JP2003136705A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は圧電素子と振動板の接着に関するも
のであり、圧電素子と振動板を高精度に位置決めするこ
とを課題とする。 【解決手段】 振動板を通して圧電素子のダミー部を覗
くことが出来る窓又は穴を設け、このダミー部を直接確
認可能なことにより、列設方向及び高さ方向の位置決め
を正確に行いうことができる。また、目視での位置合わ
せが可能な為、部品の寸法精度を緩和させ、高品位で信
頼性のあるインクジェットヘッドを提供することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット方式はその他の画像記録
装置に比べ、コストが安価で、フルカラー化が容易であ
り優れた特徴を有している。その方式の主なものとし
て、コンティニュアス型とオンデマンド型がある。

【０００３】現在、一般的に使用されているオンデマン
ド方式は更に幾つかの方式を持ち、代表的なものとし
て、電気エネルギーを熱エネルギーに変換して気泡を発
生させ、インクを吐出するサーマル方式と、電気エネル
ギーを機械エネルギーに変換し、圧電素子の変位力でイ
ンク吐出させるピエゾ方式の二つがある。本発明は、オ
ンデマンド型でピエゾ方式のインクジェットヘッドに関
するものである。

【０００４】ピエゾ方式の具体的な構成は、図２に示す
ように、圧電素子の長手方向変位を利用して、その変位
方向にあり、圧力室の一部を構成する振動板を変形さ
せ、その振動板が接する圧力室の内部のインクを加圧・
減圧して振動板の反対側にあるノズルよりインク滴を吐
出するといった構造及びメカニズムのユニットを多数集
合させたものである。その製造方法及び材料は様々であ
るが、近年、ヘッドの小形化、高密度化が進む中、マイ
クロマシーニング技術、すなわち、超微細加工技術、超
精密接合、あるいは超精密接着技術が取入れられる傾向
にある。

【０００５】ヘッドの組立において、圧電素子と振動板
との位置合わせは、インク吐出に多大な影響を及ぼすの
で、特に重要である。圧電素子は複数の振動子の集合か
らなり、また振動板は圧力室に対応して変形部が設けら
れており、それぞれノズルピッチに対応している。よっ
て、ノズル密度が高い場合、ピッチが狭まり位置合わせ
が困難になる。

【０００６】圧電素子と振動板の組立の一例として、振
動子をダミーの振動板に位置合わせする方法がある。

【０００７】それは、振動板と同形状のダミー振動板を
作り、その変形部に合わせて振動子を位置合わせする。
この位置合わせは、顕微鏡や画像処理装置を用いて、ダ
ミー振動板に穴をあけて圧電素子が接合する側の反対面
から圧電素子を除き、穴の位置から変形部と振動子の位
置を合わせる。圧電素子は直線的にこの位置にくるよう
に１軸の移動ステージ等に取付ける。次に、圧電素子を
少し動かし実際に接合する振動板とダミー振動板を位置
合わせする。この位置合わせ方法は振動板とノズルプレ
ートの位置合わせに用いるピン穴を用いてピンを使うと
容易に合わせられる。こうしてダミー振動板に位置合わ
せした接合する振動板に圧電素子を移動ステージにより
振動板に突き当てると位置が合わせられる。この方法の
利点は、固定ブロックや圧電素子に位置決め機構を設け
る必要が無い為、部品精度を低くすることができる。し
かし、１軸ステージが高精度でなければならず、工程も
ダミーの振動板を会して位置合わせすることにより複雑
になるため、コストが上がり、時間もかかってしまう。

【０００８】その他の例として、固定ブロック部に振動
板に位置決めする為の孔を設け、固定ブロック部と接合
する流路形成部材を高精度に位置決めし、圧電素子を固
定ブロック部の孔に挿入することで、位置を決めて組み
立てる方法もある。この方法によれば、位置合わせの為
の特別な冶具が必要無くなり、工程が簡素なものとなる
が、ブロック部に精密な加工が要求される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】位置決めには、圧電素
子の変位方向と、その変位方向と垂直であって振動子の
並びに平行な長手方向（列設方向）と並び方向に直角な
短手方向（高さ方向）がある。

