에 일단이 고정되어 있는 배선 케이블을 구비하고, 상기 배선 케이블은, 상기 모터 본체의 축방향 단면의 상기 중심구멍 근방부와 상기 하우징의 상기 관통구멍을 통과하여, 타단이 외부(모터의 외부)에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 원통부는, 상기 고정부 및 상기 회전 출력부의 적어도 한쪽과 일체로 형성되어 있으면 된다.

이 경우, (a) 상기 원통부가 상기 고정부와 일체로 형성되어 있는 구성, (b) 상기 원통부가 상기 회전 출력부와 일체로 형성되어 있는 구성, (c) 상기 원통부가 상기 고정부 및 상기 회전 출력부의 양쪽과 일체로 형성되어 있는 구성이 포함된다.

그리고, 구성 (a)의 경우, 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 배치되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉한다. 구성 (b)의 경우, 밀봉 기구는, 상기 회전 출력부와 상기 고정부와의 사이에 배치되어 상기 회전 출력부와 상기 고정부와의 사이를 밀봉한다. 또한, 구성 (c)의 경우, 상기 원통부가 축방향에서 2 분할되어 있어, 각 분할체가 상기 고정부 및 상기 회전 출력부의 각각에 일체로 형성되고, 상기 밀봉 기구는, 분할체 사이에 배치되어 분할체 사이를 밀봉한다.

그리고, 구성 (c)보다도 구성 (a) 및 구성 (b)인 것이 바람직하다. 구성 (c)인 경우, 상기 원통부의 축방향 중간 위치에 밀봉 기구가 배치되기 때문에, 상기 원통부의 단부에 밀봉 기구가 배치되는 구성 (a) 및 구성 (b)로 하는 것이 바람직하다. 상기 구성 (a)와 상기 구성 (b)와의 비교에서는, 상기 구성 (a)인 것이 바람직하다. 즉, 상기 원통부가 상기 고정부와 일체로 형성되어 있음으로써, 상기 구성 (b) 및 (c)의 경우보다도, 상기 회전 출력부의 이너시아(inertia)를 작게 할 수가 있다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 고정부는 기대와의 접속면을 가지고, 상기 회전 출력부는 부착 회전체와의 접속면을 가지고, 상기 고정부의 접속면 및 상기 회전 출력부의 접속면의 적어도 어느 한쪽에, 시일재(O링, 봉지용 콤파운드, 접착제, 코킹재)를 배치하는 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 회전 출력부는, 상기 시일재가 접촉하는 시일 접촉면의 경도가 그 시일 접촉면 이외의 부분의 경도보다도 높은 경량재로 이루어지도록 하여도 된다.

이 모터에 의하면, 회전 출력부에 있어서의 시일 접촉면에 필요한 경도를 확보한 다음에 회전 출력부의 경량화, 저 이너시아화를 실현할 수가 있다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 회전 출력부는, 적어도 상기 시일 접촉면에 경도 향상처리가 이루어진 것이 바람직하다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 경도 향상처리가 표면처리인 것이면 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 경량재가 알루미늄재인 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 경도 향상처리가 열처리이고, 상기 경량재가 초경 두랄루민(carbide duralumin)이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 시일 접촉면의 면 거칠기를 Ra 0.05~1.60으로 하고, 상기 시일재의 내경과 그 시일재를 부착하는 시일 부착부의 외경과의 끼워맞춤을 5.0~25.00 mm의 조임 끼워맞춤으로 하여도 좋다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 모터 본체에는, 내측에 리졸버 스테이터를, 그 리졸버 스테이터의 외주측에 리졸버 로터를 가지는 리졸버가 내장되고, 상기 회전 출력부와 상기 리졸버 로터를 일체화하여도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 회전 출력부의 부착 회전체에 대한 접속면 또는 상기 부착 회전체의 상기 회전 출력부에 대한 접속면에 마련한 시일재용의 홈을 상기 리졸버 로터보다도 외주측에 마련하고, 상기 회전 출력부의 회전축 중심으로부터 상기 홈의 내측으로서 상기 리졸버 로터 근방에 도달하는 부분까지 개구하는 개구부를 마련하여도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 회전 출력부는, 상기 시일재가 접촉하는 시일 접촉면의 경도가 그 시일 접촉면 이외의 부분의 경도보다도 높은 경량재로 이루어지고, 상기 회전 출력부는, 적어도 상기 시일 접촉면에 경도 향상처리가 이루어진 것이고, 상기 경도 향상처리가 표면처리인 동시에, 상기 경량재가 알루미늄재이고, 상기 시일 접촉면의 면 거칠기를 Ra 0.05~1.60으로 하고, 상기 시일재의 내경과 그 시일재를 부착하는 시일 부착부의 외경과의 끼워 맞춤을 5.0~25.00 mm의 조임 끼워 맞춤으로 하는 동시에, 상기 모터 본체에는, 내측에 리졸버 스테이터를, 그 리졸버 스테이터의 외주측에 리졸버 로터를 가지는 리졸버가 내장되고, 상기 회전 출력부와 상기 리졸버 로터를 일체화하고, 상기 회전 출력부의 부착 회전체에 대한 접속면 또는 상기 부착 회전체의 상기 회전 출력부에 대한 접속면에 마련한 시일재용의 홈을 상기 리졸버 로터보다도 외주측에 마련하고, 상기 회전 출력부에, 상기 회전 출력부의 회전축 중심으로부터 상기 시일재용 홈의 내측으로서 상기 리졸버 로터 근방에 도달하는 부분에까지 개구하는 개구부를 마련하여도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단을 구성하는 것이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단이 오일 시일인 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단이 더스트 시일이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단이 저 회전 저항 시일이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단이 추가로 래버린스를 가지고 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단이 래버린스이어도 좋다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 회전 출력부의 외연에는, 상기 원통부 측에 돌출하는 주연부가 형성되고, 상기 원통부의 축 방향 상단에는, 외경을 다르게 하는 단차가 형성되고, 상기 래버린스는, 상기 원통부의 단차에 의한 소경 부분의 외주면과 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 상기 원통부의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차의 면과 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 원통부의 소경 부분의 외경 및 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 내경은, 상기 원통부의 축 방향 상측으로부터 축 방향 하측으로 향하여 커지도록, 상기 회전 출력부의 회전축에 대해 경사져 있어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단은, 상기 래버린스의 근방에 다공질 부재를 구비하고 있어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올리고 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 회전 출력부의 부착 회전체에 대한 접속면과 상기 부착 회전체의 상기 회전 출력부에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 회전 출력부의 부착 회전체에 대한 접속면 또는 상기 부착 회전체의 상기 회전 출력부에 대한 접속면에 시일재용의 홈을 마련하는 것이 바람직하다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단을 구성하고, 나아가, 상기 액체가 내부에 침입하였을 때에 고장을 방지하는 고장 방지수단을 구비하고 있어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 원통부의 축 방향 하측에 마련된 상기 고정부에 마련되어 있는 액체 감지 센서 또는 액체 통과구멍인 것이 바람직하다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 고정부는, 상기 원통부의 축 방향에 대해 경사지는 경사부와, 그 경사부의 축 방향 가장 하측 부분에서 수평하게 신장되는 저면부를 가지고, 상기 고장 방지수단은 상기 저면부상에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 베어링을 한 개로 하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 배치되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 회전 출력부는, 상기 모터 본체의 상기 중심구멍을 막도록 구성되어 있어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 액체침입 방지수단이, 이물질이 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 이물질 침입 방지수단을 구성하고 있어도 좋다.

즉, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어, 이물질이 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 이물질 침입 방지수단을 구성하는 것이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 이물질 침입 방지수단이 오일 실인 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 이물질 침입 방지수단이 더스트 시일이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 이물질 침입 방지 수단이 저 회전 저항 시일이어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 이물질 침입수단이 래버린스이어도 좋다.

더욱이, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 회전 출력부의 외연에는, 상기 원통부측에 돌출하는 주연부가 형성되고, 상기 원통부의 축 방향 상단에는, 외경을 다르게 하는 단차가 형성되고, 상기 래버린스는 상기 원통부의 단차에 의한 소경 부분의 외주면과 상기 회전 출력부의 상기 외연부의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 상기 원통부의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차의 면과 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 원통부의 소경 부분의 외경 및 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 내경은, 상기 원통부의 축 방향 상측에서 축방향 하측으로 향하여 커지도록, 상기 회전 출력부의 회전축에 대해 경사져 있어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 이물질 침입 방지수단은, 상기 래버린스의 근방에 다공질 부재를 구비하고 있어도 좋다.

또한, 이 양태의 모터에 있어서, 상기 모터 본체는 아우터 로터형인 것이 바람직하다.

모터 본체가 아우터 로터형이면, 이너 로터형인 경우보다 배선 케이블의 모터 본체 내에서의 배선이 용이하게 이루어지기 때문에 바람직하다.

더욱이, 본 발명의 다른 형태의 위치결정장치는, 앞에서 설명한 모터에 의해 구동되는 것이다.

또한, 본 발명의 또 다른 양태의 반송장치는, 앞에서 설명한 모터를 구동원으로 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 특허문헌 1 및 2에 기재된 모터와 비교하여, 부품 개수가 작고, 코스트가 적은 방법으로 방수성능이 부여된 모터, 그 모터에 의해 위치결정구동되는 위치결정장치 및 반송장치를 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 모터의 제1 내지 제3, 제5 내지 제13, 및 제15 내지 제22 실시형태의 평면도이다.
도 2는, 본 발명에 따른 모터의 제1 실시형태의 모터의 단면도(도 1의 A-A선을 따르는 단면도)이다.
도 3은 본 발명에 따른 모터의 제1 내지 제22 실시형태의 저면도이다. 단, 도 3에 있어서는, 제8 실시형태, 제11 실시형태, 제15 실시형태 및 제18 실시형태에 있어서의 내압용 기도에 대해서는 도시하고 있지 않다.
도 4는 본 발명에 따른 모터의 제2 실시형태의 단면도(도 1의 A-A선을 따른 단면도)이다.
도 5는 본 발명에 따른 모터의 제3 실시형태의 단면도(도 1의 A-A선을 따른 단면도)이다.
도 6은 본 발명에 따른 모터의 제4 실시형태의 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 모터의 제5 실시형태의 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 모터의 제6 실시형태의 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 모터의 제7 실시형태의 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 모터의 제8 실시형태의 단면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 모터의 제9 실시형태의 단면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 모터의 제10 실시형태의 단면도이다.
도 13은 본 발명에 따른 모터의 제11 실시형태의 단면도이다.
도 14는 본 발명에 따른 모터의 제12 실시형태의 단면도이다.
도 15는 본 발명에 따른 모터의 제13 실시형태의 단면도이다.
도 16은 본 발명에 따른 모터의 제14 실시형태의 단면도이다.
도 17은 본 발명에 따른 모터의 제15 실시형태의 단면도이다.
도 18은 본 발명에 따른 모터의 제16 실시형태의 단면도이다.
도 19는 본 발명에 따른 모터의 제17 실시형태의 단면도이다.
도 20은 본 발명에 따른 모터의 제18 실시형태의 단면도이다.
도 21은 본 발명에 따른 모터의 제19 실시형태의 단면도이다.
도 22는 본 발명에 따른 모터의 제20 실시형태의 단면도이다.
도 23은 본 발명에 따른 모터의 제21 실시형태의 단면도이다.
도 24는 본 발명에 따른 모터의 제22 실시형태의 단면도이다.
도 25는 특허문헌 1의 방수모터를 나타내는 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하되, 본 발명은 이 실시형태에 한정되지 않는다.

[제1 실시형태]

도 1 내지 도 3에 나타내는 바와 같이, 이 실시형태의 모터(A)는, 원주형상의 모터 본체(1)와, 하우징(2)과, 배선 케이블(31, 32)로 이루어진다. 모터(A)는, 다이렉트 드라이브 모터이고, 위치결정장치(도시하지 않음)를 위치결정 구동하는 것이다.

여기서, 모터 본체(1)는, 축방향으로 관통하는 중심구멍(11)을 가진다. 모터 본체(1)는, 모터부(4)와 리졸버(자기식 회전 센서)(5)와 롤링 베어링(6)을 가지고, 축 방향 하측에 모터부(4)를, 축방향 상측에 리졸버(5)를 배치하고 있다. 모터부(4)는, 내측에 배치된 모터 스테이터(고정체)(42)와, 모터 스테이터(42)의 외주측에 배치된 모터 로터(회전체)(41)를 가지고, 아우터 로터형으로 되어 있다. 또한, 리졸버(5)는, 내측에 배치된 리졸버 스테이터(고정체)(52)와, 리졸버 스테이터(52)의 외주측에 배치된 리졸버 로터(회전체)(51)를 구비하고 있다.

모터 스테이터(42)는, 모터 코어(42a)와 대략 원통형상의 내측부(42b)를 가지고, 내측부(42b)의 외주에 모터 코어(42a)가 고정되어 있다. 그리고, 모터 코어(42a)에는, 코일(43)이 권회되어 있다.

한편, 모터 로터(41)는, 대략 원통형상으로 형성되고, 요크를 구성하고 있다. 그리고, 모터 로터(41)의 내주면에는 원환형상의 영구자석(41a)이 마련되어 있다.

그리고, 모터 로터(41)와 리졸버 로터(51)는 롤링 베어링(6)의 외륜에 고정되어 있다. 모터 스테이터(42)의 내측부(42b)와 리졸버 스테이터(52)는 롤링 베어링(6)의 내륜에 고정되어 있다. 모터 로터(41)와 리졸버 로터(51)가 볼트(B1)로 고정되어 있다. 모터 스테이터(42)의 내측부(42b)와 리졸버 스테이터(52)가 볼트(B2)로 고정되어 있다.

모터 본체(1)는, 더욱이 모터부(4)의 축방향 하단면을 막는 모터부 커버(7)와, 리졸버(5)의 축방향 상단면을 막는 리졸버 커버(8)를 가진다. 모터부 커버(7)는, 모터 스테이터(42)의 내측부(42b)의 외경보다 약간 큰 내경의 중심구멍(71)을 가진다. 모터부 커버(7)의 중심구멍(71)에 모터 스테이터(42)의 내측부(42b)의 축방향 하단부가 삽입되어 있다. 리졸버 커버(8)는, 리졸버 스테이터(52)의 내경과 대략 같은 지름의 중심구멍(81)을 가진다.

모터 스테이터(42)의 내측부(42b)에는, 축방향으로 신장되는 관통구멍(42c)이 형성되어 있다. 내측부(42b)의 축방향 하단(리졸버(5)와 반대측의 단부)의 2 개소에, 절결부(42d)가 형성되어 있다. 각 절결부(42d)에 배선 케이블(31, 32)의 외피의 일단이 배치되어 있다. 배선 케이블(31)의 내부 배선의 일단은, 모터 스테이터(42)의 관통구멍(42c)과 리졸버 스테이터(52)의 관통구멍을 통과하여, 리졸버(5)의 회전위치 검출부에 접속되어 있다. 배선 케이블(31)의 타단에 커넥터(31a)가 부착되어 있다.

배선 케이블(32)의 내부 배선의 일단은 모터 코어(42a)에 권회된 코일(43)에 접속되고, 배선 케이블(32)의 타단에 커넥터(32a)(제4가 부착되어 있다. 도 1의 A-A 단면(도 2)에는 배선 케이블(32)의 커넥터는 보이지 않는다. 도 3에서는, 양 배선 케이블(31, 32)의 커넥터가 생략되어 있다.

내측부(42b)의 축방향 하단(리졸버(5)와 반대측의 단부)의 절결부(42d)가 형성되어 있지 않는 6 개소에, 암나사(43e)가 형성되어 있다.

리졸버 로터(51)의 외연부(51a)는 리졸버 커버(8)의 외측에 배치되어 있다. 리졸버 로터(51)의 외연부(51a)의 모터 로터(41) 측의 단면에는, 볼트(B1)의 삽통구멍이 형성되고, 반대측의 단면에는 볼트(B3)를 나합하는 암나사(51b)가 형성되어 있다.

모터 본체(1)의 중심구멍(11)은, 모터 스테이터(42) 및 리졸버 스테이터(52)의 내주면(중심구멍)과, 리졸버 커버(8)의 중심구멍(81)으로 구성되어 있다.

하우징(2)은, 모터 본체(1)의 외주면을 덮는 원통부(21)와, 원통부(21)의 축방향 상측에 마련된, 모터 본체(1)의 회전체에 고정되는 회전 출력부(22)와, 원통부(21)의 축방향 하측에 마련된, 모터 본체(1)의 고정체에 고정되는 고정부(23)로 이루어지고, 원통부(21)와 고정부(23)가 일체로 형성되어 있다.

회전 출력부(22)는, 원통부(21)의 외경과 같은 외경을 가지는 원판형상 부재이고, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)과 같은 직경의 중심구멍(관통구멍)(22a)을 가진다. 회전 출력부(22)의 외연에, 원통부(21) 측에 돌출하는 박육의 주연부(22b)가 형성되어 있다. 회전 출력부(22)에는, 리졸버 로터(51)의 암나사(51b)에 맞춘 볼트구멍(22c)이 형성되고, 볼트구멍(22c)보다 내측에 환형상의 홈(22d)이 형성되어 있다. 회전 출력부(22)의 외연부에 암나사(22e)가 형성되어 있다.

원통부(21)의 축방향 상단(회전 출력부(22) 측)의 내연에는, 회전 출력부(22) 측에 돌출하는 박육의 주연부(21a)가 형성되고, 외연에는, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 함께 래버린스(L)를 형성하는 단부(21b)가 형성되어 있다. 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)의 주연부(21a)로 형성되는 공간에, 오일 시일(9)이 배치되어 있다. 오일 시일(9)은 원통부(21)에 부착되고, 오일 시일(9)의 립부가 회전 출력부(22)에 접촉하고 있다. 즉, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이가, 오일 시일(9)과 래버린스(L)로 이루어지는 밀봉 기구(10)로 밀봉되어 있다.

고정부(23)는, 원통부(21)의 외경으로부터 비어져 나온 플랜지부(23a)를 갖는 원판형상 부재이고, 플랜지부(23a)에 볼트 삽입구멍(23b)이 형성되어 있다. 고정부(23)는, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)과 같은 직경의 중심구멍(관통구멍)(23c)을 가진다. 중심구멍(23c)의 2 개소에, 지름방향 외측에 U자 형상으로 오목한 오목부(23d)가 형성되어 있다. 오목부(23d)의 존재에 의해, 배선 케이블(31, 32)은 구부러지는 일 없이 각 오목부(23d)를 통과하여, 하우징(2)의 외부에 신장된다.

고정부(23)에는, 모터 스테이터(42)의 암나사부(42e)와 맞춘 위치에 볼트 삽입구멍(23e)이 형성되어 있다.

회전 출력부(22)는, 모터 본체(1)의 리졸버 로터(회전체)(51)에 볼트(B3)로 고정되어 있다. 고정부(23)는, 모터 본체(1)의 모터 스테이터(고정체)(42)의 내측부(42b)에 볼트(B4)로 고정되어 있다.

원통부(21)와 고정부(23)가 일체화된 부재(하우징 베이스)는, 알루미늄의 절삭 가공이나 다이캐스트법에 의해 얻을 수 있고, 회전 출력부(22)도 마찬가지로 하여 얻을 수 있다. 오일 시일(9)의 립부가 접동하는 회전 출력부(22)의 면은, 알루마이트 가공 등을 행하고, 경도를 올려 표면 거칠기를 작게 해둘 필요가 있다.

이 모터(A)는, 예를 들어, 도 2에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 중심구멍(61a)을 가지는 기대(61)의 위에 고정부(23)를 고정하고, 회전 출력부(22)의 위에 중심구멍(62a)을 가지는 테이블(부착 회전체)(62)을 고정하여 사용할 수 있다. 기대(61)에 대한 테이블(62)의 고정은, 볼트 삽통구멍(23b)을 통과한 볼트(B5)를, 기대(61)의 암나사에 나합함으로써 행해진다. 회전 출력부(22)에 대한 테이블(62)의 고정은, 테이블(62)의 볼트 삽통구멍을 통과한 볼트(B6)를, 회전 출력부(22)의 암나사(22e)에 나합함으로써 행해진다.

이와 같이 하면, 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자 부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송 장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수가 있다.

그때에, 회전 출력부(22)의 홈(22d)에 시일재(63)로서의 O링을 배치함으로써, 테이블(62)과 모터(A)의 축방향 상측과의 방수성을 얻을 수 있다. 기대(61)의 상면에 환형상의 홈(61b)을 마련하여, 홈(61b)에 시일재(63)로서의 O링을 배치하거나, 모터(A)를 설치한 상태로, 고정부(23)의 플랜지부(23a)와 기대(61)와의 모서리부를 코킹재(시일재)(64)로 시일하는 등에 의해, 테이블(62)과 모터(A)의 하측과의 방수성을 얻을 수 있다.

이 실시형태의 모터(A)는, 하우징(2)의 중심구멍(22a, 23c)과 모터 본체(1)의 중심구멍(11)이 연통하고 있으되, 이들의 중심구멍에 대한 밀봉 기구를 갖지 않는다. 이것은, 앞에서 설명한 바와 같이, 통상의 사용에 있어서는, 모터의 외주면의 방수성만을 고려하면 되기 때문이고, 문제가 없다. 그리고, 이로 인해, 이 실시형태의 방수 모터는, 부품 개수가 적어 코스트가 낮은 것으로 되어 있다. 또한, 부품 개수가 적음으로써 조립, 분해가 용이하고 생산성과 메인테넌스성이 높은 것으로 되어 있다.

이 실시형태의 모터(A)는, 또한 접동에 의해 소모되는 부품이 1 개소에 부착한 오일 시일(9)뿐이기 때문에, 메인테넌스시의 공수와 교환 부품의 코스트가 낮은 것으로 되어 있다.

이 실시형태의 모터(A)는, 또한 오일 시일(9)과 래버린스(L)에 의해, 방수성능뿐만 아니라 방진 성능도 갖는다.

이 실시형태의 모터(A)는, 또한, 원통부(21)가 고정부(23)와 일체로 형성되어 있기 때문에, 원통부(21)가 회전 출력부(22)와 일체로 형성되어 있는 것과 비교하여 이너시아를 작게 할 수 있는 효과가 있다.

또한, 고정부(23)에 에어 퍼지용의 구멍을 마련함으로써, 오일 시일(9)의 기능이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 이 실시형태의 모터(A)는, 에어 퍼지 기구를 간단하게 마련할 수 있는 효과도 가진다.

이 실시형태의 모터(A)는, 비 방수 커넥터가 부착된 배선 케이블을 가지는 비 방수 모터로 이루어지는 모터 본체(1)를, 고정부(23)와 원통부(21)가 일체화된 하우징 베이스에 넣고, 회전 출력부(22)로 뚜껑을 덮어, 오일 시일(9)의 립부를 회전 출력부(22)에 접촉시키고, 모터 본체(1)와 하우징(2)을 볼트(B3, B4)로 고정함으로써 얻을 수가 있다.

그리고, 하우징(2)은, 원통부(21)가 회전 출력부(22)와 일체로 형성되어 있는 것이라도 좋다.

또한 오일 시일(9)은, 회전 출력부(22)에 고정되고, 오일 시일(9)의 립부가 원통부(22)에 접촉하고 있어도 좋다.

또한, 용도에 따라서는, 오일 시일(9)을 설치하지 않고, 래버린스(L)만으로 할 수도 있다.

또한, 밀봉 기구(10)는, 오일 시일(9)과 같이, 립부를 하나만 갖는 것을 사용하여도 좋고, 더스트 립과 시일 립의 양쪽을 갖는 것을 사용하여도 좋다.

[제2 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 도 1의 A-A 단면이 도 4에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 2에 나타내는 제1 실시형태와 같다. 도 4에 있어서, 도 2에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 이 실시형태의 모터(A)에서는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 외연에, 원통부(21) 측에 돌출하는 박육의 주연부(22b)가 형성되어 있는데, 그 단면은 외주측에 지름이 확대되는 테이퍼면(22f)으로 되어 있다. 이 테이퍼면(22f)과 소정 극간으로 대향되는 테이퍼면(21d)이, 원통부(21)의 축방향 일단(회전 출력부(22)측)의 외연부에 형성되어 있다. 즉, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이가 오일 시일(9)만으로 밀봉되어, 밀봉 기구(10)를 구성하고 있다. 오일 시일(9)의 외주측은 둘러싸여 있으나, 래버린스로 이루어지는 밀봉 기구를 가지고 있지 않다.

따라서, 이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 제1 실시형태의 모터(A)와 같은 효과에 더하여, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)와 오일 시일(9)로 형성되는 공간(K) 내의 액체가, 주연부(22b)의 테이퍼면(22f)과 원통부(21)의 테이퍼면(21d)과의 극간으로부터, 모터(A)의 회전 시에 원심력으로 배출된다고 하는 효과도 얻을 수 있다. 즉, 이 실시형태의 모터(A)는, 공간(K) 내의 액체가 모터 본체(1) 내에 침입하는 것을 방지할 수 있는 효과가, 제1 실시형태의 모터(A)보다도 높다.

[제3 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 도 1의 A-A 단면이 도 5에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 2에 나타내는 제1 실시형태와 같다. 도 5에 있어서, 도 2에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 이 실시형태의 모터(A)에서는, 회전 출력부(22)의 외연에, 원통부(21) 측에 돌출하는 박육의 주연부(22b)가 형성되어 있지 않다. 또한, 원통부(21)의 축방향 상단(회전 출력부(22) 측)의 외연부에, 단부(21b)가 형성되어 있지 않다. 말하자면, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이가 오일 시일(9)만으로 밀봉되어 밀봉 기구(10)를 구성하고, 오일 시일(9)의 외주측은 개방되어 있다.

따라서, 이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 제1 실시형태의 모터(A)와 같은 효과에 더하여, 회전 출력부(22)의 외연에 박육의 주연부(22B)가 형성되어 있지 않음으로써 회전 출력부(22)의 형상이 간단하게 되기 때문에, 코스트를 저감할 수 있다고 하는 효과도 얻을 수 있다.

그리고, 제1 내지 제3 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

[제4 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 6에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 2에 나타내는 제1 실시형태와 같다. 도 6에 있어서, 도 2에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 6에 나타내는 모터(A)에 있어서, 원통부(21)의 축 방향 1 개소에서만 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 밀봉하는 시일재(12)를 가지고, 회전 출력부(22)는, 시일재(12)가 접촉하는 시일 접촉면(22h)의 경도가 그 시일 접촉면(22h) 이외의 부분의 경도보다도 높은 경량재로 이루어져 있다.

시일재(12)는, 바람직하게는 오일 시일로 구성되고, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)의 주연부(21a)로 형성되는 공간에 배치되어 있다. 시일재(12)는, 원통부(21)에 부착되고, 시일재(12)의 립부가 회전 출력부(22)의 시일 접촉면(22b)에 접촉하고 있다.

여기서, 통상은, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면(22h)은, 경도가 필요하기 때문에, 회전 출력부(22)의 모재를 철강재로 하고, 무전해 니켈을 수행한 것을 필요로 한다. 이로써, 회전 출력부의 전체가 철강재이기 때문에 매우 무겁다. 이에 대해, 본 실시형태의 모터(A)에서는, 회전 출력부(22)는 시일 접촉면(22h)의 경도를 그 시일 접촉면(22h) 이외의 부분의 경도보다도 높게 한 경량재로 이루어져 있다. 이 때문에, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면(22h)에 필요한 경도를 확보한 다음에 회전 출력부(22)의 경량화, 저 이너시아화를 실현할 수가 있다.

그리고, 회전 출력부(22)는, 적어도 시일 접촉면(22h)에 경도 향상처리가 이루어진 것이고, 그 경도 향상처리는 표면처리이다. 또한, 회전 출력부(22)의 경량재가 알루미늄재이다. 본 실시형태의 모터(A)에서는, 회전 출력부(22)가 시일 접촉면(22h)에 경질인 표면처리를 수행한 알루미늄재를 사용함으로써, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면(22h)에 필요한 경도를 확보한 다음에 회전 출력부(22)의 경량화, 저 이너시아화를 실현할 수 있다.

또한, 회전 출력부(22)에 열 전도율이 높은 알루미늄재를 사용함으로써, 방열성이 향상되고, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

여기서 "알루미늄재"라 함은, 주로 알루미늄으로 이루어지는 재료로, 알루미늄 합금이 포함된다. 또한, 표면처리로서는, 양극 산화 처리가 적합하다.

또한, 이 모터(A)에 있어서, 앞에서 설명한 경도 향상처리가 열 처리이고, 앞에서 설명한 경량재가 초경 두랄루민이어도 좋다.

또한, 모터(A)에 있어서, 회전 출력부(22)의 시일 접촉면(22h)의 면 거칠기를 Ra 0.05~1.60으로 하고, 시일재(12)의 내경과 그 시일재(12)를 부착하는 시일 부착부(원통부(21)에 형성된 주연부(21a))의 외경과의 끼워 맞춤을 5.0~25.00 mm의 조임 끼워맞춤으로 하고 있다.

또한, 모터(A)의 제1 실시형태의 설명에서 설명한 바와 같이, 모터 본체(1)는 아우터 로터형이고, 모터 본체(1)에는, 내측에 리졸버 스테이터(52)를, 리졸버 스테이터(52)의 외주측에 리졸버 로터(51)를 갖는 리졸버(5)가 내장되어 있다. 그리고, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 회전 출력부(22)와 리졸버 로터(51)를 일체화하고, 회전 출력부(22)와 리졸버 로터(51)를 일체화한 부분에 형성된 볼트용 관통구멍(22g)을 개재시켜 볼트(B1)에 의해, 회전 출력부(22)와 리졸버 로터(51)를 일체화한 부재를 모터 로터(41)에 부착하고 있다.

여기서, 리졸버(5)는, 자기를 이용하는 센서이기 때문에, 리졸버(5)의 리졸버 로터(51)를 포함하는 주면 부재에는, 자기 영향이 적은 비자성 재료를 사용할 필요가 있다. 따라서, 종래에 있어서는, 리졸버(5)의 리졸버 로터(51)를 포함하는 주변 부재와 철강재로 구성되는 회전 출력부(22)는 일체화할 수 없었다. 본 실시형태의 모터(A)에서는, 회전 출력부(22)에 알루미늄재나 초경 두랄루민의 비자성 재료를 이용하고 있으므로, 리졸버(5)의 리졸버 로터(51)와 회전 출력부(22)를 일체화하고 있다. 리졸버(5)의 리졸버 로터(51)와 회전 출력부(22)를 비자성 재료를 사용하여 일체화함으로써, 열 전도율이 높아지고, 방열성이 향상되어 발열에 의한 모터(A)의 정격 출력의 제한을 완화할 수 있게 된다.

그리고 리졸버(5)의 리졸버 로터(51)와 회전 출력부(22)를 일체화하고, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면에 마련한 시일재(63)의 홈(22d)을 리졸버 로터(51)보다도 외주측에 마련하고, 회전 출력부(22)에는, 회전 출력부(22)의 회전축 중심으로부터 시일재(63)용의 홈(22d)의 내측으로서 리졸버 로터(51) 근방에 도달하는 부분에까지 개구하는 개구부(22i)를 마련하고 있다.

이 개구부(22i)의 직경은, 모터(A)의 중심구멍(11)의 직경, 즉, 도 2에 나타낸 제1 실시형태의 모터(A)의 회전 출력부(22)에 형성된 중심구멍(관통구멍)(22a)의 직경보다도 크다. 이 때문에, 배선 배관의 자유도를 제1 실시형태에 비해 증가시킬 수 있다. 또한, 개구부(22i)는, 회전 출력부(22)의 회전축 중심으로부터 시일재(63)용의 홈(22d)의 내측으로서 리졸버 로터(51) 근방에 도달하는 부분에까지 개구하므로, 리졸버(5)의 부품 교환이나 조정이 직경이 큰 개구부(22i)를 개재시켜 용이하게 행할 수가 있다.

그리고, 시일재(63)용의 홈(22d)은, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면에 마련하는 일 없이, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다. 이로써, 회전 출력부(22)의 구조를 간소화할 수 있는 동시에, 레이아웃의 자유도를 높게 할 수가 있다.

또한, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련하고 있어, 고가인 방수 사양을 채용하지 않아도 된다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자 부품 등을 올려 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 제4 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

또한, 모터 본체(1)는, 내주측이 회전하는 이너 로터형이어도 좋다.

[제5 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 7에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 2에 나타내는 제1 실시형태와 같다. 도 7에 있어서, 도 2에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 7에 나타내는 모터(A)에 있어서, 원통부(21)의 축방향 1 개소에서만 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)을 구성한다.

이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 액체가 외부에서 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 액체침입 방지수단(시일)의 수를 삭감하고, 저코스트 구조를 실현하는 동시에, 메인테넌스에 소요되는 시간과 노력도 삭감할 수 있다.

그리고, 액체침입 방지수단(13)은, 오일 시일(9)로 구성되어 있고, 이 오일 시일(9)은, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)의 주연부(21a)로 형성되는 공간에 배치되어 있다. 오일 시일(9)은, 원통부(21)에 부착되고, 오일 시일(9)의 립부가 회전 출력부(22)에 접촉하고 있다. 이로써, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이가, 오일 시일(9)로 밀봉되어 있다.

그리고, 액체침입 방지수단(13)은, 오일 시일(9)이 아닌, 더스트 시일이나, 베어링 시일부에 사용되는 것과 같은 저회전 저항시일이어도 좋다.

액체침입 방지수단(13)이 오일 시일(9)인 경우에는, 회전 부재(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도를 높게 하기 위해, 회전 부재(22)에 사용하는 재료가 한정되거나, 시일 접촉면에 표면처리를 할 필요성이 생기거나 한다. 그러나, 액체침입 방지수단(13)으로서, 더스트 시일이나 저회전 저항시일을 사용하는 경우, 회전 출력부(22) 및 회전 출력부(22)에 수행하는 표면처리를 자유롭게 선택할 수 있다. 또한, 액체침입 방지수단(13)으로서, 더스트 시일이나 저회전 저항시일을 사용하는 경우, 회전 저항이 적고 효율이 높은, 에너지 절약 모터(A)로 할 수 있다. 또한, 모터(A)의 출력을 향상시킬 수 있고, 마찰에 의한 발열이 적기 때문에 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올리고 있다. 구체적으로 설명하면, 하우징(2)의 고정부(23) 및 모터부 커버(7)에, 고정부(23)의 저면으로부터 모터부 커버(7)의 관통구멍(72)까지 신장되는 내압용 기도(23g)를 마련하고 있다. 이 내압용 기도(23g)의 고정부(23)의 외부에는, 호스(82)가 접속되고, 그 호스(82)로부터 화살표 X 방향으로 에어가 공급된다. 그리고, 호스(82)에서 화살표 X방향으로 공급된 에어는, 내압용 기도(23g)를 통과하여 모터부 커버(7)의 관통구멍(72)으로부터 모터 본체(1) 내로 들어간다. 이로써, 모터 본체(1) 내의 내압을 올릴 수가 있다. 이것에 의해, 액체침입 방지수단(13)의 부위에 있어서도 내압이 외압보다도 높아져 보다 효과적으로 외부에서 액체가 침입하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다. 이로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다.

더욱이, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 앞에서 설명한 바와 같이, 아우터 로터형이다.

또한, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련하고 있고, 고가인 방수 사양을 채용하지 않아도 된다.

또한 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자 부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 제5 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기)를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 본 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

[제6 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 8에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 7에 나타내는 제5 실시형태와 같다. 도 8에 있어서, 도 7에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 8에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 도 7에 나타내는 모터(A)에 대해, 액체침입 방지수단(13)이, 추가로 래버린스(L)를 갖고 있다. 구체적으로 설명하면, 액체침입 방지수단(13)은, 오일 시일(9)과 래버린스(L)로 이루어져 있다.

그리고, 오일 시일(9)은, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)의 주연부(21a)로 형성되는 공간에 배치되어 있다. 오일 시일(9)은, 원통부(21)에 부착되고, 오일 시일(9)의 립부가 회전 출력부(22)에 접촉하고 있다.

또한, 원통부(21)의 축방향 상단에는, 외경을 다르게 하는 단차(21c)가 형성되고, 래버린스(L)는, 원통부(21)의 단차(21c)에 의한 소경 부분의 외주면과 회전 출력부(22)의 주연부(21a)의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 원통부(21)의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차(21c)의 면과 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 오일 시일(9)과 래버린스(L)에 의해 구성되는 액체침입 방지수단(13)에 의해, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 용도에 따라서 오일 시일(9)이 아닌, 더스트 시일이나, 베어링 시일부에 사용될 수 있는 저회전 저항 시일이어도 좋다.

또한, 제6 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 액체침입 방지수단의 수를 삭감하고, 저코스트 구조를 실현할 수 있는 동시에, 메인테넌스에 소요되는 시간과 노력을 삭감할 수 있다.

또한, 제6 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올려도 좋다.

또한, 제6 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제6 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제5 실시형태와 마찬가지로 아우터 로터형이다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자 부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 제6 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

[제7 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 9에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 제6 실시형태와 같다. 도 9에 있어서, 도 8에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 9에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 액체침입 방지수단(13)이, 오일 시일(9)를 갖지 않고, 래버린스(L)만으로 구성되어 있다.

여기서, 래버린스(L)는, 원통부(21)의 단차(21c)에 의한 소경 부분의 외주면과 회전 출력부(22)의 주연부(21a)의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 원통부(21)의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차(21c)의 면과 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 래버린스(L)에 의해 구성되는 액체침입 방지수단(13)에 의해, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 보다 확실한 액체침입방지를 도모하기 위해서는, 제6 실시형태와 같이 래버린스(L)를 오일 시일(9)과 조합한 방식이 좋으나, 용도에 따라서는, 래버린스(L)만으로 충분한 경우도 있다. 오일 시일(9)을 사용하고 있지 않기 때문에, 제조 코스트가 삭감될 뿐만 아니라, 오일 시일(9)의 교환도 필요 없기 때문에, 메인테넌스성이 뛰어나다. 또한, 액체침입 방지수단(13)이 비접촉으로 되어, 오일 시일(9)을 사용하는 경우와 달리, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도나 표면 거칠기의 제약을 면할 수 있는 동시에, 회전 저항을 줄일 수 있어 모터 출력의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 오일 시일의 마찰에 의한 발열이 없기 때문에, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

이 제7 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A) 및 제6 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있다.

또한, 제7 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A) 및 제6 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올려도 좋다. 제7 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 액체침입 방지수단(13)이 래버린스(L) 뿐이므로, 액체침입에 대해 에어 퍼지가 특히 유효하게 기능한다.

또한, 제7 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A) 및 제6 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제7 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태의 모터(A) 및 제6 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하게 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 제7 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제5 실시형태의 모터(A) 및 제6 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자 부픔 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송 장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 제7 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

[제8 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 10에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 9에 나타내는 제7 실시형태와 같다. 도 10에 있어서, 도 9에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 10에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 액체침입 방지수단(13)은, 래버린스(L)의 근방에 다공질 부재(14)를 구비하고 있다.

구체적으로 설명하면, 래버린스(L)는, 원통부(21)의 단차(21c)에 의한 소경 부분의 외주면과 회전 출력부(22)의 주연부(21a)의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 원통부(21)의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차(21c)의 면과 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있다.

그리고, 원통부(21)의 소경 부분의 외주에는, 그 외주로부터 파고들어간 원환형상의 오목홈이 형성되고, 그 오목홈 내에 원환형상의 다공질 부재(14)가 배치되어 있다. 다공질 부재(14)는, 원환형상이되, 그 조립상, 복수 개의 부재를 조합하여 구성된다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 래버린스(L)의 근방에 다공질 부재(14)가 있음으로써, 래버린스(L)에 들어온 액체가 조금이면, 모세관현상에 의해 흡수할 수 있다.

또한, 원통부(61)의 소경 부분에는, 모터 본체(1)의 내부와 다공질 부재(14)를 잇는 다공질 부재용 기도(21f)가 마련되어 있다. 이로써, 에어 퍼지를 행하였을 때(제8 실시형태의 모터(A)에 있어서, 제5 실시형태 내지 제7 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올렸을 때)에, 다공질 부재(14)로부터 회전 출력부(22)의 주연부(22b)를 향하여 균질인 에어가 불어나와, 래버린스(L)로부터의 액체의 침입을 방지할 수 있다.

그리고 에어 퍼지는, 제5 실시형태의 모터(A)로 설명한 바와 같이, 하우징(2)의 고정부(23) 및 모터부 커버(7)에 마련한 내압용 기도(23g)에 호스(82)를 접속하고, 그 호스(82)에서 화살표 X 방향으로 에어를 공급함으로써 행한다.

이 제8 실시형태의 모터(A)에 있어서도, 액체침입 방지수단(13)이 비접촉이 되고, 오일 시일(9)을 사용하는 경우와 달리, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도나 표면 거칠기의 제약을 면할 수 있는 동시에, 회전 저항을 줄일 수 있어 모터 출력의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 오일 시일의 마찰에 의한 발열이 없기 때문에, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

이 제8 실시형태의 모터(A)에 있어서도, 제5 실시형태 내지 제7 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있다.

또한, 제8 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태 내지 제7 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제8 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제5 실시형태 내지 제7 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 제8 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제5 실시형태 내지 제7 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

또한, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련되어 있어, 고가인 방수사양을 채용하지 않아도 된다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자 부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송 장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 제8 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

그리고, 제5 내지 제8 실시형태의 모터(A)에 있어서 모터 본체(1)는, 아우터 로터형이 아닌, 내주측이 회전하는 이너 로터형이어도 좋다.

[제9 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 11에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 7에 나타내는 제5 실시형태와 같다. 도 11에 있어서, 도 7에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 11에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 도 7에 나타내는 모터(A)와 마찬가지로, 원통부(21)의 축방향 1 개소 만으로 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)을 구성한다.

이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 제5 실시형태에 나타내는 모터(A)와 마찬가지로, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 액체침입 방지수단(시일)의 수를 삭감하고 저 코스트 구조를 실현하는 동시에, 메인테넌스에 소요되는 시간과 수고도 삭감할 수 있다.

그리고, 액체침입 방지수단(13)은, 오일 시일(9) 및 래버린스(L)로 구성되어 있다.

여기서, 오일 시일(9)은, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)의 주연부(21a)로 형성되는 공간에 배치되어 있다. 오일 시일(9)은, 원통부(21)에 부착되고, 오일 시일(9)의 립부가 회전 출력부(22)에 접촉되어 있다.

그리고, 이 래버린스(L)에 있어서, 원통부(21)의 소경 부분의 외경 및 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 내경은, 원통부(21)의 축방향 상측에서 축방향 하측으로 향하여 커지도록, 회전 출력부(22)의 회전축(CL)에 대해 각도 θ로 경사져 있다.

래버린스(L)를 이와 같은 테이퍼 형상으로 함으로써, 래버린스(L)에 침입한 액체에는 모터 회전시의 원심력이 작용하여, 액체의 침입을 방지하는 동시에, 침입한 액체를 강제적으로 래버린스(L)로부터 배출할 수 있다.

