CN104350765A - 压电致动器、压电振动装置以及便携终端 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种压电致动器、压电振动装置以及便携终端，降低了由压电元件的振动而导致的噪声。本发明的压电致动器(1)具有：压电元件(10)，其具备：层叠了内部电极以及压电体层的层叠体(11)、和在层叠体(11)的一个主面与内部电极电连接的表面电极(12)；柔性基板(2)，其与表面电极(12)电连接；和缓冲件(3)，其被设置在柔性基板(2)上，缓冲件(3)的至少一部分被设置在柔性基板(2)上的与压电元件(10)重叠的第一区域(201)。

Description

压电致动器、压电振动装置以及便携终端
技术领域
本发明涉及一种适合于压电振动装置、便携终端的压电致动器、压电振动装置以及便携终端。
背景技术
作为压电致动器，已知使用了在层叠有多个内部电极与压电体层的层叠体的表面形成表面电极而成的双压电晶片型的压电元件的装置(参照专利文献1)、通过导电性连接部件来将压电元件与柔性基板接合而使压电元件的表面电极与柔性基板的布线导体电连接的装置(参照专利文献2)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-10393号公报
专利文献2：日本特开平成6-14396号
发明内容
发明要解决的课题
柔性基板一般是在聚酰亚胺等的基体薄膜上设置有布线导体的结构。这样，由于被用于基体薄膜的聚酰亚胺等树脂是弹性体，因此压电元件的振动容易传送到柔性基板。因此，现有的压电致动器存在以下问题：压电元件的振动被传送到与柔性基板和压电元件的接合部相反侧的柔性基板和外部电路的接合部(连接器接合部)，作为噪声而被检测到。
此外，具备上述压电致动器的压电振动装置以及便携终端可能由于起因于压电元件的振动的噪声而导致品质降低。
本发明鉴于上述情况而实现，其目的在于提供一种降低了由压电元件的振动而导致的噪声的压电致动器、压电振动装置以及便携终端。
解决课题的手段
本发明是一种压电致动器，具有：压电元件，其具备：层叠了内部电极以及压电体层的层叠体、和在该层叠体的一个主面与所述内部电极电连接的表面电极；柔性基板，其与所述表面电极电连接；和缓冲件，其被设置在该柔性基板上，所述缓冲件的至少一部分被设置在所述柔性基板的与所述压电元件重叠的第一区域。
此外，本发明是一种压电振动装置，具有：上述的压电致动器；和振动板，其与所述压电元件的所述另一主面接合。
此外，本发明是一种便携终端，具有：上述的压电致动器；电子电路；显示器；和框体，所述压电致动器的另一主面与所述显示器或所述框体接合。
发明效果
根据本发明的压电致动器，通过设置对来自压电元件的振动进行吸收的缓冲件，从而压电元件的振动被衰减，不容易传到连接器接合部，能够降低噪声。
此外，具备上述压电致动器的压电振动装置以及便携终端通过降低起因于压电元件的振动的噪声而能够维持高品质的状态。
附图说明
图1(a)是表示本发明的压电致动器的实施方式的一个例子的示意立体图，(b)是在(a)所示的A-A线处切断的示意剖面图。
图2是表示本发明的压电致动器的实施方式的其他例子的示意立体图。
图3是表示本发明的压电致动器的实施方式的其他例子的示意立体图。
图4是表示本发明的压电致动器的实施方式的其他例子的示意立体图。
图5是表示本发明的压电致动器的实施方式的其他例子的示意立体图。
图6是表示本发明的压电致动器的实施方式的其他例子的示意立体图。
图7(a)～(d)是表示图1所示的压电致动器的实施方式的变形的示意俯视图。
图8(a)～(d)是表示图2所示的压电致动器的实施方式的变形的示意俯视图。
图9(a)～(d)是表示图4所示的压电致动器的实施方式的变形的示意俯视图。
图10(a)～(d)是表示图6所示的压电致动器的实施方式的变形的示意俯视图。
图11是表示本发明的压电致动器的实施方式的其他例子的示意剖面图。
