CN102902061A

CN102902061A - 滤光器

Info

Publication number: CN102902061A
Application number: CN2012104180678A
Authority: CN
Inventors: 花村雄基; 舟川刚夫; 船坂司
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-12-09
Filing date: 2009-12-08
Publication date: 2013-01-30
Anticipated expiration: 2029-12-08
Also published as: CN101750731A; US20100142067A1; JP2010139552A; CN102902061B; CN101750731B; CN102914867B; CN102914867A; US20140153098A1; CN102914865A; US9195047B2; US8687254B2; CN102914866A; CN102354047A; JP5151944B2; CN102354047B

Abstract

提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

Description

滤光器

本申请是申请人“精工爱普生株式会社”于2009年12月08日向中国国家知识产权局递交的申请号为“200910253827.2”、发明名称为“滤光器以及具备该滤光器的光学模块”的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种滤光器及具备该滤光器的光学模块。

背景技术

以往，作为从入射光中选择目的波长的光来出射的滤光器，公知一种气隙(air gap)型且静电驱动型的滤光器，在该滤光器中，对置配置一对基板，分别在这些基板的对置的面上设置反光镜，分别在这些反光镜的周围设置电极，并且在一方反光镜的周围设置控光(diaphragm)部，通过这些电极间的静电力使控光部变位从而使这些反光镜间的间隙(gap)(气隙)变化，由此取出希望波长的光(例如，参照专利文献1、专利文献2)。

在这样的滤光器中，在制造时需要在从不到一微米到数微米这样非常狭窄的范围内控制一对反光镜间的间隙，而且，将这些反光镜间的间隙进行精度良好地维持并且控制为希望的间隙量是重要的。

在这样的滤光器中，通过使反光镜间的间隙变化，能够选择性地取出与该反光镜间的间隙相对应的波长的光。

专利文献1：特开2003-57438号公报

专利文献2：特开2008-116669号公报

但是，在以往的气隙型且静电驱动型的滤光器中，若反光镜间的平行度或反光镜的平坦度降低，则所取出的光的分光特性降低，所以平行且平坦地保持一对反光镜在维持反光镜的特性上是最重要的。

但是，在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光，而通过气隙静电驱动使反光镜间的间隙可变时，具有如下的问题点，即：控光部的挠曲传播到可动侧的反光镜，反光镜弯曲而平坦度降低，因此，取出的光的最大透过率降低，并且其半通带宽度(half bandwidth)也增大，成为呈现所谓的宽(broad)的波形，其结果，取出的光的分光特性大幅地降低。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而进行的，其目的是提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在为了选择性地取出希望波长的光而使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够抑制伴随该可变而发生的挠曲传播到可动侧的反光镜，其结果，能够取出最大透过率高且半通带宽度窄、分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地维持。

为了解决上述课题，本发明采用了以下的滤光器及具备该滤光器的光学模块。

即，本发明的滤光器，特征在于具有：第一基板；第一反光镜，其形成于所述第一基板；第二基板，其与所述第一基板接合或粘结，形成有凹部；第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，并且形成在所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并且形成在与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具有位于所述第一反光镜上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分，所述第二部分的厚度和所述第四部分的厚度比所述第一部分的厚度小。

在本发明的滤光器中，第二部分的厚度和第四部分的厚度比第一部分的厚度小。由此，即使在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光而使这些反光镜间的间隙可变的情况下，在第四部分产生的挠曲通过第二部分被缓和，使向可动侧的反光镜传播的挠曲量减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲也变小，该反光镜的平坦度的降低也变小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变高且半通带宽度变窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

根据以上，能够提供一种滤光器，其能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

本发明的滤光器，特征在于，所述第二部分的厚度在所述第四部分的厚度以下。

在该滤光器中，通过使第二部分的厚度为第四部分的厚度以下，在第四部分产生的挠曲通过第二部分被更加有效地缓和，向可动侧的反光镜传播的挠曲量大幅减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲变得极小，该反光镜的平坦度的降低也变得极小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变得极高且半通带宽度变得极窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

本发明的滤光器，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分通过选择去除所述第一基板而形成。

在该滤光器中，由于通过选择去除第一基板从而形成第二部分和第四部分，所以第二部分和第四部分各自的加工精度以及它们之间的加工精度提高，从这些反光镜取出的光的分光特性变得极其优异。

