KR101213198B1 - 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치 - Google Patents

터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치에 관한 것으로, 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기의 본 제품 상부에 액정 글라스 기판을 진공 부착 장치의 진공 상태에서 접착함에 있어 정확한 얼라인 상태에서 부착할 수 있도록 진공공간부 내에 정전척에 의해 상하 이동하는 상부기판과 얼라인 구동부에 의해 하부기판이 상부기판에 정렬된 위치에 오로록 정위치 보정을 하여 합착하는 상부기판과 하부기판에 기포 발생이 방지되어 기판간의 합착 불량 등을 미연에 방지할 수 있으며, 각 기판간 위치 정렬을 위한 작업 수행 시간을 최대한 단축시킬 수 있도록 함과 더불어 정밀한 각 기판간 위치 정렬이 이루어질 수 있도록 함으로써 제품 불량을 최대한 방지할 수 있도록 한 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치는, 액정 글라스 기판인 상부기판과 레진이 상면에 도포된 상태로 공급되는 전자제품의 하부기판이 동시에 삽입되는 다수의 진공공간부를 구성하는 진공챔버; 상기 진공공간부 내의 상측에 연결 설치되어 상부기판을 상하 이동시키는 정전척; 상기 상부기판에 대향 설치되는 진공공간부 내의 하측에 연결 설치되어 하부기판을 원하는 위치에 오도록 지지하는 고정지그; 상기 고정지그의 하측에 구비되어 상부기판과 하부기판이 정렬되는 위치에 오도록 회전수단 및 하부기판의 정위치 보정을 수행하는 얼라인 구동부로 이루어진다.

Description

터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치{Touch pannel substrate attachment of a vacuum device align}
본 발명은 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기의 본 제품 상부에 액정 글라스 기판을 진공 부착 장치의 진공 상태에서 접착함에 있어 정확한 얼라인 상태에서 부착할 수 있도록 진공 공간부 내에 정전척에 의해 상하 이동하는 상부기판과 얼라인 구동부에 의해 하부기판이 상부기판에 정렬된 위치에 오로록 정위치 보정을 하여 합착하는 상부기판과 하부기판에 기포 발생이 방지되어 기판간의 합착 불량 등을 미연에 방지할 수 있으며, 각 기판간 위치 정렬을 위한 작업 수행 시간을 최대한 단축시킬 수 있도록 함과 더불어 정밀한 각 기판간 위치 정렬이 이루어질 수 있도록 함으로써 제품 불량을 최대한 방지할 수 있도록 한 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 스마트폰, LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
한편, 액정 글라스 기판과 전자제품 간의 부착하는 종래 기술로서, 대한민국 특허출원번호 제10-2008-0116170(출원일: 2008년 11월 21일)에는 "레진도포 작업방법 및 레진도포 시스템"이 개시되어 있는데, 도 1을 참조하여 설명한다.
종래 특허는 기판 이송을 위한 제 1 이송경로를 갖는 제 1 이송수단과; 기판 이송을 위해 상기 제 1 이송경로와 평행한 제 2 이송경로를 갖는 제 2 이송수단과; 레진을 수용하는 저장수단, 상기 레진을 분사하는 노즐, 상기 저장수단의 레진을 상기 노즐로 압송시키는 펌핑수단을 갖고, 상기 제 1 이송경로 및 상기 제 2 이송경로를 따라 이송되는 기판에 레진을 도포하는 헤드유닛과; 상기 헤드 유닛을 이동시키기 위한 이동 유닛과; 상기 제 1 이송경로 및 상기 제 2 이송경로를 따라 이송되는 기판을 상기 헤드 유닛의 작동 범위 내에 일시 정지시켰다가 레진 도포가 완료되면 다시 이송키도록 상기 제 1 이송수단과 상기 제 2 이송수단 각각을 제어하고, 상기 헤드 유닛이 상기 제 1 이송경로 상에 정지된 기판 및 상기 제 2 이송경로 상에 정지된 기판에 번갈아 레진을 도포하도록 상기 헤드 유닛을 제어하는 컨트롤 유닛;을 포함한다.
이같이 종래의 레진을 이용한 기판을 부착함에 있어 여러 가지 기술적인 발전이 이루어졌음에도 불구하고 기판 간의 부착을 위해 위치보정하는 방법이 경로에 따라 이동하고 기판간의 정확한 위치를 파악하는데 어려움이 있어 기판간의 틀어짐 현상 및 제품 관리가 어려워 불량품이 증가하는 문제점이 발생한다.
상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기의 본 제품 상부에 액정 글라스 기판을 진공 부착 장치의 진공 상태에서 접착함에 있어 정확한 얼라인 상태에서 부착할 수 있도록 진공 공간부 내에 정전척에 의해 상하 이동하는 상부기판과 얼라인 구동부에 의해 하부기판이 상부기판에 정렬된 위치에 오도록 정위치 보정을 하여 합착하는 상부기판과 하부기판에 기포 발생이 방지되어 기판간의 합착 불량 등을 미연에 방지할 수 있으며, 각 기판간 위치 정렬을 위한 작업 수행 시간을 최대한 단축시킬 수 있도록 함과 더불어 정밀한 각 기판간 위치 정렬이 이루어질 수 있도록 함으로써 제품 불량을 최대한 방지할 수 있도록 한 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치는, 액정 글라스 기판인 상부기판과 레진이 상면에 도포된 상태로 공급되는 전자제품의 하부기판이 동시에 삽입되는 다수의 진공 공간부를 구성하는 진공챔버; 상기 진공 공간부 내의 상측에 연결 설치되어 상부기판을 상하 이동시키는 정전척; 상기 상부기판에 대향 설치되는 진공 공간부 내의 하측에 연결 설치되어 하부기판을 원하는 위치에 오도록 지지하는 고정지그; 상기 고정지그의 하측에 구비되어 상부기판과 하부기판이 정렬되는 위치에 오도록 회전수단 및 하부기판의 정위치 보정을 수행하는 얼라인 구동부로 이루어진다.
바람직하게, 상기 상부기판과 하부기판을 보정하기 위해 상부기판의 모서리와 하부기판에 각인된 얼라인 마크의 영상을 획득하여 얼라인 상태를 촬영하기 위한 CCD 카메라를 더 포함한다.
바람직하게, 상기 얼라인 구동부는, 고정지그의 하부에 결합하여 고정지그를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 UVW 구동축; 상기 UVW 구동축을 내부에 수용한 상태에서 상단이 고정지그의 하부에 고정된 벨로우즈; 상기 UVW 구동축 하부에 다수 구성된 모터부; 상기 UVW 구동축 하부면에는 평면 좌표 상에서 미세하게 이동할 수 있도록 정밀제어 가능하게 구성한 크로스 롤러 베어링으로 이루어진다.
상술한 바와 같은 본 발명은, 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기의 본 제품 상부에 부착 액정 글라스 기판을 진공 부착 장치의 진공 상태에서 접착함으로써 기포 발생이 방지되어 기판간의 합착 불량 등을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상부기판과 하부기판의 위치 정렬에 따른 신뢰성이 향상되며, 각 기판간 위치 정렬을 위한 작업 수행 시간을 최대한 단축시킬 수 있도록 함과 더불어 정밀한 각 기판간 위치 정렬이 이루어질 수 있도록 함으로써 제품 불량을 최대한 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 기판 부착을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 레진이 도포된 기판을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 이송유닛을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 진공부착 장치의 전체도.
도 5는 본 발명의 진공챔버의 평면도.
도 6은 본 발명의 얼라인하기 위한 장치를 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 얼라인하기 위한 장치의 부분 확대도.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
액정 글라스 기판인 상부기판과 레진이 상면에 도포된 상태로 공급되는 전자제품의 하부기판이 동시에 삽입되는 다수의 진공 공간부를 구성하는 진공챔버;
상기 진공 공간부 내의 상측에 연결 설치되어 상부기판을 상하 이동시키는 정전척;
상기 상부기판에 대향 설치되는 진공 공간부 내의 하측에 연결 설치되어 하부기판을 원하는 위치에 오도록 지지하는 고정지그;
상기 고정지그의 하측에 구비되어 상부기판과 하부기판이 정렬되는 위치에 오도록 회전수단 및 하부기판의 정위치 보정을 수행하는 얼라인 구동부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치를 제공함으로써 달성하였다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의하여 상세하게 설명한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명의 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치는 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기의 본 제품 상부에 액정 글라스 기판을 진공 부착 장치의 진공 상태에서 접착함에 있어 정확한 얼라인 상태에서 부착할 수 있도록 진공 공간부(142) 내에 정전척(150)에 의해 상하 이동하는 상부기판(110)과 얼라인 구동부(170)에 의해 하부기판(120)이 상부기판(110)에 정렬된 위치에 오로록 정위치 보정을 하여 합착하는 상부기판(110)과 하부기판(120)에 기포 발생이 방지되어 기판간의 합착 불량 등을 미연에 방지할 수 있으며, 각 기판간 위치 정렬을 위한 작업 수행 시간을 최대한 단축시킬 수 있도록 함과 더불어 정밀한 각 기판간 위치 정렬이 이루어질 수 있도록 함으로써 제품 불량을 최대한 방지할 수 있도록 한 것이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시형태에 따른 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치는 크게 상부기판(110), 하부기판(120), 이송유닛(130), 진공챔버(140), 정전척(150), 고정지그(160), 얼라인 구동부(170)를 포함하여 이루어진다.
먼저, 액정 글라스 기판인 상부기판(110) 및 전자제품의 하부기판(120)에 레진(102)이 상면에 도포된 상태로 공급된다.
상기 상부기판(110)과 하부기판(120)을 이송유닛(130)에 의해 동시에 파지하며, 상기 이송유닛(130)은 작업영역으로 이송시키게 된다.
상기 이송유닛(130)은 이동이 가능한 이송로봇으로 상부기판(110)을 고정하는 상부 고정바(132)와 하부기판(120)을 고정하는 하부 고정바(134)로 구성된다.
아울러, 상기 이송유닛(130)에 상부 고정바(132)와 하부 고정바(134)가 결합되어 상부기판(110) 및 하부기판(120)이 이격된 상태로 동시에 각 공정 진공챔버(140)로 이송하게 된다.
상기 이송유닛(130)에 의해 상부기판(110)과 하부기판(120)은 흡착할 수 있도록 진동상태를 제공하는 진공챔버(140)의 진공공간부(142)로 투입된다.
상기 진공챔버(140)는 도 5에 도시한 바와 같이 진공상태를 유지하면서 기판간 합착 공정이 수행한다.
이러한, 상기 진공챔버(140)는 상기 상부기판(110)과 하부기판(120)이 동시에 삽입되는 다수의 진공공간부(142)를 구성한다.
이때, 상기 진공챔버(140)에 4개의 진공공간부(142)를 갖도록 제작하며, 다수의 상부기판(110)과 하부기판(120)을 모두 수용하여 동시에 작업이 가능하다.
구체적으로 상기 진공챔버(140)는 다수개로 구성된 진공공간부(142)가 존재한다.
상기 진공공간부(142)는 상부기판(110)과 하부기판(120)을 동시에 내입할 수 있는 공간으로 투입된 기판 간 흡착을 수행할 수 있는 소정의 공간을 형성한다.
그리고, 상기 진공공간부(142)의 전면에는 상부기판(110)과 하부기판(120)이 진입할 수 있는 투입구(141)가 구성되며, 상기 투입구(141)를 차폐하여 진공공간부(142)를 밀폐하는 전면덮개부(143)가 구성된다.
상기 전면덮개부(143)는 열리고 닫히는 개폐동작을 하며, 내부의 진공상태를 위해 밀폐하게 된다.
또, 상기 진공공간부(142)의 후면에는 상부기판(110)과 하부기판(120)이 합착된 상태로 배출할 수 있는 배출구(145)가 구성되며, 상기 배출구(145)를 차폐하여 진공공간부(142)를 밀폐하는 후면덮개부(146)가 구성된다.
상기 후면덮개부(142)는 열리고 닫히는 개폐동작을 하며, 내부의 진공상태를 위해 밀폐하게 된다.
이러한, 상기 진공공간부(142) 내부에는 상측에 연결 설치된 정전척(ESC: Electrostatic Chuck)(150)이 마련되며, 상기 정전척(150)은 내부에 투입된 상부기판(110)을 상하 이동시키는 동작을 한다.
상기 진공챔버(140)는 진공공간부(142) 내에 상부기판(110)을 고정하는 정전척(150) 및 하부기판(120)을 고정하는 고정지그(160)로 각각 대향 설치된다.
상기 고정지그(160)는 진공공간부(142) 내의 하측에 연결 설치되어 하부기판(120)을 원하는 위치에 오도록 지지하는 것이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 고정지그(160)는 얼라인 구동부(170)에 의해 안착된 하부기판(120)을 상부기판(120)에 정확한 수직 위치에 오도록 한다.
상기 얼라인 구동부(170)는 고정지그(160)의 하측에 구비되어 상부기판(110)과 하부기판(120)이 정렬되는 위치에 오도록 회전수단 및 하부기판의 정위치 보정을 수행한다.
상기 얼라인 구동부(170)는 고정지그(160)의 하부에서 구동되는 것으로 상기 얼라인 구동부(170)는 고정지그(160)의 하부에 수축 및 팽창이 가능한 주름체가 형성된 벨로우즈(174)를 구성한다.
즉, 상기 얼라인 구동부(170)는 고정지그(160)를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 UVW 구동축(172)이 수직하게 구성된다.
그리고, 상기 UVW 구동축(172)은 벨로우즈(174) 내부에 수용된다.
또한, 상기 UVW 구동축(172) 하부에는 다수로 구성된 모터부(176)가 3개 존재하고, 상기 UVW 구동축(172) 하부면에는 크로스 롤러 베어링(cross roller bearing)(178)을 구성하여 평면 좌표 상에서 미세하게 이동할 수 있도록 정밀제어 가능하게 구성한다.
아울러, 상기 고정지그(160)에 구동력을 제공하는 얼라인 구동부(170)는 X 방향 이동수단과, Y 방향 이동수단 및 θ 방향 이동수단이 UVW 구동축(172)의 일측에 마련되며, 상술한 고정지그(160)에 마련된 얼라인 구동부(170)에 구동력을 제공하는 X, Y, θ 방향 이동수단에 의해 X 방향, Y 방향, θ 방향으로 소정 위치만큼 이동시키므로 바람직하다.
본 발명의 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치는 상부기판(110)을 고정하는 정전척(150)과 하부기판(120)을 고정하는 고정지그(160)로 진공챔버(140) 내부 상, 하측에 각각 마련되며, 상술한 하부기판(120)을 위치 보정 한 후 상부기판(110)이 하강하여 기판 간의 상하로 합착하는 구조이다.
한편, 상기 얼라인 구동부(170)는 얼라인 상태를 촬영하기 위한 CCD 카메라(180)를 더 포함하여 구성한다.
상기 CCD 카메라(180)는 상부기판(110)과 하부기판(120)을 보정하기 위해 상부기판(110)의 모서리와 하부기판(120)에 각인된 얼라인 마크의 영상을 획득하여 정확하게 위치를 보정한다.
상기 CCD 카메라(180)는 상부기판(110)의 모서리와 하부기판(120)에 형성된 얼라인 마크를 인식하고, 각 위치를 파악하여 정렬한다.
아울러, 상기 CCD 카메라(180)를 지지하는 지지부재(182)를 더 구비하며, 상기 지지부재(182)는 상, 하방향으로 직립되게 설치되면서 상하 구동된다.
즉, 상기 CCD 카메라(180)는 지지부재(182)에 고정되고, 별도의 구동장치를 구비하여 상부기판(110)과 하부기판(120)의 높이 차이로 인한 포커스 조정을 위해 CCD 카메라(180)를 상, 하 구동 시킨다.
여기서, 상기 CCD 카메라(180)는 하부기판(120)의 얼라인 마크를 촬영하여 상부기판(110)과 하부기판(120)의 얼라인 상태를 확인한다. 그리고, UVW 구동축(172)은 하부기판(120)을 고정하는 고정지그(160)의 위치를 조절함으로써, 상부기판(110)에 대하여 하부기판(120)의 위치를 조절(정렬)한다.
이같이, 얼라인 구동부(170)에 의해 하부기판(120)은 상부기판(110)에 수직한 위치로 조정된다.
이렇게, 상기 하부기판(120)과 상부기판(110)이 정확하게 위치하게 되면 진공공간부(142)를 진공수단에 의해 진공 상태가 되도록 한다.
상기 진공공간부(142)의 내부가 진공상태가 되면 정전척(150)에 의해 상부기판(110)이 하강하고 고정지그(160)에 고정된 하부기판(120)에 합착한다.
아울러, 진공상태에서 상부기판(110)과 하부기판(120)의 두께는 일정하게 합착된다.
여기서, 상기 상부기판(110)과 하부기판(120)의 합착이 완료되면, 진공공간부(142)의 압력을 대기압 상태로 복원하고, 합착된 기판을 외부로 반출한다.
한편, 상기 진동챔버(140) 내부에 경화처리부를 구성한다.
상기 경화처리부는 UV 조사기(192)를 포함하는 구성으로 레진(102)으로 부착된 상부기판(110)과 하부기판(120)에 자외선(UV)을 조사시켜 기판 간의 접착력을 제공한다.
아울러, 상기 상부기판(110)과 하부기판(120)이 합착 완료되면 상기 진공챔버(140)의 외측에 별도 설치된 로더부(194)에 의해 상부기판(110)이 적하된 하부기판(120)을 진공챔버(140) 외부로 반출한다.
이와 같이, 본 발명에 의해 상부기판(110)과 하부기판(120)의 합착을 정리하면, 하부기판(120)에 레진(102)을 도포하고 상부기판(110)과 하부기판(120)이 이송유닛(130)에 의해 진공공간부(142)로 투입된다.
그리고, 상기 상기기판(110)과 하부기판(120)은 얼라인 수단에 의해 얼라인되며, 진공수단에 의해 진공공간부(142)는 진공상태가 된다.
상기 진공상태에서 상부기판(110)이 하강하여 하부기판(120)과 합착을 이룬다.
이후, 합착된 상부기판(110)과 하부기판(120)에 UV 조사기(194)에 의해 자외선을 조사되어 접착된다. 접착된 상부기판(110)과 하부기판(120)은 로더부(192)에 의해 외부로 반출한다.
이와 같은 순서로 상부기판(110)과 하부기판(120)의 합착을 순차적으로 반복한다.
이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 몇 가지 실시예들과 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 기술적 사상의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 간주되어야 할 것이다.
102:레진 110:상부기판
120:하부기판 130:이송유닛
132:상부 고정바 134:하부 고정바
140:진공챔버 141:투입구
142:진공공간부 143:전면 덮개부
145:배출구 146:후면 덮개부
150:정전척 160:고정지그
170:얼라인 구동부 172:UVW 구동축
174:벨로우즈 176:모터부
178:크로스 롤러 베어링 180:CCD 카메라
192:UV 조사기 194:로더부

Claims (4)

  1. 액정 글라스 기판인 상부기판과 레진이 상면에 도포된 상태로 공급되는 전자제품의 하부기판이 동시에 삽입되는 다수의 진공 공간부를 구성하는 진공챔버;
    상기 진공 공간부 내의 상측에 연결 설치되어 상부기판을 상하 이동시키는 정전척;
    상기 상부기판에 대향 설치되는 진공공간부 내의 하측에 연결 설치되어 하부기판을 원하는 위치에 오도록 지지하는 고정지그;
    상기 고정지그의 하측에 구비되어 상부기판과 하부기판이 정렬되는 위치에 오도록 회전수단 및 하부기판의 정위치 보정을 수행하는 얼라인 구동부;
    상기 상부기판과 하부기판을 보정하기 위해 상부기판의 모서리와 하부기판에 각인된 얼라인 마크의 영상을 획득하여 얼라인 상태를 촬영하기 위한 CCD 카메라; 및
    상기 CCD 카메라를 지지하면서 상, 하부기판의 높이 차이로 인한 포커스 조정을 위해 CCD 카메라를 상, 하 구동되도록 상, 하방향으로 직립되게 설치되는 지지부재로 구성된 것을 특징으로 하는 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 얼라인 구동부는,
    고정지그의 하부에 결합하여 고정지그를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 UVW 구동축;
    상기 UVW 구동축을 내부에 수용한 상태에서 상단이 고정지그의 하부에 고정된 벨로우즈;
    상기 UVW 구동축 하부에 다수 구성된 모터부;
    상기 UVW 구동축 하부면에는 평면 좌표 상에서 미세하게 이동할 수 있도록 정밀제어 가능하게 구성한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 터치패널용 기판 진공 부착 장치의 얼라인 구동장치.





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