图12是示意性地表示本发明的压电振动装置的实施方式的示意立体图。
图13是示意性地表示本发明的便携终端的实施方式的示意立体图。
图14是在图13所示的A-A线处切断的示意剖面图。
图15是在图13所示的B-B线处切断的示意剖面图。
具体实施方式
参照附图来对本发明的压电致动器的实施方式的一个例子进行详细说明。
图1(a)是表示本发明的压电致动器的实施方式的一个例子的示意立体图，图1(b)是在图1(a)所示的A-A线处切断的示意剖面图。
图1所示的本实施方式的压电致动器1具有：压电元件10，其具备：层叠了内部电极以及压电体层的层叠体11、和在层叠体11的一个主面与内部电极电连接的表面电极12；与表面电极12电连接的柔性基板2；和设置在柔性基板2上的缓冲件3，缓冲件3的至少一部分被设置在柔性基板2的与压电元件10重叠的第一区域201。
本例的压电致动器1具有压电元件10，构成压电元件10的层叠体11是内部电极以及压电体层被层叠而形成为板状而成的结构。具有多个内部电极在层叠方向上重叠的活性部和除此以外的非活性部，形成为例如长条状。在是安装于便携终端的显示器或框体的压电致动器的情况下，层叠体11的长度优选为例如18mm～28mm，更优选为22mm～25mm。层叠体11的宽度优选为例如1mm～6mm，更优选为3mm～4mm。层叠体11的厚度优选为例如0.2mm～1.0mm，更优选为0.4mm～0.8mm。
构成层叠体11的内部电极是通过与形成压电体层的陶瓷同时烧制而形成的，由第一电极以及第二电极构成。例如，第一电极为接地极，第二电极为正极或负极。通过与压电体层交替层叠来从上下夹着压电体层，并按照层叠顺序来配置第一电极以及第二电极，从而向被夹在之间的压电体层施加驱动电压。作为该形成材料，可以使用例如以与压电陶瓷的反应性低的银、银-钯合金为主成分的导体或包含铜、铂等的导体，也可以在这些材料中含有陶瓷成分、玻璃成分。
虽未图示，但第一电极以及第二电极的端部分别被交错地导出到层叠体11的对置的一对侧面。在是安装于便携终端的显示器或框体的压电致动器的情况下，内部电极的长度优选为例如17mm～25mm，更优选为21mm～24mm。内部电极的宽度优选为例如1mm～5mm，更优选为2mm～4mm。内部电极的厚度优选为例如0.1～5μm。
构成层叠体11的压电体层由具有压电特性的陶瓷形成，作为这种陶瓷，可以使用例如由锆钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成的钙钛矿型氧化物、铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等。为了以低电压驱动，压电体层的1层的厚度优选设定为例如0.01～0.1mm。此外，为了得到大的弯曲振动，优选具有200pm/V以上的压电常数d31。
在层叠体11的一个主面，设置有与内部电极电连接的表面电极12。虽未图示，但表面电极12由例如大面积的第一表面电极、小面积的第二表面电极以及第三表面电极构成。并且，第一表面电极与成为第一电极的内部电极电连接，第二表面电极与成为被配置在一个主面侧的第二电极的内部电极电连接，第三表面电极与成为被配置在另一主面侧的第二电极的内部电极电连接。在是安装于便携终端的显示器或框体的压电致动器的情况下，第一表面电极的长度优选为例如17mm～23mm，更优选为19mm～21mm。第一表面电极121的宽度优选为例如1mm～5mm，更优选为2mm～4mm。第二表面电极以及第三表面电极的长度优选为例如1mm～3mm。第二表面电极以及第三表面电极的宽度优选为例如0.5mm～1.5mm。
此外，本例的压电致动器1具有柔性基板2，该柔性基板2与压电元件10的表面电极12电连接。
具体来讲，柔性基板2是在例如树脂制的基体薄膜21的面向压电元件10一侧的主面设置有2根布线导体22的柔性印刷布线基板，该布线导体22通过导电性接合部件4来与表面电极12电连接。另外，也可以按照覆盖布线导体22的一部分的方式设置盖罩薄膜23，在该情况下，通过在第一区域201及其附近不设置盖罩薄膜23，从而得到可靠的电连接。该柔性基板2在一个端部与压电元件10接合，在另一个端部(连接器接合部)与连接器5接合。
导电性接合部件4可使用导电性粘接剂、焊锡等，优选是导电性粘接剂。这是由于通过使用在例如丙烯酸树脂、环氧树脂、硅酮树脂、聚氨酯树脂或合成橡胶等树脂中使由金、铜、镍或镀金的树脂球等构成的导体粒子分散而成的导电性粘接剂，从而与焊锡相比，能够降低由振动而产生的应力。在导电性粘接剂中优选的是各向异性导电材料。各向异性导电材料由负责电接合的导电粒子41与负责粘接的树脂粘接剂42构成。具体来讲，一个导电粒子41与表面电极12和布线导体22相接。也就是说，优选处于表面电极12与布线导体22之间的各个导电粒子与表面电极12和布线导体22相接。由于该各向异性导电材料在厚度方向上导通，在面内方向上绝缘，因此即使在窄间距的布线中，异极的表面电极之间也不会电短路，能够使与柔性基板2的连接部紧凑。
并且，在柔性基板2上设置有缓冲件3，该缓冲件3的至少一部分被设置在柔性基板2的与压电元件10重叠的第一区域20。
该缓冲件3通过例如玻璃环氧(FR-4)、复合材料(CEM-3)、聚醚酰亚胺、聚酰亚胺、聚酯等树脂、不锈钢、铝及其合金等金属，被设为例如厚度50～200μm。
由此，缓冲件3对来自压电元件10的振动进行吸收，压电元件10的振动被衰减而变得不容易传送到连接柔性基板2与外部电路的连接器接合部，因此噪声降低。
此外，柔性基板2的与压电元件10的接合面的强度(压接面的强度)提高，压接性变好。进而，通过设置缓冲件3，热传导变得缓慢，接合性变好。此外，通过缓冲件3，在制造等时向压电元件10的局部应力集中被缓和，压电元件10的破裂、破碎被抑制。
另外，柔性基板2以及缓冲件3的形状以及配置并不限定于图1所示的方式，也可以采用例如图7(a)～(d)所示的变形的方式。图7(a)～(d)对于各种方式的柔性基板2，表示了缓冲件3被配置在柔性基板2的与压电元件10重叠的第一区域201的内部的例子。
这里，如图2所示，优选缓冲件3被设置为横跨第一区域201与第二区域202之间的边界，其中，该第一区域201是与压电元件10重叠的区域，该第二区域202是柔性基板2的从压电元件10延伸出的区域、即不与压电元件10重叠的区域。这里，所谓柔性基板2的从压电元件10延伸出的区域(第二区域202)，是指柔性基板2相对于布线导体22延伸的方向而延伸出的区域。通过将缓冲件3设置为横跨成为压电元件10的振动被传送的路径的第一区域201与第二区域202之间的边界，能够成为更有效的配置，使噪声更加降低。此外，也可以抑制柔性基板2的折弯，并抑制由于折弯而导致的噪声、断路。
这里，对于柔性基板2以及缓冲件3的形状以及配置，除了图2所示的方式，也可以采用例如图8(a)～(d)所示的变形的方式。图8(a)～(d)针对各种方式的柔性基板2，表示了缓冲件3被设置为横跨第一区域201与第二区域202之间的边界的例子，其中，该第一区域201是柔性基板2的与压电元件10重叠的区域，该第二区域202是不与压电元件10重叠的区域。
此外，如图3所示，也可以设置一对缓冲件3，各个缓冲件3的至少一部分被设置在位于第一区域201与第二区域202之间的边界的两端部附近的第一区域201，其中，该第二区域202是柔性基板2的从压电元件10延伸出的区域、即不与压电元件10重叠的区域。这里，所谓柔性基板2的从压电元件10延伸出的区域(第二区域202)，是指柔性基板2相对于布线导体22延伸的方向而延伸出的区域。由此，由于柔性基板2的扭转被抑制，因此能够抑制由于扭转而导致的噪声、断路。
此外，如图4所示，优选设置有一对缓冲件3，各个缓冲件3被设置为横跨第一区域201与第二区域202之间的所述边界的两端部。另外，这里的边界是指上述的柔性基板2的主要延伸区域与第一区域201的边界。由此，能够抑制柔性基板2的折弯以及扭转，能够进一步抑制噪声、断路。
