KR101571451B1 - 압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말 - Google Patents

압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말 Download PDF

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Abstract

(과제) 압전소자의 진동에 의한 노이즈가 저감된 압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말을 제공한다.
(해결수단) 본 발명의 압전 액츄에이터(1)는 내부 전극 및 압전체층이 적층 된 적층체(11)와, 적층체(11)의 한쪽 주면에 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극(12)을 구비한 압전소자(10)와, 표면 전극(12)과 전기적으로 접속된 플렉시블 기판(2)과, 플렉시블 기판(2) 상에 설치된 완충재(3)를 갖고 있으며, 완충재(3)는 적어도 일부가 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)와 겹치는 제 1 영역(201)에 설치되어 있다.

Description

압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말{PIEZOELECTRIC ACTUATOR, PIEZOELECTRIC VIBRATION DEVICE AND PORTABLE TERMINAL}
본 발명은 압전 진동 장치, 휴대 단말에 바람직한 압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말에 관한 것이다.
압전 액츄에이터로서 내부 전극과 압전체층이 복수 적층된 적층체의 표면에 표면 전극을 형성해서 이루어지는 바이모르프형의 압전소자를 사용한 것이나(특허문헌 1을 참조), 압전소자와 플렉시블 기판을 도전성 접속부재로 접합하고, 압전소자의 표면 전극과 플렉시블 기판의 배선 도체를 전기적으로 접속시킨 것이 알려져 있다(특허문헌 2를 참조).
일본 특허 공개 2002-10393호 공보 일본 특허 공개 평6-14396호
플렉시블 기판은 일반적으로 폴리이미드 등의 베이스 필름에 배선 도체가 설치된 것이다. 이렇게, 베이스 필름에 사용되는 폴리이미드 등의 수지는 탄성체인 점에서 압전소자의 진동이 플렉시블 기판에 전달되기 쉽다. 따라서, 종래의 압전 액츄에이터는 플렉시블 기판과 압전소자의 접합부와는 반대측의 플렉시블 기판과 외부회로의 접합부(커넥터 접합부)까지 압전소자의 진동이 전해져서 노이즈로서 검출된다는 문제가 있었다.
또, 상기 압전 액츄에이터를 구비한 압전 진동 장치 및 휴대 단말은 압전소자의 진동에 기인하는 노이즈에 의해 품질이 저하되어 버릴 우려가 있었다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로 압전소자의 진동에 의한 노이즈가 저감된 압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 내부 전극 및 압전체층이 적층된 적층체와, 상기 적층체의 한쪽 주면에 상기 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극을 구비한 압전소자와, 상기 표면 전극과 전기적으로 접속된 플렉시블 기판과, 상기 플렉시블 기판 상에 설치된 완충재를 갖고 있고, 상기 완충재는 적어도 일부가 상기 플렉시블 기판에 있어서의 상기 압전소자와 겹치는 제 1 영역에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터이다.
또, 본 발명은 상기 압전 액츄에이터와, 상기 압전소자의 상기 다른쪽 주면에 접합된 진동판을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 진동 장치이다.
또, 본 발명은 상기 압전 액츄에이터와, 전자회로와, 디스플레이와, 하우징을 갖고 있고, 상기 압전 액츄에이터의 다른쪽 주면이 상기 디스플레이 또는 상기 하우징에 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 휴대 단말이다.
(발명의 효과)
본 발명의 압전 액츄에이터에 의하면, 압전소자로부터의 진동을 흡수하는 완충재를 설치함으로써 압전소자의 진동이 감쇠되어 커넥터 접합부까지 전해지기 어려워져 노이즈를 저감할 수 있다.
또, 상기 압전 액츄에이터를 구비한 압전 진동 장치 및 휴대 단말은 압전소자의 진동에 기인하는 노이즈의 저감에 의해 고품질의 상태를 유지할 수 있다.
도 1(a)는 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 일례를 나타내는 개략 사시도이며, (b)는 (a)에 나타내는 A-A선으로 절단한 개략 단면도이다.
도 2는 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 다른 예를 나타내는 개략 사시도이다.
도 3은 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 다른 예를 나타내는 개략 사시도이다.
도 4는 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 다른 예를 나타내는 개략 사시도이다.
도 5는 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 다른 예를 나타내는 개략 사시도이다.
도 6은 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 다른 예를 나타내는 개략 사시도이다.
도 7(a)∼(d)는 도 1에 나타내는 압전 액츄에이터의 실시형태의 베리에이션을 나타내는 개략 평면도이다.
도 8(a)∼(d)는 도 2에 나타내는 압전 액츄에이터의 실시형태의 베리에이션을 나타내는 개략 평면도이다.
도 9(a)∼(d)는 도 4에 나타내는 압전 액츄에이터의 실시형태의 베리에이션을 나타내는 개략 평면도이다.
도 10(a)∼(d)는 도 6에 나타내는 압전 액츄에이터의 실시형태의 베리에이션을 나타내는 개략 평면도이다.
도 11은 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 다른 예를 나타내는 개략 단면도이다.
도 12는 본 발명의 압전 진동 장치의 실시형태를 모식적으로 나타내는 개략 사시도이다.
도 13은 본 발명의 휴대 단말의 실시형태를 모식적으로 나타내는 개략 사시도이다.
도 14는 도 13에 나타내는 A-A선으로 절단한 개략 단면도이다.
도 15는 도 13에 나타내는 B-B선으로 절단한 개략 단면도이다.
본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 일례에 대해서 도면을 참조해서 상세하게 설명한다.
도 1(a)는 본 발명의 압전 액츄에이터의 실시형태의 일례를 나타내는 개략 사시도이며, 도 1(b)는 도 1(a)에 나타내는 A-A선으로 절단한 개략 단면도이다.
도 1에 나타내는 본 실시형태의 압전 액츄에이터(1)는 내부 전극 및 압전체층이 적층된 적층체(11)와, 적층체(11)의 한쪽 주면에 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극(12)을 구비한 압전소자(10)와, 표면 전극(12)과 전기적으로 접속된 플렉시블 기판(2)과, 플렉시블 기판(2) 상에 설치된 완충재(3)를 갖고 있고, 완충재(3)는 적어도 일부가 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)와 겹치는 제 1 영역(201)에 설치되어 있다.
본 예의 압전 액츄에이터(1)는 압전소자(10)를 갖고 있고, 압전소자(10)를 구성하는 적층체(11)는 내부 전극 및 압전체층이 적층되어서 판상으로 형성되어 이루어지는 것이다. 복수의 내부 전극이 적층 방향으로 겹쳐져 있는 활성부와 그 이외의 불활성부를 갖고, 예를 들면 장척상으로 형성되어 있다. 휴대 단말의 디스플레이 또는 하우징에 부착하는 압전 액츄에이터의 경우에는 적층체(11)의 길이로서는 예를 들면 18㎜∼28㎜가 바람직하고, 22㎜∼25㎜가 더욱 바람직하다. 적층체(11)의 폭은 예를 들면 1㎜∼6㎜가 바람직하고, 3㎜∼4㎜가 더욱 바람직하다. 적층체(11)의 두께는 예를 들면 0.2㎜∼1.0㎜가 바람직하고, 0.4㎜∼0.8㎜가 더욱 바람직하다.
적층체(11)를 구성하는 내부 전극은 압전체층을 형성하는 세라믹스와 동시 소성에 의해 형성된 것으로, 제 1 전극 및 제 2 전극으로 한다. 예를 들면, 제 1 전극이 그라운드극이 되고, 제 2 전극이 정극 또는 부극이 된다. 압전체층과 교대로 적층되어서 압전체층을 상하로부터 끼우고 있고, 적층순으로 제 1 전극 및 제 2 전극이 배치되는 것에 의해 이들 사이에 끼워진 압전체층에 구동 전압을 인가하는 것이다. 이 형성 재료로서, 예를 들면 압전 세라믹스와의 반응성이 낮은 은이나 은-팔라듐 합금을 주성분으로 하는 도체, 또는 구리, 백금 등을 포함하는 도체를 사용할 수 있지만, 이들에 세라믹 성분이나 유리 성분을 함유시켜도 좋다.
도시가 생략되지만, 제 1 전극 및 제 2 전극의 단부가 각각 적층체(11)의 대향하는 한 쌍의 측면에 번갈아 도출되어 있다. 휴대 단말의 디스플레이 또는 하우징에 부착하는 압전 액츄에이터의 경우에는 내부 전극의 길이는 예를 들면 17㎜∼25㎜가 바람직하고, 21㎜∼24㎜가 더욱 바람직하다. 내부 전극의 폭은 예를 들면 1㎜∼5㎜가 바람직하고, 2㎜∼4㎜가 더욱 바람직하다. 내부 전극의 두께는 예를 들면 0.1∼5㎛가 바람직하다.
적층체(11)를 구성하는 압전체층은 압전특성을 갖는 세라믹스로 형성된 것으로, 이러한 세라믹스로서, 예를 들면 티탄산 지르콘산납(PbZrO3-PbTiO3)으로 이루어지는 페로브스카이트형 산화물, 니오브산 리튬(LiNbO3), 탄탈산 리튬(LiTaO3) 등을 사용할 수 있다. 압전체층의 1층의 두께는 저전압으로 구동시키기 위해서, 예를 들면 0.01∼0.1㎜로 설정하는 것이 바람직하다. 또한, 큰 굴곡 진동을 얻기 위해서 200pm/V이상의 압전정수(d31)를 갖는 것이 바람직하다.
적층체(11)의 한쪽 주면에는 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극(12)이 설치되어 있다. 도시하지 않지만, 표면 전극(12)은 예를 들면 큰 면적의 제 1 표면 전극, 작은 면적의 제 2 표면 전극 및 제 3 표면 전극으로 구성되어 있다. 그리고, 제 1 표면 전극은 제 1 전극이 되는 내부 전극과 전기적으로 접속되고, 제 2 표면 전극은 한쪽 주면측에 배치된 제 2 전극이 되는 내부 전극과 전기적으로 접속되고, 제 3 표면 전극은 다른쪽 주면측에 배치된 제 2 전극이 되는 내부 전극과 전기적으로 접속되어 있다. 휴대 단말의 디스플레이 또는 하우징에 부착하는 압전 액츄에이터의 경우에는 제 1 표면 전극의 길이는 예를 들면 17㎜∼23㎜가 바람직하고, 19㎜∼21㎜가 더욱 바람직하다. 제 1 표면 전극(121)의 폭은 예를 들면 1㎜∼5㎜가 바람직하고, 2㎜∼4㎜가 더욱 바람직하다. 제 2 표면 전극 및 제 3 표면 전극의 길이는 예를 들면 1㎜∼3㎜로 하는 것이 바람직하다. 제 2 표면 전극 및 제 3 표면 전극의 폭은 예를 들면 0.5㎜∼1.5㎜로 하는 것이 바람직하다.
또, 본 예의 압전 액츄에이터(1)는 플렉시블 기판(2)을 갖고 있고, 이 플렉시블 기판(2)은 압전소자(10)의 표면 전극(12)과 전기적으로 접속되어 있다.
구체적으로는 플렉시블 기판(2)은 예를 들면 수지제의 베이스 필름(21)의 압전소자(10)에 면하는 측의 주면에 2개의 배선 도체(22)가 설치된 플렉시블한 프린트 배선기판이며, 이 배선 도체(22)가 도전성 접합부재(4)를 통해 표면 전극(12)과 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 배선 도체(22)의 일부를 덮도록 커버 필름(23)이 설치되어도 좋고, 이 경우, 제 1 영역(201) 및 그 근방은 커버 필름(23)이 설치되어 있지 않은 것에 의해 확실한 전기적 접속이 얻어진다. 이 플렉시블 기판(2)은 한쪽의 단부에서 압전소자(10)와 접합되고, 다른쪽의 단부(커넥터 접합부)에서 커넥터(5)와 접합되어 있다.
