CN103721576B - 一种钯膜的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种钯膜的制备方法,其特征在于:采用化学镀法在多孔基体表面沉积一层钯或钯合金膜,将制备的钯膜在一定正压的惰性气氛中烧结,促使微纳尺度钯晶粒重排,使处于晶界相交处的闭孔及晶粒内部孤立的微孔致密,再通过化学修补对剩余的缺陷进行填补。该法可制备出膜层致密、均匀,使用寿命长,透氢性高的钯膜。

Description

一种钯膜的制备方法
技术领域
本发明涉及一种钯膜的制备方法,用于制备膜层致密度极高、透氢性能优良、使用寿命超长的钯膜,可广泛应用于氢气分离。
背景技术
超高纯氢气广泛应用于太阳能光伏、燃料电池、半导体、LED制造等行业,其应用离不开氢气的分离与纯化。氢的分离有变压吸附法(PSA)、变温吸附法(TSA)、深冷法和膜法等,其中膜法由于具有投资少、能耗低、效率高、操作方便等优点已成为研究的热点,该法尤其适用于小型产氢系统。可用于氢分离的膜材料有高分子膜、金属钯及其合金膜、分子筛膜、碳膜和二氧化硅膜等,其中钯及其合金膜因具有透氢性强、选择性高等优点而备受关注。钯膜通过溶解扩散机理进行氢纯化,氢在膜表面化学吸附解离成原子态氢,后者溶解到膜中并在浓度差驱动下移动,在膜另一侧重新结合成分子氢[黄彦,李雪,范益群,徐南平.透氢钯复合膜的研究进展;原理、制备及表征.化学进展,2006,8(2-3):230;俞健,胡小娟,黄彦.多孔不锈钢表面的陶瓷修饰及所负载的透氢钯膜.化学进展.2008,20(7-8):1208.]。
已商业化的钯膜主要为自支撑式钯银和钯铜合金膜,采用滚轧工艺制备,为保持足够强度,厚度在100μm左右,该工艺制备的膜致密度极高,但透氢率低,成本高。由于膜的透氢率与膜厚成反比,所以应降低膜厚以提高氢通量,将钯或钯合金负载于多孔载体上形成的复合膜成为研究热点,膜层厚度为几个微米,透氢率有了极大的提高,适于负载钯的基体有多孔陶瓷、多孔不锈钢和多孔陶瓷/不锈钢复合材料等。
已报道的钯复合膜制备方法有化学镀法(electroless plating)、化学气相沉积法(chemicalvapor deposition)、物理气相沉积法(physical vapor deposition)、电镀法(electroplating)、溅射法(sputtering)等。其中,化学镀法是在无外加电流的情形下,利用自催化反应将金属盐还原沉积成膜的方法。该法几乎能在任何形状的基体上沉积金属,制得的膜厚度均匀、晶粒细小、缺陷少,被公认为制备致密钯复合膜最成功的方法之一。化学镀包括清洗、活化、施镀、后处理等操作步骤,每一步都影响膜层性能。
钯复合膜在制备与使用过程中极易产生缺陷,主要为晶界相交处产生的闭孔和晶粒内部孤立的微孔,这些都会影响透氢纯度和使用寿命。膜层中孤立的微孔可以通过增加膜厚来弥补,但这会降低膜的透氢率。理想的方式是在不增加膜厚的情况下,对膜缺陷进行修补。目前已有很多相关报道,主要使用化学方法进行修补,通过对膜缺陷进行修补,选择性有了明显提高,且膜层厚度增加较少,但修补后的钯复合膜在使用过程中也极易产生上述缺陷,势必影响钯膜使用寿命,减少钯膜使用过程中的再生缺陷是非常重要的。膜层中晶界相交处的闭孔同样会降低膜的透氢率和使用寿命,文献中关于消除此类型的孔报道很少。因此如何制备膜层完全致密、均匀,长时间使用无缺陷,透氢性强的钯复合膜是研究的重点,对于钯复合膜的产业化有着重要意义。
发明内容
本发明的目的:提供一种钯膜的制备方法,该法可有效消除膜层晶界相交处的闭孔及晶粒内部孤立的微孔,提高膜层致密度,所制钯膜使用寿命长,产氢纯度高。
本发明的技术方案是:采用化学镀法在多孔基体上制备钯或钯合金膜,将制备的钯复合膜在惰性气体中进行烧结,促使微纳尺度钯晶粒进行重排,使处于晶界相交处的闭孔及晶粒内部孤立的微孔致密,再通过化学修补消除剩余缺陷。
本发明的具体技术方案为:一种钯膜的制备方法,具体步骤如下:
(1)采用化学镀的方法,将多孔基体经预处理、敏化、活化、施镀、清洗后在其表面制得膜厚3~5μm的纯钯膜;对于钯合金膜,在纯钯膜上进行化学镀或电镀沉积另外一种金属,再进行合金化。
(2)进行施压烧结。对烧结炉抽真空,真空度控制在100Pa以下,升温至烧结温度,向炉内充气体达指定压力,首先对膜两侧都进行施压烧结,然后卸去基体侧高压继续进行单侧施压烧结(如图1),达到烧结时间后,抽真空、冷却,加热炉降至室温,开炉取出样品。
(3)对制得的钯膜进行化学修补,清洗烘干后测试其氮气通量。
钯复合膜基体主要为多孔陶瓷、多孔不锈钢或多孔陶瓷/不锈钢复合材料,基体表面最大孔孔径一般为1~10μm,孔径越小,越有利于制备致密的钯膜。采用化学镀法制备钯膜,使用SnCl2/PdCl2法对基体进行活化,活化后的基体置于镀液中制膜,所用镀钯液组成为PdCl22~6g/L、Na2EDTA20~80g/L、浓氨水100-400ml/L,还原剂为N2H40.1~1mol/L,最终得到膜厚为3~5μm的钯膜,经去离子水漂洗除去膜层中有机物,干燥得到所需钯膜。若制备钯合金膜(钯银、钯铜),在已制备的纯钯膜表面通过电镀或化学镀沉积另外一种金属,银化学镀液组成为AgNO32~10g/L、Na2EDTA20~50g/L、氨水300~600ml/L,还原剂为N2H40.1~1mol/L;银电镀液组成AgNO350~60g/L、硫代硫酸铵200~260g/L、焦硫酸钾90~110g/L、硼酸25~35g/L;铜化学镀液组成CuSO4·5H2O5~15g/L、酒石酸钾钠40~50g/L、NaOH5~20g/L,还原剂为N2H40.1~1mol/L;铜电镀液组成CuSO4·5H2O150~200g/L、硫酸50~70g/L、氯离子20~80mg/L、聚乙二醇0.05~0.1g/L、乙撑硫脲0.2~0.7mg/L。膜层厚度可通过使用镀液的体积进行控制,实际厚度可通过化学镀前后基体质量差进行计算。
化学镀制备的钯膜膜层基本致密,且对除氢气及其同位素外的任何气体均致密,因此优先采用氮气、氩气、氦气等惰性气体对钯膜进行施压烧结,气源压力通过钢瓶或增压泵提供,压力0.5~50MPa。钯的熔点为1554℃,钯膜是由钯晶粒组成,其粒径范围为几至几百纳米,纯钯膜常压晶粒重排的起始温度为350~450℃,综合考虑纯钯膜烧结温度为150~400℃,升温过程速率2~4℃/min,在烧结温度保温0.5~3h,降温速率控制在4℃/min左右。对于钯合金膜的制备,施压烧结就是合金化的过程,文献中报道的钯膜合金化温度为400~800℃,所以钯合金膜的烧结温度采用400~800℃,升温速率2~4℃/min,在烧结温度保温10~15h,降温速率在4℃/min左右。
钯膜在制备和使用过程中容易形成微纳尺度的闭孔和微孔,这些会影响膜的致密性、透氢性及使用寿命,膜缺陷可通过化学修补来解决,但修补效果有限,且无法减少膜使用过程中的再生缺陷,而膜内部的闭孔无法通过修补解决,关于消除钯复合膜闭孔的报道很少。将化学镀法制备的钯复合膜进行施压烧结,可有效消除钯膜本身具有的闭孔和微孔,且保证在使用过程中不会有缺陷的再生成,延长了钯复合膜的使用寿命。施压烧结过程中,钯晶粒运动激烈程度提高,膜层孔隙内压力较低,惰性气体产生的高压使膜层钯晶粒受到垂直于膜层的压应力作用,增加垂直方向上的烧结驱动力,使得垂直膜层方向上钯晶粒结合速度加快,微纳尺度的闭孔和微孔体积逐渐变小;在水平方向上,钯晶粒受垂直的压力发生塑性形变,导致与水平方向相邻粒子发生挤压,闭孔和微孔周围粒子进行结合,膜层孔隙体积减小以至消失,膜层致密度提高,且位置保持相对稳定(如图2)。该过程分两步进行,首先膜两侧都通高压惰性气体进行烧结,一段时间后,卸掉基体侧气体压力,再进行烧结,这样不仅可以使膜层更加致密,而且可以增加膜层与基体的结合力。施压烧结后的膜厚度有一定的降低,致密度有了很大提高,在使用之前,将钯膜经氢气还原以除去膜层可能存在的氧化物。
钯合金膜的制备工艺是在多孔基体上依次沉积不同金属,然后进行合金化,现报道的钯膜合金化大多是在惰性气氛下高温处理。将施压烧结用于钯合金膜的制备,达到合金化和提高致密度同时进行的目的,该法能强化金属之间的相互扩散,促使钯和其他金属的合金程度更完全,得到的钯合金膜组成更均匀、致密。施压烧结中,惰性气体产生的高压,增加了垂直膜层方向的烧结驱动力,促使两种金属界面的不同金属晶粒之间进行相互扩散,两种金属本身及界面之间存在的闭孔和微孔都能被填补,达到促进致密的效果。而在水平方向,同纯钯膜一样,垂直方向受力产生的形变,使水平方向钯晶粒结合紧密,膜闭孔和微孔逐渐消失,金属晶粒之间空隙减小,膜层致密度增加。
经施压烧结处理后的钯膜,使用寿命和膜层致密度有了极大提高,为进一步增加膜的H2/N2选择性,对上述钯膜进行化学修补,即可将剩余的数量极小的缺陷填补致密。
本发明的有益效果:本发明提供了一种钯膜的制备方法,该工艺有效消除膜层晶界相交处的闭孔及晶粒内部孤立的微孔,提高了膜层致密度、均匀性、使用寿命及透氢性能。本发明尤其适用于钯合金膜的制备,将施压烧结和合金化同时进行,所制合金膜性能优越。本发明设备简单,操作容易,效果显著,易实现产业化。
附图说明
图1钯膜施压烧结方式:1-膜层,2-基体,A-双侧施压,B-单侧施压。
图2钯膜施压烧结过程:1-钯晶粒,2-微孔,3-晶界,4-闭孔;A-原始膜层形态,B-气压烧结中,C-结束膜层形态。
具体实施方式
实施例中氮气通量测试在压力1bar,室温20℃时测试得到。
实施例1
采用本发明在管状多孔陶瓷基体外表面制备钯膜,包括以下步骤:
(1)所用基体为管状多孔陶瓷,其外径13mm,内径8mm,长80mm,表面最大孔径2.6μm。对基体进行清洗,烘干后备用。
(2)采用SnCl2/PdCl2活化法对上述基体外表面进行活化,敏化液含SnCl24g/L、盐酸1ml/L,活化液含PdCl20.2g/L、盐酸1ml/L,经敏化活化处理4次。
(3)将活化后的基体浸入镀液开始化学镀,镀液组成:PdCl25g/L、Na2EDTA50g/L、氨水250ml/L,镀液温度30℃。还原剂为0.4mol/L联氨溶液。
(4)通过使用镀液量估算膜厚达5μm时,停止化学镀。将钯膜经热的去离子水漂洗,放入烘箱干燥。根据基体的增重计算,钯膜厚度为4.9μm,测得其氮气通量为1.52ml/min。
(5)将(4)中的钯膜置于施压烧结装置中,抽真空,加热到烧结温度380℃,升温速率3℃/min,炉内通入高纯氮气,压力为7MPa,双面施压烧结2.5h,单面施压烧结0.5h,降温,降温速率5℃/min。测得钯膜氮气通量降为0.41ml/min。
(6)对上述钯膜进行化学修补,将0.1mol/L的联氨置于陶瓷管内管,镀液在管外,其组成:PdCl25g/L、Na2EDTA50g/L、氨水250ml/L,通过载体的移动对镀液进行搅拌。修补结束后,钯膜清洗烘干,测得钯膜氮气通量降为0.22ml/min。钯膜使用900h后,测得钯膜氮气通量为0.32ml/min。
实施例2
采用本发明在管状多孔不锈钢基体外表面制备钯膜,包括以下步骤:
(1)所用基体为管状多孔不锈钢,其外径12mm,内径7mm,长80mm,表面最大孔径6.5μm。对基体进行清洗,烘干后备用。
(2)同实施例1的步骤(2)(3)(4)(5),但当钯膜厚度达10μm时停止化学镀,根据基体的增重计算,钯膜厚度为9.7μm,测得其氮气通量为3.8ml/min。施压烧结后的通量降为1.35ml/min。
(3)对上述钯膜进行化学修补,修补液选用0.001mol/L的Pd(OH)2胶体,膜管浸入修补液使Pd(OH)2胶体渗入基体孔道,再将其烘干置于0.5mol/L的联氨溶液中还原10min,将该钯管置于和步骤3一样组成的镀液中,修补结束后将膜管清洗烘干,测得氮气通量为0.72ml/min。钯膜使用900h后,测得钯膜氮气通量为0.97ml/min。
实施例3
采用本发明在片式多孔陶瓷基体上制备钯膜,包括以下步骤:
(1)所用基体为圆形片式多孔陶瓷,其直径30mm,厚度2mm,表面孔最大孔径2.5μm。对基体进行清洗,烘干后备用。
(2)同实施例1的步骤(2)(3)(4)(5)(6)。但根据基体的增重计算,钯膜厚度为4.9μm,测得施压烧结后氮气通量由0.51ml/min降为0.22ml/min。经联氨修补法处理后,氮气通量为0.10ml/min,钯膜使用900h后,测得氮气通量为0.18ml/min。
实施例4
采用本发明在管式多孔陶瓷基体外表面制备钯银(Pd77Ag23)合金膜,包括以下步骤:
(1)所用基体为管状多孔陶瓷,其外径13mm,内径8mm,长80mm,表面孔最大孔径2.8μm。对基体进行清洗,烘干后备用。
(2)同实施例1的步骤(2)(3)。
(3)同实施例1的步骤(4),但膜厚为3.8μm。
(4)在(3)中钯膜表面进行化学镀银,银镀液组成:AgNO35g/L、Na2EDTA35g/L、氨水250ml/L,还原剂为联氨溶液0.2mol/L,反应温度30℃。
(5)至银膜厚为1.2μm,停止化学镀银。将制备的钯银膜用热的去离子水漂洗,放入烘箱干燥。
(6)如实施例1的步骤(5),但压力为10MPa,烧结温度为650℃,双侧施压烧结为8.5h,单侧施压烧结0.5h,升温速率3℃/min,降温速率5℃/min。根据基体的增重计算,钯银膜厚度为4.8μm,测得其氮气通量为0.25ml/min。
(7)如实施例1的步骤(6),测得修补后的氮气通量为0.14ml/min,钯膜使用900h后氮气通量为0.22ml/min。
实施例5
采用本发明在管式多孔陶瓷基体上制备钯铜(Pd60Cu40)合金膜,包括以下步骤:
(1)所用基体为管状多孔陶瓷,其外径13mm,内径8mm,长80mm,表面孔最大孔径2.4μm。对基体进行清洗,烘干后备用。
(2)同实施例1的步骤(2)(3)。
(3)同实施例1的步骤(4),但膜厚为3.6μm。
(4)在(3)中钯膜表面进行电镀铜,电镀液组成:CuSO4·5H2O150~200g/L、硫酸50~70g/L、氯离子20~80mg/L、聚乙二醇0.05~0.1g/L、乙撑硫脲0.2~0.7mg/L。电流密度1.5A/dm2,电镀温度30℃。
(5)至铜膜厚为1.4μm,停止化学镀铜。将制备的钯铜膜用热的去离子水漂洗,放入烘箱干燥。
(6)如实施例1的步骤(5),但压力为10MPa,烧结温度为550℃,双侧施压烧结为8.5h,单侧施压烧结0.5h,升温速率3℃/min,降温速率5℃/min。根据基体的增重计算,钯铜膜厚度为5.0μm,测得其氮气通量为0.35ml/min。
(7)如实施例1的步骤(6),测得修补后的氮气通量为0.19ml/min,钯膜使用900h后氮气通量为0.27ml/min。
实施例6
采用本发明对一个有缺陷的钯管进行修补。
(1)所用样品为一个有缺陷的纯金属钯膜管,外径13mm,内径8mm,长80mm,膜厚4μm,基体为多孔陶瓷。测得其氮气通量为4.02ml/min。
