CN101784939A - 多光束扫描装置 - Google Patents

多光束扫描装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101784939A
CN101784939A CN200880103799A CN200880103799A CN101784939A CN 101784939 A CN101784939 A CN 101784939A CN 200880103799 A CN200880103799 A CN 200880103799A CN 200880103799 A CN200880103799 A CN 200880103799A CN 101784939 A CN101784939 A CN 101784939A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
deflector
light source
scanning apparatus
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN200880103799A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101784939B (zh
Inventor
松冈祥平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pumi Systems Inc.
Original Assignee
Hoya Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoya Corp filed Critical Hoya Corp
Publication of CN101784939A publication Critical patent/CN101784939A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101784939B publication Critical patent/CN101784939B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
    • B41J2/47—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light
    • B41J2/471—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light using dot sequential main scanning by means of a light deflector, e.g. a rotating polygonal mirror
    • B41J2/473—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light using dot sequential main scanning by means of a light deflector, e.g. a rotating polygonal mirror using multiple light beams, wavelengths or colours
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/123—Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/113—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors
    • H04N1/1135—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors for the main-scan only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)

Abstract

一种多光束扫描装置，包括：多个第一光学系统，其包括用于发射非平行光的光源单元以及具有预定光焦度并影响从光源单元发射的光的光学元件；第二光学系统，其包括第一偏转系统以及公共光学系统，所述第一偏转系统设置在每个第一光学系统的后段，从每个第一光学系统发射的多束激光共同入射到所述第一偏转系统，所述第一偏转系统偏转激光，所述公共光学系统改变激光的发散度；光路移动装置，用于平行移动入射光路，从光源单元发射的激光通过所述入射光路入射到光学元件上。入射到第一偏转系统上的光全部入射到第一偏转系统的基本相同的位置，每个光学元件被设置成光学元件的光轴在与光学元件的距离为光学元件的焦距的位置处相交。

Description

多光束扫描装置
技术领域
本发明涉及一种可应用于诸如激光束打印机、投影仪等等的成像装置的多光束扫描装置。
背景技术
近来，诸如激光束打印机或投影仪的成像装置常使用具有多个沿预定方向设置的光源的多光束扫描装置。在使用多光束扫描装置的成像装置中，根据按照成像数据产生的调制信号来ON/OFF(开/关)调制多个光源发射的激光束，被调制的激光束被偏转器偏转以在待扫描表面上进行扫描，从而激光束在待扫描表面上沿第一方向进行扫描。同时，通过沿第二方向移动激光束在待扫描表面上的入射位置(即其上入射的激光束所形成的光斑)，可以完成二维图像的复制或成像，所述第二方向垂直于扫描方向(第一方向)。
在下文中，第一方向被称为主要扫描方向，第二方向被称为辅助扫描方向。此外，当产生多光束扫描装置的光路时，包括扫描光学系统的中心轴(即扫描光学系统的光轴)和主要扫描方向的平面被称为主要扫描平面，包括扫描光学系统的中心轴和辅助扫描方向的平面被称为辅助扫描平面。
在上述多光束扫描装置当中，一些多光束扫描装置具备调节束斑(beam spot)位置以使待扫描表面上所形成的束斑均匀间隔的调节机构，例如如日本专利临时公布No.2004-333862A所述。
在上述公布中，在每个光源的下游侧(downstream side)设有可围绕与激光束的光路平行的轴转动的楔形棱镜。通过转动楔形棱镜，创造了从实际位置假想地移动光源的条件，即移动光源的虚像的条件。使用这种结构，设计者试图通过改变每个激光束关于偏转器(即偏转面)的入射角来改变待扫描表面上的每个束斑的位置。
但是，通过上述公布中所公开的结构，激光束入射到偏转器上的位置发生变化。这种变化可能会导致渐晕(vignetting)和/或偏转性能的劣化。根据上述公布，在主要扫描方向上只考虑一维扫描，在辅助扫描平面上，光束会聚到偏转面上。因此，上述公布不涉及上述问题。
当要在装有多光束扫描光学系统的成像装置中执行主要扫描和辅助扫描两者时，如果各光源所发射的激光束会聚在偏转面上，则偏转面和待扫描表面是彼此共轭的。在这种情况下，无论激光束的入射角如何改变，激光束在待扫描表面上的像高都保持不变。这种光学系统不能作为扫描系统。因此，在要求光束不应会聚到偏转面上的装置中，与例如如上述公布所述的被配置为光束在辅助平面内会聚到偏转面上的装置相比，关于偏转面的入射角的变化导致偏转面上的入射位置发生相对较大的变化。因此，与上述公布的公开内容不同，在光束不能会聚到偏转面上的装置中，不能忽略激光束在偏转面上的入射位置移动的影响。
因此，在不将光束会聚到反射面上的装置(例如多光束扫描装置)中，如果采用上述公布的结构来调节束斑的位置，则应有效防止如上文所述的束斑的入射位置的移动。特别地，可能需要移动光源来调节入射位置的调节机构，或者应增加能够应对较大的入射位置移动的大偏转器的尺寸。
发明内容
因此，考虑到上述问题，本发明的目的是提供一种改进的多光束扫描装置，该多光束扫描装置中的准直光束、会聚光束或发散光束入射到偏转面上(即光束不会聚到偏转面上)，该多光束扫描装置被配置为能够稳定地调节待扫描表面上的光斑位置，同时还获得简单的结构和紧凑的尺寸。
考虑到上述目的，提供一种多光束扫描装置，包括：多个第一光学系统，所述多个光学系统中的每一个包括被配置为发射非准直光束的光源单元以及具有预定光焦度(power)并对激光束起光学作用的光学元件；第二光学系统，其设置在所述多个第一光学系统的下游侧，包括第一偏转器以及公共光学系统，所述多个第一光学系统发射的光束入射到所述第一偏转器上，所述第一偏转器偏转激光束，所述公共光学系统被配置为改变多个光束中的每一个的发散度；光路移动系统，其被配置为在与最接近待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光学元件的光轴垂直的方向平移由光源发射并入射到所述光学元件上的光束的入射光路，其中入射到所述第一偏转器上的所有光束入射到所述第一偏转器上的基本相同的位置，以及其中设置所述光学元件使得所述光学元件的光轴在与所述光学元件的距离等于所述光学元件的焦距的位置处相交。
根据本发明的多光束扫描装置，仅通过移动每个光源发射的入射到光学元件上的激光束的入射光路，无需改变每个激光束关于入射表面的入射位置即可改变关于偏转面的入射角。因此，可以稳定调节每个激光束入射到待扫描表面上时所形成的光斑的位置。此外，由于多个准直光束入射到第一偏转器上的基本相同的位置，因此可以减小第一偏转器的厚度。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光源单元包括被配置为发射光束的发光单元、以及被配置为降低所述发光单元发射的光束的发散度的耦合透镜组，所述耦合透镜组的放大率M满足条件：
|1/M|＞0.0006。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光学元件例如是将所述光源单元发射的光束转化为准直光束的准直透镜。
根据本发明的多光束扫描装置，所述公共光学系统的至少一部分可被设置在所述第一偏转器的上游侧。在这种情况下，所述公共光学系统的所述至少一部分的出瞳位于所述第一偏转器的偏转面。
根据本发明的多光束扫描装置，所述公共光学系统的所述至少一部分是例如角放大率变更光学系统(angular magnification alterationoptical system)。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光学元件具有所述公共光学系统的放大能力的一部分。
根据本发明的多光束扫描装置，当所述公共光学系统全部被设置在所述第一偏转器的下游侧时，优选的是所述公共光学系统的入瞳与所述第一偏转器的偏转面重合。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光路移动系统可以沿预定方向移动所述光源单元以平移所述入射光路。
根据本发明的多光路扫描装置，所述光路移动系统包括设置在所述光源单元和所述光学元件之间的不具有光焦度的光路调节光学元件，所述光路移动系统可以通过移动所述光路调节光学元件来平移所述入射光路。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光路调节光学元件具有多个反射面，其中通过改变每个反射面的相对位置来平移所述入射光路。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光路调节光学元件是具有两个彼此平行的反射面的棱镜，可以通过绕旋转轴转动所述棱镜来改变所述反射面的位置，其中所述旋转轴为所述光源单元的发射光轴。