도전성 접합부재(4)는 도전성 접착제나 땜납 등이 사용되지만, 바람직하게는 도전성 접착제인 것이 좋다. 예를 들면 아크릴 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지, 폴리우레탄 수지, 또는 합성 고무 등의 수지 중에 금, 구리, 니켈, 또는 금 도금한 수지볼 등으로 이루어지는 도체입자를 분산시켜서 이루어지는 도전성 접착제를 사용함으로써 땜납에 비해 진동에 의해 발생되는 응력을 저감시킬 수 있기 때문이다. 보다 바람직하게는 도전성 접착제 중에서도 이방성 도전재인 것이 좋다. 이방성 도전재는 전기적 접합을 담당하는 도전입자(41)와 접착을 담당하는 수지 접착제(42)로 이루어진다. 구체적으로는 1개의 도전입자(41)가 표면 전극(12)과 배선 도체(22)에 접하고 있다. 즉, 표면 전극(12)과 배선 도체(22) 사이에 있는 각각의 도전입자가 표면 전극(12)과 배선 도체(22)에 접하고 있는 것이 좋다. 이 이방성 도전재는 두께 방향으로는 도통이 취해지고, 면내 방향으로는 절연이 취해지므로 협피치의 배선에 있어서도 이극의 표면 전극간에서 전기적으로 쇼트되지 않고 플렉시블 기판(2)과의 접속부를 콤팩트하게 할 수 있다.
그리고, 플렉시블 기판(2) 상에는 완충재(3)가 설치되어 있고, 이 완충재(3)는 적어도 일부가 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)와 겹치는 제 1 영역(20)에 설치되어 있다.
이 완충재(3)는 예를 들면 유리 에폭시(FR-4), 콤포지트(CEM-3), 폴리에테르이미드, 폴리이미드, 폴리에스테르 등의 수지, 스테인레스, 알루미늄 및 이들의 합금 등의 금속으로, 예를 들면 두께 50∼200㎛로 된 것이다.
이것에 의해, 압전소자(10)로부터의 진동을 완충재(3)가 흡수하고, 압전소자(10)의 진동이 감쇠되어서 플렉시블 기판(2)과 외부회로를 접속하는 커넥터 접합부에 전해지기 어려워지기 때문에 노이즈가 저감된다.
또, 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)와의 접합면에 있어서의 강도(압착면의 강도)가 향상되어 압착성이 좋아진다. 또한, 완충재(3)에 의해 설치함으로써 열전도가 완만해져서 접합성이 좋아진다. 또한, 완충재(3)로 제조시 등의 압전소자(10)에의 국소적인 응력집중이 완화되어 압전소자(10)의 깨어짐이나 결여 등이 억제된다.
또한, 플렉시블 기판(2) 및 완충재(3)의 형상 및 배치에 대해서는 도 1에 나타내는 형태에 한정되지 않고, 예를 들면 도 7(a)∼(d)에 나타내는 베리에이션의 형태를 채용할 수도 있다. 도 7(a)∼(d)는 여러가지 형태의 플렉시블 기판(2)에 대해서 완충재(3)가 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)와 겹치는 제 1 영역(201)의 내부에 배치되어 있는 예를 나타내고 있다.
여기서, 도 2에 나타낸 바와 같이, 완충재(3)가 압전소자(10)와 겹치는 제 1 영역(201)과, 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)로부터 연장된 영역이며 압전소자(10)와 겹치지 않는 제 2 영역(202)의 경계에 걸쳐서 설치되어 있는 것이 바람직하다. 여기에서, 플렉시블 기판(2)의 압전소자(10)로부터 연장된 영역(제 2 영역(202))이란 배선 도체(22)가 연장되어 있는 방향에 대하여 플렉시블 기판(2)이 연장된 영역을 의미한다. 압전소자(10)의 진동이 전해지는 경로가 되는 제 1 영역(201)과 제 2 영역(202)의 경계에 걸쳐서 완충재(3)가 설치되어 있는 것에 의해 보다 효과적인 배치가 되어 노이즈를 보다 저감시킬 수 있다. 또한, 플렉시블 기판(2)의 절곡도 억제할 수 있어 절곡에 의한 노이즈나 단선을 억제할 수 있다.
여기서, 플렉시블 기판(2) 및 완충재(3)의 형상 및 배치에 대해서는 도 2에 나타내는 형태 이외에, 예를 들면 도 8(a)∼(d)에 나타내는 베리에이션의 형태를 채용할 수도 있다. 도 8(a)∼(d)는 여러가지 형태의 플렉시블 기판(2)에 대해서 완충재(3)가 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)와 겹치는 제 1 영역(201)과, 압전소자(10)와 겹치지 않는 제 2 영역(202)의 경계에 걸쳐서 설치되어 있는 예를 나타내고 있다.
또, 도 3에 나타낸 바와 같이, 완충재(3)는 1쌍 설치되어 있고, 각각의 완충재(3)의 적어도 일부가 제 1 영역(201)과, 플렉시블 기판(2)에 있어서의 압전소자(10)로부터 연장된 영역이며 압전소자(10)와 겹치지 않는 제 2 영역(202)의 경계의 양단부 근방에 위치하는 제 1 영역(201)에 설치되어 있어도 좋다. 여기에서, 플렉시블 기판(2)의 압전소자(10)로부터 연장된 영역(제 2 영역(202))이란 배선 도체(22)가 연장되어 있는 방향에 대하여 플렉시블 기판(2)이 연장된 영역을 의미한다. 이것에 의해, 플렉시블 기판(2)의 비틀림이 억제되므로, 비틀림에 의한 노이즈나 단선을 억제할 수 있다.
또, 도 4에 나타낸 바와 같이, 완충재(3)는 1쌍 설치되어 있고, 각각의 완충재(3)가 제 1 영역(201)과 제 2 영역(202)의 상기 경계의 양단부에 걸쳐서 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 여기에서의 경계란 상술한 플렉시블 기판(2)의 주된 연장영역과 제 1 영역(201)의 경계를 의미한다. 이것에 의해, 플렉시블 기판(2)의 절곡 및 비틀림을 억제할 수 있고, 또한 노이즈나 단선을 억제할 수 있다.
