JP6720959B2 - 振動デバイス - Google Patents

Description

本発明は、振動デバイスに関する。

従来の振動デバイスとして、圧電素子及び振動板を有する圧電振動子と、圧電振動子が配置される振動部材と、を備えているものが知られている（例えば、特許文献１参照）。従来の振動デバイスでは、圧電振動子の振動板と全面と振動部材とが接着部材によって接着されている。

特開２０１４−１０２８０４号公報

従来の振動デバイスのように、振動板の全面と振動部材とが接着されている構成では、圧電振動子の変位（駆動）が振動部材によって阻害される。そのため、従来の振動デバイスでは、圧電振動子の変位が減少し得るため、振動を効率的に得ることができない。

本発明の一側面は、圧電振動子の振動を効率的に得ることができる振動デバイスを提供することを目的とする。

本発明の一側面に係る振動デバイスは、圧電素子と、互いに対向する一対の主面を有すると共に、一方の主面に圧電素子が接合されている振動板と、を有する圧電振動子と、圧電振動子が配置されている振動部材と、振動板と振動部材との間に配置され、振動板と振動部材とを接着している接着部材と、を備え、振動板の一対の主面のそれぞれは、一対の主面の対向方向から見て、長方形状を呈しており、接着部材は、主面の少なくとも一対の辺側において対向して配置されている。

本発明の一側面に係る振動デバイスでは、接着部材は、振動板の主面の少なくとも一対の辺側において対向して配置されている。すなわち、振動板は、少なくとも一対の辺側において対向して配置されている接着部材によって、振動部材に保持（固着）されている。この構成では、対向する接着部材の間に空間が形成される。すなわち、振動板と振動部材との間に隙間が形成される。そのため、振動デバイスでは、圧電振動子の変位が振動部材によって阻害されることを回避できる。したがって、振動デバイスでは、圧電振動子の振動を効率的に得ることができる。

一実施形態においては、圧電素子の一対の辺側の端部は、上記対向方向から見て接着部材と重なっていてもよい。圧電振動子は、接着部材と接着されている部分では変位が生じ難い。そのため、振動デバイスでは、接着部材と重なるように圧電素子の端部を配置することにより、圧電素子の端部に変位が生じることを抑制できる。これにより、振動デバイスでは、圧電素子の端部が振動板から剥離したり、圧電素子の端部にクラックが生じたりすることを抑制できる。したがって、振動デバイスでは、信頼性の低下を抑制できる。

一実施形態においては、上記対向方向から見て、振動板と接着部材とが接着されている接着領域は、圧電素子の端部と接着部材とが重なる領域よりも大きくてもよい。この構成では、振動板と接着部材との接着領域が大きくなるため、振動板と接着部材との接合強度を確保できる。したがって、振動デバイスでは、振動板と接着部材とが剥離する等といった不具合の発生を抑制できる。したがって、振動デバイスでは、信頼性の低下を抑制できる。

一実施形態においては、圧電素子は、対向方向から見て、長方形状を呈しており、圧電素子と振動板とは、長辺及び短辺が沿うように配置されており、圧電素子の端部は、振動板の一対の辺に沿う圧電素子の辺の長さの１／２以上の部分が接着部材と重なっていてもよい。この構成では、圧電素子の端部に変位が生じることをより一層抑制できる。これにより、振動デバイスでは、圧電素子の端部が振動板から剥離したり、圧電素子の端部にクラックが生じたりすることをより一層抑制できる。

一実施形態においては、振動板において圧電素子が接合されている一方の主面とは反対側の他方の主面に配置されている荷重部材を備えていてもよい。この構成では、圧電素子が駆動した際、圧電振動子の重心移動のエネルギーを荷重部材によって大きくできる（加振できる）ため、圧電振動子の振動を増幅することができる。

本発明の一側面によれば、圧電振動子の振動を効率的に得ることができる。

図１は、第１実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。 図２は、図１に示す振動デバイスの平面図である。 図３は、図１に示す振動デバイスの分解斜視図である。 図４は、図２におけるＩＶ−ＩＶ線に沿った断面構成を示す図である。 図５は、第２実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。 図６は、図５に示す振動デバイスの平面図である。 図７は、図５に示す振動デバイスの分解斜視図である。 図８は、図６におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面構成を示す図である。 図９は、第３実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。 図１０は、図９に示す振動デバイスの平面図である。 図１１は、図９に示す振動デバイスの分解斜視図である。 図１２は、図１０におけるＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面構成を示す図である。 図１３は、第４実施形態に係る振動デバイスの分解斜視図である。 図１４は、図１３に示す振動デバイスの断面構成を示す図である。 図１５は、変形例に係る振動デバイスの断面構成を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

［第１実施形態］
図１〜図４に示されるように、第１実施形態に係る振動デバイス１は、圧電振動子３と、振動部材５と、接着部材７と、配線部材１１と、を備えている。

圧電振動子３は、圧電素子１３と、振動板１５と、を有している。圧電素子１３は、圧電素体１７と、複数の外部電極１９ａ，１９ｂと、を有している。本実施形態では、圧電素子１３は、二つの外部電極１９ａ，１９ｂを有している。