这里，对于柔性基板2以及缓冲件3的形状以及配置，除了图4所示的方式，也可以采用例如图9(a)～(d)所示的变形的方式。图9(a)～(d)针对各种方式的柔性基板2，表示了设置有一对缓冲件3且各个缓冲件3被设置为横跨第一区域201与第二区域202之间的边界的两端部的例子。
此外，如图5所示，优选缓冲件3被设置为横跨第一区域201与第二区域202之间的边界的整个区域，进而，如图6所示，优选被设置为横跨第一区域201的整个区域以及第一区域201与第二区域202之间的边界的整个区域。由此，由于缓冲件被设置为覆盖所有捡拾压电元件10的振动的部分(所有成为振动被传送的路线的边界)，因此噪声被进一步抑制。
这里，对于柔性基板2以及缓冲件3的形状以及配置，除了图6所示的方式，也可以采用例如图10(a)～(d)所示的变形的方式。图10(a)～(d)针对各种方式的柔性基板2，表示了缓冲件3被设置为横跨第一区域201的整个区域以及第一区域201与第二区域202之间的边界的整个区域的例子。
此外，如图11所示，柔性基板2包含：基体薄膜21、被设置在基体薄膜21的面向压电元件10一侧的主面的布线导体22、和被设置为覆盖布线导体22的一部分的盖罩薄膜23，第一区域201及其附近是未设置盖罩薄膜23的结构。并且，优选直至与盖罩薄膜23重叠的区域例如重叠0.5～1mm的区域为止设置缓冲件3。通过该结构，由于露出的布线导体22不会以急剧的角度弯曲，因此能够成为不容易断路的结构。
此外，优选基体薄膜21以及缓冲件3由相同的材质构成。例如，基体薄膜21以及缓冲件3由聚酰亚胺构成，由此具有相同的热膨胀系数，因而能够使缓冲件3不容易从基体薄膜21剥落。
此外，优选缓冲件3比柔性基板2的厚度厚。由此，由于抑制振动的效果变大，因此噪声被除去。
此外，优选缓冲件3通过例如环氧系、硅酮系、丙烯酸树脂系等树脂粘接剂而被粘接于柔性基板2的上表面。由此，树脂粘接剂的部分也能够抑制振动，因此可除去噪声。
另外，通过预先使压电元件10的另一主面平坦，从而在将另一主面与例如施加振动的对象物(例如后述的振动板等)贴合时，与施加振动的对象物成为一体而容易引起弯曲振动，能够作为整体来提高弯曲振动的效率。
此外，虽然图1所示的压电致动器1是所谓的双压电晶片型的压电致动器，是电信号被从表面电极12输入，并按照一个主面以及另一主面成为弯曲面的方式进行弯曲振动的结构，但作为本发明的压电致动器，并不限定于双压电晶片型，也可以是单压电晶片型，例如通过将压电致动器的另一主面与后述的振动板接合(贴合)，从而即使是单压电晶片型也能够进行弯曲振动。
接下来，对本实施方式的压电致动器1的制造方法进行说明。
首先，制作成为压电体层的陶瓷生片。具体来讲，将压电陶瓷的预烧粉末、由丙烯酸系、丁缩醛系等有机高分子构成的粘接剂、可塑剂混合来制作陶瓷浆料。然后，通过使用刮刀法、压辊法等条带成型法，使用该陶瓷浆料来制作陶瓷生片。作为压电陶瓷，只要是具有压电特性的材料即可，例如，可以使用由锆钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成的钙钛矿型氧化物等。此外，作为可塑剂，可以使用邻苯二甲酸二丁酯(DBP)，邻苯二甲酸二辛酯(DOP)等。
接下来，制作成为内部电极的导电性浆料。具体来讲，通过向银-钯合金的金属粉末添加混合粘接剂以及可塑剂来制作导电性浆料。使用丝网印刷法，以内部电极的图案将该导电性浆料涂敷在上述的陶瓷生片上。进而，层叠多张印刷有该导电性浆料的陶瓷生片，在以规定的温度进行脱粘接剂处理之后，以900～1200℃的温度进行烧制，使用平面磨削盘等来以成为规定的形状的方式实施磨削处理，由此制作具备交替层叠的内部电极以及压电体层的层叠体11。
层叠体11并不仅限于通过上述的制造方法来制作，只要能够制作出将内部电极与压电体层层叠多个而成的层叠体11，通过什么样的制造方法来制作都可以。
