CN101898263B

CN101898263B - 被覆锯丝

Info

Publication number: CN101898263B
Application number: CN 201010165145
Authority: CN
Inventors: 家口浩; 吉川一男; 隐岐保博; 古保里隆; 村桥守; 浦塚昭典
Original assignee: Kobelco Research Institute Inc
Current assignee: Kobelco Research Institute Inc
Priority date: 2009-05-26
Filing date: 2010-04-19
Publication date: 2012-06-13
Anticipated expiration: 2030-04-19
Also published as: CN101898263A; TW201109143A; JP5412320B2; TWI471207B; BE1019645A5; KR101166636B1; JP2014042983A; JP2011005624A; KR20100127712A

Abstract

本发明提供一种耐磨耗性优异的被覆锯丝，其是在基底丝的表面被覆有机被膜或无机被膜，作为在一边喷射磨粒一边进行切割时使用的被覆锯丝。另外，提供一种能够使工件切割面的精度良好的被覆锯丝。是一种在基底丝的表面被覆有有机被膜或无机被膜的锯丝，该被覆锯丝以纳米压痕法测定时，被膜表面的杨氏模量(GPa)与被膜表面的硬度(GPa)之比(杨氏模量/硬度)为6～25。

Description

被覆锯丝

技术领域

本发明涉及锯机(saw machine)所使用的锯丝(saw wire)，详细地说，是涉及在切割金属、陶瓷等工件时，一边向工件与锯丝的接触部位喷射磨粒一边使用的锯丝。

背景技术

金属、陶瓷等工件由安装有锯丝的锯机切割。锯丝沿单方向或双方向(往返方向)行进，使工件与该锯丝接触，从而能够以任意的宽度将工件切片(slice)。

对工件的切割面通常要求平滑。为了使工件的切割面精度提高，会一边向工件与锯丝的接触部位喷射含有磨粒的溶液一边对工件进行切割。喷射的溶液中所含的磨粒被卷入工件与锯丝之间，工件的磨耗得到促进，使得工件的切割面精度良好。

作为改善工件的切割面精度的技术，除了磨粒的喷射以外，还已知有改良锯丝自身的形态的技术。例如，在专利文献1中，提出了一种对表面实施镀锌或镀黄铜且使偏径差和表面粗糙度最佳化的锯丝。另外，在专利文献2中，提出了一种通过规定金属线的横截面的硬度分布而降低切割面的凹凸的锯丝用钢琴线。

而在专利文献3中，公开有一种以磨粒载体树脂被膜对外周面进行被覆的金属线。如果使用该金属线，则因为磨粒(游离磨粒)侵入到载体树脂被膜中，所以认为能够稳定地将磨粒(游离磨粒)卷进金属线与工件接触的部分。

【专利文献1】特开2005-111653号公报

【专利文献2】特开平10-309627号公报

【专利文献3】特开2006-179677号公报

如上述，若一边喷射磨粒一边切割工件，则锯丝自身也会磨耗，因此会在锯丝的表面形成凹凸。此凹凸使工件的切割面精度恶化，另外还会引起锯丝的断线。但是在上述专利文献1～3中，并未对锯丝的耐磨耗性加以考虑，根据本发明人等的研究，耐磨耗性均劣化。

发明内容

本发明鉴于这样的状况而做，其目的在于，提供一种耐磨耗性优异的被覆锯丝，其是在基底丝的表面被覆有机被膜或无机被膜，在一边喷射磨粒一边进行切割时使用的被覆锯丝。另外，本发明的另一目的在于，提供一种能够使工件切割面的精度良好的被覆锯丝。

能够达成上述课题的本发明的被覆锯丝，具有如下几点要旨：在基底丝的表面被覆有机被膜或无机被膜，以纳米压痕法(Nano-indentationMethod)测定时，被膜表面的杨氏模量(GPa)与被膜表面的硬度(GPa)的比(杨氏模量/硬度)为6～25。

所述被膜表面的硬度优选为0.1～1GPa。所述有机被膜或无机被膜的膜厚为0.05～15μm即可。作为所述基底丝，推荐使用以纳米压痕法测定的硬度为3GPa以上的金属线。

在本发明中，也包括一边向上述被覆锯丝与工件的接触部位喷射磨粒，一边用所述被覆锯丝切割所述工件的切割体的制造方法。

根据本发明，因为将被膜表面的杨氏模量与硬度的比(杨氏模量/硬度。以下称为塑性指数)控制在6～25的范围内，所以能够改善锯丝的耐磨耗性。另外，如果使锯丝表面的塑性指数处于上述范围之后，再将表面的硬度特别控制在0.1～1GPa的范围，则也能够改善工件的切割面精度。

附图说明

图1是表示实施例的表1所示的No.1中压入深度与被膜表面硬度的关系的曲线图。

图2是表示实施例的表1所示的No.1中压入深度与被膜表面的杨氏模量的关系的曲线图。

图3是表示实施例的表1所示的No.2中压入深度与被膜表面硬度的关系的曲线图。

图4是表示实施例的表1所示的No.2中压入深度与被膜表面的杨氏模量的关系的曲线图。

具体实施方式

本发明人等为了改善用锯机一边喷射磨粒一边以锯丝切割工件时所使用的锯丝的耐磨耗性而反复锐意研究。其结果发现，就在基底丝的表面被覆了有机被膜或无机被膜的锯丝而言，如果适当控制锯丝表面的杨氏模量与硬度的平衡，使杨氏模量与硬度的比(塑性指数)处于6～25的范围，则能够降低被覆锯丝的磨耗量，从而完成了本发明。另外还发现，如果使锯丝表面的塑性指数处于上述范围之后，再特别使锯丝的表面硬度在0.1～1GPa的范围，则能够使切割后的工件表面平滑，能够得到表面精度良好的工件。

首先，对于完成本发明的原委进行说明。

一边喷射磨粒一边切割工件时所使用的锯丝的磨耗，磨料磨损是主要原因。所谓磨料磨损，是指游离磨粒侵入锯丝与工件的界面，锯丝被削掉、磨损的现象。为了降低该磨料磨损，认为有效的是使锯丝表面变硬。但是本发明人等研究时发现，若使锯丝的表面过硬，则表面会产生缺损，耐磨耗性反而劣化。因此本发明人等着眼于锯丝表面的材质，发现除了硬度以外，如果一并控制杨氏模量，则能够改善锯丝的耐磨耗性。

即，本发明的锯丝，是在基底丝的表面被覆有机被膜或无机被膜的锯丝(被覆锯丝)，被膜表面的杨氏模量与硬度的比(塑性指数)为6～25。通过使塑性指数为6～25，被膜表面的杨氏模量与硬度的平衡良好。若使其平衡良好，则即使在切割时施加应力而导入应变，被覆锯丝的变形也只限于弹性变形，几乎不会发生塑性变形，因此工件的切割面精度也良好。如果塑性指数过小，则硬度相对于杨氏模量而言变得过大。因此，若施加应力，则被覆锯丝发生脆性破坏，被覆锯丝的表面的一部分剥离，磨耗量增多。另外，若被覆锯丝的表面发生剥离，则表面粗糙，因此工件的切割面精度变差。因此塑性指数为6以上，优选为9以上，更优选为10以上。但是，若塑性指数过大，则杨氏模量相对于硬度而言变得过大。因此若受到应力，则被覆锯丝发生塑性变形，容易磨损。因此塑性指数为25以下，优选为23以下，更优选为20以下。

上述被覆锯丝的被膜表面硬度优选为0.1～1GPa。若被覆锯丝的被膜表面过硬，则在切割时容易发生被覆锯丝的晃动，不能进行精密的切割，工件的切割面精度有变差的倾向。因此被覆锯丝的被膜表面硬度例如为1GPa以下，优选为0.9GPa以下，更优选为0.6GPa以下。若从改善工件的切割面精度的观点出发，则推荐被覆锯丝的被膜表面硬度尽可能低。但是，若被覆锯丝的被膜表面变得过软，则被覆锯丝的耐磨耗性有劣化的倾向。另外，若被覆锯丝磨损，则被覆锯丝的表面性状变差，在表面形成凹凸，其结果是在工件的切割面上也形成凹凸，工件的表面精度变差。此外，若被覆锯丝的被膜表面太软，则金属线强度也降低，因此不能加大切割时金属线的线速度，生产率降低。因此被覆锯丝的被膜表面硬度例如为0.1GPa以上，优选为0.15GPa以上，更优选为0.2GPa以上。

对上述被覆锯丝的被膜表面的杨氏模量没有特别限定，只要根据与被膜表面硬度的平衡，将塑性指数调整为6～25即可。被膜表面的杨氏模量例如为0.6～25GPa，优选为1～20GPa，更优选为2～15GPa，

为了防止被覆锯丝的磨损，本发明着眼于被覆锯丝的表层部的特性。具体来说，是在距被膜最表面的深0.05～5.0μm的区域(特别是0.05～1.5μm的区域)，测定被膜表面的杨氏模量与硬度的深度方向轮廓(profile)后，决定各自的代表值，将由此代表值确定的塑性指数(和优选的硬度)控制在上述范围。详细地说就是以纳米压痕法测定上述杨氏模量和硬度。根据纳米压痕(微小部分硬度试验)，能够借助超低载荷的压入，以很少的压入量测定对象材料的硬度和杨氏模量，因此很难受到表面下侧的材质的影响，从而能够正确地评价表面的特性、性能。

被膜表面的杨氏模量和硬度采用代表值即可，在多次测定被覆锯丝的被膜表面时，将测定结果的偏差少、能够获得稳定的结果的位置上所测定的结果作为代表值。例如，被膜表面的杨氏模量从被覆锯丝的被膜表面朝向中心轴有逐步变大的倾向。因此，被膜表面的杨氏模量以在被覆锯丝的被膜表面附近测定的结果作为代表值使用即可。另一方面，被膜表面的硬度与杨氏模量相反，越是靠近被膜的最表面，测定结果越发生偏差。因此，被膜表面的硬度以在被覆锯丝的中心轴侧测定的结果作为代表值使用即可。例如，在后述的实施例中，测定如图1和图3所示的被膜表面硬度轮廓，和图2和图4所示的被膜表面的杨氏模量轮廓，将压入深度400～450nm的范围内所测定的硬度作为“被覆锯丝的被膜表面硬度”，将压入深度60～90nm的范围内所测定的杨氏模量作为“被覆锯丝的被膜表面杨氏模量”。

即，图1和图3表示在下述实施例中，测定被覆锯丝的被膜表面的硬度轮廓的结果。由这些图可知，被膜表面硬度的测定结果从被膜的最表面至压入深度150nm的范围内有偏差，但在压入深度400～450nm的范围内几乎没有偏差，测量误差小。另一方面，图2和图4表示测定被覆锯丝的被膜表面的杨氏模量轮廓的结果。由这些图可确认，被膜表面的杨氏模量的测定结果在被膜的表面附近偏差少，但在压入深度为200nm以上的区域中，随着压入深度增大，杨氏模量有变大的倾向。还有，若在被膜的最表面测定被膜表面的杨氏模量和硬度，则每次测定结果都有很大的偏差，得不到可靠性高的结果，因此要避免在最表面进行测定。

被膜表面的杨氏模量和硬度至少在15处进行测定，测定结果中有异常值(例如相对于平均值为3倍以上或1/3以下的值)时，将该值除外并重新进行测定，对至少15处的测定结果进行平均计算。这是因为通过纳米压痕测定非常微小的区域中的硬度和杨氏模量，所以容易产生测量误差。

作为形成上述被膜的基底丝，例如能够使用钛线、铜线、钢线等。

作为钢线，例如能够使用不锈钢钢线和高碳钢线等。作为不锈钢钢线，能够使用SUS301、SUS304、SUS310、SUS316、SUS321、SUS347等奥氏体系不锈钢钢线，SUS405、SUS430等铁素体系不锈钢钢线，SUS403、SUS410等马氏体系不锈钢钢线，SUS329J1等二相不锈钢钢线(奥氏体/铁素体系不锈钢钢线)，SUS630等析出硬化系不锈钢钢线等。作为高碳钢线，能够使用例如含有C达0.5～1.2％的高碳钢线。作为该高碳钢线，例如能够使用JIS G3502所规定的钢琴线材。

在本发明中，特别优选使用以纳米压痕法测定的硬度为3GPa以上的基底丝。通过使基底丝的硬度为3GPa以上，能够提高被覆锯丝整体的抗拉强度，因此即使加大切割工件时的金属线的线速度，也不会发生断线，从而能够使生产率提高。

作为被覆在基底丝的表面的有机被膜，能够使用热固化性树脂和热塑性树脂之中，塑性指数被调整为6～25的合成树脂。这样的合成树脂之中，能够适合使用的有酚醛树脂、酰胺类树脂、环氧树脂、聚氨酯、缩甲醛(formal)、ABS树脂、氯乙烯、酰亚胺类树脂、聚酯等。作为热塑性树脂时，塑性指数能够通过控制聚合度来加以调整，作为热固化性树脂时，塑性指数能够通过控制交联密度来加以调整。另外，也可以通过使不同的两种以上的单体共聚，或配合添加剂(例如磷酸酯等增塑剂，金属皂等热稳定剂等)来调整塑性指数。

上述有机被膜，能够通过在上述基底丝的表面涂布市场销售的清漆(varnish)，并对其加热而形成。此时，通过适宜调整有机被膜的硬度，能够控制上述塑性指数、杨氏模量。有机被膜的硬度能够通过所使用的清漆的种类、加热温度进行调节。

作为清漆，能够使用由东特涂料株式会社销售的漆包线(enamel wire)用清漆、由京瓷化学株式会社销售的电线用清漆等。

作为上述漆包线用清漆，例如能够使用如下。

聚氨酯清漆(polyurethane varnish)(“TPU F1”、“TPU F2-NC”、“TPUF2-NCA”、“TPU 6200”、“TPU 5100”、“TPU 5200”、“TPU 5700”、“TPUK5132”、“TPU 3000K”、“TPU 3000EA”等，东特涂料株式会社制商品。)。

聚酯清漆(polyester varnish)(“LITON 2100S”、“LITON 2100P”、“LITON 3100F”、“LITON 3200BF”、“LITON 3300”、“LITON 3300KF”、“LITON 3500SLD”、“Neoheat 8200K2”等，东特涂料株式会社制商品。)。

聚酯酰亚胺清漆(polyesterimide varnish)(“Neoheat 8600A”、“Neoheat8600AY”、“Neoheat 8600”、“Neaheat 8600H3”、“Neoheat 8625”、“Neoheat8600E2”等，东特涂料株式会社制商品。)。

作为上述电线用清漆，能够使用例如耐热聚氨酯(urethane)铜线用清漆(“TVE5160-27”等、环氧改性缩甲醛树脂)，缩甲醛铜线用清漆(“TVE5225A”等，聚乙烯醇缩甲醛)，耐热缩甲醛铜线用清漆(“TVE5230一27”等，环氧改性缩甲醛树脂)，聚酯铜线用清漆(TVE5350系列，聚脂树脂)等(均为京瓷化学株式会社制商品)。

作为被覆于基底丝的表面的无机被膜，能够使用例如SiO₂被膜、玻璃(钠玻璃)被膜，CrN被膜等之中被膜表面的塑性指数被调整为6～25的被膜。SiO₂被膜能够通过在基底丝的表面涂布含有SiO₂粉末的溶液后，再使之干燥而形成。另外，如果进一步提高温度使之烧结，则能够形成致密的被膜。关于玻璃被膜，在基底丝的表面涂布了混合有玻璃粉和溶剂得到的物质之后，使之干燥即可形成。关于CrN被膜，使用AIP装置，对基底丝的表面使用Cr靶材在氮气气氛中实施电弧离子镀(AIP)，则能够形成。

上述被膜的膜厚优选为0.05～15μm。若被膜过薄，则在切割时的初期阶段被膜便磨损消失，或者从基底丝上剥离，露出基底丝本身，由设置被膜带来的耐磨耗性提高效果无法得到充分发挥。因此被膜的膜厚优选为0.05μm以上，更优选为0.5μm以上，特别优选为2μm以上。但是，若被膜过厚，则被膜占被覆锯丝总体的比例过大，因此被覆锯丝整体的强度降低。因此，若要提高生产率而加大金属线的线速，则有容易发生断线的倾向。因此被膜的膜厚优选为15μm以下，更优选为13μm以下，特别优选为10μm以下。

对被覆锯丝整体的线径没有特别限定，通常为100～300μm左右。

本发明的被覆锯丝，在切割例如金属、陶瓷、硅、水晶、半导体构件和磁性体材料等工件(切片加工)而制造切割体时使用。

在用锯机进行切割时，一边对被覆锯丝与工件接触的部分喷射含有磨粒的溶液一边进行。这是由于喷射的溶液中所含的游离磨粒被卷入被覆锯丝与工件之间，有助于一边使工件磨损一边进行切割。

含有磨粒的溶液使用公知的溶液即可。作为磨粒可使用例如碳化硅磨粒(SiC粉)、金刚石磨粒等。

【实施例】

以下，列举实施例更具体地说明本发明，但本发明当然不受下述实施例限制，在能够符合前后述的宗旨的范围内当然也可以适当加以变更实施，这些均包含在本发明的技术范围内。

使用被覆锯丝，一边喷射磨粒一边切割单晶硅，测定切割前后的锯丝的磨耗量，评价锯丝的耐磨耗性。另外，测定单晶硅的切割面的表面粗糙度，评价表面精度。另外，使切割时的锯丝的线速度变化，评价生产率。

作为被覆锯丝，在下述表1所示的原材料的基底丝上，按下述表1所示的厚度被覆下述表1所示的原材的被膜，制作线径(包括被膜)为140μm的被覆锯丝。

(基底丝)

在No.1～4、13、14中，将JIS G3502所规定的钢琴线(A种)拉丝至规定的线径，以其作为基底丝使用，该钢琴线(A种)含有C：0.72质量％、Si：0.21质量％、Mn：0.52质量％，余量由铁和不可避免的杂质构成。

在No.5～9中，将JIS G3502所规定的钢琴线(A种)拉丝至规定的线径，以其作为基底丝使用，该钢琴线(A种)含有C：0.82质量％、Si：0.19质量％、Mn：0.49质量％，余量由铁和不可避免的杂质构成。

在No.10中，将纯铜拉丝至规定的线径，以其作为基底丝使用，在No.11中，将纯钛拉丝至规定的线径，以其作为基底丝使用。

在No.12中，将JIS G4314所规定的弹簧用不锈钢钢线(SUS304)拉丝至规定的线径，以其作为基底丝使用。

(被膜)

有机被膜(No.1～4、10～14)的形成步骤如下。

在No.1、10～12中，使用JIS C2351所规定的聚氨酯线用清漆“W143”(东特涂料株式会社制，漆包线用清漆“TPUF1(商品名)”，烘烤后的涂膜组成为聚氨酯)。

在No.2～4中，使用JIS C2351所规定的聚酯线用清漆“W141”(东特涂料株式会社制，漆包线用清漆“LITON 2100S(商品名)”，烘烤后的涂膜组成为对苯二甲酸系聚酯)。

在No.13中，使用JIS C2351所规定的聚酯酰亚胺线用清漆“W144”(东特涂料株式会社制，漆包线用清漆“Neoheat 8600(商品名)，烘烤后的涂膜组成为聚酯酰亚胺”。

在No.14中，使用JIS C2351所规定的缩甲醛线用清漆“W142”(京瓷化学株式会社制，电线用清漆“TVE5225A”(商品名)，烘烤后的涂膜组成为聚乙烯醇缩甲醛)。

在上述基底丝的表面涂布上述清漆，适宜控制加热温度和加热时间，形成杨氏模量和硬度(即塑性指数)进行了调整的被膜。具体来说，在被膜形成之前，对基底丝进行脱脂处理后，将涂布次数分成4～10次而进行涂漆，再以250～270℃使挥发成分挥发而使之硬化，制作被覆锯丝。

无机被膜(No.5～9)的形成步骤如下。

在No.5中，使用Cr靶材在氮气氛中进行电弧离子镀(AIP)，在基底丝的表面形成CrN被膜。

在No.6中，在基底丝的表面，涂布混合有玻璃粉和溶剂的涂料，使之干燥而形成玻璃被膜。

在No.7中，在基底丝的表面，涂布含有石英粉的溶液，使之干燥而形成SiO₂被膜。

在No.8中，在基底丝的表面，电解镀成分组成为Cu：63质量％、Zn：37质量％的镀膜，形成镀黄铜被膜。

在No.9中，在基底丝的表面，涂布相对于环氧树脂(100质量％)配合有10质量％的平均粒径为3μm的氧化硅的涂料，形成含氧化硅的环氧树脂被膜。

对于制作的被覆锯丝，以纳米压痕法测定被膜表面的杨氏模量和硬度。具体的测定条件如下。

(测定条件)

测定装置：Agilent Technologies制“Nano Indenter XP/DCM”

分析软件：Agilent Technologies制“Test Works4”

Tip：XP

测定方式：CSM(连续刚性测定)

激励振荡频率：45Hz

激励振荡振幅：2nm

应变速度：0.05/秒

压入深度：至500nm

测定点：15点

测定点间隔：30μm

测定环境：空调装置内室温23度

标准试料：熔融石英

还有，被膜表面的杨氏模量采用自被膜的最表面的压入深度为60～90nm的范围内的结果，被膜表面的硬度采用自被膜的最表面的压入深度为400～450nm的范围内的结果。测定点为15点，15次测定结果中有异常值时将其除外，重新进行测定，将15点的结果进行平均，求得表面的杨氏模量和硬度。表面的杨氏模量和硬度显示在下述表1中。另外，计算杨氏模量与硬度的比(杨氏模量/硬度。塑性指数。)，一并显示在下述表1中。在下述表1中，还显示有以同样的条件测定的基底丝的硬度。

另外，通过拉伸试验测定制作的被覆锯丝的抗拉强度(TS)。测定结果显示在下述表1中。

接下来，使用制作的被覆锯丝切割单晶硅(切片加工)。切片加工一边向被覆锯丝与单晶硅之间喷射浆料一边进行，该浆料是使平均粒径为5.6μm的金刚石磨粒悬浮在乙二醇系水溶液中而成。磨粒(金刚石)的浓度为5质量％。被覆锯丝的线速度设定为100～500m/分钟，新线供给速度设定为5m/分钟，被覆锯丝的张力设定为15N。

以上述条件进行切片加工，在总切割时间经过了7小时的时间点，从锯机上取下被覆锯丝，测定被覆锯丝的线径，基于计算出的切割前后的线径的减少量，以下述标准评价被覆锯丝的耐磨耗性。评价结果显示在下述表1中。还有，切割时的被覆锯丝的线速度，在No.1～3、5～8、12～14中为500m/分钟。在No.4、9～11中以低速(100～300m/分钟)进行，No.4a、9a～11a另行以高速(500m/分钟)进行。

(耐磨耗性)

3分(合格)：线径的减少量低于3μm

2分(合格)：线径的减少量为3～5μm

1分(不合格)：线径的减少量超过5μm

另外，测定经过7小时后被切割的单晶硅的表面粗糙度，评价切割面的表面精度。表面精度基于JIS B0601(2001年，附件1)所规定的测定十点平均粗糙度Rz的结果，按以下标准进行评价。评价结果显示在下述表1中。

(表面精度)

3分(合格)：Rz在3μm以下

2分(合格)：Rz超过3μm，在6μm以下

1分(不合格)：Rz超过6μm

关于表1所示的No.1，将表示其压入深度与被膜表面硬度的关系的曲线图显示在图1中。另外，将表示其压入深度与被膜表面的杨氏模量的关系的曲线图显示在图2中。关于表1所示的No.2，将表示其压入深度与被膜表面硬度的关系的曲线图显示在图3中。另外，将表示其压入深度与被膜表面的杨氏模量的关系的曲线图显示在图4中。

由图1和图3可知，在距被膜最表面的压入深度为400～450nm的范围内，被膜表面硬度的测定结果的偏差小。由图2和图4可知，在距被膜表面的压入深度为60～90nm的范围内，被膜表面的杨氏模量的测定结果的偏差小。另外还确认到，越接近基底丝(具体来说是压入深度达到200nm以上的范围)越会受到基底丝的影响，杨氏模量有变大的倾向。

其次，能够由表1进行如下考察。

No.1、2、4～7、10～14的被覆锯丝，是满足本发明规定的要件的例子。

特别是No.1、2、7、12～14的被覆锯丝，因为塑性指数得到适当调整，所以耐磨耗性优异。另外，因为表面硬度也得到适当调整，所以使用该被覆锯丝切割的单晶硅的切割面的精度变得良好。另外，因为基底丝的硬度也被适当调整，所以即使金属线线速度为500m/分钟也不会发生断线，能够使生产率提高。

No.4的被覆锯丝，因为塑性指数得到适当调整，所以耐磨耗性优异。另外，因为表面硬度也得到适当调整，所以使用该被覆锯丝切割的单晶硅的切割面的精度变得良好。但是，因为被膜过厚，所以金属线线速度为100m/分钟的低速时是没有问题的，但如No.4a所示，若将金属线的线速度增大到500m/分钟，则发生断线，从而不能使生产率提高。

No.5和6的被覆锯丝，因为塑性指数得到适当调整，所以耐磨耗性优异。但是因为表面硬度未适当调整，所以使用该被覆锯丝切割的单晶硅的切割面精度差。

No.10和11的被覆锯丝，因为塑性指数得到适当调整，所以耐磨耗性优异。另外，因为表面硬度也得到适当调整，所以使用该被覆锯丝切割的单晶硅的切割面的精度变得良好。但是，因为基底丝的硬度没有被适当调整，所以当金属线线速度为200m/分钟和300m/分钟的低速时是没有问题的，但如No.10a、11a所示，若将金属线的线速度增大到500m/分钟，则发生断线，从而不能使生产率提高。

另一方面，No.8和9是不满足本发明规定的要件的例子，塑性指数未得到适当调整，因此耐磨耗性差。特别是No.9a的被覆锯丝，若将金属线的线速提高到500m/分钟，也会发生断线。

还有No.3的锯丝，是被覆在基底丝的表面的被膜过薄的参考例，被覆被膜带来的效果得不到充分发挥。

【表1】

Claims

1.一种被覆锯丝，其特征在于，是在基底丝的表面被覆有机被膜的锯丝，以纳米压痕法测定时，被膜表面的杨氏模量与被膜表面的硬度之比即杨氏模量/硬度为6～25，被膜表面的杨氏模量与被膜表面的硬度的单位均为GPa。

2.根据权利要求1所述的被覆锯丝，其中，所述被膜表面的硬度为0.1～1GPa。

3.根据权利要求1或2所述的被覆锯丝，其中，所述有机被膜的膜厚为0.05～15μm。

4.根据权利要求1或2所述的被覆锯丝，其中，作为所述基底丝，使用以纳米压痕法测定的硬度为3GPa以上的金属线。

5.一种切割体的制造方法，其中，一边向权利要求1～4中任一项所述的被覆锯丝与工件的接触部位喷射磨粒，一边以所述被覆锯丝切割所述工件。