CN104022057A - 基板贴合装置以及基板贴合用具 - Google Patents

Abstract

根据本发明，即使显示基板具有变形、翘曲，也能够稳定地进行显示基板与盖基板的贴合。本发明的基板贴合装置（1）是将显示基板（101）和盖基板（121）介由接合部件（110）在真空条件下进行贴合的装置，具备载置部件（201）和贴合部（8）。载置部件（201）载置作为贴合的一个基板的显示基板（101）。并且，载置部件（201）具备板状的主体（202）和保持部件（203a）～（203d）。保持部件（203a）～（203d）与显示基板（101）的侧面部抵接，限制显示基板（101）在与载置部件（201）的面平行的面内移动。贴合部（8）将载置部件（201）所载置的显示基板（101）和作为被贴合的另一个基板的盖基板（121）介由接合材料（110）在真空条件下进行贴合。

Description

基板贴合装置以及基板贴合用具

技术领域

本发明涉及将液晶显示模块（LCM）和/或有机发光二极管（OLED）模块等的显示基板与具备接触式传感器的基板和/或保护基板等的盖基板贴合的基板贴合装置以及基板贴合用具。

背景技术

在显示机器的显示部中，例如在液晶显示模块和/或有机发光二极管模块等的显示基板上设置的偏光板上设置有具备接触式传感器的基板和/或保护基板等的盖基板。近年来，诸如这样的显示部通过在显示基板上贴合盖基板的工序而被生产。另外，作为贴合两基板时使用的接合材料，紫外线固化树脂被广泛地使用。

为了使气泡不进入两基板之间，在显示基板上贴合盖基板的工序通常在真空环境下进行。在专利文献1中，公开了在真空容器内将显示装置（相当于显示基板）与由透明的面板材料构成的保护板（相当于盖基板）贴合的显示装置的制造方法。该显示装置的制造方法是使用了能够使内部成为真空的真空容器的制造方法。在真空容器中配置支撑显示基板的基体、支撑盖基板且使盖基板对于显示基板相对地移动的移动机构、用于在显示基板和盖基板之间填充密封用接合树脂而使其粘接的加压部件。

另外，在该显示装置的制造方法中，使涂敷了接合树脂的显示基板和盖基板在真空中贴合之后，解除真空容器内的真空状态。将贴合了的显示基板以及盖基板从真空容器取出，在位置对准装置中正确地将显示基板和盖基板的位置对准。然后，通过紫外线照射等使固定用接合树脂固化，将位置被对准了的显示基板和盖基板的正确的位置关系固定。

根据该显示装置的制造方法，将两基板在真空中贴合，因此即使在贴合时在密封用接合树脂和盖基板之间形成空隙的情况下，也能通过解除真空状态使密封用接合树脂被吸引到该空隙，因此空隙能够被堵上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2011/037035号小册子

然而，在专利文献1记载的显示装置的制造方法等现有技术中，存在以下问题。

首先，作为第1个问题，在基板贴合装置自动化的情况下，需要稳定地将显示基板和盖基板（以下，称作工件）供给到基板贴合装置。作为稳定地向基板贴合装置供给工件的供给单元有机器人和/或自动搬运机，但此时的工件支撑方法通常为真空吸附。

然而，当相对于工件平面垂直的方向的工件的变形和/或翘曲的大小为100μｍ～300μｍ以上时，空气会进入到吸附部和工件之间的空隙，从而无法吸附。特别地，显示基板由背光灯、导光板、光散射片、LCD（液晶显示）等多个不同的部件层叠而形成为多层状等的结构，因此从其结构上的原因而容易发生变形。

其次，作为第2个问题，在专利文献1公开的显示装置的制造方法中，当在任何一个基板上产生上述变形和/或平行度有偏差的情况下进行贴合时，显示基板和盖基板的外缘将会成为闭合状态。其结果为，在基板的接合面和紫外线固化树脂之间（以下，称作接合位置）不能形成真空的空间，有气泡残留的可能性。

另外，在真空环境下进行贴合时，若由加压造成工件变形，则在接合位置不能形成真空的空间，气泡将被残留。

发明内容

鉴于上述的情况，期望有即使显示基板上存在变形和/或翘曲，也能够稳定地进行显示基板和盖基板的贴合的方法。

本发明的基板贴合装置是将显示基板和盖基板介由接合部件在真空条件下进行贴合的装置，具备载置部件和贴合部。

载置部件上载置作为贴合的一个基板的显示基板。并且，载置部件具备板状的主体和保持部件。保持部件设置在主体的载置显示基板的一侧的面，与显示基板的侧面部抵接，限制显示基板在与载置部件的面平行的面内移动。

贴合部将载置部件所载置的显示基板和作为被贴合的另一个基板的盖基板介由接合材料在真空条件下进行贴合。

根据本发明的基板贴合装置，通过将显示基板载置于载置部件，从而使得显示基板的变形和/或翘曲被校正，使显示基板的姿势稳定。并且，通过将保持部件与显示基板的侧面部抵接，不仅能够限制显示基板的移动，还能够抑制显示基板的膨胀。

根据本发明的至少一个实施方式，即使显示基板有变形和/或翘曲，也能够稳定地进行显示基板和盖基板的贴合。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的显示基板的概略构成的说明图，其中，图1A是俯视图，图1B是截面图。

