CN103857496A - 具有紧凑无轴直接驱动器的基板传输设备 - Google Patents

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Abstract

一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机，用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子，所述定子具有定子线圈，所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的固定支柱上，所述转子大致周向地环绕所述定子，使得所述转子连接至所述至少一个臂连杆中的相应一个，以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆中的一个，从而导致所述至少一个臂连杆之一的伸出或缩回，其中所述堆叠的驱动电动机设置在所述至少一个臂连杆中，使得每个定子的至少一部分处于所述至少一个臂连杆的共用臂连杆内。

Description

具有紧凑无轴直接驱动器的基板传输设备
技术领域
示例性实施例主要涉及用于机械手系统的驱动器，并且更特别地涉及用于机械手系统的心轴驱动器。 
背景技术
当前的真空机械手使用铁磁流或唇式密封件来使电动机和编码器与真空隔离，或者在Brooks MAGNATRAN?产品的情况下，使用屏障壁来隔离电动机定子，但却将磁体转子和编码器直接放置在真空环境中。在这些情况下，电动机被放置在波纹管下方，并且轴被使用来连接电动机至机械手臂连杆。 
将有利的是利用倒置驱动器设计，其将定子放置在固定的内部支柱上，并将转子放置到定子外。 
附图说明
所公开实施例的前述方面和另一些特征在以下描述中结合附图来进行说明，附图中： 
图1是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的基板处理设备的一部分的示意图；
图2是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的基板处理设备的一部分的示意图；
图3是依据所公开实施例的多个方面的基板传输设备的示意图；
图4A-4D是依据所公开实施例的多个方面的机械手驱动系统的示意性剖视图；
图5A是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；
图5B是依据所公开实施例的多个方面的图5A的转移设备的一部分的示意性剖视图；
图6是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；
图7是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；
图8是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；
图9是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；
图10示出了依据所公开实施例的多个方面的一示例性传感器系统的一部分；并且
图11示出了依据所公开实施例的多个方面的围绕铁磁元件的磁传感器的一示例性配置。
具体实施方式
图1是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的基板处理设备的示意图。尽管将参考附图来描述所公开实施例的多个方面，但是应该明白的是：所公开实施例的多个方面可被实施为许多替代形式。另外，可以使用任何适当尺寸、形状或类型的元件或材料。此外，尽管所公开实施例的多个方面是在真空机械手的背景中描述的，但是应该指出的是：所公开实施例的多个方面包含可以使用驱动电动机的任何情况。 
在图1中示出的基板处理设备100是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的代表性基板处理工具。在本示例中，处理设备100被示出为具有一般的批处理工具构造。在另一些方面，工具可以具有任何所需的配置，例如工具可以被构造成进行基板的单步骤处理，或具有如图2中示出的线性或笛卡尔配置。在再一些方面，基板处理设备可以为任何所需的类型，比如分类器、储料器、计量工具等。在设备100中处理的基板S可以为任何适当的基板，包括但不限于液晶显示面板、太阳能电池板、半导体晶片比如200mm、300mm、450mm直径晶片或任何其它所需直径的基板、具有任何适当的形状、尺寸和厚度适合于由基板处理设备100进行处理的任何其它类型的基板比如坯料基板、或具有类似于基板的特性比如某些尺寸或特定质量的制品。 
在一个方面，设备100可以通常具有：前侧部段105，例如形成微环境；和邻接的大气上可隔离的或密封的部段110，其可密封于外部环境用于保持受到控制的密封大气，其例如可以被配备来作为真空室发挥功能。在另一些方面，密封大气部段可以容纳惰性气体(例如N2)或任何其它在环境上被密封和/或控制的大气。 
前侧部段105可以通常具有例如一个或多个基板保持盒115以及前端部机械手120。前侧部段105还可以例如具有其它工位或部段，比如对准器162或位于其中的缓冲器。部段110可以具有一个或多个处理模块125和真空机械手臂130。处理模块125可以为任何类型，比如材料沉积、蚀刻、烘焙、抛光、离子注入清理等。如可以意识到的，每个模块相对于所需参照系比如机械手参照系的位置可以与控制器170对准。此外，模块中的一个或多个可以处理基板(s)S，其中基板处于所需取向，其是例如使用基板上的基准(未示出)建立的。基板在处理模块中的所需取向也可以在控制器170被对准。密封部段110还可以具有一个或多个中间室，其被称为装载锁。在图1中示出的设备100具有两个装载锁，即装载锁135和装载锁140。装载锁135、140作为界面进行操作，从而允许基板S在前侧部段105与密封部段110之间传递，而不妨碍可能存在于密封部段110中的任何环境上密封的大气的完整性。基板处理设备100大体包括控制器170，其控制基板处理设备100的操作。在一个实施例中，控制器可以是如美国专利申请No.11/178,615中描述的群集控制构造的一部分，该美国专利申请在2005年7月11日提交，其公开内容通过引用整体并入本文。控制器170具有处理器173和存储器178。除了以上指出的信息之外，存储器178可以包括程序，所述程序包括用于在运行中检测和校正偏心和错位的技术。存储器178可以进一步包括：处理参数，比如处理模块和设备的部段105、110的其它部分或工位的温度和/或压力；正被处理的基板S的时间信息和用于基板的指标信息；和程序，比如算法，用于将设备和基板的该星历数据应用于确定运行中基板偏心。 