(2)由于其缺陷较多,先进行化学修补,同实施事例1的步骤(6)中的修补过程一样,修补厚度约为1μm,钯膜清洗烘干后测得氮气通量为1.22ml/min。
(3)同实施事例1的步骤(5)对钯膜进行施压烧结后测得氮气通量为0.5ml/min,钯膜使用900h后测得氮气通量为0.51ml/min。

Claims (8)

1.一种钯膜的制备方法,所述的钯膜为纯钯膜或者钯合金膜,其特征在于,包括如下步骤:
步骤(1)、采用化学镀的方法,将多孔基体经预处理、敏化、活化、施镀、清洗后在其表面制得膜厚3~5μm的纯钯膜;在纯钯膜上进行化学镀或电镀沉积另外一种金属,再进行合金化,制得钯合金膜;
步骤(2)、对步骤(1)得到的纯钯膜或钯合金膜进行施压烧结;具体是:对烧结炉抽真空,真空度控制在100Pa以下,升温至烧结温度,向炉内充气体达指定压力,烧结时首先对膜两侧都进行施压烧结,然后卸去基体侧高压继续进行单侧施压烧结,达到烧结时间后,抽真空、冷却,加热炉降至室温,开炉取出样品;步骤(3)、对步骤(2)制得的钯膜进行化学修补,清洗烘干后测试其氮气通量。
2.根据权利要求1所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述基体为多孔陶瓷、多孔不锈钢或多孔陶瓷/不锈钢复合材料。
3.根据权利要求1或2所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述多孔基体的表面最大孔孔径为1~10μm。
4.根据权利要求1所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,化学镀液组成为:PdCl2 2~6g/L、Na2EDTA 20~80g/L、氨水100~400ml/L的溶液,还原剂为0.3~0.9mol/L联氨溶液。
5.根据权利要求1所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述钯合金膜为钯银合金膜或钯铜合金膜;
钯合金膜的制备方法为:通过化学镀或电镀在所述的纯钯膜上沉积银或铜,在一定压力的惰性气体中进行烧结制成钯合金膜;
银化学镀液组成:AgNO32~10g/L、Na2EDTA 20~50g/L、氨水300~600ml/L,还原剂为0.3~0.9mol/L联氨溶液;
银电镀液组成为:AgNO3 50~60g/L、硫代硫酸铵200~260g/L、焦硫酸钾90~110g/L、硼酸25~35g/L;
铜化学镀液组成为:CuSO4·5H2O 5~15g/L、酒石酸钾钠40~50g/L、NaOH 5~20g/L,还原剂为0.3~0.9mol/L联氨溶液;
铜电镀液组成为:CuSO4·5H2O150~200g/L、H2SO450~70g/L、氯离子20~80mg/L、聚乙二醇0.05~0.1g/L、乙撑硫脲0.2~0.7mg/L。
6.根据权利要求1所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,钯膜进行施压烧结所用气体选用氮气、氩气或氦气,气体压力为0.5~50MPa。
7.根据权利要求1所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,纯钯膜烧结温度为150~400℃,烧结温度保温2~5h;钯合金膜烧结温度300~800℃,烧结温度保温8~15h。
8.根据权利要求1所述的钯膜的制备方法,其特征在于,步骤(3)中,化学修补的方法为联氨修补法、Pd(OH)2修补法或反渗透修补法。
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