CN101896346A - 柔性衬底张紧装置 - Google Patents

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Abstract

有助于柔性衬底张紧的再生和消除的装置和方法,例如聚酰亚胺或者其他膜层,用以保证张紧装置安装过程前、过程中以及过程后的平整性。

Description

柔性衬底张紧装置
技术领域
本发明通常涉及柔性衬底的物理处理,特别是,本发明涉及一种更易于精确控制柔性衬底的固定、张紧以及附属过程,用于表面装配产品和处理步骤之间的制造和装配。
背景技术
柔性衬底有许多不同的应用。如何处理柔性衬底的物理控制经常是必要的。一个通用的处理方法包括将一个柔性衬底安转到一个拼合架并且接着依靠该拼合架的拉伸张紧该衬底。为了减少柔性衬底被拼合架张紧时可能的扭曲变形,对于框架来说,包括用于平整安装在框架上的前述柔性衬底的装置经常是必不可少的。然而,平整前述安装的衬底通常是不容易的,因为平整包括额外的操作步骤,这增加了操作的复杂性。此外,因为张紧力是由框架的已经扭曲的平整装置产生的,所以对于被应用到平整或者变形的张紧力而破裂或者变形的脆弱的衬底来说,平整前述的安装经常是不适合的。没有平整装置的框架不能依靠平整前述安装的柔性衬底而校正衬底的变形。另一个通用的衬底处理方法包括设置材料到框架上来提供一个与所述衬底材料平等的或者更高的热膨胀(CTE)系数。这样,加热时,框架材料比衬底膨胀得快,这样柔性衬底就张紧了。然而,这个与衬底相关得热操作方式经常需要昂贵的外来的框架材料。另外,衬底材料的热膨胀系数与框架材料的热膨胀系数的不匹配可以导致柔性衬底的破裂和变形。另一个众所周知的柔性衬底的处理方法是将柔性衬底碾压到一个刚性衬底上。然而这个更永久的处理方法因为挤压而限制了后操作的选择。
因此,存在一种需求,即需要一种用于可靠张紧柔性衬底的装置或者方法来消除由于制作、安装或者其他操作的结果可能引起的如起皱或者不平状态的不良缺点。目前公开的改进允许柔性衬底的准确、可控以及可复写的记录用于图形,印刷,布置,回流、沉积或者任何其他的标准装配技术所需要的精确记录和/或显示系统的使用。
发明内容
本发明提供一种装置和方法用于可再生和可消除地张紧柔性衬底并且保证衬底在安装张紧装置的过程前,过程中以及过程后的平整性。
本发明的第一个方面提供一种用于张紧安装在框架上的柔性衬底的装置,该装置包括:一支撑该框架的棘爪;一结合该棘爪的夹具,使该框架和柔性衬底配置在该棘爪和该夹具之间;其中,当该夹具与该棘爪结合并向该棘爪方向前进时,该柔性衬底处于张紧状态。
本发明的另一方面提供一种安装在一框架上的柔性衬底的张紧方法,该方法包括:
提供一夹具,该夹具包括:多个刀口以及多个从所述夹具延伸的多个底脚;提供一棘爪,该棘爪包括:一顶部部件和一导环;以及熟练操作该夹具和该棘爪,以便在所述夹具通过相对于所述棘爪的顶部部件旋转的导环向下拉动时,该柔性衬底依靠所述棘爪而处于拉伸状态。
附图说明
参照下列附图,对本发明的实施例进行详细描述,其中,相同的的名称对应相同的部件。
图1A是柔性衬底的一个实施例的顶视图
图1B是根据本发明的实施例的金属框架的实施例的顶视图
图1C是根据本发明的实施例,安装在金属框架实施例上的柔性衬底的实施例的顶视图
图1D是根据本发明的实施例,装有柔性衬底的框架实施例的侧视图
图2A是根据本发明的实施例,夹具的实施例的顶视图
图2B是根据本发明的实施例,夹具实施例的仰视图
图2C是根据本发明的实施例,夹具实施例的侧视图
图3A是根据本发明的实施例,棘爪实施例的顶部部件的顶视图
图3B是根据本发明的实施例,棘爪实施例的顶部部件的仰视图
图3C是根据本发明的实施例,导环实施例的顶视图
图3D是根据本发明的实施例,设置有导环的棘爪的侧视图
图4A是根据本发明的实施例,托架实施例的基部的仰视图
图4B是根据本发明的实施例,托架实施例的基部的仰视图
图4C是根据本发明的实施例,托架实施例的插件的顶视图
图4D是根据本发明的实施例,托架实施例的插件的仰视图
图4E是根据本发明的实施例,托架实施例的侧视图
图5A是根据本发明的实施例,各种单元装配在托架上而形成的柔性衬底张紧装置实施例的侧视图
图5B是根据本发明的实施例,各种单元装配在托架上而形成的柔性衬底张紧装置实施例的顶视图
最佳实施例
虽然将示出并详细描述本发明确切的实施例,但是,应当理解的是,各种变形和修改是在附加的权利要求的保护范围内的。本发明的范围没有被其结构组件、材料、形状、相关配置等所局限,并且以实施例的方式简单公开。本发明的特点和优点将通过结合附图进行详细说明。其中,附图的参考标记表示相应部件。
正如上文所详细描述的,应当指出的是,在说明书和附加的权利要求书中,单数形式包括多个,除非上下文清楚地指出其他解释。
大体上,柔性衬底张紧装置的实施例包括两个基本构件:一夹具和一棘爪。一柔性衬底作为操作过程的基部材料或者将其他材料添加在其上。例如,柔性衬底可以是催化剂材料,其他各种化学元素可以在其上反应,或者可以作为印刷图象的基材。柔性衬底经常可以包括一种导体或者半导装置装配其上的和/或电子元件设置其上的材料。因此,该柔性衬底被认为是带基薄膜、柔性薄片或者柔性印制电路板(柔性PCB)。柔性衬底典型地安装在框架上或其他支撑结构部件上。柔性衬底张紧装置的棘爪可以包括一个半导体阴极金属心,该柔性衬底或者膜层可以在其上拉伸,该棘爪还可以包括凹槽或者导引部件用以帮助该柔性衬底就位以及该框架在半导体阴极金属心之上,并且在张紧装置处于松弛或张紧状态时,用半导体阴极金属心导引柔性衬底张紧装置的夹具定位。该夹具可以包括多个刀刃或者加接的锋利边缘或者该夹具完整地构成一环状结构,用来适合周长并与柔性衬底和安装的框架在某种程度上交迭。该夹具还可以包括底脚,该底脚在夹具可操作地连接棘爪时,从夹具的背面延伸穿过棘爪。通过导环与夹具的底脚的操作以及将夹具移动到凹陷处或者棘爪的导引部分,紧施加到夹具上。该导环可以包括环状设置的凹槽和/或狭槽并且夹具的底脚可以插入到凹槽和/或狭槽中。该凹槽和/或狭槽时可以倾斜的,并且在导环转动时,该夹具的底脚可以从夹具处向下移动并且提供一个夹紧力到衬底安装框架,相对于该半导体阴极金属心拉紧柔性衬底。该导环通过螺钉或者其他扣件的装置与棘爪的背面连接。一个扭簧,旋管或者其他适合的部件卡在该导环和棘爪之间,用以将力应用到张紧该导环并且便于夹具在可操作位置与棘爪装配和/或从可操作位置与棘爪卸载,同时,经由一个有助于保持环处于不变位置的勾爪或者其他有形配合的部件,通过热漂移,包括回流保持应用压力。此外,为了张紧该柔性衬底在一个可再生状态,该导环可以具有凹槽边缘,该凹槽边缘可以用来导引导环。底脚可以是锥形的并且长度应满足通过旋转导环到安装或拆装位置,接着将夹具/棘爪就位在与平的基准面相反的位置并且应用一个向下的力到该棘爪以便将夹具从棘爪卸下。
现在参照附图,图1A至1D是柔性衬底10,框架14以及与框架集合并且设置在框架14上的柔性衬底的顶视图和侧视图。如图1A所示,实施例柔性衬底10可以由聚酰亚胺或者其他薄膜物质构成并且可以具有安装其上的电子元件11或者具有在其上成形的电印13。如虚线圆圈区域12示出的,该电子元件11或者电印13可以设置在柔性衬底10的中央部位。然而,本领域的应当认识到,电印13和元件11可以设置在该柔性衬底的任何可操作的部位。在组装过程中,该柔性衬底需要具有从衬底10精选或者设置其上的元件,或者具有其他分配到其上面的其他材料,例如胶或者焊膏。十分重要的是,该柔性衬底10设置在非柔性,稍微刚性状态以便组装过程能够成功。因此,如图1B描述的那样,框架14可以用于向该柔性衬底10提供一些结构变硬的材料。该框架14可以由金属构成,例如不锈钢,科瓦铁镍钴合金,或其他刚性和不腐蚀金属,或者其他用于电镀或操作的合适属性的金属。该10柔性衬底可以用各种方式安装到框架14上,例如通过焊接,扣接或者其他方式的使用。如图1C所示,该柔性衬底10通常通过粘接剂安装到框架14上。这种粘接剂是典型的横向耦合热硬化性环氧的,适合用于薄粘接线和迭片结构操作。当该10柔性衬底固定在框架14,两元件形成整体的框架固定的柔性衬底26元件。图1C中的虚线用以展示框架14的位置,改为止在框架固定的16柔性衬底元件的顶视图中无法看到。图1D示出了框架固定的柔性衬底的各种元件在侧视图中看到的相关位置。