然后，将混合了以银为主成分的导电粒子与玻璃而成的物质中添加粘接剂、可塑剂以及溶剂而制作的含有银玻璃的导电性浆料，通过丝网印刷法等以表面电极12的图案印刷在层叠体11的主面以及侧面并使其干燥，然后，以650～750℃的温度进行烧结处理，形成表面电极12。
另外，在将表面电极12与内部电极电连接的情况下，可以形成贯通压电体层的孔来进行连接，也可以在层叠体11的侧面形成侧面电极，可以通过任何的制造方法来制作。
接下来，准备柔性基板2以及缓冲件3。例如，将预先加工为所希望的形状的例如厚度为125μm的聚酰亚胺片(可制得多个缓冲件用的片)，使用热固化型树脂粘接剂，贴合在排列有多个柔性基板2(基体薄膜21)的片(可制得多个基体薄膜用的片)的未设置布线导体22一侧的面的规定位置。然后，在使用模具等来将柔性基板2从片上切取时(使其为单片时)，缓冲件3也被加工为最终形状。
根据情况不同，有时需要从最初就将预先加工为最终形状的缓冲件3贴合在规定位置。例如，为了成为图1至图4的结构，将通过模具等进行形状加工后的缓冲件3贴合在柔性基板2的规定位置为好。与此相对，例如在图5以及图6的结构的情况下，由于在将柔性基板2从可制得多个柔性基板用的片上切取时能够进行形状加工，因此可以将多个缓冲件3作为集合在一起的元件来贴合，从而在切取柔性基板2的同时进行缓冲件3的形状加工。
接下来，使用导电性粘接剂将柔性基板2与压电元件10连接固定(接合)。
首先，在压电元件10的规定位置，使用丝网印刷等手法来涂敷形成导电性粘接剂用浆料。然后，通过以抵接了柔性基板2的状态使导电性粘接剂用浆料硬化，从而将柔性基板2与压电元件10连接固定。另外，导电性粘接剂用浆料也可以涂敷形成在柔性基板2侧。
在构成导电性粘接剂的树脂由热可塑性树脂构成的情况下，在将导电性粘接剂涂敷形成在压电元件10或柔性基板2的规定位置后，通过以将压电元件10与柔性基板2隔着导电性粘接剂来抵接的状态进行加热加压，从而热可塑性树脂软化流动，然后返回到常温，从而热可塑性树脂再次硬化，柔性基板2与压电元件10被连接固定。
特别地，在使用各向异性导电部件作为导电性接合部件4的情况下，需要控制加压量以使得接近的导电粒子不接触。
此外，虽然在上述表示了将导电性粘接剂涂敷形成在压电元件10或柔性基板2的手法，但也可以在将预先形成为片状的导电性粘接剂的片夹在压电元件10与柔性基板2之间的状态下进行加热加压来进行接合。
本发明的压电振动装置如图12所示，具有压电致动器1、和与压电致动器1的另一主面接合的振动板81。
振动板81具有矩形的薄板状的形状。振动板81可以适当地使用丙烯酸树脂、玻璃等刚性以及弹性大的材料来形成。此外，振动板81的厚度被设定为例如0.4mm～1.5mm。
振动板81通过接合部件82与压电致动器1的另一主面接合。通过接合部件82可以将另一主面的整面接合于振动板81，也可以接合大致整面。
接合部件82是可以变形的。也就是说，接合部件82在通过压电致动器1的驱动来使振动板81振动时能够变形，在施加相同的力时，比振动板81更大程度地变形。这种接合部件82具有例如薄膜状的形状。并且，由比振动板81更柔软而更容易变形的材料形成，杨氏模量、刚性率、体积弹性率等弹性率、刚性小于振动板81。在接合部件82的一个主面(图的+z方向侧的主面)，压电致动器1的另一主面(图的-z方向侧的主面)被整体固定，在接合部件82的另一主面(图的-z方向侧的主面)，振动板81的一个主面(图的+z方向侧的主面)的一部分被固定。
通过利用能够变形的接合部件82来将压电致动器1与振动板81接合，从而在从压电致动器1传送了振动时，能够变形的接合部件82比振动板81更大程度地变形。
此时，通过能够变形的接合部件82，能够缓和从振动板81反射的相反相位的振动，因此压电致动器1能够在不受周围振动的影响的情况下，向振动板81传送强振动。
