CN102659962A - 聚四氟乙烯衬垫 - Google Patents

聚四氟乙烯衬垫 Download PDF

Info

Publication number
CN102659962A
CN102659962A CN201210112290XA CN201210112290A CN102659962A CN 102659962 A CN102659962 A CN 102659962A CN 201210112290X A CN201210112290X A CN 201210112290XA CN 201210112290 A CN201210112290 A CN 201210112290A CN 102659962 A CN102659962 A CN 102659962A
Authority
CN
China
Prior art keywords
liner
ptfe
temperature
hours
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201210112290XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102659962B (zh
Inventor
米凯莱·J·阿尔伯格
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advanced Technology Materials Inc
Original Assignee
Advanced Technology Materials Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Technology Materials Inc filed Critical Advanced Technology Materials Inc
Publication of CN102659962A publication Critical patent/CN102659962A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102659962B publication Critical patent/CN102659962B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F6/00Post-polymerisation treatments
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/08Heat treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F14/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
    • C08F14/18Monomers containing fluorine
    • C08F14/26Tetrafluoroethene
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G2/00Addition polymers of aldehydes or cyclic oligomers thereof or of ketones; Addition copolymers thereof with less than 50 molar percent of other substances
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2327/00Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers
    • C08J2327/02Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
    • C08J2327/12Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
    • C08J2327/18Homopolymers or copolymers of tetrafluoroethylene
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/3154Of fluorinated addition polymer from unsaturated monomers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
  • Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)

Abstract

本发明涉及一种聚四氟乙烯衬垫,其用来衬着储存化学品的瓶子或第二层包装。一个或多个PTFE膜被加热至高于约150℃,加热时间大于20小时,然后冷却PTFE膜。PTFE膜可被加热至高于200℃至低于250℃的温度,最优选地加热至约228℃的温度。PTFE膜可保持在高温下大于50小时,或最优选地保持在高温下约100小时。PTFE膜可为可热处理的PTFE氟聚合物膜,可具有很多受热影响的区域。受热影响的区域可在热处理之前或之后形成。通常通过将两个或多个PTFE膜熔接在一起来形成受热影响的区域,熔接通常在压力下进行。“最优的”温度和“最优的”时间段可根据应当被热处理的聚四氟乙烯(PTFE)氟聚合物来确定。

