CN101575166B - 划线装置以及使用该划线装置的基板切断装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供划线装置、使用该划线装置的基板切断装置和方法。所述划线装置的特征在于，在母基板的上面或下面任何一个面上形成划线，并在保持母基板的上面和下面的方向性的状态下，接着在母基板的另一个面上形成划线。按照该特征，由于不用翻转基板就可以进行划线工序，所以可以缩短工序时间、提高整个工序的生产率，通过省略了与翻转基板有关的设备，还可以简化设备的布置、节省设备费用。

Description

划线装置以及使用该划线装置的基板切断装置和方法

技术领域

本发明涉及制造平板显示面板中使用的装置和方法，更详细地说，涉及在形成了多个单位基板的母基板上形成划线的划线装置以及使用该划线装置切断母基板的装置和方法。

背景技术

目前，信息处理设备正在向多功能和具有更快的信息处理速度的方向飞速发展。这种信息处理设备具有显示运转后信息的显示器。以往显示器主要使用布劳恩管(阴极射线管)监视器，但是目前更多地使用了重量轻而且占用空间小的薄膜晶体管液晶显示器(薄膜晶体管液晶显示面板)或有机发光二极管显示器这种平板显示器。

一般平板显示器等使用的面板通常利用脆性基板制成，面板主要分成用一块基板构成的单板基板和把两块基板粘接起来的粘接基板两类。

粘接基板被加工成各种尺寸，从手机的液晶显示器用面板这种小型面板到电视或显示器等面板这种大型面板都可以使用，所以可以从大型的母基板切断成规定尺寸的单位基板，来作为各种面板使用。

切断母基板的方法有利用激光束切断的方法、或用镶入细小的金刚石的划线轮切断的方法。

利用激光束切断母基板的方法包括：划线工序，沿母基板的预定切断线照射划线用激光束，形成划线，并使加热后的划线急冷；切断工序，沿划线照射切断用激光束，把母基板切断成单位基板。

利用划线轮切断母基板的方法包括：划线工序，使划线轮接触母基板的预定切断线后，沿预定切断线形成规定深度的划线；切断工序，通过对母基板施加物理方式的冲击，使裂纹沿划线扩展，把母基板切断成单位基板。

发明内容

本发明的目的是提供一种划线装置以及使用这种划线装置的基板切断装置和方法，所述划线装置在保持母基板的上面和下面的方向性的状态下，可以在母基板的上下两面中的任何一个面上形成划线，并接着在另一个面上形成划线。

本发明的目的不限于此，对于未谈及的其他目的，通过以下的叙述，本领域技术人员应该可以清楚地了解。

为了实现所述课题，本发明提供一种划线装置，执行用于把形成有多个单位基板的母基板分割成单位基板的划线工序，其特征在于包括：第一划线部，在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线；以及第二划线部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线。

在具有上述结构的本发明的划线装置中，所述第一划线部可以包括支承所述母基板下面的第一支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第一划线单元；所述第二划线部可以包括支承所述母基板上面的第二支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第二划线单元。

所述第一划线部可以包括支承所述母基板上面的第一支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第一划线单元；所述第二划线部可以包括支承所述母基板下面的第二支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第二划线单元。

所述母基板可以是平板显示器基板。

所述平板显示器基板可以是把彩色滤光基板和薄膜晶体管基板沿上下方向层叠的薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD)用面板。

为了实现所述课题，本发明提供一种基板切断装置，其特征在于包括：装载部，装载形成有多个单位基板的母基板；第一划线部，在从所述装载部传送来的所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线；第二划线部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线；切断部，沿在所述母基板上生成的划线把所述母基板分割成单位基板；以及卸载部，把分割后的所述单位基板卸载。

在具有上述结构的本发明的基板切断装置中，所述第一划线部可以包括支承所述母基板下面的第一支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第一划线单元；所述第二划线部可以包括支承所述母基板上面的第二支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第二划线单元。

所述第一划线部可以包括支承所述母基板上面的第一支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第一划线单元；所述第二划线部可以包括支承所述母基板下面的第二支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第二划线单元。

为了实现所述课题，本发明提供一种基板切断方法，用于把形成有单位基板的母基板分割成单位基板，其特征在于，在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线，并在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在所述母基板的另一个面形成划线。

按照本发明，可以在保持母基板的上面和下面的方向性的状态下，在母基板的上下两面中的任何一个面上形成划线，接着在另一个面上形成划线。

并且，按照本发明，由于不用翻转基板就可以进行划线工序，所以可以缩短工序时间，提高整个工序的生产率。

此外，按照本发明，通过省略了与翻转基板有关的设备，可以简化设备的布置，降低设备费用。

附图说明

以下说明的附图其目的是作为一个示例，不是用于限制本发明的范围。

图1是表示母基板的一个例子的图。

图2是简要表示本发明的基板切断装置结构的图。

图3是简要表示图2的第一和第二划线部结构的图。

图4是图3的第一划线部的立体图。

图5是图4的第一划线部的俯视图。

图6是图4的支承构件的侧视图。

图7是图4的“A”部分的放大图。

图8A和图8B是表示图7的托架和引导推进器之间的连接关系的剖面图。

图9是图7的划线针的立体图。

图10是图9的划线针下端的局部剖面图。

图11是图10的划线轮的俯视图。

图12A至图12K是表示利用本发明的第一划线部在母基板上形成划线过程的图。

图13是图3的第二划线部13的立体图。

图14是图13的“C”部分的放大图。

附图标记说明

1  母基板

12 第一划线部

13 第二划线部

100支承构件

200划线单元

300移动单元

400控制部

100’基板传送构件

200’划线单元

具体实施方式

下面根据附图对本发明优选实施方式的划线装置、以及使用该划线装置的基板切断装置和方法进行详细说明。首先应该注意的是：当对各图的构成要素附加附图标记时，对于相同的构成要素，即使在不同的图中表示，也要采用相同的附图标记。此外，在对本发明的说明中，对于相关公知结构或功能的具体说明，在判断不脱离本发明宗旨的情况下，省略对其详细说明。

图1是表示母基板的一个例子的图。

如图1所示，母基板1是薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD：ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display)用面板。母基板1由大体方板形的第一母基板2和第二母基板3构成。第一母基板2和第二母基板3上下层叠。在第一母基板2和第二母基板3上形成多个单位基板2a、3a，单位基板2a、3a在第一母基板2和第二母基板3的平面上排列成格子形。第一母基板2形成薄膜晶体管基板，第二母基板3形成彩色滤光基板。另一方面，母基板1是作为一种平板显示器用面板的有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diodes)显示器用面板等。

图2是简要表示本发明的基板切断装置10的结构的图。

如图2所示，基板切断装置10用于把母基板(图1中的附图标记1)切断成多个单位基板，它包括装载部11、第一划线部12、第二划线部13、切断部14和卸载部15。装载部11、第一划线部12、第二划线部13、切断部14和卸载部15可以顺序配置成一列。但本发明的基板切断装置10的排列结构不限于此，其他还有コ形排列结构等多种排列结构。

母基板1通过装载部11被装入到基板切断装置10中，第一划线部12在第一母基板2上形成划线，第二划线部13在第二母基板3上形成划线。切断部14用切断杆(图中没有表示)，对母基板1上形成的划线部位施加力，把单位基板从母基板1上分离，分离后的基板通过卸载部15送到基板切断装置10的外部。

图3是简要表示图2的第一和第二划线部结构的图。

如图3所示，第一划线部12包括支承母基板1的支承构件100、形成划线的划线单元200和使划线单元200移动的移动单元300。母基板1以下层的第二母基板3放置在支承构件100上的状态被支承，划线单元200在放置在支承构件100上的母基板1的上层形成划线，即在第一母基板2上形成划线。移动单元300在进行划线工序中，使划线单元200沿第一母基板2上的预定切断线直线移动。

第二划线部13包括基板传送构件100’、划线单元200’和移动单元300。基板传送构件100’在第二母基板3朝向下方的状态下，把母基板1从第一划线部12传送到第二划线部13，并在第二划线部13进行划线工序期间支承母基板1。基板传送构件100’吸附母基板1的上层，即吸附第一母基板2，来支承母基板1。划线单元200’和移动单元300配置在基板传送构件100’的下面。划线单元200’在用基板传送构件100’支承的母基板1的下层形成划线，即在第二母基板3上形成划线。移动单元300在进行划线工序中，使划线单元200’沿第二母基板3上的预定切断线直线移动。