여기서, 플렉시블 기판(2) 및 완충재(3)의 형상 및 배치에 대해서는 도 4에 나타내는 형태 이외에, 예를 들면 도 9(a)∼(d)에 나타내는 베리에이션의 형태를 채용할 수도 있다. 도 9(a)∼(d)는 여러가지 형태의 플렉시블 기판(2)에 대해서 완충재(3)가 1쌍 설치되어 있고, 각각의 완충재(3)가 제 1 영역(201)과 제 2 영역(202)의 경계의 양단부에 걸쳐서 설치되어 있는 예를 나타내고 있다.
또, 도 5에 나타낸 바와 같이, 완충재(3)가 제 1 영역(201)과 제 2 영역(202)의 경계의 전역에 걸쳐서 설치되어 있는 것이 바람직하고, 또한 도 6에 나타낸 바와 같이, 제 1 영역(201)의 전역 및 제 1 영역(201)과 제 2 영역(202)의 경계의 전역에 걸쳐서 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 압전소자(10)의 진동을 흡수하는 부분 전체(진동이 전해지는 경로가 되는 경계의 전체)를 덮도록 완충재가 설치되어 있으므로, 노이즈가 더 억제된다.
여기서, 플렉시블 기판(2) 및 완충재(3)의 형상 및 배치에 대해서는 도 6에 나타내는 형태 이외에, 예를 들면 도 10(a)∼(d)에 나타내는 베리에이션의 형태를 채용할 수도 있다. 도 10(a)∼(d)는 여러가지 형태의 플렉시블 기판(2)에 대해서 완충재(3)가 제 1 영역(201)의 전역 및 제 1 영역(201)과 제 2 영역(202)의 경계의 전역에 걸쳐서 설치되어 있는 예를 나타내고 있다.
또, 도 11에 나타낸 바와 같이, 플렉시블 기판(2)은 베이스 필름(21)과, 베이스 필름(21)의 압전소자(10)에 면하는 측의 주면에 설치된 배선 도체(22)와, 배선 도체(22)의 일부를 덮도록 설치된 커버 필름(23)을 포함하고, 제 1 영역(201) 및 그 근방은 커버 필름(23)이 설치되어 있지 않은 구성이다. 그리고, 완충재(3)가 커버 필름(23)과 겹치는 영역, 예를 들면 0.5∼1㎜ 겹치는 영역까지 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 노출된 배선 도체(22)가 급한 각도로 구부러지는 일이 없으므로, 단선되기 어려운 구조로 할 수 있다.
또, 베이스 필름(21) 및 완충재(3)가 같은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 베이스 필름(21) 및 완충재(3)가 폴리이미드로 이루어짐으로써 같은 열팽창계수를 가지므로 베이스 필름(21)으로부터 완충재(3)가 박리되기 어렵게 할 수 있다.
또, 완충재(3)가 플렉시블 기판(2)의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다. 이것에 의해, 진동을 억제하는 효과가 커지기 때문에 노이즈가 제거된다.
또, 완충재(3)가 예를 들면 에폭시계, 실리콘계, 아크릴 수지계 등의 수지 접착제를 통해 플렉시블 기판(2)의 표면에 접착되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 수지 접착제의 부분에서도 진동을 억제하므로 노이즈가 제거된다.
또한, 압전소자(10)의 다른쪽 주면을 평탄하게 해 둠으로써, 예를 들면 진동을 가하는 대상물(예를 들면 후술하는 진동판 등)에 다른쪽 주면을 접착시킬 때에 진동을 가하는 대상물과 일체로 되어서 굴곡 진동을 일으키기 쉬워져, 전체적으로 굴곡 진동의 효율을 높일 수 있다.
또, 도 1에 나타내는 압전 액츄에이터(1)는 소위 바이모르프형의 압전 액츄에이터로서, 표면 전극(12)으로부터 전기신호가 입력되어서 한쪽 주면 및 다른쪽 주면이 굴곡면이 되도록 굴곡 진동하는 것이지만, 본 발명의 압전 액츄에이터로서는 바이모르프형에 한정되지 않고, 유니모르프형이어도 좋고, 예를 들면 후술하는 진동판에 압전 액츄에이터의 다른쪽 주면을 접합함으로써(접착함으로써), 유니모르프형이어도 굴곡 진동시킬 수 있다.
다음에, 본 실시형태의 압전 액츄에이터(1)의 제조 방법에 대해서 설명한다.
우선, 압전체층이 되는 세라믹 그린시트를 제작한다. 구체적으로는 압전 세라믹스의 하소분말과, 아크릴계, 푸티랄계 등의 유기 고분자로 이루어지는 바인더와, 가소제를 혼합해서 세라믹스 랠리를 제작한다. 그리고, 독터블레이드법, 캘린더롤법 등의 테이프 성형법을 사용함으로써 이 세라믹스 랠리를 사용해서 세라믹 그린시트를 제작한다. 압전 세라믹스로서는 압전특성을 갖는 것이면 좋고, 예를 들면, 티탄산 지르콘산납(PbZrO3-PbTiO3)으로 이루어지는 페로브스카이트형 산화물 등을 사용할 수 있다. 또한, 가소제로서는 프탈산 디부틸(DBP), 프탈산 디옥틸(DOP) 등을 사용할 수 있다.
다음에, 내부 전극이 되는 도전성 페이스트를 제작한다. 구체적으로는 은-팔라듐 합금의 금속분말에 바인더 및 가소제를 첨가 혼합함으로써 도전성 페이스트를 제작한다. 이 도전성 페이스트를 상기 세라믹 그린시트 상에 스크린 인쇄법을 사용해서 내부 전극의 패턴으로 도포한다. 또한, 이 도전성 페이스트가 인쇄된 세라믹 그린시트를 복수매 적층하고, 소정의 온도에서 탈바인더 처리를 행한 후, 900∼1200℃의 온도에서 소성하고, 평면 연삭반 등을 사용해서 소정의 형상이 되도록 연삭 처리를 실시함으로써 교대로 적층된 내부 전극 및 압전체층을 구비한 적층체(11)를 제작한다.
적층체(11)는 상기 제조 방법에 의해 제작되는 것에 한정되는 것은 아니고, 내부 전극과 압전체층을 복수 적층해서 이루어지는 적층체(11)를 제작할 수 있으면, 어떤 제조 방법에 의해 제작되어도 좋다.