本发明的滤光器，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分一体化形成。

在该滤光器中，通过使第二部分和第四部分一体化，对由第二部分和第四部分分别进行了缓和的产生于第四部分的挠曲，通过一体化的第二部分和第四部分一起进行缓和，从而能够更有效的进行缓和。

本发明的滤光器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板具有透光性。

在该滤光器中，通过使第一基板和第二基板具有透光性，基板的光的透过率提高，取出的光的强度也变高。因此，光的取出效率提高。

本发明的滤光器，其特征在于，具有：第一基板；第一反光镜，其设置在所述第一基板上；第二基板，其与所述第一基板接合或粘结，形成有凹部；第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，并且形成在所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并且形成在与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具备第一铰链部和在所述第一铰链部的内周侧形成的第二铰链部。

在本发明的滤光器中，通过形成在第一铰链部的内周侧形成的第二铰链部，即使在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光而使这些反光镜间的间隙可变的情况下，在第一铰链部产生的挠曲通过第二铰链部被缓和，使向可动侧的反光镜传播的挠曲量减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲也变小，该反光镜的平坦度的降低也变小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变高且半通带宽度变窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

本发明的滤光器，其特征在于，所述第二铰链部的梁宽在所述第一铰链部的梁宽以下。

在该滤光器中，通过使第二铰链部的梁宽为第一铰链部的梁宽以下，在第一铰链部产生的挠曲通过第二铰链部被更加有效地缓和，向可动侧的反光镜传播的挠曲量大幅减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲变得极小，该反光镜的平坦度的降低也变得极小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变得极高且半通带宽度变得极窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

本发明的滤光器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板的任意一个是半导体材料。

在该滤光器中，通过使第一基板和第二基板的任意一个为半导体材料，作为入射光，能够采用可透过该半导体材料的波长的电磁波，例如近红外线。因此，入射光的波长的幅度增大。

本发明的光学模块，其特征在于，具备本发明的滤光器而构成。

在该光学模块中，通过具备本发明的滤光器，能够取出最大透过率高且半通带宽度窄、分光特性优异的光，而且，能够提供一种可以不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持的光学模块。

附图说明

图1是表示本发明第一实施方式的滤光器的俯视图。

图2是表示本发明第一实施方式的滤光器的剖面图。

图3是表示本发明第一实施方式的滤光器中的没有施加电压时的波长与透过率之间的关系的图。

图4是表示对本发明第一实施方式的滤光器施加了电压时的挠曲的状态的示意图。

图5是表示本发明第一实施方式的滤光器中的施加了电压时的波长与透过率之间的关系的图。

图6是表示本发明第二实施方式的滤光器的剖面图。

图7是表示本发明第二实施方式的滤光器的主要部分的放大剖面图。

图8是表示本发明第三实施方式的滤光器的俯视图。

图9是表示本发明第三实施方式的滤光器的剖面图。

图10是表示本发明的滤光器中的弯曲降低效果的仿真实验结果的图。

图11是表示本发明的光学过滤器装置模块的一实施方式的图。

符号说明：

1、21、31…滤光器；2…第一基板；3…第二基板；4A、4B…反光镜；5…第一凹部；6A、6B…电极；7…第二凹部；8…第一控光部；9…第二控光部；11A、11B…布线；12A、12B…布线槽；22…控光部；32…第一基板；33…第一铰链部；34…第二铰链部；50…光学过滤器装置模块；51…过滤器部(滤光器)。

具体实施方式

对用于实施本发明的滤光器以及具备该滤光器的光学模块的优选方式进行说明。

这里，作为滤光器，对气隙型且静电驱动型的滤光器进行说明。

另外，在以下的说明中，设定XYZ直角坐标系，根据需要，边参照该XYZ直角坐标系边对各部件的位置关系进行说明。在该情况下，设水平面内的规定方向为X轴方向，设水平面内且与X轴方向正交的方向为Y轴方向，设与X轴方向以及Y轴方向正交的方向(即铅直方向)为Z轴方向。

[第一实施方式]