圧電素体１７は、直方体形状を呈している。圧電素体１７は、互いに対向している一対の主面１７ａ，１７ｂを有している。一対の主面１７ａ，１７ｂが対向している方向が第一方向Ｄ１（図３及び図４参照）である。第一方向Ｄ１は、各主面１７ａ，１７ｂに直交する方向でもある。

図２に示されるように、各主面１７ａ，１７ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面１７ａ，１７ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、圧電素子１３（圧電素体１７）は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。長方形状には、例えば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。本実施形態では、主面１７ａ，１７ｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向である。主面１７ａ，１７ｂの長辺方向は、第三方向Ｄ３である。

圧電素体１７は、複数の圧電体層（不図示）が積層されて構成されている。各圧電体層は、圧電材料からなる。本実施形態では、各圧電体層は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料には、例えば、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ_３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）が用いられる。各圧電体層は、例えば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体１７では、各圧電体層は、各圧電体層の間の境界が認識できない程度に一体化されている。圧電素体１７内には、複数の内部電極（不図示）が配置されている。各内部電極は、導電性材料からなる。導電性材料には、例えば、Ａｇ、Ｐｄ、又はＡｇ−Ｐｄ合金が用いられる。

各外部電極１９ａ，１９ｂは、主面１７ａ上に配置されている。外部電極１９ａと外部電極１９ｂとは、第三方向Ｄ３に並んでいる。外部電極１９ａと外部電極１９ｂとは、第三方向Ｄ３で隣り合っている。各外部電極１９ａ，１９ｂは、第一方向Ｄ１から見て、主面１７ａの全ての縁（四辺）から離間している。各外部電極１９ａ，１９ｂは、第一方向Ｄ１から見て、矩形状を呈している。矩形状も、例えば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。各外部電極１９ａ，１９ｂは、導電性材料からなる。導電性材料には、例えば、Ａｇ、Ｐｄ、又はＡｇ−Ｐｄ合金が用いられる。各外部電極１９ａ，１９ｂは、例えば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。

振動板１５は、板状の部材である。振動板１５は、例えば、金属からなる。振動板１５は、例えば、Ｎｉ合金又はステンレス鋼からなる。振動板１５は、互いに対向している一対の主面１５ａ，１５ｂを有している。振動板１５は、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面１７ａ，１７ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、振動板１５は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面１５ａ，１５ｂの長辺方向は、第三方向Ｄ３と一致する。主面１５ａ，１５ｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向と一致する。

振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの一対の長辺は、圧電素体１７の主面１７ａ，１７ｂの一対の長辺よりも長い。振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの一対の短辺は、圧電素体１７の主面１７ａ，１７ｂの一対の短辺よりも長い。すなわち、振動板１５は、第一方向Ｄ１から見て、圧電素体１７よりも面積（外形）が大きい。

振動板１５上には、圧電素子１３が配置されている。圧電素子１３は、振動板１５の中央位置、すなわち振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの長辺方向及び短辺方向において中間の位置に配置されている。圧電素子１３は、第一方向Ｄ１から見て、その中心が振動板１５の中心と一致するように、振動板１５上に配置されている。振動板１５と圧電素体１７とは、短辺及び長辺が沿うように配置されている。振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの一対の長辺及び一対の短辺は、圧電素体１７の主面１７ａ，１７ｂの一対の長辺及び一対の短辺と沿っている。

振動板１５と圧電素体１７とは、主面１５ａと主面１７ｂとが対向して配置されている。すなわち、圧電素子１３は、振動板１５の主面１５ａ上に配置されている。振動板１５の主面１５ａと圧電素体１７の主面１７ｂとは、接着されている。圧電振動子３の外形は、振動板１５の外形によって構成されている。圧電振動子３は、第一方向Ｄ１から見て、長方形状を呈している。すなわち、圧電振動子３は、一対の長辺と一対の短辺とを有している。

振動部材５は、板状の部材である。振動部材５は、例えば、金属からなる。振動部材５は、例えば、Ｎｉ−Ｆｅ合金、Ｎｉ、黄銅、又はステンレス鋼からなる。振動部材５は、互いに対向している一対の主面５ａ，５ｂを有している。各主面５ａ，５ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面５ａ，５ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、振動部材５は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面５ａ，５ｂの長辺方向は、第三方向Ｄ３と一致する。主面５ａ，５ｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向と一致する。

接着部材７は、例えば、両面テープである。接着部材７は、振動部材５と圧電振動子３とを接着している。接着部材７は、第１接着部材２１と、第２接着部材２３と、を含んでいる。

第１接着部材２１は、互いに対向している一対の主面２１ａ，２１ｂを有している。主面２１ａ，２１ｂには、接着層（不図示）が設けられている。各主面２１ａ，２１ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面２１ａ，２１ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、第１接着部材２１は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面２１ａ，２１ｂの長辺方向は、第二方向Ｄ２と一致する。主面２１ａ，２１ｂの短辺方向は、第三方向Ｄ３方向と一致する。各主面２１ａ，２１ｂは、その全面が接着面である。すなわち、第１接着部材２１の接着面は、長方形状を呈している。

各主面２１ａ，２１ｂの長辺の長さは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺の長さと同等である。各主面２１ａ，２１ｂの短辺の長さは、例えば、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺の長さの１／４以下である。第１接着部材２１は、所定の厚み（一対の主面２１ａ，２１ｂの対向方向の長さ、例えば０．５ｍｍ程度）を有している。

第２接着部材２３は、互いに対向している一対の主面２３ａ，２３ｂを有している。各主面２３ａ，２３ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面２３ａ，２３ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、第２接着部材２３は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面２３ａ，２３ｂの長辺方向は、第二方向Ｄ２と一致する。主面２３ａ，２３ｂの短辺方向は、第三方向Ｄ３方向と一致する。各主面２３ａ，２３ｂは、その全面が接着面である。すなわち、第２接着部材２３の接着面は、長方形状を呈している。

各主面２３ａ，２３ｂの長辺の長さは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺の長さと同等である。各主面２３ａ，２３ｂの短辺の長さは、例えば、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺の長さの１／４以下である。第２接着部材２３は、所定の厚み（一対の主面２３ａ，２３ｂの対向方向の長さ、例えば０．５ｍｍ程度）を有している。

第１接着部材２１及び第２接着部材２３のそれぞれは、振動板１５と振動部材５との間に配置されている。第１接着部材２１及び第２接着部材２３のそれぞれは、振動板１５の主面１５ｂと振動部材５の主面５ａとの間に配置されている。第１接着部材２１と第２接着部材２３とは、第三方向Ｄ３で所定の間隔をあけて離間して配置されている。第１接着部材２１と第２接着部材２３とは、第三方向Ｄ３において対向して配置されている。すなわち、第１接着部材２１及び第２接着部材２３は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの一対の短辺側において、互いに対向して配置されている。第１接着部材２１及び第２接着部材２３は、振動板１５（圧電振動子３）を、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの一対の短辺側で振動部材５に対して固着している。

第１接着部材２１は、振動板１５の第三方向Ｄ３の一方の端部（図２の右側の端部）に配置されている。すなわち、第１接着部材２１は、圧電振動子３の一方の短辺側の端部に配置されている。第１接着部材２１の主面２１ａは、振動板１５の主面１５ｂに接着されている。第１接着部材２１の主面２１ｂは、振動部材５の主面５ａに接着されている。第１接着部材２１の主面２１ａは、その全面が振動板１５に接着されている。第１接着部材２１と振動板１５との接着領域は、第一方向Ｄ１から見て、長方形状を呈している。

各主面２１ａ，２１ｂの長辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿っており、各主面２１ａ，２１ｂの短辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿っている。本実施形態では、各主面２１ａ，２１ｂの長辺に沿った一方の端面（図４の右側の端面）は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿った端面と面一となっている。各主面２１ａ，２１ｂの短辺に沿った両方の端面（図２の上下の端面）のそれぞれは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿った両方の端面のそれぞれと面一となっている。

第２接着部材２３は、振動板１５の第三方向Ｄ３の他方の端部（図２の左側の端部）に配置されている。すなわち、第２接着部材２３は、圧電振動子３の他方の短辺側の端部に配置されている。第２接着部材２３の主面２３ａは、振動板１５の主面１５ｂに接着されている。第２接着部材２３の主面２３ｂは、振動部材５の主面５ａに接着されている。第２接着部材２３の主面２３ａは、その全面が振動板１５に接着されている。すなわち、第２接着部材２３と振動板１５との接着領域は、第一方向Ｄ１から見て、長方形状を呈している。

各主面２３ａ，２３ｂの長辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿っており、各主面２３ａ，２３ｂの短辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿っている。本実施形態では、各主面２３ａ，２３ｂの長辺に沿った他方の端面（図４の左側の端面）は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿った端面と面一となっている。各主面２３ａ，２３ｂの短辺に沿った両方の端面（図２の上下の端面）のそれぞれは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿った両方の端面のそれぞれと面一となっている。

図２に示されるように、第一方向Ｄ１から見て、圧電素子１３の一部は、第１接着部材２１及び第２接着部材２３のそれぞれと重なっている。圧電素子１３の第三方向Ｄ３の一方の端部は、第１接着部材２１と重なっている。圧電素子１３の第三方向Ｄ３の他方の端部は、第２接着部材２３と重なっている。圧電素体１７の端部では、各主面１７ａ，１７ｂの一対の短辺の長さの１／２以上の部分が、第１接着部材２１及び第２接着部材２３のそれぞれと重なっている。本実施形態では、圧電素体１７の各主面１７ａ，１７ｂの一対の短辺の全ての長さの部分が、第１接着部材２１及び第２接着部材２３のそれぞれと重なっている。

第一方向Ｄ１から見て、圧電素子１３と第１接着部材２１及び第２接着部材２３とが重なる領域（面積）は、振動板１５と第１接着部材２１及び第２接着部材２３との接着領域（重なる面積）よりも小さい。言い換えれば、第一方向Ｄ１から見て、振動板１５と第１接着部材２１及び第２接着部材２３との接着領域は、圧電素子１３と第１接着部材２１及び第２接着部材２３とが重なる領域よりも大きい。