그 후, 은을 주성분으로 하는 도전입자와 유리를 혼합한 것에 바인더, 가소제 및 용제를 첨가해서 제작한 은유리 함유 도전성 페이스트를 표면 전극(12)의 패턴으로 적층체(11)의 주면 및 측면에 스크린 인쇄법 등에 의해 인쇄해서 건조시킨 후, 650∼750℃의 온도에서 소성 처리를 행하여 표면 전극(12)을 형성한다.
또한, 표면 전극(12)과 내부 전극을 전기적으로 접속할 경우, 압전체층을 관통하는 비어를 형성해서 접속해도 적층체(11)의 측면에 측면전극을 형성해도 좋고, 어떤 제조 방법에 의해 제작되어도 좋다.
다음에, 플렉시블 기판(2) 및 완충재(3)를 준비한다. 예를 들면, 미리 소망의 형상으로 가공된 예를 들면 두께 125㎛의 폴리이미드 시트(완충재용 멀티 캐비티 시트)를 플렉시블 기판(2)(베이스 필름(21))이 다수 배열된 시트(베이스 필름용 멀티 캐비티 시트)의 배선 도체(22)가 설치되어 있지 않은 측의 면의 소정의 위치에 열경화형 수지 접착제를 사용해서 접착한다. 그리고, 플렉시블 기판(2)을 시트로부터 금형 등을 사용해서 떼어버릴 때(개편으로 할 때)에 완충재(3)도 최종 형상으로 가공된다.
경우에 따라서는 미리 최종형상으로 가공한 완충재(3)를 소정의 위치에 처음부터 접합할 필요가 있다. 예를 들면, 도 1 내지 도 4의 구성으로 하기 위해서는 금형 등으로 형상 가공한 완충재(3)를 플렉시블 기판(2)의 소정 위치에 접착하면 좋다. 이것에 대하여, 예를 들면 도 5 및 도 6의 구성의 경우에는 플렉시블 기판(2)을 플렉시블 기판용 멀티 캐비티 시트로부터 떼어버릴 때에 형상가공이 가능하기 때문에 복수개분의 완충재(3)를 한덩어리의 부품으로서 접착하고, 플렉시블 기판(2)을 떼어버릴 때 아울러 완충재(3)의 형상가공을 행하면 좋다.
다음에, 도전성 접착제를 사용해서 플렉시블 기판(2)을 압전소자(10)에 접속 고정(접합)한다.
우선, 압전소자(10)의 소정의 위치에 도전성 접착제용 페이스트를 스크린 인쇄 등의 방법을 사용해서 도포 형성한다. 그 후, 플렉시블 기판(2)을 접촉시킨 상태에서 도전성 접착제용 페이스트를 경화시킴으로써 플렉시블 기판(2)을 압전소자(10)에 접속 고정한다. 또한, 도전성 접착제용 페이스트는 플렉시블 기판(2)측에 도포 형성해 두어도 좋다.
도전성 접착제를 구성하는 수지가 열가소성 수지로 이루어지는 경우는 도전성 접착제를 압전소자(10) 또는 플렉시블 기판(2)의 소정의 위치에 도포 형성한 후, 압전소자(10)와 플렉시블 기판(2)을 도전성 접착제를 통해 접촉시킨 상태에서 가열 가압함으로써 열가소성 수지가 연화 유동하고, 그 후 상온으로 되돌림으로써 다시 열가소성 수지가 경화되어 플렉시블 기판(2)이 압전소자(10)에 접속 고정된다.
특히, 도전성 접합부재(4)로서 이방성 도전부재를 사용할 경우는 근접하는 도전입자가 접촉하지 않도록 가압량을 제어할 필요가 있다.
또, 상술에서는 도전성 접착제를 압전소자(10) 또는 플렉시블 기판(2)에 도포 형성하는 방법을 나타냈지만, 미리 시트상으로 형성된 도전성 접착제의 시트를 압전소자(10)와 플렉시블 기판(2) 사이에 끼운 상태에서 가열 가압해서 접합해도 좋다.
본 발명의 압전 진동 장치는 도 12에 나타낸 바와 같이, 압전 액츄에이터(1)와, 압전 액츄에이터(1)의 다른쪽 주면에 접합된 진동판(81)을 갖는 것이다.
진동판(81)은 직사각형의 박판상의 형상을 갖고 있다. 진동판(81)은 아크릴 수지나 유리 등의 강성 및 탄성이 큰 재료를 바람직하게 사용해서 형성할 수 있다. 또한, 진동판(81)의 두께는 예를 들면 0.4㎜∼1.5㎜로 설정된다.
진동판(81)은 압전 액츄에이터(1)의 다른쪽 주면에 접합부재(82)를 통해 접합되어 있다. 접합부재(82)를 통해 진동판(81)에 다른쪽 주면의 전면이 접합되어 있어도 좋고, 대략 전면이 접합되어 있어도 좋다.
접합부재(82)는 변형가능한 것이다. 즉, 접합부재(82)는 압전 액츄에이터(1)의 구동에 의해 진동판(81)을 진동시켰을 때에 변형가능하며, 같은 힘이 가해졌을 때에 진동판(81)보다 크게 변형하는 것이다. 이러한 접합부재(82)는 예를 들면 필름상의 형상을 갖고 있다. 그리고, 진동판(81)보다 유연하여 변형되기 쉬운 것으로 형성되어 있고, 진동판(81)보다 영률, 강성률, 체적탄성률 등의 탄성률이나 강성이 작다. 접합부재(82)의 한쪽 주면(도면의 +z방향측의 주면)에는 압전 액츄에이터(1)의 다른쪽 주면(도면의 -z방향측의 주면)이 전체적으로 고착되고, 접합부재(82)의 다른쪽 주면(도면의 -z방향측의 주면)에는 진동판(81)의 한쪽 주면(도면의 +z방향측의 주면)의 일부가 고착되어 있다.
변형 가능한 접합부재(82)로 압전 액츄에이터(1)와 진동판(81)을 접합함으로써 압전 액츄에이터(1)로부터 진동이 전달되었을 때 변형 가능한 접합부재(82)가 진동판(81)보다 크게 변형된다.
