CN104216223A - 间隔物形成用感光性树脂组合物及由其制造的间隔物 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种间隔物形成用感光性树脂组合物,该组合物能够制造具有优异的弹性恢复率且具有因外部压力导致的变形小的硬特性的间隔物。本发明的间隔物形成用感光性树脂组合物含有碱溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂,所述碱溶性树脂含有具有环氧基的第一树脂和具有能与所述环氧基反应的酸性基团(acid group)、且酸值为170~300mg KOH/g的第二树脂。
Description
技术领域
本发明涉及间隔物形成用感光性树脂组合物及由其制造的间隔物(spacer),更详细而言,涉及一种由于持续具有优异的弹性恢复力且因外部压力导致的变形小而能够应用于图像显示装置的间隔物形成用感光性树脂组合物及由其制造的间隔物。
背景技术
一般的显示装置为了使上下基板保持固定间隔,使用具有固定直径的二氧化硅微珠或塑料微珠等。但是,当这样的珠子在基板上随机分散而位于像素内部时,存在开口率降低,发生漏光现象的问题。为了解决这样的问题,在显示装置的内部使用由光刻法形成的间隔物,目前,很多用于显示装置的间隔物都是由光刻法形成。
采用光刻法的间隔物的形成方法是在基板上涂布感光性树脂组合物,通过掩模照射紫外线后,通过显影工序按照形成于掩模上的图案,在基板上的所希望的位置形成间隔物。
近年来,由于智能手机及平板电脑的普及,触摸屏的需要增加,随着该增加,要求用于保持构成显示装置的滤色片基板和阵列基板间的间隔的间隔物具有如下基本特性:即弹性恢复率以及施加外部压力时无像素变形的硬(hard)特性。但是,现有的间隔物形成用感光性树脂组合物的现状是,虽然能够充分实现弹性恢复率,但是在外部压力作用下不发生像素变形的硬特性还未体现到令人满意的水平。
关于这一点,日本特开1999-133600号公报公开了一种间隔物形成用感光性树脂组合物,其中含有具有羧基及缩水甘油醚基的共聚树脂作为粘合树脂。日本特开1999-133600号公报中记载的组合物虽然在某种程度上确保了耐热尺寸稳定性及强度,但是仍然不符合应满足的弹性恢复率及强度。
现有技术
专利文献
专利文献1:日本特开1999-133600号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明以提供通过经过热交联工序使交联密度显著增大的间隔物形成用感光性树脂组合物为目的。
本发明还以提供具有优异的弹性恢复率,并且具有外部压力导致的变形小的硬特性的间隔物形成用感光性树脂组合物为目的。
本发明还以提供按照规定的图案涂布并固化所述间隔物形成用感光性树脂组合物而形成的间隔物为目的。
本发明还以提供具有所述间隔物的图像显示装置为目的。
解决问题的手段
1.一种间隔物形成用感光性树脂组合物,所述组合物是含有碱溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂的感光性树脂组合物;
所述碱溶性树脂含有
具有环氧基的第一树脂;和
具有能够与所述环氧基反应的酸性基团(acid group)且酸值为170~300mg KOH/g的第二树脂。
2.上述第1项中的间隔物形成用感光性树脂组合物,其中所述第一树脂是使具有不饱和键及羧基的化合物与下述化学式1和化学式2中的至少一种的化合物共聚而得到的树脂。
【化1】
[化学式1]
〔式中,R1是氢或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的烷基或环烷基;R2是单键或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的亚烷基或亚环烷基;所述R1可以进一步被羟基取代。〕
【化2】
[化学式2]
〔式中,R1是氢或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的烷基或环烷基;R2是单键或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的亚烷基或亚环烷基;所述R1可以进一步被羟基取代。〕
3.上述第1项中的间隔物形成用感光性树脂组合物,所述第二树脂是使一分子中具有选自由三环癸烷骨架及二环戊二烯骨架组成的组中的一种以上骨架且具有不饱和键的化合物、具有芳香族乙烯基的化合物、具有能够使所述第一树脂的环氧基开环的酸性基团的化合物共聚而得到的树脂。
4.上述第3项中的间隔物形成用感光性树脂组合物,具有所述酸性基团的化合物是选自由不饱和单羧酸、不饱和二羧酸及不饱和三羧酸组成的组中的至少一种化合物。
5.上述第1项中的间隔物形成用感光性树脂组合物,所述第二树脂是进一步含有一分子中具有不饱和键及环氧基的化合物或具有不饱和键及羟基的化合物并对其进行共聚而得到的树脂。
6.由上述第1~5项中的任一项所述的间隔物形成用感光性树脂组合物制造的间隔物。
7.具有上述第6项所述的间隔物的图像显示装置。
发明效果
本发明的间隔物形成用感光性树脂组合物,通过使碱溶性树脂含有具有环氧基的第一树脂和使所述环氧基开环的酸性基团以高酸值存在的第二树脂,能够使得到的间隔物的固化密度显著提高,并由此具有优异的机械特性。
另外,由本发明的间隔物形成用感光性树脂组合物制造的间隔物具有优异的弹性恢复率,并具有外部压力导致的变形小的硬特性。
具体实施方式
本发明涉及含有碱溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂的感光性树脂组合物,本发明还涉及如下感光性树脂组合物:所述碱溶性树脂含有具有环氧基的第一树脂、具有能够与所述环氧基反应的酸性基团(acidgroup)、且酸值为170~300mg KOH/g的第二树脂,由此,所述感光性树脂组合物能够制造具有优异的弹性恢复率且具有外部压力导致的变形小的硬特性的间隔物。
下面更详细地说明本发明。
<碱溶性树脂(A)>
碱溶性树脂具有光、热反应性及碱溶性,并用作本发明的组合物中各成分的分散剂。
本发明的碱溶性树脂含有(A-1)具有环氧基的第一树脂、(A-2)具有能够与所述环氧基反应的酸性基团(acid group)且酸值为170~300mg KOH/g的第二树脂。
<(A-1)第一树脂>
第一树脂是具有环氧基的树脂,并且是具有碱溶性的树脂。作为这样的树脂,只要是本领域所知的树脂,可以无特别限制地使用。例如,可以是使(A-1-1)具有不饱和键及羧基的化合物和(A-1-2)作为下述化学式1和化学式2中的至少一种的化合物共聚而得到的树脂。
【化3】
[化学式1]
〔式中,R1是氢或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的烷基或环烷基;R2是单键或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的亚烷基或亚环烷基;所述R1可以进一步被羟基取代。〕
【化4】
[化学式2]
〔式中,R1是氢或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的烷基或环烷基;R2是单键或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的亚烷基或亚环烷基;所述R1可以进一步被羟基取代。〕
<(A-1-1)具有不饱和键及羧基的化合物>
作为具有不饱和键及羧基的化合物,只要是具有可聚合的不饱和双键的羧酸化合物即可,并无限制,作为具体的例子,可以举出不饱和单羧酸、不饱和二羧酸或不饱和三羧酸之类的分子中具有二个以上羧基的多元羧酸等。
作为所述不饱和单羧酸,例如可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等。
作为所述不饱和多元羧酸,例如可以举出马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等。
所述多元羧酸可以是酸酐,所述不饱和多元羧酸酐例如可以举出马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐等。
另外,所述不饱和多元羧酸可以是其单(2-甲基丙烯酰氧烷基)酯类,例如可以举出琥珀酸单(2-丙烯酰氧乙基)酯、琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧乙基)酯、苯二甲酸单(2-丙烯酰氧乙基)酯、苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧乙基)酯等。
所述不饱和多元羧酸可以是其两末端二羧酸聚合物的单(甲基)丙烯酸酯类,例如可以举出ω-羧基聚己酸内酯单丙烯酸酯、ω-羧基聚己酸内酯单甲基丙烯酸酯等。
另外,所述不饱和多元羧酸可以是在同一分子中具有羟基及羧基的不饱和丙烯酸酯,例如可以举出α-(羟甲基)丙烯酸等。
其中,从共聚反应性高的观点考虑,优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
本发明的具有不饱和键及羧基的化合物可以单独使用,或者组合二种以上使用。
<(A-1-2)作为化学式1和化学式2中的至少一种的化合物>
本发明的作为化学式1和化学式2中的至少一种的化合物是具有可聚合的不饱和键和提高交联密度的环氧基的化合物。
在所述化学式1和化学式2中,作为R1的更具体的例子,可以分别独立地是:氢;甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等烷基;羟甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基、1-羟基-正丙基、2-羟基-正丙基、3-羟基-正丙基、1-羟基异丙基、2-羟基异丙基、1-羟基-正丁基、2-羟基-正丁基、3-羟基-正丁基、4-羟基-正丁基等含有羟基的烷基。其中,R1优选分别独立地是氢、甲基、羟甲基、1-羟基乙基或2-羟基乙基,特别是更优选氢或甲基。
在所述化学式1和化学式2中,作为R2的更具体的例子,可以分别独立地是单键;亚甲基、亚乙基、亚丙基等亚烷基;氧亚甲基、氧亚乙基、氧亚丙基、硫亚甲基、硫亚乙基、硫亚丙基、氨基亚甲基、氨基亚乙基、氨基亚丙基等含有杂原子的亚烷基。其中,R2优选是单键、亚甲基、亚乙基、氧亚甲基或氧亚乙基,特别是更优选单键或氧亚乙基。在本发明中,当R2是单键时,表示三环癸基的8位或9位的碳与丙烯酸酯基的氧直接键合。
作为由化学式1表示的化合物的更具体的例子,可以举出下述化学式1-1~1-15。
【化5】
[化学式1-1]
【化6】
[化学式1-2]
【化7】
[化学式1-3]
【化8】
[化学式1-4]
【化9】
[化学式1-5]
【化10】
[化学式1-6]
【化11】
[化学式1-7]
【化12】
[化学式1-8]
【化13】
[化学式1-9]
【化14】
[化学式1-10]
【化15】
[化学式1-11]
【化16】
[化学式1-12]
【化17】
[化学式1-13]
【化18】
[化学式1-14]
【化19】
[化学式1-15]
作为由所述化学式2表示的化合物的更具体的例子,可以举出下述化学式2-1~2-15。
【化20】
[化学式2-1]
【化21】
[化学式2-2]
【化22】
[化学式2-3]
【化23】
[化学式2-4]
【化24】
[化学式2-5]
【化25】
[化学式2-6]
【化26】
[化学式2-7]
【化27】
[化学式2-8]
【化28】
[化学式2-9]
【化29】
[化学式2-10]
【化30】
[化学式2-11]
【化31】
[化学式2-12]
【化32】
[化学式2-13]
【化33】
[化学式2-14]
【化34】
[化学式2-15]
作为由所述化学式1和化学式2所表示的化合物的例子而列举的化合物可以分别独立地使用,也可以组合二种以上加以使用。
另外,在第一树脂(A)中,所述(A-1-1)和(A-1-2)的共聚物除了含有所述(A-1-1)和(A-1-2)以外,还可以进一步含有能与所述(A-1-1)和(A-1-2)共聚的具有不饱和键的化合物。
作为能与所述(A-1-1)和(A-1-2)共聚的具有不饱和键的化合物,可以举出以下具体例:丙烯酸2-氨基乙酯、甲基丙烯酸2-氨基乙酯、丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、丙烯酸2-氨基丙酯、甲基丙烯酸2-氨基丙酯、丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、甲基丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、丙烯酸3-氨基丙酯、甲基丙烯酸3-氨基丙酯、丙烯酸3-二甲基氨基丙酯、甲基丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯类;乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等不饱和醚类;丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯代丙烯腈、亚乙烯基二氰等丙烯腈化合物;丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、α-氯代丙烯酰胺、N-2-羟基乙基丙烯酰胺、N-2-羟基乙基甲基丙烯酰胺等不饱和酰胺类;马来酰亚胺、苄基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己烷基马来酰亚胺等不饱和酰亚胺类;1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共轭二烯类;及在聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸正丁酯、聚甲基丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷的聚合物分子链的末端具有单丙烯酰基或单甲基丙烯酰基的大单体(macromonomer)类等。
当本发明的碱溶性树脂中的第一树脂(A)是所述(A-1-1)和(A-1-2)共聚得到的共聚物(本发明中还包括进一步含有(A-1-1)和(A-1-2)以外的单体并对其进行共聚的情形)时,在所述共聚物中,以摩尔百分比计,相对于构成所述共聚物的结构单元的总摩尔数,分别由(A-1-1)和(A-1-2)衍生的结构单元的比例优选在以下数值范围。
由(A-1-1)衍生的结构单元:5~75mol%
由(A-1-2)衍生的结构单元:25~95mol%
特别是,所述结构单元的比例更优选以下数值范围。
由(A-1-1)衍生的结构单元:10~70mol%
由(A-1-2)衍生的结构单元:30~90mol%
只要所述结构单元的比例在所述数值范围,即可制备显影性、耐溶剂性、耐热性及机械强度良好的感光性树脂组合物。
第一树脂(A)例如可以参照文献《高分子合成的实验方法》(大津隆行著,(株)化学同人,第1版第1次印刷,1972年3月1日发行)中记载的方法进行制备。
具体而言,向反应容器中投入规定量的共聚物构成单位(A-1-1)和(A-1-2)、聚合引发剂、溶剂,并用氮气置换氧气,由此在氧气不存在的条件下,进行搅拌、加热、保温,进而得到聚合物。另外,对于得到的共聚物,可以直接使用反应后的溶液,可以使用浓缩或稀释后的溶液,也可以使用通过再沉淀等方法以固体(粉体)状态提取的物质。
第一树脂优选酸值在20~200(KOHmg/g)的数值范围。只要酸值在所述数值范围,即可制备具有优异弹性恢复率的间隔物。
基于聚苯乙烯换算的第一树脂的重均分子量可以是3,000~100,000,可以优选为5,000~50,000。第一树脂的重均分子量只要在所述数值范围,即可在显影时抑制膜的减少,并且图案部分的脱落性良好,所以优选。
第一树脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.5~6.0,更优选为1.8~4.0。所述分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]在所述数值范围内时,显影性优异,所以优选。
<(A-2)第二树脂>
第二树脂是聚合具有能够使第一树脂的环氧基开环的酸性基团(acidgroup)的化合物而得到的树脂,并且是酸值为170~300mg KOH/g的高酸值的树脂。所述化合物由于所含的酸性基团打开所述第一树脂的环氧基,提高交联密度,从而能够增强间隔物的强度等机械特性。另外,当酸值在所述数值范围时,能够制造具有优异的弹性恢复率的间隔物。
在第二树脂的更具体的例子,可以是聚合如下所述的(A-2-1)、(A-2-2)及(A-2-3)的化合物而得到的树脂。
(A-2-1):一分子中具有选自由三环癸烷骨架及二环戊二烯骨架组成的组中的一种以上骨架且具有不饱和键的化合物
(A-2-2):具有芳香族乙烯基的化合物
(A-2-3):具有能使第一树脂的环氧基开环的酸性基团的化合物
一分子中具有选自由三环癸烷骨架及二环戊二烯骨架组成的组中的一种以上骨架且具有不饱和键的化合物(A-2-1),例如作为一分子中具有不饱和键以及三环癸烷骨架和/或二环戊二烯骨架的化合物,具体可以举出二环戊基(甲基)丙烯酸酯(dicyclofentanyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、二环戊基乙氧基(甲基)二环戊基乙氧基丙烯酸酯(dicyclofentanyloxyethyl(meth)acrylate)、二环戊烯基乙氧基(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷单(甲基)丙烯酸酯等。此处,(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。
另外,作为具有芳香族乙烯基的化合物(A-2-2),可以举出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯等芳香族乙烯基化合物为例。
另外,作为具有能使第一树脂开环的环氧基的酸性基团的化合物(A-2-3),是具有不饱和键及羧基的化合物,只要是具有可聚合的不饱和双键的羧酸化合物即可,并无限制,作为具体的例子,可以举出不饱和单羧酸、不饱和二羧酸或不饱和三羧酸之类的分子中具有二个以上羧基的多元羧酸等。
作为所述不饱和单羧酸,例如可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等。
作为所述不饱和多元羧酸,例如可以举出马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等。
所述多元羧酸可以是酸酐,所述不饱和多元羧酸酐例如可以举出马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐等。
另外,所述不饱和多元羧酸可以是其单(2-甲基丙烯酰氧烷基)酯类,例如可以举出琥珀酸单(2-丙烯酰氧代乙酯)、琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧代乙酯)、苯二甲酸单(2-丙烯酰氧代乙酯)、苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧代乙酯)等。
所述不饱和多元羧酸可以是其两末端二羧基聚合物的单(甲基)丙烯酸酯类,例如可以举出ω-羧基聚己酸内酯单丙烯酸酯、ω-羧基聚己酸内酯单甲基丙烯酸酯等。
另外,所述不饱和多元羧酸可以是同一分子中具有羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯,例如可以举出α-(羟基甲基)丙烯酸等。
其中,从聚合反应性高的观点考虑,优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
本发明的具有不饱和键及羧基的化合物可以分别单独使用,或者组合二种以上使用。
本发明的第二树脂可以是进一步含有并共聚所述(A-2-1)~(A-2-3)以外的单体而得到的树脂。作为具有能与(A-2-1)~(A-2-3)共聚的不饱和键的化合物,具体可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸氨基乙酯等不饱和羧酸的无取代或取代烷基酯;
(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸甲基环己酯、(甲基)丙烯酸环庚酯、(甲基)丙烯酸环辛酯、(甲基)丙烯酸薄荷酯(menthyl(meta)acrylate)、(甲基)丙烯酸环戊烯酯、(甲基)丙烯酸环己烯酯、(甲基)丙烯酸环庚烯酯、(甲基)丙烯酸环辛烯酯、(甲基)丙烯酸戊二烯酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸蒎酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸降冰片酯、(甲基)丙烯酸蒎烯酯等具有脂环族取代基的不饱和羧酸酯化合物;
低聚乙二醇单烷基(甲基)丙烯酸酯等乙二醇类的单饱和羧酸酯化合物;
(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧基酯等具有含芳香环的取代基的不饱和羧酸酯化合物;
乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯等羧酸乙烯酯;
(甲基)丙烯腈、α-氯代丙烯腈等丙烯腈化合物;及N-环己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺等马来酰亚胺化合物等。这些化合物可以分别单独使用,或者组合二种以上使用。
以摩尔百分率计,相对于构成所述共聚物的构成成分的总摩尔数,本发明中使用的分别由(A-2-1)~(A-2-3)衍生的构成成分的比例优选为下述数值范围。
由(A-2-1)衍生的结构单元:10~80mol%
由(A-2-2)衍生的结构单元:10~80mol%
由(A-2-3)衍生的结构单元:10~80mol%
特别是,所述结构单元的比例更优选以下数值范围。
由(A-2-1)衍生的结构单元:20~40mol%
由(A-2-2)衍生的结构单元:20~50mol%
由(A-2-3)衍生的结构单元:10~60mol%
所述的构成比例在所述数值范围时,由于显影性、可溶性及耐热性的均衡良好,所以能够得到优选的共聚物。
作为本发明的一个实施方式,所述共聚物可以通过以下方法制备。
在具有搅拌器、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗及氮气导入管的烧瓶中,以质量基准计,相对于(A-2-1)~(A-2-3)的总量,一同加入0.5~20倍量的溶剂,并将烧瓶内的环境气体从空气置换成氮气。接下来,在将溶剂升温至40℃~140℃后,从滴液漏斗经0.1~8小时向所述烧瓶中滴入添加有相对于(A-2-2)和(A-2-3)的总量以质量基准计为0~20倍量的溶剂、以及相对于(A-2-1)、(A-2-2)、及(A-2-3)的总摩尔数为0.1~10mol%的偶氮二异丁腈、叔丁基过氧2-乙基己基碳酸酯等聚合引发剂的溶液(在常温或加热状态下搅拌溶解),在40~140℃下进一步搅拌1~10小时,由此可得到共聚物。
另外,在上述工序中,也可以将聚合引发剂的一部分或全部投入到烧瓶中,也可以将(A-2-1)、(A-2-2)、及(A-2-3)的一部分或全部投入到烧瓶中。另外,为了控制分子量、分子量分布,还可以使用α-甲基苯乙烯二聚体或巯基化合物作为链转移剂。相对于(A-2-1)、(A-2-2)、及(A-2-3)的总量,α-甲基苯乙烯二聚体或巯基化合物的使用量以质量基准计为0.005~5%。另外,对于所述聚合条件,还可以在考虑制备设备或聚合产生的发热量等的情况下,适当调整投料方法、反应温度。
本发明的第二树脂(A-2)没有限制,但更优选为这样的树脂,即,使(A-2-1)、(A-2-2)和(A-2-3)聚合得到的共聚物进一步与一分子中具有不饱和键及环氧基的化合物(A-2-4a)或具有不饱和键及羟基的化合物(A-2-4b)反应而得到的含有不饱和基团的树脂。通过在所述共聚物中附加所述(A-2-4),能够赋予第二树脂光/热固化性。
作为本发明的所述一分子中具有不饱和键及环氧基的化合物(A-2-4a)的具体例子,可以举出(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧环己基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸甲基缩水甘油酯等。其中,优选使用(甲基)丙烯酸缩水甘油酯。这些化合物可以分别单独使用,或者组合二种以上使用。
另外,作为所述一分子中具有不饱和键及羟基的化合物(A-2-4b)的具体例子,可以举出(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯、甘油(甲基)丙烯酸酯等,只要是可使用的化合物即可,并无限制,都可以用于本发明。
另外,优选相对于所述粘合剂树脂(A-2)中的由(A-2-3)衍生的结构单元的摩尔数,所述第二树脂(A-2)中的由(A-2-4)衍生的结构单元的比例为5~80mol%,更优选为10~70mol%。
(A-2-4)的组成比在上述数值范围时,能够得到充分的光固化性、热固化性,灵敏度及铅笔硬度良好,并且可靠性优异,所以优选。
在本发明的实施方式中,第二树脂(A-2)可以通过使所述共聚物和(A-2-4)利用例如以下方法发生反应来制备。
将烧瓶内的环境气体从氮气置换成空气,向烧瓶内投入以下物质:在所述共聚物中相对于由(A-2-3)衍生的结构单元以摩尔百分率计为5~80mol%的(A-2-4);相对于(A-2-1)、(A-2-2)和(A-2-3)的总量以质量基准计为0.01~5%的羧基和环氧基的反应催化剂,例如,三(二甲基氨基)甲基苯酚;相对于(A-2-1)、(A-2-2)和(A-2-3)的总量以质量基准计为0.001~5%的聚合禁止剂,例如,氢醌,并在60~130℃下反应1~10小时,由此能够使所述共聚物和(A-2-4)反应。另外,与聚合条件相同,也可以在考虑制备设备和聚合产生的发热量等的情况下适当调整投料方法和反应温度。
以聚苯乙烯换算的第二树脂的重均分子量可以是3,000~100,000,可以优选5,000~50,000。第二树脂(A-2)的重均分子量在3,000~100,000的数值范围时,具有显影时不易发生膜的减少,并且显影时非像素部分的脱落性良好的倾向,所以优选。
第二树脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.5~6.0,更优选为1.8~4.0。分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]为1.5~6.0时,显影性优良,所以优选。
在本发明中,碱溶性树脂可以适当混合使用所述第一树脂和第二树脂,具体举例而言,可以以第一树脂:第二树脂=1:0.5~1:2的混合重量比混合使用。
相对于间隔物形成用感光性树脂组合物中的全部固体成分,碱溶性树脂的含量在5~90质量%的范围,优选在10~70质量%的范围。碱溶性树脂的含量以上述基准计为5~90质量%时,对显影液的溶解性充分,显影性优良,能够制造具有优异的弹性恢复率,并且具有因外部压力导致的变形小的硬特性的间隔物。
<光聚合性化合物(B)>
本发明的间隔物形成用感光性树脂组合物中所含有的光聚合性化合物是能够通过光及后述的光聚合引发剂的作用进行聚合的化合物,可以举出单官能性单体、二官能性单体、其他多官能性单体等。
本发明中使用的光聚合性化合物为了改善间隔物形成用树脂组合物的显影性、灵敏度、粘合性、表面问题等,可以混合使用二种或二种以上官能团的结构和官能团数不同的光聚合性化合物,其范围没有限制。作为单官能性单体的具体例子,可以举出壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、2-羟基乙基丙烯酸酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。作为二官能性单体的具体例,可以举出1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧乙基)醚、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作为其他多官能性单体的具体例,可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。其中,优选使用二官能以上的多官能性单体。
以间隔物形成用感光性树脂组合物中的固体成分为基准,相对于碱溶性树脂及光聚合性化合物的总量100质量份,光聚合性化合物以1~90质量份的范围使用,优选以10~80质量份的范围使用。光聚合性化合物上述含量范围时,间隔物图案的强度和平滑性良好,所以优选。
<光聚合引发剂(C)>
光聚合引发剂可以无限制地使用本领域一般使用的物质。
例如,可以使用选自由三嗪类化合物、苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物及肟化合物组成的组中的一种以上化合物。含有上述光聚合引发剂的感光性树脂组合物具有高灵敏度,使用该组合物形成的间隔物图案的强度和表面平滑性良好。
作为所述三嗪类化合物,例如可以举出2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪等。
作为所述苯乙酮类化合物,例如可以举出二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、苄基二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基-1-丙酮、1-羟基环己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基-1-丙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]-1-丙酮的低聚物等。
作为所述苯乙酮类化合物,例如还可以举出下述化学式4所示的化合物。
【化35】
[化学式4]
在化学式4中,R1~R4分别独立地表示水氢原子、卤原子、羟基、被碳原子数为1~12的烷基取代得到的苯基、被碳原子数为1~12的烷基取代得到的苄基或者被碳原子数为1~12的烷基取代得到的萘基。
作为由上述化学式4表示的化合物的具体例,可以举出2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-乙酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-乙酮、2-丙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-乙酮、2-丁基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-乙酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-丙酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-丙酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-甲基-2-甲氨基(4-吗啉代苯基)-1-丙酮、2-甲基-2-二甲基氨基(4-吗啉代苯基)-1-丙酮、2-甲基-2-二乙基氨基(4-吗啉代苯基)-1-丙酮等。