図４に示されるように、振動板１５と振動部材５とは、第１接着部材２１及び第２接着部材２３によって、第一方向Ｄ１において離間して配置されている。すなわち、振動板１５と振動部材５との間には、隙間（空間）が形成されている。

配線部材１１は、例えば、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）である。配線部材１１は、圧電素子１３の各外部電極１９ａ，１９ｂに電気的に接続されている。配線部材１１は、圧電素体１７の主面１７ａ，１７ｂの長辺と交差するように配置されている。配線部材１１が延在している方向は、第三方向Ｄ３と交差している。本実施形態では、配線部材１１は、主面１７ａ，１７ｂの長辺と直交するように配置されている。配線部材１１が延在している方向は、第三方向Ｄ３と直交している。配線部材１１は、第二方向Ｄ２に延在している。配線部材１１は、圧電素子１３と電気的かつ物理的に接続されている一端部と、振動デバイス１が搭載される電子機器（不図示）と電気的かつ物理的に接続される他端部とを有している。

以上説明したように、本実施形態に係る振動デバイス１では、第１接着部材２１と第２接着部材２３とは、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの短辺側において対向して配置されている。すなわち、振動板１５は、主面１５ａ，１５ｂの短辺側において対向して配置されている第１接着部材２１及び第２接着部材２３によって、振動部材５に保持（固着）されている。この構成では、対向する第１接着部材２１と第２接着部材２３との間に空間が形成される。すなわち、振動板１５と振動部材５との間に隙間が形成される。そのため、振動デバイス１では、圧電振動子３の変位が振動部材５によって阻害されることを回避できる。したがって、振動デバイス１では、圧電振動子３の振動を効率的に得ることができる。

本実施形態に係る振動デバイス１では、圧電素子１３の第三方向Ｄ３の端部は、第一方向Ｄ１から見て第１接着部材２１及び第２接着部材２３のそれぞれと重なっている。圧電振動子３は、第１接着部材２１及び第２接着部材２３と接着されている部分では変位が生じ難い。そのため、振動デバイス１では、第１接着部材２１及び第２接着部材２３と重なるように圧電素子１３の端部を配置することにより、圧電素子１３の端部に変位が生じることを抑制できる。これにより、振動デバイス１では、圧電素子１３（圧電素体１７）の端部が振動板１５から剥離したり、圧電素子１３の端部にクラックが生じたりすることを抑制できる。したがって、振動デバイス１では、信頼性の低下を抑制できる。

本実施形態に係る振動デバイス１では、第一方向Ｄ１から見て、振動板１５と第１接着部材２１及び第２接着部材２３との接着領域は、圧電素子１３と第１接着部材２１及び第２接着部材２３とが重なる領域よりも大きい。この構成では、振動板１５と第１接着部材２１及び第２接着部材２３との接着領域が大きくなるため、振動板１５と第１接着部材２１及び第２接着部材２３との接合強度を確保できる。したがって、振動デバイス１では、振動板１５と第１接着部材２１及び第２接着部材２３とが剥離する等といった不具合の発生を抑制できる。したがって、振動デバイス１では、信頼性の低下を抑制できる。

本実施形態に係る振動デバイス１では、圧電素子１３は、第一方向Ｄ１から見て、長方形状を呈している。圧電素子１３（圧電素体１７）と振動板１５とは、長辺及び短辺が沿うように配置されている。圧電素子１３の端部は、振動板１５の一対の短辺に沿う圧電素子１３の短辺の長さの１／２以上の部分が第１接着部材２１及び第２接着部材２３と重なっている。この構成では、圧電素子１３（圧電素体１７）の端部に変位が生じることをより一層抑制できる。これにより、振動デバイス１では、圧電素子１３の端部が振動板１５から剥離したり、圧電素子１３の端部にクラックが生じたりすることをより一層抑制できる。

［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図５〜図８に示されるように、第２実施形態に係る振動デバイス１Ａは、圧電振動子３と、振動部材５と、接着部材７Ａと、配線部材１１と、を備えている。

接着部材７Ａは、第１接着部材２１Ａと、第２接着部材２３Ａと、を含んでいる。

第１接着部材２１Ａは、互いに対向している一対の主面２１Ａａ，２１Ａｂを有している。主面２１Ａａ，２１Ａｂには、接着層（不図示）が設けられている。各主面２１Ａａ，２１Ａｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面２１Ａａ，２１Ａｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、第１接着部材２１Ａは、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面２１Ａａ，２１Ａｂの長辺方向は、第三方向Ｄ３と一致する。主面２１Ａａ，２１Ａｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向と一致する。各主面２１Ａａ，２１ｂは、その全面が接着面である。すなわち、第１接着部材２１Ａの接着面は、長方形状を呈している。

各主面２１Ａａ，２１Ａｂの長辺の長さは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺の長さと同等である。各主面２１Ａａ，２１Ａｂの短辺の長さは、例えば、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺の長さの１／４以下である。第１接着部材２１Ａは、所定の厚み（一対の主面２１Ａａ，２１Ａｂの対向方向の長さ、例えば０．５ｍｍ程度）を有している。

第２接着部材２３Ａは、互いに対向している一対の主面２３Ａａ，２３Ａｂを有している。各主面２３Ａａ，２３Ａｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面２３Ａａ，２３Ａｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、第２接着部材２３Ａは、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面２３Ａａ，２３Ａｂの長辺方向は、第三方向Ｄ３と一致する。主面２３Ａａ，２３Ａｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向と一致する。各主面２３Ａａ，２３Ａｂは、その全面が接着面である。すなわち、第２接着部材２３の接着面は、長方形状を呈している。

各主面２３Ａａ，２３Ａｂの長辺の長さは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺の長さと同等である。各主面２３Ａａ，２３Ａｂの短辺の長さは、例えば、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺の長さの１／４以下である。第２接着部材２３Ａは、所定の厚み（一対の主面２３Ａａ，２３Ａｂの対向方向の長さ、例えば０．５ｍｍ程度）を有している。

第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａのそれぞれは、振動板１５と振動部材５との間に配置されている。第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａのそれぞれは、振動板１５の主面１５ｂと振動部材５の主面５ａとの間に配置されている。第１接着部材２１Ａと第２接着部材２３Ａとは、第二方向Ｄ２で所定の間隔をあけて離間して配置されている。第１接着部材２１Ａと第２接着部材２３Ａとは、第二方向Ｄ２において対向して配置されている。すなわち、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの一対の長辺側において、互いに対向して配置されている。第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａは、振動板１５（圧電振動子３）を、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの一対の長辺側で振動部材５に対して固着している。

第１接着部材２１Ａは、振動板１５の第二方向Ｄ２の一方の端部（図６の上側の端部）に配置されている。すなわち、第１接着部材２１Ａは、圧電振動子３の一方の長辺側の端部に配置されている。第１接着部材２１Ａの主面２１Ａａは、振動板１５の主面１５ｂに接着されている。第１接着部材２１Ａの主面２１Ａｂは、振動部材５の主面５ａに接着されている。各主面２１Ａａ，２１Ａｂの長辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿っており、各主面２１Ａａ，２１Ａｂの短辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿っている。本実施形態では、各主面２１Ａａ，２１Ａｂの長辺に沿った一方の端面（図６の上側の端面）は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿った端面と面一となっている。各主面２１Ａａ，２１Ａｂの短辺に沿った両方の端面（図６の左右の端面）のそれぞれは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿った両方の端面のそれぞれと面一となっている。

第２接着部材２３Ａは、振動板１５の第二方向Ｄ２の他方の端部（図６の下側の端部）に配置されている。すなわち、第２接着部材２３Ａは、圧電振動子３の他方の長辺側の端部に配置されている。第２接着部材２３Ａの主面２３Ａａは、振動板１５の主面１５ｂに接着されている。第２接着部材２３Ａの主面２３Ａｂは、振動部材５の主面５ａに接着されている。各主面２３Ａａ，２３Ａｂの長辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿っており、各主面２３Ａａ，２３Ａｂの短辺は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿っている。本実施形態では、各主面２３Ａａ，２３Ａｂの長辺に沿った他方の端面（図６の下側の端面）は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿った端面と面一となっている。各主面２３Ａａ，２３Ａｂの短辺に沿った両方の端面（図６の左右の端面）のそれぞれは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿った両方の端面のそれぞれと面一となっている。

図６に示されるように、第一方向Ｄ１から見て、圧電素子１３の一部は、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａのそれぞれと重なっている。圧電素子１３の第二方向Ｄ２の一方の端部は、第１接着部材２１Ａと重なっている。圧電素子１３の第二方向Ｄ２の他方の端部は、第２接着部材２３Ａと重なっている。圧電素体１７では、各主面１７ａ，１７ｂの一対の長辺の長さの１／２以上の部分が、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａのそれぞれと重なっている。本実施形態では、圧電素体１７の各主面１７ａ，１７ｂの一対の長辺の全ての長さの部分が、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａのそれぞれと重なっている。

圧電素子１３と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとが重なる領域は、振動板１５と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとの接着領域よりも小さい。言い換えれば、振動板１５と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとの接着領域は、圧電素子１３と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとが重なる領域よりも大きい。

図８に示されるように、振動板１５と振動部材５とは、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａによって、第一方向Ｄ１において離間して配置されている。すなわち、振動板１５と振動部材５との間には、隙間（空間）が形成されている。

以上説明したように、本実施形態に係る振動デバイス１Ａでは、第１接着部材２１Ａと第２接着部材２３Ａとは、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの長辺側において対向して配置されている。これにより、振動デバイス１Ａでは、対向する第１接着部材２１Ａと第２接着部材２３Ａとの間に空間が形成される。すなわち、振動板１５と振動部材５との間に隙間が形成される。そのため、振動デバイス１Ａでは、圧電振動子３の変位が振動部材５によって阻害されることを回避できる。したがって、振動デバイス１Ａでは、圧電振動子３の振動を効率的に得ることができる。

