CN102481787B - 喷嘴板保持装置及喷墨头的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是提供一种喷嘴板保持装置，能够以修正了喷嘴板的变形的状态对其进行保持，由此，能够使喷嘴板的喷嘴和头基片的通道高精度地对齐位置，并具有对排列有多个喷嘴(11)的喷嘴板(1)进行保持的保持部(31)，在通过所述保持部(31)保持着该喷嘴板(1)的状态下，将该喷嘴板(1)贴合到排列有多个通道的头基片，所述喷嘴板保持装置的特征在于，所述保持部(31)构成为，在与所述喷嘴板(1)表面平行的方向且在与该喷嘴板(1)的长度方向交叉的方向上，能够使所述喷嘴板(1)挠曲变形。

Description

喷嘴板保持装置及喷墨头的制造方法

技术领域

本发明涉及喷嘴板保持装置及喷墨头的制造方法，尤其是关于在将喷嘴板粘接到头基片时能够保持高的位置对齐精度的喷嘴板保持装置及喷墨头的制造方法。

背景技术

对于通过将液体从喷嘴以液滴状喷出来记录图像的喷墨头，多个喷嘴形成在喷嘴板上，使用粘接剂将该喷嘴板粘接在具有多个通道、使各通道内的液体喷出的喷出构件和液体的供给流路等的头基片上。

作为将喷嘴板贴合在头基片的方法，如图13所示，一般采用如下顺序：

(a)通过吸引力、磁力等将喷嘴板1固定在保持装置100上。

(b)进行喷嘴板1的处理，以使各喷嘴11和各通道21一致的方式相对于头基片2进行位置对齐。

(c)将喷嘴板1压抵在头基片2上。

(d)解除保持装置100的保持，从喷嘴板1分离。

此外，图中，10表示粘接剂层。粘接剂层10也有设置在喷嘴板1这一侧的情况。

喷嘴板和头基片被贴合时，在通道内形成有粘接剂的填角料，但两者的位置对齐精度变差，粘接剂填角块相对于喷嘴变得不均匀，对液滴的喷出带来不良影响，存在喷嘴堵塞的问题，从而确保粘接时的位置对齐精度是极其重要的。

以往存在如下技术：使用具有磁性吸附力的喷嘴板，通过磁力进行定位，由此实现定位及贴合的简化(专利文献1)；利用热剥离胶带对于在与头基片之间的粘接面形成有粘接剂层的喷嘴板进行保持，与头基片进行位置对齐之后，进行加热加压粘接，而使喷嘴板从热剥离胶带剥离，由此能够粘接喷嘴板(专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-198378号公报

专利文献2：日本特开平11-129485号公报

发明内容

发明要解决的问题

一般地，喷嘴板是通过激光加工等在树脂薄片形成多个喷嘴而形成的。喷嘴板的厚度薄的一方其喷嘴的长度变短，液滴喷出时的能量损失变小，是有利的，要求薄到几十μm左右。另外，近年，随着喷墨头长件化，排列的喷嘴数量也增多，变得高密度化。由此，喷嘴板自身的刚性逐渐变小，极其容易变形。

这里，在本发明中成为问题的喷嘴板的变形是指在与喷嘴板的表面平行的方向且在与喷嘴板的长度方向交叉的方向上挠曲。与喷嘴板的表面垂直的方向上的变形能够通过向头基片进行粘接时的压接来进行修正，但在与喷嘴板的表面平行的方向且在与喷嘴板的长度方向交叉的方向上的变形仅通过与头基片的压接是不能够修正的。

此外，喷嘴板的长度方向是指沿着通过排列多个喷嘴构成的喷嘴列的长度方向的方向。喷嘴列不限于1列，也有多列排列的情况。

喷嘴板变形时，如图14所示，在喷嘴板1挠曲的状态下，头基片2被粘接，喷嘴板1的各喷嘴11和头基片2的各通道21之间发生错位，对于液滴的喷出产生障碍，以及喷嘴11堵塞，都存在对液滴射中目标(着弹)带来不良影响的问题。

另外，喷墨头是因喷嘴形状来决定其性能。即，喷嘴的形状不均匀时，产生喷出液滴大小的偏差、液滴的喷出方向和喷出速度的偏差等，对于液滴射中目标和图像带来影响。喷嘴板变形时，喷嘴形状也因其变形而发生变化，以该状态被粘接在头基片上，由此，产生对液滴射中目标和图像带来不良影响的问题。

专利文献1仅仅是通过喷嘴板所具有的磁性吸附力使喷嘴板的定位和贴合变得容易，而没有关于对喷嘴板自身的变形进行修正的构件的记载，不能解决上述问题。

另一方面，专利文献2是通过热剥离胶带保持喷嘴板直到粘接到头基片，由此能够抑制喷嘴板的变形。但是，对于喷嘴板变形的原因，不仅是喷嘴板自身的形状，还有用于将其粘接到头基片时的直到被保持装置保持所承受的各种外力(例如处理时施加的力、周围的温度和湿度等)的影响。因此，如专利文献2那样，即使利用热剥离胶带保持喷嘴板，喷嘴板被保持在该热剥离胶带上期间也会受到各种外力的影响，由此，在被热剥离胶带保持的时刻就已经变形了，是以该变形了的状态被保持在热剥离胶带上。

然而，在专利文献2中，被保持在热剥离胶带上之后，关于对喷嘴板的变形进行修正的构件，没有任何记载，在该专利文献2的技术中，不能够解决由喷嘴板的变形导致的液滴射中目标和图像的不良影响的问题。

本发明的课题是提供一种喷嘴板保持装置，能够以修正了喷嘴板的变形的状态对其进行保持，并能够使喷嘴板的喷嘴和头基片的通道高精度地对齐位置。

另外，本发明的课题是提供一种喷墨头的制造方法，以修正了变形的状态将喷嘴板粘接到头基片，由此，能够使喷嘴板的喷嘴和头基片的通道高精度地对齐位置。

本发明的其他课题通过以下内容明确。

用于解决问题的技术方案

上述课题通过以下的各发明解决。

技术方案1记载的发明是一种喷嘴板保持装置，具有对排列有多个喷嘴的喷嘴板进行保持的保持部，在所述保持部保持着该喷嘴板的状态下，将该喷嘴板贴合到排列有多个通道的头基片，所述喷嘴板保持装置的特征在于，

所述保持部构成为，在与所述喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上，能够使所述喷嘴板挠曲变形。

技术方案2记载的发明是在技术方案1记载的喷嘴板保持装置的基础上，其特征在于，所述保持部具有利用沿该喷嘴板的长度方向的两端侧保持所述喷嘴板的两个两端保持部、和保持中央部的一个中央保持部，使所述中央保持部相对于所述两端保持部，在与所述喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上相对移动，由此使所述喷嘴板挠曲变形。

技术方案3记载的发明是在技术方案2记载的喷嘴板保持装置的基础上，其特征在于，所述中央保持部及所述两端保持部设置成能够朝向相对于所述喷嘴板表面垂直的方向独立地移动。

技术方案4记载的发明是在技术方案1记载的喷嘴板保持装置的基础上，其特征在于，所述保持部沿所述喷嘴板的长度方向形成，并且该保持部的中央部能够相对于两端部，沿着与所述喷嘴板表面平行的方向、且与该喷嘴板的长度方向交叉的方向，相对地挠曲变形。

技术方案5记载的发明是在技术方案1～4中任一项记载的喷嘴板保持装置的基础上，其特征在于，在所述保持部上形成有用于在保持着所述喷嘴板的状态下确认该喷嘴板的变形量的确认用通孔。

技术方案6记载的发明是一种喷墨头的制造方法，通过保持装置对排列有多个喷嘴的喷嘴板进行保持，将该被保持的所述喷嘴板以所述喷嘴的位置和所述通道的位置相一致的方式贴合于排列有多个通道的头基片，所述喷墨头的制造方法的特征在于，

将所述喷嘴板保持在所述保持装置之后，在与该喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上挠曲变形，由此，修正了所述喷嘴板的变形之后，将所述喷嘴板粘接到所述头基片。

技术方案7记载的发明是一种喷墨头的制造方法，通过保持装置保持排列有多个喷嘴的喷嘴板，将该被保持的所述喷嘴板相对于排列有多个通道的头基片，以所述喷嘴的位置和所述通道的位置相一致的方式贴合，所述喷墨头的制造方法的特征在于，

将所述喷嘴板保持在所述保持装置之后，将所述喷嘴板的两端部相对于所述头基片对齐位置地粘接之后，使所述喷嘴板沿与该喷嘴板表面平行的方向、且与该喷嘴板的长度方向交叉的方向移动而使所述喷嘴板挠曲变形，由此修正了该喷嘴板的变形之后，将所述喷嘴板的中央部位粘接到所述头基片。