Description

聚四氟乙烯衬垫
本申请是申请日为2004年6月23日、申请号为200480017817.4、发明名称为“聚四氟乙烯处理’的发明专利申请的分案申请。
发明领域
本发明涉及聚四氟乙烯(PTFE),更具体地涉及PTFE的热处理。
发明背景
因为聚四氟乙烯(PTFE)具有许多有益的性质,所以PTFE广泛用于工业和生物医学应用。例如,PTFE通常被认为是化学惰性的。由于PTFE的这个和其它性质,半导体加工工业的一些公司将PTFE制成用来衬着瓶子的“衬垫’,然后瓶子用来储存化学品。
用以下方式形成衬垫。首先,改性的PTFE粉末被制成坯料,坯料是被填充并压紧的圆柱体。烘焙坯料直到颗粒融合并粘结在一起。通过称为切削的方法使坯料形成为膜,切削是刨去材料的一薄层。切削方法与削苹果皮类似。切削方法的最终结果是PTFE材料的一个或多个薄片。每个薄片通常称为膜。
通过“熔接’净化的PTFE膜的部分以制备具有称为配件的槽的四面二维的袋子来形成衬垫。槽也熔接到衬垫上。然后衬垫用来衬在聚乙烯第二层包装上,该第二层包装提供衬垫的结构支持,最终产品为PTFE衬垫的瓶子。
化学品储存在PTFE衬垫的瓶子中,并通过配件从瓶子中取出或放入。储存在这些瓶子中的化学品通常是超纯的,并且化学惰性的PTFE衬垫通常不与储存的化学品产生化学反应。
但是,已经确定PTFE衬垫可能引起与PTFE衬垫接触的储存液体中观察到的颗粒增加。例如,纯水可被泵入具有PTFE衬垫的瓶子中,瓶子被翻转多次,纯水被泵出瓶子。泵出瓶子的水通过微粒计数器,计数器计算某一尺寸范围内的颗粒。对于常规PTFE衬垫的瓶子,颗粒数可广泛地变化,这通过颗粒数的标准偏差来判断。当PTFE衬垫由不同批量的PTFE膜制成时,批量的变化性可能是颗粒数高标准偏差的部分原因。而且,特别是当认为PTFE衬垫不产生颗粒计数是有益的情况下,颗粒数倾向于相对高。
由此,处理PTFE衬垫的常规技术基本上不能防止相对高的颗粒数和那些颗粒数的高标准偏差。因此,需要改进PTFE膜和衬垫及由PTFE膜制成的其它产品。
发明概述
在本发明中,聚四氟乙烯(PTFE)材料,通常是PTFE膜,被热处理以减少PTFE膜的微粒脱落。
在一个实施方案中,将一个或多个PTFE膜加热至高于约150℃,加热时间大于约20小时,然后冷却PTFE膜。PTFE膜可被加热至高于200℃至低于250℃的温度,最优选地加热至约228℃。PTFE膜可在高温下保持大于约50小时,或最优选地在高温下保持约100小时。PTFE膜可为可热处理的PTFE氟聚合物,并可具有大量受热影响的区域。受热影响的区域可在热处理之前或之后形成。通过加热PTFE膜至接近PTFE膜熔融温度的温度来形成受热影响的区域,通常通过将两个或多个PTFE膜熔接在一起来形成受热影响的区域,融接通常在压力下进行少于上述热处理时间的一段时间。
在另一实施方案中,“最优的”温度和“最优的”时间段可根据哪种热处理的聚四氟乙烯(PTFE)氟聚合物应该被热处理来确定。可选择许多温度、时间段和含可热处理PTFE氟聚合物膜的批量。可热处理的膜被分为多个组,这些组也具有与之相关的温度和时间段。每组可热处理的PTFE氟聚合物膜在相关的温度下经受相关的时间段。确定可热处理PTFE氟聚合物膜的颗粒数,并对颗粒数进行回归分析,以确定最优的温度和最优的时间段。可热处理的PTFE氟聚合物膜可在所述热处理之前或之后被熔接。
通过参考以下详细描述和附图,将得到对本发明更完全的理解,以及本发明进一步的特点和优点。
附图简述
图1是描述热处理PTFE膜的示例性方法的流程图。
图2是退火测试样品和对照物的点图,其就颗粒数来说明热处理对PTFE衬垫的影响;
图3是对照衬垫和退火衬垫一次和五次翻转的蒸馏水测试的点图;
图4是基于实际数据的计算图,表明对于多个在选择温度保持约20小时的衬垫,颗粒数如何随热处理温度而变化;
图5是基于实际数据的计算图,表明对于图4的衬垫,颗粒数的标准偏差如何随热处理温度而变化;
图6是基于实际数据的计算图,表明对于多个在选择温度保持约95小时的衬垫,颗粒数如何随热处理温度而变化;
图7是基于实际数据的计算图,表明对于图6的衬垫,颗粒数的标准偏差如何随热处理温度而变化;
图8是基于实际数据的计算图,表明对于多个在选择温度保持170小时的衬垫,颗粒数如何随热处理温度而变化;
图9是基于实际数据的计算图,表明对于图8的衬垫,颗粒数的标准偏差如何随热处理温度而变化;和
图10是由热处理PTFE衬垫产生的颗粒数的点图。
优选实施方案详述
如上所述,处理聚四氟乙烯(PTFE)材料如PTFE衬垫的常规技术导致相对高的颗粒数和/或那些颗粒数的高标准偏差。也就是说,这种PTFE材料可被称为具有高的颗粒计数性。本发明的实施方案可用于降低PTFE材料的颗粒计数性。实际上,本发明描述的实施方案可使颗粒计数性及其标准偏差降低大于约10倍。应该指出,颗粒计数体系也可计数“微泡”或其它异物如“颗粒”,它们导致产生材料的颗粒数或颗粒计数性。本发明使用的术语“颗粒”意图包括可被常规的颗粒计数体系分析为“颗粒”的任何物质。
现在参考图1,表示方法100,用于热处理PTFE膜以减少微粒脱落。当PTFE膜将被放置与液体物质接触时,可使用方法100。只要希望降低颗粒数时,就可使用方法100。这也可包括PTFE膜将与非液体如实物接触时的情况。
在步骤105中,融接PTFE膜。此步骤是任选的。但是通常,大部分由PTFE制成的衬垫被熔接。PTFE膜的熔接是通常在一定压力下熔融并连接分离的PTFE膜部分的方法。如以下更详细的描述,约在具体PTFE膜的熔点进行熔接。
因此,在一个实施方案中,熔接可包括使PTFE膜暴露于约370℃~约430℃下约5~约15秒。可应用约60psi~约100psi的压力。此外,PTFE膜在如下所述的进一步处理之前,可在常压下冷却约5~约15秒。
通常,PTFE膜为可热处理的PTFE氟聚合物,但是,可使用任何PTFE。上述熔接产生一个或多个受热影响的区域,该区域不被处理可能易于引起颗粒脱落。但是,如本发明进一步所述,受热影响的区域和PTFE膜通常可被处理以减少这类事情的发生。
通过加热PTFE膜至接近或等于膜中分子组分熔点的温度下,产生受热影响的区域。通常,通过加热PTFE膜至PTFE膜的熔点约15℃范围内产生受热影响的区域。膜的各部分倾向于在不同的温度熔融。例如,膜的结晶部分可在高于PTFE膜相关熔融温度的温度下熔融,然而膜的无定形部分可在低于PTFE膜相关熔融温度的温度下熔融。由此,即使实际上从未达到PTFE膜的相关熔融温度,也会产生受热影响的区域。此外,为了将两片PTFE膜完全熔接在一起,至少应该达到PTFE膜的熔点,且稍微高于熔点的温度是有益的。受热影响的区域受本发明方法有益地影响,没有受热影响区域的PTFE膜也是如此。
通常,步骤105包括多个熔接步骤,从而形成完整的PTFE衬垫。如上所述,PTFE衬垫通常是具有被称为配件的槽的四面二维袋子。槽也被熔接到衬垫上。由此,步骤105通常包括多个熔接步骤。
继续参考图1,并且如上所述,在步骤110中,通过将膜在预定的温度下放置预定的时间段,可热处理一个或多个PTFE膜。以这种方式,可使上述颗粒脱落和颗粒数最小。有许多有益的不同温度和时间段,但是某些温度和时间段表现得特别有益。确定最优温度和时间段的具体技术参考图2~10的描述。高于材料玻璃化转变温度(对于大多数PTFE膜为约130℃)的温度将开始产生较低的微粒脱落,如以下更详细的表示。当应用超过150℃的温度时,热处理过程变得特别有效。如以下更详细表示,甚至更高的温度是有益的,直到达到最优温度,但是相比于最优温度,温度太高可能导致颗粒脱落增加。但是,如果需要的话,可使用高于最优温度的温度。因为颗粒脱落仍可随较高的温度而减少。
通常,步骤110中预定的温度高于约150℃,更优选高于约200℃,最优选为约228℃。也可使用更高的温度。优选的是,温度低于约260℃。应该指出,可使用如230℃±20℃的温度范围。此外,可以不连续或周期性方式处理膜。也就是说,PTFE材料可加热至预定温度并冷却至例如室温,然后再加热至初始的预定温度。但是为了使总的处理时间最短,PTFE膜可在预定温度下或交替的高温下连续保持特定的时间段,因为再加热和冷却使得热处理PTFE膜需要的总时间更长。
关于预定的时间段,如以下更详细的表示,推荐的时间段为大于约20小时,更优选的时间段为大于50小时,最优选的时间段为约100小时。虽然可使用更短或更长的时间段,但是如通过以下示出的技术确定,约100小时的时间段应该在最短的时间段内提供最小量的颗粒脱落及其标准偏差。应该指出,如果需要的话,步骤100可在步骤120之后进行。
现已描述了PTFE膜示例性热处理技术的综述,将描述对任何特定PTFE膜,或更可能地对一组PTFE膜确定适当温度和时间段的技术。
现在参考图2,表示退火的测试样品与对照物的点图。此图就颗粒数来说明热处理对PTFE衬垫的作用。PTFE衬垫用光致抗蚀剂填充,翻转5次,填充后在0.2微米计数16小时。x-轴单元为每毫升0.2微米的颗粒(颗粒/ml)。图2右边的图例说明包含每组被测试样品的说明。一组样品中的每个样品是多个熔接到一起成为衬垫的可热处理PTFE氟聚合物膜。在此实施例中,每组有三个PTFE衬垫。熔接这样进行:通过使用熔接机沿着一个相对薄的衬垫或一组衬垫,在预定温度下将两个PTFE膜压在一起,保持预定的时间,其中预定温度等于或大于PTFE膜的熔点。“10秒冷却”是用于将被熔接的PTFE膜冷却至预定冷却温度的时间段为10秒。类似地,“40秒冷却”是用于将被熔接的PTFE膜冷却至预定冷却温度的时间段为40秒。
如图例说明中所示,样品如下:(1)10秒冷却和接着四天180℃热处理的PTFE衬垫的测试组;(2)40秒冷却和接着四天180℃热处理的PTFE衬垫的测试组;(3)10秒冷却和接着四天120℃热处理的PTFE衬垫的测试组;(4)40秒冷却和接着四天120℃热处理的PTFE衬垫的测试组;(5)用10秒冷却产生的熔接PTFE衬垫的对照组;(6)用40秒冷却产生的熔接PTFE衬垫的测试组;(7)四天180℃热处理,接着10秒再熔接和40秒冷却的PTFE衬垫的测试组;(8)四天180℃热处理,接着40秒再熔接和10秒冷却的PTFE衬垫的测试组;(9)四天120℃热处理,接着10秒再熔接和40秒冷却的PTFE衬垫的测试组;(10)四天120℃热处理,接着40秒再熔接和10秒冷却的PTFE衬垫的测试组。
