JP3236536B2 - セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子 - Google Patents
セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子Info
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- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、圧電素子を担持
したセンサ素子及び当該センサ素子に好適に用いられ
る、包囲空間が形成されたセラミック基体に関する。
したセンサ素子及び当該センサ素子に好適に用いられ
る、包囲空間が形成されたセラミック基体に関する。
【０００２】
【従来の技術】 圧電素子などを担持するセンサ素子
は、流体の粘度測定、流体中の固体粒子の検出、振動の
検出などに用いられている。例えば、圧電膜又は振動部
（以下、圧電膜等という。）が被測定流体（以下、流体
という。）に接触した際に、流体の粘度が大きい場合に
は圧電膜等の振幅が小さくなり、流体の粘度が小さい場
合には圧電膜等の振幅が大きくなる性質を利用して、圧
電膜に電圧を印加させ、振幅などに対応する電流を検出
し、圧電膜の損失係数、電気抵抗、リアクタンス等の変
化を測定することにより、流体の粘度を測定するセンサ
素子が公開されている（特開平８−２０１２６５号公
報）。
は、流体の粘度測定、流体中の固体粒子の検出、振動の
検出などに用いられている。例えば、圧電膜又は振動部
（以下、圧電膜等という。）が被測定流体（以下、流体
という。）に接触した際に、流体の粘度が大きい場合に
は圧電膜等の振幅が小さくなり、流体の粘度が小さい場
合には圧電膜等の振幅が大きくなる性質を利用して、圧
電膜に電圧を印加させ、振幅などに対応する電流を検出
し、圧電膜の損失係数、電気抵抗、リアクタンス等の変
化を測定することにより、流体の粘度を測定するセンサ
素子が公開されている（特開平８−２０１２６５号公
報）。
【０００３】 前記センサ素子は、硫酸水溶液のように
流体の粘度が流体の比重又は流体中の成分濃度と相関関
係を有している場合には、流体の比重や成分濃度を測定
することも可能となるため、例えば、鉛蓄電池の電解液
として用いる硫酸の粘度の変化から比重の変化を測定
し、電池の充放電状態を知ることにも用いることができ
る。
流体の粘度が流体の比重又は流体中の成分濃度と相関関
係を有している場合には、流体の比重や成分濃度を測定
することも可能となるため、例えば、鉛蓄電池の電解液
として用いる硫酸の粘度の変化から比重の変化を測定
し、電池の充放電状態を知ることにも用いることができ
る。
【０００４】 図２は、前記センサ素子１を鉛蓄電池内
に組み込んだ状態の例を示したものである。鉛蓄電池の
一対の電極１３ａ、１３ｂの間には、多孔質よりなるセ
パレータ１４が挟入されており、センサ素子１はセパレ
ータ１４に埋没するように挾持される。このような状態
でセンサ素子１を電池ケース内に収容し、電解液を注入
すると、電解液はセパレータ１４に染み込んで電極１３
ａ、１３ｂ間に満たされ、そこから染み出した電解液が
平板状基体２に穿設された連通孔１５ａ、１５ｂから包
囲空間６に流入し、さらには振動部８へと導かれて電解
液の粘度を測定することができるのである。
に組み込んだ状態の例を示したものである。鉛蓄電池の
一対の電極１３ａ、１３ｂの間には、多孔質よりなるセ
パレータ１４が挟入されており、センサ素子１はセパレ
ータ１４に埋没するように挾持される。このような状態
でセンサ素子１を電池ケース内に収容し、電解液を注入
すると、電解液はセパレータ１４に染み込んで電極１３
ａ、１３ｂ間に満たされ、そこから染み出した電解液が
平板状基体２に穿設された連通孔１５ａ、１５ｂから包
囲空間６に流入し、さらには振動部８へと導かれて電解
液の粘度を測定することができるのである。
【０００５】 しかしながら、前記センサ素子において
は、例えば、被測定流体が水溶液、硫酸等の粘度が大き
い流体、若しくは平板状基体を形成するセラミックと濡
れ性が悪い流体である場合、また、平板状基体の包囲空
間が狭い連通孔により基体外部と連通している場合に
は、平板状基体の包囲空間内の空気が流体と置換し難い
という問題点があった。
は、例えば、被測定流体が水溶液、硫酸等の粘度が大き
い流体、若しくは平板状基体を形成するセラミックと濡
れ性が悪い流体である場合、また、平板状基体の包囲空
間が狭い連通孔により基体外部と連通している場合に
は、平板状基体の包囲空間内の空気が流体と置換し難い
という問題点があった。
【０００６】 また、被測定流体が包囲空間内に充足さ
れた後も、包囲空間近傍に流体が充分存在せず、或いは
流体は充分存在しても気泡が多い状況下では、一度充足
された流体が当該気泡等により再び置換されてしまうと
いう問題点があった。この問題点解決のため、前記包囲
空間を被包するように多孔体を配設したセラミック基体
が提案されている（特願平８−３１７３２６号）。
れた後も、包囲空間近傍に流体が充分存在せず、或いは
流体は充分存在しても気泡が多い状況下では、一度充足
された流体が当該気泡等により再び置換されてしまうと
いう問題点があった。この問題点解決のため、前記包囲
空間を被包するように多孔体を配設したセラミック基体
が提案されている（特願平８−３１７３２６号）。
【０００７】 前記セラミック基体は、前記多孔体に被
測定流体と混合する液体や当該流体に溶解する固体等を
充填すれば、包囲空間内により確実に流体を導入するこ
とが可能となるのに加え、包囲空間内への気泡等の侵入
を防止できる点においても有効であるため、流体が気泡
等により再び置換される事態は減少した。
測定流体と混合する液体や当該流体に溶解する固体等を
充填すれば、包囲空間内により確実に流体を導入するこ
とが可能となるのに加え、包囲空間内への気泡等の侵入
を防止できる点においても有効であるため、流体が気泡
等により再び置換される事態は減少した。
【０００８】 しかしながら、例えば、前記多孔体が繊
維質よりなる織布や不織布等により構成されている場合
には、新たな問題点が生じていた。即ち、多孔体が流体
により湿潤されると、流体と多孔体の濡れ性に応じて、
多孔体内の隣接する繊維間に毛細管力が発生し、前記各
繊維間の距離が狭まるため、乾燥状態と比較して多孔体
が収縮することとなる。
維質よりなる織布や不織布等により構成されている場合
には、新たな問題点が生じていた。即ち、多孔体が流体
により湿潤されると、流体と多孔体の濡れ性に応じて、
多孔体内の隣接する繊維間に毛細管力が発生し、前記各
繊維間の距離が狭まるため、乾燥状態と比較して多孔体
が収縮することとなる。
【０００９】 従って、包囲空間と多孔体との界面に空
隙が生じ、包囲空間近傍に流体が充分存在せず、また流
体が充分存在しても気泡の多い状況となれば、当該空隙
から気泡等が侵入し包囲空間内の流体が再び置換されて
しまうのである。また、セラミックスのような剛性があ
る、不撓性の多孔体を用いた場合であっても、厳密には