또한, 래버린스(L)를 이와 같은 테이퍼 형상으로 함으로써, 모터(A)의 조립시에 있어서, 하우징(2)의 원통부(21)와 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 끼워넣음이 쉽고, 조립성 및 메인테넌스성을 향상시킬 수 있다.

래버린스(L)의 앞에서 설명한 각도 θ는, 1°이상 20°이하, 바람직하게는 5°이상 15°이하가 좋다. 각도 θ가 1°미만인 경우에는, 원심력에 의한 배수성의 효과나 조립성 및 메인테넌스성 향상의 효과를 얻을 수 없기 때문에 바람직하지 않다. 또한, 각도 θ가 20°보다도 큰 경우에는, 액체에 작용하는 중력의 영향이 적어지고, 배수성이 저하되는 동시에, 래버린스(L)의 거리가 확보되기 어려워져, 액체나 이물질의 침입을 방지할 수 없게 될 우려가 있어 바람직하지 않다.

그리고, 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 용도에 따라 오일 시일(9)이 아닌, 더스트 시일이나, 베어링 시일부에 사용되는 그러한 저회전 저항 시일을 사용하여도 좋다.

오일 시일(9)을 사용하는 경우에는, 회전 부재(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도를 높게 하기 위해, 회전 부재(22)에 사용하는 재료가 한정되거나, 시일 접촉면에 표면처리를 할 필요성이 생기거나 한다. 그러나, 더스트 시일이나 저회전 저항 시일을 사용하는 경우, 회전 출력부(22) 및 회전 출력부(22)에 수행하는 표면처리를 자유롭게 선택할 수 있다. 또한, 더스트 시일이나 저회전 저항 시일을 사용하는 경우, 회전 저항이 적고 효율이 높은, 에너지 절약 모터(A)로 할 수가 있다. 또한, 모터(A)의 출력을 향상시킬 수 있고, 마찰에 의한 발열이 적기 때문에 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 7에 나타내는 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올려도 좋다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 7에 나타내는 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다. 이로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다.

더욱이, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 7에 나타내는 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 7에 나타내는 제5 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 모터 본체(1)는, 아우터 로터형이다.

또한, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련하고 있어, 고가인 방수사양을 채용하지 않아도 된다.

또한, 제9 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

[제10 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 12에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 11에 나타내는 제9 실시형태와 같다. 도 12에 있어서, 도 11에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 12에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 액체침입 방지수단(13)이, 오일 시일(9)을 갖지 않고, 래버린스(L)만으로 구성되어 있다.

여기서, 래버린스(L)는 원통부(21)의 단차(21c)에 의한 소경 부분의 외주면과 회전 출력부(22)의 주연부(21a)의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 원통부(21)의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차(21c)의 면과 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있다. 그리고, 이 래버린스(L)에 있어서, 원통부(21)의 소경 부분의 외경 및 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 내경은, 원통부(21)의 축방향 상측에서 축방향 하측으로 향하여 커지도록, 회전 출력부(22)의 회전축(CL)에 대해 각도 θ로 경사져 있다.

그리고, 보다 확실한 액체침입방지를 도모하기 위해서는, 도 11에 나타내는 제9 실시형태의 모터(A)와 같이, 래버린스(L)를 오일 시일(9)과 조합하는 편이 좋으나, 용도에 따라서는, 래버린스(L)만으로 충분한 경우도 있다. 오일 시일(9)을 사용하지 않고 있기 때문에, 제조 코스트가 삭감될 뿐만 아니라, 오일 시일(9)의 교환도 필요 없기 때문에, 메인테넌스성이 뛰어나다. 또한, 액체침입 방지수단(13)이 비접촉으로 되어, 오일 시일(9)을 사용하는 경우와 달리, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도나 표면 거칠기 조도의 제약을 면할 수 있는 동시에, 회전 저항을 줄일 수 있어, 모터 출력의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 오일 시일의 마찰에 의한 발열이 없기 때문에, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

이 제10 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 11에 나타내는 제9 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있다.

또한, 제10 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제9 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올려도 좋다. 제10 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 액체침입 방지수단(13)이 래버린스(L)뿐이므로, 액체침입에 대해 에어 퍼지가 특히 유효하게 기능한다.

또한, 제10 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 11에 나타내는 제9 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제10 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 11에 나타내는 제9 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 제10 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 도 11에 나타내는 제9 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

또한, 제10 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

[제11 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 13에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 12에 나타내는 제10 실시형태와 같다. 도 13에 있어서, 도 12에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 13에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 액체침입 방지수단(13)은, 래버린스(L)의 근방에 다공질 부재(14)를 구비하고 있다.

구체적으로 설명하면, 래버린스(L)는, 원통부(21)의 단차(21c)에 의한 소경 부분의 외주면과 회전 출력부(22)의 주연부(21a)의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 원통부(21)의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차(21c)의 면과 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있다. 그리고, 이 래버린스(L)에 있어서, 원통부(21)의 소경 부분의 외경 및 회전 출력부(22)의 주연부(22b)의 내경은, 원통부(21)의 축방향 상측으로부터 축방향 하측으로 향하여 커지도록, 회전 출력부(22)의 회전축(CL)에 대해 각도 θ로 경사져 있다.

그리고, 원통부(21)의 소경 부분의 외주에는, 그 외주로부터 파고들어간 원환형상의 오목홈이 형성되고, 이 오목홈 내에 원환형상의 다공질 부재(14)가 배치되어 있다. 다공질 부재(14)는, 원환형상이되, 그 조립상, 복수 개의 부재를 조합하여 구성된다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 래버린스(L)의 근방에 다공질 부재(14)가 있음으로써, 래버린스(L)에 들어온 액체가 적으면, 모세관 현상에 의해 흡수할 수 있다.

또한, 원통부(61)의 소경 부분에는, 모터 본체(1)의 내부와 다공질 부재(14)를 잇는 다공질 부재용 기도(21f)가 마련되어 있다. 이로써, 에어 퍼지를 행하였을 때에, 다공질 부재(14)로부터 회전 출력부(22)의 주연부(22b)를 향하여 균질인 에어가 불어나와, 래버린스(L)로부터의 액체의 침입을 방지할 수 있다.

그리고, 에어 퍼지는, 하우징(2)의 고정부(23) 및 모터부 커버(7)에 마련한 내압용 기도(23g)에 호스(82)를 접속하고, 그 호스(82)에서 화살표 X 방향으로 에어를 공급하는 것에 의해 행한다.

이 제11 실시형태의 모터(A)에 있어서도, 도 12에 나타내는 제10 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 액체침입 방지수단(13)이 비접촉으로 되고, 오일 시일(9)을 사용하는 경우와 달리, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도나 표면 거칠기의 제약을 면할 수 있는 동시에, 회전 저항을 줄일 수 있어 모터 출력의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 오일 시일의 마찰에 의한 발열이 없기 때문에, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

이 제11 실시형태의 모터(A)에 있어서도, 제9 실시형태 및 제10 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있다.

또한, 제11 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제9 실시형태 및 제10 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제11 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제9 실시형태 및 제10 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 제11 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제9 실시형태 및 제10 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 제11 실시형태에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

그리고 제9 내지 제11 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 아우터 로터형이 아닌, 내주측이 회전하는 이너 로터형이어도 좋다.

[제12 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 14에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 2에 나타내는 제1 실시형태와 같다. 도 14에 있어서, 도 2에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

도 14에 나타내는 모터(A)에 있어서, 원통부(21)의 축방향 1 개소에서만 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)을 구성하고, 나아가, 액체가 내부에 침입하였을 때에 고장을 방지하는 고장방지수단(90)을 구비하고 있다.

여기서, 이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 액체침입 방지수단(시일)의 수를 삭감하고, 저코스트 구조를 실현하는 동시에 메인테넌스에 소요되는 시간과 수고도 삭감할 수 있다.

또한, 고장방지수단(9)은 액체감지센서(91)이고, 원통부(21)의 축방향 하측에 마련된 하우징(2)의 고정부(23)에 설치되어 있다. 이 액체감지센서(91)는, 하우징(2)의 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 모터 본체(1)의 내부에 침입함 액체를 감지할 수 있다. 액체감지센서(91)는, 액체를 감지하였을 때는, 이상신호를 발하여 코드(92)를 통해 도시하지 않은 이상 램프 등의 이상통지수단에 그 이상신호를 보낸다. 그리고, 이상통지수단은, 이상신호를 수신하였을 때에, 액체의 침입에 의한 이상을 소리나 빛 등으로 작업자에게 통지한다. 또한, 액체감지센서(91)를 도시하지 않은 모터(A)의 제어기에 접속해 두고, 액체감지센서(91)로부터의 이상신호를 그 제어기에 송신하도록 하여, 그 제어기로 모터(A)를 안전한 위치에서 정지하도록 하여도 좋다.

작업자는, 액체의 침입에 의한 이상통지를 받아, 모터 본체(1)로의 액체의 침입에 대해 액체침입 방지수단(13)의 교환 등의 적절한 처치를 행할 수 있다. 이와 같이, 제12 실시형태의 모터(A)에 의하면, 물이나 기름 등의 액체가 모터 본체(1) 내에 고이는 것을 미연에 방지하고, 모터(A)의 고장을 방지할 수 있다.

그리고, 고장방지수단(90)을 구성하는 액체감지센서(91)가 설치되는 고정부(23)는, 원통부(21)의 축방향에 대해 경사지는 경사부(93)와, 경사부(93)의 축방향 가장 하측 부분으로부터 수평하게 신장되는 저면부(94)를 가지고, 액체감지센서(91)는 저면부(94) 상에 설치되어 있다. 이로써, 모터 본체(1) 내에 침입한 액체는, 중력으로 집약되어 액체감지센서(91)에 모이므로, 액체감지센서(91)에서의 검지가 보다 조기에 가능하게 되어, 모터(A)의 고장 가능성을 보다 낮게 억제할 수 있다.

그리고, 경사부(93)의 경사방법은, 원통부(21)의 축방향에 대해 경사져 있으면 된다. 도 14에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 경사부(93)는, 고정부(23)의 내주측이 축방향에서 상측의 높은 위치에 위치하고, 고정부(23)의 외주측이 축방향에서 하측의 낮은 위치에 위치하고 있되, 그 반대로, 고정부(23)의 내주측이 축방향에서 하측의 낮은 위치에 위치하고, 고정부(23)의 외주측이 축방향에서 상측의 높은 위치에 위치하고 있어도 좋다. 또한, 경사부(93)는, 고정부(23)의 지름방향으로 높이를 변화시키는 경우뿐만 아니라, 둘레방향으로 높이를 변화시키는 것이라도 좋다. 어쨌든, 저면부(94)가 경사부(93)의 축방향 가장 하측 부분으로부터 수평하게 신장되도록 구성되고, 그 저면부(94) 상에 액체감지센서(91)가 설치된다.

[제13 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 15에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 14에 나타내는 제12 실시형태와 같다. 도 15에 있어서, 도 14에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

도 15에 나타내는 모터(A)에 있어서, 원통부(21)의 축방향 1 개소에서만 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부에 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)을 구성하고, 나아가, 액체가 내부에 침입하였을 때에 고장을 방지하는 고장방지수단(90)을 구비하고 있다.