作为上述联咪唑化合物,例如可以举出2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧苯基)联咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑、4,4’,5,5’位的苯基被烷氧羰基取代得到的咪唑化合物等。其中,优选使用2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑。
作为上述肟化合物,可以举出O-乙氧基羰基-α-氧亚氨基-1-苯基-1-丙酮、下述化学式5、6、7等。
【化36】
[化学式5]
【化37】
[化学式6]
【化38】
[化学式7]
另外,只要是不损坏本发明的效果的程度,就可以进一步并用本领域通常使用的其他光聚合引发剂等。作为其他光聚合引发剂,例如可以举出苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、噻吨酮类化合物、蒽类化合物等。这些化合物可以分别单独使用或者组合二种以上使用。
作为所述苯偶姻类化合物,例如可以举出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚等。
作为所述二苯甲酮类化合物,例如可以举出二苯甲酮、O-苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯硫、3,3’,4,4’-四(叔丁基过氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。
作为所述噻吨酮类化合物,例如可以举出2-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。
作为所述蒽类化合物,例如可以举出9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。
作为其他光聚合引发剂,可以举出其他化合物:2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、偶苯酰、9,10-菲醌、莰醌、苯酰甲酸甲酯、二茂钛化合物等。
作为光聚合引发剂,还可以使用具有可引起链转移的基团的光聚合引发剂。作为这样的光聚合引发剂,例如可以举出特表2002-544205号公报中记载的物质。
作为具有可引起所述链转移的基团的光聚合引发剂,例如可以举出下述化学式8~13所示的化合物。
【化39】
[化学式8]
【化40】
[化学式9]
【化41】
[化学式10]
【化42】
[化学式11]
【化43】
[化学式12]
【化44】
[化学式13]
在本发明中,还可以使光聚合引发剂与光聚合引发助剂组合使用。并用所述光聚合引发剂和光聚合引发助剂时,含有这两种物质的感光性树脂组合物的灵敏度更高,能够提高形成间隔物时的生产率,所以优选。
作为所述光聚合引发助剂,优选使用胺化合物、羧酸化合物。
在所述光聚合引发助剂中,作为胺化合物的具体例,可以举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等脂肪族胺化合物;以及4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸-2-乙基己酯、苯甲酸(2-二甲基氨基)乙酯、N,N-二甲基对甲苯胺、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮(通称:米蚩酮(Michler's ketone))、4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。其中,所述胺化合物优选使用芳香族胺化合物。
在所述光聚合引发助剂中,作为羧酸化合物的具体例,可以举出苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧乙酸、萘基硫代乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等芳香族杂乙酸类。
以间隔物形成用感光性树脂组合物中的固体成分为基准,相对于碱溶性树脂及光聚合性化合物的总量100质量份,光聚合引发剂的含量为0.1~40质量份,优选为1~30质量份,基于上述基准,所述光聚合引发助剂的含量为0.1~50质量份,优选为1~40质量份。
所述光聚合引发剂的含量在上述数值范围时,感光性树脂组合物具有高灵敏度,使用该组合物形成的间隔物的强度和平滑性良好,所以优选。另外,光聚合引发助剂的含量在上述数值范围时,感光性树脂组合物的灵敏度更高,使用该组合物形成的间隔物图案的生产率提高,所以优选。
<溶剂(D)>
关于溶剂,只要是本领域通常使用的溶剂即可,无论哪一种,都可以无限制地使用。
作为所述溶剂的具体例,可以举出乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚以及乙二醇单丁醚之类的乙二醇单烷基醚类;二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二丙基醚、二乙二醇二丁基醚等二乙二醇二烷基醚类;甲基乙酸溶纤剂、乙基乙酸溶纤剂、乙二醇单丁醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类;丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯等烷撑二醇烷基醚乙酸酯类;丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚等丙二醇单烷基醚类;丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、丙二醇乙基甲基醚、丙二醇二丙醚、丙二醇丙基甲基醚、丙二醇乙基丙基醚等丙二醇二烷基醚类;丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类;甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等丁二醇单烷基醚类;乙酸甲氧基丁酯、乙酸乙氧基丁酯、乙酸丙氧基丁酯、乙酸丁氧基丁酯等丁二醇单烷基醚乙酸酯类;丙酸甲氧基丁酯、丙酸乙氧基丁酯、丙酸丙氧基丁酯、丙酸丁氧基丁酯等丁二醇单烷基醚丙酸酯类;二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲基乙基醚等二丙二醇二烷基醚类;苯、甲苯、二甲苯、三甲基苯等芳香族烃类;甲乙酮、丙酮、甲戊酮、甲基异丁基酮、环己酮等酮类;乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甘油等醇类;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯类;四氢呋喃、吡喃等环状醚类;γ-丁内酯等环状酯类等。此处作为例子而举出的溶剂可以分别单独使用或者混合二种以上使用。
考虑到涂布性和干燥性,所述溶剂可以优选使用烷撑二醇烷基醚乙酸酯类、酮类、丁二醇烷基醚乙酸酯类、丁二醇单烷基醚类、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等酯类,更优选使用丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、环己醇、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基丁醇、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等。
相对于含有该溶剂的感光性树脂组合物的总质量,溶剂的含量为50~90质量%,优选为60~85质量%。溶剂的含量在所述数值范围时,通过旋涂仪(spincoater)、狭缝+旋转涂布机(slit and spin coater)、狭缝式涂布机(slitcoater)(有时称为“金属型涂料机(die coater)”、“幕涂流动涂料器(curtainflow coater)”)、喷墨等涂布装置涂布时,涂布性良好,所以优选。
<添加剂(E)>
本发明的感光性树脂组合物可以根据需要,进一步含有填充剂、其他高分子化合物、固化剂、均化剂、粘合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防凝剂、链转移剂等添加剂。
作为所述填充剂的具体例,可以举出玻璃、二氧化硅、氧化铝等。
作为所述其他高分子化合物的具体例,可以举出环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂;聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等热塑性树脂等。
为了提高深部固化以及机械强度,使用所述固化剂,作为固化剂的具体例,可以举出环氧化合物、多官能异氰酸酯化合物、三聚氰胺化合物、氧杂环丁烷化合物等。
在所述固化剂中,作为环氧化合物的具体例,可以举出双酚A类环氧树脂、氢化双酚A类环氧树脂、双酚F类环氧树脂、氢化双酚F类环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、其他芳香族类环氧树脂、脂环族类环氧树脂、缩水甘油酯类树脂、缩水甘油胺类树脂、或这类环氧树脂的溴衍生物、环氧树脂及其溴衍生物以外的脂肪族、脂环族或芳香族环氧化合物、丁二烯(共)聚合物环氧化合物、异戊二烯(共)聚合物环氧化合物、缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯(共)聚合物、三缩水甘油基异氰脲酸酯等。
作为用作所述固化剂的氧杂环丁烷化合物的具体例,可以举出碳酸酯双氧杂环丁烷(carbonate bisoxetane)、二甲苯双氧杂环丁烷、己二酸双氧杂环丁烷、对苯二甲酸双氧杂环丁烷、环己烷二羧酸双氧杂环丁烷等。
所述固化剂可以与该固化剂一起并用能使环氧化合物的环氧基、氧杂环丁烷化合物的氧杂环丁烷骨架开环聚合的固化辅助化合物。作为所述固化辅助化合物,例如可以举出多元羧酸类、多元羧酸酐类、酸发生剂等。
所述羧酸酐类可以利用作为环氧树脂固化剂而市售的物质。作为所述环氧树脂固化剂,例如可以举出商品名ADEKA HARDENEREH-700(ADEKA工业公司制造)、商品名RIKACID HH(新日本理化公司制造)、商品名MH-700(新日本理化公司制造)等。上述所示的固化剂可以单独使用或者混合使用二种以上。
所述均化剂可以使用市售的表面活性剂,例如可以举出硅氧烷类表面活性剂、氟类表面活性剂、酯类表面活性剂、阳离子型表面活性剂、阴离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂、两性表面活性剂等表面活性剂等,这些表面活性剂可以分别单独使用或者组合使用二种以上。
作为所述表面活性剂,例如可以举出聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚乙二醇二酯类、失水山梨糖醇脂肪酸酯类、脂肪酸改性聚酯类、叔胺改性聚氨酯类、聚乙烯亚胺类等,除此以外,作为商品名还可以举出KP(信越化学工业公司制造)、POLYFLOW(共荣化学公司制造)、F TOP(TOHKEM PRODUCTS公司制造)、Mega Fuck(大日本油墨化学工业公司制造)、FLUORAD(住友3M公司制造)、AsahiGuard、Surflon(以上为旭硝子公司制造)、Solsperse(Zeneca公司制造)、EFKA(EFKA CHEMICALS公司制造)、PB821(味之素公司制造)等。
作为所述粘合促进剂,优选硅烷类化合物,具体可以举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等。
作为所述抗氧化剂,具体可以举出2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羟基-3,5-二-叔戊基苯基)乙基]-4,6-二-叔戊基苯基丙烯酸酯、6-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四-叔丁基二苯[d,f][1,3,2]二噁磷杂庚英(dioxaphosphepin)、3,9-二[2-{3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基}-1,1-二甲基乙基]-2,4,8,10-四氧螺[5.5]十一烷、2,2’-亚甲基双(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、4,4’-亚丁基双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、4,4’-硫代双(2-叔丁基-5-甲基苯酚)、2,2’-硫代双(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、3,3’-硫代二丙酸二月桂酯、3,3’-硫代二丙酸二肉豆蔻酯、3,3’-硫代二丙酸二硬脂酰酯、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、3,3’,3’’,5,5’,5’’-六叔丁基-a,a’,a’’-(三甲基苯-2,4,6-三基)三对甲酚、季戊四醇四[3-(3,5-二-叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、2,6-二-叔丁基-4-甲基苯酚等。
作为所述紫外线吸收剂,具体可以举出2-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。
作为所述防凝剂,具体可以举出聚丙烯酸钠等。
作为所述链转移剂,具体可以举出十二烷硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。
<间隔物及图像显示装置>
本发明提供以规定图案形成上述感光性树脂组合物后进行曝光、显影所形成的间隔物以及具有该间隔物的图像显示装置。
图像显示装置用间隔物例如可以通过下述方法制造,即,如下所述那样在基材上涂布感光性树脂组合物,并进行光固化和显影,形成图案。
首先,将感光性树脂组合物涂布在基板(通常为玻璃)或预先形成的由感光性树脂组合物的固体成分构成的层上,然后使其加热干燥,由此除去溶剂等挥发成分,得到平滑的涂膜。
作为涂布方法,例如可以通过旋涂、流延涂布法、辊涂法、狭缝+旋转涂布或狭缝式涂布法等实施。
涂布后进行加热干燥(预烘干(prebake))或减压干燥后加热,从而使溶剂等挥发成分挥发。此处,加热温度通常为70~200℃,优选为80~130℃。加热干燥后的涂膜厚度通常为1~8μm左右。
经由用于形成目标图案的掩模对如上所述得到的涂膜照射紫外线。此时,优选使用能对曝光部整体均匀照射平行光线且能进行掩模和基板的准确对位的掩模对准器或分档器(stepper)等装置。照射紫外线时,被照射紫外线的部位进行固化。