平板状基体との密着度が担保できないため同様の問題が
生じ得る。
隙が生じ、包囲空間近傍に流体が充分存在せず、また流
体が充分存在しても気泡の多い状況となれば、当該空隙
から気泡等が侵入し包囲空間内の流体が再び置換されて
しまうのである。また、セラミックスのような剛性があ
る、不撓性の多孔体を用いた場合であっても、厳密には
平板状基体との密着度が担保できないため同様の問題が
生じ得る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】 本発明は、上述した
従来の課題に鑑みてなされたものであって、その目的と
するところは、包囲空間近傍に流体が充分存在せず、気
泡の多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等に
より再び置換される事態を防止することにある。
従来の課題に鑑みてなされたものであって、その目的と
するところは、包囲空間近傍に流体が充分存在せず、気
泡の多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等に
より再び置換される事態を防止することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】 すなわち本発明によれ
ば、包囲空間が形成された平板状基体と、当該包囲空間
を被包するように配設された多孔体とからなるセラミッ
ク基体であって、前記多孔体が可撓性を有し、当該多孔
体を前記平板状基体との積層方向に圧着するための圧着
手段を配設したことを特徴とするセラミック基体が提供
される。
ば、包囲空間が形成された平板状基体と、当該包囲空間
を被包するように配設された多孔体とからなるセラミッ
ク基体であって、前記多孔体が可撓性を有し、当該多孔
体を前記平板状基体との積層方向に圧着するための圧着
手段を配設したことを特徴とするセラミック基体が提供
される。
【００１２】 本発明のセラミック基体においては、圧
着手段により圧着された多孔体の、平板状基体との積層
方向の厚みｔが、圧着前の多孔体の厚みｔ0に対し、0.1
ｔ0≦ｔ＜ｔ0 の関係を満たすことが好ましく、多孔体
が、天然繊維、合成繊維及び無機繊維のうちの何れか１
種よりなる織布、若しくは不織布から構成されることが
好ましく、平板状基体に少なくとも２以上の連通孔によ
り外部空間と連通する包囲空間が形成され、当該２以上
の連通孔の全てを被包するように多孔体が配設されてい
ることが好ましい。
着手段により圧着された多孔体の、平板状基体との積層
方向の厚みｔが、圧着前の多孔体の厚みｔ0に対し、0.1
ｔ0≦ｔ＜ｔ0 の関係を満たすことが好ましく、多孔体
が、天然繊維、合成繊維及び無機繊維のうちの何れか１
種よりなる織布、若しくは不織布から構成されることが
好ましく、平板状基体に少なくとも２以上の連通孔によ
り外部空間と連通する包囲空間が形成され、当該２以上
の連通孔の全てを被包するように多孔体が配設されてい
ることが好ましい。
【００１３】 また、本発明のセラミック基体において
は、圧着手段が多孔体と流体とを面接触させるための窓
部を有し、かつ、当該圧着手段により前記多孔体を封着
していることが好ましく、圧着手段の、多孔体を連通孔
に対し、直接圧着する部分以外に窓部を設けることが更
に好ましい。
は、圧着手段が多孔体と流体とを面接触させるための窓
部を有し、かつ、当該圧着手段により前記多孔体を封着
していることが好ましく、圧着手段の、多孔体を連通孔
に対し、直接圧着する部分以外に窓部を設けることが更
に好ましい。
【００１４】 一方、多孔体が、平板状基体外への張り
出し部を有することも好ましく、この場合には、当該張
り出し部の長手方向の一端が流体と、他端が流体吸収体
と接触していることが、更に好ましい。更にまた、少な
くとも多孔体と接する部分における平板状基体の表面粗
さが50 μｍ以下であることが好ましい。
出し部を有することも好ましく、この場合には、当該張
り出し部の長手方向の一端が流体と、他端が流体吸収体
と接触していることが、更に好ましい。更にまた、少な
くとも多孔体と接する部分における平板状基体の表面粗
さが50 μｍ以下であることが好ましい。
【００１５】 また、本発明によれば、振動部を有する
基体と、当該振動部の一方の表面に固定され、圧電膜と
当該圧電膜に接触する一対の電極とを有する圧電素子と
からなり、前記振動部の他方の表面が包囲空間に面する
センサ素子であって、前記基体が前記本発明のセラミッ
ク基体であることを特徴とするセンサ素子が提供され
る。
基体と、当該振動部の一方の表面に固定され、圧電膜と
当該圧電膜に接触する一対の電極とを有する圧電素子と
からなり、前記振動部の他方の表面が包囲空間に面する
センサ素子であって、前記基体が前記本発明のセラミッ
ク基体であることを特徴とするセンサ素子が提供され
る。
【００１６】 本発明のセンサ素子においては、包囲空
間及び包囲空間を被包するように配設された多孔体の空
孔部に、流体に溶解する固体、流体に溶解する高粘性液
体、流体と反応する固体、及び流体と反応する高粘性液
体のうちの何れか１種が充填されていることが好まし
く、流体に溶解する固体、流体に溶解する高粘性液体、
流体と反応する固体、及び流体と反応する高粘性液体の
うちの何れか１種が流体と置換されていることが更に好
ましい。
間及び包囲空間を被包するように配設された多孔体の空
孔部に、流体に溶解する固体、流体に溶解する高粘性液
体、流体と反応する固体、及び流体と反応する高粘性液
体のうちの何れか１種が充填されていることが好まし
く、流体に溶解する固体、流体に溶解する高粘性液体、
流体と反応する固体、及び流体と反応する高粘性液体の
うちの何れか１種が流体と置換されていることが更に好
ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】 本発明はセラミック基体及びこ
れを利用したセンサ素子に関するものであるので、ま
ず、センサ素子全体について図面により概説する。本発
明で用いられるセンサ素子１は、例えば図３（ａ）、
（ｂ）に示すような全体構造を有しており、その細部構
造としては、図４に示す如く、振動部８を有する平板状
基体２と、振動部表面８ｓに固定された圧電素子３とを
有し、平板状基体２には、振動部８が肉薄になるよう
に、包囲空間６が形成されている。また、図示しない
が、平板状基体２裏面の一部に設けられた連通孔によ
り、包囲空間６と外部空間が連通するように構成されて
いる。
れを利用したセンサ素子に関するものであるので、ま
ず、センサ素子全体について図面により概説する。本発
明で用いられるセンサ素子１は、例えば図３（ａ）、
（ｂ）に示すような全体構造を有しており、その細部構
造としては、図４に示す如く、振動部８を有する平板状
基体２と、振動部表面８ｓに固定された圧電素子３とを
有し、平板状基体２には、振動部８が肉薄になるよう
に、包囲空間６が形成されている。また、図示しない
が、平板状基体２裏面の一部に設けられた連通孔によ
り、包囲空間６と外部空間が連通するように構成されて
いる。
【００１８】 更には、圧電素子３が、圧電膜４と、圧
電膜４を挟む一対の電極５ａ、５ｂとを有し、平板状基
体２の表面には、一対の電極５ａ、５ｂに電気的に接続
する電極端子７が形成されている。このようなセンサ素
子１においては、被測定流体が連通孔より包囲空間６内
に導入され、振動部８を振動することにより流体の粘度
等を測定することができる。なお、図３において、９は
圧電素子保護層、１６はカバー、１８ａ、１８ｂは板バ
ネ状端子、１９ａ、１９ｂはリード線、２０はＯ−リン
グ、２１ａ、２１ｂは押え板、２２は窪み部、２３はく
り貫き部、２４ａ、２４ｂはボルト、２５ａ、２５ｂは
穴、２６ｂはナットを示す。
電膜４を挟む一対の電極５ａ、５ｂとを有し、平板状基
体２の表面には、一対の電極５ａ、５ｂに電気的に接続
する電極端子７が形成されている。このようなセンサ素
子１においては、被測定流体が連通孔より包囲空間６内
に導入され、振動部８を振動することにより流体の粘度
等を測定することができる。なお、図３において、９は
圧電素子保護層、１６はカバー、１８ａ、１８ｂは板バ
ネ状端子、１９ａ、１９ｂはリード線、２０はＯ−リン
グ、２１ａ、２１ｂは押え板、２２は窪み部、２３はく
り貫き部、２４ａ、２４ｂはボルト、２５ａ、２５ｂは
穴、２６ｂはナットを示す。
【００１９】 本発明のセラミック基体は、包囲空間が
形成された平板状基体と、当該包囲空間を被包するよう
に配設された多孔体とからなり、前記多孔体が可撓性を
有し、当該多孔体を前記平板状基体との積層方向に圧着
するための圧着手段を配設したことを特徴とする。当該
圧着手段により多孔体と平板状基体とを圧着すること
で、単に多孔体を接触させた場合と異なり、平板状基体
（以下、基体という。）と多孔体との間に間隙が生じ難
くなるため、基体近傍に流体が充分に存在せず、また気
泡の多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等に
より再び置換されるのを防止することができる。
形成された平板状基体と、当該包囲空間を被包するよう
に配設された多孔体とからなり、前記多孔体が可撓性を
有し、当該多孔体を前記平板状基体との積層方向に圧着
するための圧着手段を配設したことを特徴とする。当該
圧着手段により多孔体と平板状基体とを圧着すること
で、単に多孔体を接触させた場合と異なり、平板状基体
（以下、基体という。）と多孔体との間に間隙が生じ難
くなるため、基体近傍に流体が充分に存在せず、また気
泡の多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等に
より再び置換されるのを防止することができる。
【００２０】 本発明において包囲空間とは、センサの
検出部たる振動部を含んで平板状基体内に形成される空
間であって、当該包囲空間内に流体が導かれることによ
り流体の粘度等が測定可能となる。当該包囲空間は、一
方の面が外部空間に対し開放されていてもよいが、多孔
体と包囲空間との接触面を少なくし、多孔体と包囲空間
との間に間隙が生ずる確率を減少させるべく、少なくと
も２以上の連通孔によってのみ外部空間と連通すること
が好ましく、一の連通孔より気泡等が侵入する事態を回
避すべく、当該２以上の連通孔の全てを被包するように
多孔体が配設されていることが更に好ましい。
検出部たる振動部を含んで平板状基体内に形成される空
間であって、当該包囲空間内に流体が導かれることによ
り流体の粘度等が測定可能となる。当該包囲空間は、一
方の面が外部空間に対し開放されていてもよいが、多孔
体と包囲空間との接触面を少なくし、多孔体と包囲空間
との間に間隙が生ずる確率を減少させるべく、少なくと
も２以上の連通孔によってのみ外部空間と連通すること
が好ましく、一の連通孔より気泡等が侵入する事態を回
避すべく、当該２以上の連通孔の全てを被包するように
多孔体が配設されていることが更に好ましい。
【００２１】 本発明で用いる多孔体としては、可撓性
を有する素材、例えば天然繊維、合成繊維又は無機繊維
等よりなる織布、不織布等を用いる。可撓性を有する多
孔体は、押圧力をかけて基体に圧着することにより、基
体との密着度が増し間隙が生じ難くなるため、包囲空間
内の流体の気泡等による置換を防止することができると
ともに、押圧力を吸収して基体の損傷をも防止すること
ができる。
を有する素材、例えば天然繊維、合成繊維又は無機繊維
等よりなる織布、不織布等を用いる。可撓性を有する多
孔体は、押圧力をかけて基体に圧着することにより、基
体との密着度が増し間隙が生じ難くなるため、包囲空間
内の流体の気泡等による置換を防止することができると
ともに、押圧力を吸収して基体の損傷をも防止すること
ができる。
【００２２】 織布、不織布等の繊維質からなる多孔体
は、流体に湿潤すると繊維間の毛細管力による収縮がお
こるため、単に基体上に配設したのみでは当該基体との
界面に間隙が生じ易いが、本発明のように押圧力をかけ
て圧着していればかかる問題は生じない。なお、たとえ
多孔体であっても、セラミックスのように剛性がある、
不撓性の素材は用いることができない。基体との密着度
が担保できず、押圧力を吸収することもできないからで
ある。
は、流体に湿潤すると繊維間の毛細管力による収縮がお
こるため、単に基体上に配設したのみでは当該基体との
界面に間隙が生じ易いが、本発明のように押圧力をかけ
て圧着していればかかる問題は生じない。なお、たとえ
多孔体であっても、セラミックスのように剛性がある、
不撓性の素材は用いることができない。基体との密着度
が担保できず、押圧力を吸収することもできないからで
ある。
【００２３】 本発明のセラミック基体においては、圧
着手段により圧着された多孔体の、平板状基体との積層
方向の厚みｔが、圧着前の多孔体の厚みｔ0に対し、0.1
ｔ0≦ｔ＜ｔ0 の関係を満たすことが好ましい。この範
囲より多孔体の厚みが大きくなれば、基体と多孔体との
間に働く押圧力が低くなるため、基体と多孔体との間に
間隙が生じやすくなる一方、この範囲より多孔体の厚み
が小さくなれば、前記押圧力が高くなるため、基体が破
損するおそれがあるからである。
着手段により圧着された多孔体の、平板状基体との積層
方向の厚みｔが、圧着前の多孔体の厚みｔ0に対し、0.1
ｔ0≦ｔ＜ｔ0 の関係を満たすことが好ましい。この範
囲より多孔体の厚みが大きくなれば、基体と多孔体との
間に働く押圧力が低くなるため、基体と多孔体との間に
間隙が生じやすくなる一方、この範囲より多孔体の厚み
が小さくなれば、前記押圧力が高くなるため、基体が破
損するおそれがあるからである。
【００２４】 基体強度にはばらつきがあるため、前記
効果を確実なものとするには、 0.2ｔ0≦ｔ≦0.9ｔ0 の
関係を満たすことが更に好ましく、0.3ｔ0≦ｔ≦0.8ｔ
0 の関係を満たすことが特に好ましい。なお、多孔体の
厚みは、接着時の荷重、圧着手段の剛性等により設定す
ることが可能である。
効果を確実なものとするには、 0.2ｔ0≦ｔ≦0.9ｔ0 の
関係を満たすことが更に好ましく、0.3ｔ0≦ｔ≦0.8ｔ
0 の関係を満たすことが特に好ましい。なお、多孔体の
厚みは、接着時の荷重、圧着手段の剛性等により設定す
