CN111630777A - 振动器件 - Google Patents

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Abstract

振动器件(1)具备:压电振子(3),其具有压电元件(13)和具有相互相对的一对主面(15a、15b)并且在一个主面(15a)接合有压电元件(13)的振动板(15);振动部件(5),其配置有压电振子(3);粘接部件(7),其配置于振动板(15)和振动部件(5)之间,粘接振动板(15)和振动部件(5),从一对主面(15a、15b)的相对方向观察,振动板(15)的一对主面(15a、15b)分别呈长方形状,粘接部件(7)在主面(15a、15b)的至少一对边侧相对地配置。

Description

振动器件
技术领域
本发明涉及振动器件。
背景技术
作为现有的振动器件,已知有具备具有压电元件及振动板的压电振子和配置有压电振子的振动部件的振动器件(例如,参照专利文献1)。在现有的振动器件中,压电振子的振动板的整个面和振动部件通过粘接部件而粘接。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2014-102804号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在如现有的振动器件那样振动板的整个面与振动部件粘接的结构中,压电振子的位移(驱动)受到振动部件阻碍。因此,在现有的振动器件中,因为压电振子的位移会减少,所以不能有效地得到振动。
本发明的一方面的目的在于,提供一种振动器件,其能够有效地得到压电振子的振动。
解决问题的技术手段
本发明的一方面的振动器件,具备:压电振子,其具有压电元件和振动板,该振动板具有相互相对的一对主面并且在一个主面接合有压电元件;振动部件,其配置有压电振子;粘接部件,其配置于振动板和振动部件之间,粘接振动板和振动部件,从一对主面的相对方向观察,振动板的一对主面分别呈长方形状,粘接部件在主面的至少一对边侧相对地配置。
在本发明的一方面的振动器件中,粘接部件在振动板的主面的至少一对边侧相对地配置。即,振动板通过至少在一对边侧相对地配置的粘接部件而保持(固定)于振动部件。在该结构中,在相对的粘接部件之间形成有空间。即,在振动板和振动部件之间形成有间隙。因此,在振动器件中,能够避免压电振子的位移受到振动部件阻碍。因此,在振动器件中,能够有效地得到压电振子的振动。
在一个实施方式中,从上述相对方向观察,压电元件的一对边侧的端部也可以与粘接部件重叠。压电振子难以在与粘接部件粘接的部分产生位移。因此,在振动器件中,通过以与粘接部件重叠的方式配置压电元件的端部,能够抑制在压电元件的端部产生位移。由此,在振动器件中,既能够抑制压电元件的端部从振动板剥离,又能够抑制在压电元件的端部产生裂纹。因此,在振动器件中,能够抑制可靠性的降低。
在一个实施方式中,从上述相对方向观察,振动板和粘接部件粘接的粘接区域也可以比压电元件的端部和粘接部件重叠的区域大。在该结构中,因为振动板和粘接部件的粘接区域变大,所以能够确保振动板和粘接部件的接合强度。因此,在振动器件中,能够抑制振动板和粘接部件剥离等之类的不良情况的发生。因此,在振动器件中,能够抑制可靠性的降低。
在一个实施方式中,也可以是从相对方向观察,压电元件呈长方形状,压电元件和振动板以长边及短边沿着的方式配置,压电元件的端部中,沿着振动板的一对边的压电元件的边的长度的1/2以上的部分与粘接部件重叠。在该结构中,能够进一步抑制在压电元件的端部产生位移。由此,在振动器件中,既能够进一步抑制压电元件的端部从振动板剥离,又能够进一步抑制在压电元件的端部产生裂纹。
在一个实施方式中,也可以具备配置于振动板中接合有压电元件的一个主面的相反侧的另一个主面的负载部件。在该结构中,因为在压电元件进行驱动时,能够通过负载部件来加大压电振子的重心移动的能量(能够激振),所以能够放大压电振子的振动。
发明的效果
根据本发明的一个方面,能够有效地得到压电振子的振动。
附图说明
图1是表示第一实施方式的振动器件的立体图。
图2是图1所示的振动器件的俯视图。
图3是图1所示的振动器件的分解立体图。
图4是表示沿着图2的IV-IV线的剖面结构的图。
图5是表示第二实施方式的振动器件的立体图。
图6是图5所示的振动器件的俯视图。
图7是图5所示的振动器件的分解立体图。
图8是表示沿着图6的VIII-VIII线的剖面结构的图。
图9是表示第三实施方式的振动器件的立体图。
图10是图9所示的振动器件的俯视图。
图11是图9所示的振动器件的分解立体图。
图12是表示沿着图10的XII-XII线的剖面结构的图。
图13是第四实施方式的振动器件的分解立体图。
图14是表示图13所示的振动器件的剖面结构的图。
图15是表示变形例的振动器件的剖面结构的图。
具体实施方式
下面,参照附图对本发明优选的实施方式进行详细的说明。此外,在附图的说明中,对相同或相当的要素标注相同的符号,省略重复的说明。
[第一实施方式]
如图1~图4所示,第一实施方式的振动器件1具备压电振子3、振动部件5、粘接部件7和配线部件11。
压电振子3具有压电元件13和振动板15。压电元件13具有压电素体17和多个外部电极19a、19b。在本实施方式中,压电元件13具有两个外部电极19a、19b。
压电素体17呈长方体形状。压电素体17具有相互相对的一对主面17a、17b。一对主面17a、17b相对的方向是第一方向D1(参照图3及图4)。第一方向D1也是与各主面17a、17b正交的方向。