图1是表示本实施方式的滤光器的俯视图。图2是表示同一滤光器的剖面图。

在图中，符号1是气隙型且由静电驱动型的标准具(etalon)元件构成的滤光器，该滤光器1具有：第一基板2；第二基板3，以对置的状态接合(或粘结)于第一基板2；圆形反光镜4A，设置于第一基板2的对置侧的面2a的中央部；圆形反光镜4B，设置于在第二基板3的中央部形成的第一凹部5的底部，隔着第一间隙G1与反光镜4A对置；圆环状的电极6A，设置于第一基板2的反光镜4A的周围；圆环状的电极6B，设置于在第二基板3的第一凹部5的周围形成的浅底的圆环状的第二凹部7，隔着第二间隙G2与电极6A对置。此外，第一基板2通过以下部分构成：第四部分即薄壁的圆环状的第一控光部8，通过蚀刻(etching)(选择去除)而形成在第一基板2内且与电极6A的外周部大致对应的位置；第二部分即圆环状的第二控光部9，通过蚀刻(选择去除)而形成在第一基板2内且控光部8的内周侧且反光镜4A的外侧，其厚度在控光部8的厚度以下；第三部分，位于作为第二部分的第二控光部9与作为所述第四部分的第一控光部8之间；第一部分，位于作为第二部分的第二控光部9的内周侧。

并且，通过隔着第二间隙G2而对置设置的电极6A、6B和控光部8，构成静电致动器。

第一基板2以及第二基板3都是由具有透光性并具有绝缘性的材料构成的矩形(正方形)的基板，特别优选通过玻璃等透明材料构成。

作为该玻璃，具体而言适宜采用钠玻璃、结晶化玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃、硼硅酸钠玻璃、无碱玻璃等。

这样，通过使第一基板2和第二基板3都为具有透光性的材料，能够采用电磁波中希望波段的电磁波或可视光线作为入射光。

另外，若使第一基板2以及第二基板3都由半导体材料例如硅形成，则作为入射光能够使用近红外线。

反光镜4A、4B被配置为隔着第一间隙G1而相互对置，通过交替层叠了多层高折射率层和低折射率层的电介质多层膜构成。另外，反光镜4A、4B不限定于电介质多层膜，例如也能够采用含有碳的银合金膜等。

这些反光镜4A、4B中，一方反光镜4A设置于可变形的第一基板2所以也称为可动反光镜，另一方反光镜4B设置于不变形的第二基板3所以也称为固定反光镜。

在可视光线的区域或红外线的区域采用该滤光器1时，作为形成电介质多层膜中的高折射率层的材料，例如采用氧化钛(Ti₂O)、氧化钽(Ta₂O₅)、氧化铌(Nb₂O₅)等。此外，在紫外线的区域采用滤光器1时，作为形成高折射率层的材料，例如采用氧化铝(Al₂O₃)、氧化铪(HfO₂)、氧化锆(ZrO₂)、氧化钍(ThO₂)等。

另一方面，作为形成电介质多层膜中的低折射率层的材料，例如采用氟化镁(MgF₂)、氧化硅(SiO₂)等。

对于该高折射率层和低折射率层的层数和厚度，基于需要的光学特性而适宜地进行设定。一般，在通过电介质多层膜形成反射膜(反光镜)的情况下，为了获得其光学特性所需要的层数是12层以上。

电极6A、6B被配置为隔着第二间隙G2而相互对置，根据所输入的驱动电压，在这些电极6A、6B间产生静电力，构成使反光镜4A、4B在相互对置的状态相对移动的静电致动器的一部分。

据此，电极6A、6B使控光部8、9在图2中上下方向变位从而时反光镜4A、4B间的第一间隙G1变化，出射与该第一间隙G1相对应的波长的光。

另外，在本实施方式中，因为第一基板2的对置面2a与第二基板3上所形成的第二凹部7平行，所以电极6A、6B间也平行。

作为形成这些电极6A、6B的材料，只要有导电性即可，不做特别地限定，但是例如采用Cr、Al、Al合金、Ni、Zn、Ti、Au等金属、或分散了碳、钛等的树脂、多结晶硅(多晶硅)、非晶硅等硅、氮化硅、ITO等透明导电材料等。

如图1所示，在这些电极6A、6B中连接有布线11A、11B，这些电极6A、6B经由这些布线11A、11B而连接于电源(未图示)。

另外，这些布线11A、11B形成于在第一基板2形成的布线槽12A或在第二基板3形成的布线槽12B。因此，构成为不干涉第一基板2与第二基板3的接合。

电源通过对电极6A、6B施加电压作为驱动信号，来驱动电极6A、6B，在这些电极之间产生希望的静电力。另外，在该电源上连接控制装置(未图示)，通过由该控制装置控制电源，由此能够调整电极6A、6B间的电位差。

控光部8与未形成该控光部8的第一基板2的部位相比，厚度变薄。这样，厚度比第一基板2中其他的部位薄的部位成为具有弹性(可挠性)从而能够变形(能够变位)，由此，该控光部8使第一间隙G1变化从而使反光镜4A、4B间的间隔变化为与希望波长的光相对应的间隔，由此成为具有出射希望波长的光的波长选择功能。

控光部9形成在构成静电致动器的一部分的电极6A、6B与反光镜4A、4B之间，与控光部8相比，厚度变薄。这样，通过使控光部9的厚度在控光部8的厚度以下，该控光部9比控光部8容易挠曲，其结果，吸收在控光部8发生的挠曲，能够抑制该挠曲向反光镜4A传播。由此，在使第一间隙G1变化时，能够有效地缓和在控光部8产生的挠曲，向反光镜4A传播的挠曲量也能过大幅地被减少。

对于这些控光部8、9各自的形状或厚度以及控光部8、9间的间隔等，只要能够使希望波长范围的光出射即可，具体而言，考虑反光镜4A、4B间的间隔的变化量以及变化的速度等，对应于对该滤光器1谋求的出射光的波长范围来进行设定。

这些控光部8、9通过对第一基板2从上表面进行蚀刻(选择去除)从而形成，但是只要该控光部9具有对于能够吸收在控光部8发生的挠曲并抑制该挠曲向反光镜4A传播而言足够的厚度即可，这些控光部8、9也可以通过对第一基板2从上表面以及下表面双方进行蚀刻(选择去除)来形成。

在本实施方式的滤光器1中，不驱动控制装置和电源，从而在电极6A与电极6B之间未施加电压的情况下，反光镜4A和反光镜4B在第一间隙G1而对置。因此，若向该滤光器1射入光，则如图3所示，成为出射与该第一间隙G1相对应的波长的光，例如720nm波长的光。

这里，若驱动控制装置和电源从而在电极6A与电极6B之间施加电压，则在这些电极6A与电极6B之间产生与电压(电位差)的大小相对应的静电力。这样，通过控制装置控制电源，能够在电极6A、6B间施加希望的电压，在电极6A、6B间产生希望的静电力。如此这样，若在电极6A、6B间产生希望的静电力，则如图4所示，通过该静电力，电极6A、6B被相互吸引从而第一基板2朝向第二基板3侧变形，反光镜4A与反光镜4B之间的第一间隙G1比没有施加电压时变窄。

在该情况下，通过静电力在控光部8发生的挠曲被其内侧的控光部9吸收而被缓和，所以没有在该控光部8发生的挠曲原样向反光镜4A传播的情况。因此，能够使向反光镜4A传播的挠曲量减少，起因于该挠曲的反光镜4A的弯曲也变小，该反光镜4A的平坦度的降低也变小。因此，在控光部8发生的挠曲通过控光部9被吸收，被高效地抑制，起因于该挠曲的反光镜4A的弯曲以及平坦度的降低也被抑制。其结果，反光镜4A的弯曲成为极小的弯曲，其平坦度也良好地被保持。

这样，在控光部8发生的挠曲通过控光部9而被吸收，由此被高效地抑制，不会向反光镜4A传播，所以反光镜4A的平坦度也良好地被保持，该反光镜4A和反光镜4B隔着稳定状态的第一间隙G1’而对置。

因此，若对该滤光器1射入光，如图5所示，成为出射与该稳定状态的第一间隙G1’相对应的最大透过率高且半通带宽度窄的波长的光，例如590nm波长的光，成为透过波长向短波长侧位移的情况。

如上所述，根据本实施方式的滤光器1，因为在第一基板2内且控光部8的内周侧形成了厚度在控光部8的厚度以下的圆环状的控光部9，所以能够取出分光特性优异的光，而且，能够不使该取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

[第二实施方式]

图6是表示本实施方式的滤光器的剖面图，图7是表示图6的主要部分的放大剖面图。

本实施方式的滤光器21与第一实施方式的滤光器1不同的点是，相对于在第一实施方式的滤光器1中，在第一基板2内且控光部8的内周侧空出规定的间隔形成了厚度在控光部8的厚度以下的圆环状的控光部9，在本实施方式的滤光器21中，将这些控光部8、9共通化为一个宽幅的圆环状的控光部22的点，对于其他的结构要素，与第一实施方式的滤光器1完全相同。

对于该控光部22的形状或厚度等，只要能够使希望波长范围的光出射即可，具体而言，考虑反光镜4A、4B间的间隔的变化量以及变化的速度等，对应于对该滤光器1谋求的出射光的波长范围来进行设定。

该控光部22通过对第一基板2从上表面进行蚀刻(选择去除)从而形成，但是只要该控光部22具有对能够吸收在该控光部22发生的挠曲并抑制该挠曲向反光镜4A传播而言足够的厚度即可，也可以通过对第一基板2从上表面以及下表面双方进行蚀刻(选择去除)来形成。

如上所述，根据本实施方式的滤光器21，因为在第一基板2形成控光部22，所以能够取出分光特性优异的光，而且，能够不使该取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

[第三实施方式]

图8是表示本实施方式的滤光器的俯视图，图9是表示同一滤光器的剖面图。

本实施方式的滤光器31与第一实施方式的滤光器1不同的点是，相对于在第一实施方式的滤光器1中，通过玻璃等具有透光性的材料来形成第一基板2，在第一基板2和第二基板3按照隔着第二间隙G2而相互对置的方式设置电极6A、6B，在第一基板2内且与电极6A的外周部大致对应的位置形成圆环状的控光部8，在该控光部8的内周侧形成控光部8的厚度以下的圆环状的控光部9，在本实施方式的滤光器31中，通过硅等半导体材料来形成第一基板32，在该第一基板32上不设置电极6A，而在该第一基板32内且与电极6B的外周部大致对应的多个位置(在图8中，四个部位)形成第一铰链(hinge)部33，并且在这些第一铰链部33的内周侧且反光镜4A的外侧的多个位置(在图8中，四个部位)形成其梁宽在第一铰链部33的梁宽以下的第二铰链部34的点，对于其他的结构要素，与第一实施方式的滤光器1完全相同。

并且，通过第一铰链部33、电极6B、电极6B与第一基板32之间的间隙和第二铰链部34，构成静电致动器。

第一铰链部33和第二铰链部34形成为其长边方向(longitudinaldirection)相互倾斜45度。

即，第一铰链部33在与电极6B的外周部大致对应的圆周上以等间隔在X轴方向设置有平行的两个，在Y轴方向设置有平行的两个，共四个。

另外，第二铰链部34在第一铰链部33的内周侧且与反光镜4A的外周部大致对应的圆周上以等间隔在相当于X轴方向以及Y轴方向倾斜45度设置有4个。

在本实施方式的滤光器31中，在不驱动控制装置的情况下，反光镜4A和反光镜4B隔着第一间隙G1而对置。因此，若向该滤光器31射入光，则成为出射与该第一间隙G1相对应的波长的光，例如720nm波长的光的情况。

这里，若驱动控制装置则产生静电力，通过该静电力，第一基板32朝向第二基板3侧变形，反光镜4A与反光镜4B之间的第一间隙G1比没有施加电压时变窄。

在该情况下，通过静电力在铰链部33发生的挠曲通过其内侧的铰链部34被吸收而被缓和，所以没有在该铰链部33发生的挠曲原样向反光镜4A传播的情况。因此，能够使向反光镜4A传播的挠曲量减少，起因于该挠曲的反光镜4A的弯曲也变小，该反光镜4A的平坦度的降低也变小。因此，在铰链部33发生的挠曲通过铰链部34被吸收，被高效地抑制，起因于该挠曲的反光镜4A的弯曲以及平坦度的降低也被抑制。其结果，反光镜4A的弯曲成为极小的弯曲，其平坦度也良好地被保持。

这样，在铰链部33发生的挠曲通过铰链部34被吸收，被高效地抑制，不会向反光镜4A传播，所以反光镜4A的平坦度也良好地被保持，该反光镜4A和反光镜4B隔着稳定状态的第一间隙G1’而对置。

