CN103757634B - 一种漂洗水循环系统及漂洗水循环方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种蚀刻液再生系统的漂洗水循环系统及漂洗水循环方法，包括漂洗水通过电-电渗析器和电渗析器及渗透器进行漂洗水内盐分的调节及漂洗水的净化等。所述漂洗水循环系统与蚀刻液再生系统进行连接，漂洗水可以不断地进行循环再生。本发明的突出效果为：电解槽结构简单、紧凑，能很好地为再生过程提供需要的加速剂和反应气体；对漂洗水进行不断的循环，整个再生过程不需要添加任何再生用的添加剂。

Description

一种漂洗水循环系统及漂洗水循环方法

技术领域

本发明涉及一种与蚀刻液设备连接的漂洗水循环系统及漂洗水循环方法，属于资源再利用和有色金属回收领域。

背景技术

全世界范围内，电器电子工业是增长最快的产业之一，印刷电路板作为电器电子产品的重要组成部分，产量也日益增加。常规的酸性蚀刻处理是将印刷电路板放入蚀刻机内的蚀刻液中进行蚀刻反应。印刷板上铜的去除时间有限，且部分可能会因为一些有机的或其他抗酸性的抗体阻止了与酸性蚀刻液建立导体，从而导致时间受到限制。

通常情况下，每分钟去除30至60微米铜的速率是可以实现的。但是，由于铜的饱和且为维持一个可接受的处理速度，蚀刻液必须经常性的更换，这样就会造成大量的废弃蚀刻液。

现有技术中，蚀刻液的再生需按照如下蚀刻反应添加添加剂(如过氧化氢H₂O₂，臭氧O₃，氯酸钠NaClO₃)才能实现：

Cu+2HCl+H₂O₂→CuCl₂+2H₂O；

Cu+2HCl+1/3O₃→CuCl₂+H₂O；

Cu+2HCl+1/3NaClO₃→CuCl₂+1/3NaCl+H₂O；

另外，传统蚀刻工艺存在蚀刻铜的量和回收再生的量之间化学不匹配的现象，无论是蚀刻液的供给，排放或是铜回收系统，导致蚀刻液的再生和铜回收的效果不佳。同时，漂洗水的处理也是一个大难题。

发明内容

鉴于上述现有技术存在的缺陷，本发明的目的是提出一种蚀刻液设备内漂洗水的循环系统及漂洗水循环方法。

本发明的目的将通过以下技术方案得以实现：

一种漂洗水循环系统，所述漂洗水循环系统与蚀刻液设备内的漂洗室连接；

所述漂洗室内分隔有第一、第二、第三清洗间，三个所述清洗间内均设置有用于将清洗液喷向产品的清洗喷头；

所述漂洗水循环系统包括一电-电渗析器、一电渗析器及一渗透器；

所述电-电渗析器包括第三阴极室、第三阳极室，及置于第三阴极室和第三阳极室之间的第三中间室，所述电渗析器包括第四阳极室、第四阴极室，及置于第四阴极室和第四阳极室之间的第四中间室；

所述第三中间室入口与第一清洗间出口通过管路连接，第三中间室的出口与第一清洗间的入口连接，所述第三阳极室与第三阴极室与蚀刻液再生系统通过管路连接；

所述电渗析器的第四阳极室、第四中间室和第四阴极室入口均与第一清洗间的出口通过管路连接，第四阳极室、第四中间室和第四阴极室出口与第一清洗间的进口连接，所述电渗析器的第四中间室入口与第二清洗间的第一出口连接，中间室出口与第二清洗间的第一入口连接；

所述渗透器的入口与第二清洗间的第二出口连接，渗透器的浓缩液出口与第二清洗间的第二入口连接，渗透器的清水出口与第三清洗间的入口连接。

优选地，所述第四中间室内设置有浓缩液，所述浓缩液指第一清洗间内的溶液。

优选地，所述电-电渗析器和电渗析器中阴极室的宽度大于等于7cm。

优选地，所述蚀刻液再生系统包括反应器及与所述反应器连接的电解槽；

所述反应器包括一个预溢流室及第一、第二、第三溢流室，所述蚀刻液从预溢流室流出后按序进入三个溢流室；

所述电解槽内设有A隔间和B隔间，所述A隔间包括第一阳极室、中间室、第一阴极室；所述第一阳极室和中间室之间设有阳离子膜，所述中间室和第一阴极室之间设有阴离子膜；所述B隔间包括第二阳极室和第二阴极室；

所述电解槽还包括第一缓存槽和第二缓存槽，所述第一缓存槽的入口与所述预溢流室连接，所述第一缓存槽的出口与所述第一溢流室连接，所述第一缓存槽还与所述电解槽内的第一阴极室和第二阴极室连通，所述第一阳极室与第二缓存槽连通，所述中间室与第二溢流室连通，所述第二阳极室与第一溢流室连通；

所述反应器与电解槽之间还设有气体管路并将两者连接起来，所述第三溢流室的出口连接于所述蚀刻机内的蚀刻液池或蚀刻液喷头；

所述第三阳极室与第三阴极室的入口与第一缓存槽的出口通过管路连接，第三阳极室与第三阴极室的出口与第一缓存槽的入口连接。

优选地，所述第三阳极室和第三中间室之间设有仅限阴离子从所述第三中间室进入到第三阳极室内的阳离子膜，所述第三中间室和第三阴极室之间设有仅限阳离子从所述第三中间室进入到第三阴极室内的阴离子膜。

优选地，所述第四阳极室和第四中间室之间设有仅限阳离子从所述第四阳极室进入到第四中间室内的阴离子膜，所述第四中间室和第四阴极室之间设有仅限阴离子从所述第四阴极室进入到第四中间室内的阳离子膜。

优选地，所述第四中间室内设置有至少两组相互间隔设置的阴阳离子膜。

一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，包括如下过程，

第一清洗间内漂洗水自身盐含量的调节过程：所述第一清洗间的漂洗水通过管路进入到电-电渗析器中的第三中间室，同时，保持电-电渗析器第三阳极室和第三阴极室内的溶液与第一缓存槽内的溶液进行循环，降低漂洗水的盐含量；

第一清洗间内漂洗水盐含量的补充过程：第二清洗间的漂洗水通过管路进入到电渗析器的第四中间室，并通过管路进入到第一清洗间，使得第一清洗间从第二清洗间内获取盐含量；

漂洗水的净化过程：第二清洗间的漂洗水通过管路进入到渗透器中，通过渗透器的净化，净化后的漂洗水进入到第三清洗间，渗透器浓缩部分的漂洗水返回进入到第二清洗间。

优选地，所述第一清洗间漂洗水的盐含量为包括高氯酸盐和盐酸盐在内的盐的含量。

优选地，所述电-电渗析器第三阳极室和第三阴极室内的溶液与第一缓存槽内进行循环的溶液为蚀刻液。

优选地，所述第一清洗间内漂洗水自身盐含量的调节过程的具体步骤为，通过电-电渗析器的第三阳极室的反应式产生酸：H₂O→2H+1/2O₂+2e^-,2Cl^-+6H₂O→2ClO₃ ^-+12H⁺+12e^-，通过第三阴极室的如下反应式回收铜：Cu²⁺+2e^-→Cu,2H⁺+2e^-→H₂。

优选地，所述第一清洗间内漂洗水盐含量的补充过程具体步骤为：通过电渗析器的第四阳极室的如下反应式产生酸:H₂O→2H+1/2O₂+2e^-,Cl^-+3H₂O→ClO₃ ^-+6H⁺+6e^-；通过第四阴极室的如下反应式回收铜：Cu²⁺+2e^-→Cu,2H⁺+2e^-→H₂。

优选地，所述电-电渗析器的第三阳极室、电渗析器的第四阳极室产生酸包括盐酸和高氯酸。

当然，以上A隔间和B隔间的阳极室内也会产生一些水蒸气及酸、铜等溶液的挥发成分。

本发明的突出效果为：

1、电解槽结构简单、紧凑，能很好地为再生过程提供需要的加速剂和反应气体；

2、对漂洗水进行不断的循环，整个再生过程不需要添加任何再生用的添加剂。

以下便结合实施例附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详述，以使本发明技术方案更易于理解、掌握。