여기서, 이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 액체침입 방지수단(시일)의 수를 삭감하고, 저코스트 구조를 실현하는 동시에, 메인테넌스에 소요되는 시간과 수고도 삭감할 수 있다.

또한, 고장방지수단(90)은, 원통부(21)의 축방향 하측에 마련된 하우징(2)의 고정부(23)에 형성된 액체통과구멍(95)이다. 액체통과구멍(95)은, 고정부(23)의 축방향 상면으로부터 축방향 하면을 관통하도록 형성되어 있다. 이 액체통과구멍(95)은, 하우징(2)의 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 모터 본체(1)의 내부에 침입한 액체를 하우징(2)의 축방향 아래쪽 측으로 추방시킬 수 있다. 액체가 모터 본체(1) 내에 침입하였을 때, 액체는 중력으로 아래쪽으로 흐르고, 액체가 액체통과구멍(95)에 도달하면, 액체통과구멍(95)을 통과하여 하우징(2)의 아래쪽 측으로 배출된다. 액체통과구멍(95)이 없으면, 액체가 모터 본체(1) 내에 침입하였을 때, 액체는 고정부(23) 상에 고여버리는데, 액체통과구멍(95)이 있음으로써, 액체는 액체통과구멍(95)을 통과하여 하우징(2)의 아래쪽 측으로 배출된다. 이로써, 모터 본체(1) 내에 침입한 액체가 하우징(2) 내에 고이는 것을 방지할 수 있다. 또한, 모터 본체(1)의 내부에 공기를 불어넣는 에어 퍼지 등에 의해, 내압을 올림으로써, 액체가 액체통과구멍(95)으로부터 보다 빠져나가기 쉽게 되어, 모터(A)의 고장 가능성을 보다 낮게 억제할 수 있다.

그리고, 고장방지수단(90)을 구성하는 액체통과구멍(95)이 형성되는 고정부(23)는, 도 14에 나타내는 제12 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 원통부(21)의 축방향에 대해 경사지는 경사부(93)와, 경사부(93)의 축방향 가장 하측 부분으로부터 수평하게 신장되는 저면부(94)를 가지고 있다. 그리고, 액체통과구멍(95)은, 저면부(4)에 축방향 상하로 관통하도록 형성되어 있다. 이로써, 모터 본체(1) 내에 침입한 액체는, 중력으로 집약되어 액체통과구멍(95)에 모이므로, 액체통과구멍(95)에 의한 액체탈출효율이 상승되어, 액체가 고이는 양을 줄일 수 있고, 모터(A)의 고장 가능성을 보다 낮게 억제할 수 있다.

그리고, 경사부(93)의 경사방법은, 도 14에 나타내는 제12 실시형태와 마찬가지로 원통부(21)의 축방향에 대해 경사져 있으면 된다. 도 15에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 경사부(93)는, 고정부(23)의 내주측이 축방향에서 상측의 높은 위치에 위치하고 고정부(23)의 외주측이 축방향에서 하측의 낮은 위치에 위치하고 있는데, 그 반대로 고정부(23)의 내주측이 축방향에서 하측의 낮은 위치에 위치하고, 고정부(23)의 외주측이 축방향에서 상측의 높은 위치에 위치하고 있어도 좋다. 또한, 경사부(93)는, 고정부(23)의 지름방향으로 높이를 변화시키는 경우뿐만 아니라, 둘레방향으로 높이를 변화시키는 것이라 하더라도 좋다. 어쨌든, 저면부(94)가 경사부(93)의 축방향 가장 하측 부분으로부터 수평하게 신장되도록 구성되고, 저면부(94)를 축방향 상하로 관통하도록 액체통과구멍(95)이 형성된다.

그리고, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전부)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다. 그리하여, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 대해서는, 액체침입 방지수단(13)에 의해 밀봉할 필요가 없고, 하우징(2)의 축방향 외주측 1 개소에만 액체침입 방지수단(13)을 배치한다.

또한, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 롤링 베어링(6)을 하나로 하고 있다. 롤링 베어링(6)을 하나로 함으로써, 구성 부재를 줄이고, 구조를 간략화하여 조립을 용이하게 하는 동시에, 구성 부재가 적은 것에 의해, 모터(A)를 소형화하는 것이 가능하게 된다. 롤링 베어링(6)으로서는, 축방향 및 지름방향의 모든 하중도 받을 수 있는 4점 접촉 볼 베어링, 크로스 롤러 베어링 또는 깊은홈 볼 베어링이 바람직하다.

또한, 도 14에 나타내는 제12 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 고장방지수단(9)으로서 액체감지센서(91)를 사용하고, 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 고장방지수단(90)으로서 액체통과구멍(95)을 사용하였는데, 본 발명에 있어서는, 이에 한정되지 않고, 고장방지수단(90)이, 액체감지센서(91) 및 액체통과구멍(95)을 가지는 구성으로 하여도 좋다.

또한, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에 있어서, 회전 출력부(22)는, 리졸버 로터(51)를 개재시켜 모터 로터(41)에 고정되어 있다. 이 구성에 의해, 리졸버(5)의 조정을 용이하게 하고 있다.

또한, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에 있어서, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련하고 있어, 고가인 방수사양을 채용하지 않아도 된다.

또한, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

그리고, 도 14에 나타내는 제12 실시형태 및 도 15에 나타내는 제13 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 아우터 로터형이 아닌, 내주측이 회전하는 이너 로터형이라도 좋다.

[제14 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 16에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 2에 나타내는 제1 실시형태와 같다. 도 16에 있어서, 도 2에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 16에 나타내는 모터(A)에 있어서, 원통부(21)의 축방향 1 개소에서만 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 배치되어 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 밀봉하는 시일재(12)를 가지고, 회전 출력부(22)는, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 막도록 구성되어 있다. 시일재(12)로서는, 오일 시일이 적합하다.

통상, 모터 본체(1)에 중심구멍(11)을 갖는 모터(A)에 있어서는, 중심구멍(11)을 배선이나 배관을 통과시키기 위해 사용하기 때문에, 출력측(회전 출력부(22)측)도 개구하고, 모터 고정측으로부터 출력측으로 배선이나 배관을 통과시킬 수 있게 하고 있다. 그러므로, 회전 출력부(22)도 축방향으로 관통하는 중심구멍을 갖고 있다. 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 방수성이 요구되는데, 회전 출력부(22)를 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 막도록 구성하고, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 통하여 행하는 배선이나 배관이 불필요한 경우에 적합하다.

또한, 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 롤링 베어링(6)을 하나로 하고 있다. 롤링 베어링(6)을 하나로 함으로써, 구성 부재를 줄이고, 구조를 간략화하여 조립을 용이하게 하는 동시에, 구성 부재가 적은 것에 의해, 모터(A)를 소형화하는 것이 가능하게 된다. 롤링 베어링(6)으로서는, 축방향 및 지름방향의 모든 하중도 받을 수 있는 4점 접촉 볼 베어링, 크로스 롤러 베어링 또는 깊은 홈 볼 베어링이 바람직하다.

또한, 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 모터(A)에 있어서, 회전 출력부(22)는, 리졸버 로터(51)를 개재시켜 모터 로터(41)에 고정되어 있다. 이 구성에 의해, 리졸버(5)의 조정을 용이하게 하고 있다.

또한, 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 모터(A)에 있어서, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련되어 있어, 고가인 방수사양을 채용하지 않아도 된다.

또한, 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 모터(A)에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

그리고, 도 16에 나타내는 제14 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 아우터 로터형이 아닌, 내주측이 회전하는 이너 로터형이라도 좋다.

[제15 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 17에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 7에 나타내는 제5 실시형태와 같다. 도 17에 있어서, 도 7에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 7에 나타내는 제5 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 원통부(21)의 축방향 1 개소에서만 하우징(2)을 밀봉하는 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단(13)을 구성하는데, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A)의 경우, 그 액체침입 방지수단(13)이, 이물질이 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 이물질침입 방지수단(15)을 구성한다.

즉, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A)에 있어서, 밀봉 기구(10)는, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이에 마련되어, 이물질이 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 이물질침입 방지수단(15)을 구성하고 있다.

이 실시형태의 모터(A)에 의하면, 이물질이 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 이물질침입 방지수단(15)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 이물질침입 방지수단(시일)(15)의 수를 삭감하고, 저코스트 구조를 실현하는 동시에, 메인테넌스에 소요되는 시간과 수고도 삭감할 수 있다. 여기서 "이물질"로서는, 물이나 기름 등의 액체, 먼지 혹은 금속가루 등의 분체(粉體) 등을 상정하고 있다.

그리고, 이물질침입 방지수단(15)은, 오일 시일(9)로 구성되어 있고, 이 오일 시일(9)은, 회전 출력부(22)의 주연부(22b)와 원통부(21)의 주연부(21a)로 형성되는 공간에 배치되어 있다. 오일 시일(9)은, 원통부(21)에 부착되고, 오일 시일(9)의 립부가 회전 출력부(22)에 접촉하고 있다. 이로써, 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이가, 오일 시일(9)로 밀봉되어 있다.

그리고, 이물질침입 방지수단(15)은, 오일 시일(9)이 아닌, 더스트 시일이나, 베어링 시일부에 사용되도록 저회전 저항 시일이라도 좋다.

이물질침입 방지수단(15)이 오일 시일(9)인 경우에는, 회전 부재(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도를 높게 하기 위해, 회전 부재(22)에 사용하는 재료가 한정되거나, 시일 접촉면에 표면처리를 할 필요성이 생기거나 한다. 그러나, 이물질침입 방지수단(15)으로서, 더스트 시일이나 저회전 저항 시일을 사용하는 경우, 회전 출력부(22) 및 회전 출력부(22)에 수행하는 표면처리를 자유롭게 선택할 수 있다. 또한, 이물질침입 방지수단(15)으로서, 더스트 시일이나 저회전 저항 시일을 사용하는 경우, 회전 저항이 적고 효율이 높은, 에너지 절약 모터(A)로 할 수 있다. 또한, 모터(A)의 출력을 향상시킬 수 있고, 마찰에 의한 발열이 적기 때문에 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올리고 있다. 구체적으로 설명하면, 하우징(2)의 고정부(23) 및 모터부 커버(7)에, 고정부(23)의 저면으로부터 모터부 커버(7)의 관통구멍(72)까지 신장되는 내압용 기도(23g)를 마련하고 있다. 이 내압용 기도(23g)의 고정부(23)의 외부에는, 호스(82)가 접속되고, 그 호스(82)로부터 화살표 X 방향으로 에어가 공급된다. 그리고, 호스(82)로부터 화살표 X 방향으로 공급된 에어는, 내압용 기도(23g)를 통과하여 모터부 커버(7)의 관통구멍(72)으로부터 모터 본체(1) 내로 들어간다. 이로써, 모터 본체(1) 내의 내압을 올릴 수 있다. 이로써, 이물질침입 방지수단(15)의 부위에 있어서도 내압이 외압보다도 높아져, 보다 외부로부터 액체가 침입하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다. 이로써, 이물질이 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다.

