JP3185372B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインク滴の吐出によって
記録を行うインクジェット記録装置に適したインクジェ
ットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】振動子の一端部の変位により圧力室内の
インクを加圧し、圧力室に連通するノズルよりインク滴
を吐出する、本発明の構成に近いインクジェットヘッド
は特開昭５８ー１１９８７２に開示されている。その構
造を図１２に示す。

【０００３】この種のヘッドは低電圧駆動、高密度化の
可能性を有し、優れた吐出特性をも備えるが、反面、振
動子先端の変位量は多くて１．５μｍと非常に微小なた
め、構造、製造における微妙な寸法が吐出特性に影響す
る。細長い振動子を圧力室に対し倒れを生じることな
く、且つ高精度に如何に配置するか、また脆い振動子を
欠けや折れから如何に保護するか、と言った課題があ
る。特に振動子先端をダイアフラムに対し如何に離れず
且つ過度に押し込まずにセッティングできるかはこの種
のヘッドの安定吐出を得る上で重要な課題である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】先の従来例によれば細
長の振動子２０４は個々にブロック２２８のスロット２
３２とプレート２２６のホール２２４をガイドとしてセ
ットされている。しかし振動子の長さ方向にはセットの
ための位置決め手段がなく、しかもダイアフラム３１０
の位置についても特に工夫はされていない。

【０００５】圧力室の配置が低密度で、しかも個々の振
動子を一本毎セットする場合であっても、従来例の構成
では安定吐出の実現は難しいと想像するが、本発明が目
指すように、多数ノズルを高密度化し、しかも複数の振
動子を合理的に、且つ高精度に組み込もうとすると従来
構成には下記のように一層問題が多い。その様子を図１
３に例示した。

【０００６】流路部のソリ、ウネリ等の平坦度が悪いと
それに接合されたダイアフラムにもソリ、ウネリが出
る。そのソリ、ウネリが矯正されないと振動子がダイア
フラムに届かなかったり、或は図１３の３１０ａ部のよ
うにダイアフラムを振動子で過度に押し込んでダイアフ
ラムの破損または振動子の折れを起こす。これは本発明
のように複数振動子を同時にセットする場合にはより大
きな問題となる。一方プレート２２６とダイアフラムは
各振動子間においても接合しているが、例えばプレート
が流路部より強度があり、その接合部で凸部２２６ａを
持つと、図示のようにダイアフラム及び流路部を押して
平坦度を悪くしてしまう。

【０００７】平坦度の悪さによって、ダイアフラムが所
々でその張力を変えることも起こり、それがダイアフラ
ムの変位量に、すなわち圧力室の体積変化量に影響し、
吐出インク量にもばらつきを生じてしまう。

【０００８】各振動子の間でプレート２０６とダイアフ
ラム３１０を接合し、またその部分で振動子をガイドし
ているために振動子を密に並べられず、高密度化が阻害
される。振動子先端部をプレートのホール２２６でガイ
ドしたために摺動抵抗によって振動子の動きが妨害され
る、特にブロックのスロット２３２の位置がホール２２
４に対しずれるとその妨害は顕著となる。

【０００９】各振動子間でプレートとダイアフラムとを
接着するとき、接着剤がダイアフラムのたわみ部上には
み出してしまう。それがダイアフラムを変位させるとき
には抵抗となり、吐出インク量減少の要因となる。