附图说明

图1是本发明漂洗水循环系统，包括蚀刻液再生系统结构示意图。

图2是本发明漂洗水循环系统中，漂洗水在电-电渗析器内的离子流向示意图。

图3是本发明漂洗水循环系统中，漂洗水在电渗析器内的离子流向示意图。

具体实施方式

本发明揭示了一种可以再生酸性蚀刻液以及回收铜的设备。

如图1所示，印刷电路板3在蚀刻机1内经过喷嘴4喷洒的蚀刻液2的处理。然后收到漂洗模块5的漂洗。经过蚀刻，蚀刻液2成为酸性蚀刻废液，被送往反应器6，废液中可能包含有如下化学物质：盐酸，氯化铜，氯化钠，高氯酸钠和水。经过处理，来自反应器6的再生酸性蚀刻液2将被送往蚀刻机1的喷头4内。

具体的，所述与蚀刻机相连的反应器6包括3个溢流室和一个预溢流室6a，3个溢流室分别为第一溢流室6b，第二溢流室6c，第三溢流室6d。同时反应器6又和电解槽7相连，所述电解槽7由电-电渗析系统7a，电解系统7b和第一缓存槽7c、第二缓存槽7d组成。反应器内最后一次溢流的第三溢流室6d与蚀刻机内的喷嘴4相连。

再生酸性蚀刻液以及回收铜的具体过程为：

含[CuCl₂]^-的废酸性蚀刻液进入至所述反应器内的预溢流室6a处；

一小部分废酸性蚀刻液通过管路9从预溢流室中被注入电解槽7的第一缓存槽7c中，剩余的废酸性蚀刻液将流向第一溢流室6b中；

进入至第一缓存槽7c中的废酸性蚀刻液通过管路16被注入所述电解槽7的电解系统7b和电-电渗析系统7a的阴极室内析出铜，用来降低含铜量，实现化学再生，进而变成低含铜量酸性蚀刻液)，经管路17再回到第一缓存槽7c内。

所述低含铜量酸性蚀刻液再经管路19返回到所述反应器的第一溢流室6b内，以此来平衡废酸性蚀刻液2中铜的浓度；

进入到第一溢流室6b内的废酸性蚀刻液2和低含铜量酸性蚀刻液，混合后，其中一部分通过管路10被注入至所述电解系统的阳极室内，反应后通过管路12返回；另一部分将流向第二溢流室6c；

进入到第二溢流室6c内的废酸性蚀刻液，其中一部分通过管路11与所述电-电渗析系统7a的中间室相连，反应后经管路13返回，另一部分将继续流向第三溢流室6d进行再一次的再生氧化反应。

最终，再生后的酸性蚀刻液最终通过管路20回到蚀刻机1的喷嘴4，开始新一轮的循环。

本发明中反应器主要是将蚀刻材料产生的Cu(I)氧化成Cu(II)。反应器内包含三次溢流和一次预溢流，用来降低流速并通过给每次溢流增加一次循环来提高反应时间。每个溢流都包含用磁石包裹的喷射泵浦，益处便是当气体/液体混合物通过磁场时，可以选择性的通过两种铜络合物。此外，考虑到浓度为3％左右抗磁性Cu(I)络合物和浓度为97％左右顺磁性Cu(II)络合物不同的浓度和磁场特性，它会增加铜络合物Cu(I)和喷射泵浦内吸入的气体的碰撞机率。随后，Cu(I)络合物被迫流出流经喷射泵浦的溶液之外，溶液因喷射泵浦内的气体而分层，因而优化了Cu(I)到Cu(II)的氧化反应。

经过蚀刻处理后蚀刻机内的废酸性蚀刻液含有Cu(I)，将全部被送往反应器内的预溢流室，其中一小部分将被注入第一缓存槽7c，第一缓存槽7c连接到电解槽的阴极室用来回收蚀刻铜。剩余的大部分将继续流入反应器内经过第一次溢流，第一次溢流和电解槽的B隔间的阳极室继续溶液的循环，氧化反应依托高氯酸盐的存在，加上借助于磁性喷射泵浦从蚀刻机、AB隔间的阴极室提取的气体，以及从A隔间阳极室提取的氧气开始进行。此外，电解槽缓存槽内除铜后的溶液将被添加到第一次溢流，以此来降低废酸性蚀刻液中铜的浓度。

经过第一次溢流已部分再生及被除铜的废酸性蚀刻液将流向第二次溢流进行Cu(I)到Cu(II)的化学氧化反应，因此，第二次溢流和电解槽的A隔间的中间室开始循环溶液，通过H⁺离子和Cl^-离子的移动，蚀刻液因为HCl的产生变得丰富。另外，通过配有磁性喷射泵浦的内部循环，电解槽中的的A、B隔室中的阳极室产生的氧气将被抽出并注入到蚀刻液中去完成如下的氧化反应：[CuCl₂]^-+H⁺+1/4O₂→[CuCl]⁺+Cl^-+1/2H₂O。

废酸性蚀刻液的再生将在经过反应器内第三次溢流后完成，第二次溢流注入溶液后剩余的来自电解槽的过量气体O2被重新注入，Cu⁺⁺铜离子转化成复合铜[CuCl]⁺从而完成氧化反应，复合铜[CuCl]⁺来源于Cu(I)的氧化。

本发明中，废酸性蚀刻液在经过每一次溢流的停留时间，尤其是第二次和第三次至少为1分钟。此外，喷射泵浦每分钟的流量是其特定溢流量的两倍，以此来为化学反应和再生提供完整的时间。

本发明中，电解槽中B隔室的容量不超过整个电解槽容量的10％，以此避免系统中Cl₂的浓度过大。

本发明既要满足铜回收又要实现蚀刻液再生，就需要用到一个配有缓存槽的电解槽，电解和电-电渗析的组合不仅可以回收铜，还可以产生废酸性蚀刻液再生所需的氧气，酸性H⁺和蚀刻加速剂高氯酸。

为保持再生循环蚀刻机内铜的浓度在反应器处在最佳水平，来自电解槽缓存槽内铜的含量较低的蚀刻液将按照系统铜控制装置的需求，被注入反应器中进行第一次溢流。第一缓存槽本身与电解槽的阴极室循环蚀刻溶液，在阴极室里，铜被电解。同时，一小部分来自蚀刻机反应器预溢流室内的废蚀刻液将被储存于电解槽的缓存槽内，因为它所包含的铜的浓度在上升，速率为1.5％到3％，考虑到电解Cu(I)所需的能量是电解Cu(II)的1/2，按照如下公式，这种特性将使得电解的速率提高1.5％到3％：[CuCl]⁺+2e^-→Cu+Cl^-、[CuCl₂]^-+e^-→Cu+2Cl^-。

一台配备一个流速为18,000l/h的泵浦的蚀刻机，每小时可以蚀刻30kg铜，蚀刻液中铜的浓度大约为145g/l<共2,610kgCu(II)>，依据如下反应[CuCl]⁺+3Cl^-+Cu→2[CuCl₂]^-，每小时蚀刻30kg铜会产生60kg的Cu(I)。因此，在反应室的预溢流室中将得到包含97,7％的Cu(II)和2,27％的Cu(I)的溶液。

另一方面，含有Cu(I)铜的废酸性蚀刻液中缺乏含氧成分，拥有可以降低阴极的蚀刻速度的优点，从而提高铜回收的效率。

该项发明中，电解槽中阴极室包含一个阴极钛板和一个阴离子膜，电流密度在1到10A/m²之间。通过的液体需保持低速，且阴极和阳极之间的电压不超过10V，以避免因发热造成的损失。

按照在阴极室内如下化学反应：[CuCl]⁺+2e^-→Cu+Cl^-、[CuCl₂]^-+e^-→Cu+2Cl^-，将得到金属铜和氯离子，它们会向B隔间的阳极室和A隔间的中间室移动。

值得注意的是，所得铜的形式取决于阴极溶液中铜的含量：当阴极溶液中铜的浓度小于20g/l，电流密度大于5A/dm²时，铜将以铜粉末的形式被电解，而当铜的浓度高于20g/l，电流密度小于5A/dm²时，铜将以紧凑的铜板形式被电解。

为了通过电解槽产生实现废酸性蚀刻液再生所需的氧气和酸性H⁺，电解槽的A隔室具有三个小室，一个阳极室，一个中间室，一个阴极室。中间室和阳极室由一个阳离子膜隔开，和阴极室由一个阴离子膜隔开。阳极室包含硫酸(H₂SO₄)溶液和钛板电极，硫酸适宜的浓度为10％到20％之间，电流密度为1到5A/dm²。根据阳极室的化学反应：H₂O→1/2O₂+2H⁺，将产生氧气O₂，该氧气O₂将被提取并注入到反应器中的第一次溢流中的废酸性蚀刻液中。在电场的作用下，H⁺进入中间室并在溶液中形成酸性HCl，随后中间室溶液与反应器内第二次溢流进行循环。

为产生借助于电渗析膜可以加快电解铜速率的加速剂高氯酸盐，电解槽的B隔室包含两个小隔间，一个阳极室和一个阴极室，按照如下化学反应，阳极将产生高氯酸盐，酸和氧气：

Cl^-+3H₂O→ClO₃ ^-+6H⁺+6e^-

H₂O→2H⁺+1/2O₂+2e^-

总之，完全再生的酸蚀刻液将连续不断地提供给蚀刻机的喷杆，经过蚀刻工艺，又作为废蚀刻溶液回到反应器内。反应器内预溢流室中的一小部分溶液将直接导入电解槽的阴极室，通过电解来降低溶液中铜的浓度，剩余的大部分将经过反应器内另外两个连续的小室的处理。这两个小室与电解槽阳极室相连，产生的氧气将Cu(I)氧化成Cu(II),产生HCl用来酸化生产溶液，蚀刻加速剂高氯酸盐也被添加到溶液中。反应器内的第三室将提供给蚀刻机喷杆富含[CuCl₂]^-的完全再生的蚀刻酸性溶液，从而重复另一周期的蚀刻和回收。

其次，本发明提高了蚀刻过程的稳定性和灵活性，将大大改善蚀刻工艺。传统蚀刻工艺存在蚀刻铜的量和回收再生的量之间化学不匹配的现象，无论是蚀刻液的供给，排放或是铜回收系统。为取得稳定的蚀刻进程，必须保持Cu(I)的浓度在0,01％以下，从而才能提供一个良好的蚀刻结果。因此，本发明中，蚀刻机和电解槽同步运行，以此来持续提供所需的再生蚀刻溶液，而不受生产波动的影响。因此，任何对蚀刻过程产生负面影响的再生过程的中断将不会发生。

因此，电解过程中产生的气体和酸的量等同于再生所需的量。在上述例证中，再生2kgCu(I)所需的试剂量等同于电解槽内加速剂隔室(B隔间)阳极产生的量，加速剂隔室必须与蚀刻机同步运行以此来保证蚀刻和回收之间的平衡。此外，电解槽需包含两个隔室，其中加速剂隔室必须在蚀刻材料减少的同时工作以此来为连续的再生过程提供足够的试剂。

本发明的一个实质性特点是，处理废酸性蚀刻液工艺的蓄水池中的酸性蚀刻液，经过回收和分别处理，将直接供给蚀刻机的喷嘴然后喷洒在印刷电路板上。同时，使用过的和/或者废酸性蚀刻液将被收集，随后经过废酸性蚀刻液处理工艺/系统处理，之后再作为高质量的蚀刻液提供给蚀刻机的喷嘴。这种处理工艺包含两个步骤：一个是蚀刻液再生和铜回收，另一个是废气及蚀刻机漂洗部分产生的冲洗水的处理。

过量气体和洗涤水的回收处理分为两个独立的处理系统。

以下结合图2、图3描述下本发明中对蚀刻机内漂洗水的循环系统，循环系统包括电-电渗析器23、电渗析器22及渗透器21；

所述漂洗室5内分隔有第一清洗间5a、第二清洗间5b、第三清洗间5c，三个清洗间内均设置有用于将清洗液喷向产品的清洗喷头。

漂洗室5中第一清洗间5a处高度污染的漂洗水通过管路24的分管路24a流向电-电渗析器23的中间室，随后通过管路25的分管25b返回到第一清洗间5a处。电-电渗析器23的阳极室和阴极室通过管路31的分管路31a，31b与电解槽7的第一缓存槽7c相连，并通过管路32的分管路实现废酸性蚀刻液的循环。通过电-电渗析器23里建立的电场，阴离子将经过阳离子膜游向阳极室，同时，阳离子经过阳离子膜游向阴极室，随后，阳极室产生酸，阴极室回收铜，从而降低漂洗室5中第一清洗间5a处漂洗水的污染程度。