尤其是，通过接合部件82的至少一部分由粘弹性体构成，从而一方面能够将来自压电致动器1的强振动传送到振动板81，另一方面接合部件82能够吸收从振动板81反射的弱振动，从这一点考虑是优选的。例如，能够使用在由无纺布等构成的基材的两面附着有粘着剂的两面胶带、包含具有弹性的粘接剂的结构的接合部件，作为这些部件的厚度，可以使用例如10μm～2000μm的部件。
接合部件82可以是单一的部件，也可以是由几个部件构成的复合体。作为这种接合部件82，例如，能够适当地使用在由无纺布等构成的基材的两面附着有粘着剂的两面胶带、具有弹性的粘接剂即各种弹性粘接剂等。此外，虽然接合部件82的厚度优选比压电致动器1的弯曲振动的振幅大，但由于若过厚则振动会被衰减，因此被设定为例如0.1mm～0.6mm。但是，在本发明的压电振动装置中，没有对接合部件82的材质的限定，接合部件82可以由比振动板81更硬而更难以变形的材料形成。此外，根据情况不同，也可以是不具有接合部件82的结构。
具备这种结构的本例的压电振动装置通过施加电信号来使压电致动器1弯曲振动，由此作为使振动板81振动的压电振动装置而起作用。另外，也可以通过未图示的支撑部件来支撑振动板81的长度方向上的另一端部(图的-y方向端部、振动板81的周边部等)。
由于本例的压电振动装置是使用降低了噪声的压电致动器1来构成的，因此可以是长期间稳定驱动的高品质的压电振动装置。
此外，本例的压电振动装置在压电致动器1的平坦的另一主面上接合有振动板81。由此，能够成为压电致动器1与振动板81被牢固接合的压电振动装置。
本发明的便携终端如图13～图15所示，具有压电致动器1、电子电路(未图示)、显示器91、框体92，压电元件10的另一主面与框体92接合。另外，图13是示意性地表示本发明的便携终端的示意立体图，图14是在图13所示的A-A线处切断的示意剖面图，图15是在图13所示的B-B线处切断的示意剖面图。
通过利用能够变形的接合部件82来将压电元件10与框体92接合，从而在从压电致动器1传送了振动时，能够变形的接合部件82比框体92更大程度地变形。该接合部件82在通过压电致动器1的驱动来使框体92振动时能够变形，在施加相同的力时比框体92更大程度地变形。这种接合部件82具有例如薄膜状的形状。并且，由比框体92更柔软而更容易变形的材料形成，杨氏模量、刚性率、体积弹性率等弹性率、刚性比框体92更小。
此时，通过能够变形的接合部件82，能够缓和从框体92反射的相反相位的振动，因此压电致动器1能够在不受周围振动的影响的情况下，向框体92传送强振动。
尤其是，通过接合部件82的至少一部分由粘弹性体构成，从而一方面能够将来自压电致动器1的强振动传送到框体92，另一方面接合部件82能够吸收从框体92反射的弱振动，从这一点考虑是优选的。例如，能够使用在由无纺布等构成的基材的两面附着有粘着剂的两面胶带、包含具有弹性的粘接剂的结构的接合部件，作为这些部件的厚度，可以使用例如10μm～2000μm的部件。
并且，在本例中，压电致动器1被安装在成为显示器91的外罩的框体92的一部分，该框体92的一部分作为振动板922而起作用。
另外，虽然在本例中表示了压电致动器1与框体92接合的结构，但也可以是压电元件10与显示器91接合。
框体92具有：一个面开口的箱状的框体主体921、和堵塞框体主体921的开口的振动板922。该框体92(框体主体921以及振动板922)可以适当地使用刚性以及弹性率大的合成树脂等材料来形成。
振动板922的周边部通过接合件93而被能够振动地安装在框体主体921。接合件93由比振动板922更柔软而更容易变形的材料形成，杨氏模量、刚性率、体积弹性率等弹性率、刚性比振动板922小。也就是说，接合件93能够变形，在施加相同的力时比振动板922更大程度地变形。
接合件93可以是单一的部件，也可以是由几个部件构成的复合体。作为这种接合件93，例如能够适当地使用在由无纺布等构成的基材的两面附着有粘着剂的两面胶带等。接合件93的厚度被设定为不会过厚而导致振动衰减，例如被设定为0.1mm～0.6mm。但是，在本发明的便携终端中，没有对接合件93的材质的限定，接合件93也可以由比振动板922更硬而更难以变形的材料形成。此外，根据情况不同，也可以是不具有接合件93的结构。
作为电子电路(未图示)，可以例示例如对在显示器91显示的图像信息、由便携终端传递的声音信息进行处理的电路、通信电路等。可以是这些电路的至少一个，也可以包含全部电路。此外，也可以是具有其他功能的电路。进而，也可以具有多个电子电路。另外，电子电路与压电致动器1是通过未图示的连接用布线来连接的。
显示器91是具有显示图像信息的功能的显示装置，例如，可以适当地使用液晶显示器、等离子显示器以及有机EL显示器等已知的显示器。另外，显示器91也可以是具有如触摸面板那样的输入装置的部件。此外，显示器91的外罩(振动板922)也可以是具有如触摸面板那样的输入装置的部件。进而，也可以显示器91整体、显示器91的一部分作为振动板而起作用。
此外，本发明的便携终端的特征在于，显示器91或框体92使得产生通过耳朵的软骨或空气传导来传送声音信息的振动。本例的便携终端能够将振动板(显示器91或框体92)直接与耳朵接触或通过其他的物体来与耳朵接触，通过向耳朵的软骨传送振动来传递声音信息。也就是说，能够通过将振动板(显示器91或框体92)直接或间接地与耳朵接触，向耳朵的软骨传送振动来传递声音信息。由此，例如，能够得到一种便携终端，其即使在周围骚乱时也能够传递声音信息。另外，介于振动板(显示器91或框体92)与耳朵之间的物体，例如可以是便携终端的外罩，也可以是头戴式耳机或耳机，只要是能够传递振动的物体即可。此外，也可以是通过使从振动板(显示器91或框体92)产生的声音传播到空气中来传递声音信息的便携终端。进而，也可以是经由多个路径来传递声音信息的便携终端。
由于本例的便携终端使用降低了噪声的压电致动器1来传递声音信息，因此能够传递高品质的声音信息。
实施例
对本发明的压电致动器的具体例进行说明。
如以下所示，制作了压电致动器。
压电元件是长度为23.5mm、宽度为3.3mm、厚度为0.5mm的长方体状。此外，压电元件是厚度为30μm的压电体层与内部电极交替层叠的结构，压电体层的总数是16层。压电体层由锆钛酸铅形成。内部电极使用了银钯的合金。
在将印刷有以银钯为主成分的导电性浆料的陶瓷生片进行层叠之后，使其加压紧贴，在以规定的温度进行了脱脂之后，以1000℃进行烧制，得到层叠烧结体。
接下来，使用以银为主成分的导电性浆料，按照使表面电极比内部电极在宽度方向的两端各长1mm的方式进行印刷，得到表面电极。
通过表面电极，对内部电极之间(第一电极与第二电极之间)施加2kV/mm的电场强度的电压，对压电元件实施了极化。
此外，柔性基板以及缓冲件是按照以下的方式制作的。首先，在作为排列有多个基体薄膜的片(可制得多个基体薄膜用的片)的聚酰亚胺薄膜上，使用粘接剂来贴合成为布线导体的铜箔。接下来，使用光刻手法来形成布线导体的导体图案，为了进行绝缘和导体保护，通过粘接剂来贴合成为盖罩薄膜的聚酰亚胺薄膜。接下来，实施镀金处理，将成为缓冲件的厚度为125μm的聚酰亚胺片(可制得多个缓冲件用的片)，通过热固化树脂粘接剂贴合在可制得多个基体薄膜用的片的未形成布线导体的面上，通过利用模具来冲压为所希望的形状，从而制作出柔性基板2以及缓冲件3。缓冲件如图6所示，设置为横跨第一区域的整个区域以及第一区域与第二区域之间的整个边界。此外，如图11所示，按照缓冲件与盖罩薄膜23重叠1mm的方式来决定缓冲件的尺寸。
然后，在与柔性基板接合的压电元件的表面，涂敷形成了作为导电粒子而含有镀金的树脂球的导电性粘接剂。
然后，通过以抵接了柔性基板的状态进行加热加压，将柔性基板与压电元件导通、固定，制作出本发明实施例的压电致动器。另外，作为上述的导电性粘接剂，使用了在厚度方向上导通，在面内方向上不导通的各向异性导电材料。
另一方面，作为比较例，使用未设置缓冲件的柔性基板，通过与上述实施例相同的方法来制作出压电致动器。
