CN103534827B - 压电促动器、压电振动装置及便携终端 - Google Patents

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Abstract

提供一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长期间驱动也不会从压电元件剥离而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器、压电振动装置及便携终端。本发明的压电促动器(1)具有：压电元件(10)，其具备层叠内部电极(2)及压电体层(3)而成的层叠体(4)和在层叠体(4)的一方主面上与内部电极(2)电连接的表面电极(5)；柔性基板(6)，其一部分通过导电性接合部件(7)接合于一方主面，且具备与表面电极(5)电连接的配线导体(61)，一方主面的至少接合有柔性基板(6)的区域比另一方主面的平坦度差。

Description

压电促动器、压电振动装置及便携终端
技术领域
本发明涉及适合于压电振动装置、便携终端的压电促动器、压电振动装置及便携终端。
背景技术
作为压电促动器，已知有下述压电促动器：如图7所示，使用了在层叠多层内部电极101和压电体层102而成的层叠体103的表面上形成表面电极104而成的双压电晶片型的压电元件10的压电促动器(参照专利文献1)；在压电元件10的主面上利用导电性接合部件106接合柔性基板105，并使压电元件10的表面电极104与柔性基板105的配线导体107电连接的压电促动器(参照专利文献2)。
而且，已知有将双压电晶片型的压电元件的长度方向上的中央部、一端固定于振动板的压电振动装置(参照专利文献3、4)。
【在先技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本特开2002-10393号公报
【专利文献2】日本特开平6-14396号公报
【专利文献3】国际公开第2005/004535号
【专利文献4】日本特开2006-238072号公报
发明内容
【发明要解决的课题】
然而，在以往的压电促动器中，由于在压电元件的平坦度良好的主面上接合柔性基板105，因此由于产生不追随由外部振动、柔性基板105自身的共振引起的促动器的振动的、异常的柔性基板105的振动，从而尤其是在接合部的根部作用有应力集中的负载，而产生柔性基板105从压电元件剥离这样的问题。
本发明是鉴于上述的问题点而做成的，其目的在于提供一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长期间驱动也不会从压电元件剥离、而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器、压电振动装置及便携终端。
【用于解决课题的手段】
本发明的压电促动器的特征在于，具有：压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极；柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体，所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。
另外，本发明的压电振动装置的特征在于，该压电振动装置具有所述压电促动器和接合于所述压电元件的所述另一方主面的振动板。
另外，本发明的便携终端的特征在于，该便携终端具有所述压电促动器、电子电路、显示器和框体，所述压电促动器的所述另一方主面接合于所述显示器或所述框体。
【发明效果】
根据本发明，能够得到一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长时间驱动也不会从压电元件剥离、而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器。
附图说明
图1的(a)是表示本发明的压电促动器的实施方式的一例的概略立体图，图1的(b)是利用(a)所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。
图2的(a)是表示图1的(b)的另一例的概略剖视图，图2的(b)是表示图1的(b)的又一例的概略剖视图。
图3是示意性地表示本发明的实施方式的压电振动装置的概略立体图。
图4是示意性地表示本发明的实施方式的便携终端的概略立体图。
图5是利用图4所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。
图6是利用图4所示的B-B线剖切所得到的概略剖视图。
图7的(a)是表示以往的压电促动器的实施方式的一例的概略立体图，图7的(b)是利用(a)所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。
具体实施方式
关于本发明的压电促动器的实施方式的一例，参照附图，进行详细说明。
图1的(a)是表示本发明的压电促动器的实施方式的一例的概略立体图，图1的(b)是利用图1的(a)所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图。
图1所示的本实施方式的压电促动器1具有：压电元件10，其具备层叠内部电极2及压电体层3而成的层叠体4和在层叠体4的一方主面上与内部电极2电连接的表面电极5；柔性基板6，其一部分通过导电性接合部件7接合于一方主面，且具备与表面电极5电连接的配线导体61，一方主面的至少接合有柔性基板6的区域比另一方主面的平坦度差。
构成压电元件10的层叠体4是层叠内部电极2及压电体层3而成的，具有多个内部电极2沿着层叠方向重叠的活性部41和除此以外的非活性部42，例如形成为长条状。在向便携终端的显示器或框体安装的压电促动器的情况下，作为层叠体4的长度，优选为例如18mm～28mm，更优选为22mm～25mm。层叠体4的宽度优选为例如1mm～6mm，更优选为3mm～4mm。层叠体4的厚度优选为例如0.2mm～1.0mm，更优选为0.4mm～0.8mm。
构成层叠体4的内部电极2是通过与形成压电体层3的陶瓷同时烧成而形成的，由第一极21及第二极22构成。例如，第一极21为接地极，第二极22为正极或负极。通过与压电体层3交替层叠而从上下夹持压电体层3、并按照层叠顺序配置第一极21及第二极22，由此来向夹在第一极21与第二极22之间的压电体层3施加驱动电压。作为其形成材料，可以使用例如以与压电陶瓷的反应性低的银或银-钯合金为主成分的导体或者包含铜、铂等的导体，但也可以使它们含有陶瓷成分、玻璃成分。
在图1所示的例子中，第一极21及第二极22的端部分别交替地向层叠体4的对置的一对侧面导出。在向便携终端的显示器或框体安装的压电促动器的情况下，内部电极2的长度优选为例如17mm～25mm，更优选为21mm～24mm。内部电极2的宽度优选为例如1mm～5mm，更优选为2mm～4mm。内部电极2的厚度优选为例如0.1～5μm。
构成层叠体4的压电体层3由具有压电特性的陶瓷形成，作为这样的陶瓷，可以使用例如由锆钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成的钙钛矿型氧化物、铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等。压电体层3的1层的厚度优选设定为例如0.01～0.1mm，以便于利用低电压来驱动。而且，为了得到大的弯曲振动，优选具有200pm/V以上的压电d31常数。
在层叠体4的一方主面上设有与内部电极2电连接的表面电极5。图1所示的方式中的表面电极5由大面积的第一表面电极51、小面积的第二表面电极52及第三表面电极53构成。例如，第一表面电极51与作为第一极21的内部电极2电连接，第二表面电极52与配置于一方主面侧的作为第二极22的内部电极2电连接，第三表面电极53与配置于另一方主面侧的作为第二极22的内部电极2电连接。在向便携终端的显示器或框体安装的压电促动器的情况下，第一表面电极51的长度优选为例如17mm～23mm，更优选为19mm～21mm。第一表面电极51的宽度优选为例如1mm～5mm，更优选为2mm～4mm。第二表面电极52及第三表面电极53的长度优选为例如1mm～3mm。第二表面电极52及第三表面电极53的宽度优选为例如0.5mm～1.5mm。
另外，压电促动器1具有柔性基板6，该柔性基板6的一部分通过导电性接合部件7接合于构成压电元件10的层叠体4的一方主面。
该柔性基板6具备配线导体61，以通过导电性接合部件7将表面电极5与配线导体61电连接的方式将柔性基板6的一部分接合于层叠体4的一方主面。
柔性基板6是例如在树脂膜中埋设有两根配线导体61的柔性印制配线基板，在一方端上连接有用于与外部电路连接的连接器(未图示)。
作为导电性接合部件7，可以使用导电性粘结剂或焊料等，但优选为导电性粘结剂。这是因为，通过使用例如在聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、硅橡胶、合成橡胶等的弹性模量(杨氏模量)低的树脂中分散由银粉末、金粉末等金属粉末、对树脂球实施了镀Au等的导电被覆的物质等构成的导电粒子而成的导电性粘结剂，与焊料相比，能够减少因振动而产生的应力。更优选的是，在导电性粘结剂中，各向异性导电件较好。各向异性导电件由担任电接合的导电粒子和担任粘结的树脂粘结剂构成。该各向异性导电件在厚度方向上获得导通，在面内方向上获得绝缘，因此，即使是窄间距的配线，在异极的表面电极间也不会发生电短路，能够使与柔性基板6连接的连接部紧凑。
并且，如图1的(b)所示，构成压电元件10的层叠体4的一方主面的至少接合有柔性基板6的区域比另一方主面的平坦度差。
平坦度差是指相对而言不平坦，存在更大的凹凸或高低差，例如为10～200μm的平坦度。
通过使接合有柔性基板6的区域的平坦度差，即使由于不追随由柔性基板自身的共振等引起的促动器的振动的、异常的振动而尤其在接合部的根部作用有应力集中的负载，由于在层叠体4的一方主面的厚度变薄的部位(凹部等)与柔性基板6连接的导电性接合部件7的弹性模量低，因此也能够减少应力。这是由于，在厚度变薄的部位(凹部等)，柔性基板6与层叠体4之间的间隔变长而难以利用1个导电粒子进行接合，由此仅树脂连续，而进行弹性模量低的接合。因此，能够抑制产生柔性基板6从压电元件10剥离这样的问题，能够长期间稳定地进行驱动。而且，通过使平坦度差，能够增加与导电性接合部件7的接合面积，因此，能够进一步提高接合强度。
在此，如图2所示，内部电极2包括第一极21和第二极22，在内部电极2的第一极21及第二极22沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的活性部41与除此以外(活性部41以外)的厚度相对薄的非活性部42之间，在一方主面上设有台阶，柔性基板6可以与一方主面的从活性部41到非活性部42接合。
由此，能够在厚度相对薄的非活性部42的与柔性基板6接合的接合部上更多地设置导电性接合部件7。因此，能够抑制由于不追随的异常的柔性基板6的振动而产生的接合部的应力，尤其是压电元件10外周附近的接合部的应力，能够提高接合的可靠性。需要说明的是，非活性部42除了如图2的(a)所示那样配置在压电元件10的外周之外，也可以如图2的(b)所示那样配置在压电元件10的内侧。
而且，如图1的(a)所示，压电元件10为具有长度方向和宽度方向的长条状体，如图2的(a)所示，内部电极2包括第一极21和第二极22，在内部电极2的第一极21及第二极22沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的宽度方向的中央区域与除此以外(中央区域以外)的厚度相对薄的宽度方向的端部区域之间，在一方主面上设有台阶，柔性基板6可以与一方主面的从宽度方向的中央区域到宽度方向的端部区域接合。
由此，在厚度相对薄的端部区域的与柔性基板6接合的接合部能够设置更多的导电性接合部件7。因此，能够抑制裂纹以端部区域为起点而进入导电性接合部件7，即使在由图2的(a)的区域A包围的柔性基板6的根部作用有负载的情况下，柔性基板6也不会从压电元件10剥离。而且，即使在柔性基板6因外部要因而发生振动的情况下，设于厚度相对薄的端部区域的更多的导电性接合部件7也能够吸收该振动，因此能够减少压电元件10产生不必要的振动的情况。
另外，通过将压电元件10的另一方主面形成为平坦，在例如将另一方主面贴合于施加振动的对象物(例如后述的振动板等)时，容易与施加振动的对象物成为一体而发生弯曲振动，作为整体能够提高弯曲振动的效率。
需要说明的是，图1所示的压电促动器1是所谓双压电晶片型的压电促动器，是从表面电极5输入电信号而使一方主面及另一方主面以成为弯曲面的方式进行弯曲振动的结构，但作为本发明的压电促动器，并不局限于双压电晶片型，也可以是单晶型，例如通过将压电促动器的另一方主面接合(贴合)于后述的振动板，即使是单晶型也能够发生弯曲振动。
对本实施方式的压电促动器1的制造方法进行说明。
首先，制作成为压电体层3的陶瓷生片。具体而言，将压电陶瓷的煅烧粉末、由丙烯酸系、丁醛系等的有机高分子构成的粘合剂、增塑剂混合而制作陶瓷浆料。然后，通过使用刮刀法、辊涂法等的流延成型法，使用该陶瓷浆料来制作陶瓷生片。作为压电陶瓷，只要具有压电特性即可，可以使用例如由锆钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成的钙钛矿型氧化物等。而且，作为增塑剂，可以使用邻苯二甲酸二丁酯(DBP)、邻苯二甲酸二辛酯(DOP)等。
接着，制作成为内部电极2的导电性糊剂。具体而言，通过向银-钯合金的金属粉末中添加混合粘合剂及增塑剂而制作导电性糊剂。使用丝网印刷法以内部电极2的图案将该导电性糊剂涂敷在上述的陶瓷生片上。然后，将印刷有该导电性糊剂的陶瓷生片层叠多张，以规定的温度进行了脱粘合剂处理之后，以900～1200℃的温度烧成，使用平面磨床等以成为规定的形状的方式实施磨削处理，由此制作出具备交替层叠的内部电极2及压电体层3的层叠体4。
在这样的制造工序中，在将印刷有导电性糊剂的陶瓷生片层叠多张之后，例如使用具有凹部的金属模具或树脂模具作为冲压装置的上侧(一方主面侧)的模具，并使用平坦的金属模具或树脂模具作为冲压装置的下侧(另一方主面侧)的模具，由此能够制作出图1的(b)所示的形状的压电促动器1。
层叠体4并不限定于通过上述的制造方法制作，只要能够制作层叠多层内部电极2和压电体层3而成的层叠体4即可，可以通过任意的制造方法来制作。
然后，在混合以银为主成分的导电粒子与玻璃而成的混合物中添加粘合剂、增塑剂及溶剂而制作含银玻璃的导电性糊剂，将该导电性糊剂通过丝网印刷法等以表面电极5的图案印刷于层叠体4的主面及侧面并使其干燥，之后以650～750℃的温度进行烧结处理，形成表面电极5。
需要说明的是，在将表面电极5与内部电极2电连接时，可以形成贯通压电体层3的通孔来连接，也可以在层叠体4的侧面形成侧面电极，可以通过任意的制造方法来制作。
接着，使用导电性接合部件7，将柔性基板6连接固定(接合)于压电元件10。
首先，使用丝网印刷等方法在压电元件10的规定位置涂敷形成导电性接合部件用糊剂。然后，通过在使柔性基板6抵接的状态下使导电性接合部件用糊剂固化，而将柔性基板6连接固定于压电元件10。需要说明的是，导电性接合部件用糊剂也可以涂敷形成在柔性基板6侧。
在导电性接合部件7为导电性粘结剂的情况下，且构成导电性粘结剂的树脂由热塑性树脂构成的情况下，在将导电性粘结剂涂敷形成在压电元件10或柔性基板6的规定位置之后，在使压电元件10和柔性基板6隔着导电性粘结剂抵接的状态下进行加热加压，由此热塑性树脂软化流动，然后返回常温，由此再次使热塑性树脂固化，从而将柔性基板6连接固定于压电元件10。
尤其是使用各向异性导电部件作为导电性接合部件7时，需要控制加压量，以避免接近的导电粒子发生接触。
另外，在上述中，示出了将导电性粘结剂涂敷形成于压电元件10或柔性基板6的方法，但也可以在将预先形成为片状的导电性粘结剂的片夹在压电元件10与柔性基板6之间的状态下进行加热加压来进行接合。
如图3所示，本发明的压电振动装置具有压电促动器1和与压电促动器1的另一方主面接合的振动板81。
振动板81具有矩形的薄板状的形状。振动板81可以优选使用丙烯酸树脂、玻璃等的刚性及弹性大的材料来形成。而且，振动板81的厚度设定为例如0.4mm～1.5mm。
振动板81通过接合构件82接合于压电促动器1的另一方主面。通过接合构件82可以将另一方主面的整面接合于振动板81，也可以将另一方主面的大致整面接合于振动板81。
接合构件82具有膜状的形状。而且，接合构件82由比振动板81柔软且容易变形的构件形成，接合构件82的杨氏模量、刚性模量、体积弹性模量等的弹性模量、刚性比振动板81小。即，接合构件82能够变形，在施加相同的力时，比振动板81变形得大。并且，在接合构件82的一方主面(图的+z方向侧的主面)上整体地固定有压电促动器1的另一方主面(图的-z方向侧的主面)，在接合构件82的另一方主面(图的-z方向侧的主面)上固定有振动板81的一方主面(图的+z方向侧的主面)的一部分。
接合构件82可以是单一的构件，也可以是由几个构件构成的复合体。作为这样的接合构件82，可以优选使用例如在由无纺布等构成的基材的两面上附着有粘着剂的双面粘合带、作为具有弹性的粘结剂的各种弹性粘结剂等。而且，接合构件82的厚度优选比压电促动器1的弯曲振动的振幅大，但是过厚的话会使振动衰减，因此设定为例如0.1mm～0.6mm。但是，在本发明的压电振动装置中，并不限定接合构件82的材质，接合构件82也可以由比振动板81硬且难以变形的材质形成。而且，根据情况的不同，也可以是不具有接合构件82的结构。
具备这样的结构的本例的压电振动装置通过施加电信号而使压电促动器1弯曲振动，由此作为使振动板81振动的压电振动装置发挥功能。需要说明的是，振动板81的长度方向上的另一方端部(图的-y方向端部、振动板81的周缘部等可以由未图示的支承构件支承。
本例的压电振动装置使用减少了不必要的振动的发生的压电促动器1构成，因此能够形成为减少了不必要的振动的发生的压电振动装置。
另外，本例的压电振动装置在压电促动器1的平坦的另一方主面上接合振动板81。由此，能够形成为将压电促动器1与振动板81牢固接合的压电振动装置。
如图4～图6所示，本发明的便携终端具有压电促动器1、电子电路(未图示)、显示器91和框体92，压电促动器1的另一方主面接合于框体92。需要说明的是，图4是示意性地表示本发明的便携终端的概略立体图，图5是利用图4所示的A-A线剖切所得到的概略剖视图，图6是利用图4所示的B-B线剖切所得到的概略剖视图。