如图2所示,各主面17a、17b具有一对长边和一对短边。各主面17a、17b呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,压电元件13(压电素体17)在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。长方形状包含例如各角被倒角的形状、及各角被弄圆的形状。在本实施方式中,主面17a、17b的短边方向是第二方向D2方向。主面17a、17b的长边方向是第三方向D3。
压电素体17通过层叠多个压电体层(未图示)而构成。各压电体层由压电材料形成。在本实施方式中,各压电体层由压电陶瓷材料形成。对于压电陶瓷材料来说,例如可使用PZT[Pb(Zr、Ti)O3]、PT(PbTiO3)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O3]、或钛酸钡(BaTiO3)。各压电体层例如由含有上述压电陶瓷材料的陶瓷生片的烧结体构成。在实际的压电素体17中,各压电体层被一体化为不能识别各压电体层之间的边界的程度。在压电素体17内配置有多个内部电极(未图示)。各内部电极由导电性材料形成。对于导电性材料来说,例如可使用Ag、Pd、或Ag-Pd合金。
各外部电极19a、19b配置于主面17a上。外部电极19a和外部电极19b在第三方向D3上排列。外部电极19a和外部电极19b在第三方向D3上相邻。从第一方向D1观察,各外部电极19a、19b远离主面17a的所有边缘(四边)。从第一方向D1观察,各外部电极19a、19b呈矩形状。矩形状也包含例如各角被倒角的形状、及各角被弄圆的形状。各外部电极19a、19b由导电性材料形成。对于导电性材料来说,例如可使用Ag、Pd、或Ag-Pd合金。各外部电极19a、19b例如作为含有上述导电性材料的导电性膏体的烧结体而构成。
振动板15为板状的部件。振动板15例如由金属形成。振动板15例如由Ni合金或不锈钢形成。振动板15具有相互相对的一对主面15a、15b。振动板15具有一对长边和一对短边。各主面17a、17b呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,振动板15在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面15a、15b的长边方向与第三方向D3一致。主面15a、15b的短边方向与第二方向D2方向一致。
振动板15的主面15a、15b的一对长边比压电素体17的主面17a、17b的一对长边长。振动板15的主面15a、15b的一对短边比压电素体17的主面17a、17b的一对短边长。即,从第一方向D1观察,振动板15的面积(外形)比压电素体17大。
在振动板15上配置有压电元件13。压电元件13配置于振动板15的中央位置、即在振动板15的主面15a、15b的长边方向及短边方向上配置于中间的位置。从第一方向D1观察,压电元件13以其中心与振动板15的中心一致的方式配置于振动板15上。振动板15和压电素体17以短边及长边沿着的方式配置。振动板15的主面15a、15b的一对长边及一对短边沿着压电素体17的主面17a、17b的一对长边及一对短边。
振动板15和压电素体17中,主面15a和主面17b相对地配置。即,压电元件13配置于振动板15的主面15a上。振动板15的主面15a和压电素体17的主面17b被粘接。压电振子3的外形由振动板15的外形构成。从第一方向D1观察,压电振子3呈长方形状。即,压电振子3具有一对长边和一对短边。
振动部件5为板状的部件。振动部件5例如由金属形成。振动部件5例如由Ni-Fe合金、Ni、黄铜、或不锈钢形成。振动部件5具有相互相对的一对主面5a、5b。各主面5a、5b具有一对长边和一对短边。各主面5a、5b呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,振动部件5在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面5a、5b的长边方向与第三方向D3一致。主面5a、5b的短边方向与第二方向D2方向一致。
粘接部件7例如为双面胶带。粘接部件7粘接振动部件5和压电振子3。粘接部件7包含第一粘接部件21和第二粘接部件23。
第一粘接部件21具有相互相对的一对主面21a、21b。在主面21a、21b设有粘接层(未图示)。各主面21a、21b具有一对长边和一对短边。各主面21a、21b呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,第一粘接部件21在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面21a、21b的长边方向与第二方向D2一致。主面21a、21b的短边方向与第三方向D3方向一致。各主面21a、21b其整个面是粘接面。即,第一粘接部件21的粘接面呈长方形状。
各主面21a、21b的长边的长度与振动板15的各主面15a、15b的短边的长度同等。各主面21a、21b的短边的长度例如是振动板15的各主面15a、15b的长边的长度的1/4以下。第一粘接部件21具有规定的厚度(一对主面21a、21b的相对方向的长度,例如0.5mm左右)。
第二粘接部件23具有相互相对的一对主面23a、23b。各主面23a、23b具有一对长边和一对短边。各主面23a、23b呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,第二粘接部件23在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面23a、23b的长边方向与第二方向D2一致。主面23a、23b的短边方向与第三方向D3方向一致。各主面23a、23b其整个面是粘接面。即,第二粘接部件23的粘接面呈长方形状。
各主面23a、23b的长边的长度与振动板15的各主面15a、15b的短边的长度同等。各主面23a、23b的短边的长度例如是振动板15的各主面15a、15b的长边的长度的1/4以下。第二粘接部件23具有规定的厚度(一对主面23a、23b的相对方向的长度,例如0.5mm左右)。
第一粘接部件21及第二粘接部件23分别配置于振动板15和振动部件5之间。第一粘接部件21及第二粘接部件23分别配置于振动板15的主面15b和振动部件5的主面5a之间。第一粘接部件21和第二粘接部件23在第三方向D3上隔开规定的间隔而分离地配置。第一粘接部件21和第二粘接部件23在第三方向D3上相对地配置。即,第一粘接部件21及第二粘接部件23在振动板15的各主面15a、15b的一对短边侧相互相对地配置。第一粘接部件21及第二粘接部件23将振动板15(压电振子3)在振动板15的主面15a、15b的一对短边侧相对于振动部件5固定。
第一粘接部件21配置于振动板15的第三方向D3的一端部(图2的右侧的端部)。即,第一粘接部件21配置于压电振子3的一短边侧的端部。第一粘接部件21的主面21a与振动板15的主面15b粘接。第一粘接部件21的主面21b与振动部件5的主面5a粘接。第一粘接部件21的主面21a其整个面与振动板15粘接。从第一方向D1观察,第一粘接部件21和振动板15的粘接区域呈长方形状。
各主面21a、21b的长边沿着振动板15的各主面15a、15b的短边,各主面21a、21b的短边沿着振动板15的各主面15a、15b的长边。在本实施方式中,各主面21a、21b的沿着长边的一端面(图4的右侧的端面)与振动板15的沿着各主面15a、15b的短边的端面为同一面。各主面21a、21b的沿着短边的两个端面(图2的上下的端面)的各个与振动板15的沿着各主面15a、15b的长边的两个端面的各个为同一面。
第二粘接部件23配置于振动板15的第三方向D3的另一端部(图2的左侧的端部)。即,第二粘接部件23配置于压电振子3的另一短边侧的端部。第二粘接部件23的主面23a与振动板15的主面15b粘接。第二粘接部件23的主面23b与振动部件5的主面5a粘接。第二粘接部件23的主面23a其整个面与振动板15粘接。即,从第一方向D1观察,第二粘接部件23和振动板15的粘接区域呈长方形状。
各主面23a、23b的长边沿着振动板15的各主面15a、15b的短边,各主面23a、23b的短边沿着振动板15的各主面15a、15b的长边。在本实施方式中,各主面23a、23b的沿着长边的另一端面(图4的左侧的端面)与振动板15的沿着各主面15a、15b的短边的端面为同一面。各主面23a、23b的沿着短边的两个端面(图2的上下的端面)的各个与振动板15的沿着各主面15a、15b的长边的两个端面的各个为同一面。
如图2所示,从第一方向D1观察,压电元件13的一部分与第一粘接部件21及第二粘接部件23分别重叠。压电元件13的第三方向D3的一端部与第一粘接部件21重叠。压电元件13的第三方向D3的另一端部与第二粘接部件23重叠。在压电素体17的端部中,各主面17a、17b的一对短边的长度的1/2以上的部分与第一粘接部件21及第二粘接部件23分别重叠。在本实施方式中,压电素体17的各主面17a、17b的一对短边的全部的长度的部分与第一粘接部件21及第二粘接部件23分别重叠。
从第一方向D1观察,压电元件13和第一粘接部件21及第二粘接部件23重叠的区域(面积)比振动板15和第一粘接部件21及第二粘接部件23的粘接区域(重叠的面积)小。换句话说,从第一方向D1观察,振动板15和第一粘接部件21及第二粘接部件23的粘接区域比压电元件13和第一粘接部件21及第二粘接部件23重叠的区域大。
如图4所示,振动板15和振动部件5通过第一粘接部件21及第二粘接部件23,在第一方向D1上分离地配置。即,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙(空间)。
配线部件11例如是柔性印刷基板(FPC)。配线部件11与压电元件13的各外部电极19a、19b电连接。配线部件11以与压电素体17的主面17a、17b的长边交叉的方式配置。配线部件11延伸的方向与第三方向D3交叉。在本实施方式中,配线部件11以与主面17a、17b的长边正交的方式配置。配线部件11延伸的方向与第三方向D3正交。配线部件11沿第二方向D2延伸。配线部件11具有与压电元件13电连接且物理连接的一端部和与搭载振动器件1的电子设备(未图示)电连接且物理连接的另一端部。
如上所述,在本实施方式的振动器件1中,第一粘接部件21和第二粘接部件23在振动板15的主面15a、15b的短边侧相对地配置。即,振动板15通过在主面15a、15b的短边侧相对地配置的第一粘接部件21及第二粘接部件23而保持(固定)于振动部件5。在该结构中,在相对的第一粘接部件21和第二粘接部件23之间形成有空间。即,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙。因此,在振动器件1中,能够避免压电振子3的位移受到振动部件5阻碍。因此,在振动器件1中,能够有效地得到压电振子3的振动。