并且，针对各个压电致动器，经由柔性基板向压电元件以1kHz的频率施加有效值为1Vrms的正弦波信号，进行阻抗波形的观测。其结果，在本发明实施例的压电致动器的阻抗波形中没有观测到噪声，而在比较例的压电致动器的阻抗波形中观测到了噪声。
也就是说，确认了通过使用本发明的压电致动器而压电体的振动不会作为噪声传递到连接器接合部。
符号说明
1： 压电致动器
10：压电元件
2：  柔性基板
201：第一区域
202：第二区域
21： 基体薄膜
22： 布线导体
23： 盖罩薄膜
3：  缓冲件
4：  导电性接合部件
41： 导电粒子
42： 树脂粘接剂
5：  连接器
81： 振动板
82： 接合部件
91： 显示器
92： 框体
921：框体主体
922：振动板
93： 接合件

Claims (14)

1.一种压电致动器，具有：
压电元件，其具备：层叠了内部电极以及压电体层的层叠体、和在该层叠体的一个主面与所述内部电极电连接的表面电极；
柔性基板，其与所述表面电极电连接；和
缓冲件，其被设置在该柔性基板上，
所述缓冲件的至少一部分被设置在所述柔性基板的与所述压电元件重叠的第一区域。
2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，
所述缓冲件被设置为横跨所述第一区域与第二区域之间的边界，其中，该第二区域是所述柔性基板的从所述压电元件延伸出的区域、即不与所述压电元件重叠的区域。
3.根据权利要求2所述的压电致动器，其特征在于，
所述缓冲件被设置为横跨所述第一区域的整个区域以及所述第一区域与所述第二区域之间的边界的整个区域。
4.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，
设置有一对所述缓冲件，各个所述缓冲件的至少一部分被设置在位于所述第一区域与第二区域之间的边界的两端部附近的第一区域，其中，该第二区域是所述柔性基板的从所述压电元件延伸出的区域、即不与所述压电元件重叠的区域。
5.根据权利要求4所述的压电致动器，其特征在于，
设置有一对所述缓冲件，各个所述缓冲件被设置为横跨所述边界的两端部。
6.根据权利要求2、3、5中任一项所述的压电致动器，其特征在于，
所述柔性基板包含：基体薄膜、被设置于该基体薄膜的面向所述压电元件一侧的主面的布线导体、和被设置为覆盖该布线导体的一部分的盖罩薄膜，
所述第一区域及其附近是未设置所述盖罩薄膜的结构，直至与所述盖罩薄膜重叠的区域为止设置有所述缓冲件。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的压电致动器，其特征在于，
所述柔性基板具备基体薄膜以及被设置于该基体薄膜的布线导体，
所述基体薄膜以及所述缓冲件由相同的材质构成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电致动器，其特征在于，
所述缓冲件比所述柔性基板的厚度厚。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的压电致动器，其特征在于，
所述缓冲件通过树脂粘接剂而被粘接于所述柔性基板的上表面。
10.一种压电振动装置，具有：
权利要求1至9中任一项所述的压电致动器；和
与所述压电元件的所述另一主面接合的振动板。
11.根据权利要求10所述的压电振动装置，其特征在于，
所述压电致动器与所述振动板使用能够变形的接合部件而被接合。
12.一种便携终端，具有：
权利要求1至9中任一项所述的压电致动器；
电子电路；
显示器；和
框体，
所述压电元件的另一主面与所述显示器或所述框体接合。
13.根据权利要求12所述的便携终端，其特征在于，
所述压电元件与所述显示器或所述框体使用能够变形的接合部件而被接合。
14.根据权利要求12或13所述的便携终端，其特征在于，
所述显示器或所述框体使得产生通过耳朵的软骨或空气传导来传送声音信息的振动。
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