前端部机械手120，其也被称为ATM(大气压)机械手，可以包括驱动部段150和一个或多个臂155。至少一个臂155可以安装到驱动部段150上。至少一个臂155可以联接至腕160，其进而联接至用于保持一个或多个基板S的一个或多个末端执行器165。末端执行器165可以可旋转地联接至腕160。ATM机械手120可以适于将基板传输至前侧部段105内的任何位置。例如，ATM机械手120可以在基板保持盒115、装载锁135和装载锁140间传输基板。ATM机械手120还可以将基板S传输去往和来自对准器162。驱动部段150可以接收来自控制器170的指令，并且作为响应，引导ATM机械手120的径向、周向、升高、复合和其它运动。 
真空机械手臂130可以安装在部段110的中心室175中。控制器170可以进行操作以循环开口180、185，并协调真空机械手臂130的操作，来在处理模块125、装载锁135和装载锁140间传输基板。真空机械手臂130可以包括驱动部段190(如以下将更详细地描述的)和一个或多个末端执行器195。在另一些方面，ATM机械手120和真空机械手臂130可以为任何适当类型的传输设备，包括但不限于滑动臂机械手、SCARA(选择性柔性关节机械手臂)类型的机械手、关节臂机械手、蛙腿型设备、或双对称传输设备。 
参考图2，其中示出了包含依据所公开实施例的多个方面的特征的另一基板处理设备10的示意性平面图。基板处理设备10被示出为具有线性或笛卡尔配置，其中基板S在转移机械手之间被传递穿过长形转移室。基板处理系统10或工具通常具有处理部段13和界面部段12。工具10的界面部段和处理部段连接至彼此，并允许工件在其间的传输。工具的处理部段13可以具有处理模块或室，大致类似于以上相对于图1所描述的那些。处理模块可以由工件传输室16连结，其中工件可以根据处理协议在所需处理模块之间传输。传输室具有传输机械手20，其能够移动其中的工件并移动至处理模块125。处理模块125和传输室能够在大气上被隔离，使得它们能够保持在环境上与外部大气密封的受控大气，以便将传输室内的大气维持成相同于处理模块，或适合于以类似于以上相对于图1所描述的方式在处理模块之间转移的工件。工具界面部段12在工具处理部段13及其受控密封大气与工具外部之间提供工件装载/卸载界面。适当的环境界面部段的一个示例在2005年7月11日提交的美国专利申请No.11/178,836中公开，该美国专利申请通过引用整体并入本文。工具界面部段因此允许工件(其可以在载体中被传输到工具外)从载体卸载到工具中，并且反之亦然。传输室可以由传输室模块构成，其可以例如端对端连接以形成线性长形的传输室。因此通过增加或去除传输室模块，传输室长度是可变的。传输室模块可以具有进入/离开门阀，其能够隔离所需的传输室模块与传输室的邻接部分。类似于部段12的工具界面部段可以沿着线性长形的传输室定位在任何所需的位置，从而允许工件在工具中的所需位置处被装载或卸载。处理模块可以沿着传输室的长度被分配。处理模块可以沿与室的长度成一定角度的方向层叠。传输室模块可以具有进入/离开门阀，用以隔离所需的传输室模块与处理模块。传输系统20通过传输室被分配。多个传输室模块可以各自具有：一体的可移动臂，其具有对模块固定的界面/安装件；和可移动的末端执行器，其能够线性地沿着传输室以及在传输室与处理模块之间保持和移动工件。不同传输室模块中的传输臂可以协同操作，以形成线性分配传输系统的至少一部分。传输系统、处理模块、处理部段、界面部段和工具的任何其它部分的操作可以由控制器400控制，其可以大致类似于以上描述的控制器170。传输室和其中的传输系统可以被配置成在传输室内限定出多个工件行进路线。行进路线可以被极化或专用在传输室内，以推进和返回工件。传输室还可以具有中间装载锁，允许传输室的不同部段保持不同的大气压，并允许工件在传输室的不同大气压部段之间传输。传输室可以具有进入/离开工位，在这里工件可以被插入/去除于传输室的所需位置。例如，进入/离开工位可以位于与界面部段12相反的端部或传输室中的其它所需位置。传输室的进入离开工位可以与连结传输室的进入/离开工位与远程工具界面部段12的工件快速运输通道连通。快速运输通道可以独立于和可隔离于传输室16。快速运输通道可以与界面部段12中的一个或多个连通，使得工件可以在界面部段与运输通道之间传输。工件可以被快速地放置到工具的推进部段中，并在处理之后经由快速运输通道返回到界面部段12，而不影响传输室，并且导致在制品(WIP)的减少。传输室还可以具有中间进入/离开工位，其中的多个可以与快速运输通道连通，使得工件可以在其间传输。这允许工件在处理的所需中间部分处被插入或去除而不影响处理流，如在2006年5月26日提交的美国专利申请No.11/442,511中描述的，其公开内容通过引用整体并入本文。 
界面部段12直接配合至传输室(如图1中示出的)，而没有任何中间装载锁。在另一些方面，装载锁可以被放置在界面部段12与传输室之间。在图2中示出的界面部段具有工件传输装置15，用于将工件从与装载端口LP配合的盒115移动至传输室16。传输装置15位于界面部段室14内，并且可以大致类似于以上描述的传输装置150。界面部段还可以包括工件工位A，比如对准器工位、缓冲器工位、计量工位和用于工件的任何其它所需处理工位。 
尽管将在本文中相对于真空机械手或传输装置例如图3的传输装置800等描述所公开实施例的一些方面，但是应该意识到的是：所公开实施例可被采用在任何适当的传输装置或其它处理装备(例如对准器等)中，其操作于任何适当的环境中，包括但不限于大气压环境、受控大气环境和/或真空环境。在一个方面，传输装置800可以具有例如多个可独立地移动的末端执行器，用于独立地移动多个工件。在图3中示出的传输装置800被示出为例如多关节连杆臂，其可以具有任何适当数量的自由度，例如在旋转、伸出/缩回和/或提升(例如Z轴运动)中。还应该意识到的是：包含示例性实施例的多个方面的传输装置可具有任何适当的构造，包括但不限于滑动臂机械手构造、机械手臂的“蛙腿”构造、机械手的SCARA臂构造、关节臂机械手或双对称传输设备。可以采用示例性实施例的驱动系统的机械手臂的适当示例可在以下文献中找到：美国专利4,666,366、4,730,976、4,909,701、5,431,529、5,577,879、5,720,590、5,899,658、5,180,276、5,647,724；和以下美国申请2005年6月9日提交的11/148,871、2008年5月8日提交的12/117,415、2007年4月6日提交的11/697,390、2005年7月11日提交的11/179,762、2011年11月10日提交的13/293,717、和2012年3月12日提交的13/417,837，它们的公开内容通过引用整体并入本文。 
现在参考图3和4A-4D，将依据所公开实施例的多个方面以更详细的细节来描述包含所公开实施例的多个方面的示例性传输设备800。应指出的是：虽然在图3和4A-4D中示出了单个SCARA臂，但是所公开实施例的多个方面可被包含到任何适当类型的机械手臂中，比如以上描述的具有任何适当数量的机械手臂的那些。在本方面，传输设备包括框体840、上臂810、前臂820和至少一个末端执行器830。驱动部段1600可以至少部分地位于上臂810内，并包括至少一个驱动电动机1602A、1602B。这里，两个电动机1602A、1602B出于示例性目的被示出为所设置的堆叠的驱动电动机，使得用于每个驱动电动机1602A、1602B的定子1603A、1603B的至少一部分位于臂连杆810中(例如用于每个驱动电动机的定子的至少一部分位于相同臂连杆、或共用臂连杆、或单个臂连杆、或一个臂连杆中)。至少一个驱动电动机1602A、1602B中的每个可以包括定子1603A、1603B和转子1604A、1604B。定子1603A、1603B可以包括定子绕组，其围绕固定支柱1610缠绕，所述固定支柱1610固定至框体，使得支柱1610和定子1603A、1603B相对于机械手臂连杆810、820、830的移动保持旋转固定。转子1604A、1604B可以被构造成使得转子环绕相应的定子(例如倒置驱动电动机)，以形成无轴电动机，其可以提供紧凑设计以及比常规轴驱动更高的扭矩。应指出的是：术语“无轴”表示在转子与被转子驱动的构件之间基本上不存在延伸部分或构件，其中转子的高度大致一致于或小于定子的高度(例如定子绕组的高度)。通过再一示例，转子与被转子驱动的构件之间的接合界面邻近定子。定子和转子可以包括比如在以下文献中描述的那些特性：美国专利7,834,618以及2008年6月27日提交的美国专利申请No.12/163,993和2008年6月27日提交的12/163,996，它们的公开内容通过引用整体并入本文。此外，如以下将更详细地描述的，用于确定无轴电动机的旋转位置的编码器或其它适当的传感器可以定位在定子的轮廓空间或维度(例如高度)内，以便被包括在无轴电动机或电动机堆的高度内。 
在该方面，两个驱动电动机1602A、1602B彼此堆叠。驱动电动机1602A、1602B可以是可堆叠的，以允许容易地采用多个电动机，来提供任何适当数量的自由度，来驱动任何适当数量的臂连杆。在另一些方面，任何适当数量的驱动电动机(即至少一个或多个)可以用于具有任何数量的适当驱动装置的任何适当构造，例如但不限于堆叠倒置式驱动构造、直列倒置式驱动构造或任何其它适当的构造。这里，驱动电动机1603A的转子1604A无轴地联接至臂连杆810，使得在转子1604A旋转时，臂连杆810随之旋转。例如，转子1604A可以通过任何适当的方式安装至臂连杆810的下表面。电动机1603B的转子1604B可以包括带轮1605(与之一体地形成或联接)。该带轮可以通过任何适当的传动构件1605X联接至肘关节带轮1620。在一个方面，传动构件1605X可以是输送带、传送带、导线或任何其它适当的传动构件。肘关节带轮1620可以通过任何适当的方式适宜地连接至前臂820，使得在转子1604B旋转时，它使前臂820围绕肘关节旋转轴线EX旋转。 
还参考图10和11，倒置驱动器1602A、1602B可以包括用于跟踪转子1604A、1604B的旋转的任何适当的传感器。在一个方面，任何适当的编码器1640A、1640B可以被提供在适当的位置处，用于传感转子1604A、1604B中相应一个的旋转。在一个方面，编码器1640A、1604B可以直接与相应的转子1604A、1604B直接交接(例如传感器标尺被集成到转子中)，其中编码器1640A、1640B位于固定支柱1610上或从固定支柱1610下垂，使得传感器系统5500与编码器的标尺(或铁磁目标)5555之间的交接平面被配置成例如相对于定子1603A、1603B与转子1604A、1604B之间的交接平面成一定角度，使得传感器系统5500可以基本上被设置在定子1603A、1603B的高度内。只为了示例性目的，传感器系统1500与铁磁目标5555之间的交接平面IPSS被示出为大致正交于定子1603A、1603B与转子1604A、1604B之间的交接平面IPSR。转子1604A、1604B可包括任何适当的标尺或铁磁目标5555，比如增量标尺1640IN(图4C)或绝对标尺1640AB(图4C)，其由编码器1640A、1640B的传感器系统5500检测来进行位置测量。应指出的是：任何适当的密封件1640S(图4C)可以被提供来用于密封或以其它方式隔离编码器1640A、1640B与例如环境(例如真空环境或其它环境)，传输设备臂在其中进行操作。例如，密封件1640S可以设置在编码器1640A、1640B与它们相应的转子之间。密封件1640S可以被构造成使得编码器1640A、1640B能够读取或以其它方式传感/检测标尺或铁磁目标5555，比如增量标尺1640IN(图4C)或绝对标尺1640AB(图4C)。 
图10示出了适用于本文中描述的所公开实施例的多个方面的示例性传感器系统5500。传感器系统5500可以采用任何适当的磁路原理，例如在美国专利No.7,834,618(其公开内容以其整体并入本文)中描述的那些，以读取增量或绝对位置标尺和/或从铁磁目标5555到例如传感器系统的参照系的距离。铁磁目标5555可以是平坦或弯曲的表面，或具有任何适当的轮廓，其被附接至、嵌入到、或以其它方式集成到比如以上论述的标尺等目标。传感器系统5500可以包括铁磁元件5505、磁源5510例如永久磁体、多个磁传感器5515、5520、5525、5530、和调节电路5535。铁磁元件5505可以围绕磁源5510。在另一些方面，铁磁元件5505可以环绕或者甚至封闭磁源5510。在至少一个示例性实施例中，铁磁元件5505可以具有杯形形状，其具有封闭端部5565和开放端部5570。磁源5510可以具有圆柱形形状，其中磁化的方向平行于铁磁元件5505的对称轴线。磁源5510可以是永久磁体、电磁体或任何其它适当的磁能来源。磁源5510可以通过吸引力在铁磁元件内附接至铁磁元件5505的中心，并且可以使用适当的紧固件例如胶粘剂保持就位。在一个方面，传感器系统5500可以被取向成使得杯的开放面5570面向铁磁目标5555。 
图10中示出的传感器系统1500可以在铁磁元件5505与磁源5510之间建立磁路，使得磁通密度围绕杯或磁源5510与铁磁元件5505之间的任何同心周缘的轴线是对称的。铁磁元件5505的形状影响磁场的形状。在铁磁元件1505为杯形的方面中，磁场相对受限，导致对距铁磁目标的距离5560的变化的敏感度增加。铁磁元件5505可以具有定制成生成特定形状磁场的形状。在一些方面，铁磁元件5505还可以被塑造成对传感器系统5500与铁磁目标5555之间的距离变化提供特定的敏感度。 
磁传感器5515、5520、5525、5530可以进行操作来传感磁通密度，并且可以位于轨道构造中与铁磁元件5505的对称轴线处于恒定的径向距离。磁传感器还可以被定位成使得它们的输出是大致相同的。虽然示出了四个磁传感器，但是应该明白的是：可以采用任何适当数量的磁传感器。磁传感器5515、5520、5525、5530的输出可以被提供至任何适当的调节电路5535。调节电路5535可以包括信号处理电路，用于处理传感器输出，例如用以提供补偿、过滤、噪声降低、或任何其它适当的信号处理。传感器输出信号可以大体被处理来提供传感器系统输出5550。附加传感器的使用可以改善系统的抗扰性。铁磁元件5505还可以作为用于磁传感器的磁隔离笼进行操作，以使来自周围环境的外部磁干扰最小化。传感器系统5500因此被构造成测量由磁传感器检测到的磁通密度矢量的变化。在一个方面，传感器系统5500可以测量由于铁磁目标5555的存在而发生的磁通密度矢量的变化。 
图11示出了围绕铁磁元件的磁传感器的示例性配置。在该方面，磁传感器可以配置成对5610和5615、5620和5625、5630和5635、5640和5645，且相对于铁磁元件5505与磁源5510之间的磁通密度线具有交变的取向。在该方面，每个传感器对可以提供差分输出。求和电路5650和差分调节电路5655可以是调节电路5535的一部分，并且可以进一步提供作为差分信号的传感器系统输出5550。差分输出的使用可以改善抗扰性，特别是在信号具有低电平、受到恶劣电磁干扰环境或行进任何可观距离的场合。例如，提供作为差分信号的传感器系统输出5550可以改善抗扰性，因为输出被提供至读取装置5660。 
在另一些方面，磁传感器不必放置在与对称轴线为相等径向距离处，并且它们的输出不必一定是相等的，并且输出可被适宜地处理以产生有效的目标距离。应该明白的是：可以使用任何数量的磁传感器，要么不成组，要么以任何适当数量或配置组合在一起。 
返回到图10，铁磁目标5555一旦定位在传感器系统5500的前侧后，改变由磁传感器5515、5520、5525、5530检测到的磁通密度矢量，从而影响输出信号5550。目标5555与传感器系统之间的距离5560可以确定传感器系统输出5550的值。根据由可以附接至铁磁目标5555或与铁磁目标5555一体的一个或多个标尺引入的任何磁通变化，传感器系统输出1550可以不同。 
铁磁元件5505和磁源5510的形状可以被修改，以获得特定的磁通密度模式或构造，或最优化或以其它方式改善传感器系统输出5550或距离5560。例如，在一些实施例中，铁磁元件5505和磁源1510中的至少一个可以具有柱体、锥体、立方体或者其它多面体、抛物体或任何其它适当的形状。如以上提及的，可以采用任何数量的传感器。此外，传感器可以具有任何适当的配置，来获得特定的磁通密度模式，或使传感器系统输出1550或距离1560最优化。 
传感器系统5500适合于用于本文中描述的所公开实施例的多个方面，例如通过可以隔离目标转子或标尺与传感器系统的非磁性材料壁。传感器系统5500适合于用于真空自动系统实施例中。对于本文中描述的所公开实施例的所有方面，传感器系统5500特别适合于测量磁通、间隙和标尺。 
再次参考图3和4A-4D，如可以意识到的，在一个方面，转移设备800可以包括Z驱动器800Z，用于沿着臂的中心旋转轴线X线性地移动机械手臂。波纹管或其它适当的密封件1699可以被提供来用于适应至少一个臂连杆与框体之间的相对轴向运动(例如垂线、Z轴)，在所述框体中，密封件位于臂的一侧，而驱动电动机1602A、1602B(例如驱动部段)位于臂的相对侧。如可以意识到的，该配置允许固定支柱1610的长度独立于或解除关联于由Z轴驱动器提供的z冲程的长度。 
参考图4C和4D，将描述驱动部段在臂810内的密封。如可看出的，定子1603A、1603B可以隔离于真空环境，在其中机械手臂通过任何适当的方式进行操作。在一个方面，可以通过使用任何适当的屏障例如屏障612来完成隔离。在另一些方面，可以使用隔离定子1603A、1603B的任何适当的手段。转子1604A、1604B的磁体1604M也可以通过任何适当的方式隔离于真空。在一个方面，可以用例如铁磁流密封件1670来实现磁隔离。在另一些方面，任何适当的手段的磁体隔离可以被使用来隔离转子磁体与机械手臂在其中进行操作的真空环境。在再一些替代实施例中，可变磁阻电动机可以被使用来去除对磁体的需求。图4D是用于密封机械手臂在其中进行操作的真空环境的密封件SL位置的示例性图示。 
应指出的是：本文中公开的驱动电动机可以应用于任何适当的驱动系统，比如在以下美国专利申请中公开的那些：2008年7月7日提交的12/175,278、2011年10月11日提交的13/270,844、和2011年10月11日提交的13/270,844，它们的公开内容通过引用整体并入本文。 
现在参考图5A和5B，在所公开实施例的另一方面中，公开了示例性传输设备1799的一部分。该示例性传输设备可以类似于以上描述的传输设备800，因为传输设备可以包括例如框体、至少一个或多个无轴驱动部段、允许沿着Z轴运动的Z型电动机、和至少一个或多个机械手臂。至少一个或多个驱动部段可以在肩部旋转轴线X处被安装至框体比如框体840，以便旋转机械手臂的连杆，来实现臂的伸出/缩回。一个或多个驱动部段可以进一步被连接至Z型电动机/驱动系统，以允许机械手臂在大致正交于臂的伸出/缩回轴线R(图3)的方向上沿着Z轴移动。在图5A和5B中示出的所公开实施例的示例性方面包括至少两个驱动部段1700A和1700B并具有两个机械手臂1720A、1720B(其可以大致类似于以上相对于图3描述的机械手臂，因为臂包括上臂810、前臂820和至少一个末端执行器830)。在另一些方面，传输设备1799可以包括多于或少于两个的机械手臂和两个的驱动部段(例如传输设备1799具有至少一个机械手臂和至少一个驱动部段)。在一个方面，驱动部段1700A、1700B可以被设置或分配在臂1720A、1720B之间或与臂1720A、1720B“成层”，使得一个驱动部段1700A大致设置在臂1720A、1720B之间，而另一驱动部段1700B设置在臂的相对侧，比如在臂1720B下方(或臂1720A上方)。在另一方面，驱动部段1700A、1700B可以至少部分地设置在相应臂1720A、1720B内。在再一方面，两驱动部段1700A、1700B都可以设置在臂1720A、1720B之间，使得驱动部段1700A、1700B相对于彼此具有镜像或倒置构造(例如驱动部段1700A从臂的底部连接至臂1720A，而驱动部段1700B从臂的顶部连接至臂1720B)。在所公开实施例的其它方面，其它构造可以是可能的，例如：只具有一个驱动部段和一个机械手臂的构造，或具有多于两个驱动部段以及多于两个机械手臂的构造，或具有配置在机械手臂内的相同平面内的多个驱动部段的直列构造，或具有一个或多个Z驱动器的构造，或其任意组合。在再一些方面，传输设备的任何适当的构造可以是可能的，使得图5A和5B的驱动电动机被包含到传输设备构造中。 
在该方面，支柱1701固定至框体840。固定支柱1701在所公开实施例的一个方面可以被分段(见图5A中的1701A)，例如具有彼此联接的不同部段或部分。固定支柱1701A的不同部分可以通过任何适当的方式联接在一起。任何适当的密封件也可以被提供在固定支柱1701A的不同部分之间，比如密封件1710。在另一些方面，固定支柱1701可以具有整体的一件式构造，或任何其它适当的构造。一个或多个机械手臂1720A、1720B可以通过任何适当的方式比如以下描述的方式可旋转地安装至固定支柱1701。每个机械手臂1720A、1720B可以包括其自身的驱动部段，其包括内转子1705A、1705B，定子1703A、1703B和外转子1704A、1704B。 
内转子1705A、1705B可以通过任何适当的方式可移动地安装至固定支柱1701，使得内转子1705A、1705B可以围绕固定支柱1701能自由地旋转。内转子1705A、1705B可以通过任何适当的方式被支承在固定支柱1701上，比如通过例如轴承1702A、1702B。在所公开实施例的其它方面，轴承可以设置在除了在图5A和5B中示出的位置之外的任何其它适当的位置，以支承内转子1705A、1705B。内转子1705A、1705B可以被嵌套在定子1703A、1703B内，使得定子1703A、1703B环绕或围绕内转子1705A、1705B的周缘(例如与内转子1705A、1705B同心)，并处于相同平面中，使得内转子1705A、1705B可以围绕固定支柱1701自由地旋转。内转子1705A、1705B可以被构造成与定子交接，并包括例如适当的交接部件1705A'、1705B'，比如被构造成影响内转子与定子之间的界面的磁体。 
仍然参考图5A和5B，定子1703A、1703B还可以连接至固定支柱1701，以相对于固定支柱1701旋转地固定。在所公开实施例的一个方面，定子1703A、1703B可以通过任何适当的方式连接至固定支柱1701或框体840(图3)，使得定子1703A、1703B相对于固定支柱1701旋转地固定。定子1703A、1703B中的每个可以是分段定子，例如，定子1703A、1703B可以被分段，以便包括两组可单独地操作的绕组。定子1703A、1703B的一个节段例如节段A可以被构造成驱动内转子1705A、1705B。定子1703A、1703B的另一节段例如节段B可以被构造成驱动外转子1704A、1704B。每个节段A、B可以被适当地定尺寸为提供用于旋转相应臂连杆所需的扭矩。例如，定子节段A可以大于定子节段B，以提供充分的扭矩来旋转内转子1705A、1705B，其可以具有比外转子1704A、1704B小的直径(例如内转子的与定子交接的部分可以具有比外转子的与定子交接的部分小的直径)。在另一些方面，节段B可以大于节段A，或节段A和B可以大致为相同尺寸。还应指出的是：在一个方面，可以通过将两组线圈嵌套在彼此内来形成绕组节段A、B。在另一些方面，用于内部和外部绕组的线圈可以彼此嵌套为两个部分。定子1703A、1703B的每个节段A、B可以由控制器控制，比如控制器170、400，其被构造成用于为每个节段A、B单独地供给能量，使得定子1703A、1703B的每个节段A、B可以彼此独立地驱动它们相应的内转子和外转子(分别为1705A、1705B和1704A、1704B)。在另一些方面，定子1703A、1703B的节段A、B可以由任何适当的一个控制器或多个控制器控制，使得相应的内转子和外转子可以被同时地或要不然一起地被驱动。在所公开实施例的又一方面，定子1703A和1703B可以由两个分离的定子组成(大致相应于节段A和B)，其中一个定子(例如，内定子)可以被配置为嵌套在另一定子(例如，外定子)内，使得外定子大致环绕内定子的周缘。 
在所公开实施例的一个方面，外转子1704A、1704B可以围绕并大致环绕固定支柱1701且大致环绕定子1703A、1703B的周缘而延伸，使得定子1703A、1703B可以大致被嵌套在外转子1704A、1704B内。外转子1704A、1704B进一步被配置成使得它围绕固定定子1703A、1703B自由地旋转。外转子1704A、1704B可以通过任何适当的方式被支承在固定支柱1701上，比如通过例如轴承1702C、1702D，以便独立于固定支柱1701可自由地旋转。在一些替代方面，外转子1704A、1704B具有任何适当的构造，并安装至传输设备1799的任何适当的结构，以便相对于固定支柱和/或定子1703A、1703B可自由地旋转。外转子1704A、1704B可以被构造成与定子交接，并包括例如适当的交接部件1704A'、1704B'，比如被构造成影响外转子与定子之间的界面的磁体。 
应指出的是：在所公开实施例的一个方面，本文中描述的转子可以使用永久磁体，但是在如以上指出的另一些方面，转子也可以被构造为磁阻式转子或任何其它适当的转子类型。具有嵌套转子和定子的驱动部段的另一些示例在美国专利7,891,935和2011年2月18日提交的美国申请13/030,856中有描述，它们的公开内容通过引用整体并入本文。 
仍然参考图5A和5B，两个驱动部段1700A和1700B被配置成堆叠构造，使得驱动部段围绕肩部轴线X设置在每个相应臂的肩部处。如以上指出的，驱动部段1700A、1700B和臂1720A、1720B可以被构造成具有任何适当数量的自由度和任何适当的构造。在一个方面，两个驱动部段1700A和1700B以及臂1720A、1720B可以彼此大致类似，并且照此，将相对于臂1720A的驱动部段1700A描述驱动部段1700A、1700B。在一个方面，内转子1705A可以通过任何适当的方式连接至例如带轮1707A，使得在内转子1705A旋转时，带轮1707A随内转子1705A旋转。带轮1707A可以与内转子1705A一体(即与转子为一件式构造)，或者可以通过任何适当的方式联接至内转子1705A。随着带轮1707A旋转，带轮1707A可以经由任何适当的传动构件1709A转动另一带轮1712A，所述另一带轮1712A围绕肘关节轴线EX设置在机械手臂的肘关节中，用于相对于上臂810旋转前臂820(图3)。外转子1704A可以进而通过任何适当的方式连接至上臂。在所公开实施例的一个方面，外转子1704A可以直接联接至上臂，使得在外转子1704A旋转时，上臂将随外转子1704A旋转。在一些替代方面，外转子1704A可以经由臂界面(未示出)连接至上臂，使得外转子1704A旋转时，上臂将经由臂界面随外转子1704A旋转。如以上指出的，因为驱动部段1700A和1700B是大致类似的，该构造也可以被用于驱动部段1700B(见例如内转子带轮1707B、变速器1709B和肘关节带轮1712B并且外转子1704B可以连接至臂1720B的上臂810，用于旋转上臂)。在一些替代方面，可以使用任何其它适当的构造。 
仍然参考图5A和5B，驱动部段1700A和1700B可以包括任何适当的传感器，来以大致类似于以上描述的方式跟踪驱动部段的旋转。例如，参考驱动部段1700A(驱动部段1700B可以类似地构成)，编码器1741A(另见用于驱动部段1700B的编码器1741B)可以被设置成用于跟踪内转子1705A(或在驱动部段1700B的情况下为转子1705B)的旋转，而第二编码器1740A(另见用于驱动部段1700B的编码器1740B)可以被构造成用于跟踪外转子1704A(或在驱动部段1700B的情况下为转子1704B)的旋转。编码器1740A和1741可以大致类似于前面描述的编码器1640A、1640B。编码器可以被设置在传输设备内的任何适当的位置或部位来允许跟踪旋转，并且可以被构造成使用任何标尺，包括但不限于绝对标尺、增量标尺或任何其它适当的标尺。 
驱动部段1700A和1700B还可以被构造成包括大气压/真空密封。例如，定子1703A、1703B可以隔离于真空环境，在其中机械手臂可以通过任何适当的方式进行操作。例如，可以通过任何适当的屏障，比如屏障1711A、1711B等，来完成隔离。在所公开实施例的一个方面，内转子1705A、1705B的磁体1705A'、1705B'还可以通过任何适当的方式比如以上描述的方式隔离于真空环境。在所公开实施例的另一方面，外转子1704A、1704B的磁体1704A'、1705B'也可以通过任何适当的方式比如以上描述的方式隔离于真空环境。例如，隔离磁体1705A'、1705B'、1704A'和1704B'的一个这种器件可以是类似于以上描述的密封件的铁磁流密封件S1、S2、S3和S4。在所公开实施例的又一方面，所公开的驱动部段还可以使用可变磁阻电动机来去除对磁体的需求。 
在图5A和5B中示出的所公开实施例的方面中，只有两个自由度在驱动部段内被公开。然而，在所公开实施例的其它方面，能够增加驱动部段内的自由度的数量，方法是通过使附加定子和转子(未示出)设置在内转子和外转子之间，使得附加的定子和转子将增加可被机械手臂采用的自由度的数量。任何适当数量的定子和转子可以通过大致类似于以上描述的方式来被同心地配置和嵌套。 
现在参考图6，依据所公开实施例的多个方面示出了双臂传输设备的一部分。应指出的是：驱动电动机与臂之间的连接(例如臂被驱动的方式)可以是任何适当的连接，比如在美国专利5,720,590、5,899,658和5,813,823中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用整体并入本文。在图6中，垂直相对的SCARA臂构造被示出(前臂和末端执行器未被示出为虚线框600、601以为清楚起见)，比如在2011年11月10日提交的美国专利申请No.13/293,717和2012年3月12日提交的13/417,837中描述的，它们的公开内容通过引用整体并入本文。这里，臂2000、2001中的每个可以大致类似于以上相对于图3描述的臂，并包括大致类似于以上相对于图4A-5B中的任一个或多个描述的驱动部段2000D、2001D(各自具有例如两个电动机，但是在另一些方面可以包括多于或少于两个的电动机)。例如，在一个方面，两驱动部段2000D、2001D可以具有共用的驱动构造(例如两驱动部段通过以上相对于图4A-4D描述的方式构成，或两驱动部段通过以上相对于图5A-5B描述的方式构成)。在另一方面，驱动部段2000D、2001D可以具有不同的构造(例如一个驱动部段可以通过以上相对于图4A-4D描述的方式构成，而另一驱动部段通过以上相对于图5A-5B描述的方式构成)。 
图7示出了另一双SCARA臂构造，其中每个臂2010、2011(其中的每个臂可以大致类似于以上相对于图3描述的臂)包括大致类似于以上相对于图4A-5B中的任一个或多个描述的驱动部段2010D、2011D(各自具有例如两个电动机，但是在另一些方面中可以包括多于或少于两个的电动机)。在该方面，臂2010、2011被构造成使得每个臂2010、2011的前臂和末端执行器(由虚线框600、601示出以为清楚起见)位于上臂的例如顶部上，但是在另一些方面，前臂和末端执行器可以位于相应上臂的底部上。 
参考图8和9，依据所公开实施例的多个方面示出了具有双臂构造的传输机械手臂的一部分。每个臂2020、2021可以大致类似于以上相对于图3描述的臂，并且包括大致类似于以上描述的那些的两个驱动电动机，例外的是在该方面，电动机不是彼此垂直地堆叠，而是设置在臂连杆中相应一个内的相同水平平面中。图9示出了大致类似于在图8中示出的构造的单个臂2030构造，例如在图8中两个臂2020、2021各自安装至共用轴1801，以便围绕肩部轴线X可旋转，而在图9中只有单个臂2030安装至轴1801，在其它方面用于臂2020、2021和2030的驱动电动机构造大致相同。为了示例性目的，将相对于臂2030描述臂2020、2021、2030的驱动电动机。在该方面，每个驱动电动机2030A、2030B包括大致类似于以上描述的那些的定子2030SA、2030SB和转子2030RA、2030RB。应指出的是：在一个方面，驱动电动机2030A、2030B可以是可变磁阻电动机，使得不存在磁体暴露于例如传输机械手在其中进行操作的真空环境，否则可以提供任何适当的密封件来通过任何适当的方式隔离转子和/或定子的磁部件。用于驱动电动机2030A的定子2030SA可以固定至轴1801，使得它相对于例如上臂810保持旋转地固定。转子2030RA可以通过任何适当的方式安装在上臂810内和固定至上臂810，使得上臂810和转子2030RA作为一个单元而旋转(例如当定子2030SA驱动转子2030RA以围绕肩部轴线X旋转时，上臂810随转子2030RA旋转)。用于驱动电动机2030B的定子2030SB可以固定地安装至设置在上臂810内的轴1900，使得定子2030SA相对于轴1900被旋转地固定。转子2030RB可以通过任何适当的方式安装在上臂810内，以便围绕定子2030SB可旋转。转子2030RB可以包括一体带轮(或在另一些方面中带轮可以通过任何适当的方式附接至转子)，所述带轮经由任何适当的传动装置将转子2030RB连接至肘关节带轮1620，用于通过大致类似于以上描述的方式驱动地旋转前臂820(图3)。例如，肘关节带轮可以通过任何适当的方式固定地附接至前臂820，使得当肘关节带轮1620旋转时，前臂820随之旋转。在另一些方面，转子2030RB可以通过任何适当的方式驱动肘关节带轮1620的旋转。在所公开实施例的再一些方面中，可以使用任何适当的机械手臂构造。可以采用示例性实施例的驱动系统的机械手臂的适当示例可在以下文献中找到：2011年10月11日提交的美国专利申请No.13/270,844和2011年10月11日提交的13/270,844，它们的公开内容通过引用整体并入本文。 
依据所公开实施例的所公开实施例的一个或多个方面，提供了一种基板传输设备。所述基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机，用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子，所述定子具有定子线圈，所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的固定支柱上，所述转子大致周向地环绕所述定子，使得所述转子连接至所述至少一个臂连杆中的相应一个，以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆中的一个，从而导致所述至少一个臂连杆之一的伸出或缩回，其中所述堆叠的驱动电动机设置在所述至少一个臂连杆中，使得每个定子的至少一部分处于所述至少一个臂连杆的共用臂连杆内。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述无轴驱动部段大致设置在所述至少一个臂连杆内。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述定子线圈与真空隔离。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述基板传输设备进一步包括：第二驱动部段，其至少部分地设置在所述框体内，并被构造成在大致与包含所述至少一个臂连杆的伸出或缩回方向的平面正交(例如垂线、Z轴)的方向上线性地移动所述至少一个臂连杆。此外，所述至少一个臂连杆通过密封件连接至所述框体，所述密封件能够适应所述至少一个臂连杆与框体之间的相对轴向运动(例如垂线、Z轴)，其中所述密封件位于所述臂的一侧，而所述第一驱动部段位于所述臂的相对侧。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述至少一个臂连杆包括围绕肩部旋转轴线可旋转地连接至所述框体的上臂、围绕肘关节旋转轴线可旋转地连接至所述上臂的前臂和围绕腕旋转轴线可旋转地连接至所述前臂的至少一个基板保持器，并且所述至少一个驱动电动机包括至少两个堆叠的驱动电动机，其中每个电动机驱动所述上臂和前臂中相应一个的旋转。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述至少一个臂连杆包括围绕肩部旋转轴线可旋转地连接至所述框体的上臂、围绕肘关节旋转轴线可旋转地连接至所述上臂的前臂和围绕腕旋转轴线可旋转地连接至所述前臂的至少一个基板保持器，并且所述至少一个驱动电动机包括至少三个堆叠的驱动电动机，其中每个电动机驱动所述上臂、前臂和至少一个基板保持器中相应一个的旋转。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述至少一个臂连杆包括围绕肩部旋转轴线可旋转地连接至所述框体的上臂和可移动地安装至所述上臂以沿着所述上臂的长度的至少一部分线性行进的至少一个基板保持器，并且所述至少一个驱动电动机包括至少两个堆叠的驱动电动机，其中所述至少两个堆叠的驱动电动机之一驱动所述上臂的旋转，而所述至少两个堆叠的驱动电动机中的其它驱动电动机驱动所述至少一个基板保持器中相应一个的线性行进。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述无轴驱动部段包括密封件，用于相对于环境密封所述定子，所述至少一个臂连杆在所述环境中进行操作。此外，每个转子包括用于与相应定子交接的磁体，其中所述驱动部段包括密封件，用于相对于环境密封所述转子的磁体，所述至少一个臂连杆在所述环境中进行操作。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述无轴驱动部段的高度与所述基板传输设备的Z轴行进解除关联。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，提供了一种基板传输设备。所述基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和大致设置在所述至少一个臂连杆内的无轴分配驱动部段。所述无轴分配驱动部段包括至少两个驱动电动机，其中所述至少两个驱动电动机之一连接至所述至少一个臂连杆以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，并且所述至少两个驱动电动机沿着共用的水平平面并排配置在所述至少一个臂连杆内。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述至少两个驱动电动机中的每个包括定子和大致周向地环绕所述定子的转子。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，所述基板传输设备进一步包括：第二驱动部段，其至少部分地设置在所述框体内，并被构造成在大致与所述至少一个臂连杆的伸出或缩回方向正交的方向上线性地移动所述至少一个臂连杆。 
依据所公开实施例的一个或多个方面，提供了一种基板传输设备。所述基板传输设备包括：框体；至少一个臂，其可旋转地连接至所述框体，并至少具有上臂和前臂。所述基板传输设备还包括连接至所述框体的无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括至少一个驱动电动机，所述至少一个驱动电动机包括具有至少两个被嵌套的定子线圈的定子、被所述定子大致周向地环绕的内转子和大致周向地环绕所述定子的外转子，使得所述内转子连接至所述前臂以旋转所述前臂，并且所述外转子连接至所述上臂以旋转所述上臂。依据所公开实施例的一个或多个方面，所述基板传输设备包括：第二驱动部段，其至少部分地设置在所述框体内，并被构造成在大致与包含所述至少一个臂连杆的伸出或缩回方向的平面正交的方向上线性地移动所述至少一个臂连杆。 