根据本发明的多光束扫描装置，所述光路调节光学元件为平行板，可以通过绕与所述光源单元的发射光轴垂直的轴转动所述平行板来平移所述入射光路
根据本发明的多光束扫描装置，优选的是，所述光源单元发射的光束所入射到的所述光路调节光学元件的光接收表面通常关于所述光源单元的所述发射光轴倾斜。
根据本发明的多光束扫描装置，优选的是，公共光学系统进一步包括扫描光学系统，所述扫描光学系统能够使从所述第一偏转器引来的光束在所述待扫描表面上以恒定速度进行扫描。
根据本发明的多光束扫描装置，所述第二光学系统可以包括：第二偏转器，其被设置在所述第一偏转器和所述扫描光学系统之间并在与所述第一偏转器偏转光束的方向垂直的方向上偏转入射到所述第二偏转器上的光束；以及中继光学系统，其被设置在所述第一偏转器和所述第二偏转器之间，其中所述待扫描表面可以相对于扫描光学系统固定。
本发明的多光束扫描装置可以进一步包括主光线发射角调节系统，所述主光线发射角调节系统被配置为在与最接近所述待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内调节从所述光源单元发射的光束的发射角。在这种结构中，所述主光线发射角调节系统可以包括：耦合透镜组，其设置在所述光源单元中；以及耦合透镜移动系统，其被配置为在与最接近所述待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光源单元的光轴垂直的方向上移动所述耦合透镜组的每个耦合透镜。
根据本发明的多光束扫描装置，所述耦合透镜组可以包括第一耦合透镜和第二耦合透镜，所述第二耦合透镜的光焦度小于所述第一耦合透镜的光焦度。在这种结构中，所述耦合透镜移动系统被配置为在与最接近所述待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光源单元的光轴垂直的方向相对于所述第一耦合透镜移动所述第二耦合透镜。
优选的是，当P1代表所述第一耦合透镜的光焦度，P2代表所述第二耦合透镜的光焦度时，所述多光束扫描装置满足关系：
P1＞10·|P2|。
优选的是，所述第二耦合透镜的直径大于所述第一耦合透镜的直径。
根据本发明，提供了一种多光束扫描装置，包括：多个光源单元，其被配置为发射激光束，所述激光束为非准直光束；多个准直透镜，其被设置为分别使多个激光束准直，所述多个准直透镜的光轴在与所述多个准直透镜中的每一个的距离等于所述多个准直透镜中的每一个的焦距的预定位置彼此相交；第一偏转器，其偏转多个准直激光束，以使多个激光束在所述待扫描表面上沿辅助扫描方向进行扫描；中继透镜系统，其被设置在所述第一偏转器的下游侧，所述中继透镜系统的入瞳与所述多个准直透镜的光轴相交的所述预定位置重合；第二偏转器，其偏转从所述第一偏转器经由所述中继透镜系统入射的多个激光束，以使多个激光束在所述待扫描表面上沿主要扫描方向进行扫描；以及光束位置调节系统，其被配置为以在所述待扫描表面上沿辅助扫描方向平移激光束所形成的束斑的方式改变所述多个光源单元的至少其中之一发射的激光束的光路。优选地，所述预定位置位于所述第一偏转器的偏转面上。所述光束位置调节系统可以包括平移机构，所述平移机构被配置为沿与所述多个光源单元的至少其中之一的光轴垂直的方向平移所述多个光源单元的至少其中之一。
附图说明
[图1]图1是沿辅助扫描平面的截面图，示意性地显示了采用根据本发明的第一实施例的多光束扫面装置的投影仪的结构。
[图2]图2是根据第一实施例的多光束扫描装置的第一光学系统附近的放大图。
[图3]图3是根据第一实施例的第一光学系统附近的放大图，其中光源单元被移动。
[图4]图4是根据第二实施例的多光束扫描装置的第一光学系统附近的放大图。
[图5]图5是根据第二实施例的第一光学系统附近的放大图，其中光源单元被移动。
[图6]图6是根据第三实施例的多光束扫描装置的第一光学系统附近的放大图。
[图7]图7是根据第三实施例的第一光学系统附近的放大图，其中光源单元被移动。
[图8]图8是根据第四实施例的多光束扫描装置的第一光学系统附近的放大图。
[图9]图9是根据第四实施例的第一光学系统附近的放大图，其中光源单元被移动。
[图10]图10是根据第五实施例的多光束扫描装置的第一光学系统附近的放大图。
[图11]图11是根据第五实施例的第一光学系统附近的放大图，其中光源单元被移动。
[图12]图12显示了根据本发明的多光束扫描装置的一种变形。
[图13]图13显示了根据本发明的多光束扫描装置的一种变形。
[图14]图14显示了根据本发明的多光束扫描装置的一种变形。
[图15]图15显示了根据本发明的多光束扫描装置的一种变形。
[图16]图16显示了根据本发明的多光束扫描装置的一种变形。
具体实施方式
图1在辅助扫描横截面上显示了作为根据本发明的第一实施例的多光束扫描装置的实例的投影仪，概略显示了该投影仪的结构。投影仪包括多光束扫描装置100和屏S。如图1所示，多光束扫描装置100按从光源侧开始的顺序包括多个(在该例中为两个)第一光学系统10A和10B、第一多面镜4、中继透镜系统5、第二多面镜6以及扫描透镜系统7。多个第一光学系统10A和10B具有相同的结构并设置在辅助扫描平面上。因此，在下文中，除非必要，否则仅将说明集中在第一光学系统10A上。对于其他的第一光学系统，仅提及其附图标记。第一光学系统10A包括光源单元1和会聚透镜3，其中光源单元1具有光源11和耦合透镜12。光源单元1与稍后说明的光路调节单元8连接。会聚透镜3设置在光源单元1和第一多面镜4之间。
在下文中，主要扫描方向被称为Y-方向，辅助扫描方向被称为Z方向。此外，与Y方向和Z方向垂直的方向，即与作为待扫描表面的屏S垂直的方向被定义为X方向。
当操作多光束扫描装置100时，按照如下方式进行屏S的扫描。光源11发射的激光束通过相应的耦合透镜12和会聚透镜3，入射到第一多面镜4的偏转面上的基本相同的位置。
第一多面镜4被配置为可绕其在Y方向上延伸的中心轴4c转动。即第一多面镜4作为可令激光束在屏S上沿辅助扫描方向进行扫描的偏转器。
被第一多面镜4的偏转面偏转的激光束通过中继透镜系统5并入射到第二多面镜6上的基本相同的位置。第二多面镜6被配置为可绕其在Z方向上延伸的中心轴6c转动。即第二多面镜6作为可令激光束在屏S上沿主要扫描方向进行扫描的偏转器。
激光束连续偏转与第二多面镜6的转动状况相对应的角度，并入射到扫描透镜系统7上。应注意的是，根据该实施例，扫描透镜系统7由两个透镜元件构成，例如如图1所示。但本发明不限于这种结构。从扫描透镜系统7出射的激光束在屏S上沿主要扫描方向(即Y方向)进行扫描。
在通过第二多面镜6实现的激光束沿Y方向的每一扫描中，第一多面镜4旋转预定量。预定量被定义为对应于将扫描屏S的激光束数量与光斑尺寸(即束斑在辅助扫描方向上的直径)相乘所得的长度的量。通过重复该操作在屏S上形成二维图像。即，与可转动的感光鼓形成对比，作为该实施例中的待扫描表面的屏S不相对于扫描透镜系统7运动。
在下文中详细描述了通过抑制激光束入射到偏转面上的入射位置的变化来适当地调节束斑之间的间距的结构。图2是辅助扫描平面横截面，放大了根据第一实施例的多光束扫描装置100的第一光学系统10A和10B的附近区域。
如图2所示，每个耦合透镜12将光源11发射的发散光束的激光束转化为发散特性比光源11发射的光束平缓的光束。根据该实施例，与上文所述的发散光束不同，从耦合透镜12出射的光束可以具有会聚特性，但不能是准直光束。也就是说，在根据第一实施例的多光束扫描装置100中，光源单元1所发射的激光束必须是非准直光束。
会聚透镜3具有与通过耦合透镜并入射到会聚透镜3上的激光束的发散或会聚特性相对应的光焦度(power)，并将入射光束转化为准直光束。根据第一实施例，会聚透镜3起到准直透镜的作用。会聚透镜3被设置成其光轴在与会聚透镜3的距离等于其焦距的位置处彼此相交。此外，公共光学系统的入瞳被定义为从第一光学系统10A和10B出射的激光束入射到其上的光学系统，该公共光学系统的入瞳与会聚透镜3的光轴的相交位置重合。特别地，根据第一实施例，公共光学系统由中继透镜系统5和扫描透镜系统7组成，中继透镜系统5的入瞳的位置与会聚透镜3的光轴的相交位置重合。
在说明书中，为说明目的，位于第一光学系统10A和10B的下游侧的光学系统被称为第二光学系统。因此，可将公共光学系统定义为从第二光学系统中除去多面镜4和6之后的光学系统。在图1和2所示的结构中，第二光学系统对应于第一多面镜4下游侧的光学系统。
通常，在多光束扫描装置中，设在多面镜的紧邻下游侧的光学系统的入瞳与多面镜的偏转面重合。根据第一实施例，为了使入瞳位于第一多面镜4的偏转面上，每个会聚透镜3被设置成与第一多面镜4的间距为会聚透镜3的焦距f。此外，会聚透镜3被设置成使得从会聚透镜3出射的激光束入射到多面镜4的偏转面4a上的基本相同的位置处。总而言之，会聚透镜3的光轴的相交位置、中继透镜系统5的入瞳以及第一多面镜4的偏转面4a位于相同的位置。
如上所述，入射到会聚透镜3上的激光束为非准直光束。为了保证该条件，确定每个耦合透镜12的放大率M满足下面的条件。
|1/M|＞0.0006
下面将详细解释上述条件。如果由于环境条件(例如湿度/温度)改变导致扫描装置100的透镜支架/外壳产生变形，使得从耦合透镜12出射的光束变成准直光束，则从如上文所述设置的会聚透镜3出射的激光束在辅助扫描平面上被会聚到第一多面镜4的偏转面4a上。在这种情况下，类似于LSU中通常采用的倾斜补偿，激光束在辅助扫描方向上不被偏转。因此，可配置耦合透镜12使得透镜支架不受环境变化的影响。特别地，耦合透镜12可被配置为不受透镜支架的线性膨胀的影响。如果透镜支架是由树脂构成的，则线性膨胀系数约为2×10-5每1℃。因此，通过下式计算±30℃的温度变化下光源11与耦合透镜12之间的距离的变化量ΔL。
ΔL＝L×2×10-5×(±30)   …(1)，
其中L代表耦合透镜12的焦距。
当耦合透镜12的放大率为M(由于是发散光束，M＜0)时，通过下式计算光源11与耦合透镜12(的主点)之间的距离D。
D＝L+L/M  …(2)
如果由式(1)得出的ΔL与由式(2)得出的D之和等于L，则从耦合透镜12出射的激光束变成准直光束。因此，为了避免这种情况，必须满足接下来的条件(3)。
|L/M|＞L×2×10-5×(±30)   …(3)
如上所述，根据多光束扫描装置100，光源11发射的激光束作为准直光束入射到基本相同的位置(更特别地，第二光学系统的入瞳的中心位置)。通过这种配置，入射到屏S上的激光束所形成的束斑之间的间距仅取决于从第一光学系统10A和10B出射的激光束关于偏转面4a的入射角之差。因此，简单地改变激光束的入射角即可调整束斑在屏S上的位置。
因此，光路调节单元8移动以沿与会聚透镜3的光轴AX垂直并位于与最接近待扫描表面的多面镜偏转光束的方向垂直的平面内的方向移动(平移)光源单元1。特别地，最接近待扫描表面的多面镜对应于第二多面镜6。因此，多面镜6偏转光束的方向为主要扫描方向，与该方向垂直的平面为辅助扫描平面。图3是显示光源单元1被移动的情形的放大图。在图3中，用虚线表示移动前的元件设置和激光束的光路。此外，用实线表示移动后的设置。用箭头表示光源单元1的移动方向。为了便于理解，分别用附图标记11b和12b表示移动前的光源和耦合透镜，用附图标记11a和12a表示移动后的光源和耦合透镜。
当光源单元1移动时，入射到会聚透镜3上的激光束的光路(下文中，该光路被称为入射光路)在辅助扫描平面内平移。特别地，入射光路在辅助扫描平面内沿与会聚透镜3的光轴垂直的方向平行移动。因此，如图3所示，应理解的是，耦合透镜12a与会聚透镜3之间的入射光路相对于耦合透镜12b与会聚透镜3之间的入射光路平行移动。
如图3所示，由于偏转面4a所处的位置与会聚透镜3的距离等于会聚透镜3的焦距f，因此，尽管入射角发生了变化，但是被光路调节单元8平移的光源单元1发射的激光束仍入射到平移前的光源单元1发射的激光束所入射到的偏转面4a上的基本相同的位置。因此，通过偏转面4a，可以调节束斑在屏S上的位置，同时有效防止偏转面4a的渐晕。
可如下文所述改变根据第一实施例的第一光学系统10A和10B。在下面的描述中，仅描述每个实施例特有的结构和特点，对于与第一实施例中相同的结构/元件，则参考上文所述的解释。图4显示了根据第二实施例的第一光学系统10A和10B附近的放大图(辅助扫描平面)。图5显示了根据第二实施例的多光束扫描装置100中第一光学系统10A的光源单元1被移动的情形。应注意的是，对于图4和5以及图6-16，平行于纸面的平面对应于辅助扫描平面。
如图4和5所示，根据第二实施例的多光束扫描装置100在第一光学系统10A与偏转面4a之间设置有角放大率为-1/2的角放大率变更光学系统91。根据第二实施例，角放大率变更光学系统91是公共光学系统的一部分。此外，位于角放大率变更光学系统91下游侧的光学系统对应于第二光学系统。
根据角放大率变更光学系统91位于第一光学系统10A与第一多面镜4的偏转面4a之间的第二实施例，会聚透镜3被设置成其光轴在与会聚透镜3的距离为其焦距f的位置处彼此相交，角放大率变更光学系统91被设置成其入瞳与会聚透镜3的光轴的相交位置重合。在第二实施例中，角放大率变更光学系统91的入瞳位置不在偏转面4a上。偏转面4a位于角放大率变更光学系统91的出瞳。
如上所述，根据第二实施例，构成第一光学系统10A的部件按照上述关于第一实施例说明的方式设置。即，会聚透镜3的光轴在与其距离为其焦距的位置处彼此相交。因此，如图5所示，通过平移第一光学系统10A，激光束的主光线(chiefray)彼此相交的位置保持不变，而激光束的主光线之间形成的角度发生变化。由于相交位置与角放大率变更光学系统91的入瞳重合，因此入射到第一多面镜4的偏转面4a上的激光束的入射角发生变化，但激光束入射到偏转面4a上的位置与移动前光源1发射的激光束入射到偏转面4a上的位置基本相同。
应注意的是，在角放大率变更光学系统91位于偏转面4a与第一光学系统10A和10B之间的配置中，角放大率变更光学系统的光焦度的一部分可由会聚透镜3承担。
图6是根据第三实施例的多光束扫描装置100的第一光学系统10A和10B附近的放大图。图7显示了根据本发明的第三实施例的多光束扫描装置100中第一光学系统10A的光源单元1已被移动的状态。
基于第二实施例配置根据第三实施例的多光束扫描装置100，使得第二实施例的角放大率变更光学系统的光焦度的一部分由会聚透镜3承担。更特别地，如图6和7所示，会聚透镜3′将从光源单元1入射的非准直光束激光束转化为会聚光束(其在会聚透镜与角放大率变更光学系统之间构成一次实像)。也就是说，会聚透镜3′被配置为负担角放大率变更光学系统91′的光焦度的一部分。对于其他的结构，采用与第二实施例中相同的结构。
如图6和7所示，与第二实施例类似，通过如上所述设置组成第一光学系统10A和10B的部件，可以获得与上文所述的其他实施例相同的优点。
图8是根据第四实施例的多光束扫描装置100的第一光学系统10A和10B附近的放大图。图9显示了根据第四实施例的多光束扫描装置100中第一光学系统10A的光源单元1已被移动的状态。
根据第四实施例，角放大率变更光学系统92在第一光学系统10A与偏转面4a之间相交，以便放大光源1的设置间隔(角距)。在第四实施例中，与第二实施例和第三实施例不同，角放大率变更光学系统92的角放大率为+1/2。此外，由于通过角放大率变更光学系统92的激光束具有预定的角放大率，会聚透镜由两个透镜元件31和32构成。特别地，与根据第一实施例的会聚透镜3的情况下相同，会聚透镜31具有将从光源单元1入射的作为非准直光束的激光束转化为准直光束的光焦度。会聚透镜32具有将从会聚透镜31入射的准直光束转化为具有预定会聚特性的会聚光束的正光焦度。换言之，会聚透镜32是负担了角放大率变更光学系统92的一部分光焦度的透镜。
如图8和9所示，根据第四实施例，设有具有不同放大率的角放大率变更光学系统92，并设有与角放大率变更光学系统92的放大率相对应的会聚透镜31和32。通过如上文所述设置第一光学系统10A和10B，可以获得与上文所述的实施例相同的优点。
图10是根据第五实施例的多光束扫描装置100的第一光学系统10A和10B附近的放大图。图11显示了根据第五实施例的多光束扫描装置100中第一光学系统10A的光源单元1已被移动的状态。
根据第五实施例，将第四实施例的会聚透镜元件31和32换成单一透镜元件33。其他结构与第四实施例相同。
表1至5分别显示了上述第一至第五实施例的数值示例。
[表1]
例1
 会聚透镜的焦距f   30.000(mm)
 耦合透镜的焦距L   10.426(mm)
 耦合透镜的放大率M   0.333
[表2]
例2
Figure GPA00001032567900131
[表3]
例3
  角放大率变更光学系统的规格   角放大率-1/2，Fno放大率1
  光源可移动量   3.000(mm)
  偏转面上的入射角的可变量   2.000(°)
  屏上移动量(扫描透镜焦距：1000mm)   34.9(mm)
  光瞳位置   距会聚透镜3′的主点40mm
 (在角放大率变更系统91′的第一表面前方38.6mm)
 会聚透镜的焦距f  40.000(mm)
 耦合透镜的焦距L  10.000(mm)
 耦合透镜的放大率M  -0.210
[表4]
例4
Figure GPA00001032567900141
[表5]
例5
  角放大率变更光学系统的规格   角放大率+1/2，Fno放大率1
  光源可移动量   1.500(mm)
  偏转面上的入射角的可变量   1.000(°)
  屏上移动量(扫描透镜焦距：1000mm)   17.5(mm)
上文已经描述了本发明的实施例。应注意的是，本发明不必限于上述示意性的实施例，并可以在保留上述优点的同时以各种方式进行变化。
例如，在上述实施例中，光源单元1被机械平移以调节激光束的光路，从而改变激光束关于偏转面4a的入射角。本发明不必限于这种配置，例如，光源单元1发射的激光束的光路可以改变。特别地，平移光源1发射的激光束的光路的光路调节光学元件可以位于光源单元1与会聚透镜3之间。使用这种配置，通过移动光路调节光学元件来调节光路。由于当激光束的发散度改变时无法获得上述特征，因此光路调节光学元件不具有光焦度。这种光学元件的示例是波罗棱镜(poloprism)，其具有多个反射面。当采用这种光学元件时，通过改变多个反射面的位置，可以平移入射光路，从而可以改变偏转面的入射角。
图12显示了采用光路调节光学元件的多光束扫描装置的一种变形。在图12所示的变形中，具有两个彼此平行的反射面的棱镜，即平行四边形棱镜(parallelogram prism)13设置在耦合透镜12与会聚透镜3之间。平行四边形棱镜13绕从光源1发射的激光束的中心轴(被称为光源1的发射光轴)转动。在图12所示的变形中，光源单元1的发射光轴与会聚透镜3的光轴AX重合。通过这种配置，可以沿垂直于会聚透镜3的光轴的方向平移入射到会聚透镜3上的激光束的光路(即入射光路)，并且可以改变激光束关于偏转面4a的入射角。在图12中，用虚线表示转动后的平行四边形棱镜13′的位置。在该变形中，入射光路被定义为平行四边形棱镜13(或13′)与会聚透镜3之间的光路。
当平行四边形棱镜13转动时，也可能会在主要扫描方向上略微改变束斑的位置。但是，通过调节激光束的调制时间可以容易地校正束斑在主要扫描方向上的位置，从而主要扫描方向上的变化不会引起问题。
也可以采用例如平行板的其他元件作为光路调节光学元件。图13(A)和13(B)显示了多光束扫描装置的其他变形，其中平行板14用作光路调节光学元件。特别地，图13(A)显示了通过平行板14进行位置调节之前的第一光学系统10A附近的辅助扫描横截面。图13(B)是显示通过平行板14进行位置调节之后的第一光学系统10A的附近的辅助扫描横截面。如图13(A)和图13(B)所示，根据该变形，通过绕垂直于辅助扫描平面的轴(即绕沿主要扫描方向延伸的轴)转动平行板14，可以调节光源单元1发射的激光束的光路。
图14是根据图13(A)和13(B)所示的变形的第一光学系统10A附近的主要扫描平面的横截面。当采用光路调节光学元件(例如该变形中的平行板14)时，应注意以下要点。如果光路调节光学元件面对光源的表面(即光接收表面)被设置为基本垂直于光源单元1的发射光轴(在这种情况下为会聚透镜3的光轴AX)，那么由于回射，入射光束的一部分可返回到光源单元1。已知这种回光会导致光源单元1的劣化，应当被防止。为此目的，如图14所示，作为光路调节光学元件的平行板14被设置成使光接收表面通常关于光源单元1的发射光轴倾斜。在这种情况下，“通常”意为无论光路调节元件如何转动，光接收表面从不与发射光轴垂直。通过这种设置和结构，可以防止从光接收表面反射的光返回到光源1，并可以防止性能的劣化。
在上述实施例和变形中，不改变激光束在偏转面4a上的入射位置，即可调节激光束关于偏转面4a的入射角。但是实际上，需要调节激光束的入射位置以使激光束入射到偏转面4a的预定位置，作为调节入射角之前的预备阶段。一般而言，对于调节激光束的入射位置，可相对于光源的光轴移动耦合透镜，或倾斜光源单元，从而可以调节从光源单元出射的激光束的出射角。已知的是，由于激光束的入射位置的移动相对于耦合透镜的移动量来说比较大，因此根据前一种方法的(即移动耦合透镜)调节较为困难。因此，相较于前一种方法而言，通常采用后一种方法(即倾斜光源单元)。但是，如果在根据本发明的多光束扫描装置中采用后一种方法，则会出现下面的问题。
如果在根据本发明的多光束扫描装置中采用后一种方法，由于光源单元1被配置为发射会聚光束或发散光束，当光源单元1沿其光轴的位置相对于偏转面4a的合适位置移动时，由于光源单元1倾斜，激光束的聚焦点变化。为了防止聚焦点发生移动，必须采用即使光源单元1倾斜也能保持光源单元1与聚焦点之间的距离的复杂机制。由于增大了多光束扫描装置的制造成本，这种复杂机制并不是优选的。从这一角度出发，转让人通过使用根据下文描述的另一变形的多光束扫描装置100，得到了一种不增加多光束扫描装置100的成本能够精密调节激光束的入射位置的结构。
图15是根据另一变形的多光束扫描装置100的第一光学系统10A和10B附近的放大图。图16(A)和16(B)分别显示了根据该变形的多光束扫描装置100的光源单元1。
如图15所示，通过将第二实施例的光源1换为光源1′来配置根据该变形的多光束扫描装置100。
光源单元1′包括光源11、第一耦合透镜121、第二耦合透镜122和角度调节单元8′。如上所述，在该变形中，本来在光源单元中由单一透镜构成的耦合透镜被配置为多个透镜(在这种情况下为两个透镜)。第二耦合透镜122的光焦度小于第一耦合透镜121的光焦度。更特别地，当P1代表第一耦合透镜121的光焦度，P2代表第二耦合透镜122的光焦度时，每个耦合透镜被形成为满足下面的关系：
P1＞10·|P2|。
角度调节单元8′被配置为在辅助扫描平面内沿垂直于光源单元1′的光轴的方向移动第二耦合透镜122。图16(A)显示了平移第二耦合透镜122之前的状况。图16(B)显示了平移第二耦合透镜122之后的状况。如图16(A)和16(B)所示，通过相对于第一耦合透镜121平移第二耦合透镜122，从光源1′发射的激光的出射角发生改变。通过平移第二耦合透镜122调节上述出射角，从而可以调节激光在偏转面4a上的入射位置。
根据该变形，由于光源单元1′(仅沿垂直于光源单元1′的光轴的方向移动第二耦合透镜122，而不改变光源11的位置)不倾斜，因此光源单元1′与偏转面4a之间的距离保持不变。因此，即使调节入射位置，激光束的聚焦位置也不会移动。此外，由于移动光焦度相对较小的第二耦合透镜122，出射角的变化相对于第二耦合透镜122的移动量而言也相对较小。因此，可以精确调节激光束在偏转面4a上的入射位置。
为了确保即使移动第二耦合透镜122，通过第一耦合透镜121的激光束也能入射到第二耦合透镜122上，第二耦合透镜122的直径大于第一耦合透镜121的直径。根据示意性实施例，第一耦合透镜121和第二耦合透镜122的直径分别为6mm和8mm。第一耦合透镜121和第二耦合透镜122的示意性规格如下所述。第一耦合透镜121的焦距和放大率为10mm和0.088，而第二耦合透镜122的焦距和放大率为-100mm和-2.192。作为整体的耦合透镜(即第一耦合透镜122和第二耦合透镜122的组合)的光焦度为-0.192。因此，作为整体，耦合透镜出射具有发散特性的激光束。应注意的是，本发明不必限于这种结构。第一耦合透镜121和第二耦合透镜122可被配置为从其中出射会聚激光束。
应注意的是，在上述任一实施例和变形中，可采用能够调节偏转面4a上的入射位置的光源单元结构。
在前述实施例和变形中，多光束扫描装置100优选应用于投影仪。应了解的是，多光束扫描装置还可以应用于其他任何合适的成像装置，例如打印机、图像扫描器等等。
在上述实施例和变形中，在辅助光学平面内设置多个第一光学系统，从而在屏S上沿辅助扫描方向形成彼此间隔的多个光束。本发明不必限于这种结构，多个第一光学系统可设置在垂直于辅助扫描平面的平面上(即在主要扫描平面上)。在这种情况下，多个激光束扫描屏幕S上的同一条线。因此，在这种改动中，在主要扫描平面内平移入射光路。当每个扫描需要较大的光量时，这种改动特别方便。
在每个上述实施例和变形中，装备在光源单元中的耦合透镜具有相同的放大率。但是，本发明不必限于这种配置，耦合透镜的放大率可以不同，以便满足用于多光束扫描系统的光学系统的如象场弯曲等等的光学特性。
公共光学系统中的部分光学系统(例如中继透镜系统5或角放大率变更光学系统)的入瞳位置和出瞳位置不是必须与偏转器的偏转面重合。当入瞳位置和出瞳位置与偏转面基本重合时，多光束扫描装置的光学性能不受影响。
在上述实施例和变形中，单一光源(激光源)被形成为具有单一开口(即每个单芯片光源发射一个光束)。但是，在另一实施例中，单一光源(激光源)可具有多个开口(即每个单芯片光源发射多光束)。
如上所述，根据本发明的多光束扫描装置，即使多光束扫描装置不能在辅助平面内将光会聚到偏转器的偏转面上，也可以通过简单地平移每个激光源发射的激光入射到光学元件时所定义的入射光路来调节屏上所形成的光斑的位置，此外，根据实施例，通过适当设置部件以及通过令所有光束入射到偏转面上的相同位置，不必增加反射器的尺寸来防止发生渐晕。也就是说，可以提供能够稳定调节在扫描面上形成的光斑位置的多光束扫描装置。

Claims (23)

1.一种多光束扫描装置，包括：
多个第一光学系统，
所述多个光学系统中的每一个包括：
被配置为发射非准直光束的光源单元；以及
具有预定光焦度并对激光束起光学作用的光学元件；
第二光学系统，其设置在所述多个第一光学系统的下游侧，包括：
第一偏转器，所述多个第一光学系统发射的光束入射到所述第一偏转器上，所述第一偏转器偏转激光束；以及
公共光学系统，其被配置为改变多个光束中的每一个的发散度；以及
光路移动系统，其被配置为在与最接近待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光学元件的光轴垂直的方向平移由光源发射并入射到所述光学元件上的光束的入射光路，
其中入射到所述第一偏转器上的所有光束入射到所述第一偏转器上的基本相同的位置，以及
其中设置所述光学元件使得所述光学元件的光轴在与所述光学元件的距离等于所述光学元件的焦距的位置处相交。
2.如权利要求1所述的多光束扫描装置，
其中所述光源单元包括被配置为发射光束的发光单元、以及被配置为降低所述发光单元发射的光束的发散度的耦合透镜组，以及
其中所述耦合透镜组的放大率M满足条件：
|1/M|＞0.0006。
3.如权利要求1或2所述的多光束扫描装置，其中所述光学元件是将所述光源单元发射的光束转化为准直光束的准直透镜。
4.如权利要求1至3任一项所述的多光束扫描装置，
其中所述公共光学系统的至少一部分被设置在所述第一偏转器的上游侧，以及
其中所述公共光学系统的所述至少一部分的出瞳位于所述第一偏转器的偏转面。
5.如权利要求4所述的多光束扫描装置，其中所述公共光学系统的所述至少一部分是角放大率变更光学系统。
6.如权利要求4或5所述的多光束扫描装置，其中所述光学元件部分负担所述公共光学系统的放大能力。
7.如权利要求1至3任一项所述的多光束扫描装置，
其中所述公共光学系统全部被设置在所述第一偏转器的下游侧，以及
其中所述公共光学系统的入瞳与所述第一偏转器的偏转面重合。
8.如权利要求1至7任一项所述的多光束扫描装置，其中所述光路移动系统沿预定方向移动所述光源单元以平移所述入射光路。
9.如权利要求1至7任一项所述的多光束扫描装置，其中所述光路移动系统包括设置在所述光源单元和所述光学元件之间的不具有光焦度的光路调节光学元件，以及其中所述光路移动系统通过移动所述光路调节光学元件来平移所述入射光路。
10.如权利要求9所述的多光束扫描装置，其中所述光路调节光学元件具有多个反射面，以及其中通过改变每个反射面的相对位置来平移所述入射光路
11.如权利要求9所述的多光束扫描装置，
其中所述光路调节光学元件是具有两个彼此平行的反射面的棱镜，以及
其中通过绕旋转轴转动所述棱镜来改变所述反射面的位置，其中所述旋转轴为所述光源单元的发射光轴。
12.如权利要求9所述的多光束扫描装置，其中所述光路调节光学元件为平行板，以及其中通过绕与所述光源单元的发射光轴垂直的轴转动所述平行板来平移所述入射光路。
13.如权利要求11或12所述的多光束扫描装置，其中所述光源单元发射的光束所入射到的所述光路调节光学元件的光接收表面通常关于所述光源单元的所述发射光轴倾斜。
14.如权利要求1至13任一项所述的多光束扫描装置，其中所述公共光学系统进一步包括扫描光学系统，所述扫描光学系统能够使从所述第一偏转器引来的光束在所述待扫描表面上以恒定速度进行扫描。
15.如权利要求14所述的多光束扫描装置，
其中所述第二光学系统包括：
第二偏转器，其被设置在所述第一偏转器和所述扫描光学系统之间并在与所述第一偏转器偏转光束的方向垂直的方向上偏转入射到所述第二偏转器上的光束；以及
中继光学系统，其被设置在所述第一偏转器和所述第二偏转器之间，以及
其中所述待扫描表面相对于所述扫描光学系统固定。
16.如权利要求1至15任一项所述的多光束扫描装置，进一步包括主光线发射角调节系统，所述主光线发射角调节系统被配置为在与最接近所述待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内调节从所述光源单元发射的光束的发射角。
17.如权利要求16所述的多光束扫描装置，
其中所述主光线发射角调节系统包括：
耦合透镜组，其设置在所述光源单元中；以及
耦合透镜移动系统，其被配置为在与最接近所述待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光源单元的光轴垂直的方向上移动所述耦合透镜组的每个耦合透镜。
18.如权利要求17所述的多光束扫描装置，
其中所述耦合透镜组包括第一耦合透镜和第二耦合透镜，所述第二耦合透镜的光焦度小于所述第一耦合透镜的光焦度；以及
其中所述耦合透镜移动系统被配置为在与最接近所述待扫描表面的偏转器偏转光束的方向垂直的平面内沿与所述光源单元的光轴垂直的方向相对于所述第一耦合透镜移动所述第二耦合透镜。
19.如权利要求18所述的多光束扫描装置，其中当P1代表所述第一耦合透镜的光焦度，P2代表所述第二耦合透镜的光焦度时，所述多光束扫描装置满足关系：
P1＞10·|P2|。
20.如权利要求18或19所述的多光束扫描装置，其中所述第二耦合透镜的直径大于所述第一耦合透镜的直径。
21.一种多光束扫描装置，包括：
多个光源单元，其被配置为发射激光束，所述激光束为非准直光束；
多个准直透镜，其被设置为分别使多个激光束准直，所述多个准直透镜的光轴在与所述多个准直透镜中的每一个的距离等于所述多个准直透镜中的每一个的焦距的预定位置处彼此相交；
第一偏转器，其偏转多个准直激光束，以使多个激光束在所述待扫描表面上沿辅助扫描方向进行扫描；
中继透镜系统，其被设置在所述第一偏转器的下游侧，所述中继透镜系统的入瞳与所述多个准直透镜的光轴相交的所述预定位置重合；
第二偏转器，其偏转从所述第一偏转器经由所述中继透镜系统入射的多个激光束，以使多个激光束在所述待扫描表面上沿主要扫描方向进行扫描；以及
光束位置调节系统，其被配置为以在所述待扫描表面上沿辅助扫描方向平移激光束所形成的束斑的方式改变所述多个光源单元的至少其中之一发射的激光束的光路。
22.如权利要求21所述的多光束扫描装置，其中所述预定位置在所述第一偏转器的偏转面上。
23.如权利要求22所述的多光束扫描装置，其中所述光束位置调节系统包括平移机构，所述平移机构被配置为沿与所述多个光源单元的至少其中之一的光轴垂直的方向平移所述多个光源单元的至少其中之一。
CN200880103799XA 2007-08-21 2008-08-19 多光束扫描装置 Active CN101784939B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007214398 2007-08-21
JP2007-214398 2007-08-21
PCT/JP2008/064719 WO2009025261A1 (ja) 2007-08-21 2008-08-19 マルチビーム走査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101784939A true CN101784939A (zh) 2010-07-21
CN101784939B CN101784939B (zh) 2012-11-21

Family

ID=40378163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200880103799XA Active CN101784939B (zh) 2007-08-21 2008-08-19 多光束扫描装置

Country Status (7)

Country Link
US (2) US8248679B2 (zh)
EP (1) EP2189833B1 (zh)
JP (1) JP5384350B2 (zh)
KR (1) KR101120487B1 (zh)
CN (1) CN101784939B (zh)
RU (1) RU2430390C1 (zh)
WO (1) WO2009025261A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107257931A (zh) * 2015-02-20 2017-10-17 苹果公司 用于光束扫描设备的致动光学元件
CN108309452A (zh) * 2018-02-28 2018-07-24 重庆西山科技股份有限公司 用于手术导航的激光扫描注册仪
CN111095019A (zh) * 2017-09-06 2020-05-01 罗伯特·博世有限公司 扫描系统以及用于扫描系统的发送与接收设备
CN114594575A (zh) * 2022-03-31 2022-06-07 歌尔光学科技有限公司 一种光学投影系统以及电子设备

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITFI20120001A1 (it) * 2012-01-11 2013-07-12 Selex Galileo Spa Modulo di scansione continua, sistema di scansione comprendente detto modulo e relativo metodo di scansione
CN105518509B (zh) * 2013-09-05 2020-06-05 麦克马斯特大学 通过调节性折射介质进行聚焦阵列扫描的设备和方法
EP3249531B1 (en) * 2015-01-23 2022-01-05 Kobelco Construction Machinery Co., Ltd. Control means, in-vehicle program rewriting device equipped with same, and in-vehicle program rewriting method
US11277689B2 (en) 2020-02-24 2022-03-15 Logitech Europe S.A. Apparatus and method for optimizing sound quality of a generated audible signal
US11445155B1 (en) * 2021-03-22 2022-09-13 Google Llc Display system with angularly separated lasers
JP7410625B2 (ja) 2021-09-28 2024-01-10 キヤノン株式会社 照明装置、計測装置、基板処理装置、および物品の製造方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3088153B2 (ja) * 1991-10-31 2000-09-18 旭光学工業株式会社 走査式描画装置
JP3499359B2 (ja) * 1996-02-14 2004-02-23 株式会社リコー 多ビーム書込光学系
JP3542481B2 (ja) 1997-12-16 2004-07-14 キヤノン株式会社 マルチビーム走査光学系及びそれを用いた画像形成装置
JP4774157B2 (ja) * 2000-04-13 2011-09-14 株式会社リコー マルチビーム光源装置及び光走査装置
JP4632528B2 (ja) * 2000-12-08 2011-02-16 リコー光学株式会社 マルチビーム走査装置における光ビーム調整方法およびマルチビーム走査装置および画像形成装置
US6771300B2 (en) 2001-03-07 2004-08-03 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam scanning device
US7206014B2 (en) * 2001-07-24 2007-04-17 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam pitch adjusting apparatus and image forming apparatus
JP2003295112A (ja) * 2002-04-05 2003-10-15 Canon Inc 走査型画像表示光学系、走査型画像表示装置および画像表示システム
KR100449729B1 (ko) * 2002-06-29 2004-09-22 삼성전자주식회사 주사 광학장치
JP4136616B2 (ja) * 2002-11-14 2008-08-20 キヤノン株式会社 マルチビーム走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置
US7450274B2 (en) * 2003-05-07 2008-11-11 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus, image forming apparatus, and beam positioning method
JP2005037502A (ja) 2003-07-16 2005-02-10 Ricoh Co Ltd 光走査装置、画像形成装置および光ビーム位置調整方法
JP4260539B2 (ja) 2003-05-07 2009-04-30 株式会社リコー 光走査装置および画像形成装置
JP4453296B2 (ja) 2003-08-07 2010-04-21 ブラザー工業株式会社 画像表示装置
JP4378193B2 (ja) * 2003-09-04 2009-12-02 キヤノン株式会社 マルチビーム光走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置
JP2005127852A (ja) 2003-10-23 2005-05-19 Pentax Corp 走査光学素子検査装置
JP2005227669A (ja) 2004-02-16 2005-08-25 Ricoh Co Ltd マルチビーム走査装置および画像形成装置
JP2007133320A (ja) 2005-11-14 2007-05-31 Sharp Corp 光走査装置及び画像形成装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107257931A (zh) * 2015-02-20 2017-10-17 苹果公司 用于光束扫描设备的致动光学元件
CN107257931B (zh) * 2015-02-20 2020-09-22 苹果公司 用于光束扫描设备的致动光学元件
CN111095019A (zh) * 2017-09-06 2020-05-01 罗伯特·博世有限公司 扫描系统以及用于扫描系统的发送与接收设备
CN111095019B (zh) * 2017-09-06 2024-02-06 罗伯特·博世有限公司 扫描系统以及用于扫描系统的发送与接收设备
CN108309452A (zh) * 2018-02-28 2018-07-24 重庆西山科技股份有限公司 用于手术导航的激光扫描注册仪
CN114594575A (zh) * 2022-03-31 2022-06-07 歌尔光学科技有限公司 一种光学投影系统以及电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
EP2189833A4 (en) 2012-09-12
EP2189833B1 (en) 2017-05-03
US20100302610A1 (en) 2010-12-02
WO2009025261A1 (ja) 2009-02-26
US20130003154A1 (en) 2013-01-03
US8441704B2 (en) 2013-05-14
US8248679B2 (en) 2012-08-21
KR101120487B1 (ko) 2012-04-17
JPWO2009025261A1 (ja) 2010-11-25
EP2189833A1 (en) 2010-05-26
JP5384350B2 (ja) 2014-01-08
CN101784939B (zh) 2012-11-21
KR20100055493A (ko) 2010-05-26
RU2430390C1 (ru) 2011-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101784939B (zh) 多光束扫描装置
US5475522A (en) Optical scanner
JPH06118325A (ja) 光走査装置
JPH07199109A (ja) ラスタースキャニングシステム
JP3513724B2 (ja) ラスタ走査システム
US6108115A (en) Scanning optical system
JPH09138363A (ja) マルチビーム走査装置
JPH0980330A (ja) マルチビーム走査光学系
JPH04101112A (ja) マルチビーム走査光学系
US6137616A (en) Multi-beam optical scanning device
KR100412495B1 (ko) 멀티빔 광주사장치
JPH10282441A (ja) 光源装置及びその光源装置を備えたマルチビーム走査光学装置
JPH09274151A (ja) マルチビーム走査光学装置
JP4106394B2 (ja) マルチビーム光学系
JP3568087B2 (ja) マルチビーム走査光学系およびマルチビーム走査光学系用のカップリング光学系
JP2001075035A (ja) 回折面を用いた走査光学系
JPH01200220A (ja) 光ビーム走査光学系
JP2003057582A (ja) マルチビーム発光装置
JPH10325929A (ja) 走査光学装置
JP2004086019A (ja) 走査光学系
JPH03107811A (ja) 走査光学装置
JPH06202020A (ja) マルチビーム走査光学装置
JPH08292387A (ja) 光走査装置
JPH10142540A (ja) 走査光学装置
JP2004109347A (ja) 走査光学系

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: PRYSM INC.

Free format text: FORMER OWNER: HOYA CORP.

Effective date: 20120227

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20120227

Address after: American California

Applicant after: Prysm Inc.

Address before: Tokyo, Japan, Japan

Applicant before: HOYA Corporation

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210105

Address after: California, USA

Patentee after: Pumi Systems Inc.

Address before: California, USA

Patentee before: Prysm, Inc.