在本实施方式的振动器件1中,从第一方向D1观察,压电元件13的第三方向D3的端部与第一粘接部件21及第二粘接部件23分别重叠。压电振子3难以在与第一粘接部件21及第二粘接部件23粘接的部分产生位移。因此,在振动器件1中,通过以与第一粘接部件21及第二粘接部件23重叠的方式配置压电元件13的端部,能够抑制在压电元件13的端部产生位移。由此,在振动器件1中,既能够抑制压电元件13(压电素体17)的端部从振动板15剥离,又能够抑制在压电元件13的端部产生裂纹。因此,在振动器件1中,能够抑制可靠性的降低。
在本实施方式的振动器件1中,从第一方向D1观察,振动板15和第一粘接部件21及第二粘接部件23的粘接区域比压电元件13和第一粘接部件21及第二粘接部件23重叠的区域大。在该结构中,因为振动板15和第一粘接部件21及第二粘接部件23的粘接区域变大,所以能够确保振动板15和第一粘接部件21及第二粘接部件23的接合强度。因此,在振动器件1中,能够抑制振动板15和第一粘接部件21及第二粘接部件23剥离等之类的不良情况的发生。因此,在振动器件1中,能够抑制可靠性的降低。
在本实施方式的振动器件1中,从第一方向D1观察,压电元件13呈长方形状。压电元件13(压电素体17)和振动板15以长边及短边沿着的方式配置。压电元件13的端部中,沿着振动板15的一对短边的压电元件13的短边的长度的1/2以上的部分与第一粘接部件21及第二粘接部件23重叠。在该结构中,能够进一步抑制在压电元件13(压电素体17)的端部产生位移。由此,在振动器件1中,既能够进一步抑制压电元件13的端部从振动板15剥离,又能够进一步抑制在压电元件13的端部产生裂纹。
[第二实施方式]
接下来,对第二实施方式进行说明。如图5~图8所示,第二实施方式的振动器件1A具备压电振子3、振动部件5、粘接部件7A和配线部件11。
粘接部件7A包含第一粘接部件21A和第二粘接部件23A。
第一粘接部件21A具有相互相对的一对主面21Aa、21Ab。在主面21Aa、21Ab设有粘接层(未图示)。各主面21Aa、21Ab具有一对长边和一对短边。各主面21Aa、21Ab呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,第一粘接部件21A在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面21Aa、21Ab的长边方向与第三方向D3一致。主面21Aa、21Ab的短边方向与第二方向D2方向一致。各主面21Aa、21b其整个面是粘接面。即,第一粘接部件21A的粘接面呈长方形状。
各主面21Aa、21Ab的长边的长度与振动板15的各主面15a、15b的长边的长度同等。各主面21Aa、21Ab的短边的长度例如是振动板15的各主面15a、15b的短边的长度的1/4以下。第一粘接部件21A具有规定的厚度(一对主面21Aa、21Ab的相对方向的长度,例如0.5mm左右)。
第二粘接部件23A具有相互相对的一对主面23Aa、23Ab。各主面23Aa、23Ab具有一对长边和一对短边。各主面23Aa、23Ab呈具有一对长边和一对短边的长方形状。即,第二粘接部件23A在俯视时呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面23Aa、23Ab的长边方向与第三方向D3一致。主面23Aa、23Ab的短边方向与第二方向D2方向一致。各主面23Aa、23Ab其整个面是粘接面。即,第二粘接部件23的粘接面呈长方形状。
各主面23Aa、23Ab的长边的长度与振动板15的各主面15a、15b的长边的长度同等。各主面23Aa、23Ab的短边的长度例如是振动板15的各主面15a、15b的短边的长度的1/4以下。第二粘接部件23A具有规定的厚度(一对主面23Aa、23Ab的相对方向的长度,例如0.5mm左右)。
第一粘接部件21A及第二粘接部件23A分别配置于振动板15和振动部件5之间。第一粘接部件21A及第二粘接部件23A分别配置于振动板15的主面15b和振动部件5的主面5a之间。第一粘接部件21A和第二粘接部件23A在第二方向D2上隔开规定的间隔而分离地配置。第一粘接部件21A和第二粘接部件23A在第二方向D2上相对地配置。即,第一粘接部件21A及第二粘接部件23A在振动板15的各主面15a、15b的一对长边侧相互相对地配置。第一粘接部件21A及第二粘接部件23A将振动板15(压电振子3)在振动板15的主面15a、15b的一对长边侧相对于振动部件5固定。
第一粘接部件21A配置于振动板15的第二方向D2的一端部(图6的上侧的端部)。即,第一粘接部件21A配置于压电振子3的一长边侧的端部。第一粘接部件21A的主面21Aa与振动板15的主面15b粘接。第一粘接部件21A的主面21Ab与振动部件5的主面5a粘接。各主面21Aa、21Ab的长边沿着振动板15的各主面15a、15b的长边,各主面21Aa、21Ab的短边沿着振动板15的各主面15a、15b的短边。在本实施方式中,各主面21Aa、21Ab的沿着长边的一端面(图6的上侧的端面)与振动板15的沿着各主面15a、15b的长边的端面为同一面。各主面21Aa、21Ab的沿着短边的两个端面(图6的左右的端面)的各个与振动板15的沿着各主面15a、15b的短边的两个端面的各个为同一面。
