CN104183468B - 载体衬底分离系统及方法 - Google Patents

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Abstract

公开了一种载体衬底分离系统和方法。载体衬底分离系统包括：加载设备，制造衬底被加载到该加载设备中，在所述制造衬底中，包括第一面板衬底和第二面板衬底的粘结衬底被粘结至包括第一载体衬底和第二载体衬底的载体衬底，并且所述第一载体衬底或第二载体衬底在与所述粘结衬底分离后被加载到所述加载设备中；间隙形成设备，该间隙形成设备被构造成在第一面板衬底与第一载体衬底之间形成间隙，或在第二面板衬底与第二载体衬底之间形成间隙；分离设备，该分离设备被构造成使第一载体衬底或第二载体衬底与从间隙形成设备转移的制造衬底分离；以及机械手，该机械手被构造成在加载设备、间隙形成设备和分离设备之间转移制造衬底。

Description

载体衬底分离系统及方法
相关申请的交叉引用
本申请要求2013年5月24日提交的韩国专利申请No.10-2013-0058733的权益，该申请通过引用并入本文，如同完全在此提出。
技术领域
本发明涉及一种载体衬底分离系统以及通过将附接至粘结衬底的载体衬底与粘结衬底分离来制造薄显示面板的方法。
背景技术
诸如液晶显示(LCD)装置、有机发光显示装置、等离子显示面板(PDP)、电泳显示(EPD)装置之类的显示装置通过各种工艺来制造。制造工艺包括形成薄膜晶体管(TFT)阵列的薄膜晶体管工艺、粘结面板衬底的工艺等。
在显示装置的领域中，为了减小重量、便于布置以及增强设计，近来对具有薄厚度的薄显示装置的需求日益增加。因此，近来积极地发展薄显示装置。
通过减小构造显示装置的显示面板的厚度而制造的薄显示面板应当被制造以实现薄显示装置。
如上所述，使用具有薄厚度的面板衬底的方法已经作为将显示面板制造为薄的厚度的方法被提出。然而，面板衬底的耐久性被降低，这是因为面板衬底被成形为薄的厚度，并且出于该原因，面板衬底在包括TFT工艺和粘结工艺的制造工艺中容易被损坏。
为了解决这种问题，已经提出了一种方法，该方法通过使用厚度比包括在显示装置中的面板衬底的厚度厚的面板衬底来制造显示面板，并且然后通过蚀刻面板衬底的一部分来制造薄显示面板。韩国专利公开No.10-2011-0119368(于2011年11月2日公开)中公开了这种相关技术。然而，该相关技术具有以下问题。
第一，大量蚀刻溶液被消耗用于蚀刻整个面板衬底，并且此外，蚀刻溶液被在蚀刻面板衬底时出现的异物污染。因此，蚀刻溶液应该被定期地更换。出于该原因，在相关技术中，消耗品的处理成本由于蚀刻溶液的使用而增加，从而使显示面板的制造成本增加。
第二，在相关技术中，在其中执行蚀刻面板衬底的工艺的腔室的内部由于蚀刻溶液以及在蚀刻面板衬底时出现的异物而被污染，并且因此，需要定期清洗腔室的内部的工作。出于该原因，在相关技术中，工艺成本增加，这是因为定期地执行清洗工作，并且此外，当清洗工作正在执行时，制造显示面板的工艺停止，引起加工时间的损失以及显示面板的生产率的降低。
第三，在相关技术中，诸如氟化氢(HF)的环境污染物被用作蚀刻溶液，引起环境污染的问题。
发明内容
因此，本发明旨在提供一种载体衬底分离系统以及基本上解决由于相关技术的限制性和缺点而引起的一个或更多个问题的方法。
本发明的一方面旨在提供一种载体衬底分离系统以及自动地分离载体衬底与粘结衬底的方法，其中，载体衬底分别地被粘附至用于制造显示面板的粘结衬底的两个表面。
本发明的另外的优点及特征将部分地在后面的说明书中提出，并且部分地对本领域普通技术人员而言在阅读下文之后将是显而易见的，或者能够从本发明的实践中获知。本发明的目的和其他优点能够通过在说明书和权利要求书以及附图中具体指出的结构来实现和获得。
为了实现这些和其他优点，并且根据本发明的目的，如本文中所实施和大体描述的，提供一种载体衬底分离系统，该载体衬底分离系统包括：加载设备，在该加载设备中加载其中粘结衬底被粘结至载体衬底的制造衬底和与粘结衬底分离的第一载体衬底或第二载体衬底，该粘结衬底包括第一面板衬底和第二面板衬底，该载体衬底包括第一载体衬底和第二载体衬底；间隙形成设备，该间隙形成设备被构造成在第一面板衬底与第一载体衬底之间形成间隙，或在第二面板衬底与第二载体衬底之间形成间隙；分离设备，该分离设备被构造成使第一载体衬底或第二载体衬底与从间隙形成设备转移的制造衬底分离；以及机械手，该机械手被构造成在加载设备、间隙形成设备以及分离设备之间转移制造衬底。
在本发明的另一方面中，提供一种载体衬底分离方法，该方法包括：将制造衬底转移至间隙形成设备，以在第一面板衬底与被粘附至第一面板衬底的第一载体衬底之间形成第一间隙，在该制造衬底中，包括第一面板衬底和第二面板衬底的粘结衬底被粘结至包括第一载体衬底和第二载体衬底的载体衬底；将其中形成有第一间隙的制造衬底转移至分离设备，以使第一载体衬底与第一面板衬底分离；将与第一载体衬底分离的制造衬底转移至间隙形成设备，以在第二面板衬底与被粘附至第二面板衬底的第二载体衬底之间形成第二间隙；以及将其中形成有第二间隙的制造衬底转移至分离设备，以使第二载体衬底与第二面板衬底分离。
应当理解的是，本发明的前述一般性描述和下列详细描述是示例性和说明性的，并且意欲提供所要求保护的本发明的进一步解释。
附图说明
包括附图以提供对本发明的进一步理解，并且附图被结合在本申请中并构成本申请的一部分，附图示出本发明的实施方式，并且与说明书一同用于解释本发明的原理。在附图中：
图1是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的制造衬底的示意性横截面图；
图2是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的制造衬底的示意性横截面图；
图3是图示根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的构造的图；
图4和图5是用于描述被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的间隙形成设备的示意性横截面图；
图6是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的制造衬底的示意性分解立体图；
图7是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的支撑部件的示意性立体图；
图8是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的示意性横截面图；
图9是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的O形环的示意性横截面图；
图10是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的O形环的示意性平面图，并且是线I-I上的一部分的放大横截面图；
图11是用于描述被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的O形环的示意性横截面图；
图12至图15是用于描述操作被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的O形环的方法的示例性视图；
图16是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的加热机构的示意性横截面图；
图17是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的间隙调节单元的示意性横截面图；
图18是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的静电去除单元的示意性横截面图；
图19是图示通过使用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法的流程图；
图20是在通过使用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法中，用于将载体衬底联接至粘结衬底的联接设备的示意性横截面图；
图21是在通过使用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法中，用于将第一面板衬底粘结至第二面板衬底的粘结设备的示意性横截面图；以及
图22是详细地图示根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法的流程图。
具体实施方式
现在将详细地参照本发明的示例性实施方式，其示例在附图中图示。在可能的情况下，将在全部附图中使用相同的附图标记来指示相同部件或类似部件。
在下文中，将参照附图详细地描述本发明的实施方式。
图1是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1的制造衬底的示意性横截面图。图2是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1的制造衬底的示意性横截面图。图3是图示根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1的构造的图。
根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1使载体衬底200与用于制造显示面板的粘结衬底100分离。在描述根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1之前，将在下面描述粘结衬底100和载体衬底200。
首先，粘结衬底100被应用于诸如液晶显示(LCD)装置、有机发光显示装置、等离子显示面板(PDP)、电泳显示(EPD)装置之类的显示装置。
粘结衬底100通过将第一面板衬底110粘结至第二面板衬底120的工艺来制造。中间层130形成在第一面板衬底110与第二面板衬底120之间。
中间层130能够包括不同的成分，这取决于显示装置的种类。例如，当显示装置是LCD装置时，中间层130能够包括液晶。当显示装置是有机发光显示装置时，中间层130能够包括荧光有机化合物。当显示装置是PDP时，中间层130能够包括惰性气体。当显示装置是EPD装置时，中间层130能够包括电子墨水。第一衬底110和第二衬底120能够由玻璃、塑料或金属形成。
粘结衬底100在处于被粘附至载体衬底200的状态下被制造，并且如图1所示，在其中粘结衬底100被粘结至载体衬底200的衬底被简称为制造衬底900。在这种情况下，制造衬底900包括构造载体衬底200的第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者。
其中载体衬底200通过根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1与制造衬底900分离的粘结衬底100被简称为显示面板。即，当构造制造衬底900的粘结衬底100已经与载体衬底200分离时，粘结衬底100是显示面板。特别地，显示面板被形成得较薄，并且因此被称为薄显示面板。
其次，载体衬底200被联接至粘结衬底100，由此增强第一面板衬底110和第二面板衬底120的耐久性。载体衬底200能够包括被联接至第一面板衬底110的第一载体衬底210以及被联接至第二面板衬底120的第二载体衬底220。
第一载体衬底210几乎匹配第一面板衬底110，或者被形成为厚度比第一面板衬底110的厚度厚，由此增强第一面板衬底110的耐久性。
第二载体衬底220几乎匹配第二面板衬底120，或者被形成为厚度比第二面板衬底120的厚度厚，由此增强第二面板衬底120的耐久性。
第一衬底210和第二衬底220能够由玻璃、塑料或金属形成。
在制造显示装置的工艺完成之前，载体衬底200通过根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1与粘结衬底100分离，由此实现薄显示面板以及包括薄显示面板的薄显示装置。
为此，如图3中所示，根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1包括：加载设备7，在该加载设备7中加载制造衬底900(在该制造衬底900中，构造有第一面板衬底110和第二面板衬底120的粘结衬底100被粘结至构造有第一载体衬底210和第二载体衬底220的载体衬底200)和与粘结衬底100分离的第一载体衬底210或第二载体衬底220；间隙形成设备3，该间隙形成设备3在第一面板衬底110与第一载体衬底210之间形成间隙，或者在第二面板衬底120与第二载体衬底220之间形成间隙；分离设备2，该分离设备2使第一载体衬底210或第二载体衬底220与从间隙形成设备3转移的制造衬底900分离；以及多个机械手4和6，所述多个机械手4和6在加载设备7、间隙形成设备3以及分离设备2之间转移制造衬底900。载体衬底分离系统1能够进一步包括平台5，从加载设备7转移的制造衬底900、与第一载体衬底210和第二载体衬底220中的一者分离的制造衬底900以及第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者被安置在该平台5上。在这种情况下，机械手6和4能够被分类成第一机械手6和第二机械手4，其中，第一机械手6被设置在加载设备7与平台5之间，第二机械手4被设置在间隙形成设备3与分离设备2之间。
首先，通过预处理制造的制造衬底900被转移至加载设备7。制造衬底900通过机械手被转移至间隙形成设备3或分离设备2。
此外，通过分离设备2与制造衬底900分离的第一载体衬底210和第二载体衬底220被转移至加载设备7。被转移至加载设备7的第一载体衬底210和第二载体衬底220应用清洗工艺以便再次利用。
其次，当制造衬底900被输入至间隙形成设备3时，在第一面板衬底110与第一载体衬底210之间形成第一间隙，或者在第二面板衬底120与第二载体衬底220之间形成第二间隙。
然而，两个间隙不同时形成。详细地，首先，通过间隙形成设备3在第一面板衬底110与第一载体衬底210之间形成第一间隙的制造衬底900被转移至分离设备2，并且第一载体衬底210在分离设备2中被分离。其次，与第一载体衬底210分离的制造衬底900再次被输入至间隙形成设备3，并且在第二面板衬底120与第二载体衬底220之间形成第二间隙。在其中形成有第二间隙的制造衬底900被再次转移至分离设备2，并且第二载体衬底220在分离设备2中被分离。
下面将参照附图详细描述间隙形成设备3的构造和功能。
第三，如上所述，分离设备2使第一载体衬底210或第二载体衬底220与通过间隙形成设备3在其中形成间隙的制造衬底900分离。
下面将参照附图详细描述分离设备2的构造和功能。
第四，从加载设备7转移的制造衬底900、与第一载体衬底210和第二载体衬底220中的一者分离的制造衬底900以及第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者被安置在平台5上。
即，衬底中的至少一个衬底总是被安置在平台5上，使得间隙形成设备3和分离设备2连续地执行其功能。
例如，从加载设备7转移的制造衬底总是被安置在平台5上。因此，当通过间隙形成设备3在其中形成间隙的第一制造衬底900被提供至分离设备2时，被安置在平台5上的第二制造衬底900能够被提供至间隙形成设备。
此外，通过分离设备2与第一制造衬底900分离的第一载体衬底210被安置在平台5上、被转移至加载设备7并且被卸载至外部。
此外，通过分离设备2与第一载体衬底210分离的第一制造衬底900能够被安置在平台5上，在这种情况下，通过间隙形成设备3在其中形成间隙的第二制造衬底900能够被转移至分离设备2。当第二制造衬底900被转移至分离设备2时，被安置在平台5上的第一制造衬底900能够再次被转移至间隙形成设备3。
另一方面，通过间隙形成设备3在其中形成间隙的第二制造衬底900能够被安置在平台5上，在这种情况下，通过分离设备2与第一载体衬底210分离的第一制造衬底900能够被转移至间隙形成设备3。当第一制造衬底900被转移至间隙形成设备3时，被安置在平台5上的第二制造衬底900能够再次被转移至分离设备2。
通过上述操作，平台5能够被分成至少三个或更多个空间。
第五，机械手将元件转移至衬底。例如，机械手包括被设置在加载设备7与平台5之间的第一机械手6以及被设置在间隙形成设备3与分离设备2之间的第二机械手4。
图4和图5是用于描述被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的间隙形成设备的示意性横截面图。图6是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的制造衬底的示意性分解立体图。图7是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的支撑部件的示意性立体图。
被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1的间隙形成设备3在第一面板衬底110与第一载体衬底210之间形成第一间隙，或者在第二面板衬底120与第二载体衬底220之间形成第二间隙。即，间隙形成设备3使第一载体衬底210或第二载体衬底220与粘结衬底100暂时地分离。
即，在分离设备2使第一载体衬底210或第二载体衬底220整体与粘结衬底100分离之前，间隙形成设备3使第一载体衬底210或第二载体衬底220的一部分与粘结衬底100分离。
因此，载体衬底分离系统1减少分离设备2使第一载体衬底210或第二载体衬底220整体与粘结衬底100分离所耗费的时间，由此提高薄显示面板的生产率。
此外，载体衬底分离系统1允许分离设备2容易地使第一载体衬底210或第二载体衬底220整体与粘结衬底100分离，并且因此能够防止载体衬底200在使第二载体衬底210与粘结衬底100分离的操作中被损坏。因此，载体衬底分离系统1能够将与粘结衬底100分离的载体衬底200再次使用在制造另一显示面板的过程中，并且因此能够降低载体衬底200的消耗量，由此降低工艺成本。
如图4和图5中所示，间隙形成设备3包括：支撑部件34以及分离单元30，该支撑部件34支撑制造衬底900，该分离单元30使第一载体衬底210的突出部210a或第二载体衬底220的突出部220a与粘结衬底100分离，突出部210a或突出部220a沿制造衬底900的外部方向比粘结衬底100突出更远。
首先，分离单元30能够包括：暂时分离机构31以及升降机构32，该暂时分离机构31接触第一载体衬底210或第二载体衬底220；该升降机构32升高/降低暂时分离机构31以便移动第一载体衬底210的一部分。
暂时分离机构31被联接至升降机构32。暂时分离机构31接触载体衬底200中从粘结衬底100突出的突出部210a和220a。暂时分离机构31穿过粘结衬底100接触突出部210a和220a。在这种情况下，粘结衬底100能够包括通槽100a(参见图5)，暂时分离机构31穿过通槽100a。
载体衬底200能够被联接至粘结衬底100，使得突出部210a和220a分别被设置在与通槽100a对应的位置处。因此，暂时分离机构31能够通过通槽100a接触突出部210a和220a，并且移动突出部210a和220a以便使载体衬底200的一部分与粘结衬底100分离。
当第一载体衬底210和第二载体衬底220被联接至粘结衬底100时，如图6中所示，粘结衬底100能够被联接至载体衬底200。这将在下面进行详细描述。
首先，第一面板衬底110能够包括暂时分离机构31穿过的两个第一通槽110a。并且，第二面板衬底120能够包括暂时分离机构31穿过的两个第二通槽120a。第一面板衬底110被粘结至第二面板衬底120以使第一通槽110a被连接至第二通槽120a。
第一载体衬底210能够包括接触暂时分离机构31的第一突出部210a以及暂时分离机构31穿过的第一连接槽210b。第一载体衬底210被联接至第一面板衬底110，使得第一突出部210a被设置在第一通槽110a中的一个第一通槽110a中，并且第一连接槽210b被设置在另一个第一通槽110a中。
第二载体衬底220能够包括接触暂时分离机构31的第二突出部220a以及暂时分离机构31穿过的第二连接槽220b。第二载体衬底220被联接至第二面板衬底120，使得第二突出部220a被设置在第二通槽120a中的一个第二通槽120a中，并且第二连接槽220b被设置在另一个第二通槽120a中。而且，第二载体衬底220被联接至第二面板衬底120，使得第二突出部220a被设置在与第一连接槽对应的位置处，并且第二连接槽220b被设置在与第一突出部210a对应的位置处。
暂时分离机构31能够在如上所述被联接至彼此的粘结衬底100和载体衬底200上执行下列操作，以使第二载体衬底220与粘结衬底100暂时分离。
当使第一载体衬底210与第一面板衬底110暂时分离时，暂时分离机构31通过第二连接槽220b、第二通槽120a和第一通槽110a接触第一突出部210a。因此，暂时分离机构31能够移动第一突出部210a以使第一载体衬底210与第一面板衬底110暂时分离。
当使第二载体衬底220与第二面板衬底120暂时分离时，暂时分离机构31通过第一连接槽210b、第一通槽110a和第二通槽120a接触第二突出部220a。因此，暂时分离机构31能够移动第二突出部220a以使第二载体衬底220与第二面板衬底120暂时分离。
当第一载体衬底210被暂时分离、第一载体衬底210整体与粘结衬底100分离并且第二载体衬底220被暂时分离时，第一载体衬底210能够不包括第一连接槽210b。这是因为当暂时分离第二载体衬底220时，粘结衬底100处于第一载体衬底210与粘结衬底100分离并且从粘结衬底100移除的状态。当第二载体衬底220被暂时分离、第二载体衬底220整体与粘结衬底100分离并且第一载体衬底210被暂时分离时，第二载体衬底220能够不包括第二连接槽220b。这是因为当暂时分离第一载体衬底210时，粘结衬底100处于第二载体衬底220与粘结衬底100分离并且从粘结衬底100移除的状态。
此外，在图6中，暂时分离机构31穿过的第一连接槽210b、第一通槽110a、第二通槽120a和第二连接槽220b被图示为均形成为三角形板形状，但也可以形成为各种形状(例如，盘状)，不限于此。
此外，在图6中，第一突出部210a形成在第一载体衬底210处接触暂时分离机构31的一部分形成为矩形形状，但也可以形成为另一种形状，不限于此。
此外，在图6中，第二突出部220a形成在第二载体衬底220处接触暂时分离机构31的一部分形成为矩形形状，但也可以形成为另一种形状，不限于此。
第一突出部210a和第二突出部220a能够形成为相同的形状，或者能够形成为不同的形状。
尽管未示出，但第一面板衬底110、第二面板衬底120、第一载体衬底210和第二载体衬底220能够形成为所有角都被倒角的八边形形状。在这种情况下，与第一突出部210a和第二突出部220a对应的部分能够被倒角为比其他角更小的尺寸，并且因此能够形成为接触暂时分离机构31的形状。
升降机构32升高或降低暂时分离机构31，使得暂时分离机构31接触突出部210a和220a，并且相对于粘结衬底100升高第一载体衬底210的突出部210a或第二载体衬底220的突出部220a。因此，如图5中所示，载体衬底200的在其中形成突出部210a和220a的部分与粘结衬底100分离。
因此，间隙形成设备3能够使第一载体衬底210的突出部210a或第二载体衬底220的突出部220a与粘结衬底100分离，并且因此能够使第一载体衬底210或第二载体衬底220与粘结衬底100暂时分离。
升降机构32能够反复地升高或降低暂时分离机构31，使得暂时分离机构31接触突出部210a和220a。升降机构32能够反复地升高或降低暂时分离机构31预定的次数。预定的次数能够由使用者预先设定。因此，间隙形成设备3提高了使第一载体衬底210或第二载体衬底220与粘结衬底100暂时分离的工艺的精度。
升降机构32能够改变暂时分离机构31的位置。即，当暂时分离机构31的位置与突出部210a和220a的位置不匹配时，升降机构32能够根据从控制器(未示出)传递的控制信号来改变暂时分离机构31的位置。
间隙形成设备3还能够包括测量机构33，该测量机构33测量当暂时分离机构31升高或降低突出部210a和220a时施加至暂时分离机构31的压力。
测量机构33能够被设置在暂时分离机构31与升降机构32之间。当暂时分离机构31升高突出部210a和220a时，突出部210a和220a由于载体衬底200与粘结衬底100之间的联接力而挤压暂时分离机构31。施加至暂时分离机构31的压力随着载体衬底200与粘结衬底100逐渐并暂时分离而逐渐减弱，并且因此联接力被减弱。
因此，测量机构33能够测量施加至暂时分离机构31的压力，并且通过使用测量的压力值来判定载体衬底200的暂时分离是否完成。测量机构33能够通过使用有线通信和无线通信中的至少一者来将测量的压力值提供至升降机构32。
升降机构32能够反复地升高或降低暂时分离机构31，直到由测量机构33提供的压力值达到预定压力值。预定压力值能够由使用者预先设定。因此，间隙形成设备3提高了使载体衬底200与粘结衬底100暂时分离的工艺的精度。
第二，支撑部件34被紧密地粘附至制造衬底900。
支撑部件34支撑制造衬底900，在该制造衬底900中，载体衬底200被粘结至粘结衬底100。制造衬底900由支撑部件34支撑以使突出部210a和220a从支撑部件34突出。支撑部件34能够被设置在腔室机构(未示出)中。在这种情况下，使载体衬底200与粘结衬底100暂时分离的工艺能够在腔室机构中执行。腔室机构能够形成为中空的矩形平行六面体形状，但也能够形成为提供在其中执行使载体衬底200与粘结衬底100暂时分离的工艺的工作空间的形状，不限于此。
当载体衬底200与粘结衬底100暂时分离时，支撑部件34能够固定制造衬底900。在这种情况下，制造衬底900能够通过抽吸单元(未示出)被吸附并固定至支撑部件34。
如图7中所示，支撑部件34能够包括通孔34b，通孔34b用于传递从抽吸单元(未示出)供应至粘结衬底100的抽吸力。抽吸单元能够被设置在支撑部件34处以便被连接至通孔34b。抽吸单元能够被设置在腔室机构处以便被连接至通孔34b。通孔34b形成为穿过支撑部件34，与抽吸单元相连。
抽吸单元通过通孔34b抽吸流体，并且因此，制造衬底900被吸附并固定至支撑部件34。当制造衬底900由支撑部件34支撑处于被联接至第一载体衬底210和第二载体衬底220的状态时，抽吸单元吸附接触支撑部件34的第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者，从而将制造衬底900固定至支撑部件34。
当制造衬底900由支撑部件34支撑处于被联接至第一载体衬底210或第二载体衬底220的状态时，抽吸单元吸附接触支撑部件34的第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者，从而将制造衬底900固定至支撑部件34。如图7中所示，支撑部件34能够包括多个通孔34b。
尽管未示出，但是支撑部件34能够是静电卡盘。在这种情况下，制造衬底900能够通过静电力被固定至支撑部件34。支撑部件34能够包括将制造衬底900粘附至支撑部件34的至少一个电极(未示出)。尽管未示出，但是支撑部件34能够包括至少一个粘合橡胶(未示出)。在这种情况下，制造衬底900能够通过粘合橡胶的粘性被固定至支撑部件34。
当间隙形成设备3暂时分离第一载体衬底210时，制造衬底900能够由支撑部件34支撑以使第一突出部210a从支撑部件34突出。当间隙形成设备3暂时分离第二载体衬底220时，制造衬底900能够由支撑部件34支撑以使第二突出部220a从支撑部件34突出。
如图7中所示，暂时分离机构槽34a能够形成在支撑部件34的与第一突出部210a或第二突出部220a对应并且设置暂时分离机构31的位置处。
能够在支撑部件34的其中形成有暂时分离机构槽34a的一部分处形成粘合部34d，在粘合部34d中形成有比另一部分数量更多的通孔。即，当暂时分离机构31沿支撑部件34的上端方向推动突出部210a和220a时，当制造衬底900没有被紧密地粘附至支撑部件34时，制造衬底900能够与突出部210a和220a一起沿上端方向被推动和升高。在这种情况下，突出部210a和220a可能不与粘结衬底100分离。
因此，能够在粘合部34d处形成比另一部分数量更多的通孔。
此外，用于支撑制造衬底900的提升销34c能够被设置在支撑部件34处。在机械手支撑制造衬底900的底部的状态下，当制造衬底900被设置在支撑部件34处时，提升销34c从支撑部件34的平面突出。在制造衬底900被设置在提升销34c的上端处的状态下，当机械手偏离支撑部件34时，提升销34c能够插入平面中，并且制造衬底900能够被设置在支撑部件34的平面处。
第三，如图4中所示，间隙形成设备3能够包括对准单元50，该对准单元50使突出部210a和220a与分离单元30对准。
对准单元50能够包括照相机51和控制器52。
照相机51采集突出部210a和220a的图像。
控制器52分析图像以确定突出部210a或220a的位置。控制器52将控制信号传送至分离单元30，使得暂时分离机构31被设置在该位置处。
分离单元30根据控制信号来改变暂时分离机构31的位置，由此允许暂时分离机构31被准确地并且紧密地粘附至突出部210a和220a。
即，由于暂时分离机构31根据对准单元50的控制而被准确地并且紧密地粘附至突出部，因此使载体衬底200与制造衬底900分离的工艺能够被自动地执行。
第四，如图4和图5中所示，间隙形成设备3能够包括插入单元40，插入单元40通过分离设备2被插入在粘结衬底100与第一载体衬底210的突出部210a或第二载体衬底220的突出部220a之间形成的间隙中。
插入单元40包括被插入间隙中的间隙刀以及移动间隙刀的间隙刀移动单元42。
暂时分离机构31在预定时期期间接触突出部210a或220a，并且当确定突出部与粘结衬底100分离时，基于通过通过分析由测量结构33获得的信息来确定载体衬底200与粘结衬底100分离，或者通过各种方法来确定突出部与粘结衬底100分离，从而形成间隙，间隙刀移动单元42朝向该间隙移动。当间隙刀移动单元42朝向该间隙移动时，如图5中所示，间隙刀被插入该间隙中。
间隙刀41被插入该间隙中，并且然后，当一定时间过去时，间隙刀移动单元42往回移动，并且因此，间隙刀41与间隙分离。
当间隙刀41被插入间隙中时，在突出部与粘结衬底100之间形成细槽。即使暂时分离机构31不再运行，该间隙仍能够通过该细槽而被保持在突出部与粘结衬底100之间。
图8是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的示意性横截面图。图9是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的O形环的示意性横截面图。图10是被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的O形环的示意性平面图，并且是线I-I上的一部分的放大横截面图。图11是用于描述被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的O形环的示意性横截面图。图12至图15是用于描述操作被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的O形环的方法的示例性视图。图16是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的加热机构的示意性横截面图。图17是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的间隙调节单元的示意性横截面图。图18是图示被应用于根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统的分离设备的静电去除单元的示意性横截面图。
如图3所示，根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1包括使载体衬底200与粘结衬底100分离的分离设备2。如图8所示，分离设备2包括：支撑制造衬底900的第一平台21；被设置成与第一平台21分离的第二平台22；吸附单元23，该吸附单元23被设置在第二平台22处以便被连接至在第二平台22中形成的吸附孔221，并且通过吸附孔221吸附载体衬底200以便使载体衬底200与粘结衬底100分离；以及抽吸单元300，该抽吸单元300被设置在第一平台21处以便被连接至在第一平台21处形成的抽吸孔211，并且通过该抽吸孔211抽吸制造衬底900以便将制造衬底900紧密地粘附至第一平台21。
首先，第一平台21支撑载体衬底200以及被粘结至粘结衬底100的制造衬底900。
制造衬底900能够由第一平台21支撑，其中，第一衬底210和第二衬底220被联接至粘结衬底100。在这种情况下，第一载体衬底210被联接至第一面板衬底110，并且第二载体衬底220被联接至第二面板衬底120。
制造衬底900能够由第一平台21支撑，使得第一载体衬底210和第二载体衬底220中的将被分离的一者朝向第二平台22。
制造衬底900能够由第一平台21支撑，其中，第一衬底210或第二衬底220被联接至粘结衬底100。在这种情况下，制造衬底900能够由第一平台21支撑，使得第一衬底210或第二衬底220朝向第二平台22。制造衬底900能够通过机械手(例如，第二机械手4)从间隙形成设备转移，并且被安置在第一平台21上。
第一平台21可以设置在腔室单元(未示出)中。在这种情况下，使载体衬底200与制造衬底900暂时分离的工艺能够在腔室机构中执行。腔室机构能够形成为中空的矩形平行六面体形状，但也能够形成为提供在其中执行使载体衬底200与粘结衬底100分离的工艺的工作空间的形状，但不限于此。
当载体衬底200与制造衬底900分离时，第一平台21能够固定制造衬底900。为此，第一平台21能够包括抽吸孔211，抽吸孔211将从抽吸单元300提供的抽吸力传递至粘结衬底100。
抽吸单元300能够设置在第一平台21处以便被连接至抽吸孔211。抽吸单元300能够设置在腔室单元处以便被连接至抽吸孔211。抽吸孔211形成为穿过第一平台21与抽吸单元300连接。
抽吸单元300通过抽吸孔211抽吸流体，并且因此，制造衬底900被吸附并固定至第一平台21。当制造衬底900由第一平台21支撑处于粘结衬底100被联接至第一载体衬底210和第二载体衬底220的状态时，抽吸单元吸附接触第一平台21的第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者，由此将制造衬底900固定至第一平台21。
当制造衬底900由第一平台21支撑处于粘结衬底100被联接至第一载体衬底210和第二载体衬底220的状态时，抽吸单元300吸附接触第一平台21的第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者，由此将粘结衬底100固定至第一平台21。第一平台21能够包括多个抽吸孔211。
尽管未示出，但是第一平台21能够是静电卡盘。在这种情况下，制造衬底900能够通过静电力被固定至支撑部件34。第一平台21能够包括将制造衬底900粘附至第一平台21的至少一个电极(未示出)。尽管未示出，但是第一平台21能够包括至少一个粘合橡胶(未示出)。在这种情况下，制造衬底900能够通过粘合橡胶的粘性被固定至第一平台21。
第二，第二平台22设置成与第一平台21分离。制造衬底900能够由第一平台21支撑使得制造衬底900被设置在第二平台22与第一平台21之间。第二平台22能够设置在第一平台21上。第二平台能够设置在腔室单元(未示出)中。
第二平台22包括使载体衬底200与粘结衬底100分离的吸附孔221。该吸附孔221被连接至吸附单元23。吸附孔221形成为穿过第二平台22使得从吸附单元23提供的抽吸力被传递至载体衬底200。
吸附孔221的一侧能够形成为穿过第二平台22并且面向载体衬底200，并且另一侧能够形成为穿过第二平台22并且被连接至吸附单元23。吸附孔221的一侧能够形成为多个以穿过第二平台22使得从吸附单元23提供的抽吸力作为表面压力被传递至载体衬底200。
第二平台22能够包括多个吸附孔221使得从吸附单元23提供的抽吸力作为表面压力被传递至载体衬底200。在这种情况下，分离设备2能够包括多个吸附单元23。
在制造衬底900由第一平台21支撑的情况下，能够执行将载体衬底200(其将与制造衬底900分离)的位置与第二平台22的位置对准的工艺。将载体衬底200与第二平台22的位置对准的工艺能够通过移动第一平台21和第二平台22中的至少一者来执行。尽管未示出，分离设备2能够包括移动单元，该移动单元移动第一平台21和第二平台22中的至少一者，以便将载体衬底200与第二平台22的位置对准。移动单元能够通过利用如下方法来移动第一平台21和第二平台22中的至少一者：使用液压缸或气缸的柱体法；使用滚珠丝杠的滚珠丝杠法；使用马达和齿条的传动方法；使用马达、带轮和皮带的皮带方法；以及使用线圈和永磁体的线性马达。
吸附单元23被设置成被连接至吸附孔221。吸附单元23能够被设置在第二平台22处以便被连接至吸附孔221。吸附单元23能够被设置在腔室单元处以便被连接至吸附孔221。
吸附单元23能够通过吸附孔221吸附流体以吸附载体衬底200。因此，吸附单元23能够使载体衬底200与粘结衬底100分离。与粘结衬底100分离的载体衬底200能够通过从吸附单元23提供的抽吸力被粘附至第二平台22。
当制造衬底900由第一平台1支撑使得第一载体衬底210朝向第二平台22时，吸附单元23能够吸附第一载体衬底210以使第一载体衬底210与第一面板衬底110分离。
当制造衬底900由第一平台1支撑使得第二载体衬底220朝向第二平台22时，吸附单元23能够吸附第二载体衬底220以使第二载体衬底220与第二面板衬底120分离。
因此，根据本发明的实施方式的载体衬底分离系统1在第一面板衬底110和第二面板衬底120的耐久性通过载体衬底200增强的状态下执行制造显示面板的工艺，并且因此，尽管第一面板衬底110和第二面板衬底120被形成为较薄的厚度，但是在制造显示面板的工艺中能够防止第一面板衬底110和第二面板衬底120被容易地损坏。
此外，与相关技术不同，即使在不使用蚀刻溶液的情况下，载体衬底分离系统1仍能够防止第一面板衬底110和第二面板衬底120，从而制造薄显示面板。因此，与相关技术相比，载体衬底分离系统1能够降低生产成本，提供生产率，并且防止环境污染。
吸附单元23能够以快的抽吸速度吸附载体衬底200，使得载体衬底200立即被吸附。例如，吸附单元23能够以比制造衬底900被粘结至第一平台21的粘结速度更快的抽吸速度吸附载体衬底200。
吸附单元23能够在第二平台22与载体衬底200分离一定距离的状态下通过吸附孔221吸附流体。在这种情况下，通过吸附单元23产生的抽吸力泄漏在第二平台22与载体衬底200之间，并且为此，使载体衬底200与粘结衬底100分离所花费的时间增加。
为了解决这种问题，在载体衬底分离系统1中，如图9所示，分离设备2能够包括O形环24。
第三，O形环24被联接至第二平台22以沿第一平台21的外部方向从第二平台22突出，并且沿着第二平台22的外部部分形成闭环。
即，O形环24被联接至第二平台22。O形环24能够被联接至第二平台22以沿从第二平台22至第一平台21的方向(箭头方向A)突出。O形环24接触载体衬底200以在载体衬底200与第二平台22之间形成封闭空间B。
O形环24被联接至第二平台22使得吸附孔221被设置在封闭空间B中。因此，吸附单元23通过吸附孔221从封闭空间B抽吸流体以吸附载体衬底200，由此使载体衬底200与粘结衬底100分离。在这种操作中，O形环24防止由吸附单元23产生的抽吸力从封闭空间B泄漏，并且因此增加了被传递至载体衬底200的抽吸力(由吸附单元23产生)的量。因此，分离设备2减少了使载体衬底200与粘结衬底100分离所花费的时间，从而提高了薄显示面板的生产率。
如图9至图11所示，O形环24能够包括被联接至第二平台22的联接构件241、被形成为穿过O形环24的封闭孔242以及接触载体衬底200的接触构件243。
联接构件241被插入第二平台22中。因此，O形环24能够被联接至第二平台22以使接触构件243沿从第二平台22至第一平台21的方向(箭头方向A)突出。联接构件241能够被形成为所有角均被圆整的四边形环的形状，但也能够被形成为其他形状，不限于此。
封闭孔242被设置在联接构件241和接触构件243中。O形环24被联接至第二平台22使得吸附孔221被设置在封闭孔242中。因此，由吸附单元23产生的抽吸力能够通过吸附孔221和封闭孔242被传递至载体衬底200。封闭孔242能够被形成为具有与载体衬底200的尺寸近似匹配或比载体衬底200的尺寸更小的尺寸。
接触构件243接触载体衬底200以在第二平台200与载体衬底200之间形成封闭空间B。接触构件243能够被形成为例如翼状。
接触构件243接触载体衬底200，并且因此，封闭孔242由接触构件243、载体衬底200和第二平台200封闭，由此形成封闭空间B。因此，接触构件243接触载体衬底200，并且防止由吸附单元23产生的抽吸力从封闭空间B泄漏。因此，接触构件243增大被传递至载体衬底200的抽吸力(由吸附单元23产生)的量，由此减少使载体衬底200与粘结衬底100分离所花费的时间。
接触构件243能够被形成为在封闭孔242的外部方向上是倾斜的并且沿从第二平台22至第一平台21的方向(箭头方向A)突出。即，接触构件243能够被形成为在封闭孔242的外部方向上是倾斜的以使封闭孔22的尺寸沿从第二平台22至第一平台21的方向(箭头方向A)增大。
为了提供另外的描述，接触构件243能够被联接至第二平台22以从第二平台22沿第一平台21的外部方向突出。
因此，当载体衬底200与粘结衬底100分离并且接触构件被挤压时，接触构件243被挤压至与粘结衬底100分离的载体衬底200，并且因此，如图11所示，接触构件243能够沿封闭孔242的外部方向被折叠。在这种情况下，第二平台22包括容纳接触构件243的容纳槽222。容纳槽222能够被形成为与接触构件243对应的形状。容纳槽222能够被形成为具有与接触构件243的尺寸近似匹配或比接触构件243的尺寸更大的尺寸，以便容纳接触构件243。
接触构件243被挤压至载体衬底200并且被折叠，并且因此被插入容纳槽222中，由此接触构件243不从第二平台22突出。因此，载体衬底200与粘结衬底100分离并且被第二平台22吸附，并且因此，分离设备2能够防止载体衬底200被接触构件损坏。现在将对此详细描述。
首先，即使接触构件243被挤压至载体衬底200并且因此没有被折叠，或者接触构件243被挤压至载体衬底200并且因此被折叠，在第二平台22不包括容纳槽222的情况下，即使在载体衬底200与粘结衬底100分离并且被第二平台22吸附时，接触构件243仍保持从第二平台22突出的状态。因此，载体衬底200的接触接触构件243的一部分比被第二平台22吸附的一部分突出得更远，并且为此，载体衬底200被弯曲或损坏。
当接触构件243被挤压至载体衬底200，被折叠，并且被插入容纳槽222中时，接触构件243不从第二平台22突出。因此，当载体衬底200与粘结衬底100分离并且被第二平台22吸附时，能够防止载体衬底200被弯曲或损坏。因此，分离设备2防止载体衬底200在使载体衬底200与粘结衬底100分离的工艺中被损坏，并且因此，与粘结衬底100分离的载体衬底200能够被重新利用以制造另一显示面板。因此，分离设备2减少了在制造显示面板的工艺中载体衬底200的消耗量，由此降低了工艺成本。
接触构件243能够被形成为当接触构件243沿从第二平台22至第一平台21的方向(箭头方向A)突出时减小尺寸。接触构件243能够被形成为当接触构件243沿从第二平台22至第一平台21的方向(箭头方向A)突出时尺寸减小并且具有尖端。即，接触构件243的端部能够被形成为尖的。因此，接触构件243能够被挤压至与粘结衬底100分离的载体衬底200并且容易被折叠，并且因此能够被插入容纳槽222中以便不从第二平台22突出。另外，接触构件243减小接触载体衬底200的一部分的面积，由此降低载体衬底200被损坏的可能性。
O形环24能够被安装在第一平台21上。在这种情况下，被安装在第一平台21上的O形环能够与被安装在第二平台22上的O形环对称地形成。这将在下面参照图12至图15来描述。
将参照图12至图15简要地描述操作O形环24的方法。
参照图12，首先，制造衬底900被设置在第一平台21处。O形环24被安装在第一平台21上，并且制造衬底900被安装在呈翼状的O形环24的顶部上。
再参照图13，制造衬底900通过驱动抽吸单元300而被第一平台21真空吸附。制造衬底900被第一平台21真空吸附并且被紧密地粘附至第一平台21，并且因此，在随后的工艺中，即使当第二平台22吸附第一载体衬底210或第二载体衬底220时，除去第一载体衬底210或第二载体衬底220的制造衬底900实际上仍能够被设置在第一平台处。在描述中，真空吸附工艺能够通过与对安装在第二平台22上的O形环24的描述相同的方法执行。