作为所述紫外线,可以使用g紫外线(波长:436nm)、h紫外线、i紫外线(波长:365nm)等。可以根据需要适当选择紫外线的照射量,本发明中没有限定。
只要使固化结束后的涂膜与显影液接触,溶解非曝光部,进行显影,由此即可得到具有目标图案形状的间隔物。
所述显影方法可以是液添加法、倾斜(dipping)法、喷雾法等中的任一种。另外,可以在显影时使基板倾斜任意角度。
所述显影液是通常的含有碱性化合物及表面活性剂的水溶液。
所述碱性化合物可以是无机碱性化合物和有机碱性化合物中的任一种。作为无机碱性化合物的具体例,可以举出氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨水等。另外,作为有机碱性化合物的具体例,可以举出氢氧化四甲铵、氢氧化2-羟基乙基三甲基铵、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一异丙胺、二异丙胺、乙醇胺等。这些无机碱性化合物和有机碱性化合物可以分别单独使用或者组合二种以上使用。碱显影液中的碱性化合物的浓度优选为0.01~10质量%,更优选为0.03~5质量%。
所述碱显影液中的表面活性剂可以使用选自由非离子型表面活性剂、阴离子表面活性剂或阳离子表面活性剂组成的组中的至少一种。
作为所述非离子型表面活性剂的具体例,可以举出聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧丙烯嵌段共聚物、失水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。
作为所述阴离子表面活性剂的具体例,可以举出月桂醇硫酸酯钠、油醇硫酸酯钠等高级醇硫酸酯盐类;月桂基硫酸钠、月桂基硫酸铵等烷基硫酸盐类;十二烷基苯磺酸钠、十二烷基萘磺酸钠等烷基芳基磺酸盐类等。
作为所述阳离子表面活性剂的具体例,可以举出硬脂胺盐酸盐、月桂基三甲基氯化铵等胺盐或季铵盐等。
这些表面活性剂可以分别单独使用或者组合使用二种以上。
所述显影液中表面活性剂的浓度通常为0.01~10质量%,优选为0.05~8质量%,更优选为0.1~5质量%。
显影后清洗,并可以根据需要在150~230℃下进行10~60分钟后烘干(postbake)。
在本发明的感光性树脂组合物中,由(A-2)树脂的酸性基团(acidgroup)引起的(A-1)树脂的环氧基开环反应可以在间隔物形成工序中的加热环境中进行,例如可以在后烘干工序中进行所述开环反应。
通过使用本发明的感光性树脂组合物,并经过以上各工序,能够在基板上或滤色片基板上形成图案。该图案可用于显示装置中使用的光阻间隔物(photospacer)有用。
因此,具有如上所述得到的图案的间隔物能够有效地用于液晶显示装置等图像显示装置,特别是在应用于触摸屏时,具有与现有的间隔物相同的弹性恢复率,交联密度提高,从而具有优异的机械特性,并且具有因外部压力导致的变形小的硬特性。
为了容易地理解本发明,下面示出优选的实施例,但这些实施例只是本发明的示例,并不限制所附的权利要求书,在本发明的范畴及技术构思范围内,可以对实施例进行多种变更且可进行修改,这对于本领域技术人员而言是明确的,当然,这样的变更和修改属于所附的权利要求书的范围。
<合成例1:碱溶性树脂中第一树脂(A-1)的合成>
准备具有搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗以及氮气导入管的烧瓶,另一方面,在单体滴液漏斗中投入以下物质:40质量份3,4-环氧三环癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯(化学式1)和3,4-环氧三环癸烷-9-基(甲基)丙烯酸酯(化学式2)的混合物(摩尔比50:50);50质量份甲基丙烯酸甲酯;40质量份丙烯酸;70质量份乙烯基甲苯、4质量份己酸叔丁基过氧-2-乙酯、40质量份丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA),然后搅拌混合备用,在链转移剂滴下槽中,投入6质量份正十二烷硫醇、24质量份PGMEA,搅拌混合,备用。接下来,向烧瓶中加入395质量份PGMEA,并将烧瓶内的环境气体从空气置换成氮气,然后一边搅拌一边将烧瓶的温度升至90℃。接下来,从滴液漏斗开始滴入单体和链转移剂。在保持90℃的同时分别进行2小时滴入,1小时后升温至110℃并保持5小时,由此得到固体成分的酸值为75mg KOH/g的树脂(A-1-1)。利用GPC测定得到的聚苯乙烯换算的重均分子量为17,000,分子量分布(Mw/Mn)为2.3。
<合成例2:碱溶性树脂中第二树脂(A-2-a)的合成>
向具有搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗以及氮气导入管的烧瓶中加入丙二醇单甲醚乙酸酯182g,并将烧瓶内的环境气体从空气变成氮气,然后在升温至100℃后从滴液漏斗经2小时向烧瓶中滴入如下溶液:所述溶液为在含有66.0g(0.3mol)(A-2-1)三环癸烷骨架的单甲基丙烯酸酯(FA-513M;日立化成公司制造)、35.0g(0.30mol)(A-2-2)α-甲基苯乙烯、28.8g(0.40mol)(A-2-3)丙烯酸、及136g丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物中添加有3.6g偶氮二异丁腈的溶液。并在100℃下继续搅拌5小时。接下来,将烧瓶内的环境气体从氮气变成空气,并向烧瓶内投入(A-2-4)缩水甘油基甲基丙烯酸酯42.0g(0.28mol)、三(二甲基氨基)甲基苯酚0.9g、及氢醌0.145g,然后在110℃下继续反应6小时,由此得到固体成分的酸值为170.7mg KOH/g的树脂(A-2-a)。由GPC测定的聚苯乙烯换算的重均分子量为22.180,分子量分布为(Mw/Mn)2.3。
<合成例3~18:碱溶性树脂中第二树脂(A-2-b~q)的合成>
按照下述[表1],除了改变(A-2-1~4)的各构成成分和比例以外,与所述合成例2相同地合成。
【表1】
在所述碱溶性树脂的重均分子量(Mw)及数均分子量(Mn)的测定中,利用GPC法在以下条件下进行。
装置:HLC-8120GPC(东曹公司制造)
色谱柱:TSK-GELG4000HXL+TSK-GELG2000HXL(串联)
柱温:40℃
流动相溶剂:四氢呋喃
流速:1.0mL/分钟
注入量:50μL
检测仪:RI
测定试样浓度:0.6质量%(溶剂为四氢呋喃)
校正用标准品:TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40、F-4、F-1、A-2500、A-500(东曹公司制造)
将上述得到的重均分子量和数均分子量的比作为分子量分布(Mw/Mn)。
<实施例1;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
按照下述表2记载的成分和组成制备间隔物形成用感光性树脂组合物(单位是质量份)。
【表2】
<实施例2;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将树脂A-2-a变为树脂A-2-b以外,与实施例1相同地制备。
<实施例3;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-c以外,与实施例1相同地制备。
<实施例4;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-d以外,与实施例1相同地制备。
<实施例5;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-e以外,与实施例1相同地制备。
<实施例6;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-f以外,与实施例1相同地制备。
<实施例7;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-g以外,与实施例1相同地制备。
<实施例8;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-h以外,与实施例1相同地制备。
<实施例9;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-i以外,与实施例1相同地制备。
<实施例10;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-j以外,与实施例1相同地制备。
<实施例11;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-k以外,与实施例1相同地制备。
<实施例12;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-l以外,与实施例1相同地制备。
<实施例13;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-m以外,与实施例1相同地制备。
<实施例14;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-n以外,与实施例1相同地制备。
<比较例1;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-o以外,与实施例1相同地制备。
<比较例2;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-p以外,与实施例1相同地制备。
<比较例3;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-2-q以外,与实施例1相同地制备。
<比较例4;间隔物形成用感光性树脂组合物的制备>
除了将实施例1中的树脂A-2-a变为树脂A-1以外,与实施例1相同地制备。
[实验例]
用中性洗涤剂、水和醇依次清洗宽度和长度为2英寸的玻璃基板(EAGLE2000;Corning公司制造)后使其干燥。在该玻璃基板上分别旋涂上述实施例及比较例中制备的感光性树脂组合物后,在无尘烘箱(clean oven)中于90℃下预烘干3分钟。将上述进行了预烘干的基板冷却至常温后,使其与石英玻璃制光掩模的间隔设为150μm,使用曝光机(TME-150RSK;TOPCON公司制造)以60mJ/cm2的曝光量(以405nm为基准)照射光。此时的对聚合性树脂组合物的照射使用如下得到的光,即,使来自超高压汞灯的放射光通过光学滤波器(LU0400;朝日分光公司制造)后滤去400nm以下的光后所得到的光。此时,光掩模使用在同一平面上形成有以下图案的光掩模。
具有一个边长为10μm的正四边形的透光部(图案),该正四边形的间隔为100μm。在光照射后,于25℃下将所述涂膜浸渍在含有非离子型表面活性剂0.12%及氢氧化钾0.04%的水系显影液中100秒钟,进行显影,并进行清洗,然后在烘箱中于220℃下进行20分钟后烘干。得到的膜厚为3μm。利用膜厚测定装置(DEKTAK6M;Veeco公司制造)测定膜厚。使用由此得到的图案,如下所述进行物性评价,并将其结果示于下述表2。
1.图案的两侧偏差(CD-bias)
使用三维形状测定装置(SIS-2000System;SNU Precision公司制造)测定上述得到的膜厚为3.0μm的图案尺寸,如下所述地计算出与掩模尺寸的差,作为两侧偏差。两侧偏差良好,为接近0的程度,(+)表示图案尺寸比掩模尺寸大,(-)表示图案尺寸比掩模尺寸小。
两侧偏差=(形成的图案尺寸)-(形成时使用的掩模尺寸)
2.线宽、截面形状
利用扫描电子显微镜(S-4600;日立制作所公司制造)测定上述得到的固化膜通过掩模(14μm)形成的图案的线宽,并如下所述评价截面形状。当图案相对于基板的角度小于90度时判断截面形状为正锥,所述角度为90度以上时判断截面形状为倒锥。
正锥时,形成显示装置时不易发生ITO布线的断线,所以优选。
3.机械特性(总位移量及恢复率)
使用动态超微小硬度计(HM-2000;Helmut Fischer GmbH+Co.KG),在下述测定条件下测定上述得到的固化膜的总位移量(μm)及弹性位移量(μm),并利用测定到的数值如下计算出恢复率(%)。当总位移量小且恢复率大时,判断为硬。
恢复率(%)=[弹性位移量(μm)]/[总位移量(μm)]×100
测定条件如下所述。
试验模式(mode):加卸载(Load-Unload)试验
试验力:50.0mN
负荷速度:4.41mN/sec
保持时间:5sec
压头:四角锥压头(直径50μm)
4.灵敏度
关于显影粘合性,通过分别具有1000个直径(大小(size))为5μm至20μm且间隔1μm的圆形图案的光掩模,以膜厚为3μm形成图案,并利用显微镜评价由所形成的图案未缺损且100%残留的掩模所形成的图案尺寸。掩模的尺寸越小,灵敏度越优异。
【表3】
参见上述表3,可确认本发明的含有第二树脂的实施例与不含有第二树脂的比较例相比,机械特性优异。还可以确认,在低曝光量时,不仅对基板的粘合性以及图案形状良好,弹性恢复率优异,且具有总位移量小的机械特性,而且,灵敏度良好。
Claims (7)
1.一种间隔物形成用感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物含有碱溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂,
所述碱溶性树脂含有第一树脂和第二树脂,所述第一树脂具有环氧基,所述第二树脂具有能与所述环氧基反应的酸性基团,并且酸值为170~300mgKOH/g。
2.根据权利要求1所述的间隔物形成用感光性树脂组合物,其中,所述第一树脂是具有不饱和键及羧基的化合物与作为下述化学式1和化学式2中的至少一种的化合物共聚得到的树脂,
[化学式1]
式中,R1是氢或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的烷基或环烷基;R2是单键或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的亚烷基或亚环烷基;所述R1可以进一步被羟基取代,
[化学式2]
式中,R1是氢或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的烷基或环烷基;R2是单键或者具有杂原子或不具有杂原子的碳数为1~20的亚烷基或亚环烷基;所述R1可以进一步被羟基取代。
3.根据权利要求1所述的间隔物形成用感光性树脂组合物,其中,所述第二树脂是一分子中具有选自由三环癸烷骨架及二环戊二烯骨架组成的组中的一种以上骨架且具有不饱和键的化合物、具有芳香族乙烯基的化合物、具有能够开环所述第一树脂的环氧基的酸性基团的化合物共聚得到的树脂。
4.根据权利要求3所述的间隔物形成用感光性树脂组合物,其中,具有所述酸性基团的化合物是选自由不饱和单羧酸、不饱和二羧酸及不饱和三羧酸组成的组中的至少一种化合物。
5.根据权利要求1所述的间隔物形成用感光性树脂组合物,其中,所述第二树脂是进一步含有一分子中具有不饱和键和环氧基的化合物或具有不饱和键和羟基的化合物进行共聚而得到的树脂。
6.一种间隔物,所述间隔物由权利要求1~5中任一项所述的间隔物形成用感光性树脂组合物制造。
7.一种图像显示装置,所述装置具有权利要求6所述的间隔物。
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