이 때, 진동판(81)으로부터 반사되는 역위상의 진동을 변형 가능한 접합부재(82)로 완화시킬 수 있으므로, 압전 액츄에이터(1)가 주위의 진동의 영향을 받지 않고 진동판(81)으로 강한 진동을 전달시킬 수 있다.
그 중에서도 접합부재(82)의 적어도 일부가 점탄성체로 구성되어 있는 것에 의해 압전 액츄에이터(1)로부터의 강한 진동을 진동판(81)으로 전하는 한편, 진동판(81)으로부터 반사되는 약한 진동을 접합부재(82)가 흡수할 수 있는 점에서 바람직하다. 예를 들면, 부직포 등으로 이루어지는 기재의 양면에 점착제가 부착된 양면 테이프나, 탄성을 갖는 접착제를 포함하는 구성의 접합부재를 사용할 수 있고, 이들 두께로서는 예를 들면 10㎛∼2000㎛의 것을 사용할 수 있다.
접합부재(82)는 단일의 것이어도, 몇개의 부재로 이루어지는 복합체이어도 상관없다. 이러한 접합부재(82)로서는 예를 들면, 부직포 등으로 이루어지는 기재의 양면에 점착제가 부착된 양면 테이프나, 탄성을 갖는 접착제인 각종 탄성 접착제 등을 바람직하게 사용할 수 있다. 또한, 접합부재(82)의 두께는 압전 액츄에이터(1)의 굴곡 진동의 진폭보다 큰 것이 바람직하지만, 지나치게 두꺼우면 진동이 감쇠되므로, 예를 들면, 0.1㎜∼0.6㎜로 설정된다. 단, 본 발명의 압전 진동 장치에 있어서는 접합부재(82)의 재질에 한정은 없고, 접합부재(82)가 진동판(81)보다 단단하여 변형되기 어려운 것으로 형성되어 있어도 상관없다. 또한, 경우에 따라서는 접합부재(82)를 갖지 않는 구성이어도 상관없다.
이러한 구성을 구비하는 본 예의 압전 진동 장치는 전기신호를 가함으로써 압전 액츄에이터(1)를 굴곡 진동시키고, 그것에 의해 진동판(81)을 진동시키는 압전 진동 장치로서 기능한다. 또한, 진동판(81)의 길이 방향에 있어서의 다른쪽 단부(도면의 -y방향 단부나 진동판(81)의 둘레가장자리부 등)를 도시가 생략된 지지부재에 의해 지지해도 상관없다.
본 예의 압전 진동 장치는 노이즈가 저감된 압전 액츄에이터(1)를 사용해서 구성되어 있는 점에서 장기간 안정되게 구동하는 고품질의 압전 진동 장치로 할 수 있다.
또, 본 예의 압전 진동 장치는 압전 액츄에이터(1)의 평탄한 다른쪽 주면에 진동판(81)이 접합되어 있다. 이것에 의해, 압전 액츄에이터(1)와 진동판(81)이 강고하게 접합된 압전 진동 장치로 할 수 있다.
본 발명의 휴대 단말은 도 13∼도 15에 나타낸 바와 같이, 압전 액츄에이터(1)와, 전자회로(도시 생략)와, 디스플레이(91)와, 하우징(92)을 갖고 있고, 압전소자(10)의 다른쪽 주면이 하우징(92)에 접합된 것이다. 또한, 도 13은 본 발명의 휴대 단말을 모식적으로 나타내는 개략 사시도이며, 도 14는 도 13에 나타내는 A-A선으로 절단한 개략 단면도, 도 15는 도 13에 나타내는 B-B선으로 절단한 개략 단면도이다.
변형 가능한 접합부재(82)로 압전소자(10)와 하우징(92)을 접합함으로써 압전 액츄에이터(1)로부터 진동이 전달되었을 때, 변형 가능한 접합부재(82)가 하우징(92)보다 크게 변형된다. 이 접합부재(82)는 압전 액츄에이터(1)의 구동에 의해 하우징(92)을 진동시켰을 때에 변형 가능하며, 같은 힘이 가해졌을 때에 하우징(92)보다 크게 변형되는 것이다. 이러한 접합부재(82)는 예를 들면 필름상의 형상을 갖고 있다. 그리고, 하우징(92)보다 유연하여 변형되기 쉬운 것으로 형성되어 있고, 하우징(92)보다 영률, 강성률, 체적탄성률 등의 탄성률이나 강성이 작다.
이 때, 하우징(92)으로부터 반사되는 역위상의 진동을 변형 가능한 접합부재(82)로 완화할 수 있으므로, 압전 액츄에이터(1)가 주위의 진동의 영향을 받지 않고 하우징(92)으로 강한 진동을 전달시킬 수 있다.
그 중에서도 접합부재(82)의 적어도 일부가 점탄성체로 구성되어 있는 것에 의해 압전 액츄에이터(1)로부터의 강한 진동을 하우징(92)으로 전하는 한편 하우징(92)으로부터 반사되는 약한 진동을 접합부재(82)가 흡수할 수 있는 점에서 바람직하다. 예를 들면, 부직포 등으로 이루어지는 기재의 양면에 점착제가 부착된 양면 테이프나, 탄성을 갖는 접착제를 포함하는 구성의 접합부재를 사용할 수 있고, 이들의 두께로서는 예를 들면 10㎛∼2000㎛의 것을 사용할 수 있다.
그리고, 본 예에서는 압전 액츄에이터(1)는 디스플레이(91)의 커버가 되는 하우징(92)의 일부에 부착되며, 이 하우징(92)의 일부가 진동판(922)으로서 기능하게 되어 있다.
또한, 본 예에서는 압전 액츄에이터(1)가 하우징(92)에 접합된 것을 나타냈지만, 압전소자(10)가 디스플레이(91)에 접합되어 있어도 좋다.
하우징(92)은 하나의 면이 개구된 상자상의 하우징 본체(921)와, 하우징 본체(921)의 개구를 막는 진동판(922)을 갖고 있다. 이 하우징(92)(하우징 본체(921) 및 진동판(922))은 강성 및 탄성율이 큰 합성 수지 등의 재료를 바람직하게 사용해서 형성할 수 있다.
진동판(922)의 둘레가장자리부는 하우징 본체(921)에 접합재(93)를 통해 진동 가능하게 부착되어 있다. 접합재(93)는 진동판(922)보다 유연하여 변형하기 쉬운 것으로 형성되어 있고, 진동판(922)보다 영률, 강성률, 체적탄성률 등의 탄성률이나 강성이 작다. 즉, 접합재(93)는 변형 가능하며, 같은 힘이 가해졌을 때에 진동판(922)보다 크게 변형된다.
접합재(93)는 단일의 것이어도, 몇개의 부재로 이루어지는 복합체이어도 상관없다. 이러한 접합재(93)로서는 예를 들면 부직포 등으로 이루어지는 기재의 양면에 점착제가 부착된 양면 테이프 등을 바람직하게 사용할 수 있다. 접합재(93)의 두께는 지나치게 두꺼워서 진동이 감쇠되지 않도록 설정되어 있고, 예를 들면 0.1㎜∼0.6㎜로 설정된다. 단, 본 발명의 휴대 단말에 있어서는 접합재(93)의 재질에 한정은 없고, 접합재(93)가 진동판(922)보다 단단하여 변형되기 어려운 것으로 형성되어 있어도 상관없다. 또한, 경우에 따라서는 접합재(93)를 갖지 않는 구성이어도 상관없다.
전자회로(도시 생략)로서는 예를 들면, 디스플레이(91)에 표시시키는 화상정보나 휴대 단말에 의해 전달하는 음성정보를 처리하는 회로나, 통신 회로 등을 예시할 수 있다. 이들 회로 중 적어도 하나이어도 좋고, 모든 회로가 포함되어 있어도 상관없다. 또한, 다른 기능을 갖는 회로이어도 좋다. 또한, 복수의 전자회로를 갖고 있어도 상관없다. 또한, 전자회로와 압전 액츄에이터(1)는 도시가 생략된 접속용 배선으로 접속되어 있다.
디스플레이(91)는 화상정보를 표시하는 기능을 갖는 표시장치이며, 예를 들면, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 및 유기 EL 디스플레이 등의 기지의 디스플레이를 바람직하게 사용할 수 있다. 또한, 디스플레이(91)는 터치패널과 같은 입력장치를 갖는 것이어도 좋다. 또한, 디스플레이(91)의 커버(진동판(922))가 터치패널과 같은 입력장치를 갖는 것이어도 상관없다. 또한, 디스플레이(91) 전체나, 디스플레이(91)의 일부가 진동판으로서 기능하도록 해도 상관없다.
또, 본 발명의 휴대 단말은 디스플레이(91) 또는 하우징(92)이 귀의 연골 또는 기도를 통해 소리정보를 전달하는 진동을 발생시키는 것을 특징으로 한다. 본 예의 휴대 단말은 진동판(디스플레이(91) 또는 하우징(92))을 직접 또는 다른 것을 통해 귀에 접촉시켜서 귀의 연골에 진동을 전달함으로써 소리정보를 전달할 수 있다. 즉, 진동판(디스플레이(91) 또는 하우징(92))을 직접 또는 간접적으로 귀에 접촉시켜서 귀의 연골에 진동을 전달함으로써 소리정보를 전달할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면, 주위가 시끄러운 때에 있어서도 소리정보를 전달하는 것이 가능한 휴대 단말을 얻을 수 있다. 또한, 진동판(디스플레이(91) 또는 하우징(92))과 귀 사이에 개재하는 것은 예를 들면, 휴대 단말의 커버이어도 좋고, 헤드폰이나 이어폰이어도 좋고, 진동을 전달 가능한 것이면 어떤 것이라도 상관없다. 또한, 진동판(디스플레이(91) 또는 하우징(92))으로부터 발생하는 소리를 공기중에 전파시킴으로써 소리정보를 전달하는 휴대 단말이어도 상관없다. 또한, 복수의 루트를 통해 소리정보를 전달하는 휴대 단말이어도 상관없다.
본 예의 휴대 단말은 노이즈가 저감된 압전 액츄에이터(1)를 사용해서 소리정보를 전달하는 점에서 고품질의 소리정보를 전달할 수 있다.
실시예
본 발명의 압전 액츄에이터의 구체예에 대해서 설명한다.
이하에 나타낸 바와 같이, 압전 액츄에이터를 제작했다.
압전소자는 길이가 23.5㎜이며, 폭이 3.3㎜이며, 두께가 0.5㎜의 직육면체형상으로 했다. 또한, 압전소자는 두께가 30㎛의 압전체층과 내부 전극이 교대로 적층된 구조로 하고, 압전체층의 총수는 16층으로 했다. 압전체층은 티탄산 지르콘산납으로 형성했다. 내부 전극은 은팔라듐의 합금을 사용했다.
은팔라듐을 주성분으로 하는 도전성 페이스트가 인쇄된 세라믹글리신 시트를 적층한 후, 가압 밀착시키고, 소정의 온도에서 탈지를 행한 후, 100O℃에서 소성을 행하여 적층 소결체를 얻었다.
다음에, 은을 주성분으로 하는 도전성 페이스트를 사용해서 표면 전극을 내부 전극보다 폭방향의 양단에서 1㎜씩 길어지도록 인쇄하고, 표면 전극을 얻었다.
표면 전극을 통해 내부 전극 사이(제 1 전극과 제 2 전극 사이)에 2kV/㎜의 전계강도의 전압을 인가해서 압전소자에 분극을 실시했다.