参照图14，第二平台22被降低，并且因此，形成为翼状并且被安装在第二平台22上的O形环24接触制造衬底900的顶部，即，第一载体衬底210或第二载体衬底220。在这种情况下，第二平台22不会通过压缩第一载体衬底210或第二载体衬底220而接触第一载体衬底210或第二载体衬底220。即，第二平台22在其间存在微小间隔的情况下接触第一载体衬底210或第二载体衬底220，使得第一载体衬底210或第二载体衬底220与制造衬底900分离并且被移动至第二平台22。
参照图15，通过驱动吸附单元23，第一载体衬底210或第二载体衬底220被第二平台22吸附。第一载体衬底210或第二载体衬底220被粘附至第二平台22，并且因此，第一载体衬底210或第二载体衬底220与制造衬底900分离。通过间隙形成设备3在第一载体衬底210或第二载体衬底220与第一面板衬底110或第二面板衬底120之间形成间隙，并且因此，第一载体衬底210或第二载体衬底220能够从间隙G附近分离。即，分离操作由于通过间隙形成设备3形成的间隙G而能够通过分离设备2平稳地执行。
在这种情况下，第一平台21能够通过将在下面描述的加热机构来加热。
第四，分离设备2能够包括竖直地移动第二平台22的移动单元25。
移动单元25被联接至第二平台22。移动单元25能够被设置在腔室单元处。移动单元25能够沿第二平台22更靠近第一平台21的方向以及沿第二平台22更远离第一平台21的方向移动第二平台22。当第二平台22被设置在第一平台21上方时，移动单元25能够提升或降低第二平台22。移动单元25能够通过利用如下方法来移动第二平台22：使用液压缸或气缸的柱体法；使用滚珠丝杠的滚珠丝杠法；使用马达和齿条的传动方法；使用马达、带轮和皮带的皮带方法；以及使用线圈和永磁体的线性马达。
在制造衬底900被安装在第一平台21上之前，如图12所示，移动单元25沿偏离第一平台21的方向移动第二平台22。因此，移动单元25扩大了第一平台21与第二平台22之间的间隔，并且因此，在制造衬底900被安装在第一平台21上的工艺中，制造衬底900容易地被安装在第一平台21上，而不与第二平台22和O形环24碰撞。
当制造衬底900被安装在第一平台21上时，如图14所示，移动单元25沿更靠近第一平台21的方向移动第二平台22。移动单元25能够朝向由第一平台21支撑的粘结衬底100移动第二平台22，使得O形环24接触载体衬底200以形成封闭空间B。在这种情况下，当接触构件243接触载体衬底200以便形成封闭空间B时，移动单元25能够停止第二平台22的运动。在这种情况下，吸附单元23通过吸附孔221从封闭空间B抽吸流体，并且因此，如图15所示，吸附单元23能够吸附载体衬底200以使载体衬底200与制造衬底900分离。
尽管未示出，当载体衬底200与制造衬底900分离时，移动单元25能够沿偏离第一平台21的方向移动第二平台22，使得制造衬底900和载体衬底200容易被卸载。
第五，如图16所示，分离设备2还能够包括加热第一平台21的第一加热机构26。
第一加热机构26加热第一平台21，由此加热由第一平台21支撑的粘结衬底100和载体衬底200。因此，第一加热机构26使粘结衬底100与载体衬底200之间的联接力减弱，并且因此能够使载体衬底200与粘结衬底100容易地分离。因此，分离设备2减少使载体衬底200与粘结衬底100分离所花费的时间，由此提高了薄显示面板的生产率。另外，分离设备200能够使载体衬底200与粘结衬底100容易地分离，由此在使载体衬底200与粘结衬底100分离的工艺中防止载体衬底200被损坏。
第一加热机构26能够被联接至第一平台21。第一加热机构26能够被设置在腔室单元处。第一加热机构26能够包括被设置在第一平台21中的第一加热丝(未示出)。第一加热机构26能够允许第一加热丝发热，从而加热第一平台21。云母加热器能够被用作第一加热机构26。
第一加热机构26能够在110摄氏度至180摄氏度的温度下加热第一平台21。当第一加热机构26在低于110摄氏度的温度下加热第一平台21时，粘结衬底100与载体衬底200之间的联接力没有被减弱到载体衬底200与粘结衬底100容易分离的程度。当第一加热机构26在高于180摄氏度的温度下加热第一平台21时，粘结衬底100和载体衬底200可能被损坏。第一加热机构26在110摄氏度至180摄氏度的温度下加热第一平台21，并且因此能够防止粘结衬底100和载体衬底200被损坏，并且提高了使载体衬底200与粘结衬底100分离的工艺的可用性。
第一加热机构26能够将第一平台21分成N个区域(其中，N为大于一的整数)，并且针对所述区域中的每个区域来调节加热温度。因此，即使当第一平台21由于工艺环境而不处于完全一致的温度下时，第一加热机构26能够以不同的温度加热第一平台21的区域，并且因此能够完全并且一致地调节第一平台21的温度。因此，第一加热机构26能够在完全一致的温度下加热粘结衬底100和载体衬底200，并且因此完全且一致地减弱粘结衬底100与载体衬底200之间的联接力。因此，由于粘结衬底100和载体衬底200以部分不同的温度被加热，因此部分地产生联接力差，并且因此，载体衬底200部分地没有与粘结衬底100分离，从而防止粘结衬底100和载体衬底200被部分地损坏。
例如，第一加热机构26能够将第一平台21分成五个区域，并且针对五个区域中的每个区域调节加热温度。在这种情况下，第一加热机构26能够单独地调节第一平台21的中央区域的加热温度以及被设置成围绕中央区域的四个角区域的加热温度。尽管未示出，但是第一加热机构26能够将第一平台21分成两个、三个、四个或六个区域，并且针对所述区域中的每个区域调节加热温度。第一加热机构26能够从分别被设置在第一平台21的多个区域处的多个温度传感器(未示出)接收若干条温度信息，并且通过利用所接收的若干条温度信息来调节区域的加热温度。
分离设备2能够包括加热第二平台22的第二加热机构27。
第二加热机构27能够在与第一加热机构26加热第一平台21的温度近似匹配的温度下加热第二平台22。因此，当通过第一加热机构26加热的载体衬底200被第二平台22吸附时，第二加热机构27能够防止第二平台22由于温度差而被损坏。
第二加热机构27能够被联接至第二平台22。第二加热机构27能够被设置在腔室单元处。第二加热机构27能够包括被设置在第二平台22中的第二加热丝(未示出)。第二加热机构27能够允许第二加热丝发热，从而加热第二平台22。云母加热器能够被用作第二加热机构27。
由于第二加热机构27加热第二平台22，因此粘结衬底100与载体衬底200之间的联接力能够被减弱。这是因为当使载体衬底200与粘结衬底100分离时第二平台22与载体衬底200之间的间隔狭窄，并且因此，当第二加热机构27加热第二平台22时产生的热量通过对流和辐射被传递至由第一平台21支撑的粘结衬底100和载体衬底200。
尽管未示出，但是第二加热机构27能够将第二平台22分成N个区域，并且针对所述区域中的每个区域调节加热温度。因此，即使当第二平台22由于工艺环境而不处于完全一致的温度下时，第二加热机构27能够以不同的温度加热第二平台22的区域，并且因此能够完全地且一致地调节第二平台22的温度。第二加热机构27能够将第二平台22分成数量与第一加热机构26将第一平台21分成的区域的数量相等的多个区域，并且针对所述区域中的每个区域调节加热温度。第二加热机构27能够单独地加热第二平台22的区域，第二平台22的区域处于与通过第一加热机构26加热的第一平台21的区域的布置相同的布置。第二加热机构27能够从分别被设置在第二平台22的多个区域处的多个温度传感器(未示出)接收若干条温度信息，并且通过利用所接收的若干条温度信息来调节区域的加热温度。
第六，如图17所示，分离设备2能够包括间隙调节单元28，该间隙调节单元28被插入第一平台21与第二平台22之间，并且保持第一平台21与第二平台22之间的恒定间隔。
如上所述，当接触构件243接触载体衬底200以便形成封闭空间B时，移动单元25能够停止第二平台22的运动。
由于制造衬底的厚度和封闭空间B的高度也较小，因此移动单元25难以将第二平台22停止在精确位置处。
因此，分离设备2能够包括间隙调节单元28。
间隙调节单元28能够包括间隙调节器28b和移动件28a，其中，间隙调节器28b具有与第一平台21与第二平台22之间的间隔距离对应的高度以用于形成封闭空间B，移动件28a移动间隙调节器28b。
当制造衬底900被设置在第一平台21处时，如图17所示，移动件28a将间隙调节器28b移动至第一平台21与第二平台22之间的空间。
当间隙调节器28b被设置在第一平台21与第二平台22之间时，第二平台22朝向第一平台21下降。朝向第一平台21下降的第二平台22通过间隙调节器28b而不再被降低。因此，第一平台21与第二平台22之间的高度与预定高度精确地匹配，并且能够形成封闭空间B。
具有不同高度的两个或更多个间隙调节器28b能够被安装在移动件28a上。即，制造衬底900的高度能够根据显示装置的模型和种类而不同地改变，并且因此，第一平台与第二平台之间的高度也能够被不同地设定。因此，具有不同高度的多个间隙调节器28b能够被安装在移动件28a上。在这种情况下，移动件28a能够将多个间隙调节器28a中高度与制造衬底900的高度对应的间隙调节器移动至第一平台21与第二平台22之间的空间。
第七，如图18所示，分离设备2能够包括静电去除器29，该静电去除器29被插入第一平台21与第二平台22之间，接触与第一载体衬底210和第二载体衬底220分离的粘结衬底100，并且从粘结衬底100去除静电。
在分离设备2中，静电可以存在于与第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者分离的粘结衬底100上，并且损坏在随后的工艺中使用的粘结衬底100和装置。
因此，在分离设备2中，静电去除器29接触与第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者分离的粘结衬底100，并且将粘结衬底100的静电发射至外部。
为此，静电去除器29能够包括接触粘结衬底100的触头29a以及驱动触头29a的驱动器29b。
在下文中，将参照附图对根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法的示例进行详细描述。
图19是图示通过利用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法的流程图。图20是在通过利用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法中用于将载体衬底联接至粘结衬底的联接设备的示意性横截面图。图21是在通过利用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法中用于将第一面板衬底粘结至第二面板衬底的粘结设备的示意性横截面图。图22是详细地图示根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法的流程图。
通过利用根据本发明的实施方式的载体衬底分离方法来制造显示面板的方法能够包括下列操作。
首先，在一工艺(S10)中，载体衬底200被联接至第一面板衬底110和第二面板衬底120。该工艺(S10)能够将第一载体衬底210联接至第一面板衬底110，并且将第二载体衬底220联接至第二面板衬底120。如图20所示，联接载体衬底200的工艺(S10)能够通过将载体衬底200联接至第二面板衬底120的联接设备400来执行。
例如，如图20所示，联接设备400能够包括腔室模块410、第一表面板420、第二表面板430和压力调节器440。第一面板衬底110通过第一表面板420支撑，并且第一载体衬底210通过利用吸附力、静电力和粘附力中的至少一者被粘附至第二表面板430。在这种状态下，当第一载体衬底210与第二表面板430分离并且接触第一面板衬底110时，压力调节器440将腔室模块410的内压降低至真空压力。因此，第一载体衬底210通过分子的键合而被联接至第一面板衬底110。
此外，尽管未示出，第一载体衬底210能够通过利用密封剂而被联接至第一面板衬底110。
此外，尽管未示出，联接设备400能够通过利用朝向第一面板衬底110推动第一载体衬底210的结构来将第一载体衬底210联接至第一面板衬底110。该结构能够是加压销或膜片。
此外，联接设备400能够将气体喷射至第一载体衬底210以将第一载体衬底210联接至第一面板衬底110。
联接设备400能够通过利用上述各种方法来将第二在体衬底220联接至第二面板衬底120。
随后，在一工艺(S20)中，制造粘结衬底100。工艺(S20)包括将第一面板衬底110粘结至第二面板衬底120的粘结工艺。该粘结工艺能够在第一载体衬底210被联接至第一面板衬底110并且第二载体衬底220被联接至第二面板衬底120的状态下执行。
因此，由于粘结工艺在第一面板衬底110和第二面板衬底120的耐久性通过载体衬底200增强的状态下执行，尽管第一面板衬底110和第二面板衬底120被形成为较薄的厚度，但是在执行粘结工艺的过程中能够防止第一面板衬底110和第二面板衬底120被容易地损坏。粘结工艺能够通过如图21所示的粘结设备500来执行。
例如，如图21所示，粘结设备500能够包括腔室设备510、第一工作台520和第二工作台530。第一面板衬底110通过第一工作台520支撑以使第一载体衬底210接触第一工作台520。用于将第一面板衬底110粘结至第二面板衬底120的密封剂(未示出)被涂覆在第一面板衬底110上。
第二面板衬底120通过利用吸附力、静电力和粘附力中的至少一者被第二工作台530支撑，以使第二载体衬底220接触第二工作台530。
在这种状态下，第二面板衬底120接触第一面板衬底110，第一面板衬底110和第二面板衬底120通过密封剂的吸附力粘结，从而制造粘结衬底100。在这种情况下，粘结设备500能够通过利用朝向第一面板衬底110推动第二面板衬底120的结构来将第一面板衬底110联接至第二面板衬底120。该结构能够是第二工作台530、加压销或膜片。粘结设备500能够将气体喷射至第二面板衬底120以将第二面板衬底120联接至第一面板衬底110。在粘结设备500中，当第二面板衬底120接触第一面板衬底110时，压力调节机构将腔室模块410的内压降低至真空压力，从而将第一面板衬底110粘结至第二面板衬底120。
制造粘结衬底100的工艺(S20)能够包括在第一面板衬底110和第二面板衬底120中的每个中形成电极的工艺，需要该电极用于驱动显示面板。例如，制造粘结衬底100的工艺(S20)能够包括在第一面板衬底110上形成TFT阵列的TFT工艺、在第二面板衬底120上形成滤色器阵列的滤色器(CF)工艺以及形成中间层130的工艺。
这些工艺能够在第一载体衬底210被联接至第一面板衬底110并且第二载体衬底220被联接至第二面板衬底120的状态下执行。因此，能够防止第一面板衬底110和第二面板衬底120在执行上述工艺的过程中被容易地损坏，并且因此，能够提高制造薄显示面板的工艺的收益率，并且能够增强薄显示面板的质量。
如上所述，在其中载体衬底200被粘附至粘结衬底100的衬底被称为制造衬底900。即，制造衬底900包括粘结衬底100和被粘附至粘结衬底100的载体衬底200，在这种情况下，载体衬底200能够包括第一载体衬底210和第二载体衬底220中的至少一者。
随后，在一工艺(S30)中，载体衬底200与粘结衬底100分离。该工艺(S30)能够通过将载体衬底200与粘结衬底100分离的载体衬底分离系统1来执行。载体衬底200在该工艺(S30)中与粘结衬底100分离，并且因此，粘结衬底100能够被实施为薄显示面板。下面将参照图1至图22对使载体衬底200与粘结衬底100分离的方法进行详细描述。在下列描述中，简要地说明或不提供重复的描述。
首先，制造衬底900被转移至间隙形成设备2，在该制造衬底900中，被构造有第一面板衬底110和第二面板衬底120的粘结衬底100被粘结至被构造有第一载体衬底210和第二载体衬底220的载体衬底200，并且在工艺(S31)中在第一面板衬底110与被粘附至第一面板衬底110的第一载体衬底210之间形成第一间隙G。现在将详细描述这一操作。
在制造载体衬底200被联接至其的粘结衬底100的工艺(S20)中制造的制造衬底900被转移至加载设备7并且被安置在加载设备7上。
被安置在加载设备7上的制造衬底900通过第一机械手6被转移至平台5并且被安置在平台5上。
被安置在平台5上的制造衬底900通过第二机械手4被转移至间隙形成设备3。在这种情况下，第二机械手4转移处于支撑第二载体衬底220的底部的状态的制造衬底900。提升销34c被设置在间隙形成设备3的支撑部件34处，并且制造衬底900被设置在提升销34c处。然后，提升销34c下降，并且因此，制造衬底900被设置在支撑部件34处。
制造衬底900通过抽吸单元(未示出)和通孔34b被紧密地粘附至支撑部件34。
对准单元50核查在第一载体衬底210处形成的第一突出部210a的位置，并且然后将分离单元30移动至与第一突出部210a对应的位置。
分离单元30被驱动，并且沿第一突出部210a与第一面板衬底110分离的方向挤压第一突出部210。
当在第一载体衬底210与第一面板衬底110之间形成第一间隙G时，间隙刀41被插入第一间隙G中。
当由于间隙刀41而在第一间隙G中出现脱离时，间隙刀41与第一间隙G分离。
在第一载体衬底210与第一面板衬底110之间形成的第一间隙G能够通过工艺来保持。
已经对下述情况进行了描述：从平台5将制造衬底900提供至间隙形成设备3，使得第二载体衬底220被设置在支撑部件34处。即，当制造衬底900从平台5被提供至间隙形成设备3使得第二载体衬底220被设置在支撑部件34处时，能够在第一载体衬底210与第一面板衬底110之间形成第一间隙G。
第二，在其中形成有第一间隙G的制造衬底900被转移至分离设备2，并且在工艺(S32)中第一载体衬底210与第一面板衬底110分离。现在将详细描述该工艺。
