JP2006212848A - インクジェットヘッドおよびそのインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のノズルからインクを受動体に吐出した時の着弾位置のばらつきを低減できるインクジェットヘッドおよびそのインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズルが形成されたノズル板と、インクに圧力を印加する圧力印加手段と、ノズル板を保持するノズル板保持部材と、少なくともノズル板と圧力印加手段とノズル板保持部材とからなるインク吐出ユニットと、インク吐出ユニットを複数保持するヘッドプレートとを備え、ノズル板のインク吐出面をヘッドプレートに対し密接させて固定したこと。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体を吐出するインクジェットヘッドおよびそのインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。

近年、インクジェット技術を応用し、様々な液体を吐出させることにより、基板の電極形成、各種電気部品の直接形成、ディスプレイ等に用いる発光体やフィルターの形成、さらにはマイクロレンズの形成など、種々の検討が盛んに実施されている。それらのデバイスを作成するにあたり、インクジェットヘッドには、従来以上の厳しい性能が求められている。その要求の一つに着弾位置性能というものがある。この着弾位置性能を向上する方法が、例えば、特許文献１に提案されている。前記特許文献１に示される従来のインクジェットヘッドは、先端にインクを吐出するノズルを備えたノズルパイプと、ノズルパイプに取り付けられた圧電素子と、ノズルパイプと圧電素子とを保持するヘッドユニットと、ヘッドユニットを複数個取り付けられるヘッドケースとを備えたものである。ヘッドユニットは、ヘッドケースに着脱自在な構成としている。また、ヘッドユニットとヘッドケースとは、ノズルパイプの先端部のノズル位置を拡大鏡にて観察しながら、位置合わせを行い、位置合わせ終了後、ビス、接着剤等により固定する。本方法により、複数のノズルのアライメント精度が良好なインクジェットヘッドを提供することができる。
特開昭６３−７４６４５号公報（第１−３頁、図１）

各デバイスの高密度化に伴い、より高い着弾位置性能が求められており、前記従来のインクジェットヘッドにおいても、さらに着弾位置性能の高いものが要求されてきている。しかしながら、前記従来の構成では、拡大鏡から見るノズル位置は所望の位置に固定することは可能であるが、複数のノズルパイプ同士の平行度合わせは困難である。特に、前記従来の構成では、ノズルパイプをヘッドユニットへ取り付ける時の取り付け位置誤差と、ヘッドユニットをヘッドケースへ取り付ける時の取り付け位置誤差とが生じるため、ノズル同士の平行度の誤差はより大きくなってしまう。これらの位置合わせが出来ていないと、各ノズルから吐出したインク滴が平行に飛翔せず、着弾位置のばらつきが生じてしまう。さらに、インク滴は、ノズルパイプからまっすぐ吐出するとは限らず、多少斜めに飛んでしまうことが頻繁に発生するものである。したがって、ノズルパイプ同士の平行度が精度良く出来たとしても、インク滴が平行に吐出せず、受動体の所望の位置に着弾するとは限らない。

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、複数のノズルからインク滴を受動体に吐出した時の着弾位置のばらつきを低減できるインクジェットヘッドおよびそのインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

前記従来の課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルが形成されたノズル板と、インクに圧力を印加する圧力印加手段と、ノズル板を保持するノズル板保持部材と、少なくともノズル板と圧力印加手段とノズル板保持部材とからなるインク吐出ユニットと、インク吐出ユニットを複数保持するヘッドプレートとを備え、ノズル板のインク吐出面の一部をヘッドプレートに対し密接させて固定したものである。

本構成によって、吐出方向を決める最も基準となるノズル板を直接ヘッドプレートに対し密着させて固定させることにより、何等特別な調整をする事無く、ノズル同士の平行度の位置合わせが可能となる。これにより、複数のノズルからインク滴を受動体に吐出した時の着弾位置のばらつきが少ないインクジェットヘッドを提供することができる。

また、前記インクジェットヘッドにおいて、インク吐出ユニットは、ヘッドプレートに対し着脱可能に固定されたものである。

本構成によって、一度位置合わせを行った後、再度調整しようとした場合にも、インク吐出ユニットが着脱可能であるため、再調整可能となる。さらに、インクの吐出不良やインクの不吐出が生じた場合には、インク吐出ユニットを交換することも可能である。これにより、自由度が高く、メンテナンス性が高いインクジェットヘッドを提供することができる。

また、前記インクジェットヘッドにおいて、ノズル板保持部材によるノズル板の保持は、ノズル板のインク流入面側から主に行うものであり、かつ、ノズル板保持部材をヘッドプレートに押圧することにより、インク吐出ユニットをヘッドプレートに密着させて固定するものである。

本構成では、ノズル板保持部材をノズル板を挟んでヘッドプレートに押圧するというものであり、ノズル板とノズル板保持部材とを接合する方向に力が働き、ノズル板保持部材とノズル板との接合力向上の役割を果たすことが可能となっている。したがって、本構成によって、ノズル板とノズル板保持部材との強固な接合が可能となり、インク漏れ等の発生し難い、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することが出来る。

また、前記インクジェットヘッドにおいて、一つのインク吐出ユニットに一つのノズルが形成されているものである。

本構成によって、複数のノズルを備えた場合は、その複数のノズル間で着弾位置に対しる誤差が必ず生じるが、ノズルを一つだけ備えたインク吐出ユニットをヘッドプレートに位置合わせし固定した場合は、その位置合わせさえ確実に実施できれば、着弾位置に対する誤差が極めて少ないインクジェットヘッドを提供することが出来る。

また、前記インクジェットヘッドにおいて、圧力印加手段は、ノズル板に対し相対移動する振動板と、振動板を駆動する圧電素子からなり、振動板の相対移動方向は、ノズルから吐出するインク滴の吐出方向と略平行の方向としたものである。

本構成によって、圧力印加手段に圧電素子を用いることにより、インクの選択の自由度の高いインクジェットヘッドを提供することができる。また、振動板の振動方向をインク滴の吐出方向と略平行としたことにより、インクへ加える圧力の強さ等を変更してもインクの直進性の変化の少ないインクジェットヘッドを提供することが出来る。

また、前記インクジェットヘッドにおいて、インク吐出ユニットとヘッドプレートとの隙間に、かつ、ノズル板とヘッドプレートとの隙間以外の部分に密封部材を備え、インク吐出ユニットとヘッドプレートとの隙間を空気が通過しないようにしたものである。

本構成のインクジェットヘッドでは、インク吐出ユニットへのインクの充填時、または、インク吐出ユニットからのインクの吐出が不良となった場合の回復動作時、ノズルから吸引し、インク吐出ユニット内のインクに負圧を印加する必要がある。

本構成によって、密封部材を備えたことにより、吸引用のキャップを直接ノズル板に接触させず、ヘッドプレートに接触させた状態で、ノズルから吸引し、インク吐出ユニット内のインクに負圧を印加することが可能となる。また、ノズル板とヘッドプレートとの隙間には密封部材を備えていないため、吐出方向を決める最も基準となるノズル板を直接ヘッドプレートに対し密着固定させることができ、何等特別な調整をする事無く、ノズル同士の平行度の位置合わせが可能となるインクジェットヘッドを提供することができる。

また、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、インク吐出ユニットとヘッドプレートとの位置合わせは、インク吐出ユニットからインク滴を記録媒体に記録させ、そのインク滴の着弾位置を観察しながら実施するものである。

本製造方法によって、最終の着弾位置を確認しながらインク吐出ユニットの位置合わせを実施する方法であるため、極めて着弾位置の誤差の少ないインクジェットヘッドの製造方法を提供することが出来る。

また、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、インク吐出ユニットとヘッドプレートとの位置合わせは、インク吐出ユニットからインク滴を吐出させながら実施するものである。

本製造方法によって、最終の着弾位置を確認するだけでなく、サテライトの発生状態や、吐出速度などの飛翔状態を確認しながら、インク吐出ユニットの位置合わせを実施することができる。これにより、吐出状態が不良なインク吐出ユニットや、吐出状態が不安定なインク吐出ユニットは、取り付けを行わないことが可能なため、より、安定した着弾性能が得られるインクジェットヘッドの製造方法を提供することが出来る。

本発明のインクジェットヘッド及びインクジェットの製造方法によれば、複数のノズルからインク滴を受動体に吐出した時の着弾位置のばらつきを低減することができる

以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドに用いるインク吐出ユニットの概略構成を示す断面図である。

ノズル板１は、厚さ５０μｍのステンレス製プレートであり、プレートの略中央部にはノズル２が形成されている。ノズル２は、出口側の口径がφ1０μｍ、入口側の口径がφ５０μｍのテーパ形状となっている。

壁部材３は、ステンレス製であり、略中央部にはφ２００μｍの円筒状の穴が形成されている。壁部材３の出口側の面は、ノズル板１の入口側の面と接合されている。

弾性部材４は、シリコーンゴム・フッ素ゴム等のゴム材料であり、その厚さは約１０μｍである。弾性部材４は、まず、穴のあいていない壁部材３の面上に、スピンコート・キャスティング等により、形成される。その後、弾性部材４側から、レーザ加工・ドリル加工等により、弾性部材４と壁部材３とに同一工程で貫通穴を形成する。

振動板５は、ステンレス製であり、予備液室構造体８によって押さえつけられることにより、弾性部材４に押圧されている。振動板５は、弾性部材４側の圧力室に対向する部分に凸部を有しており、弾性部材の押圧力はこの凸部に集中する。このように、振動板５と弾性部材４との接触圧力を高めることにより、圧力室６の密封性を向上している。また、振動板５は、圧力室６と予備液室９との間を連通したインク供給口７を備えている。

圧力室６は、ノズル板１と壁部材３と弾性部材４と振動板５とにより形成されている。

予備液室構造体８は、インク供給口７を覆うように振動板５と接着されており、振動板５とで予備液室９を形成している。予備液室９は、図示なきインク供給部へと連通している。

圧電素子１０には、電界がかかるように電極（図示せず）が形成されている。この圧電素子１０と振動板５とにより、圧力印加手段が構成されている。

ノズル板保持部材１１は、図１における上方向へ圧電素子１０が移動することを抑制することにより、予備液室構造体８を介して、振動板５を壁部材３側へ変位させる。ノズル板保持部材１１は、圧電素子１０および予備液室構造体８に接着している。

これらノズル板１〜ノズル板保持部材１１により、インク吐出ユニット１２が構成されている。

次に、インク吐出ユニート１２でのインク吐出動作について説明する。まず、インクは、インク供給部（図示せず）→予備液室９→インク供給口７→圧力室６→ノズル２へと充填される。次に、圧電素子１０に電圧を加えると、圧電素子１０は図１の垂直方向に伸張する。ここで、圧電素子１０は、図１における上方向への移動がノズル板保持部材１１により抑制されているため、ノズル板保持手段１１側へ伸張することができない。そのため、予備液室構造体８と振動板５は、弾性部材４を圧縮しながら、壁部材３側へ移動する。この移動により、圧力室６の体積が減少し、圧力室６内に保持されたインクに圧力がかかり、インクがノズル２から吐出する。そして、圧電素子１０への電界印加を解除すると、伸張していた圧電素子１０が元にもどり、圧力室６の体積も元に戻る。この時、インク供給口７から圧力室６にインクが補充され、次のインク吐出の準備が完了する。

実際にインクを吐出させ、その液滴の量と吐出速度とを測定した。インクの粘度が５０ｃＰのインクを用いた場合、吐出量０．３ピコリットル、吐出速度８ｍ／ｓという結果が得られた。

また、圧電素子１０に加える電圧を±３０％変化させ、インク滴の吐出方向の変化を観察した。良好なインク滴が形成される範囲においては、インク滴の吐出方向は全く変化しなかった。従来、インクジェットヘッドにおいては、圧電素子１０に印加する電圧を変化させた場合、吐出方向も微妙に変化する場合が多い。これは、圧力室６とノズル２のインクに圧力を印加した時、その圧力の大小により、圧力室６とノズル２でのインクの圧力分布が変化することが主原因である。しかしながら、本実施の形態では、振動板５の相対移動方向は、ノズル２から吐出するインク滴の吐出方向と略平行の方向としたものであり、この構成により、圧力室６とのノズル２内の圧力分布が変化しにくく、電圧を変化させても吐出方向に変化がないインクジェットヘッドが実現できている。

次に、図２、図３を用いて、インクジェットヘッドの製造方法について説明する。

図２は、インク吐出ユニット１２を複数個（５個）備えたインクジェットヘッドの概略構成を示す正面図である。

図２において、ヘッドプレート１３はインク吐出ユニット１２を複数個保持している。
ヘッドプレート１３には、ノズル板１をより受動体に近づけ易くするため、それぞれのインク吐出ユニット１２に対して凹部を備えている。そしてこの凹部の段差部分とノズル板１とを密接させる。ここで、凹部の段差部分の精度は重要となる。

インク吐出ユニット１２とヘッドプレート１３との隙間には密封部材１４が形成されてる。密封部材１４はシリコーンゴムで形成されており、これは、弾性があり、空気の密封が可能なものであれば、例えばフッ素ゴム等の他のゴムも好ましく用いることができる。
また、密封部材１４は、ノズル板１とヘッドプレート１３との間には形成していない。これは、ノズル板１とヘッドプレート１３との位置合わせが重要なため、その間には、別の部材を介在させないためである。

図３は、ヘッドプレート１３にインク吐出ユニット１２を固定する方法を示す側面図である。

図３において、板ばね１５は、インク吐出ユニット１２のノズル板保持部材１１をヘッドプレート１３に押しつけるよう配置されている。

ヘッドプレート１３にはビス穴１６が形成されており、ビス１７により、板ばね１５をヘッドプレート１３に固定する。本構成により、ノズル板１とヘッドプレート１３とが固定されことになる。そして、ビス１７による固定が終了した後、密封部材１４としてのシリコーンゴムを、インク吐出ユニット１２とヘッドプレート１３との隙間に形成する。

本構成では、ビス１６で固定しており、また、密封部材１４は弾性のあるシリコーンゴムで形成しているため、ヘッドプレート１３から、インク吐出ユニット１２を取り外し可能な構造となっている。

次に、図４を用いてインク吐出ユニット１２のヘッドプレート１３への位置合わせ方法について説明する。

図４（ａ）において、インク吐出ユニット１２からはインク滴１８が受動体１９に向けて吐出される。受動体１９は、移動ステージ２０により、矢印の方向に移動自在に保持されている。カメラ２１は、受動体１９上に形成されたインク滴１８の記録像を観察できるよう配置されている。一方のレバー２２ａはマイクロメータ２３により移動可能に支持されており、他方のレバー２２ｂはバネ２４を介して移動可能に支持されている。レバー２２ａ、レバー２２ｂ、マイクロメータ２３、バネ２４とにより、インク吐出ユニット１２は、所望の位置に固定可能に支持されている。なお、理解を容易にするため、図示はしていないが、インク吐出ユニット１２の並び方向に垂直な方向にも、レバー２２ａ、レバー２２ｂ、マイクロメータ２３、バネ２４の一式を備えており、同方向へのインク吐出ユニット１２の移動も可能としている。

まず、ビス１７を締め付け、インク吐出ユニット１２をヘッドプレート１３に固定し、その状態にて、インク吐出ユニット１２から、インク滴１８を受動体１９に向けて吐出させる。次に、図４（ｂ）のように、受動体１９に形成したインク滴１８の記録像が、カメラ２１により観察できる位置に移動ステージ２０を移動させる。そして、記録像の所望の位置からのずれ量を把握する。

そして、このずれ量を補正するよう、ビス１７を緩め、インク吐出ユニット１２が移動可能な状態にし、マイクロメータ２３を回転させ、ヘッドプレート１３に対するインク吐出ユニット１２の相対位置を移動させる。そして、ビス１７を締める。

この動作により、インク吐出ユニット１２のヘッドプレート１３への位置合わせが良好に行われることになる。

実際に、インク吐出ユニット１２を５個備えたインクジェットヘッドにて、インク滴１８を吐出させ、受動体１９上でのインク滴１８の着弾位置の測定を行った。吐出方向等の確認は行っていないが、受動体１９への着弾状況は非常に良好であり、所望の位置からの誤差は±５μｍが実現できた。

かかる構成によれば、ノズル板１のインク吐出面の一部をヘッドプレート１３に対し密接固定したものであり、吐出方向を決める最も基準となるノズル板１を直接ヘッドプレート１３に対し密着固定させることにより、何等特別な調整をする事無く、ノズル板１のノズル２同士の平行度の位置合わせが可能となる。これにより、複数のノズル２からインク滴１８を受動体１９に吐出した時の着弾位置のばらつきを低減できるインクジェットヘッドを提供することができる。

また、かかる構成によれば、インク吐出ユニット１２は、ヘッドプレート１３に対し着脱可能に固定されたものであり、一度位置合わせを行った後、再度調整しようとした場合にも、インク吐出ユニット１２が着脱可能であるため、再調整可能となる。さらに、インク滴１８の吐出不良やインク滴１８の不吐出が生じた場合には、インク吐出ユニット１２を交換することも可能である。これにより、自由度が高く、メンテナンス性が高いインクジェットヘッドを提供することができる。

また、かかる構成によれば、ノズル板保持部材１１によるノズル板１の保持は、ノズル板１のインク流入面側から主に行うものであり、かつ、ノズル板保持部材１１をヘッドプレート１３に押圧することにより、インク吐出ユニット１２をヘッドプレート１３に密着固定することにより、ノズル板保持部材１１をノズル板１を挟んでヘッドプレート１３に押圧することになり、ノズル板１とノズル板保持部材１１とを接合する方向に力が働き、ノズル板保持部材１１とノズル板１との接合力向上の役割を果たすことが可能となっている。したがって、ノズル板１とノズル板保持部材１１との強固な接合が可能となり、インク漏れ等の発生し難い、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することが出来る。

また、かかる構成によれば、一つのインク吐出ユニット１２に一つのノズル２が形成されたものであり、複数のノズルを備えた場合の様に、その複数のノズル間での着弾位置に対し誤差が生じる事が無く、インク吐出ユニット１２毎の位置合わせさえ確実に実施できれば、着弾位置に対する誤差が極めて少ないインクジェットヘッドを提供することが出来る。

また、かかる構成によれば、圧力印加手段は、ノズル板１に対し相対移動する振動板５と、振動板５を駆動する圧電素子１０とからなり、振動板５の相対移動方向は、ノズル２から吐出するインク滴１８の吐出方向と略平行の方向としたものであり、圧力印加手段に圧電素子１０を用いることにより、インクの選択の自由度の高いインクジェットヘッドを提供することができる。また、振動板５の振動方向をインク滴１８の吐出方向と略平行としたことにより、インクへ加える圧力の強さ等を変更してもインク滴１８の直進性の変化の少ないインクジェットヘッドを提供することが出来る。

また、かかる構成によれば、インク吐出ユニット１２とヘッドプレート１３との隙間に
密封部材１４を備えたことにより、吸引用のキャップを直接ノズル板１に接触させず、ヘッドプレート１３に接触させた状態で、ノズルから吸引し、インク吐出ユニット１２内のインクに負圧を印加することが可能となる。さらに、ノズル板１とヘッドプレート１３との隙間には密封部材１４を備えていないため、吐出方向を決める最も基準となるノズル板１を直接ヘッドプレート１３に対し密着固定させることができ、何等特別な調整をする事無く、ノズル同士の平行度の位置合わせが可能となるインクジェットヘッドを提供することができる。

また、本実施の形態の製造方法によれば、インク吐出ユニット１２とヘッドプレート１３の位置合わせは、インク吐出ユニット１２からインク滴１８を受動体１９に記録させ、そのインク滴１８の着弾位置を観察しながら実施するものであり、最終の着弾位置を確認しながらインク吐出ユニット１２の位置合わせを実施する方法であるため、極めて着弾位置の誤差の少ないインクジェットヘッドの製造方法を提供することが出来る。

なお、本実施の形態において、圧電素子１０として、単層のものを用いたが、積層構成の圧電素子を用いても良い。さらに、圧力印加手段として、静電気力を用いた、いわゆる静電アクチュエータや、磁力による磁歪素子を用いてもよい。

また、本実施の形態において、インクジェットヘッドから吐出させる液体をインクと称したが、これは、文字や写真を記録紙上に作成させるための黒やカラーの色材を含んだ液体だけでなく、例えば、電極形成のための導電性粒子を含有した液体や、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）に用いる発光材料や、マイクロレンズを作成する樹脂材料等も好ましく用いることができる。

また、本実施の形態において、インク吐出ユニット１２には一つのノズル２を備えたが、これは、必ず一つである必要はないが、着弾位置のばらつきを極めて重視する場合は、ノズル２の数は少なければ少ない方が好ましい。

（実施の形態２）
図５、図６は、本発明の実施の形態２のインクジェットの製造方法を示す図である。図５、図６において、図１〜図４と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。

図５は、インク吐出ユニット１２からインク滴１８を吐出した場合の、そのインク滴１８の飛翔状態を観察する方法を示したものである。

まず、インク滴１８を一定周期で連続して吐出させ、この吐出させる周期に同期させながらＬＥＤ２５を短時間ＯＮする。そして、カメラ２１により、インク滴１８の陰を観察するという方法で、インク滴１８の吐出状態を観察した。

インク滴１８の飛翔状態を確認する事により、受動体１９へのインク滴１８の着弾後の結果だけでなく、インク滴１８のサテライト状態、吐出速度、飛翔方向、等の情報が得られる。

図６は、インク吐出ユニット１２をヘッドプレート１３に対し、２方向から吐出状態を観察する方法を示したものである。インク吐出ユニット１２をヘッドプレート１３に位置合わせをする場合、３方向からの位置合わせが必須であるが、インク滴１８の吐出方向に対しては、ノズル板１をヘッドプレート１３に密接させるため、残りの２方向の位置合わせを実施すれば良い。そのため、カメラ２１ａとＬＥＤ２５ａの組と、カメラ２１ｂとＬＥＤ２５ｂの組の二つの組を用いる。二つの組により、複数のインク吐出ユニット１２の並び方向に平行な方向と垂直な方向の２方向から観察するのが通常ではあるが、カメラ２１には焦点距離というものがあり、インク吐出ユニット１２の並び方向に対するヘッドプレート１３の長さが焦点距離より長い場合は、その並び方向に平行な方向にカメラ２１ａとＬＥＤ２５ａとを配置するのは不可能である。したがって、本実施の形態では、カメラ２１ａとＬＥＤ２５ａを斜め方向に配置した。

この二つの組み合わせにより、インク吐出ユニット１２とヘッドプレート１３との良好な位置合わせが可能となる。

かかる製造方法によれば、インク吐出ユニット１２とヘッドプレート１３との位置合わせは、インク吐出ユニット１２からインク滴１８を吐出させながら実施するものであり、最終の着弾位置を確認するだけでなく、サテライトの発生状態や、吐出速度などの飛翔状態を確認しながら、インク吐出ユニットの位置合わせを実施することができ、これにより
、吐出状態が不良なインク吐出ユニット１２や、吐出状態が不安定なインク吐出ユニット１２は、取り付けを行わないことが可能なため、より、安定した着弾位置性能が得られるインクジェットヘッドの製造方法を提供することが出来る。

なお、本実施の形態において、カメラ２１ａとＬＥＤ２５ａの組み合わせも、インク吐出ユニット１２の並び方向に対して斜め方向に配置しても構わない。

本発明にかかるインクジェットヘッドは、受動体に対する着弾位置性能が優れたものであり、そのため、本発明にかかるインクジェットヘッドは、記録紙にインクを吐出して文字や画像を記録するだけでなく、例えば、各種金属インクを吐出することによる配線パターンの形成や、カラーフィルター材料を吐出することによるカラーフィルター形成や、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）発光を行うための各種材料の吐出や、有機ＴＦＴ作成のための各種材料の吐出等、工業用の用途にも適用可能である。

本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドに用いるインク吐出ユニットの概略構成を示す断面図 本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドの概略構成を示す正面図 本発明の実施の形態１におけるヘッドプレートにインク吐出ユニットを固定する方法を示す側面図 本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドの製造方法を示す正面図 本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドの製造方法を示す正面図 本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドの製造方法を示す平面図

符号の説明

１ ノズル板
２ ノズル
５ 振動板
１０ 圧電素子（振動板５とで圧力印加手段を構成）
１１ ノズル板保持部材
１２ インク吐出ユニット
１３ ヘッドプレート
１４ 密封部材

Claims (8)

1. インクを吐出するノズルが形成されたノズル板と、
   インクに圧力を印加する圧力印加手段と、
   前記ノズル板を保持するノズル板保持部材と、
   少なくとも前記ノズル板と前記圧力印加手段と前記ノズル板保持部材とからなるインク吐出ユニットと、
   前記インク吐出ユニットを複数保持するヘッドプレートとを備えたものであり、
   前記ノズル板のインク吐出面の一部を前記ヘッドプレートに対し密接させて固定したことを特徴とするインクジェットヘッド。
2. インク吐出ユニットは、ヘッドプレートに対し着脱可能に固定されたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. ノズル板保持部材によるノズル板の保持は、前記ノズル板のインク流入面側から主に行うものであり、かつ、前記ノズル板保持部材をヘッドプレートに押圧することにより、インク吐出ユニットを前記ヘッドプレートに密着させて固定することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 一つのノズル板に一つのノズルが形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
5. 圧力印加手段は、ノズル板に対し相対移動する振動板と、
   前記振動板を駆動する圧電素子からなり、
   前記振動板の相対移動方向は、ノズルから吐出するインク滴の吐出方向と略平行の方向であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
6. インク吐出ユニットとヘッドプレートとの隙間に、かつ、ノズル板と前記ヘッドプレートとの隙間以外の部分に密封部材を備え、前記インク吐出ユニットと前記ヘッドプレートとの隙間を空気が通過することを防止することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造する方法であって、
   インク吐出ユニットとヘッドプレートとの位置合わせは、前記インク吐出ユニットからインクを記録媒体に記録させ、そのインクの着弾位置を観察しながら実施することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
8. 請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造する方法であって、
   インク吐出ユニットとヘッドプレートとの位置合わせは、前記インク吐出ユニットからインクを吐出させながら実施することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。

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