通过管路24的分管24b，第一清洗间5a处被污染的漂洗水被送往电渗析器22的阳极室，阴极室和有浓缩溶液的中间室，随后经管路25的分管25b返回。一方面，这将净化第二清洗间5b处的漂洗水，另一方面将溶液中的盐含量转移到第一清洗间5a处，而第一清洗间5a本身通过电-电渗析器23来降低含盐率。

以上即可完成第一次漂洗水与电-电渗析器23的中间室进行循环，溶液中离子游向阳极室和阴极室，阳极室和阴极室均与第一缓存槽7c进行溶液的循环，从而降低了漂洗水中的含盐率。同时，第一次漂洗阶段的水和电渗析器22的中间室进行循环，从第二次清洗水中获取盐分，电渗析器22阳极和阴极间这样的水循环使得离子游向中间室。

以上所述电-电渗析器的第三阳极室通过反应式产生酸：H₂O→2H+1/2O₂+2e^-,2Cl^-+6H₂O→2ClO₃ ^-+12H⁺+12e^-，第三阴极室通过如下反应式回收铜：Cu²⁺+2e^-→Cu,2H⁺+2e^-→H₂。

所述电渗析器的第四阳极室通过如下反应式产生酸:H₂O→2H+1/2O₂+2e^-,Cl^-+3H₂O→ClO₃ ^-+6H⁺+6e^-；第四阴极室通过如下反应式回收铜：Cu²⁺+2e^-→Cu,2H⁺+2e^-→H₂。

以上反应式均是仅仅以离子形式体现，溶液内物质间的反应均未在此列出。

最后，该循环中含盐率降低的溶液将被导入渗透器21，从渗透器21产生的被净化后的水将提供给最后一个漂洗阶段，浓缩的溶液将返还到第二次漂洗阶段。所述渗透器21为现有技术中常用渗透器，具体原理及过程在此不再详述。

按照水处理单元的设计，电-电渗析器和电渗析器中阴极室的宽度最小为7cm，从而可以从这些室中轻松地回收电解铜。

本项发明中，一个渗透器21与电渗析器22相连。漂洗室5中第二清洗间5b处被污染的漂洗水通过管路28导入渗透器21。其中，净化后的水经过管路30导入漂洗室5的第三清洗间5c处。浓缩部分将经管路29导入第二清洗间5b处。最终，第二清洗间5b处通过管路26给电渗析器22的稀释室提供漂洗水，又通过管路27从中得到稀释后的漂洗水。本发明并不限于前述实施方式，本领域技术人员在本发明技术精髓的启示下，还可能做出其他变更，但只要其实现的功能与本发明相同或相似，均应属于本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述漂洗水循环系统与蚀刻液设备内的漂洗室连接；

所述漂洗室内分隔有第一、第二、第三清洗间，三个所述清洗间内均设置有用于将清洗液喷向产品的清洗喷头；

所述漂洗水循环系统包括一电-电渗析器、一电渗析器及一渗透器；

所述电-电渗析器包括第三阴极室、第三阳极室，及置于第三阴极室和第三阳极室之间的第三中间室，所述电渗析器包括第四阳极室、第四阴极室，及置于第四阴极室和第四阳极室之间的第四中间室；

所述第三中间室入口与第一清洗间出口通过管路连接，第三中间室的出口与第一清洗间的入口连接，所述第三阳极室与第三阴极室与蚀刻液再生系统通过管路连接；

所述电渗析器的第四阳极室、第四中间室和第四阴极室入口均与第一清洗间的出口通过管路连接，第四阳极室、第四中间室和第四阴极室出口与第一清洗间的进口连接，所述电渗析器的第四中间室入口与第二清洗间的第一出口连接，中间室出口与第二清洗间的第一入口连接；

所述渗透器的入口与第二清洗间的第二出口连接，渗透器的浓缩液出口与第二清洗间的第二入口连接，渗透器的清水出口与第三清洗间的入口连接；所述蚀刻液再生系统包括反应器及与所述反应器连接的电解槽；

所述反应器包括一个预溢流室及第一、第二、第三溢流室，所述蚀刻液从预溢流室流出后按序进入三个溢流室；

所述电解槽内设有A隔间和B隔间，所述A隔间包括第一阳极室、中间室、第一阴极室；所述第一阳极室和中间室之间设有阳离子膜，所述中间室和第一阴极室之间设有阴离子膜；所述B隔间包括第二阳极室和第二阴极室；

所述电解槽还包括第一缓存槽和第二缓存槽，所述第一缓存槽的入口与所述预溢流室连接，所述第一缓存槽的出口与所述第一溢流室连接，所述第一缓存槽还与所述电解槽内的第一阴极室和第二阴极室连通，所述第一阳极室与第二缓存槽连通，所述中间室与第二溢流室连通，所述第二阳极室与第一溢流室连通；

所述反应器与电解槽之间还设有气体管路并将两者连接起来，所述第三溢流室的出口连接于所述蚀刻机内的蚀刻液池或蚀刻液喷头；

所述第三阳极室与第三阴极室的入口与第一缓存槽的出口通过管路连接，第三阳极室与第三阴极室的出口与第一缓存槽的入口连接。

2.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第四中间室内设置有浓缩液，所述浓缩液为第一清洗间内的溶液。

3.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述电-电渗析器和电渗析器中阴极室的宽度大于等于7cm。

4.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第三阳极室和第三中间室之间设有仅限阴离子从所述第三中间室进入到第三阳极室内的阳离子膜，所述第三中间室和第三阴极室之间设有仅限阳离子从所述第三中间室进入到第三阴极室内的阴离子膜。

5.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第四阳极室和第四中间室之间设有仅限阳离子从所述第四阳极室进入到第四中间室内的阴离子膜，所述第四中间室和第四阴极室之间设有仅限阴离子从所述第四阴极室进入到第四中间室内的阳离子膜。

6.如权利要求5所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第四中间室内设置有至少两组相互间隔设置的阴阳离子膜。

7.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，其特征在于：包括如下过程，

第一清洗间内漂洗水自身盐含量的调节过程：所述第一清洗间的漂洗水通过管路进入到电-电渗析器中的第三中间室，同时，保持电-电渗析器第三阳极室和第三阴极室内的溶液与第一缓存槽内的溶液进行循环，降低漂洗水的盐含量；

第一清洗间内漂洗水盐含量的补充过程：第二清洗间的漂洗水通过管路进入到电渗析器的第四中间室，并通过管路进入到第一清洗间，使得第一清洗间从第二清洗间内获取盐含量；

漂洗水的净化过程：第二清洗间的漂洗水通过管路进入到渗透器中，通过渗透器的净化，净化后的漂洗水进入到第三清洗间，渗透器浓缩部分的漂洗水返回进入到第二清洗间。

8.如权利要求7所述的一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，其特征在于：所述第一清洗间漂洗水的盐含量为包括高氯酸盐和盐酸盐在内的盐的含量。

9.如权利要求7所述的一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，其特征在于：所述电-电渗析器第三阳极室和第三阴极室内的溶液与第一缓存槽内进行循环的溶液为蚀刻液。

10.如权利要求7所述的一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，其特征在于：所述第一清洗间内漂洗水自身盐含量的调节过程的具体步骤为，通过电-电渗析器的第三阳极室的反应式产生酸：H₂O→2H⁺+1/2O₂+2e^-,2Cl^-+6H₂O→2ClO₃ ^-+12H⁺+12e^-，通过第三阴极室的如下反应式回收铜：Cu²⁺+2e^-→Cu,2H⁺+2e^-→H₂。

11.如权利要求7所述的一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，其特征在于：所述第一清洗间内漂洗水盐含量的补充过程具体步骤为：通过电渗析器的第四阳极室的如下反应式产生酸:H₂O→2H⁺+1/2O₂+2e^-,Cl^-+3H₂O→ClO₃ ^-+6H⁺+6e^-；通过第四阴极室的如下反应式回收铜：Cu²⁺+2e^-→Cu,2H⁺+2e^-→H₂。

12.如权利要求7所述的一种漂洗水循环系统的漂洗水循环方法，其特征在于：所述电-电渗析器的第三阳极室、电渗析器的第四阳极室产生酸包括盐酸和高氯酸。