本実施形態に係る振動デバイス１Ａでは、圧電素子１３の第二方向Ｄ２の端部は、第一方向Ｄ１から見て第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａのそれぞれと重なっている。圧電振動子３は、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａと接着されている部分では変位が生じ難い。そのため、振動デバイス１Ａでは、第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａと重なるように圧電素子１３の端部を配置することにより、圧電素子１３の端部に変位が生じることを抑制できる。これにより、振動デバイス１Ａでは、圧電素子１３（圧電素体１７）の端部が振動板１５から剥離したり、圧電素子１３の端部にクラックが生じたりすることを抑制できる。したがって、振動デバイス１Ａでは、信頼性の低下を抑制できる。

本実施形態に係る振動デバイス１Ａでは、第一方向Ｄ１から見て、振動板１５と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとの接着領域は、圧電素子１３と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとが重なる領域よりも大きい。この構成では、振動板１５と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとの接着領域が大きくなるため、振動板１５と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとの接合強度を確保できる。したがって、振動デバイス１Ａでは、振動板１５と第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａとが剥離する等といった不具合の発生を抑制できる。したがって、振動デバイス１Ａでは、信頼性の低下を抑制できる。

本実施形態に係る振動デバイス１Ａでは、圧電素子１３は、第一方向Ｄ１から見て、長方形状を呈している。圧電素子１３（圧電素体１７）と振動板１５とは、長辺及び短辺が沿うように配置されている。圧電素子１３の端部は、振動板１５の一対の長辺に沿う圧電素子１３の長辺の長さの１／２以上の部分が第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａと重なっている。この構成では、圧電素子１３（圧電素体１７）の端部に変位が生じることをより一層抑制できる。これにより、振動デバイス１Ａでは、圧電素子１３の端部が振動板１５から剥離したり、圧電素子１３の端部にクラックが生じたりすることをより一層抑制できる。

［第３実施形態］
続いて、第３実施形態について説明する。図９〜図１２に示されるように、第３実施形態に係る振動デバイス１Ｂは、圧電振動子３と、振動部材５と、接着部材７Ｂと、配線部材１１と、を備えている。

図１０及び図１１に示されるように、接着部材７Ｂは、互いに対向している一対の主面７Ｂａ，７Ｂｂを有している。主面７Ｂａ，７Ｂｂには、接着層（不図示）が設けられている。各主面２１Ａａ，２１Ａｂは、第一方向Ｄ１から見て、枠状を呈している。各主面７Ｂａ，７Ｂｂの外形は、一対の長辺と一対の短辺とを有している。すなわち、各主面７Ｂａ，７Ｂｂの外形は、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺方向は、第三方向Ｄ３と一致する。主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向と一致する。接着部材７Ｂには、第一方向Ｄ１から見て、長方形状の開口部が形成されている。各主面７Ｂａ，７Ｂｂは、その全面が接着面である。すなわち、接着部材７Ｂの接着面は、枠状を呈している。

各主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺の長さは、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺の長さよりも短い。各主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺の長さは、例えば、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺と同等である。接着部材７Ｂは、所定の厚み（一対の主面７Ｂａ，７Ｂｂの対向方向の長さ、例えば０．５ｍｍ程度）を有している。

接着部材７Ｂは、振動板１５と振動部材５との間に配置されている。接着部材７Ｂは、振動板１５の主面１５ｂと振動部材５の主面５ａとの間に配置されている。接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺に沿った部分は、第三方向Ｄ３で所定の間隔をあけて離間して配置されている。すなわち、接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺に沿った部分は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの一対の短辺側において、互いに対向して配置されている。接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺に沿った部分は、第二方向Ｄ２で所定の間隔をあけて離間して配置されている。すなわち、接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺に沿った部分は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの一対の長辺側において、互いに対向して配置されている。接着部材７Ｂは、振動板１５（圧電振動子３）を、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの一対の短辺側及び一対の長辺側で振動部材５に対して固着している。

接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺に沿った部分は、振動板１５の第三方向Ｄ３の端部（図１０の右側又は左側の端部）にそれぞれ配置されている。すなわち、接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺に沿った部分は、圧電振動子３の短辺側の端部にそれぞれ配置されている。本実施形態では、各主面７Ｂａ，７Ｂｂの短辺に沿った部分の端面（図１０の右側又は左側の端面）は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの短辺に沿った端面よりも内側に位置している。

接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺に沿った部分は、振動板１５の第二方向Ｄ２の端部（図１０の上側又は下側の端部）にそれぞれ配置されている。すなわち、接着部材７Ｂの各主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺に沿った部分は、圧電振動子３の長辺側の端部にそれぞれ配置されている。本実施形態では、各主面７Ｂａ，７Ｂｂの長辺に沿った部分の端面（図１０の上側又は下側の端面）は、振動板１５の各主面１５ａ，１５ｂの長辺に沿った端面と面一となっている。

図１０に示されるように、第一方向Ｄ１から見て、圧電素子１３の一部は、接着部材７Ｂと重なっている。圧電素子１３の第二方向Ｄ２の一方の端部及び第三方向Ｄ３の端部は、接着部材７Ｂと重なっている。圧電素体１７では、各主面１７ａ，１７ｂの一対の短辺及び一対の長辺の長さの１／２以上の部分が、接着部材７Ｂと重なっている。本実施形態では、圧電素体１７の各主面１７ａ，１７ｂの一対の短辺及び一対の長辺の全ての長さの部分が、接着部材７Ｂのそれぞれと重なっている。

圧電素子１３と接着部材７Ｂとが重なる領域は、振動板１５と接着部材７Ｂとの接着領域よりも小さい。言い換えれば、振動板１５と接着部材７Ｂとが重なる面積とが重なる面積は、圧電素子１３と接着部材７Ｂとの接着領域よりも大きい。

図１１に示されるように、振動板１５と振動部材５とは、接着部材７Ｂによって、第一方向Ｄ１において離間して配置されている。すなわち、振動板１５と振動部材５との間には、隙間（空間）が形成されている。

以上説明したように、本実施形態に係る振動デバイス１Ｂでは、接着部材７Ｂは、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの短辺側及び長辺側において対向して配置されている。これにより、振動デバイス１Ｂでは、振動板１５と振動部材５との間に隙間が形成される。そのため、振動デバイス１Ｂでは、圧電振動子３の変位が振動部材５によって阻害されることを回避できる。したがって、振動デバイス１Ｂでは、圧電振動子３の振動を効率的に得ることができる。

本実施形態に係る振動デバイス１Ｂでは、圧電素子１３の第二方向Ｄ２の端部及び第三方向Ｄ３の端部は、第一方向Ｄ１から見て接着部材７Ｂと重なっている。圧電振動子３は、接着部材７Ｂと接着されている部分では変位が生じ難い。そのため、振動デバイス１Ｂでは、接着部材７Ｂと重なるように圧電素子１３の端部を配置することにより、圧電素子１３の端部に変位が生じることを抑制できる。これにより、振動デバイス１Ｂでは、圧電素子１３（圧電素体１７）の端部が振動板１５から剥離したり、圧電素子１３の端部にクラックが生じたりすることを抑制できる。したがって、振動デバイス１Ｂでは、信頼性の低下を抑制できる。

本実施形態に係る振動デバイス１Ｂでは、第一方向Ｄ１から見て、振動板１５と接着部材７Ｂとが重なる領域は、圧電素子１３と接着部材７Ｂとが重なる領域よりも大きい。この構成では、振動板１５と接着部材７Ｂとの接着領域が大きくなるため、振動板１５と接着部材７Ｂとの接合強度を確保できる。したがって、振動デバイス１Ｂでは、振動板１５と接着部材７Ｂとが剥離する等といった不具合の発生を抑制できる。したがって、振動デバイス１Ｂでは、信頼性の低下を抑制できる。

本実施形態に係る振動デバイス１Ｂでは、圧電素子１３は、第一方向Ｄ１から見て、長方形状を呈している。圧電素子１３（圧電素体１７）と振動板１５とは、長辺及び短辺が沿うように配置されている。圧電素子１３の端部は、振動板１５の一対の短辺及び一対の長辺に沿う圧電素子１３の短辺及び長辺の長さの１／２以上の部分が第１接着部材２１Ａ及び第２接着部材２３Ａと重なっている。この構成では、圧電素子１３（圧電素体１７）の端部に変位が生じることをより一層抑制できる。これにより、振動デバイス１Ｂでは、圧電素子１３の端部が振動板１５から剥離したり、圧電素子１３の端部にクラックが生じたりすることをより一層抑制できる。

［第４実施形態］
続いて、第４実施形態について説明する。図１３及び図１４に示されるように、第４実施形態に係る振動デバイス１Ｃは、圧電振動子３と、振動部材５と、接着部材７と、配線部材１１と、を備えている。振動デバイス１Ｃの接着部材７は、第１実施形態の接着部材７と同様の構成を有している。

振動板１５には、圧電素子１３が配置されている。圧電素子１３は、振動板１５の中央位置、すなわち振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの長辺方向及び短辺方向において中間の位置に配置されている。圧電素子１３は、第一方向Ｄ１から見て、その中心が振動板１５の中心と一致するように、振動板１５上に配置されている。振動板１５と圧電素体１７とは、主面１５ｂと主面１７ａとが対向して配置されている。すなわち、圧電素子１３は、振動板１５の主面１５ｂに配置されている。振動板１５の主面１５ｂと圧電素体１７の主面１７ａとは、接着されている。

図１４に示されるように、振動デバイス１Ｃでは、第三方向Ｄ３において対向する第１接着部材２１及び第２接着部材２３の間に、圧電振動子３が位置している。圧電振動子３は、接着部材７Ｂによって振動板１５と振動部材５の間に形成される隙間（空間）に配置されている。

以上説明したように、本実施形態に係る振動デバイス１Ｃでは、第１接着部材２１と第２接着部材２３とは、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの短辺側において対向して配置されている。これにより、振動デバイス１Ｃでは、対向する第１接着部材２１と第２接着部材２３との間に空間が形成される。すなわち、振動板１５と振動部材５との間に隙間が形成される。そのため、振動デバイス１Ｃでは、圧電振動子３の変位が振動部材５によって阻害されることを回避できる。したがって、振動デバイス１Ｃでは、圧電振動子３の振動を効率的に得ることができる。

振動デバイス１Ｃでは、第１接着部材２１と第２接着部材２３とが、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの短辺側において対向して配置されている形態を一例に説明した。しかし、第１接着部材２１及び第２接着部材２３は、図６に示されるように、振動板１５の主面１５ａ，１５ｂの長辺側において対向して配置されていてもよい。

図１５に示されるように、振動デバイス１Ｄは、錘（荷重部材）２０を備えていてもよい。錘２０は、振動板１５上に配置されている。錘２０は、振動板１５の主面１５ａ上（圧電素子１３が配置される主面１５ｂとは反対側の主面）に配置されている。錘２０は、第一方向Ｄ１において、振動板１５に荷重を加える部材である。

錘２０は、例えば、板状の部材である。錘２０は、第一方向Ｄ１から見て、例えば、長方形状を呈している。錘２０は、例えば、金属からなる。錘２０は、第一方向Ｄ１において、振動板１５に荷重を加える。錘２０の厚み（第一方向Ｄ１の長さ）は、適宜設定される。例えば、錘２０の厚みは、第１接着部材２１及び第２接着部材２３の厚みよりも大きくてもよい。

振動デバイス１Ｄでは、錘２０を備えている。この構成では、圧電素子１３が駆動した際、圧電振動子３の重心移動のエネルギーを錘２０によって大きくできる（加振できる）ため、圧電振動子３の振動を増幅することができる。したがって、振動デバイス１Ｄでは、振動を効果的に得ることができる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

上記実施形態では、圧電素体１７が、第一方向Ｄ１から見て長方形状（矩形状）である形態を一例に説明した。しかし、圧電素子の形状はこれに限定されない。

上記実施形態では、接着部材７，７Ａ，７Ｂが両面テープである形態を一例に説明した。しかし、接着部材は他の部材であってもよい。

１，１Ａ〜１Ｄ…振動デバイス、３…圧電振動子、５…振動部材、７，７Ａ，７Ｂ…接着部材、１３…圧電素子、１５…振動板、１５ａ，１５ｂ…主面、２０…錘（荷重部材）、２１，２１Ａ…第１接着部材、２３，２３Ａ…第２接着部材。

Claims (8)

1. 圧電素子と、互いに対向する一対の主面を有すると共に、一方の前記主面に前記圧電素子が接合されている振動板と、を有する圧電振動子と、
   前記圧電振動子が配置されている振動部材と、
   前記振動板と前記振動部材との間に配置され、前記振動板と前記振動部材とを接着している接着部材と、を備え、
   前記振動板の一対の前記主面のそれぞれは、一対の前記主面の対向方向から見て、長方形状を呈しており、
   前記接着部材は、前記主面の少なくとも一対の辺側において対向して配置されており、
   前記圧電素子の前記一対の辺側の端部は、前記対向方向から見て前記接着部材と重なっている、振動デバイス。
2. 前記対向方向から見て、前記振動板と前記接着部材とが接着されている接着領域は、前記圧電素子の前記端部と前記接着部材とが重なる領域よりも大きい、請求項１に記載の振動デバイス。
3. 前記圧電素子は、前記対向方向から見て、長方形状を呈しており、
   前記圧電素子と前記振動板とは、長辺及び短辺が沿うように配置されており、
   前記圧電素子の前記端部は、前記振動板の前記一対の辺に沿う前記圧電素子の辺の長さの１／２以上の部分が前記接着部材と重なっている、請求項１又は２に記載の振動デバイス。
4. 前記振動板において前記圧電素子が接合されている一方の前記主面とは反対側の他方の前記主面に配置されている荷重部材を備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動デバイス。
5. 圧電素子と、互いに対向する一対の主面を有すると共に、一方の前記主面に前記圧電素子が接合されている振動板と、を有する圧電振動子と、
   前記圧電振動子が配置されている振動部材と、
   前記振動板と前記振動部材との間に配置され、前記振動板と前記振動部材とを接着している接着部材と、
   前記振動板において前記圧電素子が接合されている一方の前記主面とは反対側の他方の前記主面に配置されている荷重部材と、を備え、
   前記振動板の一対の前記主面のそれぞれは、一対の前記主面の対向方向から見て、長方形状を呈しており、
   前記接着部材は、前記主面の少なくとも一対の辺側において対向して配置されている、振動デバイス。
6. 前記圧電素子の前記一対の辺側の端部は、前記対向方向から見て前記接着部材と重なっている、請求項５に記載の振動デバイス。
7. 前記対向方向から見て、前記振動板と前記接着部材とが接着されている接着領域は、前記圧電素子の前記端部と前記接着部材とが重なる領域よりも大きい、請求項６に記載の振動デバイス。
8. 前記圧電素子は、前記対向方向から見て、長方形状を呈しており、
   前記圧電素子と前記振動板とは、長辺及び短辺が沿うように配置されており、
   前記圧電素子の前記端部は、前記振動板の前記一対の辺に沿う前記圧電素子の辺の長さの１／２以上の部分が前記接着部材と重なっている、請求項６又は７記載の振動デバイス。

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