对图2中每组PTFE衬垫绘制的点在图中分布在它们各自的行上。例如,对称为“10秒冷却,180℃退火”的组绘制的点在最接近颗粒数轴的行上示出。类似地,对称为“40秒冷却,180℃退火”的组绘制的点在距颗粒数轴的第二行上示出。
其中,图2表明熔接后冷却时间对颗粒数的影响最小,180℃退火产生对于选择温度具有最低颗粒数的PTFE衬垫。
因为图2中使用的摇动量(即,翻转填充的PTFE衬垫5次)在质量对照测试中不是典型的,并且因为通常使用蒸馏水进行颗粒计数,所以制备样品以测量热处理对PTFE衬垫的影响,其在DI水中翻转1次和5次进行测试。热处理在180℃进行5天。样品PTFE衬垫被填充,1小时填充后在0.2微米测试颗粒。结果如图3所示,图3是对照和退火衬垫的蒸馏水测试的点图。其中,图3表明退火的PTFE衬垫比相应的对照PTFE衬垫产生更小的颗粒数。
为了确定衬垫热处理的最优设置,从多个批量的衬垫中选择PTFE衬垫是有益的。然后,从每个衬垫批量中选择的PTFE衬垫被加热不同的时间段和不同的温度。由此,可确定“组”的选择温度和选择时间段,其中每组具有多个选自某批量的PTFE衬垫。对PTFE衬垫翻转选定次数后,确定衬垫组的颗粒数,并且对颗粒数进行回归分析确定“最优的”温度和“最优的”时间段。最优值是理论值,可能与实际“最优的”温度和时间段稍微不同。这种“最优化”技术的例子如下。
由3个批量的衬垫制备PTFE衬垫样品。每个衬垫批量在180℃、220℃或260℃下被加热20、95或170小时。PTFE衬垫样品用光致抗蚀剂填充,翻转5次,填充后在0.2微米颗粒计数16小时。
基于对被测试3个衬垫批量的最优化技术结果,显示出衬垫批量和热处理温度对颗粒量和由标准偏差表示的颗粒量变化性的贡献最大。显示出,衬垫批量、热处理温度、颗粒量及其标准偏差之间的关系是非线性的,具有多个二次相互作用。如果时间保持恒定在20小时,衬垫批量和温度(对于颗粒数)的曲线看起来如图4所示。
图4是基于实际数据的计算图,表明对于多个在选择温度保持20小时的衬垫,颗粒数如何随热处理温度而变化。在图4的实施例中,确定不同温度和衬垫批量的实际数据,并放入程序中,该程序用这些数据来确定图4。由此,图4是基于实际数据计算的。
关于图4所示的温度,温度如下:-1代表180℃;0代表220℃;1代表260℃。响应值是颗粒数,单位为颗粒/ml。从3个不同的衬垫批量(图中1、0和-1批量)中使用15个PTFE衬垫。由此,图4在约236℃(0.4×40+220℃)达到低点,虽然这个值随着衬垫批量稍微变化。
图5是基于实际数据的计算图,表明对于图4中使用的衬垫,颗粒数的标准偏差如何随热处理温度而变化。温度、响应值和衬垫批量与图4中相同。与图4相同,图5是使用实际数据计算的,并且数据与图4中使用的相同。图5表明,根据衬垫批量颗粒数的标准偏差受热处理影响,并且在约244℃(0.6×40+220℃)达到低点。
图6是计算图,表明对于多个在选择温度保持95小时的衬垫,颗粒数如何随热处理温度而变化。图6是通过图4中使用的相同技术产生的图:使用15个PTFE衬垫,即,从3个不同的批量中各选择5个,确定不同温度和衬垫批量的结果数据,并放入程序中,该程序用这些数据来确定图6。图6表明,颗粒数随着温度和衬垫批量而变化。
图7是计算图,表明对于图6中使用的衬垫,颗粒数的标准偏差如何随热处理温度而变化。图7表明颗粒数的标准偏差随着温度和衬垫批量而变化。
图8是通过用来确定图4和6的方法计算的图,但是基于多个在选择温度保持170小时的衬垫。应该指出,颗粒数的负值是计算的,并不是观察到的。图9是通过用来确定图5和7的方法计算的图,但是使用图8的衬垫计算。图8和9表明颗粒数及其标准偏差分别随着温度和衬垫批量而变化。
由此,图4~9表明,颗粒数及其标准偏差分别随着温度和衬垫批量而变化。为了确定最优温度和时间段,对确定的数据进行回归分析。对确定图4~9的数据进行回归分析表明,为了使0.2微米的颗粒量和标准偏差最小,温度应该为228℃,时间段应为100小时。
这些值用于证实实验,其中3个批量的衬垫在228℃热处理100小时。测试结果(光致抗蚀剂中翻转5次,颗粒计数测试16小时)如图10所示。图10是由热处理的PTFE衬垫产生的颗粒数的点图。由图10可看出,对于热处理的PTFE衬垫,颗粒数及其标准偏差是小的。由此,本发明可使颗粒数从约250±100颗粒/ml降至约8±2颗粒/ml。
注意到就颗粒数的标准偏差而言,衬垫批量的变化性也降低了。虽然仍有一些变化性,因为第三衬垫批量具有颗粒数大于10的少量PTFE衬垫样品,但是变化性已被显著降低。
应该理解,本发明示出和描述的实施方案和变化仅仅是本发明原理的解释,并且在不偏离本发明的范围和主旨的情况下,本领域的技术人员可实施各种改进。此外,本发明做出的各种假定是为了简单和清楚说明的目的,不应该被解释为本发明的限制。