因此，若对该滤光器31射入光，成为出射与该稳定状态的第一间隙G1相对应的最大透过率高且半通带宽度窄的波长的光，例如590nm波长的光，成为透过波长向短波长侧位移的情况。

如上所述，根据本实施方式的滤光器31，因为在第一基板32内且与电极6B的外周部大致对应的多个位置形成第一铰链部33，并且在这些第一铰链部33的内周侧且反光镜4A的外侧的多个位置形成其梁宽在第一铰链部33的梁宽以下的第二铰链部34，所以能够取出分光特性优异的光，而且，能够不使该取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

图10是表示本发明的滤光器中的弯曲降低效果的仿真实验(有限要素解析)结果的图，图中，A示出第一实施方式的滤光器1，B示出第二实施方式的滤光器21，C示出以往的滤光器。

根据图10，伴随起因于施加电压的变位量的增加，在任意一个结构中，反光镜中的弯曲量都线性地增加，但本发明的滤光器1、21与以往的滤光器相比，对变位的弯曲量小，通过仿真实验结果证实了本发明的效果。

例如，对于200μm的变位量，在以往的滤光器中产生17μm的弯曲，但在本发明的滤光器1、21中弯曲停留在10～11μm，与以往的滤光器相比，能够实现约40％的弯曲量的减轻。

下面，作为本实施方式相关的滤光器1、21、31的应用例，说明具备了滤光器1(21、31)的光学过滤器装置模块(光学模块)。

图11是表示本发明的光学过滤器装置模块的一实施方式的图，图11中，符号50是光学过滤器装置模块。

该光学过滤器装置模块50具备由滤光器1(21、31)构成的过滤器部51，对检体W照射特定波段的光，从该检体W的反射光选择性地取出(分光)预先设定的波长的光，并测定其强度。

即，该光学过滤器装置模块50具备：光源光学系统54，其具有光源52和透镜53，对检体W照射规定的光，例如可视光线或红外线；检测部光学系统56，其具有过滤器部51和检测元件55，检测来自检体W的反射光；光源控制电路57，其控制光源52的照度等；滤光器控制电路58，其控制过滤器部51；和处理器59，其接收由检测元件55检测出的检测信号，并连接于光源控制电路57、滤光器控制电路58。

在这样的光学过滤器装置模块50中，对检体W照射可视光线或红外线等特定波段的光。于是，例如与检体W的表面状态等相对应而产生反射光，该反射光射入滤光器部51。在滤光器部51中，通过向电极6A、6B的电压施加(或无施加)，选择性地取出(分光)预先设定的波长的光。据此，从反射光中仅选择性地取出特定波段的光，在检测元件55进行检测。因此，例如通过采用选择性地检测由过滤器部51取出的光的元件作为检测元件55，能够灵敏度良好地检测反射光。

因此，根据该光学过滤器装置模块50，能够灵敏度良好地检测检体W的表面状态等。

并且，因为采用上述的滤光器1(21、31)作为构成过滤器部51的滤光器，所以作为模块本身，能够取出分光特性优异的光，并且能够不使该取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

Claims

1.一种滤光器，其特征在于，具有：

第一基板；

第一反光镜，其形成于所述第一基板；

第二基板，其与所述第一基板接合；

第二反光镜，其形成于所述第二基板的与所述第一反光镜对置的位置；

第一电极，其形成于所述第一基板，在从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下形成于所述第一反光镜的周围；和

第二电极，其形成于所述第二基板，并形成于与所述第一电极对置的位置；

所述第一基板具有：第一铰链部；在俯视观察下形成于所述第一铰链部和所述第一反光镜之间的第二铰链部，

所述第二铰链部的梁宽比所述第一铰链部的梁宽窄。

2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，

在所述第一铰链部以及所述第二铰链部，分别形成多个梁。

3.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，

所述第一铰链部的梁的个数与所述第二铰链部的梁的个数相同。

4.根据权利要求2所述的滤光器，其特征在于，

在俯视观察下，所述第一铰链部的所述梁在圆周上等间隔形成。

5.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，

在所述俯视观察下，所述第二电极与所述第一铰链部重叠地形成。

6.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，

所述第二基板具有凹部，所述第二反光镜形成在所述凹部。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的滤光器，其特征在于，

所述第一基板以及所述第二基板的任意一者是半导体材料。