技术方案8记载的发明是在技术方案6或7记载的喷墨头的制造方法的基础上，其特征在于，将所述喷嘴板挠曲变形之后的挠曲量调整到10μm以下之后，粘接到所述头基片。

发明的效果

根据本发明的喷嘴板保持装置，能够以修正了喷嘴板的变形的状态进行保持，并能够使喷嘴板的喷嘴和头基片的通道高精度地对齐位置。

另外，根据本发明的喷墨头的制造方法，能够以修正了变形的状态将喷嘴板粘接到头基片，并能够使喷嘴板的喷嘴和头基片的通道高精度地对齐位置。

附图说明

图1是喷嘴板的立体图。

图2是保持着喷嘴板的状态的本发明的保持装置的俯视图。

图3是本发明的喷墨头的制造方法的说明图，是保持着变形了的喷嘴板的状态的图2所示的保持装置的俯视图。

图4是本发明的喷墨头的制造方法的说明图，是对喷嘴板的变形进行了修正的状态的图2所示的保持装置的俯视图。

图5是本发明的喷墨头的制造方法的说明图，是表示将变形被修正了的喷嘴板粘接到头基片的状态的侧视图。

图6是使用了本发明的其他实施方式的保持装置的喷墨头的制造方法的说明图。

图7是保持着喷嘴板的状态的本发明的又一其他实施方式的保持装置的俯视图。

图8是保持着喷嘴板的状态的本发明的再一其他实施方式的保持装置的俯视图。

图9是表示保持部的其他形态的局部俯视图。

图10是从保持部的通孔观察喷嘴板的情况的说明图。

图11是表示使用以往的保持装置粘接喷嘴板时的挠曲量的线图。

图12是使用图2所示的保持装置对喷嘴板的变形进行修正并粘接时的挠曲量的线图。

图13是表示粘接喷嘴板和头基片的以往方法的工序图。

图14是表示通过以往方法粘接的头基片和喷嘴板的情况的立体图。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。

在本发明中，通过保持装置对排列有多个喷嘴的喷嘴板进行保持，并以喷嘴的位置和通道的位置相一致的方式将该被保持的喷嘴板贴合在排列有多个通道的头基片，由此制成喷墨头。

头基片具有排列有多个通道的通道列。通道列的列数可以是1列，也可以是多列。头基片作为具有从喷嘴喷出液滴的液滴喷出构件的执行器发挥功能。作为液滴喷出构件可以采用：成为液体流路的通道的壁面的至少一部分由PZT等压电元件形成，通过其壁面变形，使通道内的液体从喷嘴作为液滴喷出；面临通道内地具有振动板，通过压电元件使振动板振动，由此，使通道内的液体从喷嘴作为液滴喷出；在通道内具有热源，对通道内的液体进行加热而生成气泡，通过该气泡的破裂作用使液体从喷嘴作为液滴喷出等。在本发明中，液滴喷出构件没有特别限定，可以是任意的喷出构件。

在喷嘴板上，与头基片的各通道相对应地，在将其粘接到该头基片之前，预先沿该喷嘴板的长度方向形成多个喷嘴。作为喷嘴板的材质可以采用树脂制、金属制等，在本发明中可以使用任意一种，但由于树脂制板特别容易发生变形，所以在本发明中能够得到显著的效果。作为树脂可以列举例如聚亚烷基(ポリアルキレンpolyalkylene)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚醚砜、聚碳酸酯、醋酸纤维素和聚苯硫醚等。

喷嘴板的厚度一般为20μm～300μm。尤其，在本发明中，使用100μm以下的薄的喷嘴板时，能够发挥显著的效果。

将所述喷嘴板粘接到头基片时，将喷嘴板保持在保持装置上，以喷嘴板的喷嘴的位置和头基片的通道的位置相一致的方式将被保持在该保持装置上的喷嘴板相对于头基片的喷嘴板粘接面对齐位置之后，使喷嘴板和头基片相对移动并贴合，但在本发明中，将喷嘴板贴合到头基片时，在与喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上，使喷嘴板挠曲变形，在对喷嘴板的变形进行了修正之后，再贴合到头基片上。

这里，挠曲变形是指如图1所示地使长件状的喷嘴板1的至少一部分相对于其他部位沿与喷嘴板1的长度方向(X方向)交叉的方向相对地错位，优选的是，使喷嘴板1的中央部相对于两端部，沿与喷嘴板1的长度方向正交的方向(Y方向)相对地错位。

一般地，喷嘴板除了因其自身的形状引起的变形以外，为将喷嘴板粘接到头基片上直到被保持装置保持期间，承受各种外力，这成为变形的原因，存在在被保持装置保持的时刻发生变形的情况。将喷嘴板粘接到头基片时，将被保持装置保持的喷嘴板，以在与该喷嘴板表面平行的方向且在与喷嘴板的长度方向交叉的方向上挠曲变形的状态，贴合到头基片上，由此，能够在对喷嘴板的变形进行了修正的状态下粘接到头基片上。由此，能够将变形被修正的状态的喷嘴板粘接到头基片上，能够高精度地将喷嘴板的喷嘴和头基片的通道进行位置对齐。

为修正喷嘴板的变形而使喷嘴板挠曲变形时，通过具有沿长度方向的至少三处保持部的保持装置保持喷嘴板，使其中央保持部或两端保持部向变形方向的相反方向移动来修正变形。另外，也可以使中央保持部和两端保持部相互向相反方向移动。而且，还可以将保持喷嘴板的保持部作为沿着喷嘴板的长度方向的长度，使该保持部整体向喷嘴板变形方向的相反方向挠曲变形。

图2是表示能够这样地使喷嘴板挠曲变形的保持装置的一例的俯视图，示出了保持着喷嘴板的状态。

保持装置3具有分别保持喷嘴板1的长度方向(X方向)的多个位置的保持部31。本实施方式所示的保持部31由保持两端附近的两端保持部31a和保持中央部的中央保持部31b构成，以长度方向的三个部位保持喷嘴板1。

各保持部31对喷嘴板1进行保持的具体的保持构件只要能够可靠地保持喷嘴板1即可，在本发明中没有特别限定，优选的是，但通过吸泵的驱动来吸引空气，由此吸引喷嘴板1来进行保持，该结构能够通过吸泵的驱动及停止来容易地保持和解除喷嘴板1。

在本实施方式中，例示了通过未图示的吸泵的驱动来吸引保持喷嘴板1的结构。在各保持部31的表面(喷嘴板1的保持面)，具有未图示的吸引口，从该吸引口吸引空气，由此保持喷嘴板1。

各保持部31中的与喷嘴板1的长度方向正交的方向(Y方向)上的长度比喷嘴板1的Y方向上的宽度大地伸出地形成。各保持部31中的两端保持部31a设置成在Y方向上位置不动，中央保持部31b设置成能够在沿Y方向延伸的移动台32上移动。由此，通过未图示的驱动构件，能够使中央保持部31b沿移动台32向Y方向上的双方向移动规定量。在移动台32上，设置有未图示的例如线性编码器等的位置检测构件，能够高精度地检测中央保持部31b的位置(移动量)。

以下，对于使用该保持装置3将喷嘴板1粘接到头基片2来制造喷墨头的方法，使用图3～图5进行说明。图3、图4是保持着喷嘴板1的保持装置3的俯视图，图5是表示将喷嘴板1贴合到头基片2上的情况的侧视图。

首先，将形成了多个喷嘴11之后的喷嘴板1吸引保持在保持装置3的各保持部31。这里，喷嘴板1是在被保持装置3保持的时刻，中央部向沿Y方向的图中上方挠曲，作为整体以弧状变形(图3)。

此外，实际的喷嘴板1的变形极其微小，但在图3中为方便说明而夸张地表示变形量。

其次，使中央保持部31b向喷嘴板1的挠曲方向的相反方向(图中下方)沿着移动台32移动规定量，而有意地使喷嘴板1挠曲变形，由此，对喷嘴板1的变形进行修正。由此，保持装置3以变形被修正了的状态保持喷嘴板1(图4)。

此时，对于被保持装置3保持的时刻的修正前的喷嘴板1的Y方向的挠曲量，在适当的观察装置，例如使用显微镜或照相机来确认喷嘴板1的喷嘴11和头基片2的通道21之间的位置关系，由此，优选基于该挠曲量决定中央保持部31b沿移动台32的移动量。

但是，像这样为修正喷嘴板1的变形而有意地使该喷嘴板1挠曲变形之后的挠曲量(通过保持部31的移动量进行调整)优选为10μm以下。挠曲量越小越好，但作为目标只要是10μm以下的挠曲量，挠曲对图像的不良影响就少。

如果像这样通过保持装置3修正喷嘴板1的变形，使保持装置3相对于头基片2沿XY方向相对移动来进行喷嘴板1的位置对齐，以喷嘴板1的各喷嘴11和头基片2的各通道21相一致的方式进行了定位之后，使保持装置3的各保持部31朝向头基片2分别同时下降，由此，将喷嘴板1的整个表面贴合在头基片2的喷嘴板粘接面22(图5)。由于喷嘴板1以变形被修正了的状态被粘接，所以不会发生由变形引起的各喷嘴11和各通道21的错位，能够实现喷嘴板1和头基片2的高精度的位置对齐。

此外，粘接时的保持装置3和头基片2的移动是相对的即可，可以使头基片2侧朝向保持装置3上升，也可以使两者都向抵接的方向移动。

在以上的实施方式中，保持装置3的各保持部31全部同时朝向头基片2移动，由此粘接喷嘴板1，但各保持部31也可以设置成能够朝向相对于保持的喷嘴板1的表面(与头基片2之间的粘接面)垂直的方向(Z方向)独立地移动。

对于通过这样的保持装置将喷嘴板1粘接到头基片2来制造喷墨头的方法，使用图6所示的侧视图进行说明。

图6所示的保持装置3A的各保持部31中的两个两端保持部31a、31a和中央保持部31b设置成能够独立地向Z方向移动。

将喷嘴板1吸引保持在该保持装置3A的各保持部31，相对于头基片2对齐位置之后，在修正喷嘴板1的变形之前，首先仅使各两端保持部31a、31a朝向头基片2沿Z方向同时下降，由此将喷嘴板1的两端部侧分别粘接到头基片2(图6(a))。

然后，与上述同样地，使中央保持部31b朝向变形的喷嘴板1的挠曲方向的相反方向沿着移动台32移动规定量，来修正喷嘴板1的变形。

修正了喷嘴板1的变形之后，使中央保持部31b朝向头基片2沿Z方向移动，将喷嘴板1的中央部粘接到头基片2(图6(b))。

以上的各实施方式中的保持装置3、3A设置成仅三个保持部31中的中央保持部31b能够沿Y方向移动，但如图7所示的保持装置3B那样，设置成能够使两个两端保持部31a、31a分别沿移动台32在Y方向上移动，由此，在修正喷嘴板1的变形时，也可以仅使两端保持部31a、31a分别沿同一Y方向移动。该情况下，也可以与喷嘴板1的变形情况相应地，分别使两个两端保持部31a、31a的移动量不同。

该保持装置3B也能够适用于如下情况，即，在修正了喷嘴板1的变形之后，使各保持部31同时朝向头基片2下降而粘接到头基片2。

另外，保持装置如图8所示的保持装置3C那样，能够设置成使全部的保持部31沿移动台32在Y方向上移动。在该保持装置3C中，作为修正喷嘴板1的变形的形式可以采用：(1)仅使中央保持部31b沿Y方向移动的形式，(2)仅使两个两端保持部31a、31a沿同一Y方向移动的形式，(3)使中央保持部31b和两个两端保持部31a、31a沿Y方向向相互相反方向移动的形式。

在(2)的形式中，也可以与喷嘴板1的变形情况相应地，分别使两个两端保持部31a、31a的移动量不同。

另外，在(3)的形式中，也可以与喷嘴板1的变形情况相应地，分别使全部的保持部31的移动量不同。尤其，根据(3)的形式，由于能够使喷嘴板1更精细地挠曲变形，所以能够实现更高精度的位置对齐。

该保持装置3C能够适用于如下情况：在修正了喷嘴板1的变形之后，使各保持部31同时地朝向头基片2下降而粘接到头基片2；仅使两端保持部31a、31a朝向头基片2下降而先粘接喷嘴板1的两端部侧。

在本发明中，在保持喷嘴板1的保持部31中，如图9所示，在保持着喷嘴板1的状态下，优选形成有用于确认喷嘴板1的变形量的确认用通孔311。该情况下的保持部31的Y方向的长度比喷嘴板1的Y方向的宽度大地伸出地形成，通孔311也从喷嘴板1的Y方向的宽度伸出地形成。

由此，如图10所示，从保持部31的喷嘴板1的保持面的相反面这一侧，使用照相机4和照明5，观察面临通孔311的喷嘴板1，由此能够容易地确认喷嘴板1的变形量。

这样的通孔311可以形成在全部的保持部31，也可以仅形成在通过移动台32能够移动地设置的保持部31。

实施例

对于利用不具有对喷嘴板的变形进行修正的构件的以往的保持装置将喷嘴板粘接到头基片的情况、和使用图2所示的保持装置修正喷嘴板的变形而粘接到头基片的情况下的粘接后的喷嘴板的挠曲量进行了比较。

<喷嘴板规格>

喷嘴板长度(X方向)：80mm

喷嘴板宽度(Y方向)：3mm

喷嘴板厚度(Z方向)：0.075mm

喷嘴径：30μm

喷嘴间距：141μm

喷嘴列：2列

喷嘴数：512个/列

喷嘴板材质：聚酰亚胺

<头基片规格>

通道宽度(X方向)：80μm

通道宽度(Y方向)：300μm

通道间距：141μm

头基片长度(X方向)：80mm

头基片宽度(Y方向)：3mm

通过各自的保持装置，反复进行将一张喷嘴板粘接到头基片的作业，使用照相机测定了粘接后的各喷嘴板的Y方向的变形量。

使用以往的保持装置时的结果如图11所示，使用图2所示的保持装置修正变形时的结果如图12所示。

使用本发明的保持装置进行粘接的情况下，与以往的方法相比，喷嘴板的Y方向的挠曲被抑制得很小。由此可知，喷嘴板相对于头基片高精度地对齐位置而被粘接。

附图标记的说明

1     喷嘴板

11    喷嘴

2     头基片

21    通道

22    喷嘴板粘接面

3、3A～3C    保持装置

31     保持部

31a    两端保持部

31b    中央保持部

311    通孔

32     移动台

Claims (8)

1.一种喷嘴板保持装置，具有对排列有多个喷嘴的喷嘴板进行保持的保持部，在所述保持部保持着该喷嘴板的状态下，将该喷嘴板贴合到排列有多个通道的头基片，所述喷嘴板保持装置的特征在于，

所述保持部构成为，在与所述喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上，能够使所述喷嘴板挠曲变形。

2.如权利要求1所述的喷嘴板保持装置，其特征在于，所述保持部具有：利用沿该喷嘴板的长度方向的两端侧保持所述喷嘴板的两个两端保持部、和保持中央部的一个中央保持部，使所述中央保持部相对于所述两端保持部，在与所述喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上相对移动，由此使所述喷嘴板挠曲变形。

3.如权利要求2所述的喷嘴板保持装置，其特征在于，所述中央保持部及所述两端保持部设置成能够朝向相对于所述喷嘴板表面垂直的方向独立地移动。

4.如权利要求1所述的喷嘴板保持装置，其特征在于，所述保持部沿所述喷嘴板的长度方向形成，并且该保持部的中央部能够相对于两端部，沿着与所述喷嘴板表面平行的方向、且与该喷嘴板的长度方向交叉的方向，相对地挠曲变形。

5.如权利要求1～4中任一项所述的喷嘴板保持装置，其特征在于，在所述保持部上形成有用于在保持着所述喷嘴板的状态下确认该喷嘴板的变形量的确认用通孔。

6.一种喷墨头的制造方法，通过保持装置对排列有多个喷嘴的喷嘴板进行保持，将该被保持的所述喷嘴板以所述喷嘴的位置和通道的位置相一致的方式贴合于排列有多个所述通道的头基片，所述喷墨头的制造方法的特征在于，

将所述喷嘴板保持在所述保持装置之后，在与该喷嘴板表面平行的方向且在与该喷嘴板的长度方向交叉的方向上挠曲变形，由此，修正了所述喷嘴板的变形之后，将所述喷嘴板粘接到所述头基片。

7.一种喷墨头的制造方法，通过保持装置保持排列有多个喷嘴的喷嘴板，将该被保持的所述喷嘴板相对于排列有多个通道的头基片，以所述喷嘴的位置和所述通道的位置相一致的方式贴合，所述喷墨头的制造方法的特征在于，

将所述喷嘴板保持在所述保持装置之后，将所述喷嘴板的两端部相对于所述头基片对齐位置地粘接之后，使所述喷嘴板沿与该喷嘴板表面平行的方向、且与该喷嘴板的长度方向交叉的方向移动而使所述喷嘴板挠曲变形，由此修正了该喷嘴板的变形之后，将所述喷嘴板的中央部位粘接到所述头基片。

8.如权利要求6或7所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，将所述喷嘴板挠曲变形之后的挠曲量调整到10μm以下之后，粘接到所述头基片。