JP4285219B2 - シート拡張装置 - Google Patents
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Description
る回転駆動手段とを備え、前記保持プレートを下降させることにより前記シートが前記筒状部に押しつけられた状態で前記ウェハリングを押し下げてシートを拡張する際には前記ナット部材の下面が前記凹部の底面部に当接し、前記保持プレートを上昇させることにより前記シートの前記筒状部への押しつけを解除する際には、前記ナット部材の上面が前記抜け止め手段に当接する。
グ19がベース部材4に回転自在に保持された状態では、開口部19aは開口部4aと略同心の位置にあり、噛み合い歯19bは昇降駆動軸12の下端部に結合された従動ギア20(歯車)に噛み合う。
昇させる駆動力が伝達される。この駆動力は保持プレート6やウェハリング7などの自重分を持ち上げるだけの小さな力でよいことから、簡易的な上押さえ部材24で必要な駆動力を支持することができる。
4 ベース部材
5 エキスパンドリング
6 保持プレート
7 ウェハリング
8 ウェハシート
9 半導体チップ
10 伝動機構
11 モータ
12 昇降駆動軸
12a 送りねじ部
19 ギアリング
20 従動ギア
21 カムフォロア
22 ナット部材
23 凹部
24 上押さえ部材
Claims (1)
- シート上に貼着された半導体チップを取り出すチップピックアップ装置において、ウェハリングに保持された前記シートを拡張するシート拡張装置であって、前記シートの拡張範囲に対応した大きさの第1の開口部を有し前記拡張範囲を前記第1の開口部に合わせた状態で前記ウェハリングを保持する保持プレートと、この保持プレートの下方に設けられ前記第1の開口部と略同心配置の第2の開口部を有するベース部材と、このベース部材に前記第2の開口部を囲んで上方に突出して設けられ前記第1の開口部を少なくとも部分的に通過可能な筒状部と、前記保持プレートの上面に前記第1の開口部を囲んだ配置で設けられた凹部と、この凹部内に上下方向およびまたは水平方向の遊びが許容された状態で収容され上面側を抜け止め手段によって保持されたナット部材と、前記ベース部材に前記ナット部材の位置に対応した配置で軸支され前記ナット部材に螺合する送りねじ部を有する複数の軸部材と、前記軸部材を伝動機構を介して回転駆動する回転駆動手段とを備え、
前記保持プレートを下降させることにより前記シートが前記筒状部に押しつけられた状態で前記ウェハリングを押し下げてシートを拡張する際には前記ナット部材の下面が前記凹部の底面部に当接し、前記保持プレートを上昇させることにより前記シートの前記筒状部への押しつけを解除する際には、前記ナット部材の上面が前記抜け止め手段に当接することを特徴とするシート拡張装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003402619A JP4285219B2 (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | シート拡張装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003402619A JP4285219B2 (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | シート拡張装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005166877A JP2005166877A (ja) | 2005-06-23 |
JP4285219B2 true JP4285219B2 (ja) | 2009-06-24 |
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JP (1) | JP4285219B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5082671B2 (ja) * | 2007-08-16 | 2012-11-28 | 富士通株式会社 | はんだ修正装置およびはんだ修正方法 |
JP2009059952A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Canon Machinery Inc | エキスパンド装置 |
US8490271B2 (en) * | 2007-12-10 | 2013-07-23 | Universal Instruments Corporation | Flexible substrate tensioner |
JP5083222B2 (ja) * | 2009-01-05 | 2012-11-28 | パナソニック株式会社 | パレット自動交換装置 |
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JP2005166877A (ja) | 2005-06-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130403 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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