继续参见附图,图2A至2C分别示出了夹具20的实施例的顶视图、仰视图和侧视图。夹具20可以包括扣口22。该刀口22可以很薄的结构,例如从该夹具20的外框结构21向内延伸或突出的唇缘或者凸缘。该道口22可以是与夹具20的框结构21的顶部表面25平齐的。另外该夹具20可以包括底脚24。该底脚24可以从框结构的底面26向下垂直延伸。而且,该底脚24可以具有底托部件27,并且该底脚24在其末端可以是锥形的以便容易和或者移动。该框结构21,刀口22和底脚24可以完整地构成一体,或者可以是分别独立的部件组合在一起构成夹具20。该夹具20和/或该夹具20的单个组成单元可以由刚性且不腐蚀的不锈钢构成,或者由其他合适的,热稳定材料构成。当夹具和固定的柔性衬底16(见图1A至1C)组装在40棘爪(见图3A)中时,该刀口22和底脚24的配置用于拉伸柔性衬底10。这里有典型的四个刀口22和四个底脚24,然而,这些数量可以根据柔性衬底10伸长或者张紧的类型和尺寸增加或者减少。
进一步参见附图,图3A至3D至是棘爪40的实施例和棘爪40的各种组装元件的透视图。棘爪40包括一个顶部部件50,一个导环60,和一个勾爪70。图3A是40棘爪的顶部部件50的顶视图。该顶部部件50可以包括一半导体阴极金属心52,孔54,边缘56。如3B所示,该勾爪70可以操作性的连接到底部部件50的下边。勾爪70的齿可以设置成与导环60的齿64啮合。如图3C所示,该导环60可以包括一个或者多个凹槽62,多个齿64,交叉杆66和一个可选择的刻度68。该凹槽62可以大致同轴地设置在环60的本体内并且可以底座开口部分61倾斜。该底座开口部分61被设置成允许该夹具20的底脚24的底座27插入导环60且与凹槽62配合的结构。凹槽62可以包括通孔63,该凹槽62允许底脚24插入到底座开口部分61并置于凹槽62后,可以沿导环60的中心轴旋转移动。凹槽62可以与底脚24相互作用并且导引底脚24沿远离衬底10的方向前进。例如,凹槽62的斜度或者锥形的结构可以使底脚24在环60转动时,沿着倾斜的凹槽62滑动。这样,当该环60转动,底脚24沿着凹槽62的斜面行走时,夹具20通常可以朝棘爪40方向前进。当底脚20沿凹槽62的斜面向下移动,该夹具20可以从棘爪40向下移动并且将一个夹紧力应用到该衬底安装框架14上,将衬底10向半导体阴极金属心的反方向拉紧。在包括了围绕环60等距离设置了凹槽62的导环60的地方,衬底10的张紧均匀存在。
顶部部件50和导环60由Rochling Durostone CAS761光纤加固塑料构成,但是可以由各种其他合适的刚性热稳定(大量反流过程)、对化学品有惰性的材料构成,这些材料可以与顶部部件50和导环60在配置过程中连接。顶部部件50的半导体阴极金属心53可以是一个棘爪40的凸起部分,尺寸与框架14的中心部分吻合(见图1A至1D)。这样,当固定的柔性衬底16通过夹具20被向下移动,可操作地与棘爪40固定时,半导体阴极金属心能够作用在柔性衬底10。照这样,该柔性衬底12可以远离框架14,向上伸拉并且张紧。为了便于在框架14上提供一个向下的原动力并且移动与可操作地吻合半导体阴极金属心53的柔性衬底12相关的框架14,顶部部件50的孔54的结构可以允许夹具20的底脚24依靠底座27穿过设置在导环60上的凹槽62的底座开口部分61从而控制夹具20的底脚24。这个向下的移动可以通过导环60的转动而实现,而该导环60的转动是依靠凸轮或弹簧动作的任何一种,或其他可操作装置的。在凸轮动作的情况下,导环60的凹槽62可以逐渐变窄或者倾斜以便该凹槽在夹具20的底脚穿过环60的地方是较窄的,接着逐渐变宽或者倾斜,这样当环60转动时,拉着底脚24向下移动。在依靠弹簧动作而向下移动的情况下,弹簧(未示出),如扭簧,可以设置在顶部部件50和导环60之间。该弹簧可操作地与设置在顶部部件50下面的任意凹陷处吻合或者靠近。该弹簧可以用于帮助推动导环60远离顶部部件50从而促成底脚24设置在凹槽62内而被向下拉。勾爪70可以用来控制导环在柔性衬底12完全张紧时在适当的位置。该勾爪70可以是弹簧承载制动机构用以帮助导环60的位置锁闭。该勾爪70的制动机构以及具有附加齿用于啮合该导环60周长上的齿,并且可以是弹簧承载以便容易解除。例如,设置解除装置是便于人用一只手解除制动机构,而另一只手可以用来保持基部50的稳定和导环60的重新配置。当人完成定位操作,制动机构可以被解除并且通过制动机构的作用,弹簧的承载可以保持导环60固定在理想的位置。作为导环60上的转向轴和用于勾爪70的枢轴的扣件(如螺栓,螺钉,铆钉,或类似物,未示出)可以是凹进去的。这样使棘爪40的背面是一个光滑表面。与夹具20上的底脚24和制动专职共同作用,这个动作可以在导环60通过制动锁闭在卸载位置时,通过允许夹具20向上移动以及离开工作夹具,促进棘爪的单一装卸工作。
薄垫片(未示出)也可以用于提供通过调节一个由凹陷进去的夹具20的操作位置造成的缝隙,用非常薄的模版或者屏幕的无损害的超小螺距印刷的可能。
为了协助柔性衬底12的操作和处理,可以使用托架80。该托架80和它的各种分组元件在图4A至4E中详细描述。该托架80可以包括基部90(图4A至4B,4E中示出)和一插件100(图4C至4D,4E中示出)。基部90由铝或者由保持形状的能力为特点的钢构成,基部90在其操作温度处是热稳定的,并且可以远离或者朝向该柔性衬底12传递热量。其他合适的材料也可以用来构成基部90。基部90可以包括一个可选择的风度规92(图4A中椭圆形虚线表示的),齿94,上部凸缘93,96和底部凸缘95,98。插件100的顶面可以包括凹槽102,其结构与导环60的交叉杆66配合。该插件可以由铝和钢构成,但是其他适合的材料可以用于构成保持其形状和热稳定的组件。插件100的底面可以包括旋转锁闭装置104,翼106,可选择的索引标志108并且通常由铝或者其特性保持形状和热稳定的钢构成。在凹槽102的底部以及旋转锁闭装置104和翼106的顶部之间存在一缝隙用于调节基部90的上部凸缘93和底部凸缘95之间的厚度。当托架80处于装配状态时,插件100经过凹槽102端部的底面,置于基部90的上部凸缘93上,并且经过翼106的顶部和旋转锁闭装置104,置于基部90上,该插件100与基部90的底部凸缘95接口连接。当旋转锁闭装置104解除时,插件100允许相对于基部90旋转,从而当棘爪10设置在托架上,该插件100的凹槽连接环60的交叉杆66。如图4D所示的旋转锁闭装置可以包括两个相对的被一弹簧强行分开的杆。当该杆被挤压在一起时,插件100可以自由地旋转。当杆在杆的一端与基部90的齿94啮合的齿处被强行分开时,则该杆将插件100锁紧在适当位置。基部90上的上部凸缘96可以用来支撑棘爪40。基部90上的底部凸缘98可以用于托架80的搬运。该托架的搬运要经过一个底部凸缘可以依靠或者结合的传送系统或者其他移动装置。该插件100的可选择的索引标志108可以用来随同导环60的可选择的刻度68将基部90的风度规92连接在一起,用于单一的调整和记录支撑棘爪40到托架上,并且在下文中详细描述。
继续进一步参见附图,附图5A至5B是柔性衬底张紧装置200的各种组件的装配顺序和柔性衬底张紧装置200的全张紧的柔性衬底操作的实施例的透视图。操作过程中,安装了框架的柔性衬底16可以设置在棘爪40的顶部部件50内的突出的半导体阴极金属心52上,从而该半导体阴极金属心配置在框架14的内部并且现对于柔性衬底10的底部。夹具20接着设置在安装有框架的柔性衬底16的顶部以便底脚24导向地穿过顶部部件50的孔54并且穿过环60的凹槽62内的底座开口61。刀口22与安装有框架的柔性衬底16的框架14连接。当导环60相对于棘爪40的顶部部件50旋转时,底脚24被凹槽62夹紧或者与其结合并且向下移动,并且通过弹簧或者凸轮动作的帮助,可操作地连接凹槽62的可通行的斜面以便该刀口22向下推动框架14,拉伸和张紧柔性衬底12到半导体阴极金属心52之上,此时底脚24提前与棘爪40的导环60结合。导环60的多个凹槽62与夹具20的多个底脚24结合并且引导多个底脚24同时前进以便提供给柔性衬底12均衡的张紧力。此外,多个齿64与勾爪70结合以便阻止夹具20超棘爪40移动并且使安装有框架的柔性衬底16固定在张紧的状态。这样,一旦安装有框架的柔性衬底16处于张紧位置,勾爪70即保持导环60在一个固定位置。该插件100可以接着通过导环60的交叉杆66旋转连接到凹槽102并且该急转40可以装配到托架80上。
为了帮助凹槽102连接到交叉杆66,基部90可以提供一个风度规92而导环60可以具有与风度规组合在一起的带凹槽的边缘以便风度规92与凹槽边缘连接。这样,具有一分度规的实施例可以让操作者将棘爪40装配到托架80以便通过计算凹槽边缘,测定相对于棘爪40的顶部部件50导环已经旋转的距离。该操作者可以接着旋转托架80的插件100以便排列基于凹槽边缘计算的总数的基部90上的风度规92的准确刻度线。因此,该棘爪40可以接着设置在带有预先与交叉杆66连接的凹槽102的托架80上。例如,齿94可以在基部90内的开口内部以1°间隔设置并且当插件100在任何一个方向上旋转时,齿94可以在45°角处断开用以提供与插件100的旋转锁闭装置104最大的啮合。该旋转锁闭装置104可以是弹簧承载制动机构用以协助该插件100的位置锁闭。该旋转锁闭装置104制动机构可以提供额外的齿与基部90内部上的齿94啮合,并且可以是弹簧承载用于方便解除。例如,解除装置的设置使人可以一只手用于解除制动机构,同时另一只手可以用于保持基部90的稳定以及插件100的重新定位。当人完成定位操作,制动机构可以被解除并且通过制动机构的作用,弹簧的承载可以保持插件100固定在理想的位置。
此外,为了进一步改进凹槽102与交叉杆66的连接,一个刻度68可以包含在导环60上。例如,操作者将棘爪40装配到托架80上来测定通过读取刻度68,测定相对于棘爪40的顶部部件50导环已经旋转的距离。该操作者可以接着旋转托架80的插件100以便基于刻度68指示的旋转总数,将插件100上的可选择的刻度108与基部90上的风度规92的准确刻度线整合。该棘爪40可以接着设置在带有预先与交叉杆66连接的凹槽102的托架80上。
通过使用柔性衬底张紧装置200的实施例,各种柔性衬底操作的优点都可以具备。例如,柔性衬底张紧装置200允许更加正确容易地控制安装在刚性框架14上的柔性衬底10的快速设置的张紧力。该衬底的张紧过程通过导环60的简单旋转而相对简单,对于张紧,迭片结构,外来的合金框架,可任意选择的组件以及复杂的操作都不再是必需的。此外,该柔性衬底张紧装置200的实施例可以完全机械化从而不需要气动。已经发现,该技术应用到柔性衬底张紧装置200有助于柔性衬底10的张紧再生或取消,如聚酰亚胺或者其他膜层,从而保证在处理过程前、中间或者过后的平整。而且,如介绍过得的制作、安装或者其他装卸工作所引起的起皱或者其他不平整状况的不受欢迎的缺点以及不是由于过多的材料的增加或者减少在标准的制造和装配过程中的不受欢迎的缺点可以通过使用柔性衬底张紧装置200的实施例而消除,从而允许柔性衬底10的准确记录用于图形,印刷,布置,回流、沉积或者任何其他的标准装配技术所需要的精确记录和/或显示系统的使用。
由棘爪40和/或托架80完成的另一个结构和功能的特征是不反射的,除了托架80的一个或者更多的角落之外。这个不反射设计的实施例的应用可以导致在托架80通过处理系统运输时,该系统可以通过使用如反射传感器或者红外传感器的装置对托架的出现和/或通过进行探测。该反射传感器可以包括一个光发射器和一个光敏感元件。当该反射传感器从光发射器发射光并且该托架80通过该反射传感器时,发射的光可以将反射到托架80的反射角落的光反射回反射传感器的光敏感元件,从而探测到托架80的出现和/或通过。