더욱이, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 이물질이 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

[제16 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 18에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 17에 나타내는 제15 실시형태와 같다. 도 18에 있어서, 도 17에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 18에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 도 17에 나타내는 모터(A)에 대해, 이물질침입 방지수단(15)이, 추가로 래버린스(L)를 갖고 있다. 구체적으로 설명하면, 이물질침입 방지수단(15)은, 오일 시일(9)과 래버린스(L)로 이루어져 있다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 오일 시일(9)과 래버린스(L)에 의해 구성되는 이물질침입 방지수단(15)에 의해, 이물질이 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 제16 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 용도에 따라 오일 시일(9)이 아닌 더스트 시일이나, 베어링 시일부에 사용할 수 있는 저회전 저항 시일을 사용하여도 좋다.

또한, 제16 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 이물질침입 방지수단(15)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있기 때문에, 소모부품인 이물질침입 방지수단의 수를 삭감하고, 저코스트 구조를 실현하는 동시에, 메인테넌스에 소요되는 시간과 수고도 삭감할 수 있다.

또한, 제16 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올려도 좋다.

또한, 제16 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제16 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 이물질이 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제15 실시형태와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

[제17 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 19에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 18에 나타내는 제6 실시형태와 같다. 도 19에 있어서, 도 18에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 19에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 이물질침입 방지수단(15)이, 오일 시일(9)을 갖지 않고, 래버린스(L)만으로 구성되어 있다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 래버린스(L)에 의해 구성되는 이물질침입 방지수단(15)에 의해, 이물질이 외부로부터 원통부(21)와 회전 출력부(22)와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 보다 확실한 이물질 침입방지를 도모하기 위해서는, 제16 실시형태와 같이 래버린스(L)를 오일 시일(9)과 조합한 편이 좋은데, 용도에 따라서는, 래버린스(L)만으로 충분한 경우도 있다. 오일 시일(9)을 사용하고 있지 않으므로, 제조 코스트가 삭감될 뿐만 아니라, 오일 시일(9)의 교환도 필요하지 않기 때문에, 메인테넌스성도 뛰어나다. 또한, 이물질침입 방지수단(15)이 비접촉으로 되고, 오일 시일(9)을 사용하는 경우와는 달리, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도나 표면 거칠기의 제약을 면할 수 있는 동시에, 회전 저항을 줄일 수 있어, 모터 출력의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 오일 시일의 마찰에 의한 발열이 없기 때문에, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

이 제17 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A) 및 제16 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 이물질침입 방지수단(15)이 원통부(21)의 축방향 1 개소에만 마련되어 있다.

또한, 제17 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A) 및 제16 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올려도 좋다. 제17 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 이물질침입 방지수단(15)이 래버린스(L)뿐이므로, 액체침입에 대해 에어 퍼지가 특히 유효하게 기능한다.

또한, 제17 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A) 및 제16 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제17 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태의 모터(A) 및 제16 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 이물질이 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 제17 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제15 실시형태의 모터(A) 및 제16 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

[제18 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 20에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 19에 나타내는 제17 실시형태와 같다. 도 20에 있어서, 도 19에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

즉, 도 20에 나타내는 모터(A)에 있어서는, 이물질침입 방지수단(15)은, 래버린스(L)의 근방에 다공질 부재(14)를 구비하고 있다.

이 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 래버린스(L)의 근방에 다공질 부재(14)가 있음으로써, 래버린스(L)에 의해 들어온 액체가 이물질이고, 적으면 모세관 현상에 의해 흡수할 수 있다.

또한, 원통부(61)의 소경 부분에는, 모터 본체(1)의 내부와 다공질 부재(14)를 잇는 다공질 부재용 기도(21f)가 마련되어 있다. 이로써, 에어 퍼지를 행하였을 때(제18 실시형태의 모터(A)에 있어서, 제15 실시형태 내지 제 17 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올렸을 때)에, 다공질 부재(14)로부터 회전 출력부(22)의 주연부(22b)로 향하여 균질인 에어가 불어나와, 레버린스(L)로부터의 이물질의 침입을 방지할 수 있다.

그리고, 에어 퍼지는, 제15 실시형태의 모터(A)로 설명한 바와 같이, 하우징(2)의 고정부(23) 및 모터부 커버(7)에 마련한 내압용 기도(23g)에 호스(82)를 접속하고, 그 호스(82)로부터 화살표 X 방향으로 에어를 공급함으로써 행한다.

이 제18 실시형태의 모터(A)에 있어서도, 이물질침입 방지수단(15)이 비접촉이 되고, 오일 시일(9)을 사용하는 경우와는 달리, 회전 출력부(22)에 있어서의 시일 접촉면의 경도나 표면 거칠기의 제약을 면할 수 있는 동시에, 회전 저항을 줄일 수 있어, 모터 출력의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 오일 시일의 마찰에 의한 발열이 없기 때문에, 모터(A)의 정격 출력을 향상시킬 수 있다.

이 제18 실시형태의 모터(A)에 있어서도, 제15 실시형태 내지 제17 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 이물질침입 방지수단(15)이 원통부의(21) 축방향 1 개소에만 마련되어 있다.

또한, 제18 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태 내지 제17 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하고 있다.

더욱이, 제18 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 제15 실시형태 내지 제17 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 회전 출력부(22)의 테이블(부착 회전체)(62)에 대한 접속면과 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하기 위해, 회전 출력부(22)의 테이블(62)에 대한 접속면에 시일재(63)용의 홈(22d)을 마련하고, 이 홈(22d)에 시일재(63)를 배치함으로써, 액체가 모터 본체(1)의 중심구멍(11)에 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다. 시일재(63)용의 홈(22d)은, 테이블(62)의 회전 출력부(22)에 대한 접속면에 마련하여도 좋다.

또한, 이 제18 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 제15 실시형태 내지 제17 실시형태의 모터(A)와 마찬가지로, 아우터 로터형이다.

[제19 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 21에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 17에 나타내는 제15 실시형태와 같다. 도 21에 있어서, 좌측 절반은, 커넥터(32a)에 접속된 배선이 없는 위상으로 되어 있다. 도 21에 있어서, 도 17에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

도 21에 나타내는 제19 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A)에 대하여 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 갖고 있다.

여기서, 기도(85)는, 모터 본체(1)를 구성하는 모터 스테이터(42)의 내측부(42b)의 둘레면의 일부에 마련되고, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)과 모터 본체(1)의 내부를 연통시키는 관통구멍으로 구성되어 있다. 기도(85)의 중심구멍(11) 측에는, 암나사홈이 형성되고, 이 암나사홈에 니플(84)이 나합되어 있다. 그리고, 이 니플(84)에는, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 통하여 호스(83)가 감합되고, 기도(85)와 호스(83)가 접속되어 있다. 호스(83)는, 니플(84)로부터 빠져나가지 않도록 클램프를 사용하여 고정하면 적절하다.

이 호스(83)에, 화살표 X의 방향으로 에어를 불어넣음으로써, 에어 퍼지가 행해져, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수가 있다. 이와 같이, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 마련함으로써, 호스(83)의 배관을 용이하게 하고 있다. 원래 중심구멍(11)은, 배선, 배관을 위해 마련되어 있고, 모터(A)를 설치하는 기대(61)측에도 같은 배선, 배관용의 구멍을 갖는 경우가 많기 때문이다.

이와 같이, 에어 퍼지를 행함으로써, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수 있어, 이물질침입 방지수단(15)을 구성하는 오일 시일(9)의 부위에 있어서 외압보다도 내압을 높게 하여, 이물질의 침입을 보다 억제할 수 있다.

[제20 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 22에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 18에 나타내는 제16 실시형태와 같다. 도 22에 있어서, 좌측 절반은, 커넥터(32a)에 접속된 배선이 없는 위상으로 되어 있다. 도 22에 있어서, 도 18에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

도 22에 나타내는 제20 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 18에 나타내는 제16 실시형태의 모터(A)에 대하여, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 갖고 있다.

여기서, 기도(85)는, 모터 본체(1)를 구성하는 모터 스테이터(42)의 내측부(42b)의 둘레면의 일부에 마련되고, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)과 모터 본체(1)의 내부를 연통시키는 관통구멍으로 구성되어 있다. 기도(85)의 중심구멍(11) 측에는 암나사홈이 형성되고, 이 암나사홈에 니플(84)이 나합되어 있다. 그리고, 이 니플(84)에는, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 통하여 호스(83)가 감합되고, 기도(85)와 호스(83)가 접속되어 있다. 호스(83)는, 니플(84)로부터 빠져나가지 않도록 클램프를 사용하여 고정하면 적절하다.

이 호스(83)에, 화살표 X의 방향에 에어를 불어넣음으로써, 에어 퍼지가 행해져, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수가 있다. 이와 같이, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 마련함으로써, 호스(83)의 배관을 용이하게 하고 있다. 원래, 중심구멍(11)은, 배선, 배관을 위해 마련되어 있고, 모터(A)를 설치하는 기대(61) 측에도 같은 배선, 배관용의 구멍을 갖는 경우가 많기 때문이다.

이와 같이, 에어 퍼지를 행함으로써, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수 있어, 이물질침입 방지수단(15)을 구성하는 오일 시일(9)의 부위에 있어서 외압보다도 내압을 높게 하여, 이물질의 침입을 보다 억제할 수가 있다.

[제21 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 23에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 19에 나타내는 제17 실시형태와 같다. 도 23에 있어서, 좌측 절반은, 커넥터(32a)에 접속된 배선이 없는 위상으로 되어 있다. 도 23에 있어서, 도 19에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략할 수 있다.

도 23에 나타내는 제21 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 19에 나타내는 제17 실시형태의 모터(A)에 대하여, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 갖고 있다.

여기서, 기도(85)는, 모터 본체(1)를 구성하는 모터 로터(42)의 내측부(42b)의 둘레면의 일부에 마련되고, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)과 모터 본체(1)의 내부를 연통시키는 관통구멍으로 구성되어 있다. 기도(85)의 중심구멍(11) 측에는, 암나사홈이 형성되고, 이 암나사홈에 니플(84)이 나합되어 있다. 그리고, 이 니플(84)에는, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 통하여 호스(83)가 감합되고, 기도(85)와 호스(83)가 접속되어 있다. 호스(83)는, 니플(84)로부터 빠져나가지 않도록 클램프를 사용하여 고정하면 적절하다.

이 호스(83)에, 화살표 X의 방향으로 에어를 불어넣음으로써, 에어 퍼지가 행해져, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수 있다. 이와 같이, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 마련함으로써, 호스 호스(83)의 배관을 용이하게 하고 있다. 원래, 중심구멍(11)은, 배선, 배관을 위해 마련되어 있고, 모터(A)를 설치하는 기대(61)측에도 같은 배선, 배관용의 구멍을 갖는 경우가 많기 때문이다.