图2是表示本发明的第1实施方式的托架部件的概略构成的说明图，其中，图2A是俯视图，图2B是侧视图。

图3是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置的概略构成的俯视图。

图4是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置的概略构成的正视图。

图5是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置的贴合部的概略构成的截面图。

图6是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置的控制系统的原理框图。

图7是表示本发明的第2实施方式的托架部件的概略构成的说明图，其中，图7A是俯视图，图7B是截面图。

图8是表示本发明的第3实施方式的基板贴合装置的贴合部的概略构成的截面图。

图9是表示本发明的第3实施方式的贴合部以及载置部件的俯视图。

图10是表示本发明的第3实施方式的载置部件的主要部分的说明图。

图11是表示本发明的第3实施方式的载置部件的作用的说明图。

图12是表示本发明的第4实施方式的载置部件的俯视图。

符号说明：

1 基板贴合装置

2 架台

3 树脂涂敷部

4 基板搬运部

5 供给台

6 上部件

7 下部件

8 贴合部

9 位置检测部

10 树脂固化部

15 供给台移动部（托架搬运部）

31 上部件移动部

41 下部件移动机构

42 移动机构支撑部

43 托架支撑部

62 基板保持部

65 保持部移动机构

71 驱动控制部（控制部）

101 显示基板

102 基板主体

103a 突起物

105a～105d 固定用零件

110 紫外线固化树脂

121 具备接触式传感器的基板（盖基板）

201 托架部件（载置部件）

202 托架主体（主体）

203a～203d 定位销（保持部件）

204 孔部

205a～205d 弹性体

301 托架部件（载置部件）

302 托架主体（主体）

303 凹部

304a～304d 台阶部（保持部件）

401 基板贴合装置

402 贴合部

471 接收支杆升降机构

487 接收支杆

501 载置部件

502 加压部件（保持部件）

503a、503b 定位部件（保持部件）

505 移动机构

506 主体

506a 凹陷部

601 载置部件

602a、602b 加压部件（保持部件）

603a、603b 定位部件（保持部件）

606 主体

具体实施方式

<1.第1实施方式>

以下，参照附图来详细说明本发明的第1实施方式的例。另外，在各图中针对相同的构成要素使用同一符号。

（显示基板）

首先，说明显示基板，该显示基板是将通过本发明的第1实施方式的基板贴合装置进行贴合的一个基板。

图1是表示显示基板的概略构成的说明图。图1A是俯视图，图1B是沿图1A中X-X′线的截面图。

如图1所示，显示基板101例如是LCD模块（LCM：Liquid Crystal DisplayModule液晶显示模块）。显示基板101具备：使用了液晶的基板主体102，使该基板主体102的一侧的面露出而收纳基板主体102的框架103，和在基板主体102的一侧的面安装的偏光板104。

在此，作为显示基板101，也可以是有机发光二极管（OLED：Organic LightEmitting Diode有机发光二极管）模块和/或其他显示模块。

基板主体102形成为长方形的板状，一侧的面成为显示面。另外，基板主体102为多个部件层叠而成，例如形成为包括由未图示的形成网格状的黑色矩阵构成的层的多层状。该黑色矩阵例如通过将金属铬溅射沉积到基板主体102上并通过蚀刻而去除不要的部分而形成。

框架103覆盖基板主体102的4个边和基板主体102的另一侧的面。

偏光板104形成为长方形，外周的轮廓比基板主体102还小。即，偏光板104的外周的轮廓形成为与基板主体102的显示区域大致相等的大小。框架103中安装有产品化时使用的固定用零件105a～105d。零件的形状、个数和/或位置不限于图1所示的要件，会根据产品不同而变化。在该例中，固定用零件105a～105d是在中心有孔的三角形的形状，在图中，作为一例，在显示基板101的右边的上下侧设置两个，下边左端设置1个，左边上侧设置1个。另外，在框架103的背面侧设置包括驱动用电路和/或布线等的突起物103a（图中示为网状的线迹）。

（托架部件）

接着，说明托架部件，该托架部件载置本发明的第1实施方式的显示基板101。

图2是表示托架部件的概略构成的说明图。图2A表示俯视图，图2B表示侧视图。图中，双点划线是在托架部件上载置图1A的显示基板101的情况下的假想线。

如图2所示，表示载置部件的一例的托架部件201的托架主体202呈长方形板状的形状。为了在托架主体202载置显示基板101，使托架主体202成为配合显示基板101的尺寸、外形形状的形状，且具有包括显示基板101的大小。托架主体202的大小没有限制，但从易于搬运、基板贴合装置的小型化的观点来看，优选为尽可能小的尺寸。托架部件201的材质优选为尽可能轻且便宜的材料，可以是铝等的金属和/或树脂。然而，托架部件201需要具有在受到贴合时的加压而不变形的刚性，作为一例，从该材料所具有的杨氏模量来确定平板的板厚。

在托架主体202中，在与显示基板101的边缘接触的位置，托架主体202的4个边的端部附近，配置表示保持部件的一例的4个定位销203a～203d（柱状部件的一例）。每一个定位销203a～203d配置在避开位于显示基板101的对应的位置的固定用零件105a～105d的位置，其个数为按4个边的每条边上有1根以上的比率来设置。在该例中，在显示基板101的右边上侧附近设置定位销203a，下边右侧附近设置定位销203b，左边下侧附近设置定位销203c，上边左侧附近设置定位销203d。当在托架主体202上载置显示基板101时，定位销203a～203d的每一个与显示基板101所对应的边抵接，限制显示基板101在与托架主体202平行的面内朝平面方向移动，完成显示基板101的定位。据此，显示基板101不在托架部件201内移动。

例如为了将定位销203a～203d的前端插入到在托架主体202的正面形成的孔中而使定位销203a～203d竖立地设置在托架主体202上，定位销203a～203d的材料例如可以是金属等的刚性高的材料。

另外，在托架主体202形成用于避让位于显示基板101的背面的突起物103a的孔部204（避让部的一例）。该孔部204是凹形形状，其对应于显示基板101的与托架主体202对置的面上存在的突起物103a。根据显示基板101的突起物103a的大小以及高度来确定托架部件201的孔部204大小和深度。孔部204的深度还可以是贯通托架主体202的程度。该孔部204与定位销203a～203d同样地，作为限制显示基板101的移动的保持部件发挥功能。

另外，托架主体202可以是支撑显示基板101的整个背面或者外周部或其一部分的形状。

图2的例是形成为承接显示基板101的背面的外周部的4个边的形状的托架主体202。在托架主体202的正面以与显示基板101的背面侧的外周部的4个边对应的方式设置4个弹性体205a～205d来吸收被载置的显示基板101的变形、翘曲。在与显示基板101的显示面（偏光板104）的外周部的4个边对应的位置以与定位销203a～203d相同或者比定位销203a～203d的高度低的高度配置长方体的弹性体205a～205d，使其长度方向与托架主体202的面平行。

弹性体205a～205d的材质可以是尽可能柔软的材质，优选为即使在真空中也比较稳定的硅作为主要材料的物质，例如硅胶等。或者，也可以是凝胶状的弹性体。弹性体205a～205d的硬度优选为在渗透率（1/10mm）（JISK2207）的情况下为40～60左右的弹性体，但在其以上也可以使用。虽然1个边的宽度（长度）以及厚度没有特别的限制，但需要具有能吸收显示基板101的变形、翘曲的厚度。

需要说明的是，通过使托架部件201具有能够对应显示基板101的多个品种的构造，从而可以将多个品种的显示基板101对应于一种托架部件201。

（基板贴合装置）

接着参照附图说明本发明的第1实施方式的基板贴合装置。

图3是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置的概略构成的俯视图。

图4是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置的概略构成的正视图。

如图3所示，基板贴合装置1具备：架台2、树脂涂敷部3、基板搬运部4、供给台5、具有上部件6以及下部件7的贴合部8、位置检测部9、和树脂固化部10。树脂涂敷部3、基板搬运部4、供给台5、贴合部8的下部件7、位置检测部9以及树脂固化部10设置于架台2的上表面。另外，贴合部8的上部件6设置于架台2的上方。

供给台5、下部件7、位置检测部9以及树脂固化部10分别隔开适当的间隔被并排设置。在此，设供给台5以及下部件7等并排的方向为第1方向X。另外，将在相对于架台2的上表面水平的方向上与第1方向X正交的方向设为第2方向Y，将相对于架台2的上表面正交的竖直方向为第3方向Z。

树脂涂敷部3被配置在架台2的第1方向X的大致中央。通过基板移送部（未图示）将具备接触式传感器的基板121（盖基板的一例，参照图5）供给到该树脂涂敷部3。树脂涂敷部3在被供给的具备接触式传感器的基板121的未图示的玻璃基板侧的表面涂敷紫外线固化树脂110（参照图5），通过未图示的基板反转部而上下反転。树脂涂敷部3例如通过狭缝式涂敷机将紫外线固化树脂110涂敷到具备接触式传感器的基板121。

基板搬运部4将由树脂涂敷部3涂敷了紫外线固化树脂110的具备接触式传感器的基板121向贴合部8的上部件6运送。被运送到上部件6的具备接触式传感器的基板121通过基板保持部62（参照图5）保持。关于上部件6的内部的构成将在后面进行描述。该基板搬运部4由Y轴引导装置11引导而向第2方向Y移动。即，树脂涂敷部3和上部件6在第2方向Y相互对置。需要说明的是，各构成要素的配置被适宜地设定，并不限定于本实施方式。

供给台5被配置在架台2的第1方向X的一侧的端部。载置了显示基板101的托架部件201被供给到供给台5。显示基板101以偏光板104侧的面朝向上方的状态载置于托架部件201，并被载置于供给台5。

供给台5通过供给台移动部15（托架搬运部的一例）而被移动。供给台移动部15具有使供给台5向第3方向Z移动的供给台升降机构16和使供给台5以及供给台升降机构16向第1方向X移动的供给台水平移动机构17。供给台水平移动机构17由支撑供给台升降机构16的滑块18、将滑块18向第1方向X引导的X轴引导装置12、以及用于使滑块18移动的驱动部（未图示）构成。

通过将显示基板101载置于托架部件201进行搬运，从而即使显示基板101具有变形、翘曲，也能够稳定地搬运。作为将载置了显示基板101的托架部件201稳定地向基板贴合装置1供给的装置，例如能够利用具有从下侧或者侧面把持托架部件201的臂的机器人和/或自动搬运机。

通过使构成贴合部8的上部件6和下部件7相互抵接而形成具有密闭的内部空间的真空容器20（参照图4）。并且，上部件6以及下部件7在真空容器20内收纳了显示基板101和具备接触式传感器的基板121的状态下密闭。

上部件6例如形成为下部开口的中空的长方体形状，具有形成为长方形板状的上盖部21和在该上盖部21的四个边连续且向下方延伸的周壁部22。上部件6的周壁部22形成为长方形的框状，其前端部为上部件6的下端。

上部件6通过上部件移动部31而被移动。上部件移动部31具有使上部件6向第3方向Z移动的上部件升降机构32和使上部件6以及上部件升降机构32向第1方向X移动的上部材水平移动机构33。

上部件6的上盖部21被固定于上部件升降机构32。作为该上部件升降机构32，例如能够使用汽缸和/或液压缸等。上部件水平移动机构33由与上部件升降机构32固定的滑块34、将滑块34向第1方向X引导的X轴引导装置35、以及用于使滑块34移动的驱动部（未图示）构成。

下部件7形成为大致长方形的板状。该下部件7的外周的轮廓形成为比上部件6的周壁部22的内周的轮廓大。在下部件7的与上部件6连接的四边周边部形成沟槽，安装密封部件44。密封部件44与上部件6的周壁部22的前端部抵接而紧贴，密闭上部件6和下部件7。作为密封部件44的材料，例如能够使用天然橡胶、异戊二烯橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶等的橡胶部件。

在下部件7的上表面部设置托架支撑部43，该托架支撑部43支撑载置了显示基板101的托架部件201。在下部件7的下侧固定下部件移动机构41。下部件移动机构41使下部件7朝向第1方向X、第2方向Y、第3方向Z以及沿该第3方向Z延伸的轴作为中心朝向θ方向移动或者旋转（以下，有仅移动的情况）。移动机构支撑部42被设置在架台2的上表面，支撑下部件移动机构41。关于下部件7的内部的构成将在后面进行描述。

位置检测部9拍摄显示基板101以及具备接触式传感器的基板121而检测两者的相对位置。该位置检测部9具有第1透镜镜筒51、第2透镜镜筒52和信号处理部53。

需要说明的是，在本实施方式中，举出设置1个位置检测部9的情况作为例子进行说明，但为了进行精度的提高以及生产间隔时间的缩短，本发明的位置检测部也可以设置为2个或者比2个更多。在该情况下，可以拍摄显示基板101以及具备接触式传感器的基板121的对角或者对边。

第1透镜镜筒51的物镜（未图示）朝向上方，获取来自具备接触式传感器的基板121的预定的区域的图像光。另一方面，第2透镜镜筒52的物镜朝向下方，获取来自显示基板101的预定的区域的图像光。信号处理部53将由第1透镜镜筒51以及第2透镜镜筒52获取的图像光变换为电信号。被变换了的电信号被发送到后述的驱动控制部71（参照图6）。

位置检测部9被设置在架台2上的位置检测部移动机构55所支撑，通过该位置检测部移动机构55向第1方向X移动。位置检测部移动机构55由支撑位置检测部9的滑块56、将滑块56向第1方向X引导的X轴引导装置（未图示）、用于使滑块56移动的驱动部（未图示）构成。

位置检测部9在拍摄显示基板101以及具备接触式传感器的基板121的预定区域的拍摄位置和远离上部件6以及下部件7的退避位置之间移动。在通过上部件6以及下部件7而形成真空容器20时，位置检测部9移动到退避位置而避开与上部件6的干扰。

在该下部件7形成用于对真空容器内除气的排气口（省略图示），该排气口通过排气管与真空泵72（参照图6）连接。当驱动真空泵时，真空容器内的气体通过排气口以及排气管被排气。该下部件7通过下部件移动机构（未图示）向第1方向X、第2方向Y以及第3方向Z、进一步向将沿着该第3方向Z的轴作为中心的旋转方向θ（参照图3）移动。需要说明的是，被供给到下部件7的显示基板101通过在下部件7的上表面设置的托架支撑部43支撑。

在此，也可以在贴合部8设置临时固定用光源。例如，临时固定用光源为沿着第2方向Y的线状光源，射出紫外线。从临时固定用光源射出的紫外线被照射在介于显示基板101和具备接触式传感器的基板121之间的紫外线固化树脂110的两个侧面的整体。据此，能够临时固定显示基板101和具备接触式传感器的基板121，能够防止在通过树脂固化部10固化紫外线固化树脂之前，两基板相对地错位。

树脂固化部10被配置在架台2的第1方向X的一侧的端部。被重合的显示基板101和具备接触式传感器的基板121被搬运到该树脂固化部10。树脂固化部10将紫外线照射到被供给的两基板101、121之间的紫外线固化树脂110，使紫外线固化树脂110的整体固化（正式固化）。

（贴合部）

接着，说明构成贴合部8的上部件6和下部件7的内部。

图5是表示本发明的第1实施方式的基板贴合装置1的贴合部8的概略构成的截面图。

贴合部8被收纳在支撑框架61的收纳空间内。支撑框架61用于防止在贴合部8中使用的有机溶剂等的扩散。

在上部件6的上部，作为具备接触式传感器的基板121的保持单元的一例，设置基板保持部62。通过基板保持部62使得具备接触式传感器的基板121被涂敷了紫外线固化树脂110的面朝下，限制具备接触式传感器的基板121朝向方向X、方向Y以及方向Z的移动而进行保持。

基板保持部62具有与具备接触式传感器的基板121抵接而保持的吸附面部、从吸附面部的大致中央部向上方延伸的筒状部63、能够在筒状部63的筒孔（省略图示）中沿上下方向移动的轴64。轴64的上端部在上下方向贯通上部件6，且固定在保持部移动机构65的活塞杆。

基板保持部62被固定在保持部移动机构65。保持部移动机构65例如由汽缸构成，被固定在支撑框架61。保持部移动机构65的活塞杆的一端被固定在基板保持部62的轴64的上端部。保持部移动机构65通过使轴64在上下方向（方向Z）移动，从而使得基板保持部62在上下方向移动。需要说明的是，使其移动的驱动源在本实施方式的例中用汽缸为例，但也可以是使用了伺服电机的直线驱动电机。

在上部件6的周壁部22形成用于对真空容器20除气的排气口66、用于将外部气体吸入到真空容器20的吸气口67。在排气口66设置打开或者关闭排气口66的排气阀（未图示），在吸气口67设置打开或者关闭吸气口67吸气阀（未图示）。

在排气口66连接排气管（未图示）的一端部。并且，排气管的另一端部被连接到真空泵72（参照图6）。当打开排气阀且驱动真空泵72时，真空容器20的气体经由排气口66并通过排气管而被除去。

另外，在上部件6的周壁部22中，在与临时固定用光源73(参照图6)的照射部对置的位置设置被贯通的照射用贯通孔68。为了保持由上部件6和下部件7形成的真空容器20内的真空室的气密性，照射用贯通孔68通过透明的保护部件被闭塞。临时固定用光源73隔着照射用贯通孔68以及保护部件从侧方将紫外线射入介于显示基板101和具备接触式传感器的基板121之间的紫外线固化树脂110。

设在下部件7的上表面部的托架支撑部43只要使支撑托架部件201的部位通用，则即使显示基板101的尺寸和/或形状改变，也不需要更换和/或调整贴合部8的零件，能够缩短显示基板101的品种改变时装置的停止时间。需要说明的是，通过托架支撑部43的显示基板101的支撑，作为一例，通过吸附而进行。

当通过下部件7的下部件移动机构41使得下部件7移动，通过下部件移动机构41使得下部件7与上部件6的周壁部22抵接时，在上部件6、下部件7和托架支撑部43之间形成真空容器20（参照图4）。被载置在托架部件201的显示基板101被送入到真空容器20内之后，被托架支撑部43的上表面部所支撑，与由上部件6的基板保持部62保持的具备接触式传感器的基板121贴合。

（基板贴合装置的控制系统）

接着，参照附图说明基板贴合装置1的控制系统。

图6是表示基板贴合装置1的控制系统的原理框图。

如图6所示，基板贴合装置1具备驱动控制部71。该驱动控制部71例如具有CPU（中央运算处理装置）、用于存储由CPU执行的程序等的ROM（Read Only Memory：只读存储器）、作为CPU的作业区域而被使用的RAM（Random Access Memory：随机存取存储器）。

驱动控制部71与树脂涂敷部3、基板搬运部4、供给台移动部15、位置检测部9、位置检测部移动机构55和树脂固化部10连接。另外，驱动控制部71与真空泵72、上部件移动部31、基板保持部62、保持部移动机构65、临时固定用光源73、下部件移动机构41和托架支撑部43连接。

树脂涂敷部3被驱动控制部71驱动控制，在具备接触式传感器的基板121涂敷紫外线固化树脂110。基板搬运部4被驱动控制部71驱动控制，将涂敷了紫外线固化树脂110的具备接触式传感器的基板121上下反转，并将其搬运到上部件6的基板保持部62。

上部件移动部31通过驱动控制部71而被驱动控制，使上部件6移动。

上部件6从接收具备接触式传感器的基板121的位置移动到与下部件7形成真空容器20的位置。保持部移动机构65通过驱动控制部71而被驱动控制，使保持了具备接触式传感器的基板121的基板保持部62移动。

供给台移动部15通过驱动控制部71而被驱动控制，使载置了托架部件201的供给台5移动到作为向下部件7交接的位置的托架支撑部43，该托架部件201载置了显示基板101。

托架支撑部43通过驱动控制部71而被驱动控制，从供给台移动部15接收并支撑载置了显示基板101的托架部件201。

下部件移动机构41通过驱动控制部71而被驱动控制，使下部件7移动。下部件7从接收载置了显示基板101的托架部件201的位置移动到与上部件6形成真空容器20的位置。

位置检测部移动机构55通过驱动控制部71而被驱动控制，使位置检测部9移动到前述的拍摄位置或者退避位置。配置在拍摄位置的位置检测部9拍摄由基板保持部62保持的具备接触式传感器的基板121和由托架支撑部43支撑的托架部件201上的显示基板101，检测出两者的相对位置。然后，将检测结果发送到驱动控制部71。

驱动控制部71基于位置检测部9的检测结果，驱动控制下部件移动机构41而使下部件7移动，使显示基板101对齐具备接触式传感器的基板121。另外，下部件移动机构41使配置有托架支撑部43的下部件7上升，将载置于托架部件201的显示基板101贴合到具备接触式传感器的基板121。

临时固定用光源73通过驱动控制部71而被驱动控制，将激光或者紫外线照射到介于显示基板101和具备接触式传感器的基板121之间的紫外线固化树脂110的侧面。

树脂固化部10通过驱动控制部71而被驱动控制，针对介于显示基板101和具备接触式传感器的基板121之间的紫外线固化树脂110的整面照射紫外线。

（基板贴合装置的动作）

说明通过具备上述构成的基板贴合装置1的驱动控制部71的控制而进行的显示基板101和具备接触式传感器的基板121的贴合的动作。

首先，将具备接触式传感器的基板121供给到贴合部8。

当具备接触式传感器的基板121被供给到树脂涂敷部3时，在具备接触式传感器的基板121的接合面涂敷紫外线固化树脂110，并上下反转具备接触式传感器的基板121。通过基板搬运部4将涂敷了紫外线固化树脂110的具备接触式传感器的基板121搬运到贴合部8的基板保持部62，由基板保持部62保持。

另外，将显示基板101供给到贴合部8。

当载置了显示基板101的托架部件201被供给到供给台5时，通过供给台移动部15而将被载置于供给台5的、载置了显示基板101的托架部件201搬运到贴合部8的托架支撑部43，由托架支撑部43予以支撑。此时，被载置在托架部件201的显示基板101由于通过定位销203a～203d而被限制平面方向的移动，因此位置不变保持稳定的姿势。需要说明的是，也可以使将显示基板101和具备接触式传感器的基板121搬运到贴合部8的顺序倒置。

驱动控制部71基于位置检测部9的检测结果，调整显示基板101和具备接触式传感器的基板121的相对位置，并且，使上部件6以及下部件7移动而密封形成真空容器20。

驱动控制部71驱动真空泵72，除去真空容器20内的气体，将真空容器20内抽真空。排气也可以在对显示基板101和具备接触式传感器的基板121进行相对定位的期间进行。

使真空容器20内成为真空状态之后，驱动控制部71驱动保持具备接触式传感器的基板121的保持部移动机构65和/或下部件移动机构41，使具备接触式传感器的基板121和/或显示基板101相对移动而进行贴合。

然后，位置检测部9检测显示基板101和具备接触式传感器的基板121的相对位置。驱动控制部71基于位置检测部9的检测结果而使显示基板101和具备接触式传感器的基板121相对地移动，调整贴合之后的显示基板101和具备接触式传感器的基板121的相对位置。

接着，在贴合部8的支撑框架61内配置的临时固定用光源73针对介于相对位置调整结束的显示基板101和具备接触式传感器的基板121之间的未固化的紫外线固化树脂110的多个部位照射紫外线。

然后，驱动控制部71将临时固化紫外线固化树脂110而进行贴合的显示基板101和具备接触式传感器的基板121从贴合部8送出。然后，向树脂固化部10搬运，使紫外线固化树脂110固化（正式固化）而将显示基板101和具备接触式传感器的基板121固定。

根据上述的第1实施方式，通过将显示基板101载置在具备刚性的托架部件201上，从而能够使显示基板101的翘曲和/或变形被校正，能够稳定地进行搬运。

另外，在将显示基板101载置在托架部件201上的状态下，进行显示基板101和具备接触式传感器的基板121的贴合，因此贴合时的加压不会使显示基板101变形，能够稳定地进行贴合。

另外，托架部件201构成为以避开显示基板101的背面的突起物103a的形态承接显示基板101的整个背面或者外周部的4个边的形状。载置显示基板101的托架部件201至少具有以下程度的刚性，即，不产生导致显示基板101通过加压在接合位置形成真空的空间的程度的变形。因此，显示基板101以稳定的状态被载置在托架部件201。

另外，通过在托架部件201的外周部作为保持部件而设置定位销203a～203d，从而将显示基板101限制为在托架部件201上不移动，能够稳定姿势。

另外，通过在托架部件201上与显示基板101之间配置弹性体205a～205d，从而可以吸收显示基板101的变形、翘曲。因此，在贴合显示基板101和具备接触式传感器的基板121时，通过加压而容易获得基板間的平行度，能够较稳定地进行贴合。

而且，通过使用托架部件201，使得在显示基板101的品种变更中提高操作性。即，有时根据品种不同，配置在显示基板101的背面侧的显示所需的电路和/或布线、固定用零件等的突起物的位置会有所改变。并且，有时根据品种不同，在真空环境下，显示基板101的层叠构造的内部（层间）的空间会膨胀，显示基板101的背面侧产生凸起形状的膨胀。该情况下，为了避开该凸起形状，需要仅在显示基板的外周部的四边进行支撑。而且，在改变了形状的情况下，需要按照品种进行显示基板101的位置、高度、平坦度等的调整，导致换皮调整花费时间。

在本实施方式中，即使如此改变了显示基板101的品种，但只要变更托架部件201就能够应对这些问题。因此，不需要进行基板贴合装置1的零件更换和/或调整，能够缩短品种变更时的装置停止时间。

<2.第2实施方式>

图7是表示本发明的第2实施方式的托架部件的概略构成的说明图。

图7A是俯视图，图7B是沿图7A的Y-Y′线的截面图。

在第2实施方式中，代替第1实施方式的托架部件201的定位销203a～203d，作为保持部件，在托架主体202的外周部设置台阶部。

图7A所示的托架部件301具备托架主体302、收纳显示基板101的凹部303、孔部204和在该凹部303的周边形成的台阶部304a～304d（保持部件的一例）。

托架部件301代替定位销203a～203d使托架主体302的形状构成为凹形，使其周边的台阶部304a～304d的内壁抵接显示基板101的4个边来确定显示基板101的位置。另外，在台阶部304a～304d之间，避开显示基板101的固定用零件105a～105d的位置设置间隔部305a～305d（避让部的一例），其数量按4个边的每条边有1根以上的比率设置。

在该第2实施方式中，利用通过挖掘托架主体302而生成的台阶部304a～304d来固定显示基板101的姿势。因此，能够不由金属，而由刚性较小的树脂构成台阶部304a～304d，从而有助于托架部件301的轻型化以及成本降低。

<3.第3实施方式>

接着，参照图8～图10，说明本发明的第3实施方式的基板贴合装置。

图8是表示本发明的第3实施方式的贴合部的概略构成的截面图。

图9是表示本发明的第3实施方式的贴合部以及载置部件的俯视图。

图10是表示本发明的第3实施方式的载置部件的主要部分的说明图。

第3实施方式的基板贴合装置401与第1实施方式的基板贴合装置1不同的部分为贴合部的构成和将载置部件与贴合部设置为一体的点。因此，在此说明贴合部以及载置部件，在与第1实施方式的基板贴合装置1相同的部分使用同一符号，并省略重复的说明。

如图8所示，贴合部402具有上部件406和下部件407。贴合部402被收纳在支撑框架461的收纳空间内。另外，在支撑框架461设置位置对准用的摄像部469。摄像部469拍摄具备接触式传感器的基板121以及显示基板101的对准标记。然后，贴合部402使用由摄像部469拍摄的图像进行具备接触式传感器的基板121以及显示基板101的位置对准。

与第1实施方式的贴合部8同样地，上部件406例如形成为下部开口的中空的长方体形状，具有形成为长方形的板状的上盖部421和由该上盖部421的四边连续向下延伸的周壁部422。

在周壁部422形成用于对真空容器除气的排气口466和用于将外部气体吸入到真空容器的吸气口467。在排气口466设置打开或者关闭排气口466的排气阀（未图示），在吸气口467设置打开或者关闭吸气口467的吸气阀（未图示）。

在上部件406设置保持具备接触式传感器的基板121的基板保持部462。基板保持部462具有与具备接触式传感器的基板121抵接而保持的吸附面部、从吸附面部的大致中央部向上方延伸的筒状部463、能够在筒状部463的筒孔（省略图示）中沿上下方向移动的轴464。轴464的上端部在上下方向贯通上部件6，且固定在保持部移动机构465的活塞杆。

下部件407具有支撑载置部件501的支撑部441、接收支杆升降机构471、第1基座472、第2基座473、第3基座475、下部件移动机构474和下部件升降机构478。

支撑部441形成为上部开口的中空的长方体形状，并设置了配置载置部件501的凹部441a。支撑部441具有形成为长方形板状的支撑板441b和在支撑板441b的四边连续向上延伸而包围凹部441a的周壁部441c。周壁部441c与上部件406的周壁部422对置。另外，在周壁部441c设置密封部件442。

在支撑板441b设置后述的接收支杆487沿上下方向贯通的贯通孔443。在支撑板441b的下表面的贯通孔443的周围安装O型圈444。

支撑部441介由支撑轴479被第3基座475支撑。另外，在第3基座475设置接收支杆升降机构471。在此，关于接收支杆升降机构471的详细构成将在后面进行描述。在第3基座475的下侧设置被固定在第2基座473的下部件移动机构474。下部件移动机构474使第3基座475以及支撑部441朝向第1方向X、第2方向Y以及将沿该第3方向Z延伸的轴作为中心朝向θ方向移动或者旋转（以下，有仅移动的情况）。

另外，在第2基座473的下表面设置引导轴476。在第2基座473的下侧配置第1基座472，引导轴476在上下方向贯通第1基座472。另外，在第1基座472设置可移动地支撑引导轴476的轴承部472a。

而且，在第2基座473的下侧设置下部件升降机构478。下部件升降机构478具有滚珠丝杠491、被安装在第1基座472的升降驱动部492、带部件493、进给螺母494。

滚珠丝杠491被固定在第2基座473的下表面，朝向第2基座473的下侧延伸。滚珠丝杠491在上下方向（第3方向Z）贯通第1基座472。另外，滚珠丝杠491与可旋转地被第1基座472支撑的进给螺母494啮合。进给螺母494介由带部件493接收来自升降驱动部492的旋转力。当升降驱动部492驱动时，进给螺母494旋转，滚珠丝杠491在上下方向进行升降动作。据此，第2基座473、下部件移动机构474、第3基座475以及支撑部441向第3方向Z移动。

在此，作为下部件升降机构478的驱动部可以使用汽缸。另外，使第2基座473、下部件移动机构474、第3基座475以及支撑部441进行升降动作的机构不限于上述的机构，也可以通过凸轮机构进行升降动作，也可以利用其他各种升降机构使第2基座473、下部件移动机构474、第3基座475以及支撑部441进行升降工作。

接着，说明接收支杆升降机构471。

如图8所示，接收支杆升降机构471具有安装在第3基座475的进给马达481、安装在进给马达481的进给丝杠482、上推部件483、滑动部件485。在进给螺纹轴482的外周面设置螺旋状延伸的螺纹槽。该进给丝杠482沿水平方向被配置。

上推部件483隔着滑块488被第3基座上设置的第1导轨489沿水平方向可移动地支撑。在该上推部件483设置进给螺母484。该进给螺母484与在进给丝杠482上形成的螺纹槽啮合。

另外，在上推部件483设置相对于移动方向倾斜的倾斜部，在该傾斜部设置可滑动地安装有滑动部件485的第2导轨483a。通过使上推部件483沿水平方向移动，可以使滑动部件485沿着傾斜部在竖直方向被向上推动或者向下推动。该滑动部件485形成为大致梯形形状。滑动部件485被固定在支杆基座486。在支杆基座486设置支撑显示基板101的接收支杆487。

接着，说明具有上述构成的接收支杆升降机构471的动作。

首先，当进给马达481驱动时，安装在该进给马达481的旋转轴的进给丝杠482旋转驱动。接着，进给丝杠482的旋转力通过进给螺母484被传送到上推部件483。据此，上推部件483沿着第1导轨489在水平方向移动。

接着，通过上推部件483在水平方向移动，使得滑动部件485沿着设在上推部件483的傾斜部的第2导轨483a滑动。滑动部件485沿着第2导轨483ａ在竖直方向被向上推动或者被向下推动。据此，固定在滑动部件485的支杆基座486以及接收支杆487沿垂直方向进行升降动作。

在此，在本例中说明了作为接收支杆升降机构471的驱动部使用了进给马达481的例子，但并不限定于此，作为接收支杆升降机构471的驱动部也可以使用汽缸。另外，使支杆基座486以及接收支杆487进行升降动作的机构不限定于上述的机构，也可以通过马达使支杆基座486以及接收支杆487直接沿上下方向进行升降动作，或通过凸轮机构进行升降动作，也可以利用其他各种升降机构使支杆基座486以及接收支杆487进行升降动作。

另外，在该第3实施方式的贴合部402中，说明了使下部件407向上部件406侧进行升降动作而形成密闭空間的例子，但并不限定于此。例如，也可以与第1实施方式的贴合部8同样地，使上部材以及下部材进行升降动作而形成密闭空間。

（载置部件）

接着，参照图9以及图10说明载置部件501。

如图9所示，载置部件501的主体506形成为长方形的板状。主体506与第1实施方式的托架部件201的托架主体202同样地，成为配合显示基板101的尺寸、外形形状的形状，且具有包括显示基板101的大小。

另外，在主体506设置使接收支杆487（参照图8）沿上下方向插通的插通孔504。而且，在主体506的正面，与第1实施方式的托架部件201的托架主体202同样地，以与显示基板101的背面侧的外周部的4个边对应的方式设置未图示的弹性体来吸收被载置的显示基板101的变形、翘曲。而且，在主体506形成用于避开位于显示基板101的背面的突起物103a的未图示的孔部（避让部的一例）。

在此，弹性体以及孔部与在第1实施方式的托架部件201的托架主体202上设置的弹性体205a～205d以及孔部204为相同的构成，因此这里省略其说明。

另外，在主体506中，在与显示基板101的边缘接触的位置中主体506的一个长边和一个短边的端部的附近，固定有表示保持部件的一例的定位部件503a、503b。将显示基板101载置到载置部件501时，第1定位部件503a与显示基板101的一个长边抵接，第2定位部件503b与显示基板101的一个短边抵接。另外，定位部件503a、503b的角部可以设置用于引进显示基板101的圆锥部。

而且，在主体506设置有加压部件502。加压部件502设置在与定位部件503a、503b所抵接的显示基板101的2个边对置的2个边的角部。加压部件502通过后述的移动机构505（参照图10）与主体506的正面可平行移动地被支撑。加压部件502与显示基板101的角部抵接，并且对显示基板101加压以使其朝向定位部件503a，503b侧。据此，限制了显示基板101在与主体506平行的面内向平面方向移动，能够定位显示基板101。

如图10所示，移动机构505具有驱动马达511、安装在驱动马达511的旋转轴512、固定在旋转轴512的一端的凸轮部件513、基座部件514、滑块515、导轨516。基座部件514与加压部件502被一体固定。另外，在基座部件514设置有滑块515。滑块515可滑动地支撑于被固定在支撑部441的导轨516，与主体506的正面平行地移动。另外，在基座部件514和凸轮部件513之间设置有表示弹性部件的一例的弹簧517。

当驱动马达511驱动时，凸轮部件513旋转，介由弹簧517加压基座部件514。据此，固定在基座部件514的加压部件502与主体506的正面平行地移动。另外，由于使弹簧517介于基座部件514和凸轮部件513之间，因此即使显示基板101的尺寸和/或形状改变，也不会发生松动，能够通过加压部件502对显示基板101加压。在此，作为弹性部件，并不限定为弹簧517，也可以使用天然橡胶、异戊二烯橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶等的橡胶部件。

需要说明的是，移动机构505的构成不限定为上述的构成，也可以使用采用了汽缸和/或滚珠丝杠的构成等其他各种移动机构。

在该第3实施方式的载置部件501中，作为保持部件，说明了设置有固定在主体506的定位部件503a、503b和对显示基板101的侧面部加压的加压部件502的例子，但并不限定于此。例如，作为保持部件，也可以均采用对显示基板101的侧面部加压的加压部件。

（基板贴合装置的动作）

接着，说明具有上述贴合部402的基板贴合装置401的动作。

如图8所示，首先，驱动接收支杆升降机构471，接收支杆487上升。接着，从未图示的基板搬运部被搬运的显示基板101被载置到接收支杆487。然后，驱动接收支杆升降机构471，接收支杆487下降，显示基板101被载置到载置部件501的主体506的正面。接着，驱动移动机构505（参照图10），加压部件502与主体506的正面平行地移动。加压部件502对显示基板101的侧面部加压使其朝向定位部件503a，503b侧。据此，显示基板101的平面方向的移动被限制，因此位置不变并保持稳定姿势。

接着，通过摄像部469拍摄显示基板101的对准标记，进行显示基板101的位置对准。另外，被涂敷了紫外线固化树脂110的具备接触式传感器的基板121向贴合部402的基板保持部462被搬运，由基板保持部462保持。而且，通过摄像部469拍摄具备接触式传感器的基板121的对准标记，进行与显示基板101的位置对准。

接着，使下部件407移动而进行密闭，形成真空容器。然后，将真空容器内抽真空。接着，使具备接触式传感器的基板121和／或显示基板101相对移动而进行贴合。

（载置部件的作用）

接着，参照图11说明第3实施方式的载置部件501的作用。

图11是表示载置部件501的作用的说明图。

如图1B所示，显示基板101由基板主体102、框架103以及偏光板104等形成为层状。另外，在显示基板101的层中残留有气体（空气）。因此，将真空容器内抽真空时，由于残留的气体而存在可能导致显示基板101以中央为中心膨胀为大致圆形的隐患。而且由于显示基板101膨胀，存在可能导致显示基板101的位置错位，在与具备接触式传感器的基板121贴合时产生气泡的隐患。

如图11所示，在第3实施方式的载置部件501中，通过加压部件502对显示基板101的侧面部加压。据此，能够抑制显示基板101在真空条件下膨胀。这里，将由显示基板101的膨胀导致的反作用力设为F1，将加压部件502以及定位部件503a、503b的摩擦系数设为μ时，根据加压部件502的加压力为F2，优选为满足以下式1。

（式1）

μF2＞F1

在此，在载置部件501的主体506的正面为平面的情况下，存在仅有显示基板101的上表面，即粘贴具备接触式传感器的基板121的面膨胀的隐患。因此，如图11所示，也可以在主体506的正面形成凹陷部506a。因此，将显示基板101载置到载置部件501时，在主体506的正面和显示基板101的下表面因凹陷部506ａ而形成空隙。据此，显示基板101的膨胀的力分散到上表面和下表面。其结果为，能够抑制显示基板101的上表面膨胀的量。

凹陷部506a的深度t被设定为与介于主体506的正面和显示基板101之间的未图示的弹性体的厚度大致相等。在此，也可以在第1实施方式的托架部件201以及第2实施方式的托架部件301形成凹陷部506a。

<4.第4实施方式>

接着，参照图12说明本发明的第4实施方式的载置部件。

图12是表示本发明的第4实施方式的载置部件的概略构成的俯视图。

该第4实施方式的载置部件601与第3实施方式的载置部件501不同的点在于加压部件的数量。如图12所示，载置部件601具有主体606、定位部件603a、603b、2个加压部件602a、602b。第1加压部件602a被配置为其间夹持显示基板101而与第2定位部件603b对置，对显示基板101的一个短边加压。另外，第2加压部件602b被配置为其间夹持显示基板101而与第1定位部件603a对置，对显示基板101的一个长边加压。

另外，与第3实施方式的载置部件501同样地，在主体606设置使接收支杆487（参照图8）沿上下方向插通的插通孔604。

其他的构成与上述的第3实施方式的载置部件501相同，因此省略其说明。根据具有这种构成的载置部件601，也能够获得与上述的第3实施方式例的载置部件501相同的作用以及効果。

以上，本公开并不限定于上述各实施方方式，在不脱离专利的权利要求书所记载的要旨的情况下，能够获得其他各种变形例、应用例。

例如，在上述的实施方式的基板贴合装置1中，构成为具备位置检测部9，但也可以代替位置检测部9而在支撑框架61和真空容器20之间设置撮像装置。例如在真空容器20的一部分配置透明的盖部件，设置在真空容器20的外侧的撮像装置通过盖部件拍摄显示基板101以及具备接触式传感器的基板121，由此检测两基板的位置。

另外，在上述的实施方式中，说明了使显示基板101与具备接触式传感器的基板121贴合之后，在紫外线固化树脂110照射临时固定用的紫外线而将紫外线固化树脂110临时固化的构成，但并不限于该构成。例如，也可以省略在贴合之后将紫外线固化树脂110临时固化的步骤，而在树脂固化部10使紫外线固化树脂110直接固化（正式固化）。

另外，在上述的实施方式中，说明了作为保持部件而使用定位销的情况（第1实施方式）和在托架主体的外周部设置台阶部的情况（第2实施方式），但也可以结合使用两者。而且，在第1实施方式的托架部件201中，与第3实施方式的载置部件501的加压部件502同样地，也可以使多个定位销203a～203d构成为能够移动，对显示基板101的侧面部加压。

另外，也可以将第1实施方式的托架部件201与第3实施方式的载置部件501同样地，与贴合部设置为一体。

Claims (9)

1.一种基板贴合装置，该基板贴合装置将显示基板和盖基板介由接合部件在真空条件下进行贴合，其特征在于，具有：

载置部件，其载置作为贴合的一个基板的显示基板；和

贴合部，其将所述载置部件所载置的所述显示基板和作为被贴合的另一个基板的所述盖基板介由接合材料在真空条件下进行贴合，

所述载置部件具备：

板状的主体；和

保持部件，其设置在所述主体的载置所述显示基板的一侧的面，与所述显示基板的侧面部抵接，限制所述显示基板在与所述载置部件的所述面平行的面内移动。

2.如权利要求1所述的基板贴合装置，其特征在于，在所述主体形成凹形形状的避让部，所述避让部对应于所述显示基板的与所述主体对置的面上存在的突起物。

3.如权利要求1或2所述的基板贴合装置，其特征在于，在所述主体中的载置所述显示基板的一侧的面上，作为所述保持部件，在与所述显示基板的四边抵接的位置配置至少4个柱状部件。

4.如权利要求1或2所述的基板贴合装置，其特征在于，在所述主体中的载置所述显示基板的一侧的面上形成有收纳所述显示基板的凹部、在所述凹部的周围比该凹部的底面高的台阶部，

作为所述保持部件，在与所述显示基板的四边抵接的位置形成至少4处台阶部。

5.如权利要求1或2所述的基板贴合装置，其特征在于，在所述主体中的载置所述显示基板的一侧的面上，作为所述保持部件配置有加压部件，该加压部件可移动地被所述主体支撑，对所述显示基板的侧面部加压。

6.如权利要求1至5中的任一项所述的基板贴合装置，其特征在于，具有弹性体，其配置在所述主体中的载置所述显示基板的面。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的基板贴合装置，其特征在于，所述载置部件与所述贴合部形成为一体。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的基板贴合装置，其特征在于，所述贴合部具有接收所述基板的接收支杆和可升降地支撑所述接收支杆的接收支杆升降机构。

9.一种基板贴合用具，该基板贴合用具在将显示基板和盖基板介由接合部件在真空条件下进行贴合的基板贴合装置中使用，其特征在于，具备：

板状的主体，其载置所述显示基板；和

保持部件，其在所述主体中的载置所述显示基板的一侧的面上与所述显示基板的侧面部抵接，限制所述显示基板在与所述主体的所述面平行的面内移动。