第二粘接部件23A配置于振动板15的第二方向D2的另一端部(图6的下侧的端部)。即,第二粘接部件23A配置于压电振子3的另一长边侧的端部。第二粘接部件23A的主面23Aa与振动板15的主面15b粘接。第二粘接部件23A的主面23Ab与振动部件5的主面5a粘接。各主面23Aa、23Ab的长边沿着振动板15的各主面15a、15b的长边,各主面23Aa、23Ab的短边沿着振动板15的各主面15a、15b的短边。在本实施方式中,各主面23Aa、23Ab的沿着长边的另一端面(图6的下侧的端面)与振动板15的沿着各主面15a、15b的长边的端面为同一面。各主面23Aa、23Ab的沿着短边的两个端面(图6的左右的端面)的各个与振动板15的沿着各主面15a、15b的短边的两个端面的各个为同一面。
如图6所示,从第一方向D1观察,压电元件13的一部分与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A分别重叠。压电元件13的第二方向D2的一端部与第一粘接部件21A重叠。压电元件13的第二方向D2的另一端部与第二粘接部件23A重叠。在压电素体17中,各主面17a、17b的一对长边的长度的1/2以上的部分与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A分别重叠。在本实施方式中,压电素体17的各主面17a、17b的一对长边的全部的长度的部分与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A分别重叠。
压电元件13和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A重叠的区域比振动板15和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A的粘接区域小。换句话说,振动板15和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A的粘接区域比压电元件13和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A重叠的区域大。
如图8所示,振动板15和振动部件5通过第一粘接部件21A及第二粘接部件23A而在第一方向D1上分离地配置。即,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙(空间)。
如上所述,在本实施方式的振动器件1A中,第一粘接部件21A和第二粘接部件23A在振动板15的主面15a、15b的长边侧相对地配置。由此,在振动器件1A中,在相对的第一粘接部件21A和第二粘接部件23A之间形成有空间。即,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙。因此,在振动器件1A中,能够避免压电振子3的位移受到振动部件5阻碍。因此,在振动器件1A中,能够有效地得到压电振子3的振动。
在本实施方式的振动器件1A中,从第一方向D1观察,压电元件13的第二方向D2的端部与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A分别重叠。压电振子3难以在与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A粘接的部分产生位移。因此,在振动器件1A中,通过以与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A重叠的方式配置压电元件13的端部,能够抑制在压电元件13的端部产生位移。由此,在振动器件1A中,既能够抑制压电元件13(压电素体17)的端部从振动板15剥离,又能够抑制在压电元件13的端部产生裂纹。因此,在振动器件1A中,能够抑制可靠性的降低。
在本实施方式的振动器件1A中,从第一方向D1观察,振动板15和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A的粘接区域比压电元件13和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A重叠的区域大。在该结构中,因为振动板15和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A的粘接区域变大,所以能够确保振动板15和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A的接合强度。因此,在振动器件1A中,能够抑制振动板15和第一粘接部件21A及第二粘接部件23A剥离等之类的不良情况的发生。因此,在振动器件1A中,能够抑制可靠性的降低。
在本实施方式的振动器件1A中,从第一方向D1观察,压电元件13呈长方形状。压电元件13(压电素体17)和振动板15以长边及短边沿着的方式配置。压电元件13的端部中,沿着振动板15的一对长边的压电元件13的长边的长度的1/2以上的部分与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A重叠。在该结构中,能够进一步抑制在压电元件13(压电素体17)的端部产生位移。由此,在振动器件1A中,既能够进一步抑制压电元件13的端部从振动板15剥离,又能够进一步抑制在压电元件13的端部产生裂纹。
[第三实施方式]
接下来,对第三实施方式进行说明。如图9~图12所示,第三实施方式的振动器件1B具备压电振子3、振动部件5、粘接部件7B和配线部件11。
如图10及图11所示,粘接部件7B具有相互相对的一对主面7Ba、7Bb。在主面7Ba、7Bb设有粘接层(未图示)。从第一方向D1观察,各主面21Aa、21Ab呈框状。各主面7Ba、7Bb的外形具有一对长边和一对短边。即,各主面7Ba、7Bb的外形呈具有一对长边和一对短边的长方形状。在本实施方式中,主面7Ba、7Bb的长边方向与第三方向D3一致。主面7Ba、7Bb的短边方向与第二方向D2方向一致。从第一方向D1观察,在粘接部件7B形成有长方形状的开口部。各主面7Ba、7Bb其整个面是粘接面。即,粘接部件7B的粘接面呈框状。
各主面7Ba、7Bb的长边的长度比振动板15的各主面15a、15b的长边的长度短。各主面7Ba、7Bb的短边的长度例如与振动板15的各主面15a、15b的短边同等。粘接部件7B具有规定的厚度(一对主面7Ba、7Bb的相对方向的长度,例如0.5mm左右)。
粘接部件7B配置于振动板15和振动部件5之间。粘接部件7B配置于振动板15的主面15b和振动部件5的主面5a之间。粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的短边的部分在第三方向D3上隔开规定的间隔而分离地配置。即,粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的短边的部分在振动板15的各主面15a、15b的一对短边侧相互相对地配置。粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的长边的部分在第二方向D2上隔开规定的间隔而分离地配置。即,粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的长边的部分在振动板15的各主面15a、15b的一对长边侧相互相对地配置。粘接部件7B将振动板15(压电振子3)在振动板15的主面15a、15b的一对短边侧及一对长边侧相对于振动部件5固定。
粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的短边的部分分别配置于振动板15的第三方向D3的端部(图10的右侧或左侧的端部)。即,粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的短边的部分分别配置于压电振子3的短边侧的端部。在本实施方式中,各主面7Ba、7Bb的沿着短边的部分的端面(图10的右侧或左侧的端面)位于比振动板15的沿着各主面15a、15b的短边的端面更靠内侧。
粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的长边的部分分别配置于振动板15的第二方向D2的端部(图10的上侧或下侧的端部)。即,粘接部件7B的沿着各主面7Ba、7Bb的长边的部分分别配置于压电振子3的长边侧的端部。在本实施方式中,各主面7Ba、7Bb的沿着长边的部分的端面(图10的上侧或下侧的端面)与振动板15的沿着各主面15a、15b的长边的端面为同一面。
如图10所示,从第一方向D1观察,压电元件13的一部分与粘接部件7B重叠。压电元件13的第二方向D2的一端部及第三方向D3的端部与粘接部件7B重叠。在压电素体17中,各主面17a、17b的一对短边及一对长边的长度的1/2以上的部分与粘接部件7B重叠。在本实施方式中,压电素体17的各主面17a、17b的一对短边及一对长边的全部的长度的部分分别与粘接部件7B重叠。
压电元件13和粘接部件7B重叠的区域比振动板15和粘接部件7B的粘接区域小。换句话说,振动板15和粘接部件7B重叠的面积比压电元件13和粘接部件7B的粘接区域大。
如图11所示,振动板15和振动部件5通过粘接部件7B而在第一方向D1上分离地配置。即,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙(空间)。
如上所述,在本实施方式的振动器件1B中,粘接部件7B在振动板15的主面15a、15b的短边侧及长边侧相对地配置。由此,在振动器件1B中,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙。因此,在振动器件1B中,能够避免压电振子3的位移受到振动部件5阻碍。因此,在振动器件1B中,能够有效地得到压电振子3的振动。
在本实施方式的振动器件1B中,从第一方向D1观察,压电元件13的第二方向D2的端部及第三方向D3的端部与粘接部件7B重叠。压电振子3难以在与粘接部件7B粘接的部分产生位移。因此,在振动器件1B中,通过以与粘接部件7B重叠的方式配置压电元件13的端部,能够抑制在压电元件13的端部产生位移。由此,在振动器件1B中,既能够抑制压电元件13(压电素体17)的端部从振动板15剥离,又能够抑制在压电元件13的端部产生裂纹。因此,在振动器件1B中,能够抑制可靠性的降低。
在本实施方式的振动器件1B中,从第一方向D1观察,振动板15和粘接部件7B重叠的区域比压电元件13和粘接部件7B重叠的区域大。在该结构中,因为振动板15和粘接部件7B的粘接区域变大,所以能够确保振动板15和粘接部件7B的接合强度。因此,在振动器件1B中,能够抑制振动板15和粘接部件7B剥离等之类的不良情况的发生。因此,在振动器件1B中,能够抑制可靠性的降低。