【００１０】しかし、２つ挙げた従来例のうち前者の例
では、圧電素子を振動板の所定の位置に位置決めする為
の位置決め冶具で、前記３つの方向を決めねばならない
為、冶具が大掛かりとなり、また、工程が複雑になる為
コストがかかることになる。また、後者の従来例では、
圧電素子と振動板の位置決めや傾きは、固定ブロック部
にすべて依存する為、そのための部品の寸法精度、高精
度加工等コストがかさむことになる。更に、部品の小変
更に際し、全部品を見直さなければならずモデルチェン
ジや需要に対するニーズに素早く対応することが難し
い。

【００１１】本発明は、このような問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的とするところは、圧電素子を流
路形成部材に高い精度で位置決めすることができるイン
クジェットヘッドを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為、
本発明では、インク滴を吐出する複数のノズルを有する
ノズルプレートと、前記ノズルプレートと連通する圧力
室とインク流路とを有するチャンバープレートと、前記
圧力室を膨張・収縮させる弾性変形部を有する振動板
と、櫛歯状に形成され且つ両端にはインク吐出に寄与し
ないダミー部を有した圧電素子とによって構成されるイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記ダミー部の先端の一
部又は全部を接合面の反対側から確認する為の窓を設け
ることを特徴とする。

【００１３】また、前記振動板は前記圧電素子の動きに
対して変動しない高剛性な補強プレートと、前記圧電素
子の変動により変動する弾性プレートとを張り合わせて
構成されていることを特徴とする。

【００１４】また、前記弾性プレートは前記ダミー部を
鮮明に見ることが可能な薄肉の樹脂で構成されているこ
とを特徴とする。

【００１５】また、前記チャンバープレートには前記振
動板の穴を覗く為のプレート穴が設けられている。

【００１６】また、前記窓により、前記圧電素子の櫛部
の各先端が対応する前記弾性変形部に位置するように、
前記窓を用いて位置合わせすることを特徴とする。

【００１７】また、インク滴を吐出する複数のノズルを
有するノズルプレートと、前記ノズルプレートと連通す
る圧力室とインク流路とを有するチャンバープレート
と、前記圧力室を膨張・収縮させる弾性変形部を有する
振動板と、櫛歯状に形成され且つ両端にはインク吐出に
寄与しないダミー部を有した圧電素子とによって構成さ
れるインクジェットヘッドにおいて、前記ダミー部の先
端の一部又は全部を接合面の反対側から確認する為の穴
を設けることを特徴とする。

【００１８】また、前記チャンバープレートには前記振
動板の穴全体を覗くことが可能なプレート穴が設けられ
ている。

【００１９】また、前記窓により、前記圧電素子の櫛部
の各先端が対応する前記弾性変形部に位置するように、
前記窓を用いて位置合わせすることを特徴とする。

【００２０】また、インク滴を吐出する複数のノズルを
有するノズルプレート、前記ノズルプレートと連通する
圧力室とインク流路とを有するチャンバープレート、前
記圧力室を膨張・収縮させる弾性変形部を有する振動板
からなるインク流路プレートと、櫛歯状に形成され且つ
両端にはインク吐出に寄与しないダミー部を有した圧電
素子とによって構成されるインクジェットヘッドの製造
方法において、前記インク流路プレートと前記圧電素子
との変位方向位置合わせで、前記圧電素子を仮固定する
為の位置決め基板と前記圧電素子とを仮固定接着剤で接
合する工程と、前記位置決め基板を前記インク流路プレ
ートに突き当てることにより圧電素子の変位方向の位置
決めを行う工程と、前記圧電素子から前記位置決め基板
を剥離する工程とからなる。

【００２１】更に、前記インク流路プレートは、前記ダ
ミー部を確認することが可能な位置に、位置決め用の穴
を備えていることを特徴とする。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の一例を図面を参
照して説明する。

【００２３】図１は、本発明による第１例を示すインク
ジェットヘッドの構造説明図である。

【００２４】複数のインク吐出の為のノズル３を形成し
たノズルプレート１と、それぞれのノズル３に連通する
圧力室５と、その圧力室５にインクを運ぶ絞り流路であ
るリストリクタ６と、インクをリストリクタに供給する
マニホールド７を形成したチャンバープレート４と、樹
脂フィルム部と金属板を張り合わせて選択的なパターン
ニング（エッチング）加工を施し、樹脂フィルムのみか
ら成る低弾性の変形部１０と金属板からなる高弾性な剛
性部９とを形成した振動板８により流路が形成される。
これら、ノズルプレート１、チャンバープレート４、振
動板８を組み合わせたものを流路プレートとする。

【００２５】また、流路プレートはそれを保持する固定
ブロック１２の一平面と接合し、圧電素子１４も固定ブ
ロック１２の一平面に固定される。それぞれの平面は高
平面度加工がされている。

【００２６】固定ブロック１２の部材は金属または樹脂
で形成され、金属ならば機械加工、樹脂ならば射出成型
により作り出され、内部空洞１３は積層振動子の動きを
干渉しないように、ある程度の距離を保った大きさにな
っている。流路プレート、圧電素子１４と接合する面
は、それぞれ高平面度加工がなされている。圧電素子１
４の接合面に対して高平面度加工をより確実にするた
め、固定ブロック１２を図３のようにＬ字型して、平面
加工処理等をし易くする方法もある。

【００２７】振動板８の材質について、剛性部９はＳＵ
Ｓ等の高剛性な材質の金属が用いられ、変形部１０には
ポリイミド等の低弾性フィルム状のものが用いられる。
厚さは変形部１０の弾性率にもよるが、一般的に１０〜
５０μｍ程度である。

【００２８】圧力室５と接する面の中央部には、圧力室
５を加圧し易く、且つ圧電素子１４との接合を容易にす
るため、脚部１１が設けられる。脚部１１周辺には変形
部１０が残る。隣り合う脚部１１の中間には、剛性部９
で作られる補強部が残る。圧電素子１４を分割してなる
個々の振動子１５の幅は、露出した変形部１０の幅より
も小さく、且つ脚部１１の幅よりも大きくなければなら
ない。もし、振動子１５の幅が変形部１０の幅よりも広
いと振動子１５の先端にある接着剤が広がって補強部に
ついてしまい、吐出に多大な影響を及ぼす。

【００２９】ところで、ノズルの開口面積、ノズルプレ
ートの厚さ、ノズル断面形状、圧力室の容積、及びイン
ク供給路は、インク吐出特性（インク吐出速度・インク
吐出量）に大きな影響を及ぼすので、これらを構成する
チャンバープレート４の形状精度は、高精度な加工技術
が要求される。こうした要求から、ノズルプレート１と
チャンバープレート４は、精密プレス加工、エキシマレ
ーザー加工、または、シリコンウエハ等の異方性エッチ
ング加工、等により高精度に形成されるものである。

【００３０】以上のノズルプレート１、チャンバープレ
ート４、振動板８、固定ブロック１２の接合には、シー
ト状の接着剤が用いられ、位置合わせはそれぞれの板の
位置合わせピンを用いて行う。その為、各プレートには
ピンを貫通させる高精度なピン穴が設けられる。接着シ
ートはフィルムに付いた接着剤を一旦部品に仮接着して
フィルムを剥がし、その後、部品同士を張り合わせて本
接着を行う。

【００３１】駆動源である圧電素子１４は、厚さ１５〜
３０μｍ程度の圧電材料と、厚さ１〜５μｍ程度の電極
材料を、交互に積層して成る電気機械変換素子である。
この圧電素子を加工するために、図示しない加工用支持
板に単板の状態で接着剤を用いて接合された後、ダイシ
ング加工等によりノズル３の配列ピッチに合わせて複数
に切断（ダイシング）され、ノズル３と同数の振動子１
５の列を形成する。切断後の圧電素子１４の両端には切
残し部が形成され、これをダミー部としている。ダミー
部は電気信号が印加されないため変形しない。また、ダ
ミー部の端は位置決めに用いる為、端から振動子１５ま
での距離は数μ以内の公差でカットされる。ダイシング
後、加工用支持板は取り外される。

【００３２】こうしてできたインクジェットヘッドは、
各々の振動子１５に電気信号が印加されると、その振動
子１５が変位を発生し、圧力室５の容積を拡大または縮
小させ、圧力室内部に発生する圧力によってマニホール
ド７からリストリクタ６を通ってくるインクをノズル３
から任意に吐出することが出来る。

【００３３】ここで、図４にあるように、圧電素子１４
と振動板８との位置関係について、圧電素子１４の変位
する方向を変位方向とし、変位方向と直交する面で振動
子の列と平行な方向を列設方向、変位方向と直交する面
で列設方向と直交する方向を高さ方向とする。

【００３４】図５は、本発明で用いる振動板８の平面図
である。

【００３５】ノズル３と同じピッチで並んだ脚部・変形
部列の両端に窓１９が設けてある。窓１９は振動板８に
振動子１５を当接した場合に、振動子１５の両端にある
ダミー部が来る位置にあり、ダミー部が当接されるはず
の剛性部９の領域は、エッチングされて変形部１０が露
出している。

【００３６】組立方法として、図６のようにダイシング
カットされた圧電素子１４を、変位方向の位置決めを行
う冶具Ａ２０に取り付け、駆動部位置合わせ組を作成す
る。冶具Ａ２０は中央部に切欠き部が設けられ、両端は
高平面度加工がなされている突き当て面がある。取り付
けは図示しない冶具により圧電素子１４の変位方向と平
行な面に冶具Ａ２０を押し付けつつ、振動子１５先端と
突き当て面が同一平面になるように位置を合わせて仮固
定接着剤で固定する。仮固定接着剤は、ここでは熱可塑
性の接着剤を用いる。接着剤は圧電素子１４全域には塗
布せず、ダミー部に沿った圧電素子１４の両端のみを塗
布領域とし、振動子１５等の変位部には塗布しない。

【００３７】ここで、冶具Ａは組立工程の終盤で取り外
される。振動子１５先端の同一平面の確認は表面粗さ計
などの測定器を用いて行い、段差をなくすようにする。
冶具Ａ２０は圧電素子１４の中央部に来るように配置さ
れ、突き当て面はダミー部近傍に配置される。

【００３８】次に、図７のように固定ブロック１２と振
動板８を図示しない冶具にて接合してブロック組を形成
する。接合は位置合わせピンで決め、シート接着剤で６
０〜８０℃程度で硬化させる。あまり高温で接合すると
振動板が歪んでしまう為、低温で行う。また、固定ブロ
ック１２と振動板８とを同材質とすることで、熱膨張係
数を合わせ、多少温度が上昇しても変形部１０と圧力室
５の位置ずれを減らすことができる。

【００３９】そして、図８のように、位置決め装置であ
る接合用の冶具Ｂ２３にブロック組と駆動部組を固定す
る。冶具Ｂ２３は、圧電素子１４を自由に動かすことが
できる位置制御部と、画像を認識して目標位置を算出す
る画像制御部からなる。駆動部組は位置制御部に取り付
けられ、入力信号に対し列設・高さ・変位方向すべての
方向に高精度に動かすことが出来る。ブロック組は冶具
Ｂ２３の観察台に、ピンで取り付けられ、トグルクラン
プ等で固定される。観察台の下には高倍率レンズが２つ
取り付けられ、それぞれ振動板８の窓１９の下に配置さ
れる。

【００４０】位置合わせは、まず、駆動部組をブロック
組の開口部（内部空洞１３）に挿入し、振動板８と駆動
部組の位置合わせ面とが接触するまで突き当てる。ここ
で突き当たるのは、冶具Ａ２０の突き当て面と振動板８
の剛性部９である。次に、突き当て面を数μｍ剛性部９
より離して、列設・高さ方向の位置合わせを行う。

【００４１】予め、ダミー部と振動子１５の位置、窓１
９と脚部１１の位置を測定しておき、振動板８の窓１９
よりダミー部を認識させて、振動子１５と剛性部９の位
置を合わせるように位置制御部に信号を送る。

【００４２】図９のように、ダミー部と振動子１５まで
の列設方向距離Ｌｐと、振動板列設方向の窓１９の端と
脚部の中央部までの距離Ｌｄと、窓１９の高さ方向の下
端から脚部の高さ方向の上端Ｈｄを、予め把握しておく
ことにより場所を特定できる。

【００４３】所定の位置にダミー部を配置したら、列設
方向・高さ方向については位置制御部２４にて自動的に
適切な位置に配置され、一旦、駆動部位置合わせ組を引
き上げて、圧電素子１４の先端部のみに常温接着剤を塗
布して、もう一度ブロック組に挿入して突き当て面を剛
性部９に突き当て、振動子１５先端部と脚部１１を接合
する。接合後は先端部が硬化するまで動かさない。

【００４４】ここで、常温接着剤を用いるのは、接着剤
の収縮による位置ズレを抑えるためである。振動子１５
先端への接着剤塗布は、図１０のように超小型ディスペ
ンサー等を用いて行うことにより、振動子１５先端のみ
に接着剤を塗布できる。

【００４５】先端硬化後に圧電素子１４と固定ブロック
１２の接合を行う。図１１のように、固定ブロック１２
の側面に設けられた接着剤注入穴から接着剤を流し込
み、圧電素子１４の櫛歯の根元部分（振動板に当接する
側と反対側）にある接合領域と固定ブロック１２との間
に充填する。

【００４６】固定終了後、固定ブロック１２及び圧電素
子１４を接着してある振動板８に、図示しない冶具に
て、チャンバープレート４を接合し、その上にノズルプ
レート１を接合する。接合には振動板８と固定ブロック
１２の時と同様にシート状の接着剤を用いる。方法はま
ず、チャンバープレート４に接着シートを貼り付け、図
示しない冶具で加圧して振動板８とチャンバープレート
を接合する。次にノズルプレートに接着シートを貼り付
けて、同様な工程で接合する。

【００４７】圧電素子１４と固定ブロック１２、チャン
バープレート４、ノズルプレート１の固定・接合が終了
したあと、冶具Ａ２０を圧電素子１４から取り外す。取
り外し方法は７０〜９０℃程度の熱を冶具Ａ２０にかけ
て、熱可塑性接着剤を溶かして冶具Ａ２０を取り外し、
アセトン等の溶剤で接合面を洗浄する。

【００４８】洗浄後、圧電素子１４に信号を印加するフ
レキシブルプリントケーブルを貼り付ける。

【００４９】こうして出来たヘッドは、振動板８の各変
形部の中央に振動子１５が接合されている為、吐出性能
が安定する。また、直接圧電素子１４を見ながら位置合
わせが行える為、歩留まりも向上する。特に、圧電素子
１４の形状が多少変化しても、ダミーから振動子１５ま
での位置を把握していれば、正確な位置合わせが行える
為、部品精度を減少させてコストダウンが可能となる。

【００５０】図１２は、本発明の第２例を示す振動板８
とチャンバープレート４である。振動板８のダミー部と
当接される領域には位置合わせ穴２９が開けられてい
る。また、チャンバープレート４の同様の位置にも位置
合わせ穴２９が設けられている。

【００５１】この例では、まず、振動板８とチャンバー
プレート４をピンを用いて位置決めしつつ接合する。こ
こで位置がズレると振動板８の穴がチャンバープレート
に隠れてしまい、ダミー部が見えづらくなる為正確に位
置を合わせて接合することが求められる。位置合わせ方
法・接合方法は本発明の第１例と同様に行う。

【００５２】この例で、振動板８にチャンバープレート
４を取り付けたことによる効果として、振動板８は薄く
撓みやすいため、チャンバープレート４を取り付けるこ
とにより撓みが極力減少する。但し、初期設計でチャン
バープレート４の厚さが薄い場合、位置合わせ穴２９を
開けると、剛性の減少による性能への影響がありえるの
で注意が必要である。

【００５３】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によるイ
ンクジェット記録ヘッドは、振動板に窓または穴を設け
ることにより、列設方向・高さ方向の位置決めを正確に
行い、また目視により位置を合わせる為、部品の寸法精
度を緩和させ、高品位で信頼性のあるインクジェットヘ
ッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本例におけるインクジェトヘッドの分解図で
ある。

【図２】 インクジェットヘッドの断面図である。

【図３】 本発明に用いる部品の一例を示した斜視図で
ある。

【図４】 本発明における方向の定義を示す図である。

【図５】 本発明の第１例で用いられる部品の平面図で
ある。

【図６】 本発明で用いられる部品の接合状態を表す斜
視図である。

【図７】 本発明における組立途中のヘッド形状を表す
斜視図である。

【図８】 本発明における組立状態の説明図である。

【図９】 本発明における圧電素子と振動板の位置関係
を示す斜視拡大図である。

【図１０】 本発明における接着剤の塗布方法である。

【図１１】 本発明で用いられる部品の接合方法であ
る。

【図１２】 本発明の第２例で用いられる部品の概略図
である。

【符号の説明】

１はノズルプレート、２はピン穴、３はノズル、４はチ
ャンバープレート、５は圧力室、６はリストリクタ、７
はマニホールド、８は振動板、９は剛性部、１０は変形
部、１１は脚部、１２は固定ブロック、１３は内部空
洞、１４は圧電素子、１５は振動子、１６はダミー部、
１７はフレキシブルプリントケーブル、１８はその他の
固定ブロック、１９は窓、２０は冶具Ａ、２１は位置合
わせ面、２２は接着剤塗布領域、２３は冶具Ｂ、２４は
位置制御部、２５は画像処理制御部、２６は超小型ディ
スペンサー、２７は接着剤注入穴、２８は圧電素子接合
領域、２９は位置合わせ穴、３０は接着剤、３１はレン
ズである。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インク滴を吐出する複数のノズルを有する
   ノズルプレートと、前記ノズルプレートと連通する圧力
   室とを有するチャンバープレートと、前記圧力室を膨張
   ・収縮させる弾性変形部を有する振動板と、櫛歯状に形
   成され且つ両端にはインク吐出に寄与しないダミー部を
   有した圧電素子とによって構成されるインクジェットヘ
   ッドにおいて、前記ダミー部の先端の一部又は全部を接
   合面の反対側から確認する為の窓を振動板に設けること
   を特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】前記振動板は前記圧電素子の動きに対して
   変動しない高剛性な補強プレートと、前記圧電素子の変
   動により変動する弾性プレートとを張り合わせて構成さ
   れていることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
   トヘッド。
3. 【請求項３】前記弾性プレートは前記ダミー部を確認可
   能な薄肉の樹脂で構成されていることを特徴とする請求
   項２記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】前記チャンバープレートには前記振動板の
   窓を覗く為のプレート穴が設けられている請求項１乃至
   ３記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】前記窓により、前記圧電素子の櫛部の各先
   端が対応する前記弾性変形部に位置するように、前記窓
   を用いて位置合わせすることを特徴とする請求項１乃至
   ４記載のインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】インク滴を吐出する複数のノズルを有する
   ノズルプレートと、前記ノズルプレートと連通する圧力
   室とを有するチャンバープレートと、前記圧力室を膨張
   ・収縮させる弾性変形部を有する振動板と、櫛歯状に形
   成され且つ両端にはインク吐出に寄与しないダミー部を
   有した圧電素子とによって構成されるインクジェットヘ
   ッドにおいて、前記ダミー部の先端の一部又は全部を接
   合面の反対側から確認する為の穴を振動板に設けること
   を特徴とするインクジェットヘッド。
7. 【請求項７】前記チャンバープレートには前記振動板の
   穴全体を覗くことが可能なプレート穴が設けられている
   請求項６記載のインクジェットヘッド。
8. 【請求項８】前記窓により、前記圧電素子の櫛部の各先
   端が対応する前記弾性変形部に位置するように、前記窓
   を用いて位置合わせすることを特徴とする請求項６又は
   ７記載のインクジェットヘッド。
9. 【請求項９】インク滴を吐出する複数のノズルを有する
   ノズルプレート、前記ノズルプレートと連通する圧力室
   とインク流路とを有するチャンバープレート、前記圧力
   室を膨張・収縮させる弾性変形部を有する振動板を有
   し、櫛歯状に形成され且つ両端にはインク吐出に寄与し
   ないダミー部を有した圧電素子とによって構成されるイ
   ンクジェットヘッドの製造方法において、前記インク流
   路プレートと前記圧電素子との変位方向位置合わせで、
   前記圧電素子を仮固定する為の位置決め基板と前記圧電
   素子とを仮固定接着剤で接合する工程と、前記位置決め
   基板を前記振動板に突き当てることにより前記圧電素子
   の変位方向の位置決めを行う工程と、前記圧電素子から
   前記位置決め基板を剥離する工程とからなるインクジェ
   ットヘッドの製造方法。
10. 【請求項１０】前記チャンバープレートは、前記ダミー
    部を確認することが可能な位置に、位置決め用の穴を備
    えていることを特徴とする請求項９記載のインクジェッ
    トヘッドの製造方法。
11. 【請求項１１】前記振動板は、前記ダミー部を確認する
    ことが可能な位置に、位置決め用の窓又は穴を備えてい
    ることを特徴とする請求項９記載のインクジェットヘッ
    ドの製造方法。