按照这种结构，本发明的基板切断装置10在母基板1的上层形成划线，即在第一母基板2上形成划线，并可以在不翻转母基板1保持母基板1的上面和下面的方向性的状态下，接着在母基板1的下层形成划线，即在第二母基板3上形成划线。

以往的基板切断装置在母基板的一个面上形成划线后，要把母基板翻转，在母基板的另一个面上形成划线。因此与翻转基板相关联，存在有装置的布置变得复杂、设备费用增加、工序时间变长等问题。可是本发明由于可以不使母基板翻转而对母基板的两个面依次进行划线工序，所以具有可以简化装置结构、缩短工序时间等优点。

下面对第一划线部12和第二划线部13的结构再进行详细的说明。首先说明第一划线部12，然后说明第二划线部13。

图4是图3的第一划线部的立体图，图5是图4的第一划线部的俯视图，图6是图4的支承构件的侧视图。图7是图4的“A”部分的放大图，图8A和图8B是表示图7的托架和引导推进器之间的连接关系的剖面图。

第一方向I是后面叙述的支承构件100的直线移动方向，第二方向II是在第一划线部12的平面配置结构上与第一方向I垂直的方向，第三方向III是与第一方向I和第二方向II垂直的方向。第一方向I和第二方向II分别对应于在母基板1上排列成格子形的单位基板2a、3a的排列方向中的任何一个方向。

如图4至图8B所示，第一划线部12包括支承构件100、划线单元200(200a-1、200a-2、200b)和移动单元300(300a、300b)。支承构件100支承母基板1，使母基板1沿第一方向I直线移动。划线单元200与放置在支承构件100上的母基板1的第一母基板2接触，形成第一方向I的划线和第二方向II的划线。移动单元300使划线单元200在第二方向II上直线移动。

第一移动单元300a使第一划线单元200a-1、200a-2在第二方向II上移动，并调节第一划线单元200a-1、200a-2之间的间隔。通过调节第一划线单元200a-1、200a-2之间的间隔，调节第一方向I的划线的间隔。在形成第一方向I的划线时，第一划线单元200a-1、200a-2固定，使母基板1在第一方向I上移动。

第二移动单元300b使第二划线单元200b在第二方向II上直线移动。在形成第二方向II的划线时，母基板1固定，第二划线单元200b利用第二移动单元300b在第二方向II上直线移动。利用母基板1在第一方向I上移动来调节第二方向II的划线的间隔。

支承构件100包括工作台120和驱动单元140。母基板1放置在工作台120上。驱动单元140使工作台120在第一方向I上直线移动。

工作台120具有上板122和下板124。上板122和下板124为大体长方形的形状，上板122位于下板124的上侧。母基板1放置在上板122上。上板122的面积与母基板1相同或比它大。在上板122的上面形成与真空管路(图中没有表示)连接的多个孔(图中没有表示)，母基板1利用真空压力被固定在上板122上。此外在上板122或下板124上附设使母基板1固定在上板122上的夹板(图中没有表示)。

驱动单元140使工作台120在第一方向I上直线移动。驱动单元140具有导向件142、托架144和驱动器(图中没有表示)。导向件142的形状沿第一方向I长，安装在底座B上的中央。导向件142沿长度方向具有相同的宽度。导向件142的上面为平的形状，在导向件142的两个侧面上分别具有沿长度方向长的槽141。

工作台120用托架144连接在导向件142上。托架144具有底板145、支承板147和连接板149。底板145为平的长方形形状，位于导向件142上。支承板147垂直地固定设置在底板145的上面，固定连接在工作台120的下板124上，以支承工作台120。支承板147有两个，并排配置在底板145的上面两侧。连接板149具有垂直连接在底板145的底面的侧板149a、从侧板149a的下端向内侧垂直延伸的插入板149b。插入板149b插入到在导向件142的侧面形成的槽141中。连接板149有相对的两个。

驱动器提供驱动力，由导向件142引导工作台120在第一方向I上直线移动。驱动器可以使用包括电动机和螺杆的组件。也可以有选择地把电动机、皮带和皮带轮的组合构成的组件或包括直线电动机(LinearMotor)的组件作为驱动器使用。所述的多种组件的具体结构由于对本领域技术人员来说是众所周知的，所以对此省略了详细的说明。

划线单元200包括第一划线单元200a-1、200a-2和第二划线单元200b。第一划线单元200a-1、200a-2在支承构件100移动的路径上并排排列在第二方向II上，第二划线单元200b沿第一方向I位于第一划线单元200a-1、200a-2的一侧。第一划线单元200a-1、200a-2在母基板1上形成第一方向I上的划线，第二划线单元200b在母基板1上形成第二方向II上的划线。

在本实施方式中，虽然例举了作为第一划线单元200a-1、200a-2有两个划线单元200a-1、200a-2的例子进行说明，但当然可以配置两个以上的多个划线单元。第一划线单元200a-1、200a-2利用后面叙述的第一移动单元300a向第二方向II移动，并调节间隔。

如图7所示，第一划线单元200a-1具有在第二方向II上并排配置的两个划线针220a-1、240a-1，第一划线单元200a-2具有在第二方向II上并排配置的两个划线针220a-2、240a-2，第二划线单元200b具有在第二方向II上并排配置的两个划线针220b、240b。由于划线针220a-1、240a-1、220a-2、240a-2、220b、240b具有相同的结构，所以下面以其中一个划线针220a-1为例进行说明，对划线针240a-1、220a-2、240a-2、220b、240b省略说明。

图9是图7的划线针的立体图，图10是图9的划线针下端的局部剖面图，图11是图10的划线轮的俯视图。

如图9至图11所示，划线针220a-1具有划线轮222、支承件224、按压构件226、振子228。划线轮222在进行划线工序时与母基板1接触并转动，在母基板1上形成划线。划线轮222使用金刚石材质的轮。在划线轮222的中央形成圆形的通孔222a，划线轮222的边缘222b为尖锐的形状。

划线轮222由支承件224支承。支承件224具有主体224a和轴销224b。在主体224a的下面形成沿一个方向贯通主体224a的槽225。轴销224b是断面为圆形的长杆形。轴销224b在与槽225的长度方向垂直的方向上位于槽225内。轴销224b的两端固定设置在主体224a上。轴销224b贯通在划线轮222上形成的通孔222a。在划线轮222用轴销224b支承时，划线轮222的一部分位于槽225内，其他部分部突出到支承件224下面。

按压构件226在划线轮222和母基板1接触时，对划线轮222施加压力，使划线轮222以规定的力按压母基板1。作为一个例子，按压构件226位于支承件224的上部，通过利用气压向下按压支承件224，对划线轮222施加压力。

振子228在进行划线工序时，对划线轮222施加振动。振子228安装在主体224a内部，振子228可以使用超声波振子。

参照图4至图8B，移动单元300包括第一移动单元300a和第二移动单元300b。第一移动单元300a使第一划线单元200a-1、200a-2向第二方向II移动，把第一划线单元200a-1、200a-2定位在母基板1上第一方向I的预定切断线上。第二移动单元300b使第二划线单元200b沿母基板1上第二方向II的预定切断线移动。并且，由导向构件370引导第一划线单元200a-1、200a-2的直线移动和第二划线单元200b的直线移动。

第一移动单元300a包括第一垂直支承台310a、第一托架330a-1、330a-2和第一驱动构件350。第一垂直支承台310a以一定的距离间隔配置在第二方向II上。第一垂直支承台310a配置成在母基板1沿第一方向I直线移动时，母基板1可以通过第一垂直支承台310a之间。在第一垂直支承台310a的上端固定设置有导向构件370，导向构件370的长度方向定位在第二方向II上。在导向构件370的上面和下面具有沿长度方向长的槽372、374。

第一划线单元200a-1利用第一托架330a-1与导向构件370连接，第一划线单元200a-2利用第一托架330a-2与导向构件370连接。由于第一托架330a-1、330a-2具有相同的结构，所以下面仅对第一托架330a-1进行说明。如图7所示，第一托架330a-1具有支承板332和连接板334。支承板332为平的长方形板，位于导向构件370的一个侧面上。连接板334具有从支承板332的上侧和下侧与支承板332垂直地突出的侧板334a、以及插入到在导向构件370上形成的槽372中的插入板334b。

第一驱动构件350提供驱动力，使第一托架330a-1、330a-2沿导向构件370直线移动。第一驱动构件350具有与导向构件370平行配置的第一引导推进器352、354。如图8A所示，在第一引导推进器352上以能够直线移动的方式安装第一托架330a-1，在第一引导推进器354上以能够直线移动的方式安装第一托架330a-2。即，把第一引导推进器352、354插入第一托架330a-1中，相对于第一引导推进器352与在第一托架330a-1上形成的阴螺纹部335-1啮合，第一引导推进器354以与在第一托架330a-1上形成的孔336-1不接触的状态贯通该孔。与此相同，把第一引导推进器352、354插入第一托架330a-2，相对于第一引导推进器352以与在第一托架330a-2上形成的孔336-2不接触的状态贯通该孔，第一引导推进器354与在第一托架330a-2上形成的阴螺纹部335-2啮合。

在第一引导推进器352驱动时，第一托架330-1直线移动，而第一托架330-2不动，在第一引导推进器354驱动时，第一托架330-1不动，而第一托架330-2直线移动。利用这种驱动方式，使连接在第一托架330a-1上的第一划线单元200a-1和连接在第一托架330a-2上的第一划线单元200a-2沿第二方向II移动，调节第一划线单元200a-1、200a-2之间的间隔。

在第一引导推进器352的一端连接有提供转动力的第一驱动器353，在第一引导推进器354的一端连接有提供转动力的第一驱动器355。第一驱动器353和355可以使用电动机等驱动器。第一驱动构件350以包括电动机和引导推进器的组件为例进行了说明，除此以外也可以使用如气缸等能为第一托架330a-1、330a-2提供直线驱动力的多种驱动器。

如图7所示，第一划线单元200a-1以能够上下移动的方式安装在第一托架330a-1的支承板332上。作为一个例子，在支承板332上，形成沿第三方向III的狭缝形状的导向槽331，第一划线单元200a-1的划线针220a-1、240a-1分别连接在插入导向槽331中的支承轴(图中没有表示)上。第一划线单元200a-2也以能够上下移动的方式连接在第一托架330a-2上，由于连接结构与第一划线单元200a-1的连接结构相同，所以省略了对它的说明。

第二移动单元300b包括第二垂直支承台310b、第二托架330b和第二驱动构件350’。第二垂直支承台310b以一定的距离间隔配置在第二方向II上。第二垂直支承台310b配置成在母基板1沿第一方向I直线移动时，母基板1可以通过第二垂直支承台310b之间。第二垂直支承台310b配置成固定连接在上端被固定在第一垂直支承台310a上端的导向构件370上。

第二划线单元200b利用第二托架330b连接在导向构件370上。由于第二托架330b具有与上述第一托架330a-1相同的结构，所以省略了对它的说明。

第二驱动构件350’提供驱动力，使第二托架330b沿导向构件370直线移动。第二驱动构件350’具有与导向构件370平行配置的第二引导推进器352’。如图8B所示，在第二引导推进器352’上以能够直线移动的方式安装第二托架330b。即，在第二托架330b上形成的阴螺纹部335’和第二引导推进器352’啮合。利用这种驱动方式，使连接在第二托架330b上的第二划线单元200b沿第二方向II移动。

在第二引导推进器352’的一端上连接有提供转动力的第二驱动器353’。第二驱动器353’可以使用电动机等驱动器。虽然以包括电动机和引导推进器的组件为例对第二驱动构件350’进行了说明，但除此以外也可以使用如气缸等能够为第二托架330b中提供直线驱动力的多种驱动器。

第二划线单元200b以能够上下移动的方式连接在第二托架330b上，由于连接结构与上述第一划线单元200a-1的连接结构相同，所以省略了对它的说明。

由控制部400控制上述的第一和第二移动单元300a、300b的动作。控制部400控制第一移动单元300a的第一驱动器353、355和第二移动单元300b的第二驱动器353’的动作。通过控制第一驱动器353、355，使第一划线单元200a-1、200a-2向第二方向II移动，以调节第一划线单元200a-1、200a-2之间的间隔。并且通过控制第二驱动器353’，可以使第二划线单元200b向第二方向II移动。

下面对使用具有如上所述结构的本发明的第一划线部12，在母基板1的第一母基板2上形成划线的过程说明如下。

图12A至图12K是表示利用本发明的第一划线部，在母基板上形成划线的过程的图。

把母基板1放置在工作台120的上板122上，使第一母基板2朝上。工作台120利用驱动器(图中没有表示)在第一方向I上直线移动(图12A)。如果工作台120移动到规定的位置(即，把第一母基板2的第一预定切断线a定位在第二划线单元200b的位置)后，则停止工作台120的移动(图12B)。

此后，在第二划线单元200b沿第二方向II定位在第一母基板2的第一预定切断线a上的状态下，驱动第二移动单元300b的第二驱动器353’，使第二划线单元200b在第一母基板2一侧的方向上移动。此时，第二划线单元200b的划线针220b、240b中的一个划线针220b或240b向下移动，位于可以与第一母基板2接触的高度(图12C)。

在这种状态下，驱动第二移动单元300b的第二驱动器353’，使第二划线单元200b沿第二方向II移动，横穿第一母基板2。此时，在第二划线单元200b的划线针220b、240b中与第一母基板2接触的划线针，在第一母基板2上形成裂纹。通过连续沿第一预定切断线a形成裂纹，在第一母基板2上形成划线。形成划线后，第二划线单元200b的划线针220b、240b向上移动(图12D)。

工作台120利用驱动器(图中没有表示)向第一方向I直线移动。工作台120移动到规定的位置(即，把第一母基板2的第二预定切断线b定位在第二划线单元200b的位置)后，停止工作台120的移动。并且第二划线单元200b的划线针220b、240b中的一个划线针220b或240b向下移动，位于可以与第一母基板2接触的高度(图12E)。

此后，驱动第二移动单元300b的第二驱动器353’，使第二划线单元200b沿第二方向II移动，横穿第一母基板2。此时，第二划线单元200b的划线针220b、240b中与第一母基板2接触的划线针在第一母基板2上形成裂纹。通过连续沿第二预定切断线b形成裂纹，在第一母基板2上形成划线。形成划线后，第二划线单元200b的划线针220b、240b向上移动(图12F)。

通过反复进行上述说明的过程，沿剩余的预定切断线c、d在第一母基板2上形成划线，此后，工作台120利用驱动器(图中没有表示)向第一方向I直线移动。工作台120移动到规定的位置后，停止工作台120的移动(图12G)。

此后，驱动第一移动单元300a的驱动器353、355，调节第一划线单元200a-1、200a-2之间的间隔。利用第一移动单元300a把第一划线单元200a-1移动到规定的位置(即，把第一划线单元200a-1定位在第一母基板2的预定切断线e上的位置)后，把第一划线单元200a-2移动到规定的位置(即，把第一划线单元200a-2定位在第一母基板2的预定切断线f上的位置)。此时，第一划线单元200a-1的划线针220a-1、240a-1中的一个划线针220a-1或240a-1向下移动，位于可以与第一母基板2接触的高度，使第一划线单元200a-2的划线针220a-2、240a-2中的一个划线针220a-2或240a-2向下移动，位于可以与第一母基板2接触的高度(图12H)。

在第一划线单元200a-1、200a-2沿第一方向I定位在第一母基板2的预定切断线e、f上的状态下，工作台120利用驱动器(图中没有表示)向第一方向I直线移动。当工作台120移动到规定的位置(即，沿第一母基板2的预定切断线e、f在第一母基板2上形成划线的位置)后，停止工作台120的移动(图12I)。

此后，驱动第一移动单元300a的驱动器353、355，使第一划线单元200a-1、200a-2移动，将第一划线单元200a-1、200a-2定位在预定切断线g、h上。利用第一移动单元300a把第一划线单元200a-1移动到规定的位置(即，把第一划线单元200a-1定位在第一母基板2的预定切断线g上的位置)，把第一划线单元200a-2移动到规定的位置(即，把第一划线单元200a-2定位在第一母基板2的预定切断线h上的位置)。此时，第一划线单元200a-1的划线针220a-1、240a-1中的一个划线针220a-1或240a-1向下移动，位于可以与第一母基板2接触的高度，第一划线单元200a-2的划线针220a-2、240a-2中的一个划线针220a-2或240a-2向下移动，位于可以与第一母基板2接触的高度(图12J)。

在第一划线单元200a-1、200a-2沿第一方向I定位在第一母基板2的预定切断线g、h上的状态下，工作台120利用驱动器(图中没有表示)向第一方向I直线移动。当工作台120移动到规定的位置(即，沿第一母基板2的预定切断线g、h在第一母基板2上形成划线的位置)后，停止工作台120的移动(图12K)。

下面对第二划线部13的结构和动作进行说明。

图13是图3的第二划线部13的立体图，图14是图13的“C”部分的放大图。其中对于与图4和图7所示的构成要素具有相同结构的要素，采用相同的附图标记。

第二划线部13包括基板传送构件100’、划线单元200’和移动单元300。

基板传送构件100’在第二母基板3朝下的状态下，把母基板1从第一划线部12送到第二划线部13，并在第二划线部13进行划线工序期间支承母基板1。

基板传送构件100’把在第一母基板2上形成有划线、第二母基板3朝下状态的母基板1从第一划线部12送到第二划线部13。基板传送构件100’在第二划线部13对母基板1的第二母基板3进行划线工序期间吸附并支承第一母基板2。

基板传送构件100’包括传送件110’和吸附板120’。传送件110’具有板状的支承板112’、从支承板112’下面向下延长的多个支承台114’。在支承台114’的端部连接着吸附板120’。吸附板120’用于吸附并支承母基板1，在母基板1接触的吸附板120’的下面形成有多个吸附孔(图中没有表示)，在吸附板120’的内部形成与吸附孔(图中没有表示)连通的真空管路(图中没有表示)。基板传送构件100’利用驱动装置(图中没有表示)可以在第一方向I或第三方向III上直线移动。

基板传送构件100’的吸附板120’吸附并支承母基板1，此时，以第一母基板2与吸附板120’面接触的状态支承母基板1，使第二母基板3朝下。

在基板传送构件100’的下面，有划线单元200’和移动单元300。划线单元200’在利用基板传送构件100’支承的母基板1的下层即第二母基板3上形成划线，移动单元300在进行划线工序的过程中，使划线单元200’沿第二母基板3上的预定切断线直线移动。

划线单元200’和移动单元300由于具有与第一划线部12的划线单元200和移动单元300相同的结构，所以省略了对它们的详细说明。但是，第二划线部13的划线单元200’(200’a-1、200’a-2、200’b)被设置成是第一划线部12的划线单元200(200a-1、200a-2、200b)的倒像。即，划线单元200’(200’a-1、200’a-2、200’b)被设置成划线轮222’朝向位于划线单元200’(200’a-1、200’a-2、200’b)的上部的母基板1。

具有上述结构的第二划线部13的划线工序与第一划线部12的划线工序以相同的顺序进行，本领域技术人员可以容易地推出对此的详细说明，所以在此省略了说明。

另一方面，以上举例说明的基板切断装置的结构是第一划线部12在母基板1的上面即第一母基板2上形成划线、第二划线部13在母基板1的下面即第二母基板3上形成划线，但本发明的基板切断装置不限于此，其结构也可以是第一划线部12在母基板1的下面即第二母基板3上形成划线，而第二划线部13在母基板1的上面即第一母基板2上形成划线。

具有以上说明的结构的本发明的基板切断装置可以在保持母基板的上面和下面的方向性的状态下，在母基板的上下两面中的任何一个面上形成划线，然后在另一个面上形成划线。

并且，本发明的基板切断装置由于可以不翻转基板进行划线工序，所以可以缩短工序时间、提高整个工序的生产率。

此外，本发明的基板切断装置通过省略了与翻转基板有关的设备，所以可以简化设备的布置、节省设备费用。

以上的说明只不过是举例说明本发明的技术思想，具有本发明所属技术领域的普通技术知识的人可以在不脱离本发明本质特征的范围内，进行多种改进和变形。因此本发明公开的实施方式不是用于限定本发明的技术思想，只是为了进行说明用的，这些实施方式并不限定本发明技术思想的范围。本发明的保护范围应该用权利要求来解释，在与本发明权利要求等同范围内的所有技术思想都应该解释为包括在本发明的权利要求范围内。

Claims (18)

1.一种划线装置，执行用于把形成有多个单位基板的母基板分割成单位基板的划线工序，其特征在于包括：

第一划线部，在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线；以及

第二划线部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线。

2.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板下面的第一支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板上面的第二支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第二划线单元。

3.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板上面的第一支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板下面的第二支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第二划线单元。

4.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，所述母基板是平板显示器基板。

5.根据权利要求4所述的划线装置，其特征在于，所述平板显示器基板是把彩色滤光基板和薄膜晶体管基板沿上下方向层叠的薄膜晶体管-液晶显示器用面板。

6.一种基板切断装置，其特征在于包括：

装载部，装载形成有多个单位基板的母基板；

第一划线部，在从所述装载部传送来的所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线；

第二划线部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线；

切断部，沿在所述母基板上生成的划线把所述母基板分割成单位基板；以及

卸载部，把分割后的所述单位基板卸载。

7.根据权利要求6所述的基板切断装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板下面的第一支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板上面的第二支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第二划线单元。

8.根据权利要求6所述的基板切断装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板上面的第一支承构件、在所述母基板的下面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板下面的第二支承构件、在所述母基板的上面上形成划线的第二划线单元。

9.一种基板切断方法，用于把形成有单位基板的母基板分割成单位基板，其特征在于，

在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线，之后，

在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在所述母基板的另一个面上形成划线。

10.根据权利要求9所述的基板切断方法，其特征在于，

在支承所述母基板的下面的状态下，在所述母基板的上面上形成划线，

在吸附并支承形成了划线的所述母基板的上面的状态下，在所述母基板的下面上形成划线。

11.根据权利要求9所述的基板切断方法，其特征在于，

在吸附并支承所述母基板上面的状态下，在所述母基板的下面上形成划线，

在支承形成了划线的所述母基板下面的状态下，在所述母基板的上面上形成划线。

12.一种划线装置，执行用于把形成有多个单位基板的母基板分割成单位基板的划线工序，其特征在于包括：

第一划线部，在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线；以及

第二划线部，与所述第一划线部相邻配置，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线。

13.根据权利要求12所述的划线装置，其特征在于，

所述第一划线部包括：

第一支承构件，支承所述母基板的下面，能够在第一方向上直线移动；以及

第一划线单元，提供到所述第一支承构件的移动路径上部，在所述母基板的上面上形成划线。

14.根据权利要求13所述的划线装置，其特征在于，

所述第二划线部包括：

第二划线单元，沿所述第一方向提供到所述第一划线单元的后方；

第二支承构件，能够从所述第一和第二划线单元的上部沿所述第一方向直线移动，并且能沿与所述第一方向垂直的第二方向上下移动，吸附放置在所述第一支承构件上的所述母基板的上面；

所述第二划线单元在被所述第二支承构件吸附的所述母基板的下面上形成划线。

15.根据权利要求14所述的划线装置，其特征在于，所述第一划线单元的划线轮向下定位，朝向所述母基板的上面，所述第二划线单元的划线轮向上定位，朝向所述母基板的下面。

16.根据权利要求14所述的划线装置，其特征在于，

所述第二支承构件包括：

吸附板，在表面形成有多个吸附孔，以吸附所述母基板；以及

驱动器，使所述吸附板在所述上下方向和所述第一方向上直线移动。

17.根据权利要求12所述的划线装置，其特征在于，

所述第一划线部包括：

第一支承构件，吸附所述母基板的上面，能够在第一方向上直线移动；以及

第一划线单元，提供到所述第一支承构件的移动路径下部，在所述母基板的下面上形成划线。

18.根据权利要求17所述的划线装置，其特征在于，

所述第二划线部包括：

第二支承构件，位于所述第一划线单元的后方，从所述第一支承构件传送所述母基板，并支承所述母基板的下面，所述第二支承构件能够在所述第一方向上直线移动；以及

第二划线单元，提供到所述第二支承构件的移动路径上部，在所述母基板的上面上形成划线。

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