【００１０】本発明は上記した従来の問題点を解決し
て、振動子を高密度に、しかも圧力室に対して安定して
配置でき、従って均一且つ優れた吐出特性を持ち、その
上組立の簡単化をも実現したインクジェットヘッドを提
供するもである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】そこで本発明によるイン
クジェットヘッドでは、圧力室を複数同一平面上に列状
に並べたチャンバープレートと、一端部が同一面上に揃
い他端で互いに連結した複数の振動子から成る振動子群
と、振動子群を固定しチャンバープレートより高剛性の
平坦な面を有する高剛性プレートとを備え、振動子群の
振動子の一端部は圧力室を加圧する様にチャンバープレ
ートと結合され、チャンバープレートは、少なくとも複
数の圧力室が列状に並んだ方向に平行な領域において高
剛性プレートの平坦な面と接着される接合領域と、振動
子がチャンバープレートに結合される近傍において高剛
性プレートの平坦な面と接着されない非接合領域とを有
することを特徴とする。また、係るインクジェットヘッ
ドにおいて、チャンバープレートは、複数の圧力室が列
状に並んだ圧力室列を複数列有し、この圧力室列間と高
剛性プレートの平坦な面が接着されていることを特徴と
する。また、係るインクジェットヘッドにおいて、チャ
ンバープレートと高剛性プレートの平坦な面が圧力室形
成領域外の全域で接着されていることを特徴とする。ま
た、係るインクジェットヘッドにおいて、チャンバープ
レートの高剛性プレートの平坦な面と接着される面は、
振動子の一端部及び高剛性プレートの平坦な面と当接す
る厚肉部と、振動子の変位を受けてたわみを起こす薄肉
部とを有することを特徴とする。また、係るインクジェ
ットヘッドにおいて、同一ピッチで並列した複数の振動
子の両サイドに振動子先端部と同一平面上に揃い、且つ
振動子と一体化した度決め部を備えた振動子群を有する
ことを特徴とする。また、係るインクジェットヘッドに
おいて、高剛性プレートは、振動子群を支持する支持板
の少なくともＸ軸、Ｙ軸の２方向を位置決めすることを
特徴とする。

【００１２】また並列した複数の振動子の両サイドに該
振動子先端部と同一平面上に揃い、且つ該振動子と一体
化した度決め部を備えて、振動子の位置決め部とした。

【００１３】

【実施例】以下に本発明の実施例に沿って詳細に説明す
る。

【００１４】先ず図１（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明によ
るインクジェットヘッドのチャンバープレート３０の製
造方法の一実施例を模式的に示したものである。図１
（ａ）において、ノズル６を有するノズルプレート４に
厚さ５０μｍのドライフィルムレジスト４１を２層ラミ
ネートし所要のパターンをもつマスク４３ａを介して紫
外線露光する、次にその上にさらに同様のフィルムを１
層ラミネートして別のマスク４３ｂを介して露光する、
そして以上のドライフィルムを現像処理すれば圧力室、
圧力室からノズルに到る流路、各圧力室共通のインク室
等の流路を得る。マスク４３ａ、４３ｂをノズルプレー
トの基準穴に合わせて露光するので、流路はその穴基準
で形成される。一方図１（ｂ）に示すように、圧力室プ
レート５側にも同様にしてノズルプレート４側と相符合
する流路を作る。そして図１（ｃ）に示すように、以上
の２体を加熱、加圧下で融着せしめれば圧力室７ａ、圧
力室からノズルに連通する流路７ｃ、各圧力室共通のイ
ンク室７ｂを備えたチャンバープレート３０が完成す
る。

【００１５】チャンバープレート３０をさらに分かりや
すくするために、図２にノズルプレート４、ドライフィ
ルムから成る流路部７、圧力室プレート５に分けた分解
斜視図を示した。ノズルプレート４は等ピッチで並んだ
インク滴吐出ノズル６を２列備える。流路はノズル６と
同ピッチで並んだ長方形状の圧力室７ａを２列と各圧力
室共通のインク室７ｂを備える。ノズルピッチ、圧力室
ピッチは共に後述の振動子のピッチと同じである。

【００１６】ノズルプレート４の板厚は３０〜１２０μ
ｍ程で、ノズル６はニッケル電鋳、ステンレスのプレス
加工、プラスチックフィルムのレーザー加工、のいずれ
かで製作できる。圧力室プレート５には後述するように
金属やプラスチック材料が使用可能である。しかし好ま
しくはチャンバープレートの平坦度を良くする上で両プ
レートの材質を揃えるのがよい。

【００１７】開発例によれば圧力室７ａは幅０．１ｍ
ｍ、長さ２ｍｍ、深さ０．１ｍｍであった。配列ピッチ
は１４１μｍ、１列当り２４個、２列で４８個形成し
た。

【００１８】ドライフィルムレジストは硬化の過程で収
縮するが異材質のノズルプレート４や圧力室プレート５
と密接しているために、チャンバープレート３０にはソ
リやウネリを生じる。また加熱、加圧下での融着後常温
に戻る過程では熱膨張係数の違いからやはりソリやウネ
リを生じてしまう。流路部を挟んでノズルプレート４と
圧力室プレート５を配し、しかも両プレートの材質、形
状を揃えて、バランスを取る工夫や流路部以外にもドラ
イフィルムレジストを除去して変形を均一化する工夫を
行ってきたが、高い要求にはまだ不十分である。

【００１９】開発例によれば、平坦度の要求値１０μｍ
以下に対し、圧力室プレート５上の平坦度は良いもので
１５μｍ、悪いほうで３０μｍ程であった。後で説明す
る圧力室プレート上の、振動子先端接合部のみに注目す
れば数μｍ〜２０μｍであった。

【００２０】図３はチャンバープレートの他の実施例
で、圧力室７ａやノズル６、共通のインク室７ｂ等の流
路を射出成形により作ったプラスチックプレート７ｆ
と、プラスチックフィルム製圧力室プレート５を示す。

【００２１】プラスチックの材料特性、射出成形時の圧
力、温度分布、流路形成とそれに伴う形状アンバランス
によって、プラスチックプレート７ｆにもソリが見ら
れ、４８ノズルヘッドでその値は５〜３０μｍであっ
た。

【００２２】図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に振動子１と支持
基板２から成る振動子群３１の組立実施例を斜視図で示
す。支持基板２にはＵ字形の切りかき２ｂを有し、その
片面には薄膜電極２ｖが付けられている。支持基板２の
薄膜電極面に板状の振動子プレート１ｂを接着剤または
半田等ろう付けにより接合する。この際治具を用いて切
り欠き２ｂと振動子プレート１ｂの一端１ｃの距離、す
なわち振動子１の自由端長さＬを正確に合わせることが
必要変位量を得る上で肝要である。また振動子先端１ａ
がチャンバープレート３０に接合できるためには、振動
子プレート１ｂの前記一端１ｃには予め回転ブレードに
よるスライシングマシンで数μｍ精度の真直度を出して
おくことも重要である。

【００２３】次に、回転ブレードやワイヤソー等を使っ
た、スライシングマシンで振動子プレート１ｂと支持基
板２上の薄膜電極２ｖを同時に切断し、振動子１および
振動子両サイドの度決め部１ｆを短冊状に作ると共に薄
膜電極を分割して各振動子毎の引出し電極２ｖを作る。
このとき支持基板２をもわずかだが切り込むことにな
る。

【００２４】各振動子１のピッチ精度はスライシングマ
シンの送り精度で決まり、５μｍ前後かそれ以下に加工
可能である。各振動子先端１ａ、度決め部１ｆ先端は真
直度３μｍ以下の精度で揃う。

【００２５】開発ヘッドによれば振動子は１／１８０イ
ンチ（１４１μｍ）のピッチで２４本並び、その振動子
１の寸法は幅７０μｍ、厚さ５００μｍ、自由端長さＬ
は５ｍｍであった。また度決め部１ｆは幅５００μｍと
して組み込みに耐える強度を確保した。振動子には低電
圧で大きな変位量と変位速度を得るため、且つ振動子の
剛性を得るため２０μｍの圧電材を電極を介して多層に
積層した振動子を用いた。

【００２６】支持基板２は振動子１を強固に固定し、且
つ振動子にソリや曲げを発生させないこと、また各振動
子間にクロストークを起こさないこと、接合部では電気
的接続が可能なこと、等の諸機能を担う。従って支持基
板２は平坦性を有し、高ヤング率、また振動子に近い熱
膨張係数の材料が適す。材料としてプラスチック、金
属、も可能であるが、望ましくはセラミック材が最も良
い結果であった。

【００２７】図５に本発明によるインクジェットヘッド
の分解斜視図を示した。図６はある流路に着目した断面
図である。支持基板２の、薄膜電極２ｖにリード３が接
続しており、電力を供給すれば振動子１は長手方向に、
すなわち図に於ける矢印ｚ方向に縮み、放電すると伸び
てチャンバープレート内圧力室７ａのインクを加圧す
る。

【００２８】インクは図示されないインクカートリッジ
からパイプ８を通ってインク室７ｂに供給される。尚、
１３は回路基板であって、リード３に接続した駆動用集
積回路を搭載する。

【００２９】圧力室プレート５は、図６に示す様に、圧
力室７ａをカバーし、インク漏れを防止すると共に、振
動子先端１ａと接合する。プレート５は剛性を高めた長
方形で島状の厚肉部５ａと振動子１の変位を受けてたわ
みを起こす薄肉部５ｂおよび周辺の厚肉部５ｃから成
る。圧力室プレート５は例えばニッケル電鋳で作られ、
薄肉部５ｂは０．５μｍ〜３μｍ、厚肉部５ａ、５ｂは
１０〜１００μｍの範囲から選ばれる。圧力室プレート
５は薄肉部と厚肉部に分けて作ることも可能で、例えば
薄い金属フィルムにメッキや樹脂層で厚肉部を形成する
こともできる、或はプラスチックフィルムにメッキや樹
脂層で厚肉部を形成できる。

【００３０】振動子群３１とチャンバープレート３０と
の組立について説明すると、チャンバープレート３０に
設けられた穴１４と高剛性プレート１０に設けた穴１６
にピンを通して合わせた後、チャンバープレート３０と
高剛性プレート１０を接着剤で接合する。次に前述した
振動子群３１の振動子先端１ａ及び度決め部１ｆ先端に
転写法で薄く、望ましくは後述するように、１５μｍ以
下の厚さで接着剤を塗布し、振動子群３１を高剛性プレ
ート１０の案内１０ａを使って、度決め部１ｆが圧力室
プレート５に度当たるまで挿入する。すなわち振動子群
３１のＸ方向位置は支持基板２の両サイドと高剛性プレ
ート１０の案内１０ａで、Ｙ方向位置は度決め部１ｆ先
端と高剛性プレート１０の案内１０ｂで決めて、挿入す
る。Ｚ方向は度決め部１ｆ先端で決める。度決め部１ｆ
先端が圧力室プレート５に当たれば、その状態を治具で
保持したまま仮止め接着剤、例えば紫外線硬化型接着剤
で高剛性プレート１０に仮止めを行う。仮止めは高剛性
プレート１０との任意の間隙で可能である。仮止めすれ
ば治具からの開放が可能となる。次に熱硬化接着剤で本
格的に固定する。高剛性プレート１０は支持基板２を強
固に固定して振動子がチャンバープレート３０から逃げ
るのを防ぐ機能をも持つ。こうして振動子先端１ａを圧
力室プレート５に接合、配置する。尚、度決め部１ｆ先
端が当たる圧力室プレート５の部分には流路等は作らな
い。

【００３１】振動子及び度決め部先端の接着剤塗布量が
多いと、例えば実験にて得た塗布厚１５μｍを越える
と、接合時圧力室プレート５の薄肉部５ｂに接着剤がは
み出し、振動子駆動時の薄肉部のたわみ変位量に悪影響
することが解っている。従って開発例では接着剤塗布厚
を１５μｍ以下に抑え、逆に圧力室プレート５の平坦度
を１０μｍ前後以下にして振動子先端の接合不良をなく
した。

【００３２】図７、図８、図９は圧力室プレート５を振
動子接合面からみた斜視図である。また図１０には振動
子先端１ａと度決め部１ｆが圧力室プレート５上に配置
した状態を拡大して示した。

【００３３】図７に於て斜線部１５は高剛性プレート１
０との接合部を示す。圧力室プレート５の厚肉部５ａ、
薄肉部５ｂを除いて、すなわち圧力室及び圧力室間は除
いて、少なくともその周囲で接合する。

【００３４】図８に別の接合域１５の例を示す。本実施
例は並んだ圧力室の両サイドにて接合したもので、図７
の場合と同等の効果を確認できた。

【００３５】図９はさらに他の実施例で、並んだ圧力室
の側域を接合域とした。ソリ、ウネリは流路構成上、圧
力室の並列方向、図のＹ方向に出易い。従って側域のみ
で接合した本実施例の場合もほぼ同等の効果を得ること
ができる。

