CN101565649B - 回收硅片切割液的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种从硅片切割生产过程产生的废切割液中，回收切割液的精制办法。按照本发明提供的技术方案，所述从硅片切割生产过程产生的废切割液中回收切割液的方法，包括如下步骤：步骤一，分离固体份，在分离设备中去所述除废切割液中的固体份；步骤二，精密过滤，将去除了固体份后的废切割液送入精密过滤器；步骤三，膜分离，利用水泵使经过精密过滤后的废切割液通过分子量在50000-7000000MW的过滤膜；步骤四，离子交换，将经过膜分离后的废切割液通过离子交换设备；步骤五，蒸发浓缩脱水，经过离子交换后的废切割液送入浓缩设备内，形成可回用的切割液。本发明可以有效解决目前切割液回收行业中存在的固液分离困难、回收液纯度不高，回收收率较低等普遍问题。

Description

回收硅片切割液的方法
技术领域
本发明涉及一种从硅片切割生产过程产生的废切割液中，回收切割液的精制办法。应用于太阳能行业、电子行业等硅片切割加工所产生的废切割液的回收利用。
背景技术
由于在应用上对太阳能硅片表面的平整度、洁净度、导电性等性能指标有着严格的要求，太阳能硅片的切割过程中，需要使用硬度高、粒度小且粒径分布集中的碳化硅微粉作为主要切削介质。为使碳化硅微粉在切削过程中分散均匀，同时及时带走切削过程中产生的巨大的摩擦热，通常需先将碳化微粉按照一定比例加入到以聚乙二醇(PEG)基为主要原料合成的水溶性太阳能硅片切割液中并充分分散，配置成均匀稳定的切割砂浆后再用于硅片切割。
使用碳化硅微粉作为介质在太阳能硅片线切割过程中，由于碳化硅颗粒与硅棒之间的碰撞和摩擦而产生的破碎碳化硅颗粒和硅颗粒也将混入切割体系中。为了避免被切割开的硅片受切割体系温度升高的影响而发生翘曲和其表面被细碎颗粒过度研磨而影响其光洁度，必须设法将切割热及破碎颗粒及时带出切割体系，因此切割液的主要作用是使砂浆具有良好的流动性，碳化硅颗粒能够在切割体系中均匀稳定的分散，在钢线的高速运动中以均匀平稳的切割力场作用于硅棒表面，同时及时带走切割热和破碎颗粒，保证硅片的表面质量。
整个切割过程对太阳能硅片切割液的质量提出了极高的要求和技术标准。由于太阳能硅片切割液是用浸润性好，排削能力强且对碳化硅类磨料具有优良的分散特性的聚乙二醇(PEG)基为主要成份生成的化合物，因而聚乙二醇(PEG)的性能特点对硅片切割液本身以及硅片的加工过程起着无可替代的作用。聚乙二醇(PEG)为低毒无刺激性聚合物。具有很强的吸水性，在常温条件下可从空气中吸收水分，液体可与水任意比例混溶，当温度升高后，任何级分的固体聚乙二醇均能与水任意比例互溶，当温度高至水的沸点时，聚合物会沉淀出来，析出温度取决于聚合物的分子量和浓度。用于硅片切割过程中的切割液的聚乙二醇(PEG)分子量通常为300-400，这一级别的PEG具有适宜的粘度指标，既有良好的流动性，又对碳化硅微粉具有良好的分散稳定性，带砂能力强。除了聚乙二醇之外，切割液中还包括其他一些有机成分，主要有乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂、渗透剂、粘度调节剂等。
发明内容
本发明的目的在于研究一种硅片切割液回收过程中的精制办法，以便有效解决目前切割液回收行业中存在的固液分离困难、回收液纯度不高，回收收率较低等普遍问题，实现资源的可再生利用，并达到清洁生产要求。
按照本发明提供的技术方案，所述从硅片切割生产过程产生的废切割液中回收切割液的方法，包括如下步骤：
步骤一，分离固体份，在分离设备中去所述除废切割液中的固体份；
步骤二，精密过滤，将去除了固体份后的废切割液送入精密过滤器，精密过滤器的过滤精度在1～25μm；以去除废切割液中残留的硅粉和颗粒杂质；
步骤三，膜分离，利用水泵使经过精密过滤后的废切割液通过分子量在50000-7000000MW的过滤膜，以去除废切割液中分子量大于50000到7000000的杂质；操作压力在0.1-2.0mpa；对于某种选定的膜来说，分子量是固定的，对于不同性质的PEG废切割液，可以选用的过滤膜的分子量从50000到7000000之间的某一种过滤膜来对废切割液进行分离，废切割液中大于所述分子量的物质不能通过所述过滤膜，只有小于所述分子量的物质才能通过所述过滤膜；
步骤四，离子交换，将经过膜分离后的废切割液通过离子交换设备，以吸附掉所述废切割液中的重金属离子、酸根离子以及加水洗料过程中混入的钙、镁离子；
步骤五，蒸发浓缩脱水，经过离子交换后的废切割液送入浓缩设备内，使所述废切割液的含水率下降至0.5％，形成可回用的切割液。
所述切割液的成分为：聚乙二醇、乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂、渗透剂及粘度调节剂。
步骤一中所述的分离设备包括离心分离器、板框过滤器或沉降器；在所述分离设备中去除所述固体份时，要降低废切割液的黏度至50-150cps；降低废切割液的黏度的方法包括加温或/和加水稀释。
步骤二中所述的精密过滤器包括袋式过滤器或滤芯式过滤器；过滤形式包括滤渣收集式或滤渣自排放式。
在精密过滤时，采用不同精度的过滤器进行串联后分级过滤。
所述过滤膜为卷式膜、板式膜、中空纤维膜或陶瓷膜；操作温度为5-65℃。切割液是以聚乙二醇为主要组分但同时包括乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂、渗透剂及粘度调节剂等成分的液体，废切割液中的这些成分不能在膜分离时被过滤膜截留掉，否则切割液的组分就会遭到破坏。这些成分都有其个性的分子量特征，如用于切割液中的聚乙二醇分子量为200-700。膜分离后这些东西要能够全部被保留在切割液中。因此，过滤膜的分子量选择就要兼顾到所有对切割液有用的成分可以通过膜孔，不需要的成分则被过滤掉。
所述离子交换设备包括树脂交换柱，所述树脂交换柱选用阴阳离子分列单柱串联、或多柱串联、或单柱加混合树脂交换柱串联；操作压力在0.05-0.40mpa，操作温度5-48℃。
步骤五中所述的浓缩设备包括单效蒸发浓缩设备、多效蒸发浓缩设备；或者转鼓式、降膜式、升膜式、立管式或强制循环式浓缩设备，或者这些设备中的负压或常压蒸发设备。
在所述负压蒸发设备中，当采用三效负压蒸发器时，一效的负压在0.005-0.05mpa之间，温度在70-90℃；二效的负压在0.05-0.15mpa之间，温度在50-75℃。
所述的蒸发浓缩脱水工序所得到的蒸馏水用于：(1)、步骤一中，作为降低粘度的水；(2)、采用板框作为压滤设备时在进料完毕后，吹气前进一定量的水将板框滤饼中所含的PEG洗脱出来，以提高回收率。同时还可以用于PEG废切割液回收过程的管道冲洗、场地清洁、废硅粉清洗等工艺清洗用水。
本发明的优点：1、适合各种前处理工艺方法：PEG切割液回收行业前处理主要采用二种分离方式：其一是对废切割液直接分离(含分离前对料液加温处理以降低粘度)，其二是加水(含加温)过滤。对于第一种方式而言，分离下来的半干废渣(内含碳化硅和硅粉等)中含有30％-80％甚至更高的PEG，这部分PEG，在废渣回收(专门分离碳化硅和硅粉)精制过程中，需要用加水洗料等方法稀释后再压滤去除，否则影响回收的碳化硅的质量；同时将这部分混合于洗料水中的PEG回收利用，也是提高PEG收率的重要途径。本发明可以接纳这部分洗料废水并从水中提取有价值的PEG，使PEG回收的经济效益得到大幅度提高。2、提高回收切割液的产品质量：采用膜分离技术和树脂交换工艺后，废切割液中残留的颗粒物和金属离子几乎被全部去除。回收得到的PEG中重金属含量小于：15ppm。这个指标已经达到并好于PEG新料标准，对于切割液的重复利用是至关重要的。
附图说明
图1是本发明的流程图。
具体实施方式
切割废切割液经过初步固液分离后，废切割液中的碳化硅等磨料成分被大部分去除，以PEG为主要成分的废切割液液体经过分离精制后达到可重新使用的较好效果。
PEG废切割液回收行业目前多采用离心分离或板框过滤进行初步的固液分离。为了提高分离效率，业内普遍采用加温、加水或二者兼用的办法以降低废切割液粘度。本发明与这些前处理工艺兼容。经过初步固液分离后，废切割液中的固体份含量通常在10g-100g/L。料液温度可以是常温，也可以超过或低于自然温度。超过常温时最好(但不局限)在49℃以下。残留在液体中的固体份组分通常是碳化硅、单晶或多晶硅粉、金属碎屑和金属离子等。
本发明所说的分离精制过程，包括精密过滤、膜分离、离子交换、蒸发浓缩脱水等几个工艺步骤(见流程图)。
精密过滤采用介质精度在1-25μm的袋式过滤器或滤芯式过滤器，形式包括滤渣收集式和自动(或手动)排放式。根据废切割液固体份含量及杂质的颗粒大小，也可以采用不同精度的介质进行串联的分级过滤。精密过滤器采用水泵或压缩空气提供过滤动能，压力在0.05-1.50mpa。
膜分离采用分子量在50000-7000000(道尔顿分子量)的卷式膜、或板式膜、或中空纤维膜、陶瓷膜等，具体形式可根据料液情况和成本因素选用。膜分离阶段的主要作用是去除料液中残留的小于精密过滤介质精度的极小杂质，包括硅粉、金属小颗粒、料液使用和生产储运过程中混入的油污、微生物、灰尘等。同时，兼有降低色度、提高透光度的功能。分离膜的选择必须考虑料液中的活性剂、其他润滑剂、散热剂等有用成分的分子量大小和结构，防止切割液中这些有用的物质被截留。膜分离采用水泵动力，操作压力在0.1-2.0mpa。操作温度最好(但不局限于)5-65℃。
离子交换采用树脂交换柱方式，使用树脂交换柱方式时，选用阴阳离子分列单柱串联、或多柱串联、或单柱加混合树脂交换柱串联。离子交换系统用以去除料液中呈电导属性的金属离子，兼有降低色度的功能。交换柱对料液后的料液，色度清澈光量，无异味，电导率在0.1-15us/cm，操作压力在0.05-0.40mpa，操作温度5-48℃，需要再生树脂前的过料倍率在30-120V/V(过料体积/树脂体积)。
蒸发浓缩脱水采用单效、多效蒸发浓缩设备，也可以使用转鼓、降(升)膜、立管、强制循环等蒸发设备，且包括这些设备中的可能有的负压、常压蒸发浓缩设备。采用三效负压蒸发器有利于降低能耗并得到高质量的可回用切割液。操作中“一效蒸发”负压在0.005-0.05mpa之间，温度在70-90℃；“二效蒸发”负压在0.05-0.15mpa之间，温度在50-75℃。经过蒸发其处理后的切割液，视水分含量决定是否需要后备供需处理，最终达到水分含量在0.25-0.50％之间，电导率在5-12us/cm之间，粘度(CP，25℃)在55-60之间。
实施例1
江苏某PEG废切割液回收公司建设过程中选用本发明所述主要工艺，建成了5000L/hr生产线。回收PEG产品已经返回给江苏无锡、常州等硅片切割公司重复利用，达到那些硅片切割企业的质量要求。实际生产技术指标达到：PEG废水处理量：5500-6000L/hr，回收PEG电导率小于12us/cm，粘度(CP，25度)：55-60。
实施例2
河北某硅片切割企业送PEG废切割液样品500公斤，委托本公司进行PEG回收中试。采用本发明所述工艺方法，经过初步去渣(100-15μm袋式过滤器串联过滤)、精密过滤(1μm滤芯式过滤器)、膜分离(PVDF材质，50000-7000000MW/板式和卷式分级)、树脂交换(阴阳树脂多柱串联)、蒸发(由委托方根据本发明有关设备和技术自行完成)。按照本发明前面所述的工艺操作控制参数进行试验，回收得到PEG成品。经试用，完全符合该公司硅片切割要求。

Claims (10)

1.一种从硅片切割生产过程产生的废切割液中回收切割液的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
步骤一，分离固体份，在分离设备中去除废切割液中的固体份；
步骤二，精密过滤，将去除了固体份后的废切割液送入精密过滤器，精密过滤器的过滤精度在1～25μm；以去除废切割液中残留的硅粉和颗粒杂质；
步骤三，膜分离，利用水泵使经过精密过滤后的废切割液通过分子量在50000-7000000MW的过滤膜，以去除废切割液中分子量大于过滤膜分子量的杂质；操作压力在0.1-2.0MPa；
步骤四，离子交换，将经过膜分离后的废切割液通过离子交换设备，以吸附掉所述废切割液中的重金属离子、酸根离子以及钙、镁离子；
步骤五，蒸发浓缩脱水，经过离子交换后的废切割液送入浓缩设备内，使所述废切割液的含水率下降至0.5％，形成可回用的切割液。
2.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征在于，所述切割液的成分为：聚乙二醇、乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂、渗透剂及粘度调节剂。
3.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：步骤一中所述的分离设备包括离心分离器、板框过滤器或沉降器；在所述分离设备中去除所述固体份时，要降低废切割液的黏度至50-150cps；降低废切割液的黏度的方法包括加温或/和加水稀释。
4.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：步骤二中所述的精密过滤器包括袋式过滤器或滤芯式过滤器；过滤形式包括滤渣收集式或滤渣自排放式。
5.根据权利要求4所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：在精密过滤时，采用不同精度的过滤器进行串联后分级过滤。
6.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：所述过滤膜为卷式膜、板式膜、中空纤维膜或陶瓷膜；操作温度为5-65℃。
7.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：所述离子交换设备包括树脂交换柱，所述树脂交换柱选用阴阳离子分列单柱串联、或多柱串联、或单柱加混合树脂交换柱串联；操作压力在0.05-0.40MPa，操作温度5-48℃。
8.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：步骤五中所述的浓缩设备包括单效蒸发浓缩设备、多效蒸发浓缩设备；或者转鼓式、降膜式、升膜式、立管式或强制循环式浓缩设备，或者这些设备中的负压或常压蒸发设备。
9.根据权利要求8所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：在所述负压蒸发设备中，采用三效负压蒸发器一效的负压在0.005-0.05MPa之间，温度在70-90℃；二效的负压在0.05-0.15MPa之间，温度在50-75℃。
10.根据权利要求1所述从硅片切割废切割液中回收切割液的方法，其特征是：所述的蒸发浓缩脱水工序所得到的蒸馏水用于步骤一中，作为降低粘度的水。
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101805661B (zh) * 2010-03-29 2013-02-13 倪进国 用于切片机的peg回收再生方法
CN102229849B (zh) * 2010-08-23 2013-06-12 蒙特集团（香港）有限公司 太阳能硅片切割废砂浆的回收循环再生利用工艺
JP2012081385A (ja) * 2010-10-07 2012-04-26 Disco Corp 分離装置
CN101935577B (zh) * 2010-10-09 2012-11-21 辽宁奥克化学股份有限公司 一种改性的回收切割液
CN102010785B (zh) * 2010-10-29 2013-05-08 临沂市凯祥硅粉有限公司 从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法
CN102061215B (zh) * 2011-01-17 2012-02-29 西安华晶电子技术股份有限公司 多线切割回收切割液脱色方法
CN102240596A (zh) * 2011-06-17 2011-11-16 常州天合光能有限公司 一种回收砂浆质量的监控方法
CN102766522B (zh) * 2012-08-09 2013-10-02 青岛海林电子材料科技有限公司 一种用于切割液脱水的工艺及装置
CN103087813A (zh) * 2013-01-31 2013-05-08 铁生年 一种利用切割硅片废液回收提纯聚乙二醇的方法
CN103122071B (zh) * 2013-03-15 2015-10-21 南京高捷轻工设备有限公司 多效板式蒸发和闪蒸相结合的聚乙二醇溶液浓缩方法
CN103525535B (zh) * 2013-09-27 2015-09-23 奥克化学扬州有限公司 一种线切割废砂浆中提纯peg的方法
CN103626332B (zh) * 2013-11-15 2015-04-29 河南新大新材料股份有限公司 碳化硅微粉废水的循环利用方法
CN104086799B (zh) * 2014-06-26 2016-12-07 河南易成新能源股份有限公司 晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法
CN105623829A (zh) * 2015-03-11 2016-06-01 辽宁工业大学 一种从晶硅线切割废砂浆中回收聚乙二醇切割液的方法
CN105152438B (zh) * 2015-07-28 2017-10-24 江西申山能源科技有限公司 硅片切割污水处理方法
CN106433857B (zh) * 2016-08-29 2019-03-15 徐州吉兴新材料有限公司 利用重醇回收液制备切割液的方法
CN107265695A (zh) * 2017-07-12 2017-10-20 晶科能源有限公司 一种晶体硅金刚石线切割废料浆切削液回收方法和系统
CN108773934A (zh) * 2018-06-28 2018-11-09 阜宁协鑫光伏科技有限公司 硅片切割废液的处理方法及处理系统
CN110129123A (zh) * 2019-06-17 2019-08-16 天津清科环保科技有限公司 一种含重金属离子的乳化液的再生方法及其系统
CN115449354A (zh) * 2022-08-26 2022-12-09 陕西高科环保科技有限公司 一种废切割液衍生的高性能光热纳米流体的制备方法、产品及应用

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6010010A (en) * 1997-10-02 2000-01-04 Elektroschmelzwerk Kempten Gmbh Process for reclaiming a grinding suspension
CN101032806A (zh) * 2006-03-06 2007-09-12 张捷平 切削悬浮液回收的方法
CN101239246A (zh) * 2008-02-20 2008-08-13 江南大学 从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法
CN101327622A (zh) * 2007-06-21 2008-12-24 正申科技（北京）有限责任公司 单晶与多晶硅线切割用砂浆回收技术

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6010010A (en) * 1997-10-02 2000-01-04 Elektroschmelzwerk Kempten Gmbh Process for reclaiming a grinding suspension
CN101032806A (zh) * 2006-03-06 2007-09-12 张捷平 切削悬浮液回收的方法
CN101327622A (zh) * 2007-06-21 2008-12-24 正申科技（北京）有限责任公司 单晶与多晶硅线切割用砂浆回收技术
CN101239246A (zh) * 2008-02-20 2008-08-13 江南大学 从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法

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Address before: 214072 No. 1890 development building, 1805 West Avenue, Binhu District, Jiangsu, Wuxi, Taihu

Applicant before: Cyprus (Wuxi)Membrane Technology Development Co., Ltd.

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Owner name: BAI YUJIAO

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Address after: 510075, room 44, No. 301, compound 475, Ring East Road, Dongshan District, Guangzhou, Guangdong

Applicant after: Bai Yujiao

Address before: Changzhou City, Jiangsu province Hehai West 213000 No. 186

Applicant before: Jiangsu Kelide Regeneration Technology Co., Ltd.

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Owner name: CHANGZHOU GROUNZE INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO.

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Address after: 213161 Jiangsu Province, Wujin high tech Industrial Development Zone Xinya Road No. 18, room 101

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Address before: 510075, room 44, No. 301, compound 475, Ring East Road, Dongshan District, Guangzhou, Guangdong

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