虽然本发明通过对上面具体实施例的略述得以描述,但是很显然,许多可选择的方式,修改和变形对于本领域的技术人员来说是显而易见的。因此,如上述的本发明的实施例是用于说明的,并不是加以限制。各种变化都没有脱离本发明的精神和范围。

Claims (7)

1.一种用于张紧安装在一框架上的柔性衬底的装置,包括:
一支撑该框架的棘爪;
一结合该棘爪的夹具,使该框架和柔性衬底配置在该棘爪和该夹具之间;
其中,当该夹具与该棘爪结合并向该棘爪方向前进时,该柔性衬底处于张紧状态。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:该夹具还包括多个刀口和多个底脚,该刀口向下挤压至衬底,在该底脚提前与棘爪结合时,张紧该衬底。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于:该棘爪还包括一个顶部部件,一导环和一勾爪,该环相对于该底部部件旋转并且靠该勾爪固定在适当的位置。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于:所述顶部部件还包括一半导体阴极金属心和多个孔,当所述多个底脚提前通过所述的多个孔与该棘爪结合时,该半导体阴极金属心沿着与所述刀口相反的方向挤压到所述柔性衬底。
5.根据权利要求2所述的装置,其特征在于:所述衬底的张紧力均衡出现。
6.根据权利要求4所述的装置,其特征在于:所述导环还包括多个凹槽和多个齿,所述多个凹槽与多个齿结合且导引多个底脚前进,所述多个齿与所述勾爪结合以便阻止该夹具向该棘爪移动并保证所述柔性衬底处于张紧状态。
7.一种安装在一框架上的柔性衬底的张紧方法,该方法包括:
提供一夹具,该夹具包括:多个刀口以及多个从所述夹具延伸的多个底脚;
提供一棘爪,该棘爪包括:一顶部部件和一导环
以及熟练操作该夹具和该棘爪,以便在所述夹具通过相对于所述棘爪的顶部部件旋转的导环向下拉动时,该柔性衬底依靠所述棘爪而处于拉伸状态。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104229728A (zh) * 2014-06-23 2014-12-24 西北工业大学 一种基于机械张紧方式的柔性衬底薄膜微加工方法及机械张紧装置和使用方法
CN111244018A (zh) * 2018-11-29 2020-06-05 中国科学院大连化学物理研究所 一种柔性太阳电池衬底夹具
CN115027155A (zh) * 2022-07-28 2022-09-09 深圳市东一圣科技有限公司 Pcb字符数码单次喷印装置
CN117123547A (zh) * 2023-08-31 2023-11-28 南通市嘉诚机械有限公司 一种轴承加工用清洗装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8234780B2 (en) * 2008-02-27 2012-08-07 Universal Instruments Corporation Substrate carrier system
US9004604B2 (en) * 2009-02-04 2015-04-14 L&P Property Management Company Installation of a textile deck assembly in an article of furniture
CN104360583B (zh) * 2009-09-30 2017-04-19 首尔大学校产学协力团 基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