【００３６】図１１は、高剛性プレート１０の高平坦度
な接合面１１を見た平面図の例である。尚、これにはセ
ットされた振動子群３１をも図示した。

【００３７】高剛性プレート１０は３ｍｍ以上の厚さを
有し、材質にはステンレス等の金属、セラミック、樹脂
が使用可能であるが、いずれに於いても接合面１０ａ
は、望ましくは１０μｍ以下の高平坦度面に仕上げる。
従って必要であれば研磨加工を行う。樹脂成形であれば
収縮率が小さくヒケ、ねじれ等を生じない熱硬化性樹脂
がすぐれることが解っている。

【００３８】以上に説明したインクジェットヘッドによ
れば、チャンバープレート３０は厚さ０．２ｍｍ前後の
樹脂製の流路と薄いノズルプレート４、圧力室プレート
５からなり、総厚０．３ｍｍ程である。よってその剛性
は相当低く、その面に剛性が高く、且つ接合面に高平坦
度面を持つ高剛性プレート１０を接合することによって
チャンバープレート、特に振動子先端当接部の平坦度は
矯正される。数μｍ〜２０μｍあった振動子先端１ａ及
び度決め部１ｆ先端接合部のチャンバープレートの平坦
度が高剛性プレートを接合することによって目標の１０
μｍ以下とできた。

【００３９】図２に示したプラスチックプレート７ｆの
場合、剛性を低下させる意味で厚さを１．５ｍｍ以下、
望ましくは１ｍｍ以下とする。プラスチックプレートの
場合にも高剛性プレートを接合したとき１０μｍ以下の
平坦度を得た。

【００４０】振動子間にはチャンバープレート３０と高
剛性プレート１０との接合部を持たない。そして並んだ
複数の圧力室７ａの外周で接合される。そのため、例え
ば高剛性プレート１０の接合面１１上の５ｐ、５ｑ間
（図１１）に高さ１０μｍの傾斜がみられても、５ｐ、
５ｑ間距離が大きいため、チャンバープレートにはほと
んど傾斜が出ない。従って、圧力室プレート５の薄肉部
５ｂには大きな張力が働いたりしない。

【００４１】振動子は複数一括して振動子群３１として
組み込む。しかも両サイドには振動子と端部を同一面に
揃えた度決め部を備えてＺ方向位置を決めた。平坦化し
たチャンバープレートとあいまってその効果は大きく、
組立を簡単化できるのみならず、各ノズルからの吐出特
性も均一化する。勿論、振動子が圧力室プレートから離
れたり、逆に過度に押し込んで破損や塑性変形を起こす
と言った問題も解消できた。

【００４２】また振動子１を直接ガイドせず振動子外の
部分である度決め部１ｆや支持基板２を高剛性プレート
１０でガイドして位置を決め、またＺ方向も度決め部１
ｆで位置を決めるので、振動子の破損を防止できる。

【００４３】流路壁を樹脂壁で形成する利点は大きい
が、樹脂壁を使ったチャンバープレートは平坦度を得難
い。従って本発明による効果はこの様なチャンバープレ
ートでなお一層発揮できる。

【００４４】振動子間に接合部と振動子のガイド部を持
たない。その結果高密度化できたのみか、摺動抵抗によ
る振動子の変位動作の阻害がない、また接着剤が薄肉部
にはみ出すことがない、などインク吐出特性の一層の安
定化が可能となった。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によるインク
ジェットヘッドは、圧力室を複数同一平面上に列状に並
べたチャンバープレートと、一端部が同一面上に揃い他
端で互いに連結した複数の振動子から成る振動子群と、
振動子群を固定しチャンバープレートより高剛性の平坦
な面を有する高剛性プレートとを備え、振動子群の振動
子の一端部は圧力室を加圧する様にチャンバープレート
と結合され、チャンバープレートは、少なくとも複数の
圧力室が列状に並んだ方向に平行な領域において高剛性
プレートの平坦な面と接着される接合領域と、振動子が
チャンバープレートに結合される近傍において高剛性プ
レートの平坦な面と接着されない非接合領域とを有する
ことにより、高剛性プレートによりチャンバープレート
の振動子先端当接部の平坦度は矯正され、且つソリやウ
ネリが発生しやすい圧力室の並列方向でチャンバープレ
ートと高剛性プレートとが接合されているため、振動子
群が持つ複数の振動子先端とチャンバープレートを安定
的に結合することができ、しかもチャンバープレートに
は無理な張力が作用せず、優れたインク吐出を可能とす
る効果を有する。また、振動子がチャンバープレートに
結合される近傍においては非接合領域としたため、該振
動子とチャンバープレートの結合部にチャンバープレー
トと高剛性プレートを接着する接着剤が誤って流れ込む
ことがないという効果を有する。また、係るインクジェ
ットヘッドにおいて、チャンバープレートは、複数の圧
力室が列状に並んだ圧力室列を複数列有し、この圧力室
列間と高剛性プレートの平坦な面が接着されていること
により、圧力室列を複数有することで多ノズル化したヘ
ッドにおいても上記と同様の作用効果を得ることができ
る。

【００４６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットヘッドのチャンバープ
レートの製造実施例の説明図。

【図２】本発明のインクジェットヘッドのチャンバープ
レートの分解斜視図。

【図３】本発明のインクジェットヘッドのチャンバープ
レートの他の実施例の説明図。

【図４】本発明のインクジェットヘッドの振動子群の組
立実施例の説明図。

【図５】本発明のインクジェットヘッドの構成を説明す
るための分解斜視図。

【図６】本発明のインクジェットヘッドの一部断面図。

【図７】圧力室プレートと高剛性プレートとの接合域の
説明図。

【図８】圧力室プレートと高剛性プレートとの他の接合
域の説明図。

【図９】圧力室プレートと高剛性プレートとの他の接合
域の説明図。

【図１０】本発明のインクジェットヘッドの振動子と圧
力室プレートの接合部の説明図。

【図１１】本発明のインクジェットヘッドの高剛性プレ
ートの平面図。

【図１２】従来のインクジェットヘッドの説明図。

【図１３】従来のインクジェットヘッドの説明図。

【符号の説明】

１ 振動子 １ａ 振動子先端 １ｆ 度決め部 ２ 支持基板 ４ ノズルプレート ５ 圧力室プレート ５ａ 圧力室に対応する圧力室プレートの厚肉部 ５ｂ 圧力室プレートの薄肉部 ５ｃ 圧力室周辺の圧力室プレートの厚肉部 ６ ノズル ７ 流路プレート ７ａ 圧力室 ７ｂ 共通のインク室 １０ 高剛性プレート １４ チャンバープレートに設けた位置決め穴 ３０ チャンバープレート ３１ 振動子群

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力室を複数同一平面上に列状に並べた
   チャンバープレートと、一端部が同一面上に揃い他端で
   互いに連結した複数の振動子から成る振動子群と、前記
   振動子群を固定し前記チャンバープレートより高剛性の
   平坦な面を有する高剛性プレートとを備え、 前記振動子群の振動子の一端部は前記圧力室を加圧する
   様に前記チャンバープレートと結合され、 前記チャンバープレートは、少なくとも複数の圧力室が
   列状に並んだ方向に平行な領域において前記高剛性プレ
   ートの平坦な面と接着される接合領域と、前記振動子が
   チャンバープレートに結合される近傍において前記高剛
   性プレートの平坦な面と接着されない非接合領域とを有
   することを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記チャンバープレートは、複数の圧力
   室が列状に並んだ圧力室列を複数列有し、この圧力室列
   間と前記高剛性プレートの前記平坦な面が接着されてい
   ることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記
   録ヘッド。
3. 【請求項３】 前記チャンバープレートと前記高剛性プ
   レートの前記平坦な面が前記圧力室形成領域外の全域で
   接着されていることを特徴とする請求項１記載のインク
   ジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記チャンバープレートの前記高剛性プ
   レートの平坦な面と接着される面は、前記振動子の一端
   部及び前記高剛性プレートの平坦な面と当接する厚肉部
   と、前記振動子の変位を受けてたわみを起こす薄肉部と
   を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいず
   れかに記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 同一ピッチで並列した複数の振動子の両
   サイドに前記振動子先端部と同一平面上に揃い、且つ前
   記振動子と一体化した度決め部を備えた前記振動子群を
   有することを特徴とする請求項１記載のインクジェット
   ヘッド。
6. 【請求項６】 前記高剛性プレートは、前記振動子群を
   支持する支持板の少なくともＸ軸、Ｙ軸の２方向を位置
   決めすることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
   トヘッド。