Claims (12)

1.一种用来衬着储存化学品的瓶子或第二层包装的聚四氟乙烯衬垫,所述衬垫包括多个彼此熔接的聚四氟乙烯膜,并且包括熔接到所述衬垫上的槽,其中所述衬垫包括通过熔接形成的受热影响的区域,对所述受热影响的区域进行热处理以减少微粒脱落,并且其中所述热处理包括将所述四氟乙烯膜加热至约130℃至约260℃的温度,并将所述加热保持约20小时至约100小时的时间。
2.权利要求1所述的四氟乙烯衬垫,其中所述聚四氟乙烯膜的颗粒计数性为0.2μm直径的颗粒低于10颗粒/ml。
3.权利要求1和2中任一项所述的聚四氟乙烯衬垫,其中所述衬垫包括四面二维的袋子。
4.权利要求1和2中任一项所述的聚四氟乙烯衬垫,其设置在提供所述衬垫的结构支持的聚乙烯第二层包装中。
5.权利要求3所述的聚四氟乙烯衬垫,其设置在提供所述衬垫的结构支持的聚乙烯第二层包装中。
6.一种用来衬着储存化学品的瓶子或第二层包装的聚四氟乙烯衬垫,所述衬垫包括多个彼此熔接的聚四氟乙烯膜,并且包括熔接到所述衬垫上的槽,其中对所述聚四氟乙烯膜加热足够的温度和时间以将所述聚四氟乙烯膜的颗粒计数性降低到0.2μm直径的颗粒低于10颗粒/ml。
7.权利要求6所述的聚四氟乙烯衬垫,其中所述温度为130℃至260℃,所述时间为20小时至100小时。
8.一种用来衬着储存化学品的瓶子或第二层包装的聚四氟乙烯衬垫,所述衬垫包括多个彼此熔接的聚四氟乙烯膜,并且包括熔接到所述衬垫上的槽,其中通过加热对所述聚四氟乙烯膜处理足够的时间和温度,以使所述聚四氟乙烯膜的颗粒计数性相对于未经如此热处理的聚四氟乙烯膜降低大于10倍。
9.权利要求8所述的聚四氟乙烯衬垫,其中所述温度为130℃至260℃,所述时间为20小时至100小时。
10.权利要求6-9中任一项所述的聚四氟乙烯衬垫,其中所述衬垫包括四面二维的袋子。
11.权利要求10所述的聚四氟乙烯衬垫,其设置在提供所述衬垫的结构支持的聚乙烯第二层包装中。
12.权利要求6-9中任一项所述的聚四氟乙烯衬垫,其设置在提供所述衬垫的结构支持的聚乙烯第二层包装中。
CN201210112290.XA 2003-06-26 2004-06-23 聚四氟乙烯衬垫 Active CN102659962B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/606,521 2003-06-26
US10/606,521 US7067616B2 (en) 2003-06-26 2003-06-26 Polytetrafluoroethylene treatment

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2004800178174A Division CN1813005B (zh) 2003-06-26 2004-06-23 聚四氟乙烯处理

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102659962A true CN102659962A (zh) 2012-09-12
CN102659962B CN102659962B (zh) 2015-04-22

Family

ID=33540088

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210112290.XA Active CN102659962B (zh) 2003-06-26 2004-06-23 聚四氟乙烯衬垫
CN2004800178174A Active CN1813005B (zh) 2003-06-26 2004-06-23 聚四氟乙烯处理

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2004800178174A Active CN1813005B (zh) 2003-06-26 2004-06-23 聚四氟乙烯处理

Country Status (8)

Country Link
US (2) US7067616B2 (zh)
EP (2) EP2418226B1 (zh)
JP (2) JP4842810B2 (zh)
KR (2) KR101173811B1 (zh)
CN (2) CN102659962B (zh)
MY (1) MY142028A (zh)
TW (1) TWI352712B (zh)
WO (1) WO2005003189A1 (zh)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7067616B2 (en) * 2003-06-26 2006-06-27 Advanced Technology Materials, Inc. Polytetrafluoroethylene treatment
US20050050854A1 (en) * 2003-09-09 2005-03-10 Jean-Pascal Zambaux Sterile, pyrogen-free, polymeric film-based heating bag
CN100383187C (zh) * 2005-08-29 2008-04-23 山东东岳高分子材料有限公司 可回收溶剂的聚四氟乙烯自由流造粒料的制造方法
CN103249644B (zh) 2010-10-27 2016-05-18 高级技术材料公司 用于去除杂质的基于衬里的组件
JP6087833B2 (ja) 2010-11-23 2017-03-01 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド ライナーベースの分注器
US9937687B2 (en) 2012-02-17 2018-04-10 Entegris, Inc. Polymer-based multilayer gas barrier film
SG10201510813PA (en) 2012-02-24 2016-01-28 Advanced Tech Materials Fluid Delivery System And Method
US9517873B1 (en) 2012-09-28 2016-12-13 Air Liquide Electronics U.S. Lp Clean storage packaging article and method for making and using
US10155649B2 (en) 2013-10-18 2018-12-18 Entegris, Inc. Dip tube assemblies
JP6568070B2 (ja) 2013-11-26 2019-08-28 インテグリス・インコーポレーテッド 分配システムのための継手と継手アダプタおよびそれらを製造する方法
WO2015142805A1 (en) 2014-03-17 2015-09-24 Entegris - Jetalon Solutions, Inc. Disposable liquid chemical sensor system
CN114644723A (zh) * 2014-06-05 2022-06-21 索尔维特殊聚合物意大利有限公司 热处理后具有改进的热和机械特性的可熔融加工的全氟聚合物
KR102208156B1 (ko) 2014-10-17 2021-01-27 엔테그리스, 아이엔씨. 침지 튜브를 위한 패키징
WO2023108109A1 (en) * 2021-12-10 2023-06-15 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Polymer composition and methods of making and using the same

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US944836A (en) * 1908-04-18 1909-12-28 John A Williams Artificial tooth.
US2893900A (en) * 1956-01-09 1959-07-07 Eugene S Machlin Process of condensing polytetrafluoroethylene vapors onto a substrate and sintering the condensate
BE617992A (zh) * 1961-05-24
NL280630A (zh) * 1961-07-13
US3432511A (en) * 1961-11-07 1969-03-11 Duriron Co Processing of plastic materials
GB1470850A (en) * 1972-12-01 1977-04-21 Allied Chem Moulding poder
JPS49113874A (zh) * 1973-03-02 1974-10-30
US4220511A (en) * 1979-03-12 1980-09-02 Radiation Dynamics, Inc. Treatment of sintered poly-tetrafluoroethylene with irradiation and heat to produce a grindable material
DE3425027A1 (de) * 1983-07-08 1985-01-17 Sumitomo Electric Industries, Ltd., Osaka Fluorharz-filter
JPH01232013A (ja) * 1987-03-27 1989-09-18 Asahi Chem Ind Co Ltd ポリテトラフルオロエチレン系重合体成形品
US4948641A (en) * 1987-06-01 1990-08-14 Olin Corporation Multiple layer container for storage of high purity chemicals
US5235995A (en) * 1989-03-27 1993-08-17 Semitool, Inc. Semiconductor processor apparatus with dynamic wafer vapor treatment and particulate volatilization
US5215662A (en) * 1988-12-16 1993-06-01 Micron Separations Inc. Heat resistant microporous material production and products
JPH085140B2 (ja) * 1989-09-26 1996-01-24 ダイキン工業株式会社 フッ素樹脂製品の処理方法
JP2550254B2 (ja) * 1991-04-17 1996-11-06 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 テトラフルオロエチレン共重合体樹脂粉体組成物及びその製造法
JPH0767749B2 (ja) * 1991-07-04 1995-07-26 ニチアス株式会社 軟質弗素樹脂シートの製造方法
CA2074349C (en) * 1991-07-23 2004-04-20 Shinji Tamaru Polytetrafluoroethylene porous film and preparation and use thereof
JP3386174B2 (ja) * 1993-04-09 2003-03-17 忠弘 大見 フッ素樹脂成形品の平滑化方法および平滑成形品
US6159565A (en) * 1993-08-18 2000-12-12 W. L. Gore & Associates, Inc. Thin-wall intraluminal graft
WO1995027739A1 (en) * 1994-04-11 1995-10-19 Hoechst Celanese Corporation Superabsorbent polymers and products therefrom
JP3003500B2 (ja) * 1994-04-28 2000-01-31 ダイキン工業株式会社 ポリテトラフルオロエチレン複合多孔膜
JP3793305B2 (ja) * 1997-01-20 2006-07-05 日本バルカー工業株式会社 積層シートの製造方法及び積層シート製造装置
JPH1135709A (ja) * 1997-07-16 1999-02-09 Daikin Ind Ltd 焼成ポリテトラフルオロエチレンシートの平滑化方法
US6218015B1 (en) * 1998-02-13 2001-04-17 World Properties, Inc. Casting mixtures comprising granular and dispersion fluoropolymers
JPH11226850A (ja) * 1998-02-16 1999-08-24 Yanagawa Seiko Kk ブレードテープ部材およびこれを用いたブレードテープ
US6737165B1 (en) * 1998-08-06 2004-05-18 Omlidon Technologies Llc Melt-processible poly(tetrafluoroethylene)
JP2000229388A (ja) * 1999-02-09 2000-08-22 Du Pont Mitsui Fluorochem Co Ltd 熱溶融性フッ素樹脂被覆ポリテトラフルオロエチレン成形体
CN1256988C (zh) * 2002-03-18 2006-05-24 上海南洋医用材料有限公司 伤骨愈膜材料处理方法
US7067616B2 (en) * 2003-06-26 2006-06-27 Advanced Technology Materials, Inc. Polytetrafluoroethylene treatment

Also Published As

Publication number Publication date
US20040266986A1 (en) 2004-12-30
KR101110897B1 (ko) 2012-02-20
WO2005003189A1 (en) 2005-01-13
EP2418226B1 (en) 2015-07-22
EP1636276A1 (en) 2006-03-22
CN1813005B (zh) 2012-06-20
EP2418226A1 (en) 2012-02-15
TWI352712B (en) 2011-11-21
JP4842810B2 (ja) 2011-12-21
US7335721B2 (en) 2008-02-26
JP2011046955A (ja) 2011-03-10
US7067616B2 (en) 2006-06-27
TW200504126A (en) 2005-02-01
CN102659962B (zh) 2015-04-22
MY142028A (en) 2010-08-16
JP2007524725A (ja) 2007-08-30
KR20110095401A (ko) 2011-08-24
US20060235197A1 (en) 2006-10-19
KR20060031642A (ko) 2006-04-12
JP5369074B2 (ja) 2013-12-18
CN1813005A (zh) 2006-08-02
EP1636276A4 (en) 2009-07-01
KR101173811B1 (ko) 2012-08-16
WO2005003189B1 (en) 2005-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1813005B (zh) 聚四氟乙烯处理
RU2610870C2 (ru) Способ и система для лазерного спекания с использованием предварительно обработанного материала
WO2001064591A1 (en) Method, apparatus, and article of manufacture for determining an amount of energy needed to bring a quartz workpiece to a fusion weldable condition
US4715906A (en) Isothermal hold method of hot working of amorphous alloys
CN110337507A (zh) 圆筒型溅射靶及其制造方法
Hothi et al. Evidence of structural cavities in 3D printed acetabular cups for total hip arthroplasty
US3680197A (en) Diffusion bonding method
EP0202243A1 (en) HOT WORKING AMORPHOUS ALLOYS.
Schmachtenberg et al. Long‐Term Properties of Butt‐Welded Poly (propylene)
Satoh et al. Strength and phase identification of autogenous laser brazed dissimilar metal microjoints
US4930418A (en) Method for sealing optical windows in explosive initiators
JP5482124B2 (ja) 液体クロマトグラフ用のカラム管
Kong et al. Weld diffusion analysis of forming bimetallic components using statistical experimental methods
JP2002036237A (ja) 再生フッ素樹脂の製造方法及びフッ素樹脂再生品
Shirzadi et al. Novel method for diffusion bonding superalloys and aluminium alloys (USA patent 6,669,534 b2, european patent pending)
US20070144625A1 (en) Method and device for measuring the power dissipated by a hydridation reaction in tubes and tubular claddings and the corresponding variation in electric resistance
JPS58165036A (ja) 再熱割れ感受性試験方法
Kolenak et al. Characterization of an Active Soldering Zn-Mg Alloy and the Study of Ultrasonic Soldering of SiC Ceramics with Copper Substrate
SU1523284A1 (ru) Способ сварки давлением
CN115179557A (zh) 一种不产生碎屑的超声波焊接装置
Yamazaki Initiation and Propagation Behaviors of Small Crack in a Polycrystalline Ni-Base Superalloy under Thermo-Mechanical Fatigue Loading
Jameel Application of QbD Elements in the Development and Scale-Up of a Commercial Filtration Process
JP2006189152A (ja) 混合ガスの均一化方法
JPH0493794A (ja) 核燃料再処理プラント用機器の溶接方法
EP0380593A1 (en) High pressure bonding process

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant