JP5759887B2 - ソーワイヤの評価方法 - Google Patents
ソーワイヤの評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5759887B2 JP5759887B2 JP2011280696A JP2011280696A JP5759887B2 JP 5759887 B2 JP5759887 B2 JP 5759887B2 JP 2011280696 A JP2011280696 A JP 2011280696A JP 2011280696 A JP2011280696 A JP 2011280696A JP 5759887 B2 JP5759887 B2 JP 5759887B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- saw wire
- hardness
- saw
- martens hardness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
表1は,8種類のソーワイヤのそれぞれについて,表層8%の深さ位置のマルテンス硬度および中心位置のマルテンス硬度,硬度指数ならびに伸線断線指数をまとめたものである。
JIS G 3502に規定されるSWRS72A 以上に相当する化学成分を含有し,熱間圧延により線径 5.5mmまで圧延され,その後調整冷却により組織調整されたピアノ線材を用意する。このピアノ線材の表面のスケールを酸で除去した後,ボラックス皮膜処理をし,これを乾式伸線する。乾式伸線されたワイヤに熱処理を行う。熱処理工程では約1000℃の加熱炉で均一にオーステナイト化させ,さらに約 550℃のパテンティング炉で金属組織を調整する。乾式伸線と熱処理は必要な回数繰返し行い,その後に銅めっきおよび亜鉛メッキを電気めっきして拡散炉で銅と亜鉛を拡散させてブラスめっきとする。ブラスめっきを行うのは,ワイヤにめっき層を形成することで次の湿式伸線加工時の表層潤滑性を向上させるためである。ブラスめっき後に湿式伸線することで,線径0.03mm〜0.15mmのソーワイヤを製造した。使用するピアノ線材(原材料)の直径,および乾式または湿式伸線回数を増減することによりソーワイヤの線径は調整される。また,使用するピアノ線材(原材料)の直径,熱処理の温度,伸線速度などの調整によりマルテンス硬度は調整される。
製造したソーワイヤについて,マルテンス硬度試験機を用いて,表層8%深さ位置および表層16%深さ位置のマルテンス硬度を測定した。
ソーワイヤを用いたシリコン・インゴットの切断では,一本のソーワイヤを2つのガイドロール間に複数回掛け渡し,ソーワイヤを送り出し側から巻き取り側に走行させる。この2つのガイドロールの間に張られたソーワイヤにシリコン・インゴットが押し付けることでシリコン・インゴットが切断される。ガイドロール間には 500本程度のソーワイヤが等間隔に互いに平行に掛け渡され,1つのシリコン・インゴットから一度に 500枚程度のウェハーが得られる。
2 ソーワイヤ本体
3 めっき層
Claims (2)
- 一方向および双方向のいずれの走行方向においても用いられ,走行中に押し当てられる半導体インゴットを切断するために用いられるソーワイヤの評価方法であって,
上記ソーワイヤは,その線径が0.04〜0.14mmのものであり,
表面から半径に対して8%の深さ位置のマルテンス硬度を測定し,
上記マルテンス硬度が6,500N/mm2以上であるかどうかを確認する,
ソーワイヤの評価方法。 - 上記ソーワイヤの中心位置のマルテンス硬度を測定し,
上記8%深さ位置のマルテンス硬度を中心位置のマルテンス硬度によって除した値が1.25未満であるかどうかを確認する,
請求項1に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011280696A JP5759887B2 (ja) | 2011-12-22 | 2011-12-22 | ソーワイヤの評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011280696A JP5759887B2 (ja) | 2011-12-22 | 2011-12-22 | ソーワイヤの評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013129026A JP2013129026A (ja) | 2013-07-04 |
JP5759887B2 true JP5759887B2 (ja) | 2015-08-05 |
Family
ID=48907041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011280696A Expired - Fee Related JP5759887B2 (ja) | 2011-12-22 | 2011-12-22 | ソーワイヤの評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5759887B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000233356A (ja) * | 1999-02-16 | 2000-08-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワイヤソーの切断方法及びワイヤ |
JP2000271807A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 切削工具及び耐摩耗材 |
JP3777285B2 (ja) * | 2000-04-06 | 2006-05-24 | ジャパンファインスチール株式会社 | ソーワイヤ |
JP2001327636A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-27 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | ゴルフクラブヘッド及びその製造方法 |
JP4677140B2 (ja) * | 2001-08-13 | 2011-04-27 | 日本特殊陶業株式会社 | グロープラグ |
JP2005193332A (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Tokyo Seiko Co Ltd | ソーワイヤ |
JP5412320B2 (ja) * | 2009-05-26 | 2014-02-12 | 株式会社コベルコ科研 | 被覆ソーワイヤ |
-
2011
- 2011-12-22 JP JP2011280696A patent/JP5759887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013129026A (ja) | 2013-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100709846B1 (ko) | 신선 가공성이 우수한 고탄소강 선재 및 그의 제조방법 | |
KR102164912B1 (ko) | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 | |
KR20110119705A (ko) | 고정 연마제 소잉 와이어 | |
JP5456067B2 (ja) | 特にバネ部材用の、圧延により集合組織形成された帯鋼としてのマイクロ合金化された炭素鋼 | |
JP5121153B2 (ja) | ゴム物品補強用のブラスめっき鋼線とその製造方法 | |
KR101786235B1 (ko) | Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 | |
US20130061841A1 (en) | Saw wire and method of manufacturing group iii nitride crystal substrate using the same | |
JP2007167878A (ja) | 高炭素鋼線の製造方法 | |
JP5759887B2 (ja) | ソーワイヤの評価方法 | |
JP2013081982A (ja) | 耐デラミネーション特性に優れた極細鋼線とその製造方法 | |
JP6807038B2 (ja) | メタルマスク用素材およびその製造方法 | |
KR101130906B1 (ko) | 심 있는 플럭스 코어드 와이어용 띠강, 심 있는 플럭스 코어드 와이어 및 그 제조방법 | |
JP2000071160A (ja) | ソーワイヤ用ワイヤ | |
JP6762386B2 (ja) | ボンディング用途のための厚い銅ワイヤを製造するための方法 | |
JP5522604B2 (ja) | ワイヤー工具 | |
KR20120120344A (ko) | 수지 피복 쏘 와이어의 설계 방법 | |
JP6558255B2 (ja) | 高強度極細鋼線およびその製造方法 | |
JP5573223B2 (ja) | 耐断線性に優れた高強度極細鋼線及びその製造方法 | |
JP2005193332A (ja) | ソーワイヤ | |
KR101919262B1 (ko) | 고탄소 강판 및 그 제조 방법 | |
CN103402662B (zh) | 导辊及其制造方法 | |
JP2017008420A (ja) | エッチングカット用ワイヤーの製造方法及びこの方法で得られたエッチングカット用ワイヤーを用いた無機性脆性材料のカット方法 | |
JP5961867B2 (ja) | 切断性にすぐれたソーワイヤおよびその製造方法 | |
JP6000730B2 (ja) | 固定砥粒式ソーワイヤ用のコアワイヤ | |
JP2000328188A (ja) | ワイヤソー用鋼線 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5759887 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |