KR102355199B1

KR102355199B1 - 플렉시블 기판 인장 장치

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Publication number: KR102355199B1
Application number: KR1020200094920A
Authority: KR
Inventors: 고영광; 이재영
Original assignee: (주)에프테크놀로지
Priority date: 2020-07-30
Filing date: 2020-07-30
Publication date: 2022-02-07

Abstract

본 발명은 플렉시블 기판 인장 장치에 관한 것으로, 특히 플렉시블 기판의 측부 하부면이 흡착된 상태에서 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면과 에지 부분의 상부면을 개별적으로 가압하여 클램핑한 후 플렉시블 기판이 양측으로 인장될 수 있도록 구성함으로써, 상대적으로 말리기 쉽고 구부러지기 쉬운 플렉시블 기판의 에지 부분에 대해서도 클램핑을 용이하게 수행할 수 있고 이로 인하여 플렉시블 기판의 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 플렉시블 기판 인장 장치에 관한 것이다.
본 발명인 플렉시블 기판 인장 장치를 이루는 구성수단은, 플렉시블 기판 인장 장치에 있어서, 상호 이격 배치되는 한 쌍의 베이스 플레이트, 상기 각 베이스 플레이트의 내측부에 형성되어 플렉시블 기판의 측부 하부면을 흡착하는 흡착 고정부, 상기 각 베이스 플레이트의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부에 흡착된 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하여 클램핑하는 사이드 클램핑 모듈, 상기 사이드 클램핑 모듈과 분리 형성되되, 상기 각 베이스 플레이트의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부에 흡착된 플렉시블 기판의 에지 부분 상부면을 가압하여 클램핑하는 에지 클램핑 모듈, 상기 각 베이스 플레이트를 외측 방향으로 이동시키는 제1 이동 모듈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

플렉시블 기판 인장 장치{Apparatus for tensioning flexible substrates}

본 발명은 플렉시블 기판 인장 장치에 관한 것으로, 특히 플렉시블 기판의 측부 하부면이 흡착된 상태에서 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면과 에지 부분의 상부면을 개별적으로 가압하여 클램핑한 후 플렉시블 기판이 양측으로 인장될 수 있도록 구성함으로써, 상대적으로 말리기 쉽고 구부러지기 쉬운 플렉시블 기판의 에지 부분에 대해서도 클램핑을 용이하게 수행할 수 있고 이로 인하여 플렉시블 기판의 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 플렉시블 기판 인장 장치에 관한 것이다.

플렉시블 기판은 미세 패턴 형성이 쉽고 굴곡성이 뛰어 나기 때문에 현재는 디스플레이, TV, LCD 등 다양한 부분에 사용되고 있다. 이와 같은 플렉시블 기판은 필름 형태의 기판으로서 말리고 구부러지는 성질을 가지고 있다. 필름 형태의 플렉시블 기판은 다양한 제품 제조 과정에서 검사 공정을 수행받을 수 있다.

즉, 상기 필름 형태의 플렉시블 기판은 표면상에 오염, 이물질, 얼룩 등이 있는지 또는 스크래치 등 손상이 있는지에 대해 광학 장비를 통해 검사를 수행받을 수 있고, 더 나아가 회로 패턴에 이상이 없는지에 대해 검사를 수행받을 수 있다.

상기 필름 형태의 플렉시블 기판에 대해 특정 검사를 수행하기 위해서, 상기 필름 형태의 플렉시블 기판은 검사 과정에서 평평하게 펼쳐진 상태를 유지할 필요가 있다. 즉, 상기 필름 형태의 플렉시블 기판은 말리거나 구부러지는 성질이 강하기 때문에, 평평하게 펼치는 과정을 수행하지 않고 검사 공정을 수행하면 정확하고 정상적인 검사를 수행할 수 없다. 따라서, 상기 필름 형태의 플렉시블 기판에 대한 특정 검사를 수행하기 위해서, 상기 필름 형태의 플렉시블 기판에 인장력을 가하여 평평하게 펼쳐진 상태를 유지시킬 필요가 있다.

이에 관련하여, 대한민국 등록특허 제10-1531401호(이하, "선행기술문헌"이라 함)는 표면 탑재 제품 혹은 처리 단계의 제작과 조립을 위하여 가요성 기판의 용이하고도 정확하게 제어된 고정, 인장 및 보조적인 처리를 위한 장치 및 방법을 제시하고 있다. 즉 상기 선행기술문헌은 인장 장치에 탑재된 상태에서 처리 전, 처리 동안 및 처리 후에 기판 평탄도를 확보하고 가요성 기판을 재현가능하면서 가역적으로 인장시키는 것을 돕는 장치 및 방법을 제시하고 있다.

상기 선행기술문헌은 단순히 가요성 기판을 인장시키는 일반적인 장치 구조를 제시하고 있을 뿐, 말리고 구부러지는 성질을 가지는 필름 형태의 플렉시블 기판을 용이하게 클램핑하여 인장시키는 구조 및 방법에 대한 기술적 방안을 제시하지 못하고 있다.

특히 필름 형태의 플렉시블 기판은 측부에서 말리고 구부러지는 성질이 강하고 특히 에지 부분에서 말리고 구부러지는 성질이 매우 강하기 때문에, 에지 부분에 대해 효율적이고 용이하게 클램핑할 수 있는 기술적 방안이 제시될 필요가 있으나 현재까지 이러한 방안이 구체적으로 제시되지 못하고 있는 실정이다.

대한민국 등록특허 제10-1531401호(공고일자 : 2015년 06월 24일, 발명의 명칭 : 가요성 기판 인장장치 및 인장방법)

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 플렉시블 기판의 측부 하부면이 흡착된 상태에서 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면과 에지 부분의 상부면을 개별적으로 가압하여 클램핑한 후 플렉시블 기판이 양측으로 인장될 수 있도록 구성함으로써, 상대적으로 말리기 쉽고 구부러지기 쉬운 플렉시블 기판의 에지 부분에 대해서도 클램핑을 용이하게 수행할 수 있고 이로 인하여 플렉시블 기판의 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 플렉시블 기판 인장 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 사이드 클램핑 모듈과 에지 클램핑 모듈이 내외측 방향으로 이동될 수 있도록 구성함으로써, 플렉시블 기판이 간섭 없이 용이하게 흡착 고정부에 안착되어 흡착될 수 있도록 하고, 이로 인하여 플렉시블 기판에 대한 클램핑과 인장 효율이 향상될 수 있도록 하는 플렉시블 기판 인장 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 플렉시블 기판의 측부 상부면을 가압하는 사이드 가압부와 에지 가압부가 회동 동작을 통하여 그 내측부가 승하강할 수 있도록 구성됨으로써, 플렉시블 기판의 측부 상부면에 대한 클램핑과 언클램핑이 용이하게 수행될 수 있도록 하는 플렉시블 기판 인장 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하는 사이드 가압부와 에지 부분을 가압하는 에지 가압부를 분리 배치하고, 상기 사이드 가압부가 우선적으로 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압한 후 상기 에지 가압부가 에지 부분을 가압하도록 동작 구동함으로써, 플렉시블 기판이 말리거나 구부러진 상태에서 클램핑되는 것을 방지하고 이를 통해 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 플렉시블 기판 인장 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 플렉시블 기판 인장 장치를 이루는 구성수단은, 플렉시블 기판 인장 장치에 있어서, 상호 이격 배치되는 한 쌍의 베이스 플레이트, 상기 각 베이스 플레이트의 내측부에 형성되어 플렉시블 기판의 측부 하부면을 흡착하는 흡착 고정부, 상기 각 베이스 플레이트의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부에 흡착된 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하여 클램핑하는 사이드 클램핑 모듈, 상기 사이드 클램핑 모듈과 분리 형성되되, 상기 각 베이스 플레이트의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부에 흡착된 플렉시블 기판의 에지 부분 상부면을 가압하여 클램핑하는 에지 클램핑 모듈, 상기 각 베이스 플레이트를 외측 방향으로 이동시키는 제1 이동 모듈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 사이드 클램핑 모듈과 상기 에지 클램핑 모듈이 지지되어 장착되도록 하는 지지 플레이트를 더 구비하고, 상기 지지 플레이트는 상기 베이스 플레이트 상에 장착되는 제2 이동 모듈에 의하여 내외측 방향으로 이동되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 사이드 클램핑 모듈은 상기 지지 플레이트의 내측부에 회동 가능하게 결합되는 사이드 가압부를 포함하되, 상기 사이드 가압부의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 접촉 가압하는 사이드 접촉부가 구비되고, 상기 사이드 가압부는 상기 사이드 접촉부가 승하강되도록 구동되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 에지 클램핑 모듈은 상기 사이드 가압부와 분리되어 상기 지지 플레이트의 내측부에 회동 가능하게 결합되는 에지 가압부를 포함하되, 상기 에지 가압부의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판의 에지 부분 상부면을 접촉 가압하는 에지 접촉부가 구비되고, 상기 에지 가압부는 상기 에지 접촉부가 승하강되도록 구동되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 과제 및 해결 수단을 가지는 본 발명인 플렉시블 기판 인장 장치에 의하면, 플렉시블 기판의 측부 하부면이 흡착된 상태에서 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면과 에지 부분의 상부면을 개별적으로 가압하여 클램핑한 후 플렉시블 기판이 양측으로 인장될 수 있도록 구성하기 때문에, 상대적으로 말리기 쉽고 구부러지기 쉬운 플렉시블 기판의 에지 부분에 대해서도 클램핑을 용이하게 수행할 수 있고 이로 인하여 플렉시블 기판의 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 장점이 발생된다.

또한, 본 발명에 의하면, 사이드 클램핑 모듈과 에지 클램핑 모듈이 내외측 방향으로 이동될 수 있도록 구성하기 때문에, 플렉시블 기판이 간섭 없이 용이하게 흡착 고정부에 안착되어 흡착될 수 있도록 하고, 이로 인하여 플렉시블 기판에 대한 클램핑과 인장 효율이 향상될 수 있도록 하는 효과가 발생한다.

또한, 본 발명에 의하면, 플렉시블 기판의 측부 상부면을 가압하는 사이드 가압부와 에지 가압부가 회동 동작을 통하여 그 내측부가 승하강할 수 있도록 구성되기 때문에, 플렉시블 기판의 측부 상부면에 대한 클램핑과 언클램핑이 용이하게 수행될 수 있도록 하는 효과가 발생한다.