US9211481B2 (en) * 2012-07-27 2015-12-15 Nb Tech Inc. Visual display system and method of constructing a high-gain reflective beam-splitter
US9507273B2 (en) 2013-05-01 2016-11-29 Advantech Global, Ltd Method and apparatus for tensioning a shadow mask for thin film deposition
US9309025B2 (en) * 2013-12-03 2016-04-12 Workshops for Warriors Securing loads to pallets
US20170095827A1 (en) * 2014-04-30 2017-04-06 Advantech Global, Ltd Universal Alignment Adapter
KR102014133B1 (ko) * 2018-06-15 2019-08-26 (주)프로템 전도성 기판 제조장치
KR102355199B1 (ko) 2020-07-30 2022-02-07 (주)에프테크놀로지 플렉시블 기판 인장 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1675065A (zh) * 2002-06-13 2005-09-28 诺瓦泰克股份有限公司 丝网印刷装置的支承系统和方法

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2194551A (en) * 1936-06-25 1940-03-26 Emi Ltd Means and method of producing flat surfaces
US3465408A (en) 1966-10-26 1969-09-09 Ibm Apparatus for forming and positioning
US3479716A (en) 1966-12-05 1969-11-25 Kulicke & Soffa Ind Inc Automatic dice dispenser for semiconductor bonding
US3584861A (en) * 1969-03-21 1971-06-15 Eastman Kodak Co Clamping device
DE2250093C2 (de) 1972-10-12 1983-01-05 Elmar Dipl.-Kfm. Dr. 8000 München Messerschmitt Verfahren zum gleichmäßigen Spannen eines Siebgewebes in einem Siebdruckrahmen und hierfür verwendetes Siebgewebe
GB2108015B (en) 1981-08-24 1985-03-06 Tdk Electronics Co Ltd Apparatus for mounting chip type circuit elements on printed circuit boards
US4721488A (en) * 1986-02-21 1988-01-26 Zenith Electronics Corporation Apparatus for tensing a shadow mask foil
NL8602563A (nl) 1986-10-13 1988-05-02 Philips Nv Inrichting voor het opnemen en plaatsen van componenten.
FR2608599B1 (fr) * 1986-12-17 1989-03-31 Elf Aquitaine Synthese de dithiols
US4896597A (en) 1987-02-20 1990-01-30 Riso Kagaku Corporation Screen printing apparatus
EP0355836A3 (en) * 1988-08-24 1991-05-02 TDK Corporation Apparatus for and method of automatically mounting electronic component on printed circuit board
DE4012989A1 (de) 1990-04-24 1991-10-31 Schenk Gmbh Vorrichtung zur halterung einer siebdruckmaschine
JP3017827B2 (ja) * 1991-03-26 2000-03-13 沖電気工業株式会社 ダイスボンディング装置におけるウエハリング保持機構
US5323528A (en) 1993-06-14 1994-06-28 Amistar Corporation Surface mount placement system
JP3274022B2 (ja) 1994-05-24 2002-04-15 ヤマハ発動機株式会社 電子部品の搬送搭載装置
US5667128A (en) 1995-10-02 1997-09-16 Motorola, Inc. Workstation for processing a flexible membrane
JP3655398B2 (ja) 1996-08-19 2005-06-02 松下電器産業株式会社 部品実装装置
US5891295A (en) 1997-03-11 1999-04-06 International Business Machines Corporation Fixture and method for carrying a flexible sheet under tension through manufacturing processes
DE19936445B4 (de) 1999-08-03 2004-03-04 SOCIéTé BIC Handgerät zum Übertragen eines Filmes von einem Trägerband auf ein Substrat
US6540950B1 (en) 2000-09-20 2003-04-01 Dahti, Inc. Carrier and attachment method for load bearing fabric
JP3332910B2 (ja) * 2000-11-15 2002-10-07 エヌイーシーマシナリー株式会社 ウェハシートのエキスパンダ
US6873347B2 (en) 2002-06-21 2005-03-29 Fuji Photo Film Co., Ltd Recording method and recording apparatus
US7132311B2 (en) 2002-07-26 2006-11-07 Intel Corporation Encapsulation of a stack of semiconductor dice
US7055875B2 (en) 2003-07-11 2006-06-06 Asyst Technologies, Inc. Ultra low contact area end effector
ITTO20030812A1 (it) * 2003-10-16 2005-04-17 Creare Org S R L Elemento allungato di un'intelaiatura per un sistema a pannello comprendente un materiale in foglio flessibile.
JP4285219B2 (ja) * 2003-12-02 2009-06-24 パナソニック株式会社 シート拡張装置
US7278459B2 (en) * 2004-06-24 2007-10-09 International Business Machines Corporation Common carrier
US20060090332A1 (en) 2004-10-28 2006-05-04 Vahid Taban Contactless conveyor system for the production of smart cards
US7319190B2 (en) 2004-11-10 2008-01-15 Daystar Technologies, Inc. Thermal process for creation of an in-situ junction layer in CIGS
CN2843841Y (zh) 2005-09-08 2006-12-06 东莞市凯格精密机械有限公司 全自动视觉印刷机pcb板夹具系统
FR2960094B1 (fr) 2010-05-12 2012-06-08 St Microelectronics Tours Sas Procede de fabrication de puces semiconductrices

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1675065A (zh) * 2002-06-13 2005-09-28 诺瓦泰克股份有限公司 丝网印刷装置的支承系统和方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104229728A (zh) * 2014-06-23 2014-12-24 西北工业大学 一种基于机械张紧方式的柔性衬底薄膜微加工方法及机械张紧装置和使用方法
CN104229728B (zh) * 2014-06-23 2017-07-07 西北工业大学 一种基于机械张紧方式的柔性衬底薄膜微加工方法及机械张紧装置和使用方法
CN111244018A (zh) * 2018-11-29 2020-06-05 中国科学院大连化学物理研究所 一种柔性太阳电池衬底夹具
CN115027155A (zh) * 2022-07-28 2022-09-09 深圳市东一圣科技有限公司 Pcb字符数码单次喷印装置
CN117123547A (zh) * 2023-08-31 2023-11-28 南通市嘉诚机械有限公司 一种轴承加工用清洗装置

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