在此，压电促动器1与框体92优选使用能够变形的接合构件来接合。即，在图5及图6中，接合构件82是能够变形的接合构件。
通过利用能够变形的接合构件82将压电促动器1与框体92接合，从而在从压电促动器1传递有振动时，能够变形的接合构件82比框体92变形得大。
此时，利用能够变形的接合构件82能够缓和从框体92反射的反相位的振动，因此压电促动器1不会受到周围的振动的影响而能够向框体92传递强振动。
其中，在接合构件82能够将来自压电促动器1的强振动向框体92传递而吸收从框体92反射的弱振动的方面考虑，优选接合构件82的至少一部分由粘弹性体构成。例如，可以使用包含在由无纺布等构成的基材的两面附着有粘着剂的双面粘合带、具有弹性的粘结剂这样的结构的接合构件，作为它们的厚度，可以使用例如10μm～2000μm的厚度。
并且，在本例中，压电促动器1安装在成为显示器91的罩的框体92的局部，该框体92的局部作为振动板922发挥功能。
需要说明的是，在本例中示出了压电促动器1接合于框体92的情况，但压电促动器1也可以接合于显示器91。
框体92具有1个面开口的箱状的框体主体921和封闭框体主体921的开口的振动板922。该框体92(框体主体921及振动板922)可以优选使用刚性及弹性模量大的合成树脂等的材料来形成。
振动板922的周缘部通过接合件93以能振动的方式安装于框体主体921。接合件93由比振动板922柔软且容易变形的构成形成，比振动板922的杨氏模量、刚性模量、体积弹性模量等的弹性模量、刚性小。即，接合件93能够变形，在施加相同的力时，比振动板922变形得大。
接合件93可以是单一的构件，也可以是由几个构件构成的复合体。作为这样的接合件93，可以优选使用例如在由无纺布等构成的基材的两面附着有粘着剂的双面粘合带等。接合件93的厚度以避免过厚而使振动衰减的方式设定，例如设定为0.1mm～0.6mm。但是，在本发明的便携终端中，接合件93的材质没有限定，接合件93可以由比振动板922硬且难以变形的构件形成。而且，根据情况的不同，也可以是不具有接合件93的结构。
作为电子电路(未图示)，可以例示例如对显示在显示器91上的图像信息、由便携终端传递的声音信息进行处理的电路、通信电路等。可以是这些电路中的至少1个，也可以包含全部的电路。而且，也可以是具有其它功能的电路。此外，也可以具有多个电子电路。需要说明的是，电子电路与压电促动器1由未图示的连接用配线连接。
显示器91是具有显示图像信息的功能的显示装置，可以优选使用例如液晶显示器、等离子显示器及有机EL显示器等已知的显示器。需要说明的是，显示器91可以具有触摸面板那样的输入装置。而且，显示器91的罩(振动板922)也可以具有触摸面板那样的输入装置。此外，显示器91整体或显示器91的一部分可以作为振动板发挥功能。
另外，本发明的便携终端的特征在于，使显示器91或框体92产生通过耳的软骨或气导来传递声音信息的振动。本例的便携终端通过使振动板(显示器91或框体92)直接或通过其它的构件与耳接触，向耳的软骨传递振动，从而能传递声音信息。即，通过使振动板(显示器91或框体92)直接或间接地与耳接触，向耳的软骨传递振动，从而能传递声音信息。由此，能够得到例如即使在周围比较吵闹时也能传递声音信息的便携终端。需要说明的是，存在于振动板(显示器91或框体92)与耳之间的构件例如可以是便携终端的罩，也可以是头戴式耳机或耳机，只要是能够传递振动的构件即可，可以为任意构件。而且，也可以是通过使从振动板(显示器91或框体92)产生的声音在空气中传播来传递声音信息的便携终端。此外，还可以是经由多个路径来传递声音信息的便携终端。
本例的便携终端使用减少了不必要的振动的发生的压电促动器1来传递声音信息，因此能够传递高品质的声音信息。
【实施例】
对本发明的压电促动器的具体例进行说明。具体而言，如下所示地制作图1所示的压电促动器。
压电元件形成为长度23.5mm、宽度3.3mm、厚度0.5mm的长方体状。而且，压电元件形成为将厚度30μm的压电体层与内部电极交替层叠的结构，压电体层的总数为16层。压电体层由锆钛酸铅形成。内部电极使用银钯的合金。
为了使活性部比非活性部厚，在将印刷有由银钯构成的导电性糊剂的陶瓷生片层叠之后，使用具有凹部的树脂的模具作为冲压装置的上侧(与一方主面接触的一侧)的模具，并使用平坦的金属模具作为冲压装置的下侧(与另一方主面接触的一侧)的模具，对层叠体进行冲压，从而制作出活性部比非活性部厚的层叠成形体。
然后，在以规定的温度进行了脱脂之后，以1000℃进行烧成，得到了层叠烧结体。
接着，以表面电极比内部电极在两端各增长1mm的方式进行了印刷。
形成的压电元件在一方主面上，活性部相对于非活性部突出了50μm。另一方面，另一方主面大致平坦。
通过表面电极对内部电极间(第一极间、第二极间)施加2kV/mm的电场强度的电压，对压电元件实施了极化。
然后，在与柔性基板接合的压电元件的表面上涂敷形成包含作为导电粒子的镀金了的树脂球的导电性粘结剂，在使柔性基板抵接的状态下进行加热加压，由此将柔性基板导通、固定于压电元件，从而制作出本发明实施例的压电促动器(试料No.1)。
另外，作为比较例，制作出除了一方主面、另一方主面均平坦以外与上述的试料No.1相同的结构的本发明的范围外的压电促动器(试料No.2)。
并且，对于各个压电促动器，通过柔性基板向压电元件施加1kHz的频率、有效值±10Vrms的正弦波信号，进行了驱动试验，结果试料No.1、2均得到了具有100μm的位移量的弯曲振动。
然后，连续施加10万周期的正弦波信号而进行了驱动试验。本发明的范围外的试料No.2发生异常振动，在9万周期时，柔性基板从压电元件剥离。
另一方面，本发明实施例的试料No.1的压电促动器即使在经过10万周期之后也没有发生异常振动而继续驱动。而且，在将柔性基板连接固定的导电性粘结剂上未观察到裂纹、破裂等，未观察到柔性基板的剥离。
【符号说明】
1：压电促动器
2：内部电极
21：第一极
22：第二极
3：压电体层
4：层叠体
41：活性部
42：非活性部
5：表面电极
51：第一表面电极
52：第二表面电极
53：第三表面电极
6：柔性基板
61：配线导体
7：各向异性导电件
81：振动板
82：接合构件
91：显示器
92：框体
921：框体主体
922：振动板
93：接合件

Claims (9)

1.一种压电促动器，其特征在于，该压电促动器具有：
压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极；
柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体，
所述内部电极包括第一极和第二极，在所述第一极及所述第二极沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的活性部与该活性部以外的厚度相对薄的非活性部之间，在所述一方主面上设有台阶，所述柔性基板与所述一方主面的从所述活性部到所述非活性部的部分接合，
所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。
2.一种压电促动器，其特征在于，该压电促动器具有：
压电元件，其为具有长度方向和宽度方向的长条状体，且具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极；
柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体，
所述内部电极包括第一极和第二极，在所述内部电极的所述第一极及所述第二极沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的所述宽度方向的中央区域与该中央区域以外的厚度相对薄的所述宽度方向的端部区域之间，在所述一方主面上设有台阶，所述柔性基板与所述一方主面的从所述宽度方向的中央区域到所述宽度方向的端部区域的部分接合，
所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。
3.根据权利要求1或2所述的压电促动器，其特征在于，
所述另一方主面是平坦的。
4.根据权利要求1或2所述的压电促动器，其特征在于，
所述导电性接合部件为各向异性导电件。
5.根据权利要求3所述的压电促动器，其特征在于，
所述导电性接合部件为各向异性导电件。
6.一种压电振动装置，其特征在于，
该压电振动装置具有权利要求1～5中任一项所述的压电促动器和接合于所述压电元件的所述另一方主面的振动板。
7.根据权利要求6所述的压电振动装置，其特征在于，
所述压电促动器与所述振动板使用能够变形的接合构件来接合。
8.一种便携终端，其特征在于，
该便携终端具有权利要求1～5中任一项所述的压电促动器、电子电路、显示器和框体，
所述压电促动器的另一方主面接合于所述显示器或所述框体。
9.根据权利要求8所述的便携终端，其特征在于，
所述压电促动器与所述显示器或所述框体使用能够变形的接合构件来接合。
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