또, 플렉시블 기판 및 완충재는 이하와 같이 제작했다. 우선, 베이스 필름이 다수 배열된 시트(베이스 필름용 멀티 캐비티 시트)로서의 폴리이미드 필름에 접착제를 사용해서 배선 도체가 되는 동박을 접착한다. 이어서, 배선 도체의 도체 패턴을 포토리소그래피 방법을 사용해서 형성하고, 절연과 도체 보호를 위해서 커버 필름이 되는 폴리이미드 필름을 접착제로 접착한다. 이어서, 도금 처리를 실시하고, 완충재가 되는 두께 125㎛의 폴리이미드 시트(완충재용 멀티 캐비티 시트)를 열경화 수지 접착제로 베이스 필름용 멀티 캐비티 시트의 배선 도체가 형성되어 있지 않은 면에 접착하고, 금형에 의해 소망의 형상으로 펀칭함으로써 플렉시블 기판(2) 및 완충재(3)를 제작했다. 완충재는 도 6에 나타낸 바와 같이, 제 1 영역의 전역 및 제 1 영역과 제 2 영역의 경계전역에 걸쳐지도록 설치했다. 또한, 도 11에 나타낸 바와 같이, 완충재가 커버 필름(23)과 1㎜ 겹쳐지도록 완충재의 치수를 결정했다.
그 후, 플렉시블 기판과 접합하는 압전소자의 표면에 도전입자로서 금 도금한 수지볼을 포함한 도전성 접착제를 도포 형성했다.
그 후, 플렉시블 기판을 접촉시킨 상태로 가열 가압함으로써 플렉시블 기판을 압전소자에 도통, 고정하고, 본 발명 실시예의 압전 액츄에이터를 제작했다. 또한, 상술의 도전성 접착제로서는 두께 방향으로는 도통하고, 면내 방향으로는 도통하지 않는 이방성 도전재를 사용했다.
한편, 비교예로서, 완충재를 설치하고 있지 않은 플렉시블 기판을 사용해서 상기 실시예와 동일한 방법으로 압전 액츄에이터를 제작했다.
그리고, 각각의 압전 액츄에이터에 대해서 플렉시블 기판을 통해 압전소자에 1kHz의 주파수로 실효값 1Vrms의 정현파 신호를 인가하고, 임피던스 파형의 관측을 행했다. 그 결과, 본 발명 실시예의 압전 액츄에이터의 임피던스 파형에는 노이즈가 관측되지 않은 것에 반해, 비교예의 압전 액츄에이터의 임피던스 파형에는 노이즈가 관측되었다.
즉, 본 발명의 압전 액츄에이터를 사용함으로써 압전체의 진동이 노이즈로서 커넥터 접합부까지 전달되지 않는 것을 확인할 수 있었다.
1:압전 액츄에이터
10:압전소자
2:플렉시블 기판
201:제 1 영역
202:제 2 영역
21:베이스 필름
22:배선 도체
23:커버 필름
3:완충재
4:도전성 접합부재
41:도전입자
42:수지 접착제
5:커넥터
81:진동판
82:접합부재
91:디스플레이
92:하우징
921:하우징 본체
922:진동판
93:접합재

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 내부 전극 및 압전체층이 적층된 적층체와 그 적층체의 한쪽 주면에 상기 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극을 구비한 압전소자와, 상기 표면 전극과 전기적으로 접속된 플렉시블 기판과, 그 플렉시블 기판 상에 설치된 완충재를 갖고 있으며,
    상기 완충재는 적어도 일부가 상기 플렉시블 기판에 있어서의 상기 압전소자와 겹치는 제 1 영역과, 상기 플렉시블 기판에 있어서의 상기 압전소자로부터 연장된 영역이며 상기 압전소자와 겹치지 않는 제 2 영역의 경계에 걸쳐 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 완충재가 상기 제 1 영역의 전역 및 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역의 경계의 전역에 걸쳐서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  4. 내부 전극 및 압전체층이 적층된 적층체와 그 적층체의 한쪽 주면에 상기 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극을 구비한 압전소자와, 상기 표면 전극과 전기적으로 접속된 플렉시블 기판과, 그 플렉시블 기판 상에 설치된 완충재를 갖고 있으며,
    상기 완충재는 1쌍 설치되어 있고, 각각의 상기 완충재의 적어도 일부가 상기 플렉시블 기판에 있어서의 상기 압전소자와 겹치는 제 1 영역에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    각각의 상기 완충재가 상기 제 1 영역과 상기 플렉시블 기판에 있어서의 상기 압전소자로부터 연장된 영역이며 상기 압전소자와 겹치지 않는 제 2 영역의 경계의 양단부에 걸쳐서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판은 베이스 필름과, 그 베이스 필름의 상기 압전소자에 면하는 측의 주면에 설치된 배선 도체와, 그 배선 도체의 일부를 덮도록 설치된 커버 필름을 포함하고, 상기 제 1 영역은 상기 커버 필름이 설치되어 있지 않은 구성이며, 상기 완충재가 상기 커버 필름과 겹치는 영역까지 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  7. 내부 전극 및 압전체층이 적층된 적층체와 그 적층체의 한쪽 주면에 상기 내부 전극과 전기적으로 접속된 표면 전극을 구비한 압전소자와, 상기 표면 전극과 전기적으로 접속된 플렉시블 기판과, 그 플렉시블 기판 상에 설치된 완충재를 갖고 있으며,
    상기 완충재는 적어도 일부가 상기 플렉시블 기판에 있어서의 상기 압전소자와 겹치는 제 1 영역에 설치되어 있고,
    상기 플렉시블 기판은 베이스 필름 및 그 베이스 필름에 설치된 배선 도체를 구비하고, 상기 베이스 필름 및 상기 완충재가 같은 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 완충재가 상기 플렉시블 기판의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 완충재가 수지 접착제를 통해 상기 플렉시블 기판의 상면에 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터.
  10. 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 압전 액츄에이터와, 상기 압전소자의 상기 한쪽 주면의 반대쪽 주면인 다른쪽 주면에 접합된 진동판을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 진동 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 압전 액츄에이터와 상기 진동판이 변형 가능한 접합부재를 사용해서 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 장치.
  12. 제 2 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 압전 액츄에이터와, 전자회로와, 디스플레이와, 하우징을 갖고 있으며, 상기 압전소자의 다른쪽 주면이 상기 디스플레이 또는 상기 하우징에 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 휴대 단말.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 압전소자와 상기 디스플레이 또는 상기 하우징이 변형 가능한 접합부재를 사용해서 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 휴대 단말.
  14. 삭제
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