또한, 본 발명에 의하면, 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하는 사이드 가압부와 에지 부분을 가압하는 에지 가압부를 분리 배치하고, 상기 사이드 가압부가 우선적으로 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압한 후 상기 에지 가압부가 에지 부분을 가압하도록 동작 구동하기 때문에, 플렉시블 기판이 말리거나 구부러진 상태에서 클램핑되는 것을 방지하고 이를 통해 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 장점이 발생된다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 일측에 대한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 일부분에 대한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 일부분에 대한 저면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치를 구성하는 에지 클램핑 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치를 구성하는 제1 이동 모듈의 개략적인 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 플렉시블 기판 인장 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 동작 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 동작이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 일측에 대한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 일부분에 대한 사시도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치의 일부분에 대한 저면도이다.

본 발명에 따른 플렉시블 기판 인장 장치(100)는 플렉시블 기판(1)의 양 측부를 클램핑하여 인장하는 장치에 해당하기 때문에, 도 1에 도시된 바와 같이, 동일한 구성이 양측에 서로 마주보도록 배치된다. 도 2는 도 1의 일측에 대한 사시도를 보여주는 것이고, 도 3 및 도 4는 본원발명의 구성요소인 사이드 클램핑 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)이 지지 플레이트(80)에 장착된 상태의 사시도 및 저면도를 보여주고 있다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 기판 인장 장치(100)는 플렉시블 기판(1)을 사이에 두고 양측에 배치되는 한 쌍의 동일한 구성품으로 구성된다.

구체적으로, 본 발명에 따른 플렉시블 기판 인장 장치(100)는 한 쌍의 베이스 플레이트(60), 각 베이스 플레이트(60)의 내측부에 형성되는 흡착 고정부(61), 각 베이스 플레이트(60)의 상부에 배치되는 사이드 클램핑 모듈(10), 각 베이스 플레이트(60)의 상부에 배치되되 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 분리되어 형성되는 에지 클램핑 모듈(30) 및 상기 각 베이스 플레이트(60)를 외측 방향으로 이동시키는 제1 이동 모듈(50)을 포함하여 구성된다.

상기 한 쌍의 베이스 플레이트(60)는 클램핑되어 인장될 플렉시블 기판(1)이 사이에 위치할 수 있도록 상호 이격 배치된다. 상기 베이스 플레이트(60)는 평평한 판 형상을 가지고 수평하게 배치된다. 따라서, 상기 한 쌍의 베이스 플레이트(60)는 상호 내측부가 대향된 상태로 수평하게 배치된다.

여기서 상기 내측부는 상기 플렉시블 기판(1)이 위치하는 방향을 향하는 측부를 의미한다. 한편, 이하에서 사용된 내측 방향은 상기 플렉시블 기판(1)을 향하는 방향을 의미하고, 외측 방향은 상기 플렉시블 기판(1)에서 멀어지는 방향을 의미한다. 즉, 상기 한 쌍의 베이스 플레이트(60)가 서로 내측 방향으로 이동하면 상호 가까워지게 되고, 서로 외측 방향으로 이동하면 상호 멀어지게 된다.

상기 각 베이스 플레이트(60)의 내측부에는 플렉시블 기판(1)의 측부 하부면을 흡착 고정부(61)가 형성된다. 즉, 상기 흡착 고정부(61)는 상기 각 베이스 플레이트(60)의 내측부에 형성되어 플렉시블 기판(1)의 측부 하부면을 흡착하는 동작을 수행한다. 상기 흡착 고정부(61)는 상기 각 베이스 플레이트(60)의 내측부에 형성되기 때문에, 상기 플렉시블 기판(1)의 양 측부의 하부면은 상기 흡착 고정부(61)에 의해 흡착 고정된 상태를 유지할 수 있다.

상기 플렉시블 기판(1)은 다양한 로딩 방법에 의해 양 측부가 대응하는 흡착 고정부(61)에 안착되어 흡착 고정된 상태를 유지할 수 있다. 예를 들어, 상기 플렉시블 기판(1)은 필름 형태이기 때문에 비접촉 이송 방식, 즉 부상시켜 이송하는 플로팅 이송 방식을 통해 양 측부가 대응하는 흡착 고정부(61) 상에 위치하도록 이송시킬 수 있고, 이후 상기 플렉시블 기판(1)의 양 측부가 대응하는 흡착 고정부(61) 상에 안착되도록 한 상태에서 진공 흡착이 발생되도록 구동하여 상기 플렉시블 기판(1)의 양 측부의 하부면을 흡착 고정할 수 있다.

상기 흡착 고정부(61)는 상기 베이스 플레이트(60)의 내측부에 형성되고 상기 플렉시블 기판(1)의 하부면을 진공 흡착하는 동작을 수행하기 때문에, 상기 흡착 고정부(61) 내부에는 진공 라인이 형성되고, 상기 베이스 플레이트(60) 자체 또는 상부 또는 하부에는 상기 흡착 고정부(61)의 진공 흡착 동작을 위한 진공 라인, 진공 펌프 등이 배치될 수 있다.