이와 같이, 에어 퍼지를 행함으로써, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수 있어, 이물질침입 방지수단(15)을 구성하는 래버린스(L)의 부위에 있어서 외압보다도 내압을 높게 하여, 이물질의 침입을 보다 억제할 수 있다.

[제22 실시형태]

이 실시형태의 모터(A)는, 그 단면이 도 24에 나타내는 형상인 점을 제외하고, 도 20에 나타내는 제18 실시형태와 같다. 도 24에 있어서, 좌측 절반은 커넥터(32a)에 접속된 배선이 없는 위상으로 되어 있다. 도 24에 있어서, 도 20에 나타내는 부재와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 일이 있다.

도 24에 나타내는 제22 실시형태의 모터(A)에 있어서는, 도 20에 나타내는 제18 실시형태의 모터(A)에 대하여, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 갖고 있다.

여기서, 기도(85)는, 모터 본체(1)를 구성하는 모터 로터(42)의 내측부(42b)의 둘레면의 일부에 마련되고, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)과 모터 본체(1)의 내부를 연통시키는 관통구멍으로 구성되어 있다. 기도(85)의 중심구멍(11) 측에는, 암나사홈이 형성되고, 이 암나사홈에 니플(84)이 나합되어 있다. 그리고, 이 니플(84)에는, 모터 본체(1)의 중심구멍(11)을 통하여 호스(84)가 감합되고, 기도(85)와 호스(83)가 접속되어 있다. 호스(83)는, 니플(84)로부터 빠져나가지 않도록 클램프를 사용하여 고정하면 적절하다.

이 호스(83)에, 화살표 X의 방향으로 에어를 불어넣음으로써, 에어 퍼지가 행해져, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수 있다. 이와 같이, 에어 퍼지용의 기도(85)를 모터 본체(1)의 내주측에 마련함으로써, 호스 호스(83)의 배관을 용이하게 하고 있다. 원래, 중심구멍(11)은, 배선, 배관을 위해 마련되어 있고, 모터(A)를 설치하는 기대(61)측에도 같은 배선, 배관용의 구멍을 갖는 경우기 많기 때문이다.

이와 같이, 에어 퍼지를 행함으로써, 모터 본체(1)의 내압을 올릴 수 있어, 이물질침입 방지수단(15)을 구성하는 래버린스(L) 및 다공질 부재(14)의 부위에 있어서 외압보다도 내압을 높게 하여, 이물질의 침입을 보다 억제할 수 있다.

또한, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A) 내지 도 24에 나타내는 제22 실시형태의 모터(A)에 있어서, 회전 출력부(22)는, 리졸버 로터(51)를 개재시켜 모터 로터(41)에 고정되어 있다. 이 구성에 의해, 리졸버(5)의 조정을 용이하게 하고 있다.

또한, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A) 내지 도 24에 나타내는 제22 실시형태의 모터(A)에 있어서, 커넥터(31a, 32a)는, 모터 본체(1)의 내주측에서 중심구멍(11)의 근방에 마련되어 있어, 고가인 방수사양을 채용하지 않아도 된다.

또한, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A) 내지 도 24에 나타내는 제22 실시형태의 모터(A)를 구동원으로 하여, 테이블(62)의 위에 전자부품 등을 올려놓고 회전 이동시키는 반송장치로서 사용할 수 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 벨트 컨베이어의 회전 기구의 구동원으로서 사용할 수도 있다. 또한, 이 실시형태의 모터(A)는, 위치결정장치를 위치결정 구동하는 것으로서 사용할 수 있다.

또한, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A) 내지 도 24에 나타내는 제22 실시형태의 모터(A)에서는, 모터 본체가 다이렉트 드라이브 모터(감속기를 사용하지 않고, 직접 부하를 구동하는 모터)인 모터의 예를 설명하고 있는데, 이 발명은, 모터 본체가 기어 리덕션 방식의 모터(감속기를 사용하여, 토오크가 증폭되는 모터)나 일반적인 모터(예를 들어, 일방향으로만 회전하는 모터 등)인 모터에도 적용할 수 있다.

그리고, 도 17에 나타내는 제15 실시형태의 모터(A) 내지 도 24에 나타내는 제22 실시형태의 모터(A)에 있어서, 모터 본체(1)는, 아우터 로터형이 아닌, 내주측이 회전하는 이너 로터형이라도 좋다.

1: 모터 본체
11: 중심구멍
12: 시일재
13: 액체침입 방지수단
14: 다공질 부재
15: 이물질침입 방지수단
2: 하우징
21: 원통부
21a: 주연부 (시일 부착부)
21c: 단차
22: 회전 출력부
22a: 중심구멍 (관통구멍)
22b: 주연부
22f: 개구부
22h: 시일 접촉면
23: 고정부
23c: 중심구멍 (관통구멍)
23d: 시일재용의 홈
31: 배선 케이블
32: 배선 케이블
4: 모터부
41: 모터 로터 (회전체)
42: 모터 스테이터 (고정체)
5: 리졸버
51: 리졸버 로터 (회전체)
52: 리졸버 스테이터 (고정체)
9: 오일 시일
10: 밀봉 기구
61: 기대
62: 테이블 (부착 회전체)
63: 시일재
90: 고장방지수단
91: 액체감지센서
95: 액체통과구멍
A: 모터
L: 래버린스

Claims

축방향으로 관통하는 중심구멍이 형성된 원주형상의 모터 본체와, 상기 모터 본체를 수납하는 하우징을 구비하고,
상기 하우징은, 상기 모터 본체의 외주면을 덮는 원통부와, 그 원통부의 축방향 상측에 마련된, 상기 모터 본체의 회전체에 고정되는 회전 출력부와, 상기 원통부의 축방향 하측에 마련된, 상기 모터 본체의 고정체에 고정되는 고정체로 이루어지고,
상기 하우징은, 상기 원통부의 축방향 1 개소에서만 밀봉 기구에 의해 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항에 있어서,
상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 배치되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 하우징은, 상기 모터 본체의 상기 중심구멍에 대응하는 관통구멍을 가지는 동시에, 상기 모터 본체에 일단이 고정되어 있는 배선 케이블을 구비하고,
상기 배선 케이블은, 상기 모터 본체의 축방향 단면의 상기 중심구멍 근방부와 상기 하우징의 상기 관통구멍을 통과하여, 타단이 외부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정부는 기재와의 접속면을 가지고,
상기 회전 출력부는 부착 회전체와의 접속면을 가지고,
상기 고정부의 접속면 및 상기 회전 출력부의 접속면의 적어도 어느 한 쪽에, 시일재를 배치하는 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항에 있어서,
상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 회전 출력부는, 상기 시일재가 접촉하는 시일 접촉면의 경도가 그 시일 접촉면 이외의 부분의 경도보다도 높은 경량재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 모터.
제 5항에 있어서,
상기 회전 출력부는, 적어도 상기 시일 접촉면에 경도 향상처리가 이루어진 것임을 특징으로 하는 모터.
제 1항에 있어서,
상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 회전 출력부는, 상기 시일재가 접촉하는 시일 접촉면의 경도가 그 시일 접촉면 이외의 부분의 경도보다도 높은 경량재로 이루어지고, 상기 회전 출력부는, 적어도 상기 시일 접촉면에 경도 향상처리가 이루어진 것이고, 상기 경도 향상처리가 표면처리인 동시에, 상기 경량재가 알루미늄재이고, 상기 시일 접촉면의 면 거칠기를 Ra 0.05~1.60으로 하고, 상기 시일재의 내경과 그 시일재를 부착하는 시일 부착부의 외경과의 끼워 맞춤을 5.0~25.00 mm인 조임 끼워 맞춤으로 하는 동시에, 상기 모터 본체에는, 내측에 리졸버 스테이터를, 그 리졸버 스테이터의 외주측에 리졸버 로터를 가지는 리졸버가 내장되고, 상기 회전 출력부와 상기 리졸버 로터를 일체화하고, 상기 회전 출력부의 부착 회전체에 대한 접속면 또는 상기 부착 회전체의 상기 회전 출력부에 대한 접속면에 마련한 시일재용의 홈을 상기 리졸버 로터보다도 외주측에 마련하고, 상기 회전 출력부의 회전축 중심으로부터 상기 시일재용의 홈의 내측으로서 상기 리졸버 로터 근방에 도달하는 부분에까지 개구하는 개구부를 마련한 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항에 있어서,
상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단을 구성하는 것을 특징으로 하는 모터.
제 8항에 있어서,
상기 액체침입 방지수단이 오일 시일인 것을 특징으로 하는 모터.
제 9항에 있어서,
상기 액체침입 방지수단이 추가로 래버린스를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 8항에 있어서,
상기 액체침입 방지수단이 래버린스인 것을 특징으로 하는 모터.
제 10항 또는 제 11항에 있어서,
상기 회전 출력부의 외연에는, 상기 원통부측에 돌출하는 주연부가 형성되고, 상기 원통부의 축방향 상단에는, 외경을 다르게하는 단차가 형성되고,
상기 래버린스는, 상기 원통부의 단차에 의한 소경 부분의 외주면과 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 내주면과의 사이에 소정의 극간을 마련하는 동시에, 상기 원통부의 대경 부분과 소경 부분의 경계인 단차의 면과 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 하단면과의 사이에 소정의 극간을 마련하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 12항에 있어서,
상기 원통부의 소경 부분의 외경 및 상기 회전 출력부의 상기 주연부의 내경은, 상기 원통부의 축방향 상측으로부터 축방향 하측으로 향하여 커지도록, 상기 회전 출력부의 회전축에 대해 경사져 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 10항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액체침입 방지수단은, 상기 래버린스의 근방에 다공질 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 8항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,
에어 퍼지에 의해 모터 내압을 올리고 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 8항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전 출력부의 부착 회전체에 대한 접속면과 상기 부착 회전체의 상기 회전 출력부에 대한 접속면과의 사이를 밀폐하는 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항에 있어서,
상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 마련되어, 액체가 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 액체침입 방지수단을 구성하고,
더욱이, 상기 액체가 내부에 침입하였을 때에 고장을 방지하는 고장방지수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 17항에 있어서,
상기 고장방지수단은, 상기 원통부의 축방향 하측에 마련된 상기 고정부에 마련되어 있는 액체감지센서 또는 액체통과구멍인 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항에 있어서,
상기 밀봉 기구는, 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이에 배치되어 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 회전 출력부는, 상기 모터 본체의 상기 중심구멍을 막도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 8항 내지 제 16항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액체침입 방지수단이, 이물질이 외부로부터 상기 원통부와 상기 회전 출력부와의 사이를 통과하여 내부로 침입하는 것을 방지하는 이물질침입 방지수단을 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항 내지 제 20항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 모터 본체는 아우터 로터형인 것을 특징으로 하는 모터.
제 1항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 기재된 모터에 의해 위치결정 구동되는 위치결정장치.
제 1항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 기재된 모터를 구동원으로 하는 반송장치.