第二机械手4抽吸制造衬底900的顶部，即，第一载体衬底210，并且然后将制造衬底900转移至分离设备2。
第二机械手4将制造衬底900设置在分离设备2的第一平台21处。在这种情况下，第二载体衬底220被设置在第一平台21处。
抽吸单元300强有力地抽吸制造衬底900，并且因此，第二载体衬底220被紧密地粘附至第一平台21。
间隙调节器28b被插入第一平台21与第二平台22之间。
第二平台22朝向第一平台21下降，并且然后通过间隙调节器28b停止在特定位置处。
当第二平台22停止在特定位置处时，第一载体衬底210通过吸附单元23朝向第二平台22移动，并且被紧密地粘附至第二平台22。因此，第一载体衬底210与第一面板衬底110分离。
当分离工艺正在被执行时，能够在间隙形成设备3中执行用于另一制造衬底的间隙形成工艺(S31)。
第三，与第一载体衬底210分离的制造衬底900被转移至间隙形成设备3，并且在工艺(S33)中在第二面板衬底120与被粘附至第二面板衬底120的第二载体衬底220之间形成第二间隙。现在将详细描述该工艺。
第二机械手4能够将制造衬底900暂时设置在平台5处，将另一制造衬底900(被设置在间隙形成设备3处)移动至分离设备2，并且将被暂时设置在平台5处的制造衬底900转移至间隙形成设备3。另外，第二机械手4能够将其他制造衬底900(被设置在间隙形成设备3处)暂时设置在平台5处，将制造衬底900(与第一载体衬底210分离)从分离设备2移动至间隙形成设备3，并且将被暂时设置在平台5处的其他制造衬底900转移至分离设备2。在这种情况下，第二机械手4能够使制造衬底900旋转，使得与第一载体衬底210分离的制造衬底900的第一面板衬底110被设置在间隙形成设备3的支撑部件34处。
第一面板衬底110被设置在支撑部件34处，并且因此，在被粘附至第二面板衬底120的第二载体衬底220处形成的第二突出部220a被设置在与分离单元30对应的位置处。
分离单元30在第二突出部220a与第二面板衬底120之间形成第二间隙的工艺能够通过与分离单元30在第一突出部210a与第一面板衬底110之间形成第一间隙的工艺(S31)相同的工艺执行。
第四，在其中形成有第二间隙的制造衬底900被转移至分离设备2，并且在工艺(S34)中第二载体衬底220与第二面板衬底120分离。现在将详细描述该工艺。
第二机械手4将其中形成有第二间隙的制造衬底900转移至分离设备2的方法能够通过以上已经在将与第一载体衬底210分离的制造衬底900转移至间隙形成设备3的方法中描述的工艺执行。
其中形成有第二间隙的制造衬底900被设置在分离设备2处以使第一面板衬底110面向第一平台21。
分离设备2将第二载体衬底220与第二面板衬底120分离的工艺能够通过与分离设备2将第一载体衬底210与第一面板衬底110分离的工艺(S32)相同的工艺执行。
最后，当载体衬底200与粘结衬底100分离时，执行刻划与载体衬底200分离的粘结衬底100的工艺(S40)。
即，当第一载体衬底210和第二载体衬底220与粘结衬底100分离时，刻划粘结衬底100的工艺(S40)能够通过刻划与第一载体衬底210和第二载体衬底220分离的粘结衬底100来执行。
在上述显示面板制造方法中，刻划工艺可以不针对第一载体衬底210和第二载体衬底220执行，并且因此，与粘结衬底100分离的第一载体衬底210和第二载体衬底220能够被再次用于制造另一显示面板。因此，根据本发明的实施方式，能够减少制造薄显示面板的工艺中载体衬底200的消耗量，从而降低工艺成本。
刻划粘结衬底100的工艺(S40)能够通过刻划设备(未示出)来执行，该刻划设备传递与第一载体衬底210和第二载体衬底220分离的粘结衬底100。刻划设备能够通过利用切割轮或激光来切割粘结衬底100。
当粘结衬底100是其中形成有多个显示面板的母衬底时，刻划粘结衬底100的工艺(S40)能够通过切割粘结衬底100来执行以使粘结衬底100被分成多个显示面板。
当粘结衬底100是其中形成有一个显示面板的衬底时，刻划粘结衬底100的工艺(S40)能够通过切割粘结衬底100的诸如虚拟区域的非显示区域来执行。
如上所述，通过使载体衬底与粘结衬底自动分离，本发明能够简化并快速执行薄显示面板的制造工艺，从而降低薄显示面板的制造成本。
此外，本发明制造较薄厚度的第一面板衬底和第二面板衬底，并且防止第一面板衬底和第二面板衬底在载体衬底分离工艺中被容易地损坏，从而提高了薄显示面板制造工艺中的收益率并且增强了薄显示面板的质量。
对于本领域技术人员而言显而易见的是，在不背离本发明的精神或范围的情况下，能够在本发明中做出各种改型和变型。因此，本发明旨在覆盖落入所附权利要求及其等同物的范围内的本发明的改型和变型。

Claims (8)

1.一种载体衬底分离系统，其包括：
加载设备，制造衬底被加载到所述加载设备中，在所述制造衬底中，包括第一面板衬底和第二面板衬底的粘结衬底被粘结至包括第一载体衬底和第二载体衬底的载体衬底，并且所述第一载体衬底或第二载体衬底在与所述粘结衬底分离后被加载到所述加载设备中；
间隙形成设备，所述间隙形成设备被构造成在所述第一面板衬底与所述第一载体衬底之间形成间隙，或者在所述第二面板衬底与所述第二载体衬底之间形成间隙；
分离设备，所述分离设备被构造成使所述第一载体衬底或所述第二载体衬底与从所述间隙形成设备转移的所述制造衬底分离；
机械手，所述机械手被构造成在所述加载设备、所述间隙形成设备和所述分离设备之间转移所述制造衬底；以及
平台，从所述加载设备转移的所述制造衬底、与所述第一载体衬底和所述第二载体衬底中的一者分离后的所述制造衬底以及与所述粘结衬底分离后的所述第一载体衬底和所述第二载体衬底中的至少一者被安置在所述平台上，
其中，所述机械手包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手被设置在所述加载设备与所述平台之间，所述第二机械手被设置在所述间隙形成设备与所述分离设备之间，以及
其中，所述分离设备包括被构造成支撑所述制造衬底的第一平台和被设置成与所述第一平台分离的第二平台，并且所述分离设备还包括O形环，所述O形环被联接至所述第二平台以沿所述第一平台的外部方向从所述第二平台突出，并且被构造成沿所述第二平台的外部部分形成闭环。
2.根据权利要求1所述的载体衬底分离系统，其中，所述间隙形成设备包括：
支撑部件，所述支撑部件被构造成支撑所述制造衬底；以及
分离单元，所述分离单元被构造成使所述第一载体衬底或所述第二载体衬底的突出部与所述粘结衬底分离，所述突出部沿所述制造衬底的外部方向比所述粘结衬底突出得更远。
3.根据权利要求2所述的载体衬底分离系统，其中，所述间隙形成设备还包括对准单元，所述对准单元被构造成使所述突出部与所述分离单元对准。
4.根据权利要求2所述的载体衬底分离系统，其中，所述间隙形成设备还包括插入单元，所述插入单元通过所述分离设备被插入在所述粘结衬底与所述第一载体衬底或所述第二载体衬底的所述突出部之间形成的间隙中。
5.根据权利要求1所述的载体衬底分离系统，其中，所述分离设备还包括：
吸附单元，所述吸附单元被设置在所述第二平台处以被连接至在所述第二平台中形成的吸附孔，并且被构造成通过所述吸附孔吸附所述载体衬底以使所述载体衬底与所述粘结衬底分离；以及
抽吸单元，所述抽吸单元被设置在所述第一平台处以被连接至在所述第一平台处形成的抽吸孔，并且被构造成通过所述抽吸孔抽吸所述制造衬底以将所述制造衬底紧密地粘附至所述第一平台。
6.根据权利要求5所述的载体衬底分离系统，其中，所述分离设备还包括间隙调节单元，所述间隙调节单元被插入所述第一平台与所述第二平台之间，并且被构造成保持所述第一平台与所述第二平台之间的恒定间隔。
7.根据权利要求5所述的载体衬底分离系统，其中，所述分离设备还包括静电去除器，所述静电去除器被插入所述第一平台与所述第二平台之间，并且被构造成接触与所述第一载体衬底和所述第二载体衬底分离的所述粘结衬底并从所述粘结衬底去除静电。
8.一种载体衬底分离方法，其包括：
将制造衬底转移至间隙形成设备，在所述制造衬底中，包括第一面板衬底和第二面板衬底的粘结衬底被粘结至包括第一载体衬底和第二载体衬底的载体衬底，以在所述第一面板衬底与被粘附至所述第一面板衬底的所述第一载体衬底之间形成第一间隙；
将其中形成有所述第一间隙的所述制造衬底转移至分离设备，以使所述第一载体衬底与所述第一面板衬底分离，其中，所述分离设备包括被构造成支撑所述制造衬底的第一平台和被设置成与所述第一平台分离的第二平台，并且所述分离设备还包括O形环，所述O形环被联接至所述第二平台以沿所述第一平台的外部方向从所述第二平台突出，并且被构造成沿所述第二平台的外部部分形成闭环；
将与所述第一载体衬底分离的所述制造衬底转移至所述间隙形成设备，以在所述第二面板衬底与被粘附至所述第二面板衬底的所述第二载体衬底之间形成第二间隙；以及
将其中形成有所述第二间隙的所述制造衬底转移至所述分离设备，以使所述第二载体衬底与所述第二面板衬底分离。
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