JP6814399B2 - 振動ミラー素子およびプロジェクタ - Google Patents
振動ミラー素子およびプロジェクタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6814399B2 JP6814399B2 JP2016039367A JP2016039367A JP6814399B2 JP 6814399 B2 JP6814399 B2 JP 6814399B2 JP 2016039367 A JP2016039367 A JP 2016039367A JP 2016039367 A JP2016039367 A JP 2016039367A JP 6814399 B2 JP6814399 B2 JP 6814399B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam portion
- mirror
- drive
- unit
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
[プロジェクタの構成]
図1〜図3を参照して、本発明の第1実施形態によるプロジェクタ100の構成について説明する。
[光源モジュールの構成]
次に、図2および図3を参照して、垂直走査振動ミラー素子6の詳細な構成について説明する。なお、水平走査振動ミラー素子7については、垂直走査振動ミラー素子6と同様の構成を有しているため説明を省略する。
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図1および図4を参照して、第2実施形態のプロジェクタ200について説明する。この第2実施形態では、第2梁部64fの平面視におけるB方向の幅W2がA方向の全域において一定である第1実施形態とは異なり、第2梁部264fの平面視におけるB方向の幅がA方向の全域において一定にはならない例について説明する。なお、上記第1実施形態と同様の構成は、第1実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
図4に示すように、第2実施形態によるプロジェクタ200(図1参照)では、垂直走査振動ミラー素子206の基台264は、一対の第1部分264gと、一対の第1部分264gの間に配置される第2部分264hとを有する第2梁部264fを含んでいる。第2部分264hは、一対の第1部分264gの端部同士を接続し、第1部分264gとは異なる幅W3に形成されている。なお、垂直走査振動ミラー素子206は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図1および図5を参照して、第3実施形態のプロジェクタ300について説明する。この第3実施形態では、歪センサ63が取り付けられる第2梁部64fが両端支持梁である第1実施形態とは異なり、歪センサ63が取り付けられる第2梁部364fが片持梁である例について説明する。なお、上記第1実施形態と同様の構成は、第1実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
図5に示すように、第3実施形態によるプロジェクタ300(図1参照)では、垂直走査振動ミラー素子306の基台364は、一対の第2梁部364fを含んでいる。また、一対の第2梁部364f上には、それぞれ、歪センサ63が設けられている。なお、垂直走査振動ミラー素子306は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
第3実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図6を参照して、第4実施形態のプロジェクタ400について説明する。この第4実施形態では、第1実施形態のプロジェクタ100の構成に加えて、歪センサ63の周波数成分を解析する解析部400eをさらに備える例について説明する。なお、上記第1実施形態と同様の構成は、第1実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
図6に示すように、第4実施形態によるプロジェクタ400は、歪センサ63が検出する周波数成分を解析する解析部400eを備えている。また、プロジェクタ400は、解析部400eにおいて所定の周波数成分以外の周波数成分が検出された場合に、レーザダイオード1a〜1cからの投影光の出射を停止させるように構成されている。
第4実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
6、206、306、506、606、706 垂直走査振動ミラー素子(振動ミラー素子)
7 水平走査振動ミラー素子(振動ミラー素子)
61 ミラー部
62 駆動部
63 歪センサ
64、264、364 基台
64b 枠部
64d 梁支持部
64e、564e、664e、764e 第1梁部
64f、264f、364f、564f、664f、764f 第2梁部
100、200、300、400 プロジェクタ
164 本体部
264g 第1部分
264h 第2部分
400e 解析部
Claims (8)
- ミラー部と、
前記ミラー部を駆動する駆動部と、
前記ミラー部の変位量を検出可能な歪センサと、
前記ミラー部が設けられる第1梁部と、前記歪センサが設けられる第2梁部と、前記第1梁部および前記第2梁部を支持し、前記駆動部が設けられる本体部とを含む基台とを備え、
前記基台の本体部は、前記駆動部を支持する駆動部支持部と、前記第2梁部と前記駆動部支持部との間に設けられる梁支持部とを含み、
前記梁支持部は、前記第1梁部および前記第2梁部の各々を直接支持し、
前記梁支持部は、平面視において、前記ミラー部の一方側および他方側の両側から、前記第1梁部および前記第2梁部を挟み込むようにして、前記第1梁部および前記第2梁部を支持している、振動ミラー素子。 - 前記基台の本体部は、前記第1梁部および前記第2梁部を内側に配置する枠部をさらに含み、
前記梁支持部は、前記第1梁部および前記第2梁部をそれぞれ支持し、一方端が前記駆動部側に延び、他方端が前記枠部に接続される一対の梁支持部を含む、請求項1に記載の振動ミラー素子。 - 前記第2梁部は、前記第1梁部に対して略平行に配置される片持梁を含み、
前記片持梁の延びる方向における長さは、前記第1梁部の前記ミラー部までの長さよりも短い、請求項1または2に記載の振動ミラー素子。 - 前記片持梁の長さは、前記第1梁部の前記ミラー部までの長さの2分の1以下である、請求項3に記載の振動ミラー素子。
- 前記第1梁部は、前記第2梁部に対して略平行に配置されるとともに、前記第2梁部よりも前記駆動部側に配置されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の振動ミラー素子。
- 前記第2梁部は、一対の第1部分と、前記一対の第1部分を接続し、前記第1部分とは異なる幅に形成される第2部分とを有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の振動ミラー素子。
- 投影光を出射する光源部と、
前記光源部からの投影光を反射するミラー部と、
前記ミラー部を駆動する駆動部と、
前記ミラー部の変位量を検出可能な歪センサと、
前記ミラー部が設けられる第1梁部と、前記歪センサが設けられる第2梁部と、前記第1梁部および前記第2梁部を支持し、前記駆動部が設けられる本体部とを含む基台とを備え、
前記基台の本体部は、前記駆動部を支持する駆動部支持部と、前記第2梁部と前記駆動部支持部との間に設けられる梁支持部とを含み、
前記梁支持部は、前記第1梁部および前記第2梁部の各々を直接支持し、
前記梁支持部は、平面視において、前記ミラー部の一方側および他方側の両側から、前記第1梁部および前記第2梁部を挟み込むようにして、前記第1梁部および前記第2梁部を支持している、プロジェクタ。 - 前記歪センサが検出する検出信号の周波数成分を解析する解析部をさらに備え、
前記解析部において所定の周波数成分以外の周波数成分が検出された場合に、前記光源部からの投影光の出射を停止させるように構成されている、請求項7に記載のプロジェクタ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016039367A JP6814399B2 (ja) | 2016-03-01 | 2016-03-01 | 振動ミラー素子およびプロジェクタ |
US15/444,399 US10841548B2 (en) | 2016-03-01 | 2017-02-28 | Oscillating mirror element and projector |
EP17158283.6A EP3214480B1 (en) | 2016-03-01 | 2017-02-28 | Oscillating mirror element |
CN201710116109.5A CN107144959B (zh) | 2016-03-01 | 2017-03-01 | 振镜元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016039367A JP6814399B2 (ja) | 2016-03-01 | 2016-03-01 | 振動ミラー素子およびプロジェクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017156522A JP2017156522A (ja) | 2017-09-07 |
JP6814399B2 true JP6814399B2 (ja) | 2021-01-20 |
Family
ID=59808811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016039367A Active JP6814399B2 (ja) | 2016-03-01 | 2016-03-01 | 振動ミラー素子およびプロジェクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6814399B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5157459B2 (ja) * | 2008-01-10 | 2013-03-06 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナ |
JP5987510B2 (ja) * | 2011-10-03 | 2016-09-07 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及び光走査制御装置 |
JP6507500B2 (ja) * | 2014-07-01 | 2019-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
JP6634667B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2020-01-22 | 船井電機株式会社 | レーザ走査装置 |
-
2016
- 2016-03-01 JP JP2016039367A patent/JP6814399B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017156522A (ja) | 2017-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10841548B2 (en) | Oscillating mirror element and projector | |
JP4461870B2 (ja) | 光走査装置およびそれを備えた画像形成装置 | |
US8197071B2 (en) | Light source device and image display apparatus | |
WO2010146974A1 (ja) | 光走査型画像表示装置 | |
US8035678B2 (en) | Light scanning apparatus and scanning type image display apparatus | |
WO2012073330A1 (ja) | レーザ光源ユニット及び画像表示装置 | |
JP6814399B2 (ja) | 振動ミラー素子およびプロジェクタ | |
JP5218354B2 (ja) | ヘッドマウントディスプレイ | |
WO2005033771A1 (ja) | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 | |
JP5321740B2 (ja) | 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ | |
JP6375695B2 (ja) | 光源ユニット、プロジェクタ及び光源ユニットの製造方法 | |
JP2007025607A (ja) | 光走査装置、画像表示装置、光走査装置又は画像表示装置における反射ミラーの位置調節方法及び揺動状態検出方法 | |
JP6606633B2 (ja) | 画像表示装置及びその製造方法 | |
US12091309B2 (en) | Movable device, distance measurement device, image projection apparatus, vehicle, and mount | |
JP4590916B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP6627436B2 (ja) | プロジェクタおよびヘッドアップディスプレイ装置 | |
JP2017112202A (ja) | 封止構造体及びその製造方法 | |
JP2016053680A (ja) | 画像表示再生装置および射出瞳拡大方法 | |
JP2017032933A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5321511B2 (ja) | 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ | |
JP6651217B2 (ja) | 揺動ミラー素子およびプロジェクタ | |
JP7396147B2 (ja) | 可動装置、光偏向装置、画像投影装置、光書込装置、物体認識装置、移動体、ヘッドマウントディスプレイ | |
US20220299755A1 (en) | Light deflector, image projection apparatus, laser headlamp, head-mounted display, distance measurement apparatus, and mobile object | |
JP2016194603A (ja) | 映像表示装置および映像表示装置の制御方法 | |
WO2013145155A1 (ja) | 画像描画装置及び光軸補正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160304 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6814399 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |