TWI471207B

TWI471207B - 包覆線鋸

Info

Publication number: TWI471207B
Application number: TW99115824A
Authority: TW
Inventors: Hiroshi Yaguchi; Kazuo Yoshikawa; Yasuhiro Oki; Takashi Kobori; Mamoru Murahashi; Akinori Uratsuka
Original assignee: Kobelco Res Inst Inc
Priority date: 2009-05-26
Filing date: 2010-05-18
Publication date: 2015-02-01
Also published as: KR20100127712A; JP2011005624A; CN101898263B; BE1019645A5; JP5412320B2; CN101898263A; KR101166636B1; TW201109143A; JP2014042983A

Description

包覆線鋸

本發明涉及鋸機(saw machine)所使用的線鋸(saw wire)，詳細地說，是涉及在切割金屬、陶瓷等工件時，一邊向工件與線鋸的接觸部位噴射磨粒一邊使用的線鋸。

金屬、陶瓷等工件由安裝有線鋸的鋸機切割。線鋸沿單方向或雙方向(往返方向)行進，使工件與該線鋸接觸，從而能夠以任意的寬度將工件切片(slice)。

對工件的切割面通常要求平滑。為了使工件的切割面精度提高，會一邊向工件與線鋸的接觸部位噴射含有磨粒的溶液一邊對工件進行切割。噴射的溶液中所含的磨粒被捲入工件與線鋸之間，工件的磨耗得到促進，使得工件的切割面精度良好。

作為改善工件的切割面精度的技術，除了磨粒的噴射以外，還已知有改良線鋸自身的形態的技術。例如，在專利文獻1中，提出了一種對表面實施鍍鋅或鍍黃銅且使偏徑差和表面粗糙度最佳化的線鋸。另外，在專利文獻2中，提出了一種通過規定金屬線的橫截面的硬度分佈而降低切割面的凹凸的線鋸用鋼琴線。

而在專利文獻3中，公開有一種以磨粒載體樹脂覆膜對外周面進行包覆的金屬線。如果使用該金屬線，則因為磨粒(游離磨粒)侵入到載體樹脂覆膜中，所以認為能夠穩定地將磨粒(游離磨粒)捲進金屬線與工件接觸的部分。

[專利文獻1]日本特開2005-111653號公報

[專利文獻2]日本特開平10-309627號公報

[專利文獻3]日本特開2006-179677號公報

如上述，若一邊噴射磨粒一邊切割工件，則線鋸自身也會磨耗，因此會在線鋸的表面形成凹凸。此凹凸使工件的切割面精度惡化，另外還會引起線鋸的斷線。但是在上述專利文獻1~3中，並未對線鋸的耐磨耗性加以考慮，根據本發明人等的研究，耐磨耗性均劣化。

本發明鑒於這樣的狀況而做，其目的在於，提供一種耐磨耗性優異的包覆線鋸，其是在基底線的表面包覆有機覆膜或無機覆膜，在一邊噴射磨粒一邊進行切割時使用的包覆線鋸。另外，本發明的另一目的在於，提供一種能夠使工件切割面的精度良好的包覆線鋸。

能夠達成上述課題的本發明的包覆線鋸，具有如下幾點要旨：在基底線的表面包覆有機覆膜或無機覆膜，以奈米壓痕法(Nano-indentation Method)測定時，覆膜表面的楊氏模量(GPa)與覆膜表面的硬度(GPa)的比(楊氏模量/硬度)為6~25。

上述覆膜表面的硬度以0.1~1Gpa為佳。上述有機覆膜或無機覆膜的膜厚為0.05~15μm即可。作為上述基底線，推薦使用以奈米壓痕法測定的硬度為3GPa以上的金屬線。

在本發明中，也包括一邊向上述包覆線鋸與工件的接觸部位噴射磨粒，一邊用上述包覆線鋸切割上述工件的切割體的製造方法。

根據本發明，因為將覆膜表面的楊氏模量與硬度的比(楊氏模量/硬度。以下稱為塑性指數)控制在6~25的範圍內，所以能夠改善線鋸的耐磨耗性。另外，如果使線鋸表面的塑性指數處於上述範圍之後，再將表面的硬度特別控制在0.1~1GPa的範圍，則也能夠改善工件的切割面精度。

本發明人等為了改善用鋸機一邊噴射磨粒一邊以線鋸切割工件時所使用的線鋸的耐磨耗性而反復銳意研究。其結果發現，就在基底線的表面包覆了有機覆膜或無機覆膜的線鋸而言，如果適當控制線鋸表面的楊氏模量與硬度的平衡，使楊氏模量與硬度的比(塑性指數)處於6~25的範圍，則能夠降低包覆線鋸的磨耗量，從而完成了本發明。另外還發現，如果使線鋸表面的塑性指數處於上述範圍之後，再特別使線鋸的表面硬度在0.1~1GPa的範圍，則能夠使切割後的工件表面平滑，能夠得到表面精度良好的工件。

首先，對於完成本發明的原委進行說明。

一邊噴射磨粒一邊切割工件時所使用的線鋸的磨耗，磨料磨損是主要原因。所謂磨料磨損，是指游離磨粒侵入線鋸與工件的介面，線鋸被削掉、磨損的現象。為了降低該磨料磨損，認為有效的是使線鋸表面變硬。但是本發明人等研究時發現，若使線鋸的表面過硬，則表面會產生缺損，耐磨耗性反而劣化。因此本發明人等著眼於線鋸表面的材質，發現除了硬度以外，如果一併控制楊氏模量，則能夠改善線鋸的耐磨耗性。

即，本發明的線鋸，是在基底線的表面包覆有機覆膜或無機覆膜的線鋸(包覆線鋸)，覆膜表面的楊氏模量與硬度的比(塑性指數)為6~25。通過使塑性指數為6~25，覆膜表面的楊氏模量與硬度的平衡良好。若使其平衡良好，則即使在切割時施加應力而導入應變，包覆線鋸的變形也只限於彈性變形，幾乎不會發生塑性變形，因此工件的切割面精度也良好。如果塑性指數過小，則硬度相對于楊氏模量而言變得過大。因此，若施加應力，則包覆線鋸發生脆性破壞，包覆線鋸的表面的一部分剝離，磨耗量增多。另外，若包覆線鋸的表面發生剝離，則表面粗糙，因此工件的切割面精度變差。因此塑性指數為6以上，以9以上為佳，更以10以上為佳。但是，若塑性指數過大，則楊氏模量相對於硬度而言變得過大。因此若受到應力，則包覆線鋸發生塑性變形，容易磨損。因此塑性指數為25以下，以23以下為佳，以20以下更佳。

上述包覆線鋸的覆膜表面硬度以0.1~1Gpa為佳。若包覆線鋸的覆膜表面過硬，則在切割時容易發生包覆線鋸的晃動，不能進行精密的切割，工件的切割面精度有變差的傾向。因此包覆線鋸的覆膜表面硬度例如為1GPa以下，以0.9GPa以下為佳，更以0.6GPa以下為佳。若從改善工件的切割面精度的觀點出發，則推薦包覆線鋸的覆膜表面硬度盡可能低。但是，若包覆線鋸的覆膜表面變得過軟，則包覆線鋸的耐磨耗性有劣化的傾向。另外，若包覆線鋸磨損，則包覆線鋸的表面性狀變差，在表面形成凹凸，其結果是在工件的切割面上也形成凹凸，工件的表面精度變差。此外，若包覆線鋸的覆膜表面太軟，則金屬線強度也降低，因此不能加大切割時金屬線的線速度，生產率降低。因此包覆線鋸的覆膜表面硬度例如為0.1GPa以上，以0.15GPa以上為佳，更以0.2GPa以上為佳。

對上述包覆線鋸的覆膜表面的楊氏模量沒有特別限定，只要根據與覆膜表面硬度的平衡，將塑性指數調整為6~25即可。覆膜表面的楊氏模量例如為0.6~25GPa，以1~20Gpa為佳，更以2~15Gpa為佳。

為了防止包覆線鋸的磨損，本發明著眼於包覆線鋸的表層部的特性。具體來說，是在距覆膜最表面的深0.05~5.0μm的區域(特別是0.05~1.5μm的區域)，測定覆膜表面的楊氏模量與硬度的深度方向輪廓(profile)後，決定各自的代表值，將由此代表值確定的塑性指數(和優選的硬度)控制在上述範圍。詳細地說就是以奈米壓痕法測定上述楊氏模量和硬度。根據奈米壓痕(微小部分硬度試驗)，能夠借助超低載荷的壓入，以很少的壓入量測定物件材料的硬度和楊氏模量，因此很難受到表面下側的材質的影響，從而能夠正確地評價表面的特性、性能。

覆膜表面的楊氏模量和硬度採用代表值即可，在多次測定包覆線鋸的覆膜表面時，將測定結果的偏差少、能夠獲得穩定的結果的位置上所測定的結果作為代表值。例如，覆膜表面的楊氏模量從包覆線鋸的覆膜表面朝向中心軸有逐步變大的傾向。因此，覆膜表面的楊氏模量以在包覆線鋸的覆膜表面附近測定的結果作為代表值使用即可。另一方面，覆膜表面的硬度與楊氏模量相反，越是靠近覆膜的最表面，測定結果越發生偏差。因此，覆膜表面的硬度以在包覆線鋸的中心軸側測定的結果作為代表值使用即可。例如，在後述的實施例中，測定如圖1和圖3所示的覆膜表面硬度輪廓，和圖2和圖4所示的覆膜表面的楊氏模量輪廓，將壓入深度400~450nm的範圍內所測定的硬度作為“包覆線鋸的覆膜表面硬度”，將壓入深度60~90nm的範圍內所測定的楊氏模量作為“包覆線鋸的覆膜表面楊氏模量”。

即，圖1和圖3表示在下述實施例中，測定包覆線鋸的覆膜表面的硬度輪廓的結果。由這些圖可知，覆膜表面硬度的測定結果從覆膜的最表面至壓入深度150nm的範圍內有偏差，但在壓入深度400~450nm的範圍內幾乎沒有偏差，測量誤差小。另一方面，圖2和圖4表示測定包覆線鋸的覆膜表面的楊氏模量輪廓的結果。由這些圖可確認，覆膜表面的楊氏模量的測定結果在覆膜的表面附近偏差少，但在壓入深度為200nm以上的區域中，隨著壓入深度增大，楊氏模量有變大的傾向。還有，若在覆膜的最表面測定覆膜表面的楊氏模量和硬度，則每次測定結果都有很大的偏差，得不到可靠性高的結果，因此要避免在最表面進行測定。

覆膜表面的楊氏模量和硬度至少在15處進行測定，測定結果中有異常值(例如相對於平均值為3倍以上或1/3以下的值)時，將該值除外並重新進行測定，對至少15處的測定結果進行平均計算。這是因為通過奈米壓痕測定非常微小的區域中的硬度和楊氏模量，所以容易產生測量誤差。

作為形成上述覆膜的基底線，例如能夠使用鈦線、銅線、鋼線等。

作為鋼線，例如能夠使用不銹鋼鋼線和高碳鋼線等。作為不銹鋼鋼線，能夠使用SUS301、SUS304、SUS310、SUS316、SUS321、SUS347等奧氏體系不銹鋼鋼線，SUS405、SUS430等鐵素體系不銹鋼鋼線，SUS403、SUS410等馬氏體系不銹鋼鋼線，SUS329J1等二相不銹鋼鋼線(奧氏體/鐵素體系不銹鋼鋼線)，SUS630等析出硬化系不銹鋼鋼線等。作為高碳鋼線，能夠使用例如含有C達0.5~1.2%的高碳鋼線。

在本發明中，特別優選使用以奈米壓痕法測定的硬度為3GPa以上的基底線。通過使基底線的硬度為3GPa以上，能夠提高包覆線鋸整體的抗拉強度，因此即使加大切割工件時的金屬線的線速度，也不會發生斷線，從而能夠使生產率提高。

作為包覆在基底線的表面的有機覆膜，能夠使用熱固化性樹脂和熱塑性樹脂之中，塑性指數被調整為6~25的合成樹脂。這樣的合成樹脂之中，能夠適合使用的有酚醛樹脂、醯胺類樹脂、環氧樹脂、聚氨酯、縮甲醛(formal)、ABS樹脂、氯乙烯、醯亞胺類樹脂、聚酯等。作為熱塑性樹脂時，塑性指數能夠通過控制聚合度來加以調整，作為熱固化性樹脂時，塑性指數能夠通過控制交聯密度來加以調整。另外，也可以通過使不同的兩種以上的單體共聚，或配合添加劑(例如磷酸酯等增塑劑，金屬皂等熱穩定劑等)來調整塑性指數。

上述有機覆膜，能夠通過在上述基底線的表面塗布市場銷售的清漆(varnish)，並對其加熱而形成。此時，通過適宜調整有機覆膜的硬度，能夠控制上述塑性指數、楊氏模量。有機覆膜的硬度能夠通過所使用的清漆的種類、加熱溫度進行調節。

作為清漆，能夠使用由東特塗料股份公司銷售的漆包線(enamel wire)用清漆、由京瓷化學股份公司銷售的電線用清漆等。

作為上述漆包線用清漆，例如能夠使用如下。

聚氨酯清漆(polyurethane varnish)(“TPU F1”、“TPU F2-NC”、“TPU F2-NCA”、“TPU 6200”、“TPU 5100”、“TPU 5200”、“TPU 5700”、“TPU K5 132”、“TPU 3000K”、“TPU 3000EA”等，東特塗料股份公司製商品。)。

聚酯清漆(polyester varnish)(“LITON 2100S”、“LITON 2100P”、“LITON 3100F”、“LITON 3200BF”、“LITON 3300”、“LITON 3300KF”、“LITON 3500SLD”、“Neoheat 8200K2”等，東特塗料股份公司製商品。)。

聚酯醯亞胺清漆(polyesterimide varnish)(“Neoheat 8600A”、“Neoheat 8600AY”、“Neoheat 8600”、“Neaheat 8600H3”、“Neoheat 8625”、“Neoheat 8600E2”等，東特塗料股份公司製商品。)。

作為上述電線用清漆，能夠使用例如耐熱聚氨酯(urethane)銅線用清漆(“TVE5160-27”等、環氧改性縮甲醛樹脂)，縮甲醛銅線用清漆(“TVE5225A”等，聚乙烯醇縮甲醛)，耐熱縮甲醛銅線用清漆(“TVE5230-27”等，環氧改性縮甲醛樹脂)，聚酯銅線用清漆(TVE5350系列，聚脂樹脂)等(均為京瓷化學股份公司製商品)。

作為包覆於基底線的表面的無機覆膜，能夠使用例如SiO₂ 覆膜、玻璃(鈉玻璃)覆膜，CrN覆膜等之中覆膜表面的塑性指數被調整為6~25的覆膜。SiO₂ 覆膜能夠通過在基底線的表面塗布含有SiO₂ 粉末的溶液後，再使之乾燥而形成。另外，如果進一步提高溫度使之燒結，則能夠形成緻密的覆膜。關於玻璃覆膜，在基底線的表面塗布了混合有玻璃粉和溶劑得到的物質之後，使之乾燥即可形成。關於CrN覆膜，使用AIP裝置，對基底線的表面使用Cr靶材在氮氣氣氛中實施電弧離子鍍(AIP)，則能夠形成。

上述覆膜的膜厚以0.05~15μm為佳。若覆膜過薄，則在切割時的初期階段覆膜便磨損消失，或者從基底線上剝離，露出基底線本身，由設置覆膜帶來的耐磨耗性提高效果無法得到充分發揮。因此覆膜的膜厚以0.05μm以上為佳，更以0.5μm以上為佳，特別以2μm以上更佳。但是，若覆膜過厚，則覆膜占包覆線鋸總體的比例過大，因此包覆線鋸整體的強度降低。因此，若要提高生產率而加大金屬線的線速，則有容易發生斷線的傾向。因此覆膜的膜厚以15μm以下為佳，更以13μm以下為佳，特別以10μm以下更佳。

對包覆線鋸整體的線徑沒有特別限定，通常為100~300μm左右。

本發明的包覆線鋸，在切割例如金屬、陶瓷、矽、水晶、半導體構件和磁性體材料等工件(切片加工)而製造切割體時使用。

在用鋸機進行切割時，一邊對包覆線鋸與工件接觸的部分噴射含有磨粒的溶液一邊進行。這是由於噴射的溶液中所含的游離磨粒被捲入包覆線鋸與工件之間，有助於一邊使工件磨損一邊進行切割。

含有磨粒的溶液使用公知的溶液即可。作為磨粒可使用例如碳化矽磨粒(SiC粉)、金剛石磨粒等。

[實施例]

以下，列舉實施例更具體地說明本發明，但本發明當然不受下述實施例限制，在能夠符合前後述的宗旨的範圍內當然也可以適當加以變更實施，這些均包含在本發明的技術範圍內。

使用包覆線鋸，一邊噴射磨粒一邊切割單晶矽，測定切割前後的線鋸的磨耗量，評價線鋸的耐磨耗性。另外，測定單晶矽的切割面的表面粗糙度，評價表面精度。另外，使切割時的線鋸的線速度變化，評價生產率。

作為包覆線鋸，在下述表1所示的原材料的基底線上，按下述表1所示的厚度包覆下述表1所示的原材的覆膜，製作線徑(包括覆膜)為140μm的包覆線鋸。

(基底線)

在No.1~4、13、14中，將JIS G3502所規定的鋼琴線(A種)拉線至規定的線徑，以其作為基底線使用，該鋼琴線(A種)含有C：0.72品質%、Si：0.21品質%、Mn：0.52品質%，餘量由鐵和不可避免的雜質構成。

在No.5~9中，將JIS G3502所規定的鋼琴線(A種)拉線至規定的線徑，以其作為基底線使用，該鋼琴線(A種)含有C：0.82品質%、Si：0.19品質%、Mn：0.49品質%，餘量由鐵和不可避免的雜質構成。

在No.10中，將純銅拉線至規定的線徑，以其作為基底線使用，在No.11中，將純鈦拉線至規定的線徑，以其作為基底線使用。

在No.12中，將JIS G4314所規定的彈簧用不銹鋼鋼線(SUS304)拉線至規定的線徑，以其作為基底線使用。

(覆膜)

有機覆膜(No.1~4、10~14)的形成步驟如下。

在No.1、10~12中，使用JIS C2351所規定的聚氨酯線用清漆“W143”(東特塗料股份公司製，漆包線用清漆“TPUF1(商品名)”，烘烤後的塗膜組成為聚氨酯)。

在No.2~4中，使用JIS C2351所規定的聚酯線用清漆“W141”(東特塗料股份公司製，漆包線用清漆“LITON 2100S(商品名)”，烘烤後的塗膜組成為對苯二甲酸系聚酯)。

在No.13中，使用JIS C2351所規定的聚酯醯亞胺線用清漆“W144”(東特塗料股份公司製，漆包線用清漆“Neoheat 8600(商品名)，烘烤後的塗膜組成為聚酯醯亞胺”。

在No.14中，使用JIS C2351所規定的縮甲醛線用清漆“W142”(京瓷化學股份公司製，電線用清漆“TVE5225A”(商品名)，烘烤後的塗膜組成為聚乙烯醇縮甲醛)。

在上述基底線的表面塗布上述清漆，適宜控制加熱溫度和加熱時間，形成楊氏模量和硬度(即塑性指數)進行了調整的覆膜。具體來說，在覆膜形成之前，對基底線進行脫脂處理後，將塗布次數分成4~10次而進行塗漆，再以250~270℃使揮發成分揮發而使之硬化，製作包覆線鋸。

無機覆膜(No.5~9)的形成步驟如下。

在No.5中，使用Cr靶材在氮氣氛中進行電弧離子鍍(AIP)，在基底線的表面形成CrN覆膜。

在No.6中，在基底線的表面，塗布混合有玻璃粉和溶劑的塗料，使之乾燥而形成玻璃覆膜。

在No.7中，在基底線的表面，塗布含有石英粉的溶液，使之乾燥而形成SiO₂ 覆膜。

在No.8中，在基底線的表面，電解鍍成分組成為Cu：63品質%、Zn：37品質%的鍍膜，形成鍍黃銅覆膜。

在No.9中，在基底線的表面，塗布相對於環氧樹脂(100品質%)配合有10品質%的平均粒徑為3μm的氧化矽的塗料，形成含氧化矽的環氧樹脂覆膜。

對於製作的包覆線鋸，以奈米壓痕法測定覆膜表面的楊氏模量和硬度。具體的測定條件如下。

(測定條件)

測定裝置：Agilent Technologies製“Nano Indenter XP/DCM”

分析軟體：Agilent Technologies製“Test works4”

Tip：XP

測定方式：CSM(連續剛性測定)

激勵振盪頻率：45Hz

激勵振盪振幅：2nm

應變速度：0.05/秒

壓入深度：至500nm

測定點：15點

測定點間隔：30μm

測定環境：空調裝置內室溫23度

標準試料：熔融石英

還有，覆膜表面的楊氏模量採用自覆膜的最表面的壓入深度為60~90nm的範圍內的結果，覆膜表面的硬度採用自覆膜的最表面的壓入深度為400~450nm的範圍內的結果。測定點為15點，15次測定結果中有異常值時將其除外，重新進行測定，將15點的結果進行平均，求得表面的楊氏模量和硬度。表面的楊氏模量和硬度顯示在下述表1中。另外，計算楊氏模量與硬度的比(楊氏模量/硬度。塑性指數。)，一併顯示在下述表1中。在下述表1中，還顯示有以同樣的條件測定的基底線的硬度。

另外，通過拉伸試驗測定製作的包覆線鋸的抗拉強度(TS)。測定結果顯示在下述表1中。

接下來，使用製作的包覆線鋸切割單晶矽(切片加工)。切片加工一邊向包覆線鋸與單晶矽之間噴射漿料一邊進行，該漿料是使平均粒徑為5.6μm的金剛石磨粒懸浮在乙二醇系水溶液中而成。磨粒(金剛石)的濃度為5品質%。包覆線鋸的線速度設定為100~500m/分鐘，新線供給速度設定為5m/分鐘，包覆線鋸的張力設定為15N。

以上述條件進行切片加工，在總切割時間經過了7小時的時間點，從鋸機上取下包覆線鋸，測定包覆線鋸的線徑，基於計算出的切割前後的線徑的減少量，以下述標準評價包覆線鋸的耐磨耗性。評價結果顯示在下述表1中。還有，切割時的包覆線鋸的線速度，在No.1~3、5~8、12~14中為500m/分鐘。在No.4、9~11中以低速(100~300m/分鐘)進行，No.4a、9a~11a另行以高速(500m/分鐘)進行。

(耐磨耗性)

3分(合格)：線徑的減少量低於3μm

2分(合格)：線徑的減少量為3~5μm

1分(不合格)：線徑的減少量超過5μm

另外，測定經過7小時後被切割的單晶矽的表面粗糙度，評價切割面的表面精度。表面精度基於JIS B0601(2001年，附件1)所規定的測定十點平均粗糙度Rz的結果，按以下標準進行評價。評價結果顯示在下述表1中。

(表面精度)

3分(合格)：Rz在3μm以下

2分(合格)：Rz超過3μm，在6μm以下

1分(不合格)：Rz超過6μm

關於表1所示的No.1，將表示其壓入深度與覆膜表面硬度的關係的曲線圖顯示在圖1中。另外，將表示其壓入深度與覆膜表面的楊氏模量的關係的曲線圖顯示在圖2中。關於表1所示的No.2，將表示其壓入深度與覆膜表面硬度的關係的曲線圖顯示在圖3中。另外，將表示其壓入深度與覆膜表面的楊氏模量的關係的曲線圖顯示在圖4中。

由圖1和圖3可知，在距覆膜最表面的壓入深度為400~450nm的範圍內，覆膜表面硬度的測定結果的偏差小。由圖2和圖4可知，在距覆膜表面的壓入深度為60~90nm的範圍內，覆膜表面的楊氏模量的測定結果的偏差小。另外還確認到，越接近基底線(具體來說是壓入深度達到200nm以上的範圍)越會受到基底線的影響，楊氏模量有變大的傾向。

其次，能夠由表1進行如下考察。

No.1、2、4~7、10~14的包覆線鋸，是滿足本發明規定的要件的例子。

特別是No.1、2、7、12~14的包覆線鋸，因為塑性指數得到適當調整，所以耐磨耗性優異。另外，因為表面硬度也得到適當調整，所以使用該包覆線鋸切割的單晶矽的切割面的精度變得良好。另外，因為基底線的硬度也被適當調整，所以即使金屬線線速度為500m/分鐘也不會發生斷線，能夠使生產率提高。

No.4的包覆線鋸，因為塑性指數得到適當調整，所以耐磨耗性優異。另外，因為表面硬度也得到適當調整，所以使用該包覆線鋸切割的單晶矽的切割面的精度變得良好。但是，因為覆膜過厚，所以金屬線線速度為100m/分鐘的低速時是沒有問題的，但如No.4a所示，若將金屬線的線速度增大到500m/分鐘，則發生斷線，從而不能使生產率提高。

No.5和6的包覆線鋸，因為塑性指數得到適當調整，所以耐磨耗性優異。但是因為表面硬度未適當調整，所以使用該包覆線鋸切割的單晶矽的切割面精度差。

No.10和11的包覆線鋸，因為塑性指數得到適當調整，所以耐磨耗性優異。另外，因為表面硬度也得到適當調整，所以使用該包覆線鋸切割的單晶矽的切割面的精度變得良好。但是，因為基底線的硬度沒有被適當調整，所以當金屬線線速度為200m/分鐘和300m/分鐘的低速時是沒有問題的，但如No.10a、11a所示，若將金屬線的線速度增大到500m/分鐘，則發生斷線，從而不能使生產率提高。

另一方面，No.8和9是不滿足本發明規定的要件的例子，塑性指數未得到適當調整，因此耐磨耗性差。特別是No.9a的包覆線鋸，若將金屬線的線速提高到500m/分鐘，也會發生斷線。

還有No.3的線鋸，是包覆在基底線的表面的覆膜過薄的參考例，包覆覆膜帶來的效果得不到充分發揮。

圖1是表示實施例的表1所示的No.1中壓入深度與覆膜表面硬度的關係的曲線圖。

圖2是表示實施例的表1所示的No.1中壓入深度與覆膜表面的楊氏模量的關係的曲線圖。

圖3是表示實施例的表1所示的No.2中壓入深度與覆膜表面硬度的關係的曲線圖。

圖4是表示實施例的表1所示的No.2中壓入深度與覆膜表面的楊氏模量的關係的曲線圖。

Claims

一種包覆線鋸，其特徵為：在基底線的表面包覆有機覆膜的線鋸，以奈米壓痕法測定時，覆膜表面的楊氏模量與覆膜表面的硬度之比(即楊氏模量/硬度)為6~25，覆膜表面的楊氏模量與覆膜表面的硬度的單位均為Gpa，上述覆膜表面的硬度為0.1~1GPa。
如申請專利範圍第1項記載的包覆線鋸，其中，上述有機覆膜的膜厚為0.05~15μm。
如申請專利範圍第1項記載的包覆線鋸，其中，作為上述基底線，使用以奈米壓痕法測定的硬度為3GPa以上的金屬線。
一種切割體的製造方法，其特徵為：一邊向申請專利範圍第1~3項中任一項記載的包覆線鋸與工件的接觸部位噴射磨粒，一邊以上述包覆線鋸切割上述工件。