应该明白的是：前面的描述只是例示所公开实施例的多个方面。本领域技术人员可设计各种替代和变型，而不背离所公开实施例的多个方面。因此，所公开实施例的多个方面旨在包含落入所附权利要求书的范围内的所有这些替代、变型和变更。此外，不同特征被列举在相互不同的从属或独立技术方案中的这个事实并不意味着不能有利地使用这些特征的组合，这种组合仍然处于本发明的多个方面的范围内。 

Claims (17)

1. 一种基板传输设备，包括：
框体；
至少一个臂连杆，其可旋转地连接至所述框体；和
无轴驱动部段，所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机，用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子，所述定子具有定子线圈，所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的固定支柱上，所述转子大致周向地环绕所述定子，使得所述转子连接至所述至少一个臂连杆中的相应一个，以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆中的相应一个，从而导致所述至少一个臂连杆的伸出或缩回，其中所述堆叠的驱动电动机设置在所述至少一个臂连杆中，使得每个定子的至少一部分处于所述至少一个臂连杆的共用臂连杆内。
2. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述无轴驱动部段大致设置在所述至少一个臂连杆内。
3. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述定子线圈与真空隔离。
4. 如权利要求1所述的基板传输设备，进一步包括：
第二驱动部段，其至少部分地设置在所述框体内，并被构造成在大致与包含所述至少一个臂连杆的伸出或缩回方向的平面正交的方向上线性地移动所述至少一个臂连杆。
5. 如权利要求4所述的基板传输设备，其中，所述至少一个臂连杆通过密封件连接至所述框体，所述密封件能够适应所述至少一个臂连杆与框体之间的相对轴向运动，其中所述密封件位于所述臂的一侧，而所述第一驱动部段位于所述臂的相对侧。
6. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述至少一个臂连杆包括围绕肩部旋转轴线可旋转地连接至所述框体的上臂、围绕肘关节旋转轴线可旋转地连接至所述上臂的前臂和围绕腕旋转轴线可旋转地连接至所述前臂的至少一个基板保持器，并且所述至少一个驱动电动机包括至少两个堆叠的驱动电动机，其中每个电动机驱动所述上臂和前臂中相应一个的旋转。
7. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述至少一个臂连杆包括围绕肩部旋转轴线可旋转地连接至所述框体的上臂、围绕肘关节旋转轴线可旋转地连接至所述上臂的前臂和围绕腕旋转轴线可旋转地连接至所述前臂的至少一个基板保持器，并且所述至少一个驱动电动机包括至少三个堆叠的驱动电动机，其中每个电动机驱动所述上臂、前臂和至少一个基板保持器中相应一个的旋转。
8. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述至少一个臂连杆包括围绕肩部旋转轴线可旋转地连接至所述框体的上臂和可移动地安装至所述上臂以沿着所述上臂的长度的至少一部分线性行进的至少一个基板保持器，并且所述至少一个驱动电动机包括至少两个堆叠的驱动电动机，其中所述至少两个堆叠的驱动电动机之一驱动所述上臂的旋转，而所述至少两个堆叠的驱动电动机中的其它驱动电动机驱动所述至少一个基板保持器中相应一个的线性行进。
9. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述无轴驱动部段包括密封件，用于相对于环境密封所述定子，所述至少一个臂连杆在所述环境中进行操作。
10. 如权利要求9所述的基板传输设备，其中，每个转子包括用于与相应定子交接的磁体，其中所述驱动部段包括密封件，用于相对于环境密封所述转子的磁体，所述至少一个臂连杆在所述环境中进行操作。
11. 如权利要求1所述的基板传输设备，其中，所述无轴驱动部段的高度与所述基板传输设备的Z轴行进解除关联。
12. 如权利要求1所述的基板传输设备，进一步包括：与所述堆叠的驱动电动机中的每个交接的编码器，所述编码器包括传感器系统和至少一个标尺，所述传感器系统安装至所述固定支柱，并且所述标尺被集成到所述堆叠的驱动电动机中相应一个的转子中，使得所述传感器系统与标尺之间的交接平面被配置成相对于所述堆叠的驱动电动机中相应一个的定子与转子之间的交接平面成一定角度。
13. 一种基板传输设备，包括：
框体；
至少一个臂连杆，其可旋转地连接至所述框体；和
无轴分配驱动部段，其大致设置在所述至少一个臂连杆内，所述无轴分配驱动部段包括至少两个驱动电动机，其中所述至少两个驱动电动机之一连接至所述至少一个臂连杆以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，并且所述至少两个驱动电动机沿着共用的水平平面并排配置在所述至少一个臂连杆内。
14. 如权利要求13所述的基板传输设备，其中，所述至少两个驱动电动机中的每个包括定子和大致周向地环绕所述定子的转子。
15. 如权利要求13所述的基板传输设备，进一步包括：
第二驱动部段，其至少部分地设置在所述框体内，并被构造成在大致与所述至少一个臂连杆的伸出或缩回方向正交的方向上线性地移动所述至少一个臂连杆。
16. 一种基板传输设备，包括：
框体；
至少一个臂，其可旋转地连接至所述框体，并至少具有上臂和前臂；和
无轴驱动部段，其连接至所述框体，所述无轴驱动部段包括至少一个驱动电动机，所述至少一个驱动电动机包括具有至少两个被嵌套的定子线圈的定子、被所述定子大致周向地环绕的内转子和大致周向地环绕所述定子的外转子，使得所述内转子连接至所述前臂以旋转所述前臂，并且所述外转子连接至所述上臂以旋转所述上臂。
17. 如权利要求16所述的基板传输设备，进一步包括：
第二驱动部段，其至少部分地设置在所述框体内，并被构造成在大致与包含所述至少一个臂连杆的伸出或缩回方向的平面正交的方向上线性地移动所述至少一个臂连杆。
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