ることが可能である。
【００２５】 本発明における圧着手段としては、強度
及び靱性を担保できる金属、合成樹脂、セラミック等よ
りなる板状体を用いることができ、図１に示すように、
平板状基体の先端部裏面保護層を圧着手段として兼用し
てもよい。
及び靱性を担保できる金属、合成樹脂、セラミック等よ
りなる板状体を用いることができ、図１に示すように、
平板状基体の先端部裏面保護層を圧着手段として兼用し
てもよい。
【００２６】 また、基体と多孔体との圧着方法は、前
記 0.1ｔ0≦ｔ＜ｔ0 の関係を満たす方法であれば、特
に限定されないが、例えば図５に示すように、基体２上
に多孔体１１を載置した後、さらに圧着部材２８を積重
し、基体２上に設けた凸部２７と当該圧着部材２８とを
接着剤により固定する方法、あるいは、バネにより押さ
えつける方法等が考えられる。
記 0.1ｔ0≦ｔ＜ｔ0 の関係を満たす方法であれば、特
に限定されないが、例えば図５に示すように、基体２上
に多孔体１１を載置した後、さらに圧着部材２８を積重
し、基体２上に設けた凸部２７と当該圧着部材２８とを
接着剤により固定する方法、あるいは、バネにより押さ
えつける方法等が考えられる。
【００２７】 多孔体の形状としては、少なくとも包囲
空間を被包し得る形状であれば特に限定されないが、加
工の容易さ、基体への配設のし易さ、押圧を均等にかけ
ること等を考慮して、平板状であることが好ましい。
空間を被包し得る形状であれば特に限定されないが、加
工の容易さ、基体への配設のし易さ、押圧を均等にかけ
ること等を考慮して、平板状であることが好ましい。
【００２８】 また、本発明においては、少なくとも多
孔体と基体との接触部分における基体の表面粗さを 50
μｍ以下とすることが好ましく、10 μｍ以下とするこ
とがより好ましい。基体表面を平滑にして多孔体との密
着度を向上させるためである。なお、基体の表面粗さを
50 μｍ以上とした場合には、基体と多孔体間に間隙を
生じたのと同様に気泡等により置換されるという不具合
が生ずる可能性がある。
孔体と基体との接触部分における基体の表面粗さを 50
μｍ以下とすることが好ましく、10 μｍ以下とするこ
とがより好ましい。基体表面を平滑にして多孔体との密
着度を向上させるためである。なお、基体の表面粗さを
50 μｍ以上とした場合には、基体と多孔体間に間隙を
生じたのと同様に気泡等により置換されるという不具合
が生ずる可能性がある。
【００２９】 多孔体と流体との接触方法についても、
特に限定されないが、例えば、図１に示すように多孔体
１１に張り出し部１２を設けて、張り出し部１２と流体
とを接触させることが好ましい。
特に限定されないが、例えば、図１に示すように多孔体
１１に張り出し部１２を設けて、張り出し部１２と流体
とを接触させることが好ましい。
【００３０】 こうすることにより、基体２近傍に流体
が充分に存在せず、また気泡の多い状況下においても、
流体により湿潤した当該張り出し部１２が緩衝部となる
ことに加え、織布等の繊維質の多孔体を用いた場合に
は、毛管現象を利用して流体を充分に導入できるため、
単に多孔体を配設するより、流体と気泡等との置換を防
止する効果が更に高くなる。前記張り出し部１２は当該
機能を確保するため、基体２より１〜１０ｍｍ程度張り
出していることが好ましい。
が充分に存在せず、また気泡の多い状況下においても、
流体により湿潤した当該張り出し部１２が緩衝部となる
ことに加え、織布等の繊維質の多孔体を用いた場合に
は、毛管現象を利用して流体を充分に導入できるため、
単に多孔体を配設するより、流体と気泡等との置換を防
止する効果が更に高くなる。前記張り出し部１２は当該
機能を確保するため、基体２より１〜１０ｍｍ程度張り
出していることが好ましい。
【００３１】 また、図６に示すように、張り出し部１
２の長手方向の一端が流体２９と、他端が流体吸収体３
０と接触する構成とすることにより、被測定流体の比
重、組成、濃度の変化が比較的速いものに好適に用いる
ことができる。即ち、流体２９が多孔体内、ひいては測
定空間たる包囲空間６内を素早く流動するため、流体２
９の比重、組成、粘度等の変化が速い場合でも充分に応
答することができる。
２の長手方向の一端が流体２９と、他端が流体吸収体３
０と接触する構成とすることにより、被測定流体の比
重、組成、濃度の変化が比較的速いものに好適に用いる
ことができる。即ち、流体２９が多孔体内、ひいては測
定空間たる包囲空間６内を素早く流動するため、流体２
９の比重、組成、粘度等の変化が速い場合でも充分に応
答することができる。
【００３２】 流体吸収体３０としては、流体２９を毛
管現象により吸収することができる素材であることが必
要であり、本発明の多孔体１１として用いている有機・
無機繊維からなる織布、不織布を用いてもよいが、例え
ば紙おむつ等に用いられる高分子吸収体を好適に用いる
ことができる。
管現象により吸収することができる素材であることが必
要であり、本発明の多孔体１１として用いている有機・
無機繊維からなる織布、不織布を用いてもよいが、例え
ば紙おむつ等に用いられる高分子吸収体を好適に用いる
ことができる。
【００３３】 一方、被測定流体の測定因子の変化が比
較的遅いものに適用する場合には、図７に示すように、
多孔体１１を、窓部３２を有する圧着手段３１によって
封着し、窓部３２を通じて多孔体１１と流体２９とが面
接触するような接触方法を採ることもできる。この方法
は、図８に示す如く、例えば鉛蓄電池３３の極板間に挟
入されたセパレータ１４に染み込んだ電解液の粘度を測
定する場合等に好適に用いることができる。
較的遅いものに適用する場合には、図７に示すように、
多孔体１１を、窓部３２を有する圧着手段３１によって
封着し、窓部３２を通じて多孔体１１と流体２９とが面
接触するような接触方法を採ることもできる。この方法
は、図８に示す如く、例えば鉛蓄電池３３の極板間に挟
入されたセパレータ１４に染み込んだ電解液の粘度を測
定する場合等に好適に用いることができる。
【００３４】 即ち、張り出し部１２を設けた場合で
も、図９（ａ）に示す如く、セパレータ１４と基体２間
に生ずるデッドスペース３４に張り出し部１２が接触す
るため流体が空気と置換されやすく、図９（ｂ）に示す
ように単に平板状基体２に多孔体１１を配設するのみで
は包囲空間６内に充分流体を導けないが、図７の構造で
は、図９（ｃ）、図１０に示すように、窓部３２の全体
がセパレータ１４に直接に面接触し、デッドスペース３
４の影響を受けないため、このような事態を回避でき
る。
も、図９（ａ）に示す如く、セパレータ１４と基体２間
に生ずるデッドスペース３４に張り出し部１２が接触す
るため流体が空気と置換されやすく、図９（ｂ）に示す
ように単に平板状基体２に多孔体１１を配設するのみで
は包囲空間６内に充分流体を導けないが、図７の構造で
は、図９（ｃ）、図１０に示すように、窓部３２の全体
がセパレータ１４に直接に面接触し、デッドスペース３
４の影響を受けないため、このような事態を回避でき
る。
【００３５】 窓部３２の形状は、多孔体を確実に押圧
できている限りにおいて特に限定されないが、多孔体を
連通孔に直接圧着している部分以外に窓部を設けるこ
と、即ち、少なくとも連通孔の直上部に圧着手段が配設
されていることが好ましい。例えば、図７（ｄ）、図１
１（ａ）〜（ｄ）、図１２（ａ）に示すようなタイプの
セラミック基体は、連通孔１５ａ、１５ｂ上に圧着部材
３１があるため、連通孔１５ａ、１５ｂに確実に押圧力
が作用し、気泡による流体の置換を防止する効果が大き
いため、好ましい。
できている限りにおいて特に限定されないが、多孔体を
連通孔に直接圧着している部分以外に窓部を設けるこ
と、即ち、少なくとも連通孔の直上部に圧着手段が配設
されていることが好ましい。例えば、図７（ｄ）、図１
１（ａ）〜（ｄ）、図１２（ａ）に示すようなタイプの
セラミック基体は、連通孔１５ａ、１５ｂ上に圧着部材
３１があるため、連通孔１５ａ、１５ｂに確実に押圧力
が作用し、気泡による流体の置換を防止する効果が大き
いため、好ましい。
【００３６】 一方、連通孔上に窓部を有するタイプ
は、包囲空間と外部空間との経路が短いため、センサ素
子周辺の流体の測定因子の変化に対し、迅速に反応す
る。即ち、レスポンスがよい。この点においては、図１
２（ｂ）〜（ｃ）のタイプが好ましく、流体との接触面
積が大きい点において、図１２（ｂ）のタイプが更に好
ましい。
は、包囲空間と外部空間との経路が短いため、センサ素
子周辺の流体の測定因子の変化に対し、迅速に反応す
る。即ち、レスポンスがよい。この点においては、図１
２（ｂ）〜（ｃ）のタイプが好ましく、流体との接触面
積が大きい点において、図１２（ｂ）のタイプが更に好
ましい。
【００３７】 また、窓数が多く、或いは窓面積が大き
いタイプも、同様にレスポンスがよい。この点において
は、図１１（ｃ）〜（ｄ）、図１２（ｂ）のタイプが好
ましい。従って、窓部の位置及び形状に関しては、上記
特徴を総合的に判断して、図１１（ｃ）及び（ｄ）のタ
イプが特に好ましい。
いタイプも、同様にレスポンスがよい。この点において
は、図１１（ｃ）〜（ｄ）、図１２（ｂ）のタイプが好
ましい。従って、窓部の位置及び形状に関しては、上記
特徴を総合的に判断して、図１１（ｃ）及び（ｄ）のタ
イプが特に好ましい。
【００３８】 本発明のセンサ素子は本発明のセラミッ
ク基体を用いることを特徴とするが、当該セラミック基
体を構成する平板状基体の包囲空間に被測定流体を導入
し易くするため、図１３に示すように、包囲空間６、連
通孔１５ａ、１５ｂ、及び多孔体の空孔部に、流体に溶
解する固体、流体に溶解する高粘性液体、流体と反応す
る固体、及び流体と反応する高粘性液体のうちの何れか
１種３５を充填することが好ましく、更には、流体に溶
解する固体、流体に溶解する高粘性液体、流体と反応す
る固体、及び流体と反応する高粘性液体のうちの何れか
１種３５が流体と置換されていることが好ましい。な
お、前記の充填は、包囲空間、連通孔及び多孔体の空孔
部の一部分に連続的に又は不連続的に施されていてもよ
い。
ク基体を用いることを特徴とするが、当該セラミック基
体を構成する平板状基体の包囲空間に被測定流体を導入
し易くするため、図１３に示すように、包囲空間６、連
通孔１５ａ、１５ｂ、及び多孔体の空孔部に、流体に溶
解する固体、流体に溶解する高粘性液体、流体と反応す
る固体、及び流体と反応する高粘性液体のうちの何れか
１種３５を充填することが好ましく、更には、流体に溶
解する固体、流体に溶解する高粘性液体、流体と反応す
る固体、及び流体と反応する高粘性液体のうちの何れか
１種３５が流体と置換されていることが好ましい。な
お、前記の充填は、包囲空間、連通孔及び多孔体の空孔
部の一部分に連続的に又は不連続的に施されていてもよ
い。
【００３９】 「流体に溶解する固体、若しくは高粘性
液体」が流体に溶解することにより、当該流体が当該固
体、若しくは高粘性液体と置換して、包囲空間に充填さ
れ易くなる。また、「流体と反応する固体、若しくは高
粘性液体」が流体と反応することにより、流体が当該固
体、若しくは高粘性液体と置換して、包囲空間に充填し
易くなる。なお、ここで「固体」とは、それぞれ紛状
物、粒状物であってもよく、ペースト状、多結晶の塊な
どであってもよい。
液体」が流体に溶解することにより、当該流体が当該固
体、若しくは高粘性液体と置換して、包囲空間に充填さ
れ易くなる。また、「流体と反応する固体、若しくは高
粘性液体」が流体と反応することにより、流体が当該固
体、若しくは高粘性液体と置換して、包囲空間に充填し
易くなる。なお、ここで「固体」とは、それぞれ紛状
物、粒状物であってもよく、ペースト状、多結晶の塊な
どであってもよい。
【００４０】 「流体に溶解する固体」としては、100
g の流体に対する溶解度が、25 ℃又はセンサ素子が用
いられる動作温度において 0.01 g 以上であればよい
が、 0.1 g 以上であることが好ましく、 0.5 g 以上で
あることが更に好ましく、 1 g 以上であることが特に
好ましい。溶解度が高い方が、流体が固体を溶解して、
包囲空間に侵入し易いからである。例えば、流体が水の
場合には、塩化ナトリウム（溶解度： 35.9 g （ 25
℃））、塩化カリウム（溶解度： 35.9 g （ 25
℃））、臭化ナトリウム等の塩、グルコース、スクロー
ス等の糖が挙げられる。
g の流体に対する溶解度が、25 ℃又はセンサ素子が用
いられる動作温度において 0.01 g 以上であればよい
が、 0.1 g 以上であることが好ましく、 0.5 g 以上で
あることが更に好ましく、 1 g 以上であることが特に
好ましい。溶解度が高い方が、流体が固体を溶解して、
包囲空間に侵入し易いからである。例えば、流体が水の
場合には、塩化ナトリウム（溶解度： 35.9 g （ 25
℃））、塩化カリウム（溶解度： 35.9 g （ 25
℃））、臭化ナトリウム等の塩、グルコース、スクロー
ス等の糖が挙げられる。
【００４１】 また、流体が硫酸、塩酸等の酸である場
合には、一般に弱酸及び強塩基からなる塩が好ましい。
例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カ
ルシウム等が溶解度が高く、好適に用いることができ
る。一方、流体が水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリ
ウム水溶液等の塩基である場合には、一般に強酸及び弱
塩基からなる塩が好ましい。例えば、塩化アンモニウ
ム、硫酸アンモニウム等が溶解度が高く、好適に用いる
ことができる。
合には、一般に弱酸及び強塩基からなる塩が好ましい。
例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カ
ルシウム等が溶解度が高く、好適に用いることができ
る。一方、流体が水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリ
ウム水溶液等の塩基である場合には、一般に強酸及び弱
塩基からなる塩が好ましい。例えば、塩化アンモニウ
ム、硫酸アンモニウム等が溶解度が高く、好適に用いる
ことができる。
【００４２】 「流体に溶解する固体」は、「流体と反
応する固体」と重複する場合がある。例えば、流体が硫
酸等の酸であり、かつ、流体に溶解する固体が、炭酸水
素ナトリウム等の「弱酸と強塩基からなる塩」である場
合には、流体と反応し中和されることにより溶解する。
「流体と反応する固体」としては、例えば、流体と上記
中和反応を行う塩、流体が水である場合に加水分解反応
を行うものが挙げられる。例えば、ナトリウムメトキシ
ド等のアルカリアルコキシドが挙げられる。
応する固体」と重複する場合がある。例えば、流体が硫
酸等の酸であり、かつ、流体に溶解する固体が、炭酸水
素ナトリウム等の「弱酸と強塩基からなる塩」である場
合には、流体と反応し中和されることにより溶解する。
「流体と反応する固体」としては、例えば、流体と上記
中和反応を行う塩、流体が水である場合に加水分解反応
を行うものが挙げられる。例えば、ナトリウムメトキシ
ド等のアルカリアルコキシドが挙げられる。
【００４３】 なお、「流体に溶解する固体」又は「流
体と反応する固体」には、気孔が存在しないことが好ま
しい。例えば、図１３に示すような平板状基体におい
て、一方の連通孔１５ｂは流体中にあるが、他方の連通
孔１５ａが大気中に開放されている場合、若しくは該気
孔内の気体が「流体に溶解する気体」等でない限り、該
気孔内の気体は排出されず、流体と置換されないためで
ある。
体と反応する固体」には、気孔が存在しないことが好ま
しい。例えば、図１３に示すような平板状基体におい
て、一方の連通孔１５ｂは流体中にあるが、他方の連通
孔１５ａが大気中に開放されている場合、若しくは該気
孔内の気体が「流体に溶解する気体」等でない限り、該
気孔内の気体は排出されず、流体と置換されないためで
ある。
【００４４】 従って、センサの精度に影響がない限り
においては気孔３６ａ、３６ｂが存在してもよいが、例
えば「流体に溶解する固体」を溶解した溶液、若しくは
「流体と反応する固体」を分散した溶媒を包囲空間に満
たした後、溶媒除去により前記固体を充填して平板状基
体を製造する場合には、できる限り気孔が生じないよう
に製造することが好ましい。
においては気孔３６ａ、３６ｂが存在してもよいが、例
えば「流体に溶解する固体」を溶解した溶液、若しくは
「流体と反応する固体」を分散した溶媒を包囲空間に満
たした後、溶媒除去により前記固体を充填して平板状基
体を製造する場合には、できる限り気孔が生じないよう
に製造することが好ましい。
【００４５】 「流体に溶解する高粘性液体」及び「流
体と反応する高粘性液体」も、前記固体と同様に用いる
ことができる。高粘性液体は、固体に比して包囲空間及
び多孔体ヘの導入が容易である点において優れており好
ましい。「流体に溶解する高粘性液体」としては、例え
ば、単糖、多糖若しくはこれらの混合物と、アラビアゴ
ムとの混合物等を用いることができる。
体と反応する高粘性液体」も、前記固体と同様に用いる
ことができる。高粘性液体は、固体に比して包囲空間及
び多孔体ヘの導入が容易である点において優れており好
ましい。「流体に溶解する高粘性液体」としては、例え
ば、単糖、多糖若しくはこれらの混合物と、アラビアゴ
ムとの混合物等を用いることができる。
【００４６】 以下、本発明のセンサ素子の製造方法の
一例を示す。図１４は、図１に示したセンサ素子の製造
方法を示す側部断面図である。図１４において、９は圧
電素子保護層、３７は接着層、３８は圧電素子層、３９
は振動部層、４０は包囲空間形成層、４１は連通孔層、
１１は多孔体、１７は先端部裏面保護層である。
一例を示す。図１４は、図１に示したセンサ素子の製造
方法を示す側部断面図である。図１４において、９は圧
電素子保護層、３７は接着層、３８は圧電素子層、３９
は振動部層、４０は包囲空間形成層、４１は連通孔層、
１１は多孔体、１７は先端部裏面保護層である。
【００４７】 まず最初に振動部層３９、包囲空間形成
層４０、連通孔層４１をグリーンシート積層し、焼成す
る。次いで、圧電素子層３８を形成した後、ガラスペー
ストをスクリーン印刷し、接着層３７を形成する。最後
に圧電素子保護層９をガラスにより融着し、多孔体１１
を挾持するように先端部裏面保護層１７を接着剤で固化
させる。
層４０、連通孔層４１をグリーンシート積層し、焼成す
る。次いで、圧電素子層３８を形成した後、ガラスペー
ストをスクリーン印刷し、接着層３７を形成する。最後
に圧電素子保護層９をガラスにより融着し、多孔体１１
を挾持するように先端部裏面保護層１７を接着剤で固化
させる。
【００４８】 なお、図１５に示すように、９の圧電素
子保護層は、少なくとも圧電素子を保護し得るカバー１
６に、１７の先端部裏面保護層は、少なくとも多孔体を
挾持し得る圧着部材２８に置換することが可能である。
子保護層は、少なくとも圧電素子を保護し得るカバー１
６に、１７の先端部裏面保護層は、少なくとも多孔体を
挾持し得る圧着部材２８に置換することが可能である。
【００４９】 以上のように、可撓性を有する多孔体１
１を、平板状基体２との積層方向の押圧力により圧着し
たセラミック基体を有するセンサ素子１が製造される。
当該センサ素子１は、例えば図８、図１０（ｂ）に示す
如く、鉛蓄電池内に組み込まれ、電池の一対の電極間に
挟入された、多孔質よりなるセパレータ１４に埋没する
ように挾持して用いられる。
１を、平板状基体２との積層方向の押圧力により圧着し
たセラミック基体を有するセンサ素子１が製造される。
当該センサ素子１は、例えば図８、図１０（ｂ）に示す
如く、鉛蓄電池内に組み込まれ、電池の一対の電極間に
挟入された、多孔質よりなるセパレータ１４に埋没する
ように挾持して用いられる。
【００５０】
【発明の効果】 本発明のセラミック基体及びこれを利
用したセンサ素子では、単に多孔体を接触させた場合と
異なり、平板状基体と多孔体との間に間隙が生じ難くな
るため、基体近傍に流体が充分に存在せず、また気泡の
多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等により
再び置換されるのを防止することができる。
用したセンサ素子では、単に多孔体を接触させた場合と
異なり、平板状基体と多孔体との間に間隙が生じ難くな
るため、基体近傍に流体が充分に存在せず、また気泡の
多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等により
再び置換されるのを防止することができる。
【図１】 本発明のセラミック基体の一の実施例を示
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）Ｂ−Ｂ’断面図、（ｃ）
Ａ−Ａ’断面図、（ｄ）底面図である。
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）Ｂ−Ｂ’断面図、（ｃ）
Ａ−Ａ’断面図、（ｄ）底面図である。
【図２】 従来のセンサ素子の側面断面図である。
【図３】 センサ素子の、（ａ）概略斜視図、（ｂ）分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図４】 センサ素子の細部構造の断面説明図である。
【図５】 本発明のセラミック基体の他の実施例を示
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）Ｂ−Ｂ’断面図、（ｃ）
Ａ−Ａ’断面図、（ｄ）底面図である。
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）Ｂ−Ｂ’断面図、（ｃ）
Ａ−Ａ’断面図、（ｄ）底面図である。
【図６】 本発明のセラミック基体の一の実施例を示
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）使用状態のＢ−Ｂ’断面
図、（ｃ）使用状態の正面図である。
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）使用状態のＢ−Ｂ’断面
図、（ｃ）使用状態の正面図である。
【図７】 本発明のセラミック基体の一の実施例を示
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）Ａ−Ａ’断面図、（ｃ）
Ｂ−Ｂ’断面図、（ｄ）底面図である。
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）Ａ−Ａ’断面図、（ｃ）
Ｂ−Ｂ’断面図、（ｄ）底面図である。
【図８】 センサ素子の使用状態を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図９】 センサ素子をセパレータに挟持した状態の断
面図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）である。
面図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）である。
【図１０】 本発明のセラミック基体の一の実施例を示
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）使用状態のＡ−Ａ’断面
図、（ｃ）使用状態のＢ−Ｂ’断面図である。
す、（ａ）概略斜視図、（ｂ）使用状態のＡ−Ａ’断面
図、（ｃ）使用状態のＢ−Ｂ’断面図である。
【図１１】 本発明のセラミック基体の他の実施例を示
す底面図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）である。
す底面図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）である。
【図１２】 本発明のセラミック基体の他の実施例を示
す底面図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）である。
す底面図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）である。
【図１３】 本発明のセンサ素子の一の実施態様の例を
示す断面説明図である。
示す断面説明図である。
【図１４】 本発明のセンサ素子の一の製造方法の例を
示す断面説明図である。
示す断面説明図である。
【図１５】 本発明のセンサ素子の他の製造方法の例を
示す断面説明図である。
示す断面説明図である。
１…センサ素子、２…平板状基体、３…圧電素子、４…
圧電膜、５ａ、５ｂ…一対の電極、６…包囲空間、７…
電極端子、８…振動部、９…圧電素子保護層、１０…ガ
ラス層、１１…多孔体、１２…張り出し部、１３ａ、１
３ｂ…電極、１４…セパレータ、１５ａ、１５ｂ…連通
孔、１６…カバー、１７…先端部裏面保護層、１８ａ、
１８ｂ…板バネ状端子、１９ａ、１９ｂ…リード線、２
０…Ｏ−リング、２１ａ、２１ｂ…押え板、２２…窪み
部、２３…くり貫き部、２４ａ、２４ｂ…ボルト、２５
ａ、２５ｂ…穴、２６ｂ…ナット、２７…凸部、２８…
圧着部材、２９…流体、３０…流体吸収体、３１…圧着
手段（窓部有り）、３２…窓部、３３…鉛蓄電池、３４
…デッドスペース、３５…固体（若しくは高粘性液
体）、３６ａ、３６ｂ…気孔、３７…接着層、３８…圧
電素子層、３９…振動部層、４０…包囲空間形成層、４
１…連通孔層。
圧電膜、５ａ、５ｂ…一対の電極、６…包囲空間、７…
電極端子、８…振動部、９…圧電素子保護層、１０…ガ
ラス層、１１…多孔体、１２…張り出し部、１３ａ、１
３ｂ…電極、１４…セパレータ、１５ａ、１５ｂ…連通
孔、１６…カバー、１７…先端部裏面保護層、１８ａ、
１８ｂ…板バネ状端子、１９ａ、１９ｂ…リード線、２
０…Ｏ−リング、２１ａ、２１ｂ…押え板、２２…窪み
部、２３…くり貫き部、２４ａ、２４ｂ…ボルト、２５
ａ、２５ｂ…穴、２６ｂ…ナット、２７…凸部、２８…
圧着部材、２９…流体、３０…流体吸収体、３１…圧着
手段（窓部有り）、３２…窓部、３３…鉛蓄電池、３４
…デッドスペース、３５…固体（若しくは高粘性液
体）、３６ａ、３６ｂ…気孔、３７…接着層、３８…圧
電素子層、３９…振動部層、４０…包囲空間形成層、４
１…連通孔層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−201265（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−301594（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−178642（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−167830（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−202284（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−323571（ＪＰ，Ａ) 特表 平８−508215（ＪＰ，Ａ) 国際公開97／1085（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 1/16 G01N 11/16 G01N 15/02
Claims (12)
- 【請求項１】 包囲空間が形成された平板状基体と、 当該包囲空間を被包するように配設された多孔体とから
なるセラミック基体であって、 前記多孔体が可撓性を有し、 当該多孔体を前記平板状基体との積層方向に圧着するた
めの圧着手段を配設したことを特徴とするセラミック基
体。 - 【請求項２】 圧着手段により圧着された多孔体の、平
板状基体との積層方向の厚みｔが、圧着前の多孔体の厚
みｔ0に対し、下記式（１）の関係を満たす請求項１に
記載のセラミック基体。 0.1ｔ0≦ｔ＜ｔ0 … （１） - 【請求項３】 多孔体が、天然繊維、合成繊維及び無機
繊維のうちの何れか１種よりなる織布、若しくは不織布
から構成される請求項１又は２に記載のセラミック基
体。 - 【請求項４】 平板状基体に少なくとも２以上の連通孔
により外部空間と連通する包囲空間が形成され、 当該２以上の連通孔の全てを被包するように多孔体が配
設された請求項１〜３の何れか一項に記載のセラミック
基体。 - 【請求項５】 圧着手段が多孔体と流体とを面接触させ
るための窓部を有し、かつ、前記圧着手段により前記多
孔体を封着してなる請求項４に記載のセラミック基体。 - 【請求項６】 圧着手段の、多孔体を連通孔に対し直接
圧着する部分以外に窓部を設けてなる請求項５に記載の
セラミック基体。 - 【請求項７】 多孔体が、平板状基体外への張り出し部
を有してなる請求項１〜４の何れか一項に記載のセラミ
ック基体。 - 【請求項８】 張り出し部の長手方向の一端が流体と、
他端が流体吸収体と接触してなる請求項７に記載のセラ
ミック基体。 - 【請求項９】 少なくとも多孔体と接する部分における
平板状基体の表面粗さが50 μｍ以下である請求項１〜
８の何れか一項に記載のセラミック基体。 - 【請求項１０】 振動部を有する基体と、 当該振動部の一方の表面に固定され、圧電膜と当該圧電
膜に接触する一対の電極とを有する圧電素子とからな
り、 前記振動部の他方の表面が包囲空間に面するセンサ素子
であって、 前記基体が請求項１〜９の何れか一項に記載のセラミッ
ク基体であることを特徴とするセンサ素子。 - 【請求項１１】 包囲空間及び包囲空間を被包するよう
に配設された多孔体の空孔部に、流体に溶解する固体、
流体に溶解する高粘性液体、流体と反応する固体、及び
流体と反応する高粘性液体のうちの少なくとも何れか１
種が充填されている請求項１０に記載のセンサ素子。 - 【請求項１２】 流体に溶解する固体、流体に溶解する
高粘性液体、流体と反応する固体、及び流体と反応する
高粘性液体のうちの何れか１種が流体と置換されている
請求項１１に記載のセンサ素子。
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|---|---|---|---|
| JP19393497A JP3236536B2 (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子 |
| US09/116,742 US6231811B1 (en) | 1997-07-18 | 1998-07-16 | Ceramic substrate and sensor element using the ceramic substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19393497A JP3236536B2 (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子 |
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|---|---|
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Family
ID=16316182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19393497A Expired - Fee Related JP3236536B2 (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子 |
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| US (1) | US6231811B1 (ja) |
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| US11027154B2 (en) * | 2010-03-09 | 2021-06-08 | Profound Medical Inc. | Ultrasonic therapy applicator and method of determining position of ultrasonic transducers |
| DE102011103848A1 (de) * | 2011-05-27 | 2012-11-29 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Sensoreinrichtung |
| JP5474261B1 (ja) * | 2012-05-12 | 2014-04-16 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5622871A (en) * | 1987-04-27 | 1997-04-22 | Unilever Patent Holdings B.V. | Capillary immunoassay and device therefor comprising mobilizable particulate labelled reagents |
| US4892794A (en) * | 1988-07-18 | 1990-01-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Battery |
| JP3144948B2 (ja) * | 1992-05-27 | 2001-03-12 | 日本碍子株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
| JP3323343B2 (ja) * | 1994-04-01 | 2002-09-09 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及び粒子センサ |
| US5489465A (en) * | 1994-06-03 | 1996-02-06 | International Business Machines Corporation | Edge seal technology for low dielectric/porous substrate processing |
| JP3388060B2 (ja) * | 1994-11-25 | 2003-03-17 | 日本碍子株式会社 | 流体の特性測定用素子及び流体の特性測定装置 |
| JP3343030B2 (ja) * | 1996-05-22 | 2002-11-11 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
-
1997
- 1997-07-18 JP JP19393497A patent/JP3236536B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-16 US US09/116,742 patent/US6231811B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US6231811B1 (en) | 2001-05-15 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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