상기 흡착 고정부(61)는 상기 베이스 플레이트(60)의 내측부를 따라 플렉시블 기판(1)의 이송 방향을 따라 길게 형성되되, 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 하부면을 모두 흡착할 수 있도록 형성된다.

상기 흡착 고정부(61)에 측부 하부면이 흡착 고정된 상태의 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면은 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)에 의하여 가압되어 클램핑된다. 이와 같이, 본 발명에서는 하나의 클램핑 모듈만을 채택 적용하는 것이 아니라, 사이드 클램핑 모듈(10)과 별도로 에지 클램핑 모듈(30)을 구비하되, 상기 에지 클램핑 모듈(30)은 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 분리되도록 배치되고, 개별적으로 구동될 수 있도록 구성된다.

상기 사이드 클램핑 모듈(10)은 상기 각 베이스 플레이트(60)의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부(61)에 흡착된 플렉시블 기판(1)의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하는 동작을 수행한다. 여기서 상기 에지 부분은 상기 플렉시블 기판(10)의 각 측부의 양 모서리 부분을 의미한다. 상기 플렉시블 기판(10)은 일반적으로 사각 형상을 가지기 때문에, 상기 에지 부분은 플렉시블 기판(10)의 네 귀퉁이 부분에 해당하는 네군데 모서리 부분을 의미한다.

상기 에지 부분은 상기 플렉시블 기판(1)의 측부에서 상대적으로 작은 부분에 해당하기 때문에, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)에 의하여 상기 플렉시블 기판(10)의 측부 상부면은 대부분 클램핑된다. 그런데, 플렉시블 기판(10)은 네 모서리 부분, 즉 네 에지 부분에서 상대적으로 더 말리고 구부러지는 특성을 가진다. 따라서, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)만으로 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면 전체(에지 부분을 포함하는 측부 상부면 전체)를 가압하여 클램핑하면, 에지 부분에서 정상적으로 클램핑되지 않은 경우가 발생할 수 있고, 이로 인하여 플렉시블 기판(1)에 대한 인장 역시 정상적으로 진행되지 못하는 경우가 발생할 수 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 플렉시블 기판 인장 장치(100)는 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 별개로 분리 구비되고 별개로 동작하는 에지 클램핑 모듈(30)을 채택 적용한다.

상기 에지 클램핑 모듈(30)은 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 분리 형성되되, 상기 각 베이스 플레이트(60)의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부(61)에 흡착된 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면을 가압하여 클램핑하는 동작을 수행한다.

상기 에지 클램핑 모듈(30)은 각 베이스 플레이트(60)의 양측 상부에 각각 배치되어 상기 플렉시블 기판(1)의 측부에 대한 양측 에지 부분 상부면을 가압하여 클램핑하는 동작을 수행한다. 상기 에지 클램핑 모듈(30)은 각 베이스 플레이트(60)의 양측 상부에 각각 배치되기 때문에, 플렉시블 기판(1)의 네 모서리 부분에 대응하여 총 네개로 구성된다.

상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 상기 에지 클램핑 모듈(30)에 의하여 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면이 모두 가압되어 클램핑되면, 상기 플렉시블 기판(1)의 양 측부를 댕겨서 펼쳐주는 동작 즉, 인장 동작을 수행한다.

이를 위하여, 상기 각 베이스 플레이트(60)를 외측 방향으로 이동시킬 수 있는 제1 이동 모듈(50)이 채택 적용된다. 즉, 상기 제1 이동 모듈(50)은 상기 각 베이스 플레이트(60)를 외측 방향으로 이동시키는 동작을 수행한다.

상기 플렉시블 기판(1)의 측부는 상기 각 베이스 플레이트(60)의 내측부에 형성되는 상기 흡착 고정부(61)와 상기 각 베이스 플레이트(60) 상부에 배치되는 사이드 클램핑 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)에 의하여 흡착 고정 및 가압 클램핑된 상태를 유지하기 때문에, 양 측에 배치되는 한 쌍의 베이스 플레이트(60) 각각을 외측 방향으로 이동시키면 상기 한 쌍의 베이스 플레이트(60)가 서로 멀어지면서 상기 플렉시블 기판(1)의 양 측부가 외측 방향으로 당겨진다. 결과적으로, 상기 플렉시블 기판(1)은 양 측부에서 외측 방향으로 당겨지는 인장력에 의해 평평하게 펼쳐질 수 있다.

상기 제1 이동 모듈(50)은 상기 각 베이스 플레이트(60)를 외측 방향으로 이동시키는 동작을 수행하기 때문에, 각 베이스 플레이트(60)의 하부에 배치되는 것이 바람직하다. 물론, 상기 제1 이동 모듈(50)은 상기 플렉시블 기판(1)에 대해 미세한 인장력을 미치게 하여 평평하게 펼쳐지게 할 수 있을 정도로만 상기 각 베이스 플레이트(60)를 외측 방향으로 미세하게 이동할 수 있도록 구동한다.

상기 제1 이동 모듈(50)은 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 구동부(51), 제1 연결체(53) 및 제1 슬라이딩 조립체(55)를 포함하여 구성될 수 있다. 물론, 상기 제1 이동 모듈(50)은 평평한 플레이트, 즉 고정 플레이트(57) 상에 장착 배치될 수 있다.

상기 제1 구동부(51)는 전후진 구동력을 발생한다. 상기 제1 구동부(51)는 모터, 실린더 등 다양한 구동력 발생기로 구성될 수 있다. 상기 제1 구동부(51)는 상기 고정 플레이트(57) 상에 고정 장착된다. 상기 제1 연결체(53)는 상기 제1 구동부(51)의 구동력에 따라 전후진될 수 있도록 구성 배치되고 상기 베이스 플레이트(60)의 하부면에 고정 결합된다. 따라서, 상기 제1 구동부(51)의 구동력에 따라 상기 제1 연결체(53)는 전후진될 수 있고, 결과적으로 상기 제1 연결체(53)에 결합된 상기 베이스 플레이트(60)는 전후진될 수 있다.

상기 베이스 플레이트(60)의 전후진 이동이 안정적이고 원활하게 진행될 수 있도록 상기 제1 슬라이딩 조립체(55)가 상기 고정 플레이트(57)와 상기 베이스 플레이트(60) 사이에 개재되어 결합된다. 즉, 상기 제1 슬라이딩 조립체(55)는 상기 고정 플레이트(57)와 상기 베이스 플레이트(60)를 서로 연결하되, 상기 베이스 플레이트(60)가 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성된다. 예를 들어, 상기 제1 슬라이딩 조립체(55)는 레일과 가이드로 구성될 수 있고, 이 경우에, 상기 레일은 상기 고정 플레이트(57)의 상부면에 고정 장착되고, 상기 가이드는 상기 레일에 슬라이딩 가능하도록 맞물려 장착되되 상기 베이스 플레이트(60)의 하부면에 고정 장착된다.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 플렉시블 기판 인장 장치에 의하면, 플렉시블 기판의 측부 하부면이 흡착된 상태에서 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면과 에지 부분의 상부면을 개별적으로 가압하여 클램핑한 후 플렉시블 기판이 양측으로 인장될 수 있도록 구성하기 때문에, 상대적으로 말리기 쉽고 구부러지기 쉬운 플렉시블 기판의 에지 부분에 대해서도 클램핑을 용이하게 수행할 수 있고 이로 인하여 플렉시블 기판의 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 장점이 발생된다.

한편, 상기 플렉시블 기판(1)이 이송되어 상기 흡착 고정부(61)에 흡착 고정되는 과정에서, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 상기 에지 클램핑 모듈(30)은 상기 플렉시블 기판(1)의 이송에 간섭을 주지 않고 더 나아가 상기 플렉시블 기판(1)의 양 측부가 상기 흡착 고정부(61)에 안착되는 것에 간섭을 주지 않아야 한다. 물론, 상기 플렉시블 기판(1)이 정교하게 상기 흡착 고정부(61)에 안착되도록 이송되면 문제 없지만, 역시 이것은 플렉시블 기판(1)의 이송 및 안착에 어려움을 줄 수 있고, 경우에 따라서는 제대로 안착될 수 없는 경우가 발생할 수 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 플렉시블 기판 인장 장치(100)는 별도의 지지 플레이트(80)를 구비하고, 이 지지 플레이트(80)에 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 상기 에지 클램핑 모듈(30)이 장착되도록 하며, 상기 지지 플레이트(80)가 제2 이동 모듈(70)에 의해 내외측 방향으로 이동될 수 있도록 구성한다. 즉, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 상기 에지 클램핑 모듈(30)이 지지되어 장착되도록 하는 지지 플레이트(80)를 더 구비하고, 상기 지지 플레이트(80)는 상기 베이스 플레이트(60) 상에 장착되는 제2 이동 모듈(70)에 의하여 내외측 방향으로 이동되도록 구성된다.

이와 같이, 상기 지지 플레이트(80)는 고정된 상태로 배치되는 것이 아니라 상기 베이스 플레이트(60) 상에서 내외측 방향으로 이동 가능하게 장착 배치된다. 이를 위하여, 상기 제2 이동 모듈(70)은 상기 베이스 플레이트(60) 상에 장착되고, 상기 지지 플레이트(80)를 하부에서 지지한 상태로 내외측 방향으로 이동시키는 동작을 수행한다.

상기 제2 이동 모듈(70)은 상기 지지 플레이트(80)를 내외측 방향으로 이동시키는 동작을 수행하기 때문에, 상기 지지 플레이트(80)의 하부에 배치되는 것이 바람직하다. 물론, 상기 제2 이동 모듈(70)은 상기 지지 플레이트(80)에 장착되는 상기 사이드 클램프 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)이 상기 플렉시블 기판(1)의 이송과 상기 흡착 고정부(61)로의 안착에 장애가 되지 않는 위치로 물러나도록 구동하고(이 경우에는 외측 방향으로 이동되도록 구동), 상기 플렉시블 기판(1)이 상기 흡착 고정부(61)에 흡착된 상태에서 상기 사이드 클램프 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)이 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면을 가압 클램핑할 수 있는 위치로 이동하도록 구동한다(이 경우에는 내측 방향으로 이동되도록 구동).

상기 제2 이동 모듈(70)은 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 구동부(71)와 제2 슬라이딩 조립체(75)를 포함한다. 물론, 상기 제2 이동 모듈(70)은 상기 지지 플레이트(80)의 하부에 연결되어 상기 제2 구동부(71)의 구동에 따라 상기 지지 플레이트(80)가 이동되도록 하는 제2 연결체(미도시)를 구비하고, 평평한 플레이트, 즉 베이스 플레이트(60) 상에 장착 배치될 수 있다.

상기 제2 구동부(71)는 전후진 구동력을 발생한다. 상기 제2 구동부(71)는 모터, 실린더 등 다양한 구동력 발생기로 구성될 수 있다. 상기 제2 구동부(71)는 상기 베이스 플레이트(60) 상에 고정 장착된다. 상기 제2 연결체(미도시)는 상기 제2 구동부(71)의 구동력에 따라 전후진될 수 있도록 구성 배치되고 상기 지지 플레이트(80)의 하부면에 고정 결합된다. 따라서, 상기 제2 구동부(71)의 구동력에 따라 상기 제2 연결체는 전후진될 수 있고, 결과적으로 상기 제2 연결체에 결합된 상기 지지 플레이트(80)는 전후진될 수 있다.

상기 지지 플레이트(80)의 전후진 이동이 안정적이고 원활하게 진행될 수 있도록 상기 제2 슬라이딩 조립체(75)가 상기 지지 플레이트(80)와 상기 베이스 플레이트(60) 사이에 개재되어 결합된다. 즉, 상기 제2 슬라이딩 조립체(75)는 상기 지지 플레이트(80)와 상기 베이스 플레이트(60)를 서로 연결하되, 상기 지지 플레이트(80)가 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성된다. 예를 들어, 상기 제2 슬라이딩 조립체(75)는 레일과 가이드로 구성될 수 있고, 이 경우에, 상기 레일은 상기 베이스 플레이트(60)의 상부면에 고정 장착되고, 상기 가이드는 상기 레일에 슬라이딩 가능하도록 맞물려 장착되되 상기 지지 플레이트(80)의 하부면에 고정 장착된다.

이와 같은 구성을 통하여 상기 플렉시블 기판(1)의 이송 및 상기 흡착 고정부(61)로의 안착이 수행되는 과정에서, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)은 상기 제2 이동 모듈(70)의 구동에 따라 후진, 즉 외측 방향으로 물러난 상태에 위치하도록 이동될 수 있고, 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 하단이 상기 흡착 고정부(61)에 흡착 고정되면, 상기 제2 이동 모듈(70)의 구동에 따라 전진, 즉 내측 방향으로 이동하여 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면을 가압 클램핑할 수 있는 위치로 이동될 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 사이드 클램핑 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)이 내외측 방향으로 이동될 수 있도록 구성하기 때문에, 플렉시블 기판(1)이 간섭 없이 용이하게 흡착 고정부(61)에 안착되어 흡착될 수 있도록 하고, 이로 인하여 플렉시블 기판(1)에 대한 클램핑과 인장 효율이 향상될 수 있도록 하는 효과가 발생한다.

한편, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 상기 에지 클램핑 모듈(30)은 각각 분리된 상태로 상기 지지 플레이트(80) 장착되되, 각각 상기 지지 플레이트(80)에 일측이 회동 가능하게 힌지 결합되고 상기 일측의 회동 동작에 따라 타측이 승하강되어 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면을 덮어서 가압 클램핑하거나 또는 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면으로부터 상승 이격되어 언클램핑하는 동작을 수행할 수 있다.

이를 위하여, 본 발명에 따른 상기 사이드 클램핑 모듈(10)은 도 3 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지지 플레이트(80)의 내측부에 회동 가능하게 결합되는 사이드 가압부(11)를 포함하되, 상기 사이드 가압부(11)의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판(1)의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 접촉 가압하는 사이드 접촉부(12)가 구비되고, 상기 사이드 가압부(11)는 상기 사이드 접촉부(12)가 승하강되도록 구동된다.

상기 사이드 가압부(11)는 전체적으로 플레이트 형상을 가지되, 일측은 상기 지지 플레이트(80)의 내측부에 힌지 결합되어 회동 가능하게 결합된다. 상기 사이드 가압부(11)는 구동 모터(13)의 구동에 따라 동작하는 사이드 연결부(15)에 의하여 가동될 수 있다. 구체적으로, 상기 사이드 가압부(11)는 일측이 회동되어 타측이 승하강되도록 구동된다. 결과적으로, 상기 사이드 가압부(11)의 타측은 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면, 구체적으로 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압할 수 있다.

상기 구동 모터(13)의 구동에 따라 동작하는 상기 사이드 연결부(15)에 의하여 가동되는 상기 사이드 가압부(11)는 그 내측부를 통해 상기 플렉시블 기판(1)의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 접촉 가압한다. 이 때, 상기 사이드 가압부(11)는 그 내측부를 통해 상기 플렉시블 기판(1)에 스크래치 또는 찍힘 등의 손상을 가하지 않도록 가압 클램핑할 필요가 있다. 이를 위하여, 상기 사이드 가압부(11)의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판(1)의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 접촉 가압하는 사이드 접촉부(12)가 구비된다. 여기서 상기 사이드 접촉부(12)는 상기 플렉시블 기판(1)에 점 접촉되어 가압할 수 있도록 상호 이격 배치되는 접촉핀 형상을 가지는 것이 바람직하다. 상기 접촉핀 형상의 사이드 접촉부(12)는 상기 플렉시블 기판(1)에 손상을 주지 않고 미끄러지지 않는 재질, 예를 들어 고무 재질 등으로 형성될 수 있다.

상기 구동 모터(13)는 상기 사이드 연결부(15)에 구동력을 발생하여 전달하는 동작을 수행한다. 상기 사이드 연결부(15)는 상기 사이드 가압부(11)에 연결되어 있다. 따라서, 상기 구동 모터(13)가 구동력을 발생하면 이 구동력은 상기 사이드 연결부(15)에 전달되고, 결과적으로 상기 가이드 가압부(11)는 일측이 회동되어 타측이 승하강할 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기와 같이 구성되는 사이드 클램핑 모듈(10)은 상기 지지 플레이트(80)에 지지된 상태로 장착되어 상기 제2 이동 모듈(70)의 구동에 따라 내외측 방향으로 이동될 수 있다. 이와 같이, 상기 사이드 클램핑 모듈(10)은 상기 지지 플레이트(80)에 장착된 상태이고 상기 베이스 플레이트(60)에서 이격된 상태를 유지한다. 이를 위하여, 상기 구동 모터(13)는 제1 결합 프레임(19)를 통해 상기 지지 플레이트(80)에 고정 장착된다. 결과적으로, 상기 제2 이동 모듈(70)의 구동에 따라 상기 구동 모터(13) 및 이를 포함하는 사이드 클램핑 모듈(10)은 상기 지지 플레이트(80)와 함께 이동될 수 있다.

이와 같이 구성 및 배치되는 상기 사이드 클램핑 모듈(10)과 별도로 에지 클램핑 모듈(30)이 상기 지지 플레이트(80)에 장착된다. 구체적으로, 본 발명에 따른 상기 에지 클램핑 모듈(30)은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 사이드 가압부(11)와 분리되어 상기 지지 플레이트(80)의 내측부에 회동 가능하게 결합되는 에지 가압부(31)를 포함하되, 상기 에지 가압부(31)의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면을 접촉 가압하는 에지 접촉부(32)가 구비되고, 상기 에지 가압부(31)는 상기 에지 접촉부(32)가 승하강되도록 구동된다.

상기 에지 가압부(31)는 플레이트 조각 형상을 가지되, 일측은 상기 지지 플레이트(80)의 내측부에 힌지 결합되어 회동 가능하게 결합된다. 상기 에지 가압부(31)는 구동 실린더(33)의 구동에 따라 동작하는 에지 연결부(35)에 의하여 가동될 수 있다. 구체적으로, 상기 에지 가압부(31)는 일측이 회동되어 타측이 승하강되도록 구동된다. 결과적으로, 상기 에지 가압부(31)의 타측은 상기 플렉시블 기판(1)의 측부 상부면, 구체적으로 에지 부분의 상부면을 가압할 수 있다.

상기 구동 실린더(33)의 구동에 따라 동작하는 상기 에지 연결부(35)에 의하여 가동되는 상기 에지 가압부(31)는 그 내측부를 통해 상기 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면을 접촉 가압한다. 이 때, 상기 에지 가압부(31)는 그 내측부를 통해 상기 플렉시블 기판(1)에 스크래치 또는 찍힘 등의 손상을 가하지 않도록 가압 클램핑할 필요가 있다. 이를 위하여, 상기 에지 가압부(31)의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면을 접촉 가압하는 에지 접촉부(32)가 구비된다. 여기서 상기 에지 접촉부(32)는 상기 플렉시블 기판(1)에 선 접촉되어 가압할 수 있도록 상호 이격 배치되는 접촉날 형상을 가지는 것이 바람직하다. 상기 접촉날 형상의 에지 접촉부(32)는 상기 플렉시블 기판(1)에 손상을 주지 않고 미끄러지지 않는 재질, 예를 들어 고무 재질 등으로 형성될 수 있다.

상기 접촉날 형상의 에지 접촉부(32)는 가압 과정에서도 일정한 형상을 유지할 수 있도록 사각 형상을 가지되, 가압하는 과정에서 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면에 선 접촉할 수 있도록 하부면이 경사지도록 형성된다. 이와 같은 형상을 통해 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면에 선 접촉으로 가압하고 미끄러지지 않은 상태를 유지할 수 있다.

상기 구동 실린더(33)는 상기 에지 연결부(35)에 구동력을 발생하여 전달하는 동작을 수행한다. 상기 에지 연결부(35)는 상기 에지 가압부(31)에 연결되어 있다. 따라서, 상기 구동 실린더(33)가 구동력을 발생하면 이 구동력은 상기 에지 연결부(35)에 전달되고, 결과적으로 상기 에지 가압부(31)는 일측이 회동되어 타측이 승하강할 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기와 같이 구성되는 에지 클램핑 모듈(30)은 상기 지지 플레이트(80)에 지지된 상태로 장착되어 상기 제2 이동 모듈(70)의 구동에 따라 내외측 방향으로 이동될 수 있다. 이와 같이, 상기 지지 클램핑 모듈(30)은 상기 지지 플레이트(80)에 장착된 상태이고 상기 베이스 플레이트(60)에서 이격된 상태를 유지한다. 이를 위하여, 상기 구동 실린더(33)는 제2 결합 프레임(39)를 통해 상기 지지 플레이트(80)에 고정 장착된다. 결과적으로, 상기 제2 이동 모듈(70)의 구동에 따라 상기 구동 실린더(33) 및 이를 포함하는 에지 클램핑 모듈(30)은 상기 지지 플레이트(80)와 함께 이동될 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 플렉시블 기판의 측부 상부면을 가압하는 사이드 가압부와 에지 가압부가 회동 동작을 통하여 그 내측부가 승하강할 수 있도록 구성되기 때문에, 플렉시블 기판의 측부 상부면에 대한 클램핑과 언클램핑이 용이하게 수행될 수 있도록 하는 효과가 발생한다.

