WO2014188672A1

WO2014188672A1 - モータ、位置決め装置、搬送装置

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Publication number: WO2014188672A1
Application number: PCT/JP2014/002427
Authority: WO
Inventors: 正幸丸山; 裕介太田; 和則小泉; 逸男渡辺; 佐藤　俊徳
Original assignee: 日本精工株式会社
Priority date: 2013-05-20
Filing date: 2014-05-07
Publication date: 2014-11-27
Also published as: JP5765486B2; US20160118855A1; CN104380580A; CN104380580B; KR20160000464A; JPWO2014188672A1; KR101728625B1

Abstract

　部品点数が少なく、コストの低い方法で防水性能が付与されたモータ、そのモータによって位置決め駆動される位置決め装置および搬送装置を提供する。モータ（Ａ）は、軸方向に貫通する中心穴（１１）が形成された円柱状のモ－タ本体（１）と、モータ本体（１）を収納するハウジング（２）とを備える。ハウジング（２）は、モータ本体（１）の外周面を覆う円筒部（２１）と、円筒部（２１）の軸方向上側に設けられた、モータ本体（１）の回転体（５１，４１）に固定される回転出力部（２２）と、円筒部（２１）の軸方向下側に設けられた、モ－タ本体（１）の固定体（５２，４２）に固定される固定部（２３）とからなる。ハウジング（２）は、円筒部（２１）の軸方向の一ヶ所のみで密封機構（１０）により密封されている。

Description

モータ、位置決め装置、搬送装置

　この発明は、防水性や防塵性を有するモータ、そのモータによって位置決め駆動される位置決め装置および搬送装置に関する。

　従来より、高トルク且つ高分解能を有するダイレクトドライブモータは、インデックステーブルを直接駆動することが可能であり、高速動作性を有しながらバックラッシュがないため、高精度な位置決めを必要とする用途で好適に使用されている。
　例えば、ダイレクトドライブモータを有するインデックステーブルが半導体ウエハの研磨工程や洗浄工程の搬送用に使用される場合、半導体ウエハには水などの液体が付着しており、付着した液体が落下してダイレクトドライブモータの上面に溜ることがある。そして、ダイレクトドライブモータ内に液体が浸入すると、モータ内部の腐食や短絡などの電気的故障が生じる原因となる。よって、液体の浸入が防止される性能（防水性）および塵埃の侵入が防止される性能（防塵性）を有するダイレクトドライブモータが求められている。

　防水性を有するダイレクトドライブモータの従来例としては、特許文献１に記載された防水モータが挙げられる。
　この防水モ－タは、図２５に示すように、モ－タ本体が、出力軸（回転力を出力する回転体）１６０と、円筒部１２０を有するモータハウジング１００とで覆われている。出力軸１６０は略Ｔ字状であり、軸部１６１と、円板状傘部１６２と、周縁壁１６３と、位置決め円筒部１６４を有する。
　モータハウジング１００は、モ－タ本体の外周面を覆う円筒部１２０と、ハウジングベース１２３とが一体化されたものである。モータハウジング１００の円筒部１２０の出力軸１６０側の開口端に、Ｏリング１１３を介して、シールハウジング１２４が嵌入されている。シールハウジング１２４の内周面と出力軸１６０の位置決め円筒部１６４との間がオイルシ－ル１９１で密封されている。シールハウジング１２４の上側と出力軸１６０の円板状傘部１６２との間がダストシ－ル１９２で密封されている。

　モータハウジング１００のハウジングベース１２３の中央開口部１２３ａには、出力軸１６０の軸部１６１との間がオイルシール１９３で密封されている。また、モータハウジング１００の円筒部１２０には側面開口部１２０ａが形成され、コネクタスペ－サ１２９を介して防水コネクタ１３１が取り付けられている。コネクタスペ－サ１２９と側面開口部１２０ａとの間がパッキン１２８で密封されている。
　ハウジングベース１２３の底部に開口部１２３ｂが形成され、開口部１２３ｂがカバープレート１２５で覆われている。これにより、ハウジングベース１２３の下部に配線空間１２５ａが形成されている。

　モ－タ本体を構成するモータロータ１４１とレゾルバロータ１５１が、軸方向で固定されて、転がり軸受１０６の外輪に固定されている。レゾルバロータ１５１は出力軸１６０の位置決め円筒部１６４内に固定されている。モータコア１４２がモータハウジング１００の円筒部２１０に固定されている。レゾルバステータ１５２は、ハウジングベース１２３の内側部分１２３ｃとともに、転がり軸受６の内輪に固定されている。すなわち、この防水モータのモータ本体はインナーロータ型である。
　位置決め円筒部１６４より中心側の部分で、出力軸１６０がレゾルバロータ１５１にボルト１７０で固定されている。また、一端がレゾルバステータ１５２に接続された配線の他端が、防水コネクタ１３１に接続される。この配線は、レゾルバステータ１５２の貫通穴１５２ａ、ハウジングベース１２３の貫通穴１２３ｄ、配線空間１２５ａ、およびコネクタスペーサ１２９の内部空間１２９ａに配置される。

　特許文献２には、モータ全体を、オイルシールとダストシールを組み付けた防水カバーで覆って完全密閉した構造とすることで、防水性を持たないモータを防水モータとして使用することが記載されている。特許文献２に記載されている防水モータの例でも、特許文献１の防水モ－タと同様に、略Ｔ字状の出力軸を有し、ハウジングベースの中央開口部と出力軸の軸部との間がオイルシールで密閉され、出力軸の外縁部でのオイルシールとダストシールによる二重密封構造を有している。また、ハウジングベースと防水カバーの下端がＯリングで密封されている。

特開２０１１－２５０５０４号公報特開２０１１－２５０５８６号公報

　特許文献１および２に記載された防水モータでは、略Ｔ字状の出力軸の形状が複雑であるとともに、複数のオイルシールおよびＯリングが配置されているため、コストが高いものであった。
　また、汎用の防水モータでは、円柱状のモータの上下面の防水に関しては、取付時にＯリングを用いることなどで簡単に対応できる。また、モータの中心穴は、エアホースや電気配線を通して使用されるため、通常は、取付時に中心穴全体を防水構造としている。よって、実際には、モータの外周面の防水性のみを考慮すればよく、特許文献１および２に記載された防水モータは、防水性能がオーバースペックであると言えるため、コスト削減の点で改善の余地がある。
　この発明の課題は、部品点数が少なく、コストの低い方法で防水性能が付与されたモータ、そのモータによって位置決め駆動される位置決め装置および搬送装置を提供することである。

　上記課題を解決するために、この発明の一態様のモータは、軸方向に貫通する中心穴が形成された円柱状のモ－タ本体と、前記モータ本体を収納するハウジングとを備え、前記ハウジングは、前記モータ本体の外周面を覆う円筒部と、該円筒部の軸方向上側に設けられた、前記モータ本体の回転体に固定される回転出力部と、前記円筒部の軸方向下側に設けられた、前記モ－タ本体の固定体に固定される固定部とからなり、前記ハウジングは、前記円筒部の軸方向の一ヶ所のみで密封機構（オイルシール、Ｖシール、ラビリンス等）により密封されていることを特徴としている。
　この態様のモータは、前記ハウジングが、前記円筒部の軸方向の一ヶ所のみで密封機構により密封されているため、特許文献１および２に記載された防水モ－タと比較して、部品点数が少なく、コストの低い方法で防水性能が付与されている。また、通常の密封機構は、防水性能だけでなく防塵性能も有するため、この態様のモ－タは防塵性（塵埃の侵入が防止される性能）も有する。

　また、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に配置されて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するものとするとよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記ハウジングは、前記モータ本体の前記中心穴に対応する貫通穴を有するとともに、前記モ－タ本体に一端が固定されている配線ケ－ブルを備え、前記配線ケ－ブルは、前記モ－タ本体の軸方向端面の前記中心穴近傍部と前記ハウジングの前記貫通穴を通って、他端が外部（モータの外部）に配置されていることが好ましい。

　また、この態様のモータにおいて、前記円筒部は、前記固定部及び前記回転出力部の少なくとも一方と一体に形成されているとよい。
　この場合、（ａ）前記円筒部が前記固定部と一体に形成されている構成、（ｂ）前記円筒部が前記回転出力部と一体に形成されている構成、（ｃ）前記円筒部が前記固定部及び前記回転出力部の両方と一体に形成されている構成が含まれる。
　そして、構成（ａ）の場合、密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に配置されて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封する。構成（ｂ）の場合、密封機構は、前記回転出力部と前記固定部との間に配置されて前記回転出力部と前記固定部との間を密封する。また、構成（ｃ）の場合、前記円筒部が軸方向で二分割されていて、各分割体が前記固定部及び前記回転出力部のそれぞれに一体に形成され、前記密封機構は、分割体間に配置されて分割体間を密封する。
　なお、構成（ｃ）よりも構成（ａ）および構成（ｂ）であることが好ましい。構成（ｃ）である場合、前記円筒部の軸方向中間位置に密封機構が配置されるため、前記円筒部の端部に密封機構が配置される構成（a）および構成(b)とすることが好ましい。前記構成(a) と前記構成(b)との比較では、前記構成(a)であることが好ましい。つまり、前記円筒部が前記固定部と一体に形成されていることで、前記構成(b)および(c)の場合よりも、前記回転出力部のイナ－シャを小さくすることができる。

　また、この態様のモータにおいて、前記固定部は基台との接続面を有し、前記回転出力部は取付回転体との接続面を有し、前記固定部の接続面および前記回転出力部の接続面の少なくともいずれか一方に、シ－ル材（Ｏリング、封止用コンパウンド、接着剤、コーキング材）を配置する溝が形成されていることが好ましい。
　更に、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するシール材を有し、前記回転出力部は、前記シール材が接触するシール接触面の硬度が当該シール接触面以外の部分の硬度よりも高い軽量材からなるようにしてもよい。
　このモータによれば、回転出力部におけるシール接触面に必要な硬度を確保した上で回転出力部の軽量化、低イナーシャ化を実現することができる。

　また、この態様のモータにおいて、前記回転出力部は、少なくとも前記シール接触面に硬度向上処理がなされたものであることが好ましい。
　更に、この態様のモータにおいて、前記硬度向上処理が表面処理であるとよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記軽量材がアルミ材であることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記硬度向上処理が熱処理であり、前記軽量材が超硬ジュラルミンであってもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記シール接触面の面粗さをＲａ０．０５～１．６０とし、前記シール材の内径と該シール材を取り付けるシール取付部の外径とのはめあいを５．０～２５．００ｍｍのしまりばめとしてもよい。

　更に、この態様のモータにおいて、前記モータ本体には、内側にレゾルバステータを、該レゾルバステータの外周側にレゾルバロータを有するレゾルバが内蔵され、前記回転出力部と前記レゾルバロータとを一体化してもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面又は前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面に設けたシール材用の溝を前記レゾルバロータよりも外周側に設け、前記回転出力部の回転軸中心から前記溝の内側であって前記レゾルバロータ近傍に至る部分にまで開口する開口部を設けても良い。

　また、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するシール材を有し、前記回転出力部は、前記シール材が接触するシール接触面の硬度が当該シール接触面以外の部分の硬度よりも高い軽量材からなり、前記回転出力部は、少なくとも前記シール接触面に硬度向上処理がなされたものであり、前記硬度向上処理が表面処理であるとともに、前記軽量材がアルミ材であり、前記シール接触面の面粗さをＲａ０．０５～１．６０とし、前記シール材の内径と該シール材を取り付けるシール取付部の外径とのはめあいを５．０～２５．００ｍｍのしまりばめとするとともに、前記モータ本体には、内側にレゾルバステータを、該レゾルバステータの外周側にレゾルバロータを有するレゾルバが内蔵され、前記回転出力部と前記レゾルバロータとを一体化し、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面又は前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面に設けたシール材用の溝を前記レゾルバロータよりも外周側に設け、前記回転出力部に、前記回転出力部の回転軸中心から前記シール材用の溝の内側であって前記レゾルバロータ近傍に至る部分にまで開口する開口部を設けても良い。

　また、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて、液体が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段を構成するものであってもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段がオイルシールであることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段がダストシールであってもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段が低回転抵抗シールであってもよい。

　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段が更にラビリンスを有していることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段がラビリンスであってもよい。
　更に、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の外縁には、前記円筒部側に突出する周縁部が形成され、前記円筒部の軸方向上端には、外径を異ならせる段差が形成され、前記ラビリンスは、前記円筒部の段差による小径部分の外周面と前記回転出力部の前記周縁部の内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、前記円筒部の大径部分と小径部分の境目である段差の面と前記回転出力部の前記周縁部の下端面との間に所定の隙間を設けて構成されていることが好ましい。

　また、この態様のモータにおいて、前記円筒部の小径部分の外径及び前記回転出力部の前記周縁部の内径は、前記円筒部の軸方向上側から軸方向下側に向けて大きくなるように、前記回転出力部の回転軸に対して傾斜していてもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段は、前記ラビリンスの近傍に多孔質部材を備えていてもよい。
　また、この態様のモータにおいて、エアパージによりモータ内圧を上げていることが好ましい。

　また、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面と前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面との間を密閉することが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面又は前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面にシール材用の溝を設けることが好ましい。
　更に、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて、液体が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段を構成し、更に、前記液体が内部に侵入した際に故障を防止する故障防止手段を備えていてもよい。

　また、この態様のモータにおいて、前記円筒部の軸方向下側に設けられた前記固定部に設けられている液体感知センサ又は液体通し孔であることが好ましい。
　更に、この態様のモータにおいて、前記固定部は、前記円筒部の軸方向に対して傾斜する傾斜部と、該傾斜部の軸方向最も下側部分から水平に延びる底面部とを有し、前記故障防止手段は前記底面部上に設置されていることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、軸受を一つとしていることが好ましい。

　また、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に配置されて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するシール材を有し、前記回転出力部は、前記モータ本体の前記中心穴を塞ぐように構成されていてもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段が、異物が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する異物侵入防止手段を構成していてもよい。
　つまり、この態様のモータにおいて、前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて、異物が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する異物侵入防止手段を構成するものであってもよい。

　また、この態様のモータにおいて、前記異物侵入防止手段がオイルシールであることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記異物侵入防止手段がダストシールであってもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記異物侵入防止手段が低回転抵抗シールであってもよい。
　また、この態様のモータにおいて、前記液体侵入防止手段が更にラビリンスを有していることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記異物侵入防止手段がラビリンスであってもよい。

　更に、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の外縁には、前記円筒部側に突出する周縁部が形成され、前記円筒部の軸方向上端には、外径を異ならせる段差が形成され、前記ラビリンスは、前記円筒部の段差による小径部分の外周面と前記回転出力部の前記周縁部の内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、前記円筒部の大径部分と小径部分の境目である段差の面と前記回転出力部の前記周縁部の下端面との間に所定の隙間を設けて構成されていることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記円筒部の小径部分の外径及び前記回転出力部の前記周縁部の内径は、前記円筒部の軸方向上側から軸方向下側に向けて大きくなるように、前記回転出力部の回転軸に対して傾斜していてもよい。

　また、この態様のモータにおいて、前記異物侵入防止手段は、前記ラビリンスの近傍に多孔質部材を備えていてもよい。
　また、この態様のモータにおいて、エアパージによりモータ内圧を上げていることが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面と前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面との間を密閉することが好ましい。
　また、この態様のモータにおいて、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面又は前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面にシール材用の溝を設けることが好ましい。

　また、この態様のモータにおいて、前記モ－タ本体はアウターロータ型であることが好ましい。
　モータ本体がアウターロータ型であると、インナーロータ型である場合より、配線ケーブルのモータ本体内での配線が容易に行なわれるため、好ましい。
　更に、本発明の別の態様の位置決め装置は、前述のモータによって駆動されるものである。
　また、本発明の更に別の態様の搬送装置は、前述のモータを駆動源とするものである。

　この発明によれば、特許文献１および２に記載されたモ－タと比較して、部品点数が少なく、コストの低い方法で防水性能が付与されたモ－タ、そのモータによって位置決め駆動される位置決め装置および搬送装置を提供できる。

本発明に係るモータの第１～第３、第５～第１３、及び第１５～第２２実施形態の平面図である。本発明に係るモータの第１実施形態のモータの断面図（図１のＡ－Ａ線に沿う断面図）である。本発明に係るモータの第１～第２２実施形態の底面図である。但し、図３においては、第８実施形態、第１１実施形態、第１５実施形態及び第１８実施形態における内圧用気道については図示していない。本発明に係るモータの第２実施形態の断面図（図１のＡ－Ａ線に沿う断面図）である。本発明に係るモータの第３実施形態の断面図（図１のＡ－Ａ線に沿う断面図）である。本発明に係るモータの第４実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第５実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第６実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第７実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第８実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第９実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１０実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１１実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１２実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１３実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１４実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１５実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１６実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１７実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１８実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第１９実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第２０実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第２１実施形態の断面図である。本発明に係るモータの第２２実施形態の断面図である。特許文献１の防水モ－タを示す断面図である。

　以下、この発明の実施形態について説明するが、この発明はこの実施形態に限定されない。
［第１実施形態］
　図１～図３に示すように、この実施形態のモ－タＡは、円柱状のモ－タ本体１と、ハウジング２と、配線ケ－ブル３１，３２とからなる。モータＡは、ダイレクトドライブモータであり、位置決め装置（図示せず）を位置決め駆動するものである。
　ここで、モータ本体１は、軸方向に貫通する中心穴１１を有する。モータ本体１は、モータ部４とレゾルバ（磁気式回転センサ）５と転がり軸受６を有し、軸方向下側にモータ部４を、軸方向上側にレゾルバ５を配置している。モータ部４は、内側に配置されたモータステータ（固定体）４２と、モータステータ４２の外周側に配置されたモータロータ（回転体）４１とを有し、アウターロータ型となっている。また、レゾルバ５は、内側に配置されたレゾルバステータ（固定体）５２と、レゾルバステータ５２の外周側に配置されたレゾルバロータ（回転体）５１とを備えている。

　モータステータ４２は、モータコア４２ａと略円筒状の内側部４２ｂを有し、内側部４２ｂの外周にモータコア４２ａが固定されている。そして、モータコア４２ａには、コイル４３が巻回されている。
　一方、モータロータ４１は、略円筒状に形成され、ヨークを構成している。そして、モータロータ４１の内周面には円環状の永久磁石４１ａが設けられている。
　そして、モータロータ４１とレゾルバロータ５１は転がり軸受６の外輪に固定されている。モータステータ４２の内側部４２ｂとレゾルバステータ５２は転がり軸受６の内輪に固定されている。モータロータ４１とレゾルバロータ５１がボルトＢ１で固定されている。モータステータ４２の内側部４２ｂとレゾルバステータ５２がボルトＢ２で固定されている。

　モ－タ本体１は、さらに、モータ部４の軸方向下端面を塞ぐモータ部カバー７と、レゾルバ５の軸方向上端面を塞ぐレゾルバカバー８とを有する。モータ部カバー７は、モータステータ４２の内側部４２ｂの外径より僅かに大きな内径の中心穴７１を有する。モータ部カバー７の中心穴７１にモータステータ４２の内側部４２ｂの軸方向下端部が挿入されている。レゾルバカバー８は、レゾルバステータ５２の内径と略同じ径の中心穴８１を有する。
　モータステータ４２の内側部４２ｂには、軸方向に延びる貫通穴４２ｃが形成されている。内側部４２ｂの軸方向下端（レゾルバ５と反対側の端部）の２箇所に、切欠き部４２ｄが形成されている。各切欠き部４２ｄに配線ケーブル３１，３２の外皮の一端が配置されている。配線ケーブル３１の内部配線の一端は、モータステータ４２の貫通穴４２ｃとレゾルバステータ５２の貫通穴を通って、レゾルバ５の回転位置検出部に接続されている。配線ケ－ブル３１の他端にコネクタ３１ａが取り付けられている。

　配線ケーブル３２の内部配線の一端はモータコア４２ａに巻回されたコイル４３に接続され、配線ケーブル３２の他端にコネクタ３２a（第４が取り付けられている。図１のＡ－Ａ断面（図２）には配線ケーブル３２のコネクタは見えない。図３では、両配線ケーブル３１，３２のコネクタが省略されている。
　内側部４２ｂの軸方向下端（レゾルバ５と反対側の端部）の切欠き部４２ｄが形成されていない６箇所に、雌ねじ４２ｅが形成されている。
　レゾルバロータ５１の外縁部５１ａはレゾルバカバー８の外側に配置されている。レゾルバロータ５１の外縁部５１ａのモータロータ４１側の端面には、ボルトＢ１の挿通穴が形成され、反対側の端面にはボルトＢ３を螺合する雌ねじ５１ｂが形成されている。

　モ－タ本体１の中心穴１１は、モータステータ４２およびレゾルバステータ５２の内周面（中心穴）と、レゾルバカバー８の中心穴８１で構成されている。
　ハウジング２は、モ－タ本体１の外周面を覆う円筒部２１と、円筒部２１の軸方向上側に設けられた、モ－タ本体１の回転体に固定される回転出力部２２と、円筒部２１の軸方向下側に設けられた、モ－タ本体１の固定体に固定される固定部２３とからなり、円筒部２１と固定部２３が一体に形成されている。
　回転出力部２２は、円筒部２１の外径と同じ外径を有する円板状部材であり、モ－タ本体１の中心穴１１と同じ直径の中心穴（貫通穴）２２ａを有する。回転出力部２２の外縁に、円筒部２１側に突出する薄肉の周縁部２２ｂが形成されている。回転出力部２２には、レゾルバロ－タ５１の雌ねじ５１ｂに合わせたボルト穴２２ｃが形成され、ボルト穴２２ｃより内側に環状の溝２２ｄが形成されている。回転出力部２２の外縁部に雌ねじ２２ｅが形成されている。

　円筒部２１の軸方向上端（回転出力部２２側）の内縁には、回転出力部２２側に突出する薄肉の周縁部２１ａが形成され、外縁には、回転出力部２２の周縁部２２ｂとともにラビリンスＬを形成する段部２１ｂが形成されている。回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に、オイルシール９が配置されている。オイルシール９は円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。すなわち、円筒部２１と回転出力部２２との間が、オイルシール９とラビリンスＬからなる密封機構１０で密封されている。

　固定部２３は、円筒部２１の外径からはみ出すフランジ部２３ａを有する円板状部材であり、フランジ部２３ａにボルト挿通穴２３ｂが形成されている。固定部２３は、モータ本体１の中心穴１１と同じ直径の中心穴（貫通穴）２３ｃを有する。中心穴２３ｃの２箇所に、径方向外側にＵ字状に凹む凹部２３ｄが形成されている。凹部２３ｄの存在により、配線ケーブル３１，３２は曲げられることなく各凹部２３ｄを通り、ハウジング２の外部に延びる。
　固定部２３には、モータステータ４２の雌ねじ４２ｅと合わせた位置に、ボルト挿通穴２３ｅが形成されている。

　回転出力部２２は、モータ本体１のレゾルバロ－タ（回転体）５１にボルトＢ３で固定されている。固定部２３は、モ－タ本体１のモータステータ（固定体）４２の内側部４２ｂにボルトＢ４で固定されている。
　円筒部２１と固定部２３とが一体化された部材（ハウジングベース）は、アルミニウムの切削加工やダイキャスト法により得ることができ、回転出力部２２も同様にして得ることができる。オイルシール９のリップ部が摺動する回転出力部２２の面は、アルマイト加工等を行い、硬度を上げ、表面粗さを小さくしておく必要がある。

　このモータＡは、例えば、図２に二点鎖線で示すように、中心穴６１ａを有する基台６１の上に固定部２３を固定し、回転出力部２２の上に中心穴６２ａを有するテーブル（取付回転体）６２を固定して使用することができる。基台６１に対する固定部２３の固定は、ボルト挿通穴２３ｂを通したボルトＢ５を、基台６１の雌ねじに螺合することで行われる。回転出力部２２に対するテーブル６２の固定は、テーブル６２のボルト挿通穴を通したボルトＢ６を、回転出力部２２の雌ねじ２２ｅに螺合することで行われる。
　このようにすれば、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。

　その際に、回転出力部２２の溝２２ｄにシール材６３としてのＯリングを配置することで、テーブル６２とモータＡの軸方向上側との防水性を得ることができる。基台６１の上面に環状の溝６１ｂを設けて、溝６１ｂにシール材６３としてのＯリングを配置するか、モータＡを設置した状態で、固定部２３のフランジ部２３ａと基台６１との角部をコーキング材（シール材）６４でシールすることなどにより、テーブル６２とモータＡの下側との防水性を得ることができる。
　この実施形態のモ－タＡは、ハウジング２の中心穴２２ａ，２３ｃとモータ本体１の中心穴１１が連通しているが、これらの中心穴に対する密封機構を有さない。これは、前述のように、通常の使用においては、モ－タの外周面の防水性のみを考慮すればよいためであり、問題がない。そして、これにより、この実施形態の防水モ－タは、部品点数が少なく、コストが低いものとなっている。また、部品点数が少ないことで、組立、分解が容易で、生産性とメンテナンス性が高いものとなっている。

　この実施形態モータＡは、また、摺動により消耗する部品が一ヶ所に取り付けたオイルシール９のみであるため、メンテナンス時の工数と交換部品のコストが低いものとなっている。
　この実施形態のモータＡは、また、オイルシール９とラビリンスＬにより、防水性能だけでなく防塵性能も有する。
　この実施形態のモータＡは、また、円筒部２１が固定部２３と一体に形成されているため、円筒部２１が回転出力部２２と一体に形成されているものと比較して、イナーシャを小さくできる効果がある。

　また、固定部２３にエアパージ用の穴を設けることで、オイルシール９の機能が低下することが防止できる。つまり、この実施形態のモータＡは、エアパージ機構を簡単に設けることができる効果も有する。
　この実施形態のモータＡは、非防水コネクタが付いた配線ケ－ブルを有する非防水モータからなるモータ本体１を、固定部２３と円筒部２１が一体化されたハウジングベースに入れ、回転出力部２２でフタをして、オイルシール９のリップ部を回転出力部２２に接触させ、モータ本体１とハウジング２をボルトＢ３，Ｂ４で固定することにより得ることができる。

　なお、ハウジング２は、円筒部２１が回転出力部２２と一体に形成されているものであってもよい。
　また、オイルシール９は、回転出力部２２に固定され、オイルシール９のリップ部が円筒部２１に接触していてもよい。
　また、用途によっては、オイルシール９を設置せず、ラビリンスＬのみとすることもできる。
　また、密封機構１０は、オイルシール９のように、リップ部を一つだけ有するものを使用してもよいし、ダストリップとシールリップの両方を有するものを使用してもよい。

［第２実施形態］
　この実施形態のモ－タＡは、図１のＡ－Ａ断面が図４に示す形状である点を除いて、図２に示す第１実施形態と同じである。図４において、図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　すなわち、この実施形態のモータＡでは、第１実施形態と同様に、回転出力部２２の外縁に、円筒部２１側に突出する薄肉の周縁部２２ｂが形成されているが、その端面は外周側に拡径するテーパ面２２ｆとなっている。このテーパ面２２ｆと所定隙間で対向するテーパ面２１ｄが、円筒部２１の軸方向一端（回転出力部２２側）の外縁部に形成されている。つまり、円筒部２１と回転出力部２２との間がオイルシ－ル９のみで密封されて、密封機構１０を構成している。オイルシール９の外周側は囲われているが、ラビリンスからなる密封機構を有していない。

　よって、この実施形態のモータＡによれば、第１実施形態のモータＡと同じ効果に加えて、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１とオイルシ－ル９とで形成される空間Ｋ内の液体が、周縁部２２ｂのテーパ面２２ｆと円筒部２１のテーパ面２１ｄとの隙間から、モータＡの回転時に遠心力で排出されるという効果も得られる。つまり、この実施形態のモータＡは、空間Ｋ内の液体がモータ本体１内に浸入することを防止できる効果が、第１実施形態のモータＡよりも高い。

［第３実施形態］
　この実施形態のモ－タＡは、図１のＡ－Ａ断面が図５に示す形状である点を除いて、図２に示す第１実施形態と同じである。図５において、図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　すなわち、この実施形態のモータＡでは、回転出力部２２の外縁に、円筒部２１側に突出する薄肉の周縁部２２ｂが形成されていない。また、円筒部２１の軸方向上端（回転出力部２２側）の外縁部に、段部２１ｂが形成されていない。つまり、円筒部２１と回転出力部２２との間がオイルシ－ル９のみで密封されて密封機構１０を構成し、オイルシール９の外周側は開放されている。

　よって、この実施形態のモータＡによれば、第１実施形態のモータＡと同じ効果に加えて、回転出力部２２の外縁に薄肉の周縁部２２ｂが形成されていないことで回転出力部２２の形状が簡単になるため、コストが低減できるという効果も得られる。
　なお、第１～第３実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。

［第４実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図６に示す形状である点を除いて、図２に示す第１実施形態と同じである。図６において、図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図６に示すモータＡにおいて、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて円筒部２１と回転出力部２２との間を密封するシール材１２を有し、回転出力部２２は、シール材１２が接触するシール接触面２２ｈの硬度が当該シール接触面２２ｈ以外の部分の硬度よりも高い軽量材からなっている。

　シール材１２は、好ましくはオイルシールで構成され、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。シール材１２は、円筒部２１に取り付けられ、シール材１２のリップ部が回転出力部２２のシール接触面２２ｈに接触している。
　ここで、通常は、回転出力部２２におけるシール接触面２２ｈは、硬度が必要なため、回転出力部２２の母材を鋼材とし、無電解ニッケルを施したものを必要とする。このため、回転出力部の全体が鋼材であるため、非常に重い。これに対して、本実施形態のモータＡでは、回転出力部２２はシール接触面２２ｈの硬度を当該シール接触面２２ｈ以外の部分の硬度よりも高くした軽量材からなっている。このため、回転出力部２２におけるシール接触面２２ｈに必要な硬度を確保した上で回転出力部２２の軽量化、低イナーシャ化を実現することができる。

　そして、回転出力部２２は、少なくともシール接触面２２ｈに硬度向上処理がなされたものであり、その硬度向上処理は表面処理である。また、回転出力部２２の軽量材がアルミ材である。本実施形態のモータＡでは、回転出力部２２がシール接触面２２ｈに硬質な表面処理を施したアルミ材を使用することにより、回転出力部２２におけるシール接触面２２ｈに必要な硬度を確保した上で回転出力部２２の軽量化、低イナーシャ化を実現することができる。
　また、回転出力部２２に熱伝導率の高いアルミ材を使用することにより、放熱性が向上し、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　ここで、「アルミ材」とは、主にアルミニウムからなる材料で、アルミニウム合金が含まれる。また、表面処理としては、陽極酸化処理が好適である。
　また、このモータＡにおいて、前述の硬度向上処理が熱処理であり、前述の軽量材が超硬ジュラルミンであってもよい。
　また、モータＡにおいて、回転出力部２２のシール接触面２２ｈの面粗さをＲａ０．０５～１．６０とし、シール材１２の内径と該シール材１２を取り付けるシール取付部（円筒部２１に形成された周縁部２１ａ）の外径とのはめあいを５．０～２５．００ｍｍのしまりばめとしてある。

　また、モータＡの第１実施形態の説明で述べたように、モータ本体１はアウターロータ型であり、モータ本体１には、内側にレゾルバステータ５２を、レゾルバステータ５２の外周側にレゾルバロータ５１を有するレゾルバ５が内蔵されている。そして、この実施形態のモータＡにおいては、回転出力部２２とレゾルバロータ５１とを一体化し、回転出力部２２とレゾルバロータ５１とを一体化した部分に形成されたボルト用貫通孔２２ｇを介してボルトＢ１により、回転出力部２２とレゾルバロータ５１とを一体した部材をモータロータ４１に取り付けている。

　ここで、レゾルバ５は、磁気を利用するセンサであるため、レゾルバ５のレゾルバロータ５１を含む周辺部材には、磁気影響の少ない非磁性材料を使用する必要がある。従って、従来においては、レゾルバ５のレゾルバロータ５１を含む周辺部材と鋼材で構成される回転出力部２２とは一体化できなかった。本実施形態のモータＡでは、回転出力部２２にアルミ材や超硬ジュラルミンの非磁性材料を利用しているので、レゾルバ５のレゾルバロータ５１と回転出力部２２とを一体化している。レゾルバ５のレゾルバロータ５１と回転出力部２２とを非磁性材料を用いて一体化することにより、熱伝導率が高くなり、放熱性が向上し、発熱によるモーＡの定格出力の制限を緩和することができることになる。

　なお、レゾルバ５のレゾルバロータ５１と回転出力部２２とを一体化し、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面に設けたシール材６３用の溝２２ｄをレゾルバロータ５１よりも外周側に設け、回転出力部２２には、回転出力部２２の回転軸中心からシール材６３用の溝２２ｄの内側であってレゾルバロータ５１近傍に至る部分にまで開口する開口部２２ｉを設けてある。
　この開口部２２ｉの直径は、モータＡの中心穴１１の直径、即ち、図２に示した第１実施形態のモータＡの回転出力部２２に形成された中心穴（貫通穴）２２ａの直径よりも大きい。このため、配線配管の自由度を第１実施形態に比べて増加させることができる。また、開口部２２ｉは、回転出力部２２の回転軸中心からシール材６３用の溝２２ｄの内側であってレゾルバロータ５１近傍に至る部分にまで開口するので、レゾルバ５の部品交換や調整が直径の大きな開口部２２ｉを介して容易に行なうことができる。

　なお、シール材６３用の溝２２ｄは、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面に設けることなく、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。これにより、回転出力部２２の構造を簡素化することができるとともに、レイアウトの自由度を高くすることができる。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。
　また、第４実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。
　また、モータ本体１は、内周側が回転するインナーロータ型であってもよい。

［第５実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図７に示す形状である点を除いて、図２に示す第１実施形態と同じである。図７において、図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図７に示すモータＡにおいて、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３を構成する。
　この実施形態のモータＡによれば、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられているため、消耗部品である液体侵入防止手段（シール）の数を削減し、低コスト構造を実現するとともに、メンテナンスの手間をも削減することができる。

　そして、液体侵入防止手段１３は、オイルシール９で構成されており、このオイルシール９は、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。オイルシール９は、円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。これにより、円筒部２１と回転出力部２２との間が、オイルシール９で密封されている。
　なお、液体侵入防止手段１３は、オイルシール９ではなく、ダストシールや、軸受シール部に使用されるような低回転抵抗シールであってもよい。

　液体侵入防止手段１３がオイルシール９の場合には、回転部材２２におけるシール接触面の硬度を高くするため、回転部材２２に用いる材料が限定されたり、シール接触面に表面処理をする必要性が生じたりする。しかし、液体侵入防止手段１３として、ダストシールや低回転抵抗シールを用いる場合、回転出力部２２及び回転出力部２２に施す表面処理を自由に選択することができる。また、液体侵入防止手段１３として、ダストシールや低回転抵抗シールを用いる場合、回転抵抗が少なく効率の高い、省エネルギーなモータＡとすることができる。また、モータＡの出力を向上させることができ、摩擦による発熱が少ないためモータＡの定格出力を向上させることができる。

　また、この実施形態のモータＡにおいては、エアパージによりモータ内圧を上げている。具体的に述べると、ハウジング２の固定部２３及びモータ部カバー７に、固定部２３の底面からモータ部カバー７の貫通孔７２まで延びる内圧用気道２３ｇを設けている。この内圧用気道２３ｇの固定部２３の外部には、ホース８２が接続され、当該ホース８２から矢印Ｘ向きにエアが供給される。そして、ホース８２から矢印Ｘ向きに供給されたエアは、内圧用気道２３ｇを通ってモータ部カバー７の貫通孔７２からモータ本体１内に入り込む。これにより、モータ本体１内の内圧を上げることができる。これにより、液体侵入防止手段１３の部位においても内圧が外圧よりも高くなり、より外部から液体が侵入するのを防止することができる。

　また、この実施形態のモータＡにおいては、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。これにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。
　更に、この実施形態のモータＡにおいては、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、前述したように、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。
　また、第５実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。

［第６実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図８に示す形状である点を除いて、図７に示す第５実施形態と同じである。図８において、図７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図８に示すモータＡにおいては、図７に示すモータＡに対し、液体侵入防止手段１３が、更にラビリンスＬを有している。具体的に述べると、液体侵入防止手段１３は、オイルシール９とラビリンスＬとからなっている。
　そして、オイルシール９は、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。オイルシール９は、円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。
　また、円筒部２１の軸方向上端には、外径を異ならせる段差２１ｃが形成され、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。

　この実施形態のモータＡにおいては、オイルシール９とラビリンスＬとにより構成される液体侵入防止手段１３により、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止することができる。
　なお、第５実施形態のモータＡと同様に、用途に応じて、オイルシール９ではなく、ダストシールや、軸受シール部に使用されるような低回転抵抗シールであってもよい。
　また、第６実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡと同様に、液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられているため、消耗部品である液体侵入防止手段の数を削減し、低コスト構造を実現するとともに、メンテナンスの手間をも削減することができる。

　また、第６実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げてもよい。
　また、第６実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第６実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第５実施形態と同様に、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。
　また、第６実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。

［第７実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図９に示す形状である点を除いて、第６実施形態と同じである。図９において、図８に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図９に示すモータＡにおいては、液体侵入防止手段１３が、オイルシール９を有さず、ラビリンスＬのみで構成されている。
　ここで、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。
　この実施形態のモータＡにおいては、ラビリンスＬにより構成される液体侵入防止手段１３により、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止することができる。

　なお、より確実な液体侵入防止を図るには、第６実施形態のようにラビリンスＬをオイルシール９と組み合わせた方がよいが、用途によっては、ラビリンスＬのみで十分な場合もある。オイルシール９を用いていないので、製造コストが削減されるだけでなく、オイルシール９の交換も必要ないので、メンテナンス性に優れている。また、液体侵入防止手段１３が非接触となり、オイルシール９を用いる場合と異なり、回転出力部２２におけるシール接触面の硬度や表面粗さの制約を免れるとともに、回転抵抗を減らすことができ、モータ出力の向上を図ることができる。また、オイルシールの摩擦による発熱がないため、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　この第７実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡ及び第６実施形態のモータＡと同様に、液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられている。
　また、第７実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡ及び第６実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げてもよい。第７実施形態のモータＡにおいては、液体侵入防止手段１３がラビリンスＬのみであるので、液体侵入に対してエアパージが特に有効に機能する。

　また、第７実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡ及び第６実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第７実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態のモータＡ及び第６実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この第７実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第５実施形態のモータＡ及び第６実施形態のモータＡと同様に、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。
　また、第７実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。

［第８実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１０に示す形状である点を除いて、図９に示す第７実施形態と同じである。図１０において、図９に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１０に示すモータＡにおいては、液体侵入防止手段１３は、ラビリンスＬの近傍に多孔質部材１４を備えている。
　具体的に述べると、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。
　そして、円筒部２１の小径部分の外周には、その外周から彫り込んだ円環状の凹溝が形成され、この凹溝内に円環状の多孔質部材１４が配置されている。多孔質部材１４は、円環状であるが、その組み立て上、複数の部材を組み合わせて構成される。

　この実施形態のモータＡにおいては、ラビリンスＬの近傍に多孔質部材１４があることで、ラビリンスＬに入り込んできた液体がわずかであれば、毛細管現象により吸収することができる。
　また、円筒部６１の小径部分には、モータ本体１の内部と多孔質部材１４とをつなぐ多孔質部材用気道２１ｆが設けられている。これにより、エアパージを行った際（第８実施形態のモータＡにおいて、第５実施形態乃至第７実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げた際）に、多孔質部材１４から回転出力部２２の周縁部２２ｂに向けて均質なエアが吹き出され、ラビリンスＬからの液体の侵入を防止することができる。

　なお、エアパージは、第５実施形態のモータＡで説明したように、ハウジング２の固定部２３及びモータ部カバー７に設けた内圧用気道２３ｇにホース８２を接続し、当該ホース８２から矢印Ｘ向きにエアを供給することにより行う。
　この第８実施形態のモータＡにおいても、液体侵入防止手段１３が非接触となり、オイルシール９を用いる場合と異なり、回転出力部２２におけるシール接触面の硬度や表面粗さの制約を免れるとともに、回転抵抗を減らすことができ、モータ出力の向上を図ることができる。また、オイルシールの摩擦による発熱がないため、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　この第８実施形態のモータＡにおいても、第５実施形態乃至第７実施形態のモータＡと同様に、液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられている。
　また、第８実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態乃至第７実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第８実施形態のモータＡにおいては、第５実施形態乃至第７実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この第８実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第５実施形態乃至第７実施形態のモータＡと同様に、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。

　また、第８実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。
　なお、第５乃至第８実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、アウターロータ型ではなく、内周側が回転するインナーロータ型であってもよい。

［第９実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１１に示す形状である点を除いて、図７に示す第５実施形態と同じである。図１１において、図７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１１に示すモータＡにおいては、図７に示すモータＡと同様に、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３を構成する。
　この実施形態のモータＡによれば、第５実施形態に示すモータＡと同様に、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられているため、消耗部品である液体侵入防止手段（シール）の数を削減し、低コスト構造を実現するとともに、メンテナンスの手間をも削減することができる。

　そして、液体侵入防止手段１３は、オイルシール９及びラビリンスＬで構成されている。
　ここで、オイルシール９は、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。オイルシール９は、円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。
　また、円筒部２１の軸方向上端には、外径を異ならせる段差２１ｃが形成され、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。

　そして、このラビリンスＬにおいて、円筒部２１の小径部分の外径及び回転出力部２２の周縁部２２ｂの内径は、円筒部２１の軸方向上側から軸方向下側に向けて大きくなるように、回転出力部２２の回転軸ＣＬに対して角度θで傾斜している。
　ラビリンスＬをこのようなテーパ形状とすることにより、ラビリンスＬに侵入した液体にはモータ回転時の遠心力が作用し、液体の侵入を防止するとともに、侵入した液体を強制的にラビリンスＬから排出することができる。
　また、ラビリンスＬをこのようなテーパ形状とすることにより、モータＡの組立て時において、ハウジング２の円筒部２１と回転出力部２２の周縁部２２ｂとの嵌め込みがし易く、組立性及びメンテナンス性を向上させることができる。

　ラビリンスＬの前述の角度θは、１°以上２０°以下、好ましくは５°以上１５°以下が良い。角度θが１°未満の場合には、遠心力による排水性の効果や組立性及びメンテナンス性向上の効果が得られないため好ましくない。また、角度θが２０°よりも大きい場合には、液体に働く重力の影響が小さくなり、排水性が低下するとともに、ラビリンスＬの距離が確保しにくくなり、液体や異物の侵入を防止できなくなるおそれがあり好ましくない。
　なお、第５実施形態のモータＡと同様に、用途に応じてオイルシール９ではなく、ダストシールや、軸受シール部に使用されるような低回転抵抗シールを用いても良い。

　オイルシール９を用いる場合には、回転部材２２におけるシール接触面の硬度を高くするため、回転部材２２に用いる材料が限定されたり、シール接触面に表面処理をする必要性が生じたりする。しかし、ダストシールや低回転抵抗シールを用いる場合、回転出力部２２及び回転出力部２２に施す表面処理を自由に選択することができる。また、ダストシールや低回転抵抗シールを用いる場合、回転抵抗が少なく効率の高い、省エネルギーなモータＡとすることができる。また、モータＡの出力を向上させることができ、摩擦による発熱が少ないためモータＡの定格出力を向上させることができる。

　また、この実施形態のモータＡにおいては、図７に示す第５実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げてもよい。
　また、この実施形態のモータＡにおいては、図７に示す第５実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。これにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。
　更に、この実施形態のモータＡにおいては、図７に示す第５実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この実施形態のモータＡにおいては、図７に示す第５実施形態のモータＡと同様に、モータ本体１は、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。
　また、第９実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。

［第１０実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１２に示す形状である点を除いて、図１１に示す第９実施形態と同じである。図１２において、図１１に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１２に示すモータＡにおいては、液体侵入防止手段１３が、オイルシール９を有さず、ラビリンスＬのみで構成されている。
　ここで、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。そして、このラビリンスＬにおいて、円筒部２１の小径部分の外径及び回転出力部２２の周縁部２２ｂの内径は、円筒部２１の軸方向上側から軸方向下側に向けて大きくなるように、回転出力部２２の回転軸ＣＬに対して角度θで傾斜している。

　この実施形態のモータＡにおいては、ラビリンスＬにより構成される液体侵入防止手段１３により、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止することができる。
　なお、より確実な液体侵入防止を図るには、図１１に示す第９実施形態のモータＡのように、ラビリンスＬをオイルシール９と組み合わせた方がよいが、用途によっては、ラビリンスＬのみで十分な場合もある。オイルシール９を用いていないので、製造コストが削減されるだけでなく、オイルシール９の交換も必要ないので、メンテナンス性に優れている。また、液体侵入防止手段１３が非接触となり、オイルシール９を用いる場合と異なり、回転出力部２２におけるシール接触面の硬度や表面粗さの制約を免れるとともに、回転抵抗を減らすことができ、モータ出力の向上を図ることができる。また、オイルシールの摩擦による発熱がないため、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　この第１０実施形態のモータＡにおいては、図１１に示す第９実施形態のモータＡと同様に、液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられている。
　また、第１０実施形態のモータＡにおいては、第９実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げてもよい。第１０実施形態のモータＡにおいては、液体侵入防止手段１３がラビリンスＬのみであるので、液体侵入に対してエアパージが特に有効に機能する。
　また、第１０実施形態のモータＡにおいては、図１１に示す第９実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。

　更に、第１０実施形態のモータＡにおいては、図１１に示す第９実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この第１０実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、図１１に示す第９実施形態のモータＡと同様に、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。
　また、第１０実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。

［第１１実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１３に示す形状である点を除いて、図１２に示す第１０実施形態と同じである。図１３において、図１２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１３に示すモータＡにおいては、液体侵入防止手段１３は、ラビリンスＬの近傍に多孔質部材１４を備えている。
　具体的に述べると、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。そして、このラビリンスＬにおいて、円筒部２１の小径部分の外径及び回転出力部２２の周縁部２２ｂの内径は、円筒部２１の軸方向上側から軸方向下側に向けて大きくなるように、回転出力部２２の回転軸ＣＬに対して角度θで傾斜している。

　そして、円筒部２１の小径部分の外周には、その外周から彫り込んだ円環状の凹溝が形成され、この凹溝内に円環状の多孔質部材１４が配置されている。多孔質部材１４は、円環状であるが、その組み立て上、複数の部材を組み合わせて構成される。
　この実施形態のモータＡにおいては、ラビリンスＬの近傍に多孔質部材１４があることで、ラビリンスＬに入り込んできた液体がわずかであれば、毛細管現象により吸収することができる。
　また、円筒部６１の小径部分には、モータ本体１の内部と多孔質部材１４とをつなぐ多孔質部材用気道２１ｆが設けられている。これにより、エアパージを行った際に、多孔質部材１４から回転出力部２２の周縁部２２ｂに向けて均質なエアが吹き出され、ラビリンスＬからの液体の侵入を防止することができる。

　なお、エアパージは、ハウジング２の固定部２３及びモータ部カバー７に設けた内圧用気道２３ｇにホース８２を接続し、当該ホース８２から矢印Ｘ向きにエアを供給することにより行う。
　この第１１実施形態のモータＡにおいても、図１２に示す第１０実施形態のモータＡと同様に、液体侵入防止手段１３が非接触となり、オイルシール９を用いる場合と異なり、回転出力部２２におけるシール接触面の硬度や表面粗さの制約を免れるとともに、回転抵抗を減らすことができ、モータ出力の向上を図ることができる。また、オイルシールの摩擦による発熱がないため、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　この第１１実施形態のモータＡにおいても、第９実施形態及び第１０実施形態のモータＡと同様に、液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられている。
　また、第１１実施形態のモータＡにおいては、第９実施形態及び第１０実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第１１実施形態のモータＡにおいては、第９実施形態及び第１０実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。

　また、この第１１実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第９実施形態及び第１０実施形態のモータＡと同様に、アウターロータ型である。
　また、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、この実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。

　また、第１１実施形態では、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。
　なお、第９乃至第１１実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、アウターロータ型ではなく、内周側が回転するインナーロータ型であってもよい。

［第１２実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１４に示す形状である点を除いて、図２に示す第１実施形態と同じである。図１４において、図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　図１４に示すモータＡにおいて、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３を構成し、更に、液体が内部に侵入した際に故障を防止する故障防止手段９０を備えている。

　ここで、この実施形態のモータＡによれば、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられているため、消耗部品である液体侵入防止手段（シール）の数を削減し、低コスト構造を実現するとともに、メンテナンスの手間をも削減することができる。
　そして、液体侵入防止手段１３は、オイルシール９で構成されており、このオイルシール９は、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。オイルシール９は、円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。これにより、円筒部２１と回転出力部２２との間が、オイルシール９で密封されている。

　また、故障防止手段９０は液体感知センサ９１であり、円筒部２１の軸方向下側に設けられたハウジング２の固定部２３に設置されている。この液体感知センサ９１は、ハウジング２の外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通ってモータ本体１の内部に侵入した液体を感知することができる。液体感知センサ９１は、液体を感知した時は、異常信号を発しコード９２を通じて図示しない異常ランプなどの異常通知手段に当該異常信号を送る。そして、異常通知手段は、異常信号を受信したときに、液体の侵入による異常を音や光などで作業者に通知する。また、液体感知センサ９１を図示しないモータＡの制御器に接続しておき、液体感知センサ９１からの異常信号を当該制御器に送信するようにして、その制御器でモータＡを安全な位置で停止するようにしてもよい。

　作業者は、液体の侵入による異常通知を受けて、モータ本体１への液体の侵入に対し液体侵入防止手段１３の交換などの適切な処置を行うことができる。こおのように、第１２実施形態のモータＡによれば、水や油などの液体がモータ本体１内に溜まるのを未然に防ぎ、モータＡの故障を防止することができる。
　そして、故障防止手段９０を構成する液体感知センサ９１が設置される固定部２３は、円筒部２１の軸方向に対して傾斜する傾斜部９３と、傾斜部９３の軸方向最も下側部分から水平に延びる底面部９４とを有し、液体感知センサ９１は底面部９４上に設置されている。これにより、モータ本体１内に侵入した液体は、重力で集約されて液体感知センサ９１に集まるので、液体感知センサ９１での検知がより早期に可能となり、モータＡの故障の可能性をより低く抑えることができる。

　なお、傾斜部９３の傾斜の仕方は、円筒部２１の軸方向に対して傾斜していれば良い。図１４に示すモータＡにおいては、傾斜部９３は、固定部２３の内周側が軸方向で上側の高い位置に位置し、固定部２３の外周側が軸方向で下側の低い位置に位置しているが、その逆に、固定部２３の内周側が軸方向で下側の低い位置に位置し、固定部２３の外周側が軸方向で上側の高い位置に位置していてもよい。また、傾斜部９３は、固定部２３の径方向に高さを変化させる場合のみならず、周方向に高さを変化させるものであってもよい。いずれにせよ、底面部９４が傾斜部９３の軸方向最も下側部分から水平に延びるよう構成され、その底面部９４上に液体感知センサ９１が設置される。

［第１３実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１５に示す形状である点を除いて、図１４に示す第１２実施形態と同じである。図１５において、図１４に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　図１５に示すモータＡにおいて、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３を構成し、更に、液体が内部に侵入した際に故障を防止する故障防止手段９０を備えている。

　また、故障防止手段９０は、円筒部２１の軸方向下側に設けられたハウジング２の固定部２３に形成された液体通し孔９５である。液体通し孔９５は、固定部２３の軸方向上面から軸方向下面を貫通するように形成されている。この液体通し孔９５は、ハウジング２の外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通ってモータ本体１の内部に侵入した液体をハウジング２の軸方向下方側に逃がすことができる。液体がモータ本体１内に侵入した時、液体は重力で下方へ流れ、液体が液体通し孔９５に至ると、液体通し孔９５を通ってハウジング２の下方側へ排出される。液体通し孔９５がないと、液体がモータ本体１内に侵入した時、液体は固定部２３上に溜まってしまうが、液体通し孔９５があることで、液体は液体通し孔９５を通ってハウジング２の下方側へ排出される。これにより、モータ本体１内に侵入した液体がハウジング２内で溜まるのを防止することができる。また、モータ本体１の内部に空気を送り込むエアパージなどにより、内圧を上げることで、液体が液体通し孔９５からより抜けやすくなり、モータＡの故障の可能性をより低く抑えることができる。

　そして、故障防止手段９０を構成する液体通し孔９５が形成される固定部２３は、図１４に示す第１２実施形態のモータＡと同様に、円筒部２１の軸方向に対して傾斜する傾斜部９３と、傾斜部９３の軸方向最も下側部分から水平に延びる底面部９４とを有している。そして、液体通し孔９５は、底面部９４に軸方向上下に貫通するように形成されている。これにより、モータ本体１内に侵入した液体は、重力で集約されて液体通し孔９５に集まるので、液体通し孔９５による液体逃がし効率が上がり、液体の溜まる量を減らすことができ、モータＡの故障の可能性をより低く抑えることができる。

　なお、傾斜部９３の傾斜の仕方は、図１４に示す第１２実施形態と同様に、円筒部２１の軸方向に対して傾斜していれば良い。図１５に示すモータＡにおいては、傾斜部９３は、固定部２３の内周側が軸方向で上側の高い位置に位置し、固定部２３の外周側が軸方向で下側の低い位置に位置しているが、その逆に、固定部２３の内周側が軸方向で下側の低い位置に位置し、固定部２３の外周側が軸方向で上側の高い位置に位置していてもよい。また、傾斜部９３は、固定部２３の径方向に高さを変化させる場合のみならず、周方向に高さを変化させるものであってもよい。いずれにせよ、底面部９４が傾斜部９３の軸方向最も下側部分から水平に延びるよう構成され、底面部９４を軸方向上下に貫通するように液体通し孔９５が形成される。

　なお、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡにおいては、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。このため、モータ本体１の中心穴１１については、液体侵入防止手段１３によって密封する必要はなく、ハウジング２の軸方向外周側一カ所のみに液体侵入防止手段１３を配置する。

　また、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡにおいては、転がり軸受６を一つとしている。転がり軸受６を一つとすることにより、構成部材を減らし、構造を簡略化し、組立を容易にすると共に、構成部材が少ないことにより、モーＡを小型化することが可能となる。転がり軸受６としては、軸方向及び径方向の何れの荷重も受けることができる四点接触玉軸受、クロスローラ軸受又は深溝玉軸受が好ましい。
　また、図１４に示す第１２実施形態のモータＡにおいては、故障防止手段９０として液体感知センサ９１を用い、図１５に示す第１３実施形態のモータＡにおいては、故障防止手段９０として液体通し孔９５を用いたが、本発明においては、これに限定されず、故障防止手段９０が、液体感知センサ９１及び液体通し孔９５を有する構成としてもよい。

　また、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡにおいて、回転出力部２２は、レゾルバロータ５１を介してモータロータ４１に固定されている。この構成により、レゾルバ５の調整を容易にしている。
　また、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡにおいて、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。

　また、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡでは、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。
　なお、図１４に示す第１２実施形態及び図１５に示す第１３実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、アウターロータ型ではなく、内周側が回転するインナーロータ型であってもよい。

［第１４実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１６に示す形状である点を除いて、図２に示す第１実施形態と同じである。図１６において、図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１６に示すモータＡにおいて、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に配置されて円筒部２１と回転出力部２２との間を密封するシール材１２を有し、回転出力部２２は、モータ本体１の中心穴１１を塞ぐように構成されている。シール材１２としては、オイルシールが好適である。
　通常、モータ本体１に中心穴１１を有するモータＡにおいては、中心穴１１を配線や配管を通すために使用するため、出力側（回転出力部２２側）も開口し、モータ固定側から出力側に配線や配管を通すことができるようにしている。このため、回転出力部２２も軸方向に貫通する中心穴を有している。図１６に示す第１４実施形態のモータＡにおいては、防水性が求められるが、回転出力部２２をモータ本体１の中心穴１１を塞ぐように構成し、モータ本体１の中心穴１１を通して行う配線や配管が不要の場合に適している。

　また、図１６に示す第１４実施形態のモータＡにおいては、転がり軸受６を一つとしている。転がり軸受６を一つとすることにより、構成部材を減らし、構造を簡略化し、組立を容易にすると共に、構成部材が少ないことにより、モーＡを小型化することが可能となる。転がり軸受６としては、軸方向及び径方向の何れの荷重も受けることができる四点接触玉軸受、クロスローラ軸受又は深溝玉軸受が好ましい。
　また、図１６に示す第１４実施形態のモータＡにおいて、回転出力部２２は、レゾルバロータ５１を介してモータロータ４１に固定されている。この構成により、レゾルバ５の調整を容易にしている。

　また、図１６に示す第１４実施形態のモータＡにおいて、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、図１６に示す第１４実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。

　また、図１６に示す第１４実施形態のモータＡでは、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。
　なお、図１６に示す第１４実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、アウターロータ型ではなく、内周側が回転するインナーロータ型であってもよい。

［第１５実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１７に示す形状である点を除いて、図７に示す第５実施形態と同じである。図１７において、図７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図７に示す第５実施形態のモータＡにおいては、円筒部２１の軸方向一カ所のみでハウジング２を密封する密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて、液体が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段１３を構成するが、図１７に示す第１５実施形態のモータＡの場合、当該液体侵入防止手段１３が、異物が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する異物侵入防止手段１５を構成する。
　つまり、図１７に示す第１５実施形態のモータＡにおいて、密封機構１０は、円筒部２１と回転出力部２２との間に設けられて、異物が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する異物侵入防止手段１５を構成している。

　この実施形態のモータＡによれば、異物が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止する異物侵入防止手段１５が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられているため、消耗部品である異物侵入防止手段（シール）１５の数を削減し、低コスト構造を実現するとともに、メンテナンスの手間をも削減することができる。ここで、「異物」としては、水や油等の液体、塵埃あるいは金属粉等の粉体等を想定している。
　そして、異物侵入防止手段１５は、オイルシール９で構成されており、このオイルシール９は、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。オイルシール９は、円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。これにより、円筒部２１と回転出力部２２との間が、オイルシール９で密封されている。

　なお、異物侵入防止手段１５は、オイルシール９ではなく、ダストシールや、軸受シール部に使用されるような低回転抵抗シールであってもよい。
　異物侵入防止手段１５がオイルシール９の場合には、回転部材２２におけるシール接触面の硬度を高くするため、回転部材２２に用いる材料が限定されたり、シール接触面に表面処理をする必要性が生じたりする。しかし、異物侵入防止手段１５として、ダストシールや低回転抵抗シールを用いる場合、回転出力部２２及び回転出力部２２に施す表面処理を自由に選択することができる。また、異物侵入防止手段１５として、ダストシールや低回転抵抗シールを用いる場合、回転抵抗が少なく効率の高い、省エネルギーなモータＡとすることができる。また、モータＡの出力を向上させることができ、摩擦による発熱が少ないためモータＡの定格出力を向上させることができる。

　また、この実施形態のモータＡにおいては、エアパージによりモータ内圧を上げている。具体的に述べると、ハウジング２の固定部２３及びモータ部カバー７に、固定部２３の底面からモータ部カバー７の貫通孔７２まで延びる内圧用気道２３ｇを設けている。この内圧用気道２３ｇの固定部２３の外部には、ホース８２が接続され、当該ホース８２から矢印Ｘ向きにエアが供給される。そして、ホース８２から矢印Ｘ向きに供給されたエアは、内圧用気道２３ｇを通ってモータ部カバー７の貫通孔７２からモータ本体１内に入り込む。これにより、モータ本体１内の内圧を上げることができる。これにより、異物侵入防止手段１５の部位においても内圧が外圧よりも高くなり、より外部から液体が侵入するのを防止することができる。

　また、この実施形態のモータＡにおいては、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。これにより、異物がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。
　更に、この実施形態のモータＡにおいては、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、異物がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止している。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。
　また、この実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、前述したように、アウターロータ型である。

［第１６実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１８に示す形状である点を除いて、図１７に示す第１５実施形態と同じである。図１８において、図１７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１８に示すモータＡにおいては、図１７に示すモータＡに対し、異物侵入防止手段１５が、更にラビリンスＬを有している。具体的に述べると、異物侵入防止手段１５は、オイルシール９とラビリンスＬとからなっている。

　そして、オイルシール９は、回転出力部２２の周縁部２２ｂと円筒部２１の周縁部２１ａとで形成される空間に配置されている。オイルシール９は、円筒部２１に取り付けられ、オイルシール９のリップ部が回転出力部２２に接触している。
　また、円筒部２１の軸方向上端には、外径を異ならせる段差２１ｃが形成され、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。

　この実施形態のモータＡにおいては、オイルシール９とラビリンスＬとにより構成される異物侵入防止手段１５により、異物が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止することができる。
　なお、第１６実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡと同様に、用途に応じて、オイルシール９ではなく、ダストシールや、軸受シール部に使用されるような低回転抵抗シールを用いても良い。
　また、第１６実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡと同様に、異物侵入防止手段１５が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられているため、消耗部品である異物侵入防止手段の数を削減し、低コスト構造を実現するとともに、メンテナンスの手間をも削減することができる。

　また、第１６実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げてもよい。
　また、第１６実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第１６実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、異物がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。
　また、この実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第１５実施形態と同様に、アウターロータ型である。

［第１７実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図１９に示す形状である点を除いて、図１８に示す第６実施形態と同じである。図１９において、図１８に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図１９に示すモータＡにおいては、異物侵入防止手段１５が、オイルシール９を有さず、ラビリンスＬのみで構成されている。
　ここで、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。
　この実施形態のモータＡにおいては、ラビリンスＬにより構成される異物侵入防止手段１５により、異物が外部から円筒部２１と回転出力部２２との間を通って内部に侵入するのを防止することができる。

　なお、より確実な異物侵入防止を図るには、第１６実施形態のようにラビリンスＬをオイルシール９と組み合わせた方がよいが、用途によっては、ラビリンスＬのみで十分な場合もある。オイルシール９を用いていないので、製造コストが削減されるだけでなく、オイルシール９の交換も必要ないので、メンテナンス性に優れている。また、異物侵入防止手段１５が非接触となり、オイルシール９を用いる場合と異なり、回転出力部２２におけるシール接触面の硬度や表面粗さの制約を免れるとともに、回転抵抗を減らすことができ、モータ出力の向上を図ることができる。また、オイルシールの摩擦による発熱がないため、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　この第１７実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡ及び第１６実施形態のモータＡと同様に、異物侵入防止手段１５が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられている。
　また、第１７実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡ及び第１６実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げてもよい。第１７実施形態のモータＡにおいては、異物侵入防止手段１５がラビリンスＬのみであるので、液体侵入に対してエアパージが特に有効に機能する。

　また、第１７実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡ及び第１６実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第１７実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態のモータＡ及び第１６実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、異物がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。
　また、この第１７実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第１５実施形態のモータＡ及び第１６実施形態のモータＡと同様に、アウターロータ型である。

［第１８実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図２０に示す形状である点を除いて、図１９に示す第１７実施形態と同じである。図２０において、図１９に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　即ち、図２０に示すモータＡにおいては、異物侵入防止手段１５は、ラビリンスＬの近傍に多孔質部材１４を備えている。
　具体的に述べると、ラビリンスＬは、円筒部２１の段差２１ｃによる小径部分の外周面と回転出力部２２の周縁部２１ａの内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、円筒部２１の大径部分と小径部分の境目である段差２１ｃの面と回転出力部２２の周縁部２２ｂの下端面との間に所定の隙間を設けて構成されている。
　そして、円筒部２１の小径部分の外周には、その外周から彫り込んだ円環状の凹溝が形成され、この凹溝内に円環状の多孔質部材１４が配置されている。多孔質部材１４は、円環状であるが、その組み立て上、複数の部材を組み合わせて構成される。

　この実施形態のモータＡにおいては、ラビリンスＬの近傍に多孔質部材１４があることで、ラビリンスＬに入り込んできた液体が異物であり、わずかであれば、毛細管現象により吸収することができる。
　また、円筒部６１の小径部分には、モータ本体１の内部と多孔質部材１４とをつなぐ多孔質部材用気道２１ｆが設けられている。これにより、エアパージを行った際（第１８実施形態のモータＡにおいて、第１５実施形態乃至第１７実施形態のモータＡと同様に、エアパージによりモータ内圧を上げた際）に、多孔質部材１４から回転出力部２２の周縁部２２ｂに向けて均質なエアが吹き出され、ラビリンスＬからの異物の侵入を防止することができる。

　なお、エアパージは、第１５実施形態のモータＡで説明したように、ハウジング２の固定部２３及びモータ部カバー７に設けた内圧用気道２３ｇにホース８２を接続し、当該ホース８２から矢印Ｘ向きにエアを供給することにより行う。
　この第１８実施形態のモータＡにおいても、異物侵入防止手段１５が非接触となり、オイルシール９を用いる場合と異なり、回転出力部２２におけるシール接触面の硬度や表面粗さの制約を免れるとともに、回転抵抗を減らすことができ、モータ出力の向上を図ることができる。また、オイルシールの摩擦による発熱がないため、モータＡの定格出力を向上させることができる。

　この第１８実施形態のモータＡにおいても、第１５実施形態乃至第１７実施形態のモータＡと同様に、異物侵入防止手段１５が円筒部２１の軸方向一カ所のみに設けられている。
　また、第１８実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態乃至第１７実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉してある。
　更に、第１８実施形態のモータＡにおいては、第１５実施形態乃至第１７実施形態のモータＡと同様に、回転出力部２２のテーブル（取付回転体）６２に対する接続面とテーブル６２の回転出力部２２に対する接続面との間を密閉するために、回転出力部２２のテーブル６２に対する接続面にシール材６３用の溝２２ｄを設け、この溝２２ｄにシール材６３を配置することにより、液体がモータ本体１の中心穴１１に侵入するのを防止するようにしている。シール材６３用の溝２２ｄは、テーブル６２の回転出力部２２に対する接続面に設けても良い。
　また、この第１８実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、第１５実施形態乃至第１７実施形態のモータＡと同様に、アウターロータ型である。

［第１９実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図２１に示す形状である点を除いて、図１７に示す第１５実施形態と同じである。図２１において、左側半分は、コネクタ３２ａに接続された配線のない位相となっている。図２１において、図１７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　図２１に示す第１９実施形態のモータＡにおいては、図１７に示す第１５実施形態のモータＡに対して、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に有している。
　ここで、気道８５は、モータ本体１を構成するモータステータ４２の内側部４２ｂの周面の一部に設けられ、モータ本体１の中心穴１１とモータ本体１の内部とを連通させる貫通孔で構成されている。気道８５の中心穴１１側には、雌ねじ溝が形成され、この雌ねじ溝にニップル８４が螺合されている。そして、このニップル８４には、モータ本体１の中心穴１１を通してホース８３が嵌合され、気道８５とホース８３とが接続されている。ホース８３は、ニップル８４から外れないようにクランプを用いて止めると好適である。

　このホース８３に、矢印Ｘの方向にエアを送り込むことにより、エアパージが行われ、モータ本体１の内圧を上げることができる。このように、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に設けることにより、ホース８３の配管を容易にしている。もともと、中心穴１１は、配線、配管のために設けられており、モータＡを設置する基台６１側にも同様の配線、配管用の穴を有する場合が多いからである。
　このように、エアパージを行うことにより、モータ本体１の内圧を上げることができ、異物侵入防止手段１５を構成するオイルシール９の部位において外圧よりも内圧を高くし、異物の侵入をより抑制することができる。

［第２０実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図２２に示す形状である点を除いて、図１８に示す第１６実施形態と同じである。図２２において、左側半分は、コネクタ３２ａに接続された配線のない位相となっている。図２２において、図１８に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　図２２に示す第２０実施形態のモータＡにおいては、図１８に示す第１６実施形態のモータＡに対して、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に有している。
　ここで、気道８５は、モータ本体１を構成するモータステータ４２の内側部４２ｂの周面の一部に設けられ、モータ本体１の中心穴１１とモータ本体１の内部とを連通させる貫通孔で構成されている。気道８５の中心穴１１側には、雌ねじ溝が形成され、この雌ねじ溝にニップル８４が螺合されている。そして、このニップル８４には、モータ本体１の中心穴１１を通してホース８３が嵌合され、気道８５とホース８３とが接続されている。ホース８３は、ニップル８４から外れないようにクランプを用いて止めると好適である。

［第２１実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図２３に示す形状である点を除いて、図１９に示す第１７実施形態と同じである。図２３において、左側半分は、コネクタ３２ａに接続された配線のない位相となっている。図２３において、図１９に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　図２３に示す第２１実施形態のモータＡにおいては、図１９に示す第１７実施形態のモータＡに対して、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に有している。
　ここで、気道８５は、モータ本体１を構成するモータロータ４２の内側部４２ｂの周面の一部に設けられ、モータ本体１の中心穴１１とモータ本体１の内部とを連通させる貫通孔で構成されている。気道８５の中心穴１１側には、雌ねじ溝が形成され、この雌ねじ溝にニップル８４が螺合されている。そして、このニップル８４には、モータ本体１の中心穴１１を通してホース８３が嵌合され、気道８５とホース８３とが接続されている。ホース８３は、ニップル８４から外れないようにクランプを用いて止めると好適である。

　このホース８３に、矢印Ｘの方向にエアを送り込むことにより、エアパージが行われ、モータ本体１の内圧を上げることができる。このように、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に設けることにより、ホースホース８３の配管を容易にしている。もともと、中心穴１１は、配線、配管のために設けられており、モータＡを設置する基台６１側にも同様の配線、配管用の穴を有する場合が多いからである。
　このように、エアパージを行うことにより、モータ本体１の内圧を上げることができ、異物侵入防止手段１５を構成するラビリンスＬの部位において外圧よりも内圧を高くし、異物の侵入をより抑制することができる。

［第２２実施形態］
　この実施形態のモータＡは、その断面が図２４に示す形状である点を除いて、図２０示す第１８実施形態と同じである。図２４において、左側半分は、コネクタ３２ａに接続された配線のない位相となっている。図２４において、図２０に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
　図２４に示す第２２実施形態のモータＡにおいては、図２０に示す第１８実施形態のモータＡに対して、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に有している。
　ここで、気道８５は、モータ本体１を構成するモータロータ４２の内側部４２ｂの周面の一部に設けられ、モータ本体１の中心穴１１とモータ本体１の内部とを連通させる貫通孔で構成されている。気道８５の中心穴１１側には、雌ねじ溝が形成され、この雌ねじ溝にニップル８４が螺合されている。そして、このニップル８４には、モータ本体１の中心穴１１を通してホース８３が嵌合され、気道８５とホース８３とが接続されている。ホース８３は、ニップル８４から外れないようにクランプを用いて止めると好適である。

　このホース８３に、矢印Ｘの方向にエアを送り込むことにより、エアパージが行われ、モータ本体１の内圧を上げることができる。このように、エアパージ用の気道８５をモータ本体１の内周側に設けることにより、ホースホース８３の配管を容易にしている。もともと、中心穴１１は、配線、配管のために設けられており、モータＡを設置する基台６１側にも同様の配線、配管用の穴を有する場合が多いからである。
　このように、エアパージを行うことにより、モータ本体１の内圧を上げることができ、異物侵入防止手段１５を構成するラビリンスＬ及び多孔質部材１４の部位において外圧よりも内圧を高くし、異物の侵入をより抑制することができる。

　また、図１７に示す第１５実施形態のモータＡ乃至図２４に示す第２２実施形態のモータＡにおいて、回転出力部２２は、レゾルバロータ５１を介してモータロータ４１に固定されている。この構成により、レゾルバ５の調整を容易にしている。
　また、図１７に示す第１５実施形態のモータＡ乃至図２４に示す第２２実施形態のモータＡにおいて、コネクタ３１ａ，３２ａは、モータ本体１の内周側で中心穴１１の近傍に設けてあり、高価な防水仕様を採用せずともよい。
　また、図１７に示す第１５実施形態のモータＡ乃至図２４に示す第２２実施形態のモータＡを駆動源として、テーブル６２の上に電子部品などを乗せて回転移動させる搬送装置として使用できる。また、この実施形態のモ－タＡは、ベルトコンベヤの回転機構の駆動源として使用することもできる。また、この実施形態のモータＡは、位置決め装置を位置決め駆動するものとして使用することができる。

　また、図１７に示す第１５実施形態のモータＡ乃至図２４に示す第２２実施形態のモータＡでは、モ－タ本体がダイレクトドライブモ－タ（減速機を使用せず、直接負荷を駆動するモ－タ）であるモ－タの例を説明しているが、この発明は、モ－タ本体がギアリダクション方式のモ－タ（減速機を使用して、トルクが増幅されるモ－タ）や一般的なモ－タ（例えば、一方向にのみ回転するモ－タ等）であるモ－タにも適用できる。
　なお、図１７に示す第１５実施形態のモータＡ乃至図２４に示す第２２実施形態のモータＡにおいて、モータ本体１は、アウターロータ型ではなく、内周側が回転するインナーロータ型であってもよい。

　１　モ－タ本体
　１１　中心穴
　１２　シール材
　１３　液体侵入防止手段
　１４　多孔質部材
　１５　異物侵入防止手段
　２　ハウジング
　２１　円筒部
　２１ａ　周縁部（シール取付部）
　２１ｃ　段差
　２２　回転出力部
　２２ａ　中心穴（貫通穴）
　２２ｂ　周縁部
　２２ｆ　開口部
　２２ｈ　シール接触面
　２３　固定部
　２３ｃ　中心穴（貫通穴）
　２３ｄ　シール材用の溝
　３１　配線ケ－ブル
　３２　配線ケ－ブル
　４　モ－タ部
　４１　モータロータ（回転体）
　４２　モータステータ（固定体）
　５　レゾルバ
　５１　レゾルバロータ（回転体）
　５２　レゾルバステータ（固定体）
　９　オイルシール
　１０　密封機構
　６１　基台
　６２　テーブル（取付回転体）
　６３　シール材
　９０　故障防止手段
　９１　液体感知センサ
　９５　液体通し孔
　Ａ　モータ
　Ｌ　ラビリンス

Claims

　軸方向に貫通する中心穴が形成された円柱状のモ－タ本体と、前記モータ本体を収納するハウジングとを備え、
　前記ハウジングは、前記モータ本体の外周面を覆う円筒部と、該円筒部の軸方向上側に設けられた、前記モータ本体の回転体に固定される回転出力部と、前記円筒部の軸方向下側に設けられた、前記モ－タ本体の固定体に固定される固定部とからなり、
　前記ハウジングは、前記円筒部の軸方向の一ヶ所のみで密封機構により密封されていることを特徴とするモータ。
　前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に配置されて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封することを特徴とする請求項１に記載のモータ。
　前記ハウジングは、前記モータ本体の前記中心穴に対応する貫通穴を有するとともに、前記モ－タ本体に一端が固定されている配線ケ－ブルを備え、
　前記配線ケ－ブルは、前記モ－タ本体の軸方向端面の前記中心穴近傍部と前記ハウジングの前記貫通穴を通って、他端が外部に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のモータ。
　前記固定部は基台との接続面を有し、
　前記回転出力部は取付回転体との接続面を有し、
　前記固定部の接続面および前記回転出力部の接続面の少なくともいずれか一方に、シ－ル材を配置する溝が形成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のモ－タ。
　前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するシール材を有し、前記回転出力部は、前記シール材が接触するシール接触面の硬度が当該シール接触面以外の部分の硬度よりも高い軽量材からなることを特徴とする請求項１に記載のモータ。
　前記回転出力部は、少なくとも前記シール接触面に硬度向上処理がなされたものであることを特徴とする請求項５に記載のモータ。
　前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するシール材を有し、前記回転出力部は、前記シール材が接触するシール接触面の硬度が当該シール接触面以外の部分の硬度よりも高い軽量材からなり、前記回転出力部は、少なくとも前記シール接触面に硬度向上処理がなされたものであり、前記硬度向上処理が表面処理であるとともに、前記軽量材がアルミ材であり、前記シール接触面の面粗さをＲａ０．０５～１．６０とし、前記シール材の内径と該シール材を取り付けるシール取付部の外径とのはめあいを５．０～２５．００ｍｍのしまりばめとするとともに、前記モータ本体には、内側にレゾルバステータを、該レゾルバステータの外周側にレゾルバロータを有するレゾルバが内蔵され、前記回転出力部と前記レゾルバロータとを一体化し、前記回転出力部の取付回転体に対する接続面又は前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面に設けたシール材用の溝を前記レゾルバロータよりも外周側に設け、前記回転出力部の回転軸中心から前記シール材用の溝の内側であって前記レゾルバロータ近傍に至る部分にまで開口する開口部を設けたことを特徴とする請求項１に記載のモータ。
　前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて、液体が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段を構成することを特徴とする請求項１に記載のモータ。
　前記液体侵入防止手段がオイルシールであることを特徴とする請求項８に記載のモータ。
　前記液体侵入防止手段が更にラビリンスを有していることを特徴とする請求項９に記載のモータ。
　前記液体侵入防止手段がラビリンスであることを特徴とする請求項８に記載のモータ。
　前記回転出力部の外縁には、前記円筒部側に突出する周縁部が形成され、前記円筒部の軸方向上端には、外径を異ならせる段差が形成され、
　前記ラビリンスは、前記円筒部の段差による小径部分の外周面と前記回転出力部の前記周縁部の内周面との間に所定の隙間を設けるとともに、前記円筒部の大径部分と小径部分の境目である段差の面と前記回転出力部の前記周縁部の下端面との間に所定の隙間を設けて構成されていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のモータ。
　前記円筒部の小径部分の外径及び前記回転出力部の前記周縁部の内径は、前記円筒部の軸方向上側から軸方向下側に向けて大きくなるように、前記回転出力部の回転軸に対して傾斜していることを特徴とする請求項１２に記載のモータ。
　前記液体侵入防止手段は、前記ラビリンスの近傍に多孔質部材を備えていることを特徴とする請求項１０～１３のいずれか１項に記載のモータ。
　エアパージによりモータ内圧を上げていることを特徴とする請求項８～１４のいずれか１項に記載のモータ。
　前記回転出力部の取付回転体に対する接続面と前記取付回転体の前記回転出力部に対する接続面との間を密閉することを特徴とする請求項８～１５のいずれか１項に記載のモータ。
　前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に設けられて、液体が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する液体侵入防止手段を構成し、
　更に、前記液体が内部に侵入した際に故障を防止する故障防止手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のモータ。
　前記故障防止手段は、前記円筒部の軸方向下側に設けられた前記固定部に設けられている液体感知センサ又は液体通し孔であることを特徴とする請求項１７に記載のモータ。
　前記密封機構は、前記円筒部と前記回転出力部との間に配置されて前記円筒部と前記回転出力部との間を密封するシール材を有し、前記回転出力部は、前記モータ本体の前記中心穴を塞ぐように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のモータ。
　前記液体侵入防止手段が、異物が外部から前記円筒部と前記回転出力部との間を通って内部に侵入するのを防止する異物侵入防止手段を構成していることを特徴とする請求項８～１６のいずれか１項に記載のモータ。
　前記モ－タ本体はアウターロータ型であることを特徴とする請求項１～２０のいずれか１項に記載のモ－タ。
　請求項１～２１のいずれか１項に記載されたモ－タによって位置決め駆動される位置決め装置。
　請求項１～２１のいずれか１項に記載されたモ－タを駆動原とする搬送装置。