在本实施方式的振动器件1B中,从第一方向D1观察,压电元件13呈长方形状。压电元件13(压电素体17)和振动板15以长边及短边沿着的方式配置。压电元件13的端部中,沿着振动板15的一对短边及一对长边的压电元件13的短边及长边的长度的1/2以上的部分与第一粘接部件21A及第二粘接部件23A重叠。在该结构中,能够进一步抑制在压电元件13(压电素体17)的端部产生位移。由此,在振动器件1B中,既能够进一步抑制压电元件13的端部从振动板15剥离,又能够进一步抑制在压电元件13的端部产生裂纹。
[第四实施方式]
接下来,对第四实施方式进行说明。如图13及图14所示,第四实施方式的振动器件1C具备压电振子3、振动部件5、粘接部件7和配线部件11。振动器件1C的粘接部件7具有与第一实施方式的粘接部件7同样的结构。
在振动板15配置有压电元件13。压电元件13配置于振动板15的中央位置、即在振动板15的主面15a、15b的长边方向及短边方向上配置于中间的位置。从第一方向D1观察,压电元件13以其中心与振动板15的中心一致的方式配置于振动板15上。振动板15和压电素体17中,主面15b和主面17a相对地配置。即,压电元件13配置于振动板15的主面15b。振动板15的主面15b和压电素体17的主面17a被粘接。
如图14所示,在振动器件1C中,压电振子3位于在第三方向D3上相对的第一粘接部件21及第二粘接部件23之间。压电振子3配置于通过粘接部件7B而形成于振动板15和振动部件5之间的间隙(空间)。
如上所述,本实施方式的在振动器件1C中,第一粘接部件21和第二粘接部件23在振动板15的主面15a、15b的短边侧相对地配置。由此,在振动器件1C中,在相对的第一粘接部件21和第二粘接部件23之间形成有空间。即,在振动板15和振动部件5之间形成有间隙。因此,在振动器件1C中,能够避免压电振子3的位移受到振动部件5阻碍。因此,在振动器件1C中,能够有效地得到压电振子3的振动。
在振动器件1C中,以第一粘接部件21和第二粘接部件23在振动板15的主面15a、15b的短边侧相对地配置的方式为一个例子进行了说明。但是,如图6所示,第一粘接部件21及第二粘接部件23也可以在振动板15的主面15a、15b的长边侧相对地配置。
如图15所示,振动器件1D也可以具备配重(负载部件)20。配重20配置于振动板15上。配重20配置于振动板15的主面15a上(配置有压电元件13的主面15b的相反侧的主面)。配重20是在第一方向D1上对振动板15施加负载的部件。
配重20例如为板状的部件。从第一方向D1观察,配重20例如呈长方形状。配重20例如由金属构成。配重20在第一方向D1上对振动板15施加负载。配重20的厚度(第一方向D1的长度)可适当设定。例如,配重20的厚度也可以比第一粘接部件21及第二粘接部件23的厚度大。
在振动器件1D中,具备配重20。在该结构中,因为在压电元件13进行驱动时,能够通过配重20而增大压电振子3的重心移动的能量(能够激振),所以能够放大压电振子3的振动。因此,在振动器件1D中,能够有效地得到振动。
以上,对本发明的实施方式进行了说明,但本发明不必限定于上述的实施方式,可在不脱离其宗旨的范围内进行各种变更。
在上述实施方式中,以从第一方向D1观察,压电素体17为长方形状(矩形状)的方式为一个例子进行了说明。但是,压电元件的形状不限定于此。
在上述实施方式中,以粘接部件7、7A、7B为双面胶带的方式为一个例子进行了说明。但是,粘接部件也可以是其他部件。
符号的说明
1、1A~1D…振动器件、3…压电振子、5…振动部件、7、7A、7B…粘接部件、13…压电元件、15…振动板、15a、15b…主面、20…配重(负载部件)、21、21A…第一粘接部件、23、23A…第二粘接部件。

Claims (5)

1.一种振动器件,其中,
具备:
压电振子,其具有压电元件和振动板,所述振动板具有相互相对的一对主面并且在一个所述主面接合有所述压电元件;
振动部件,其配置有所述压电振子;
粘接部件,其配置于所述振动板和所述振动部件之间,粘接所述振动板和所述振动部件,
从一对所述主面的相对方向观察,所述振动板的一对所述主面分别呈长方形状,
所述粘接部件在所述主面的至少一对边侧相对地配置。
2.根据权利要求1所述的振动器件,其中,
从所述相对方向观察,所述压电元件的所述一对边侧的端部与所述粘接部件重叠。
3.根据权利要求2所述的振动器件,其中,
从所述相对方向观察,所述振动板和所述粘接部件被粘接的粘接区域比所述压电元件的所述端部和所述粘接部件重叠的区域大。
4.根据权利要求2或3所述的振动器件,其中,
从所述相对方向观察,所述压电元件呈长方形状,
所述压电元件和所述振动板以长边及短边沿着的方式配置,
所述压电元件的所述端部中,沿着所述振动板的所述一对边的所述压电元件的边的长度的1/2以上的部分与所述粘接部件重叠。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的振动器件,其中,
具备配置于所述振动板中接合有所述压电元件的一个所述主面的相反侧的另一个所述主面的负载部件。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7276019B2 (ja) * 2019-09-05 2023-05-18 Tdk株式会社 振動デバイス

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02261211A (ja) * 1989-03-31 1990-10-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 多重モード型水晶振動子
US5176140A (en) * 1989-08-14 1993-01-05 Olympus Optical Co., Ltd. Ultrasonic probe
CN101026369A (zh) * 2006-02-23 2007-08-29 Tdk株式会社 复合电子部件
CN101047364A (zh) * 2006-03-30 2007-10-03 株式会社大真空 压电振动器件
JP2008011295A (ja) * 2006-06-30 2008-01-17 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子及び圧電振動装置
CN102160285A (zh) * 2008-03-31 2011-08-17 株式会社村田制作所 压电振动元件
CN103534827A (zh) * 2012-05-12 2014-01-22 京瓷株式会社 压电促动器、压电振动装置及便携终端
JP2014192729A (ja) * 2013-03-27 2014-10-06 Daishinku Corp 圧電振動素子および圧電振動デバイス
JP2015065588A (ja) * 2013-09-25 2015-04-09 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動子

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2535727Y2 (ja) * 1988-12-16 1997-05-14 株式会社 村上開明堂 ミラーの水滴除去装置
JP2000301065A (ja) * 1999-04-23 2000-10-31 Matsushita Electric Works Ltd 圧電振動装置
JP2001024460A (ja) * 1999-07-06 2001-01-26 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動板の製造方法
CN103155410B (zh) * 2010-11-01 2016-05-25 株式会社村田制作所 压电振动装置
JP6006097B2 (ja) 2012-11-22 2016-10-12 京セラ株式会社 振動装置、および電子機器
JP2017175805A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 京セラ株式会社 アクチュエータ及び触感呈示装置
JP6957921B2 (ja) * 2017-03-23 2021-11-02 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、角速度センサー、電子機器および移動体

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02261211A (ja) * 1989-03-31 1990-10-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 多重モード型水晶振動子
US5176140A (en) * 1989-08-14 1993-01-05 Olympus Optical Co., Ltd. Ultrasonic probe
CN101026369A (zh) * 2006-02-23 2007-08-29 Tdk株式会社 复合电子部件
CN101047364A (zh) * 2006-03-30 2007-10-03 株式会社大真空 压电振动器件
JP2008011295A (ja) * 2006-06-30 2008-01-17 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子及び圧電振動装置
CN102160285A (zh) * 2008-03-31 2011-08-17 株式会社村田制作所 压电振动元件
CN103534827A (zh) * 2012-05-12 2014-01-22 京瓷株式会社 压电促动器、压电振动装置及便携终端
JP2014192729A (ja) * 2013-03-27 2014-10-06 Daishinku Corp 圧電振動素子および圧電振動デバイス
JP2015065588A (ja) * 2013-09-25 2015-04-09 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動子

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
孙景阳;程光明;吴博达;温建明;曾平;: "基于圆形压电振子的骨传导听觉装置" *

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Publication number Publication date
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