한편, 본 발명에 따른 사이드 클램핑 모듈(10)과 에지 클램핑 모듈(30)은 서로 분리되고 별도로 구동되도록 구성 및 배치되되, 반드시 사이드 클램핑 모듈(10)의 사이드 가압부(11)에 의하여 플렉시블 기판(1)의 측부 중, 에지 부분을 제외한 상부면이 먼저 가압되도록 구동하고, 이후 에지 클램핑 모듈(30)의 에지 가압부(31)에 의하여 플렉시블 기판(1)의 에지 부분 상부면이 가압되도록 구동한다.

상기 플렉시블 기판(1)은 모서리 부분에 해당하는 에지 부분에서 상대적으로 더 말리고 구부러지는 성질을 가진다. 따라서, 플렉시블 기판(1)의 측부 중, 에지 부분을 제외한 상부면이 먼저 가압되도록 하여 가능한 에지 부분에서 말리거나 구부러지는 현상이 완화되도록 한 후에, 에지 부분의 상부면을 가압함으로써 플렉시블 기판의 측부 상부면에 대한 가압 클램핑이 정상적으로 수행되도록 한다.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하는 사이드 가압부와 에지 부분을 가압하는 에지 가압부를 분리 배치하고, 상기 사이드 가압부가 우선적으로 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압한 후 상기 에지 가압부가 에지 부분을 가압하도록 동작 구동하기 때문에, 플렉시블 기판이 말리거나 구부러진 상태에서 클램핑되는 것을 방지하고 이를 통해 인장 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 장점이 발생된다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

1 : 플렉시블 기판 10 : 사이드 클램핑 모듈
11 : 사이드 가압부 12 : 사이드 접촉부
13 : 구동 모터 15 : 사이드 연결부
19 : 제1 결합 프레임
30 : 에지 클램핑 모듈 31 : 에지 가압부
32 : 에지 접촉부 33 : 구동 실린더
35 : 에지 연결부 39 : 제2 결합 프레임
50 : 제1 이동 모듈 51 : 제1 구동부
53 : 제1 연결체 55 : 제1 슬라이딩 조립체
57 : 고정 플레이트
60 : 베이스 플레이트 61 : 흡착 고정부
70 : 제2 이동 모듈 71 : 제2 구동부
75 : 제2 슬라이딩 조립체
80 : 지지 플레이트 100 : 플렉시블 기판 인장 장치

Claims

플렉시블 기판 인장 장치에 있어서,
상호 이격 배치되는 한 쌍의 베이스 플레이트;
상기 각 베이스 플레이트의 내측부에 형성되어 플렉시블 기판의 측부 하부면을 흡착하는 흡착 고정부;
상기 각 베이스 플레이트의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부에 흡착된 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 가압하여 클램핑하는 사이드 클램핑 모듈;
상기 사이드 클램핑 모듈과 분리 형성되되, 상기 각 베이스 플레이트의 상부에 배치되어 상기 흡착 고정부에 흡착된 플렉시블 기판의 에지 부분 상부면을 가압하여 클램핑하는 에지 클램핑 모듈;
상기 각 베이스 플레이트를 외측 방향으로 이동시키는 제1 이동 모듈을 포함하여 구성되되,
상기 사이드 클램핑 모듈과 상기 에지 클램핑 모듈이 지지되어 장착되도록 하는 지지 플레이트를 더 구비하고, 상기 지지 플레이트는 상기 베이스 플레이트 상에 장착되는 제2 이동 모듈에 의하여 내외측 방향으로 이동되고,
상기 사이드 클램핑 모듈은 상기 지지 플레이트의 내측부에 회동 가능하게 결합되는 사이드 가압부를 포함하되, 상기 사이드 가압부의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판의 에지 부분을 제외한 측부 상부면을 접촉 가압하는 사이드 접촉부가 구비되고, 상기 사이드 가압부는 상기 사이드 접촉부가 승하강되도록 구동되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 인장 장치.
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삭제
청구항 1에 있어서,
상기 에지 클램핑 모듈은 상기 사이드 가압부와 분리되어 상기 지지 플레이트의 내측부에 회동 가능하게 결합되는 에지 가압부를 포함하되, 상기 에지 가압부의 내측부 하부면에는 상기 플렉시블 기판의 에지 부분 상부면을 접촉 가압하는 에지 접촉부가 구비되고, 상기 에지 가압부는 상기 에지 접촉부가 승하강되도록 구동되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판 인장 장치.