CN103033928A - 光扫描装置及光扫描控制装置 - Google Patents

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高桥宗明
关根久通
阿贺寿典
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Abstract

本发明提供能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有：以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁；以及第一压电传感器，其形成在连结梁上，当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移，第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。

Description

光扫描装置及光扫描控制装置
技术领域
本发明涉及利用扭转梁从轴向两侧支撑用于支撑反射镜的反射镜支撑部，利用上述扭转梁的扭转使上述反射镜支撑部在绕轴方向及与上述绕轴正交的方向上摆动的光扫描装置及光扫描控制装置。
背景技术
以往，已知有使用在压电元件的上表面形成上部电极、在下表面形成下部电极的促动器使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，从而使反射光进行扫描的光扫描装置。在该促动器中，通过在上部电极与下部电极上施加驱动电压，使反射镜部相对于反射面垂直及水平地摆动。
在这种促动器中，设有检测在驱动反射镜部并摆动的状态下在压电元件上产生的电压的检测用压电传感器，根据该压电传感器的输出，检测反射镜部的倾斜，控制促动器的动作。
然而，压电传感器在驱动反射镜部并摆动的状态下产生的电压是微弱的电压，存在含有干扰的场合。因此，以往，为了检测未施加驱动电压的状态的压电传感器的输出，下了各种功夫。
例如，在专利文献1中，公开了在检测未施加驱动电压的压电传感器的产生电压的场合，避免由与驱动电压的电压差引起的接地电位的干扰的干涉的技术。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2009-169195号公报
在现有的检测用的压电传感器中，由于输出是微弱的，因此容易受到来自其他信号的干扰（串线），由于该串线，反射镜的倾斜的检测精度下降。
发明内容
本发明是鉴于上述情况并为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供能减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜部的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。
本发明为了实现上述目的，采用以下那样的结构。
本发明是一种光扫描装置100，其利用扭转梁130A、130B从轴向两侧支撑反射镜支撑部120，该反射镜支撑部120支撑反射镜110，通过上述扭转梁130A、130B的扭转，使上述反射镜支撑部120在绕轴方向上摆动，该光扫描装置100具有：
以夹着上述反射镜110及上述反射镜支撑部120的方式成对设置的第一驱动梁150A、150B；
将上述第一驱动梁150A、150B的一侧与上述扭转梁130A、130B连结的连结梁140A、140B；以及
第一压电传感器191，其形成在上述连结梁140A、140B上，当在上述第一驱动梁150A、150B上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由上述扭转梁130A、130B的绕轴的摆动引起的上述连结梁140A、140B的位移，
上述第一压电传感器191将上述电极配线202向夹着上述反射镜110及上述反射镜支撑部120的一方的上述第一驱动梁150B引出，将下部电极配线201向夹着上述反射镜110及上述反射镜支撑部120的另一方的上述第一驱动梁150A引出。
另外，上述参照符号是为了容易地理解而添加的，只是一个例子，不限定于图示的方式。
本发明的效果如下。
根据本发明，能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜。
附图说明
图1是说明第一实施方式的光扫描装置的图。
图2是放大了图1的部分A的图。
图3是放大了图1的部分B的图。
图4是说明第二实施方式的光扫描装置的图。
图5是对第二实施方式的保护图案进行说明的图。
图6是放大了图4的部分A1的图。
图7是放大了图4的部分B1的图。
图8是说明第三实施方式的光扫描装置的图。
图9是放大了图8的部分B2的图。
图10是说明第四实施方式的光扫描装置的图。
图11是说明增益、相位调整部的图。
图12是说明第四实施方式的干扰去除部的电路结构的图。
图13是说明第四实施方式的干扰去除部的顺序的图。
图14是表示干扰去除前的压电传感器的输出波形的图。
图15是说明干扰同等成分的图。
图16是表示干扰去除后的压电传感器的输出波形的图。
图17是说明第四实施方式的干扰去除部的电路结构的其他例的图。
图18是说明第五实施方式的光扫描装置的图。
图19是说明第五实施方式的干扰去除的处理的流程图。
图20是放大了第五实施方式的光扫描装置的反射镜部分的图。
图21是表示第五实施方式的压电传感器的输出的例子的图。
图22是表示在第五实施方式中压电传感器的输出信号的差信号的例子的图。
图23是说明第七实施方式的光扫描装置的图。
图24是说明第七实施方式的光扫描模块的第一图。
图25是说明第七实施方式的光扫描模块的第二图。
图26是说明光学传感器的图。
图27是说明光学传感器的配置位置的图。
图28是对反射镜的垂直方向的倾斜的测定进行说明的图。
图29是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第一图。
图30是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第二图。
图31是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第三图。
图中：100、100A、100B、100D—光扫描装置，300、300A、300B—光扫描控制装置，100C—光扫描模块，110—反射镜，120—反射镜支撑部，130—扭转梁，140—连结梁，150A、150B—第一驱动梁，151A、151B、171A、171B-驱动源，160-可动框，170A、170B-第二驱动梁，180-固定框，191、195、196—压电传感器，201、202、207A、207B、208A、208B—传感器配线，203、204、205、206、210A、210B—驱动配线，220、220A、221、221A—保护图案，700—光学传感器。
具体实施方式
（第一实施方式）
下面，参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。图1是说明第一实施方式的光扫描装置的图。
本实施方式的光扫描装置100具备反射镜110、反射镜支撑部120、扭转梁130A、130B、连结梁140A、140B、第一驱动梁150A、150B、可动框160、第二驱动梁170A、170B、固定框180。另外，本实施方式的第一驱动梁150A、150B分别具备驱动源151A、151B。第二驱动梁170A、170B分别具备驱动源171A、171B。
在本实施方式的反射镜支撑部120上沿反射镜110的圆周形成有狭缝122。利用该狭缝122，能够使反射镜支撑部120轻量化，并且能够向反射镜110传递由扭转梁130A、130B产生的扭转。
在本实施方式的光扫描装置100中，在反射镜支撑部120的表面支撑有反射镜110，反射镜支撑部120连结在位于两侧的扭转梁130A、130B的端部。扭转梁130A、130B构成摆动轴，在轴向上延伸并从轴向两侧支撑反射镜支撑部120。通过扭转梁130A、130B扭转，支撑在反射镜支撑部120上的反射镜110摆动，进行使照射在反射镜110上的光的反射光扫描的动作。扭转梁130A、130B分别连结支撑在连结梁140A、140B上，并连结在第一驱动梁150A、150B上。
第一驱动梁150A、150B、连结梁140A、140B、扭转梁130A、130B、反射镜支撑部120及反射镜110被可动框160包围。第一驱动梁150A、150B将各自的一侧支撑在可动框160上。第一驱动梁150A的另一侧在内周侧延伸并与连结梁140A、140B连结。第一驱动梁150B的另一侧与同样地向内周侧延伸并与连结梁140A、140B连结。
第一驱动梁150A、150B在与扭转梁130A、130B正交的方向上以夹住反射镜110及反射镜支撑部120的方式成对设置。
在第一驱动梁150A、150B的表面分别形成有驱动源151A、151B。驱动源151A、151B由形成在第一驱动梁150A、150B的表面上的压电元件的薄膜的上表面的上部电极、形成在压电元件的下表面的下部电极构成。在驱动源151A、151B中，根据施加在上部电极与下部电极上的驱动电压的极性伸长或缩小。因此，只要交替地在第一驱动梁150A与第一驱动梁150B中施加不同的相位的驱动电压，在反射镜110的左侧与右侧，第一驱动梁150A与第一驱动梁150B在上下相反侧交替地振动，能够使反射镜110以扭转梁130A、130B为摆动轴或旋转轴绕轴摆动。以后将反射镜110绕扭转梁130A、130B的轴摆动的方向称为水平方向。例如，可以在利用第一驱动梁150A、150B的水平驱动中使用共振振动，从而高速地对反射镜110进行摆动驱动。
另外，在可动框160的外部连结有第二驱动梁170A、170B的一端。第二驱动梁170A、170B以从左右两侧夹着可动框160的方式成对设置。第二驱动梁170A的与第一驱动梁150A平行地延伸的梁与邻接梁在端部连结，整体具有曲折状的形状。并且，第二驱动梁170A的另一端连结在固定框180的内侧。第二驱动梁170B也同样地，与第一驱动梁150B平行地延伸的梁与邻接的梁在端部连结，整体具有曲折状的形状。并且，第二驱动梁170B的另一端连结在固定框180的内侧。
在第二驱动梁170A、170B的表面，分别在每个不包括曲线部的矩形单位上形成驱动源171A、171B。驱动源171A由形成在第二驱动梁170A的表面上的压电元件的薄膜的上表面的上部电极、形成在压电元件的下表面的下部电极构成。驱动源171B由形成在第二驱动梁170B的表面上的压电元件的薄膜的上表面的上部电极与形成在压电元件的下表面的下部电极构成。
在第二驱动梁170A、170B中，通过在邻接于每个矩形单位的驱动源171A、171B彼此中施加不同的极性的驱动电压，使邻接的矩形梁在上下相反方向上弯，将各矩形梁的上下移动的蓄积传递到可动框160。第二驱动梁170A、170B利用该动作使反射镜110在作为与平行方向正交的方向的垂直方向上摆动。例如，可以在利用第二驱动梁170A、170B的垂直驱动上使用非共振振动。
例如在驱动源171B包括从左侧朝向可动框160排列的驱动源171DL、171CL、171BL、171AL，右侧的驱动源171A包括从可动框160朝向右侧排列的驱动源171AR、171BR、171CR、171DR的场合，通过以相同波形对驱动源171Ax与驱动源171Cx（四个）进行驱动，由与前者相位不同的相同波形对驱动源171Bx、驱动源171Dx（四个）进行驱动，能够向垂直方向摆动。
另外，本实施方式的光扫描装置100具有检测在驱动源151A、151B上施加驱动电压且反射镜在水平方向上摆动的状态的反射镜110的水平方向的倾斜状况的压电传感器191、192、193、194。压电传感器191、192设在连结梁140B上，压电传感器193、194设在连结梁140A上。
另外，本实施方式的光扫描装置100具有检测在驱动源171A、171B上施加驱动电压且反射镜在垂直方向上摆动的状态的反射镜110的垂直方向的倾斜状况的压电传感器195、196。压电传感器195设在第二驱动梁170A上，压电传感器196设在第二驱动梁170B具有的矩形梁的一个上。
本实施方式的压电传感器191、192伴随反射镜110的水平方向的倾斜状况，输出与从扭转梁130B传递的连结梁140B的位移对应的电流值。另外，本实施方式的压电传感器193、194伴随反射镜110的水平方向的倾斜状况，输出与从扭转梁130A传递的连结梁140A的位移对应的电流值。
本实施方式的压电传感器195伴随反射镜110的垂直方向的倾斜状况，输出与第二驱动梁170A中设有压电传感器195的矩形梁的位移对应的电流值。本实施方式的压电传感器196伴随反射镜110的垂直方向的倾斜状况，输出与第二驱动梁170B中设有压电传感器196的矩形梁的位移对应的电流值。
在本实施方式中，使用来自压电传感器191～194中任一个的输出检测反射镜110的水平方向的倾斜状况。另外，在本实施方式中，使用压电传感器195、196检测反射镜110的垂直方向的倾斜状况。另外，在本实施方式中，也可以将利用从各压电传感器输出的电流值进行反射镜110的倾斜状况的检测的倾斜检测部设在光扫描装置100的外部。另外，在本实施方式中，也可以将根据倾斜检测部的检测结果控制供给到驱动源151A、151B、驱动源171A、171B的驱动电压的驱动控制部设在光扫描装置100的外部。
压电传感器191～196由形成在压电元件的薄膜的上表面的上部电极、形成在压电元件的下表面的下部电极构成。在本实施方式中，压电传感器191～196的输出为连接在上部电极与下部电极上的传感器配线的电流值。
在图1中，表示在检测反射镜110的水平方向的倾斜状况时，使用了压电传感器191的例子。以下，参照图2对压电传感器191进行说明。图2是放大了图1的部分A的图。
压电传感器191配置在连结梁140B中的连结梁140B与扭转梁130B的连结部131的驱动源151B侧。压电传感器192配置在连结部131的驱动源151A侧。压电传感器193配置在连结梁140A中的连结梁140A与扭转梁130A的连结部132的驱动源151B侧。压电传感器194配置在连结部132的驱动源151A侧。
压电传感器191、192由形成在连结梁140B的表面上的压电元件的薄膜的上表面的上部电极、形成在压电元件的下表面的下部电极构成。另外，压电传感器193、194由形成在连结梁140A的表面上的压电元件的薄膜的上表面上的上部电极、形成在压电元件的下表面的下部电极构成。
另外，在本实施方式中，由于只使用压电传感器191的输出，因此只在压电传感器191上形成传感器配线201、202。在该场合，压电传感器192～194为用于取得连结梁140A、140B的重量的平衡的虚拟传感器。
传感器配线201是从压电传感器191的下部电极引出的下部电极配线，传感器配线202是从压电传感器191的上部电极引出的上部电极配线。
传感器配线201从压电传感器191引出到第一驱动梁150A侧，将传感器配线202从压电传感器191引出到第一驱动梁150B侧。即，在本实施方式中，传感器配线201与传感器配线202的各个以从压电传感器191引出到相反方向的方式分别形成在压电传感器191的左右。
本实施方式的传感器配线201以与在驱动源151A的下部电极上施加驱动电压的驱动配线203及在驱动源151A的上部电极施加驱动电压的驱动配线204并行的方式引回，与设在固定框180上的端子组TA所包含的规定的端子连接。
本实施方式的传感器配线202以与在驱动源151B的下部电极上施加驱动电压的驱动配线205及在驱动源151B的上部电极上施加驱动电压的驱动配线206并行的方式引回，与设在固定框180上的端子组TB所包含的规定的端子连接。
在本实施方式中，可以将水平方向的倾斜检测部连接在端子组TA中连接有传感器配线201的端子、端子组TB中连接有传感器配线202的端子上。另外，在本实施方式中，可以将驱动控制部连接在端子组TA中分别连接有驱动配线203及204的端子与端子组TB中分别连接有驱动配线205及206的端子上。
另外，在本实施方式中，传感器配线201与驱动配线203及204并行的长度和传感器配线202与驱动配线205及206并行的长度相等。
在本实施方式中，通过这样形成传感器配线201、202，抵消由利用相位反转的驱动信号进行动作的驱动源151A与驱动源151B干涉的干扰，能够提高压电传感器191的输出的检测精度。由此，在本实施方式中，能够高精度地检测根据压电传感器191的输出检测的反射镜110的水平方向的倾斜。
接着，参照图3对压电传感器195进行说明。图3是放大了图1的部分B的图。
压电传感器195设在第二驱动梁170A具有的矩形梁的上端部。压电传感器195由形成在第二驱动梁170A的表面上的压电元件的薄膜的上表面的上部电极与形成在压电元件的下表面的下部电极构成。
压电传感器195的输出利用传感器配线207A与传感器配线208A输出。传感器配线207A是从压电传感器195的下部电极引出的下部电极配线，传感器配线208A是从压电传感器195的上部电极引出的上部电极配线。传感器配线207A及传感器配线208A连接在端子组TA的规定的端子上。
另外，本实施方式的传感器配线207A及传感器配线208A以与在驱动源171A的下部电极上施加驱动电压的驱动配线203及在驱动源171A的上部电极上施加驱动电压的驱动配线210并行的方式被引回。另外，由于还在驱动源151的下部电极与驱动源171的下部电极上施加共同的驱动电压，因此，在驱动源151的下部电极与驱动源171的下部电极中共同使用驱动配线203。
在本实施方式中，通过这样形成传感器配线207A及208A，能够高精度地检测根据压电传感器195的输出检测的反射镜110的垂直方向的倾斜。
另外，在图3中，仅对压电传感器195进行说明，但通过压电传感器196也与压电传感器195为相同结构，设在第二驱动梁170B具有的矩形梁的上端部上。
在本实施方式中，根据以上的结构，能减小来自驱动配线的串音，能够高精度地检测反射镜110的倾斜。
（第二实施方式）
下面，参照附图对本发明的第二实施方式进行说明。本发明的第二实施方式在传感器配线与驱动配线之间设置保护图案这一点与第一实施方式不同。由此，在以下的本发明的第二实施方式中，仅对与第一实施方式的不同点进行说明，对具有与第一实施方式相同的功能结构的部件标注与在第一实施方式的说明中使用的符号，并省略其说明。
图4是说明第二实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描装置100A在传感器配线201与驱动配线203之间形成有保护图案220。另外，本实施方式的光扫描装置100A在传感器配线202与驱动配线205之间形成有保护图案221。
下面，参照图5对本实施方式的保护图案220、221进行说明。图5是对第二实施方式的保护图案进行说明的图。图5表示例如连接在端子组TA与端子组TB上的配线。
在端子组TA上连接有从压电传感器191的上部电极引出的传感器配线201、从压电传感器195的下部电极引出的传感器配线207A、从上部电极引出的传感器配线208A。另外，在端子组TA上连接有从驱动源151A的下部电极与驱动源171A的下部电极引出的驱动配线203、从驱动源151A的上部电极引出的驱动配线204、从驱动源171A的上部电极引出的驱动配线210A。另外，在端子组TA上连接有保护图案220。
在端子组TB上连接有从压电传感器191的下部电极引出的传感器配线202、从压电传感器196的下部电极引出的传感器配线207B、从上部电极引出的传感器配线208B。另外，在端子组TB上连接有从驱动源151B的下部电极与驱动源171B的下部电极引出的驱动配线205、从驱动源151B的上部电极引出的驱动配线206、从驱动源171B的上部电极引出的驱动配线210B。另外，在端子组TB上连接有保护图案221。
本实施方式的保护图案220、221在端子组TA及端子组TB中分别与地线连接。
下面，参照图6、图7对本实施方式的保护图案的形成位置进行说明。
图6是放大了图4的部分A1的图。本实施方式的保护图案220从传感器配线201通过第一驱动梁150A到达第二驱动梁170A的位置P1形成。保护图案220形成在传感器配线201与驱动配线203之间。另外，本实施方式的保护图案221从传感器配线202通过第一驱动梁150B到达第二驱动梁170B的位置P2形成。保护图案221形成在传感器配线202与驱动配线205之间。
另外，在本实施方式中，在连结梁140A侧也以成为与传感器配线201、202对应的配线形状的方式形成虚拟传感器配线201A与虚拟传感器配线202A。另外，在本实施方式中，作为保护图案220、221的虚拟，在虚拟传感器配线201A侧形成虚拟保护图案222，在虚拟传感器配线202A侧形成虚拟保护图案223。
在本实施方式中，通过这样形成虚拟传感器配线与虚拟保护图案，维持第一驱动梁151A、151B的重量的平衡，能够可靠地将驱动力传递到反射镜110。
图7是放大了图4的部分B1的图。本实施方式的保护图案220从位置P1沿朝向端子组TA形成的传感器配线201形成。另外，本实施方式的保护图案220以在压电传感器195的附近通过传感器配线201与从驱动源171A的上部电极引出的驱动配线210之间的方式形成。
另外，在图7中，仅对压电传感器195侧进行了说明，但即使在压电传感器196侧也同样地形成保护图案221。
在本实施方式中，通过如上那样形成保护图案220、221，能够抑制由来自相对于传感器配线的驱动配线的串音产生的影响，因此能够高精度地检测反射镜110的倾斜。
（第三实施方式）
下面，参照附图对本发明的第三实施方式进行说明。本发明的第三实施方式只在检测垂直方向的倾斜的压电传感器侧设置保护图案的这一点与第二实施方式不同。由此，在以下的本发明的第三实施方式中，只对与第二实施方式的不同点进行说明，对具有与第二实施方式相同的功能结构的部件标注在第二实施方式的说明中使用的符号，并省略其说明。
图8是说明第三实施方式的光扫描装置的图。在本实施方式的光扫描装置100B中，在压电传感器195侧与压电传感器196侧形成保护图案220A与保护图案221A。
图9是放大了图8的部分B2的图。在本实施方式中，从压电传感器195附近的位置P3形成与压电传感器191的传感器配线201并行的保护图案220A。位置P3例如是传感器配线207A、208A与传感器配线201开始并行的位置的附近。另外，在图9中，仅对从压电传感器195附近形成的保护图案220A进行说明，压电传感器196侧也同样地从压电传感器196附近形成保护图案221A。
在本实施方式中，利用以上的结构，能够减少干扰，能够高精度地检测反射镜110的倾斜。
（第四实施方式）
下面，参照附图对本发明的第四实施方式进行说明。在本发明的第四实施方式中，通过去除由于配线的长度或配线的间隔微妙地产生的干扰成分，能够更高精度地检测反射镜的倾斜。在以下的本发明的第四实施方式的说明中，对具有与第一实施方式相同的结构的部分标注在第一实施方式的说明中使用的符号相同的符号，并省略其说明。
图10是说明第四实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描控制装置300除了第一实施方式的光扫描装置100之外，还具有前端IC（IntegratedCircuit）400、LD（Laser Diode）410、反射镜驱动器IC500。
本实施方式的前端IC400对输入的视频信号实施信号处理，并向LD440供给。另外，本实施方式的前端IC400将控制反射镜110的摆动的信号向光扫描装置100供给。
本实施方式的前端IC400具有视频信号处理部410、LD驱动器420、反射镜控制部430。视频信号处理部410进行分离被输入的视频信号所包含的同步信号、亮度信号及色度信号的处理。视频信号处理部410向LD驱动器420供给亮度信号及色度信号，将同步信号向反射镜控制部430供给。
LD驱动器420根据从视频信号处理部410输出的信号控制LD440。
反射镜控制部430根据从反射镜驱动器IC500输出的压电传感器191的输出与同步信号控制反射镜110的摆动。更具体地说，反射镜控制部430通过反射镜驱动器IC500输出光扫描装置100的驱动源151A、B、171A、B的驱动电压（以下，称为驱动信号）。
本实施方式的反射镜驱动器IC500具有相位反转部510、511、缓冲器570、干扰去除部600。
相位反转部510、511使从反射镜控制部430输出的驱动信号的相位反转。具体地说，相位反转部510使驱动源151A所供给的驱动信号的相位反转而成为驱动源151B所供给的驱动信号。另外，相位反转部511使驱动源171A所供给的驱动信号的相位反转而成为驱动源171B所供给的驱动信号。
本实施方式的干扰去除部600减少与压电传感器191的输出重叠的干扰成分。所谓与压电传感器191的输出重叠的干扰成分，是由于驱动配线的长度或配线的间隔微妙地产生的串音成分，是从驱动源151A、151B、171A、171B所供给的驱动信号接受的成分。
另外，图10的干扰去除部600是去除从驱动源151A、151B所供给的驱动信号接受的干扰成分的部件。在本实施方式的光扫描控制装置300中，未图示，但具有去除从驱动源171A、171B所供给的驱动信号接受的干扰成分的干扰去除部。与驱动源171A、171B对应的干扰去除部是与干扰去除部600相同的结构。
本实施方式的干扰去除部600具有增益、相位调整部520、530、相加电路540、缓冲器550以及相减电路560。
增益、相位调整部520、530从驱动源151A、151B的各个所供给的驱动信号产生与压电传感器191的输出所重叠的干扰成分相同的成分。在以下的说明中，将驱动源151A所供给的驱动信号作为驱动信号1，将驱动源151B所供给的驱动信号作为驱动信号2。
本实施方式的增益、相位调整部520在将驱动信号1施加在驱动源151A上的场合产生与压电传感器191的输出所重叠的干扰成分相同的成分。本实施方式的增益、相位调整部530在将驱动信号2施加在驱动源151B上的场合产生与压电传感器191的输出所重叠的干扰成分相同的成分。增益、相位调整部520、530的详细将于后述。
相加电路540将增益、相位调整部520、530的输出相加，将相加结果反转。在本实施方式中，通过将增益、相位调整部520、530的输出相加并反转，在向驱动源151A、151B的各个同时供给驱动信号1与驱动信号2的场合，产生与压电传感器191的输出所重叠的干扰成分相同的成分。
缓冲器550增大压电传感器191的输出。另外，在本实施方式中，设在光扫描装置100上的压电传感器只为压电传感器191。压电传感器191根据反射镜110的水平方向的倾斜状况，输出与从扭转梁130B传递的连结梁140B的位移对应的电流值。在压电传感器191以外也使用压电传感器192的输出的场合，使用缓冲器570，但在本实施方式中，不使用缓冲器570。因此，在本实施方式的光扫描控制装置300中，可以是不设置缓冲器570的结构。
相减电路560从缓冲器550的输出减去相加电路540的输出。本实施方式的缓冲器550的输出是干扰与压电传感器191的输出重叠的信号。另外，相加电路540的输出是与压电传感器191的输出所重叠的干扰成分相同的成分。由此，通过从缓冲器550的输出减去相加电路540的输出，能够从压电传感器191的输出去除干扰成分。将相减电路560的输出供给到前端IC400的反射镜控制部430。
接着，对本实施方式的增益、相位调整部520、530进行说明。图11是说明增益、相位调整部的图。
本实施方式的增益、相位调整部520具有AC耦合电路521、增益电路522、相位修正电路523。另外，增益、相位调整部530具有AC耦合电路531、增益电路532、相位修正电路533。在本实施方式中，增益、相位调整部520与驱动信号1对应，增益、相位调整部530与驱动信号2对应，增益、相位调整部520与增益、相位调整部530的结构相同。由此，在以下的说明中，对增益、相位调整部520进行说明，省略增益、相位调整部530的各部的说明。
本实施方式的AC耦合电路521将驱动信号1的基准电压作为地线。增益电路522将驱动信号1的振幅作为与从压电传感器191输出的干扰成分相同的振幅。相位修正电路523进行使从驱动信号1产生的成分的相位与干扰成分的相位一致的修正。
接着，参照图12说明本实施方式的干扰去除部600的电路结构。图12是说明第四实施方式的干扰去除部的电路结构的图。
本实施方式的干扰去除部600具有增幅器AP21～28、可变电阻R11～14、电阻R21～37、电容器C21～24。
本实施方式的AC耦合电路521由电容器C21构成，AC耦合电路531由电容器C22构成。在电容器C21的一端输入驱动信号1，在电容器C22的一端输入驱动信号2。
电容器C21的另一端与成为增益电路522的输入的可变电阻R11的一端连接。电容器C31的另一端与成为增益电路532的输入的可变电阻R12的一端连接。
增益电路522具有可变电阻R11、电阻R21、增幅器AP21。增益电路532具有可变电阻R12、电阻R22、增幅器AP22。
在增益电路522中，可变电阻R11的一端与电容器C21的另一端连接，可变电阻R11的另一端与电阻R21的一端连接。可变电阻R11和电阻R21的连接点与增幅器AP21的非反转输入端子连接。电阻R21的另一端接地。增幅器AP21的输出连接在增幅器AP21的反转输入端子及相位修正电路523具有的电阻R23的一端与电容器C23的一端的连接点上。
在增益电路532中，可变电阻R12的一端与电容器C22的另一端连接，可变电阻R12的另一端与电阻R22的一端连接。可变电阻R12与电阻R22的连接点与增幅器AP22的非反转输入端子连接。电阻R22的另一端接地。增幅器AP22的输出连接在增幅器AP22的反转输入端子及相位修正电路533具有的电阻R25的一端与电容器C24的一端的连接点上。
相位修正电路523具有可变电阻R13、电阻R23、R24、电容器C23、增幅器AP23。相位修正电路533具有可变电阻R14、电阻R25、R26、电容器C24、增幅器AP24。
在本实施方式的相位修正电路523中，电阻R23的另一端与增幅器AP23的非反转输入端子连接，电容器C23的另一端与可变电阻R13的一端的连接点与增幅器AP23的反转输入端子连接。可变电阻R13的另一端接地。电阻R24的一端与增幅器AP23的反转输入端子连接，另一端与增幅器AP23的输出连接。增幅器AP23的输出与相加电路540具有的电阻R27的一端连接。
在本实施方式的相位修正电路533中，电阻R25的另一端与增幅器AP24的非反转输入端子连接，电容器C24的另一端与可变电阻R14的一端的连接点与增幅器AP24的反转输入端子连接。可变电阻R14的另一端接地。电阻R26的一端与增幅器AP24的反转输入端子连接，另一端与增幅器AP24的输出连接。增幅器AP24的输出与相加电路540具有的电阻R28的一端连接。
本实施方式的相加电路540具有电阻R27～31、增幅器AP25、26。在本实施方式的相加电路540中，电阻R27的另一端和电阻R28的另一端的连接点与增幅器AP25的反转输入端子连接。另外，电阻R25的一端与增幅器AP25的非反转输入端子连接，电阻R25的另一端接地。增幅器AP25的输出与电阻R30的一端连接。电阻R30的另一端与增幅器AP26的反转输入端子连接。电阻R31的一端与增幅器AP26的非反转输入端子连接，电阻R31的另一端接地。电阻R32的一端与增幅器AP26的反转输入端子连接，电阻R32的另一端与增幅器AP26的输出连接。增幅器AP26的输出与相减电路560具有的电阻R34的一端连接。
本实施方式的缓冲器550具有电阻R33与增幅器AP27。电阻R33的一端与压电传感器191的输出连接，电阻R33的另一端接地。电阻R33的一端和压电传感器191的输出的连接点与增幅器AP27的非反转输入端子连接。增幅器AP27的输出与增幅器AP27的反转输入端子及相减电路560具有的电阻R34的一端连接。
本实施方式的相减电路560具有电阻R34～37、增幅器AP28。电阻R34的另一端与电阻R36的一端连接。电阻R34的另一端和电阻R36的一端的连接点与增幅器AP28的非反转输入端子连接。电阻R36的另一端接地。电阻R35的另一端与增幅器AP28的反转输入端子和电阻R37的一端连接。电阻R37的另一端与增幅器AP28的输出连接。从增幅器AP28的输出中输出除去了干扰成分的信号。
接着，参照图13对本实施方式的光扫描控制装置300的压电传感器191的输出的干扰去除的顺序进行说明。图13是说明第四实施方式的干扰去除的顺序的图。
在本实施方式中，调整驱动信号1及驱动信号2的振幅或相位，产生与由驱动信号1及驱动信号2产生的干扰成分相同的成分即干扰同等成分。在本实施方式中，通过从压电传感器191的输出减去干扰同等成分，减少干扰。
具体地说，在本实施方式中，调整增益电路522、523具有的可变电阻R11、R12的阻值、相位修正电路523、533具有的可变电阻R13、R14的阻值，从驱动信号1及驱动信号2产生干扰同等成分。阻值的调整例如可以在本实施方式的光扫描控制装置300提高负荷时等进行。另外，在图13中说明的调整可以通过例如光扫描控制装置300的制造者等利用手动进行。
在本实施方式的光扫描控制装置300中，在进行干扰去除的场合，反射镜控制部430只输出驱动信号1（步骤S131）。此时，驱动信号的频率为以驱动源151A不进行驱动的方式充分离开共振点的频率。
接着，在本实施方式中，调整增益电路521的可变电阻的阻值与相位修正电路522的可变电阻的阻值（步骤S132）。在本实施方式中，通过步骤S132的调整，从驱动信号1产生干扰同等成分信号1。
接着，在本实施方式中，进行步骤S132的调整直到干扰同等成分信号1的相位和振幅与从缓冲器550输出的干扰成分1的相位和振幅相等（步骤S133）。在此，从缓冲器550输出的干扰成分1是利用驱动信号1产生的干扰成分。另外，干扰同等成分信号1与干扰成分1的比较可以例如将示波器等连接在作为缓冲器550的输出的端子T1与作为相位修正电路521的输出的端子T1上而一边观测一边利用目视进行。
接着，在本实施方式中，对驱动信号2也进行与S131到步骤S133同样的处理。在本实施方式中，只输出驱动信号21（步骤S134）。此时，驱动信号的频率为以驱动源151B不进行驱动的方式充分离开共振点的频率。接着，在本实施方式中，调整增益电路531的可变电阻的阻值与相位修正电路532的可变电阻的阻值（步骤S135）。接着，在本实施方式中，进行步骤S135的调整直到干扰同等成分信号2的相位和振幅与从缓冲器550输出的干扰成分2的相位与振幅相等（步骤S136）。
另外，干扰同等成分信号2与干扰成分2的比较也将示波器等连接在作为缓冲器550的输出的端子T1与作为相位修正电路531的输出的端子T2上而一边观察一边利用目视进行。
下面，参照图14至图16对干扰同等成分的产生进一步进行说明。
图14是表示干扰去除前的压电传感器的输出波形的图。
图14所示的输出波形是在将充分离开共振点的频率的驱动信号1与驱动信号2施加在驱动源151A、151B上时从压电传感器191输出的波形。此时，在光扫描装置100中，驱动源151A、151B不振动，反射镜110不摆动。从压电传感器191输出的成分仅为由驱动信号1及驱动信号2产生的干扰成分信号N。在本实施方式中，去除该干扰成分信号N。
图15是说明干扰同等成分的图。图15（A）是从驱动信号1产生的干扰同等成分信号1的例子，图15（B）是从驱动信号2产生的干扰同等成分信号2的例子。
在本实施方式中，干扰成形信号N是将图15（A）所示的干扰成分信号N1与图15（B）所示的干扰成分信号N2相加的信号。
图15（A）的干扰成分信号N1在只将驱动信号1施加在驱动源151A上的场合产生。在本实施方式中，利用增益、相位调整部520调整驱动信号1的振幅与相位，产生和干扰成分信号N1的振幅与相位同等的干扰同等成分信号1。
另外，图15（B）的干扰成分信号N2在只将驱动信号2施加在驱动源151B上的场合产生。在本实施方式中，利用增益、相位调整部530调整驱动信号2的振幅与相位，产生和干扰成分信号N2的振幅与相位同等的干扰同等成分信号2。
在本实施方式中，将干扰同等成分信号1与干扰同等成分信号2相加的成分为与图14的干扰成分信号N相同的成分。因此，在本实施方式中，在同时施加驱动信号1与驱动信号2时，只要从压电传感器191的输出减去与干扰成分信号N相同的成分，就能够消除干扰成分信号N。
图16是表示干扰去除后的压电传感器的输出波形的图。在图16中，即使在将驱动信号1与驱动信号2同时供给到驱动源151A、151B的场合，也不会在压电传感器191的输出上产生干扰成分。
因此，根据本实施方式，由于能够去除例如由于配线的长度或配线的间隔微妙地产生的干扰成分，因此能够减少传感器配线的干扰，能够高精度地检测反射镜的倾斜。
另外，在本实施方式中，为具有用于对驱动信号1与驱动信号2的双方进行相位的调整的相位修正电路的结构，但不限定于此。例如，例如在只要调整任一方的驱动信号的相位即可的场合，只要具有该驱动信号用的相位修正电路即可。
图17是说明第四实施方式的干扰去除部的电路结构的其他例子的图。图17的例子表示仅对驱动信号1进行相位修正的场合。图17所示的干扰去除部600A只在不具有与驱动信号2对应的相位修正电路这一点上与图12所示的干扰去除部600不同。另外，例如在仅对驱动信号2进行相位修正的场合，只要是具有与驱动信号2对应的相位修正电路533，不具有与驱动信号1对应的相位修正电路523的结构即可。
（第五实施方式）
下面，参照附图对本发明的第五实施方式进行说明。在本发明的第五实施方式中，只在自动地进行在第四实施方式中说明的干扰去除这一点上与第四实施方式不同。由此，在本发明的第五实施方式中，对具有与第四实施方式相同的功能结构的部件标注与在第四实施方式的说明中使用的符号相同的符号，省略其说明。
图18是说明第五实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描控制装置300A具有反射镜驱动器IC500A。反射镜驱动器IC500A具有自动地进行干扰去除的处理的干扰去除控制部610。本实施方式的干扰去除控制部610进行在第四实施方式中说明的可变电阻的阻值的调整等。
图19是说明第五实施方式的干扰去除的处理的流程图。在本实施方式中，预先作为目标值获取在只将驱动信号1施加在驱动源151A上的场合产生的干扰成分信号N1的相位与振幅、及在只将驱动信号2施加在驱动源151B上的场合产生的干扰成分信号N2的相位与振幅。
在本实施方式中，干扰去除控制部610只将驱动信号1施加在驱动源151A上，对驱动源151A进行驱动（步骤S1601）。接着，干扰去除控制部610检测压电传感器191的输出的振幅的电平（步骤S1602）。接着，干扰去除控制部610检测干扰同等成分信号1的振幅的电平（步骤S1603）。接着，干扰去除控制部610判断干扰同等成分信号1的振幅是否与作为目标值的干扰成分信号N1的振幅相等（步骤S1604）。另外，干扰成分信号N1的振幅预先存储在干扰去除控制部610具有的存储部等中。
在步骤S1604中，在干扰同等成分信号1的振幅与干扰成分信号N1的振幅不相等的场合，干扰去除控制部610调整增益电路522的增益（步骤S1605）。具体地说，调整增益电路522具有的可变电阻R11的阻值。
本实施方式的干扰去除控制部610反复进行步骤S1603～步骤S1605的处理，直到干扰同等成分信号1的振幅与干扰成分信号N1的振幅相等。在步骤S1604中，在干扰同等成分信号1的振幅与干扰成分信号N1的振幅相等的场合，干扰去除控制部610将此时的阻值作为干扰去除阻值设定在增益电路522中（步骤S1606）。
接着，干扰去除控制部610检测压电传感器191的输出的相位（步骤S1607）。接着，干扰去除控制部610检测干扰同等成分信号1的相位（步骤S1608）。
接着，干扰去除控制部610判断干扰同等成分信号1的相位是否与作为目标值的干扰成分信号N1的相位相等（步骤S1609）。另外，干扰成分信号N1的相位预先存储在干扰去除控制部610具有的存储部等中。
在步骤S1609中，在干扰同等成分信号1的相位与干扰成分信号N1的相位不相等的场合，干扰去除控制部610利用相位修正电路523调整干扰同等成分信号1的相位（步骤S1610）。具体地说，调整相位修正电路523具有的可变电阻R13的阻值。
本实施方式的干扰去除控制部610反复进行步骤S1608～步骤S1610的处理，直到干扰同等成分信号1的相位与干扰成分信号N1的相位相等。在步骤S1609中，在干扰同等成分信号1的相位与干扰成分信号N1的相位相等的场合，干扰去除控制部610将此时的阻值作为干扰去除阻值设定在相位修正电路523中（步骤S1611）。
接着，干扰去除控制部610停止驱动信号1的供给并只将驱动信号2施加在驱动源151B上，对驱动源151B进行驱动（步骤S1612）。
从步骤S1613到步骤S1622的处理因为与从步骤S1602到步骤S1611的处理相同，因此省略说明。
通过从步骤S1602到步骤S1622的处理，设定增益电路523具有的可变电阻R12的阻值与相位修正电路533具有的可变电阻R14的阻值。
接着，干扰去除控制部610将设定在增益电路522、523中的可变电阻的阻值与设定在相位修正电路523、533中的可变电阻的阻值存储在干扰去除控制部610具有的存储部等中（步骤S1623）。
如上所述，在本实施方式中，自动地进行干扰去除的处理。
（第六实施方式）
下面，参照附图对本发明的第六实施方式进行说明。在本实施方式中，设置两个压电传感器这一点与第一实施方式不同。在以下的本实施方式的说明中，仅对与第一实施方式的不同点进行说明，对与第一实施方式具有相同的结构的部件标注与在第一实施方式的说明中使用的符号相同的符号，省略其说明。
在本实施方式的光扫描装置100C中，具有两个压电传感器191、192。在本实施方式中，压电传感器191、192的传感器信号向驱动源151B侧引回，将向驱动源151A、151B供给驱动信号的驱动配线向驱动源151A侧引回。
另外，在本实施方式中，压电传感器191的输出的相位与压电传感器192的输出的相位为相反相位。
图20是放大了第五实施方式的光扫描装置的反射镜部分的图。
在本实施方式的光扫描装置100C中，将在驱动源151B的下部电极上施加驱动电压的驱动配线205A及在驱动源151B的上部电极上施加驱动电压的驱动配线206A向驱动源151A侧引回。本实施方式的驱动配线205A连接在驱动源151A上。另外，驱动配线206A以与驱动配线203、204并行的方式进行布线。
另外，在本实施方式中，在驱动源151B侧形成相对于压电传感器191形成的传感器配线201、202双方。另外，与压电传感器192的上部电极与下部电极对应的传感器配线201A、202A也被引回驱动源151B侧。并且，传感器配线201A、202A以与传感器配线201、202并行的方式进行布线。
因此，在本实施方式的结构中，传感器信号202A与驱动信号204邻接。因此，在本实施方式中，驱动信号的配线与传感器信号的配线邻接的距离短，能够减少由驱动信号产生的串音。
另外，在本实施方式中，通过以使传感器配线201A、202A与传感器配线201、202并行的方式进行配线，能够使由各传感器配线的驱动配线产生的串音成分的影响相同。
另外，本实施方式的压电传感器191与压电传感器192以反射镜110的旋转轴对称地配置在以相反相位振动的梁上。具体地说，压电传感器191设在连结梁140B的左端部，压电传感器192设在连结梁140B的右端部。连结梁140B的左端部利用驱动源151B振动，连结梁140B的右端部利用驱动源151A振动。即，压电传感器191与压电传感器192以旋转轴对称地配置在以相反相位振动的梁上。
图21是表示第五实施方式的压电传感器的输出的例子的图。在图21中，表示反射镜110的振动位移、与振动位移对应的压电传感器191和压电传感器192的输出的例子。在本实施方式中，压电传感器191的输出信号的相位与振动位移是相同相位，压电传感器192的输出信号的相位与压电传感器191的输出信号的相位相反。
在本实施方式中，如果这样配置两个压电传感器191、192，例如在光扫描装置100C的后级取得两个压电传感器的输出信号的差信号的场合，能够使输出信号的电平为两倍。
图22是表示在第五实施方式中压电传感器的输出信号的差信号的例子的图。在图22中，表示在驱动源151B侧将压电传感器191的输出信号与压电传感器192的输出信号相减而求出的差信号。图22的差信号与各压电传感器的输出信号相比，振幅为两倍。另外，在本实施方式中，通过将两个压电传感器的输出信号相减，减少各输出信号所重叠的串音。
因此，在本实施方式中，即使从驱动配线产生的串音与压电传感器的输出信号重叠，也能够增大压电传感器的输出信号的振幅到能忽略该串音的电平。
另外，在本实施方式中也能够应用第五实施方式。例如，在本实施方式中，只要相对于压电传感器191的输出信号与压电传感器192的输出信号进行干扰去除即可。
（第七实施方式）
下面，参照附图对本发明的第七实施方式进行说明。在本发明的第七实施方式中，通过将检测反射镜的倾斜的光学传感器配置在反射镜下，不需要考虑传感器配线的干扰，能够高精度地检测反射镜的倾斜。
图23是说明第七实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描控制装置300B具有前端IC400、LD440、反射镜驱动器IC500A、光扫描模块100C。
本实施方式的反射镜驱动器IC500A是在第四实施方式中说明的反射镜驱动器IC500中没有缓冲器570的结构。
本实施方式的光扫描模块100C具有光扫描装置100D与光学传感器700。光扫描装置100D从在第一实施方式中说明的光扫描装置100去除检测反射镜110的垂直方向的倾斜状况的压电传感器195、196、与压电传感器195、196相关的配线。光学传感器700检测反射镜110的垂直方向的倾斜状况。本实施方式的光学传感器700的输出直接向前端IC400供给。
下面，对本实施方式的光扫描模块100进行说明。图24是说明第七实施方式的光扫描模块的第一图。
在本实施方式的光扫描模块100C中，在光扫描装置100D下配置有光学传感器700。在本实施方式中，在将包括光扫描装置100D的反射镜110、反射镜支撑部120、扭转梁130、连结梁140、第一驱动梁150A、150B、可动框160的区域作为可动部K时，光学传感器700以一部分与可动部K重合的方式配置在光扫描装置100D下。
图25是说明第七实施方式的光扫描模块的第二图。图25是图24所示的光扫描模块100C的A-A剖视图。在光扫描模块100C中，光扫描装置100D固定在陶瓷封装件710上，光学传感器700配置在陶瓷封装件710与光扫描装置100D之间。在该状态下，光学传感器700以一部分与光扫描装置100D的可动部K重合的方式配置。
本实施方式的光学传感器700具有发光元件与受光元件。从发光元件发出的光例如将其一部分反射到可动部K。可动部K追随利用四个驱动源151A、151B、171A、171B摆动的反射镜110的倾斜而摆动。因此，在可动部K中，照射从发光元件发出的光的位置也追随反射镜110的倾斜而摆动。因此，从发光元件发出的光的返回光的光量根据可动部K的倾斜变化。本实施方式的光学传感器700根据发光的光的返回光的光量检测反射镜110的垂直方向的倾斜状况。
图26是说明光学传感器的图。本实施方式的光学传感器700具有作为发光元件的光电二极管720与作为受光元件的光电晶体管730。本实施方式的光学传感器700例如被封装一体化。
下面，对本实施方式的光学传感器700的配置位置进行说明。图27是说明光学传感器的配置位置的图。
本实施方式的光学传感器700具有发光元件与受光元件，配置在光扫描装置100D下。
本实施方式的光学传感器700以一部分与可动部K重合的方式配置。即，从光学传感器700的发光元件720发出的光在反射镜110不在垂直方向上倾斜的场合，其一部分被可动部K遮蔽。并且，当反射镜110在垂直方向上倾斜时，从发光元件720发出的光减少例如被可动部K遮蔽的光量，返回光的光量减少。在本实施方式中，在反射镜110的垂直方向的倾斜为最大时，可以在未遮蔽从发光元件720发出的光的位置配置光学传感器700。
另外，在本实施方式中，优选以光学传感器700的发光元件720与受光元件730在X1-X2方向上排列的方式配置光学传感器700。另外，此时，优选光学传感器700的外径的中心与反射镜110的轴中心一致。另外，本实施方式的光学传感器700也可以以一部分与固定框180重合的方式配置。
本实施方式的光学传感器700的配置被配置在光学传感器700的输出最接近反射镜110的倾斜的实测值的位置。
对光学传感器700的配置定位方法进行说明。在本实施方式中，将从固定框180的内侧的端面E1到光学传感器700的靠反射镜110的端面E2的距离为600μm处作为初期位置，在光学传感器700的外径中心与反射镜110的轴中心一致的状态下，使光学传感器700的位置向Y2-Y1方向移动。并且，在配置了光学传感器700的各场所，比较光学传感器700的输出与实测值，将得到与实测值最接近或大致相同的输出的位置定为光学传感器700的配置位置。
下面，对反射镜110的垂直方向的倾斜的实测值的测定进行说明。图28是对反射镜的垂直方向的倾斜的测定进行说明的图。
在本实施方式中，将光扫描装置100C设置在测定装置280上，将从LD（Laser Diode）281出射的光照射到摆动的反射镜110上，PSD（PositionSensitive Detector）接受LD281的反射光。与从PSD282输出的光量对应的电压为表示反射镜110的垂直方向的倾斜（位移）的实测值。
下面，对比较实测值与光学传感器700的输出的结果进行说明。图29是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第一图。
图29表示将光学传感器700从初期位置朝向Y1方向（参照图26）配置在550μm的位置的场合。在图29中，固定框180的端面E1与光学传感器700的端面E2的距离H为600μm+550μm。在该场合，光学传感器700配置在一部分与Y2方向侧的可动框160重合的位置。在图29中，当比较以虚线表示的PSD282的输出（实测值）的各峰值与以实线表示的光学传感器700的输出的各峰值的值，则存在些许偏差，但可以说光学传感器700的输出为与实测值大致相同的波形。由此，在本实施方式中，可以将光学传感器700配置在距离H=600μm+550μm的位置、即一部分与Y2方向侧的可动框160重合的位置。
图30是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第二图。图30表示将光学传感器700配置在从初期位置朝向Y1方向（参照图26）1000μm的位置的场合。在图30中，固定框180的端面E1与光学传感器700的端面E2的距离H为600μm+1000μm。在该场合，光学传感器700配置在一部分与反射镜110重合的位置。即使在图30中，当比较以虚线表示的PSD282的输出（实测值）的各峰值与以实线表示的光学传感器700的输出的各峰值，则存在些许偏差，但光学传感器700的输出可以说为大致与实测值相同的波形。由此，在本实施方式中，可以将光学传感器700配置在距离H=600μm+1000μm的位置、即一部分与反射镜110重合的位置。
图31是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第三图。图31表示将光学传感器700配置在从初期位置朝向Y1方向（参照图26）3850μm的位置的场合。在图31中，固定框180的端面E1与光学传感器700的端面E2的距离H为600μm+3850μm。在该场合，光学传感器700配置在一部分与Y1方向侧的可动框160重合的位置。
在该场合，光学传感器700的输出与以与Y2方向侧的可动框160重合的方式配置的场合相比，为反相的信号。因此，在图31的例子中，将使光学传感器700的输出的相位反转的信号作为光学传感器700的输出而与实测值进行比较。
在图31中，以虚线表示的PSD282的输出（实测值）与以实线表示的光学传感器700的输出大致一致。另外，就图31的比较结果而言，当比较实测值与光学传感器700的输出的峰值的重合方式时，可以说，光学传感器700的输出比图29、图30所示的比较结果接近实测值。
在本实施方式的光扫描模块100D中，在使反射镜110在垂直方向上摆动时，Y1方向侧的可动框160为轴。从图29至图31的比较结果来看，在本实施方式中，将光学传感器700配置在接近成为垂直方向的摆动的轴的一侧的可动框160的一方能够高精度地检测反射镜110的倾斜。
由此，在本实施方式中，可以将光学传感器700配置在距离H=600μm+3850μm的位置、即一部分与Y1方向侧的可动框160重合的位置。
另外，在本实施方式中，将光学传感器700配置在反射镜110的中心轴上，但不限定于此。例如，光学传感器700可以以一部分与反射镜110和第一驱动梁150A重合的方式配置，也可以以一部分与反射镜110和第一驱动梁150B重合的方式配置。另外，光学传感器700可以以一部分与反射镜110重合的方式配置。
本实施方式的光学传感器700与实测值比较，只要是判断为充分地检测了反射镜110的倾斜的场合，就可以配置在可动部K的某个位置。
这样，在本实施方式中，在检测反射镜110的垂直方向的倾斜时，通过代替压电传感器使用光学传感器700，不需要考虑传感器配线的干扰，能够高精度地检测反射镜的倾斜。
以上，根据各实施方式进行了本发明的说明，但本发明不限定于上述实施方式表示的必要条件。关于这一点，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行变更，能够根据其应用方式适当地决定。

Claims (12)

1.一种光扫描装置，其利用扭转梁从轴向两侧支撑对反射镜进行支撑的反射镜支撑部，通过上述扭转梁的扭转，使上述反射镜支撑部在绕轴方向上摆动，该光扫描装置的特征在于，具有：
以夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；
将上述第一驱动梁的一侧与上述扭转梁连结的连结梁；以及
第一压电传感器，其形成在上述连结梁上，当在上述第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由上述扭转梁的绕轴的摆动引起的上述连结梁的位移，
上述第一压电传感器将上部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方的上述第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方的上述第一驱动梁引出。
2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，
具有：包围上述反射镜及上述反射镜支撑部、上述扭转梁、上述第一驱动梁、以及上述连结梁的可动框；
第二驱动梁，其以夹着上述可动框的方式成对，一端连结在上述可动框上，使上述反射镜及上述反射镜支撑部在与上述绕轴正交的方向上摆动；以及
第二压电传感器，其形成在上述第二驱动梁上，当在上述第二驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测上述第二驱动梁的位移。
3.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于，
上述上部电极配线以与向上述一方的上述第一驱动梁具有的驱动源供给驱动电压的一方的驱动配线并行的方式形成，
上述下部电极配线以与向上述另一方的上述第一驱动梁具有的驱动源供给驱动电压的另一方的驱动配线并行的方式形成，
上述上部电极配线和上述一方的驱动配线并行的长度与上述下部电极配线和上述另一方的驱动配线并行的长度相等。
4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，
在上述上部电极配线与上述一方的驱动配线之间、以及上述下部电极配线与上述另一方的驱动配线之间形成有与地线连接的保护图案。
5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于，
上述保护图案从上述上部电极配线与上述一方的驱动配线开始并行的位置、以及上述下部电极配线与上述另一方的驱动配线开始并行的位置形成。
6.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于，
上述保护图案从下述位置的附近形成：
上述下部电极配线与设在一方的上述第二驱动梁上的一方的上述第二压电传感器的上部电极配线及下部电极配线开始并行的位置；以及
上述上部电极配线与设在另一方的上述第二驱动梁上的另一方的上述第二压电传感器的上部电极配线及下部电极配线开始并行的位置。
7.一种光扫描控制装置，其具备权利要求1～6任一项所述的光扫描装置，该光扫描控制装置的特征在于，
具有干扰去除部，其根据施加在夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方的上述第一驱动梁上的第一驱动电压与施加在夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方的上述第一驱动梁上的第二驱动电压，产生第一规定成分信号及第二规定成分信号，
该干扰去除部根据上述第一规定成分信号与上述第二规定成分信号去除从上述第一压电传感器输出的输出信号的干扰成分。
8.根据权利要求7所述的光扫描控制装置，其特征在于，
上述干扰去除部具有与上述第一驱动电压及上述第二驱动电压的各个对应的第一及第二增益、相位调整部，
上述第一规定成分信号通过利用上述第一增益、相位调整部使上述第一驱动电压的振幅与相位成为规定的值的调整而产生，
上述第二规定成分信号通过利用上述第二增益、相位调整部使上述第二驱动电压的振幅与相位成为规定的值的调整而产生。
9.根据权利要求8所述的光扫描控制装置，其特征在于，
上述第一规定成分信号的振幅与相位与下述信号的振幅与相位相等：
在将上述反射镜不摆动的频率的上述第一驱动电压供给到设在上述第一驱动梁中夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方上的第一驱动源上时，从上述第一压电传感器输出的信号，
上述第二规定成分信号的振幅与相位与下述信号的振幅与相位相等：
在将上述反射镜不摆动的频率的上述第二驱动电压供给到设在上述第一驱动梁中夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方上的第二驱动源上时，从上述第一压电传感器输出的信号。
10.根据权利要求7～9任一项所述的光扫描控制装置，其特征在于，
上述干扰去除部具有：
将上述第一规定成分信号与上述第二规定成分信号相加的相加电路；以及
从输出信号减去上述第一规定成分信号与上述第二规定成分信号的相加结果的相减电路，该输出信号从上述第一压电传感器输出。
11.根据权利要求8～10任一项所述的光扫描控制装置，其特征在于，
上述干扰去除部具有控制上述第一及第二增益、相位调整部，并从上述第一驱动电压及上述第二驱动电压产生上述第一规定成分信号与上述第二规定成分信号的控制部。
12.一种光扫描装置，其利用扭转梁从轴向两侧支撑对反射镜进行支撑的反射镜支撑部，通过上述扭转梁的扭转，使上述反射镜支撑部在绕轴方向上摆动，该光扫描装置的特征在于，具有：
以夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；
将上述第一驱动梁的一侧与上述扭转梁连结的连结梁；以及
形成在上述连结梁上，检测由上述扭转梁的绕轴的摆动引起的上述连结梁的位移的第一压电传感器与第二压电传感器，
上述第一压电传感器与上述第二压电传感器将各个上部电极配线及下部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方的上述第一驱动梁引出，
将第一驱动配线与第二驱动配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方的上述第一驱动梁拉出，该第一驱动配线将第一驱动电压供给到在上述第一驱动梁中夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方所设的第一驱动源，该第二驱动配线将第二驱动电压向在上述第一驱动梁中夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方所设的第二驱动源。
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