CN101476150A - 一种电镀Sn-Cu合金的装置及其方法 - Google Patents

一种电镀Sn-Cu合金的装置及其方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种电镀Sn-Cu合金的装置及其方法,该装置包括电解槽和给电解槽的阴阳极施加电流的双脉冲电源,所述电解槽包括阳极室和阴极室,阳极室和阴极室的中间由离子选择性膜隔开,所述阳极室中包括阳极和阳极电解液,所述阴极室中包括阴极和阴极电解液,所述阳极室和阴极室之间设置有通道。本发明提供的利用上述装置电镀Sn-Cu合金的方法,包括以下步骤:(1)预处理待镀工件;(2)配制阳极电解液和阴极电解液;(3)将待镀工件放入电解槽的阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。本发明具有良好可焊性,较强的抗须晶生长能力,成本低,工艺稳定,合金比例易控制等特点。

Description

一种电镀Sn-Cu合金的装置及其方法
技术领域
本发明涉及一种电镀Sn-Cu合金的装置,本发明同时还涉及一种电镀Sn-Cu合金的的方法,具体通过在电子元器件表面电镀一层Sn-Cu合金,以确保金属表面具有良好的可焊性。
背景技术
电子零部件上往往要镀覆可焊性镀层,以确保良好的焊接性能,Sn和Sn-Pb合金镀层具有优良的可焊性,已经广泛地应用于电子工业领域中,但是Sn-Pb合金镀层中含有污染环境的铅,锡镀层容易产生导致电路短路的晶须。
近年来随着人们环保意识的增强和对于自身健康的关注,铅污染越来越受到人们的重视,越来越多的研究表明,铅对人类和环境构成了严重的威胁。2003年7月13日,欧盟正式颁布WEEE/RoHS法令,并明确要求其所有成员国必须在2004年8月13日以前将此指导法令纳入其法律条文中。该法令严格要求在电子信息产品中不得含有铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯(PBB)及多溴二苯醚(PBDE)。严格的禁铅条例使电子封装产业对无铅材料提出了更高的要求,已经成熟的锡铅合金必须被性能相近或更高的无铅材料所替代。
现在已经开发了Sn、Sn-Ag合金、Sn-Bi合金、Sn-In合金、Sn-Zn和Sn-Cu合金等可焊性镀层,纯Sn电镀的优点是低成本,不存在电镀合金比率的管理问题。可是,Sn容易产生金属须晶而且焊料润湿性随时间推移发生劣化;Sn-Ag电镀的优点是接合强度以及耐热疲劳特性都非常好,缺点是成本高,存在Sn阳极上易出现Ag置换沉积现象;Sn-Bi电镀的优势是熔点低而且焊料润湿性优良,但是Bi是脆性金属,含有Bi的Sn-Bi镀层容易发生裂纹,而且组装后的器件引线和电路板焊接界面剥离,电解液中的Bi3+离子在Sn-Bi合金阳极或电镀层上置换沉积,难以确保电子部件之间的可靠焊接;Sn-In合金镀层的熔点低于Sn-Pb合金镀层的熔点,降低了焊接接合时的焊接强度,铟的价格也较贵;Sn-Zn电镀的长处于在成本和熔点低,但是由于Sn-Zn合金镀层容易氧化,难以在空气中进行可靠的焊接;Sn-Cu合金镀层成本低,镀层延展性好,结合强度高,能够有效的抑制金属晶须,在波峰焊过程中不污染焊料,既适宜于表面贴装型的再流焊,也适用于接插型的波峰焊,但目前已开发的Sn-Cu电镀工艺中,有机添加剂较多,镀层存在夹杂物,导致镀层可焊性降低,同时,Sn-Cu合金电解液里,使用可溶性阳极时在其表面上会置换沉积出Cu金属。因此,这些电解液中的金属比率的平衡遭到破坏,电镀层的合金比率管理很困难,与此同时还必须维护电镀用阳极,如像清除阳极上置换出来的金属等都是很麻烦的作业。若用不溶性Pt/Ti板等不溶性阳极时,需要补充药液费等导致生产成本大增。
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有良好可焊性,较强的抗须晶生长能力,成本低,工艺稳定,合金比例易控制的Sn-Cu合金电镀装置及其方法。
本发明提供的电镀Sn-Cu合金的装置包括电解槽和给电解槽的阴阳极施加电流的双脉冲电源,所述电解槽包括阳极室和阴极室,阳极室和阴极室的中间由离子选择性膜隔开,所述阳极室中包括阳极和阳极电解液,所述阴极室中包括阴极和阴极电解液,所述阳极室和阴极室之间设置有通道。在电镀过程中,阴极室的水可以通过离子选择性膜渗入阳极室,阳极室液面升高,阳极电解液通过通道流入阴极室;在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,在阴极上即可获得可焊性镀层。
在上述装置中,
所述离子选择性膜为阳离子膜或阴离子膜;
所述阳极室中的阳极材料为99.99%的纯锡;
所述阳极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂和絮凝剂,其余为水;
所述阴极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂、絮凝剂、铜离子、分散剂和有机酸,其余为水。
本发明提供的利用上述装置电镀Sn-Cu合金的方法,包括以下步骤:
(1)预处理待镀工件;
(2)配制阳极电解液和阴极电解液,其中阳极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂和絮凝剂,其余为水;阴极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂、絮凝剂、铜离子、分散剂和有机酸,其余为水;
(3)将待镀工件放入电解槽的阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
在上述步骤中,
步骤(1)所述的预处理工序包括除油、抛光、活化和预浸。
步骤(2)所述的阳极电解液中:所述二价锡离子为甲基磺酸亚锡,其浓度为30~150g/L,所述甲基磺酸的浓度为100~300g/L,所述抗氧化剂为间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、抗坏血酸、硫酸肼、苯酚或苯酚磺酸,其浓度为1~25g/L,所述絮凝剂为聚丙烯酰胺、聚丙烯酸、淀粉衍生物或壳聚糖,其浓度为0.1~10g/L。
步骤(2)所述的阴极电解液中:所述二价锡离子为甲基磺酸亚锡,其浓度为15~100g/L,所述甲基磺酸的浓度为100~300g/L,所述抗氧化剂为间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、抗坏血酸、硫酸肼、苯酚或苯酚磺酸,其浓度为1~25g/L,所述絮凝剂为聚丙烯酰胺、聚丙烯酸、淀粉衍生物或壳聚糖,其浓度为0.1~10g/L,所述铜离子的浓度为0.1~10g/L,所述分散剂为烷基酚聚氧乙烯醚、聚乙烯亚胺、聚氧乙烯和聚氧丙烯共聚物、聚氧乙烯脂肪醇醚或聚乙二醇,其浓度为2~18g/L,所述有机酸为甲基丙烯酸、酒石酸、葡萄糖酸、富马酸或草酸,其浓度为1~5g/L。
步骤(3)所述的双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.1~0.5ms,反向导通时间0.1~0.2ms,正向关断时间0.8~1.0ms,反向关断时间0.9~1.2ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比10~30%,反向占空比10~30%,正向平均电流密度1~2A/dm2,反向电流密度0.1~0.5A/dm2,脉冲频率500~3000Hz。
利用本发明装置及其方法,可以最大限度的降低和去除镀层潜在的须晶生长;镀液中不含对环境有害、难处理的络合剂和螯合剂;在电镀过程中使用可溶性锡阳极,电解液中的二价锡离子不会在可溶性阳极上发生置换反应,降低了生产成本;采用双脉冲电流来减少有机添加剂的用量,同时减少镀层中有机杂质的夹杂,减小和消除氢脆降低镀层的内应力,提高镀层的可焊性。本发明装置及其方法适宜于IC引线架、连接器、片状电容或片状电阻等电子部件的电镀需求。
附图说明
图1为本发明实施例的电镀装置示意图。
具体实施方式
以下列举具体实施例对本发明进行说明,需要指出的是,以下实施例只用于对本发明作进一步说明,不代表本发明的保护范围,其他人根据本发明的提示做出的非本质的修改和调整,仍属于本发明的保护范围。
实施例1
(1)电镀Sn-Cu合金镀层的装置
如图1所示,本发明提供的电镀Sn-Cu合金的装置,其包括电解槽2和给电解槽的阴阳级施加电流的双脉冲电源1,所述电解槽包括阳极室3和阴极室4,阳极室3和阴极室4的中间由离子选择性膜5隔开,所述阳极室3中包括可溶性锡阳极6和阳极电解液,所述阴极室中包括阴极7和阴极电解液,所述阳极室3和阴极室4之间还设置有通道8,在电镀过程中阴极室的水可以通过离子选择性膜5渗入阳极室3,阳极室3液面升高,阳极电解液通过该通道8流入阴极室4,在阴极7上获得可焊性镀层。
(2)利用上述装置电镀Sn-Cu合金镀层的方法
在紫铜基体上进行Sn-Cu合金可焊性镀层电镀实验,紫铜片经过除油、抛光、活化、预浸后,放入阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
其中,阳极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为30g/L,甲基磺酸浓度为100g/L,抗氧化剂间苯二酚浓度为1g/L,絮凝剂聚丙烯酰胺的浓度为0.1g/L。
阴极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为15g/L,甲基磺酸浓度为100g/L,抗氧化剂间苯二酚浓度为1g/L,絮凝剂聚丙烯酰胺浓度为0.1g/L,铜离子的浓度为0.1g/L,分散剂烷基酚聚氧乙烯醚浓度为2g/L,有机酸甲基丙烯酸浓度为1g/L。
电镀工艺参数为:双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.1ms,反向导通时间0.1ms,正向关断时间0.8ms,反向关断时间0.9ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比10%,反向占空比10%,正向平均电流密度1A/dm2,反向电流密度0.1A/dm2,脉冲频率500Hz。
(3)Sn-Cu合金镀层性能测试
对上述紫铜基体上的Sn-Cu合金,进行性能测试。其中,铜和碳含量使用电子能谱测试,抗变色能力采用蒸汽试验法,零交时间按照日本标准JEITA-7401中的润湿天平法测试。
Sn-Cu合金镀层性能测试结果表明:碳质量分数为0.2%,铜质量分数为0.8%,镀层厚度为10μm,零交时间为1.6s,不变色。
实施例2
(1)电镀Sn-Cu合金镀层的装置
电镀Sn-Cu合金镀层的装置同实施例1。
(2)利用上述装置电镀Sn-Cu合金镀层的方法
在紫铜基体上进行Sn-Cu合金可焊性镀层电镀实验,紫铜片经过除油、抛光、活化、预浸后,放入阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
其中,阳极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为60/L,甲基磺酸浓度为150g/L,抗氧化剂对苯二酚浓度为5g/L,絮凝剂聚丙烯酸浓度为3g/L。
阴极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为30g/L,甲基磺酸浓度为200g/L,抗氧化剂对苯二酚浓度为20g/L,絮凝剂聚丙烯酸浓度为10g/L,铜离子浓度为8g/L,分散剂聚乙烯亚胺浓度为5g/L,有机酸酒石酸浓度为2g/L。
电镀工艺参数为:双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.2ms,反向导通时间0.2ms,正向关断时间0.9ms,反向关断时间1.0ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比15%,反向占空比15%,正向平均电流密度1.5A/dm2,反向电流密度0.3A/dm2,脉冲频率1000Hz。
(3)Sn-Cu合金镀层性能测试
对上述紫铜基体上的Sn-Cu合金,进行性能测试。其中,铜和碳含量使用电子能谱测试,抗变色能力采用蒸汽试验法,零交时间按照日本标准JEITA-7401中的润湿天平法测试。
Sn-Cu合金镀层性能测试结果表明:碳质量分数为0.08%,铜质量分数为1.2%,镀层厚度为12μm,零交时间为0.45s,不变色。
实施例3
(1)电镀Sn-Cu合金镀层的装置
电镀Sn-Cu合金镀层的装置同实施例1。
(2)利用上述装置电镀Sn-Cu合金镀层的方法
在紫铜基体上进行Sn-Cu合金可焊性镀层电镀实验,紫铜片经过除油、抛光、活化、预浸后,放入阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
其中,阳极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为90g/L,甲基磺酸浓度为200g/L,抗氧化剂邻苯二酚浓度为15g/L,絮凝剂淀粉衍生物浓度为5g/L。
阴极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为50g/L,甲基磺酸浓度为250g/L,抗氧化剂邻苯二酚浓度为15g/L,絮凝剂淀粉衍生物浓度为8g/L,铜离子浓度为6g/L,分散剂聚氧乙烯脂肪醇醚浓度为10g/L,有机酸富马酸浓度为3g/L。
电镀工艺参数为:双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.3ms,反向导通时间0.1ms,正向关断时间1.0ms,反向关断时间0.9ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比30%,反向占空比20%,正向平均电流密度2A/dm2,反向电流密度0.4A/dm2,脉冲频率2000Hz。
(3)Sn-Cu合金镀层性能测试
对上述紫铜基体上的Sn-Cu合金,进行性能测试。其中,铜和碳含量使用电子能谱测试,抗变色能力采用蒸汽试验法,零交时间按照日本标准JEITA-7401中的润湿天平法测试。
Sn-Cu合金镀层性能测试结果表明:碳质量分数为0.1%,铜质量分数为1.2%,镀层厚度为10μm,零交时间为0.48s,不变色。
实施例4
(1)电镀Sn-Cu合金镀层的装置
电镀Sn-Cu合金镀层的装置同实施例1。
(2)利用上述装置电镀Sn-Cu合金镀层的方法
在紫铜基体上进行Sn-Cu合金可焊性镀层电镀实验,紫铜片经过除油、抛光、活化、预浸后,放入阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
其中,阳极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为120g/L,甲基磺酸浓度为250g/L,抗氧化剂苯酚浓度为20g/L,絮凝剂壳聚糖浓度为7g/L。
阴极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为70g/L,甲基磺酸浓度为300g/L,抗氧化剂苯酚浓度为20g/L,絮凝剂壳聚糖浓度为6g/L,铜离子浓度为8g/L,分散剂聚乙二醇浓度为12g/L,有机酸葡萄糖酸浓度为4g/L。
电镀工艺参数为:双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.5ms,反向导通时间0.2ms,正向关断时间1.0ms,反向关断时间1.2ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比30%,反向占空比30%,正向平均电流密度2A/dm2,反向电流密度0.5A/dm2,脉冲频率3000Hz。
(3)Sn-Cu合金镀层性能测试
对上述紫铜基体上的Sn-Cu合金,进行性能测试。其中,铜和碳含量使用电子能谱测试,抗变色能力采用蒸汽试验法,零交时间按照日本标准JEITA-7401中的润湿天平法测试。
Sn-Cu合金镀层性能测试结果表明:碳质量分数为0.12%,铜质量分数为1.5%,镀层厚度为10μm,零交时间为0.56s,不变色。
实施例5
(1)电镀Sn-Cu合金镀层的装置
电镀Sn-Cu合金镀层的装置同实施例1。
(2)利用上述装置电镀Sn-Cu合金镀层的方法
在紫铜基体上进行Sn-Cu合金可焊性镀层电镀实验,紫铜片经过除油、抛光、活化、预浸后,放入阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
其中,阳极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为150g/L,甲基磺酸浓度为300g/L,抗氧化剂苯酚磺酸浓度为25g/L,絮凝剂聚丙烯酰胺浓度为10g/L。
阴极电解液配方如下:甲基磺酸亚锡浓度为100g/L,甲基磺酸浓度为280g/L,抗氧化剂苯酚磺酸浓度为25g/L,絮凝剂聚丙烯酰胺浓度为10g/L,铜离子浓度为10g/L,分散剂聚乙二醇浓度为18g/L,有机酸甲基丙烯酸浓度为5g/L。
电镀工艺参数为:双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.5ms,反向导通时间0.1ms,正向关断时间1.0ms,反向关断时间0.9ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比30%,反向占空比10%,正向平均电流密度2A/dm2,反向电流密度0.1A/dm2,脉冲频率2000Hz。
(3)Sn-Cu合金镀层性能测试
对上述紫铜基体上的Sn-Cu合金,进行性能测试。其中,铜和碳含量使用电子能谱测试,抗变色能力采用蒸汽试验法,零交时间按照日本标准JEITA-7401中的润湿天平法测试。
Sn-Cu合金镀层性能测试结果表明:碳质量分数为0.13%,铜质量分数为1.0%,镀层厚度为9μm,零交时间为0.37s,不变色。

Claims (10)

1、一种电镀Sn-Cu合金的装置,其特征在于,该装置包括电解槽和给电解槽的阴阳极施加电流的双脉冲电源,所述电解槽包括阳极室和阴极室,阳极室和阴极室的中间由离子选择性膜隔开,所述阳极室中包括阳极和阳极电解液,所述阴极室中包括阴极和阴极电解液,所述阳极室和阴极室之间设置有通道。
2、根据权利要求1所述电镀Sn-Cu的合金装置,其特征在于,所述离子选择性膜为阳离子膜或阴离子膜。
3、根据权利要求1所述电镀Sn-Cu的合金装置,其特征在于,所述阳极室中的阳极材料为99.99%的纯锡。
4、根据权利要求1所述电镀Sn-Cu的合金装置,其特征在于,所述阳极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂和絮凝剂,其余为水。
5、根据权利要求1所述电镀Sn-Cu的合金装置,其特征在于,所述阴极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂、絮凝剂、铜离子、分散剂和有机酸,其余为水。
6、一种利用权利要求1所述装置电镀Sn-Cu合金的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)预处理待镀工件;
(2)配制阳极电解液和阴极电解液,其中阳极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂和絮凝剂,其余为水;阴极电解液包括甲基磺酸、二价锡离子、抗氧化剂、絮凝剂、铜离子、分散剂和有机酸,其余为水;
(3)将待镀工件放入电解槽的阴极室,在阴阳极上施加不同波形的双脉冲电流,即可在阴极上获得可焊性Sn-Cu合金镀层。
7、根据权利要求6所述电镀Sn-Cu合金的方法,其特征在于,步骤(1)所述的预处理工序包括除油、抛光、活化和预浸。
8、根据权利要求6所述电镀Sn-Cu合金的方法,其特征在于,步骤(2)所述的阳极电解液中:所述二价锡离子为甲基磺酸亚锡,其浓度为30~150g/L,所述甲基磺酸的浓度为100~300g/L,所述抗氧化剂为间苯二酚、对苯二酚、邻苯二酚、抗坏血酸、硫酸肼、苯酚或苯酚磺酸,其浓度为1~25g/L,所述絮凝剂为聚丙烯酰胺、聚丙烯酸、淀粉衍生物或壳聚糖,其浓度为0.1~10g/L。
9、根据权利要求6所述电镀Sn-Cu合金的方法,其特征在于,步骤(2)所述的阴极电解液中:所述二价锡离子为甲基磺酸亚锡,其浓度为15~100g/L,所述甲基磺酸的浓度为100~300g/L,所述抗氧化剂为间苯二酚、对苯二酚、邻苯二酚、抗坏血酸、硫酸肼、苯酚或苯酚磺酸,其浓度为1~25g/L,所述絮凝剂为聚丙烯酰胺、聚丙烯酸、淀粉衍生物或壳聚糖,其浓度为0.1~10g/L,所述铜离子的浓度为0.1~10g/L,所述分散剂为烷基酚聚氧乙烯醚、聚乙烯亚胺、聚氧乙烯和聚氧丙烯共聚物、聚氧乙烯脂肪醇醚或聚乙二醇,其浓度为2~18g/L,所述有机酸为甲基丙烯酸、酒石酸、葡萄糖酸、富马酸或草酸,其浓度为1~5g/L。
10、根据权利要求6所述电镀Sn-Cu合金的方法,其特征在于,步骤(3)所述的双脉冲电流的波形为方波,正向导通时间0.1~0.5ms,反向导通时间0.1~0.2ms,正向关断时间0.8~1.0ms,反向关断时间0.9~1.2ms,正向工作时间100ms,反向工作时间10ms,正向占空比10~30%,反向占空比10~30%,正向平均电流密度1~2A/dm2,反向电流密度0.1~0.5A/dm2,脉冲频率500~3000Hz。
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Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102534740A (zh) * 2010-12-01 2012-07-04 诺发系统有限公司 晶片级封装的电镀设备和工艺
CN103102290A (zh) * 2012-11-09 2013-05-15 柳州百韧特先进材料有限公司 一种避免甲基磺酸亚锡发黄的处理方法
CN103114315A (zh) * 2013-03-11 2013-05-22 福建清景铜箔有限公司 一种铜箔的无铬钝化方法
CN103215624A (zh) * 2013-04-18 2013-07-24 江门市瑞期精细化学工程有限公司 一种酸性无氰铜锡合金电镀液
CN103469266A (zh) * 2012-06-05 2013-12-25 诺发系统公司 合金镀敷系统中保护阳极免受钝化作用
CN104028771A (zh) * 2014-06-23 2014-09-10 上海应用技术学院 一种制备铜钨合金粉末的方法
CN104093889A (zh) * 2012-02-14 2014-10-08 三菱综合材料株式会社 Sn合金电解电镀方法及Sn合金电解电镀装置
CN104878420A (zh) * 2014-02-28 2015-09-02 应用材料公司 使用阳离子渗透性阻挡层进行多成分焊料的电化学沉积的方法
CN104894537A (zh) * 2015-07-01 2015-09-09 常德鑫鸿金属材料有限公司 一种单面导电的聚酰亚胺复合材料及其制备方法
CN104988544A (zh) * 2015-06-26 2015-10-21 吕小方 一种电镀锡添加剂
CN105463529A (zh) * 2015-12-23 2016-04-06 苏州市金星工艺镀饰有限公司 一种装饰性铜锌合金镀液
CN104028781B (zh) * 2014-06-23 2016-06-22 上海应用技术学院 一种制备铜钼合金粉末的方法
CN105755513A (zh) * 2016-04-28 2016-07-13 四川昊吉科技有限公司 一种镀锡防腐剂
CN105970216A (zh) * 2016-05-23 2016-09-28 江苏固格澜栅防护设施有限公司 表面涂覆镀锡涂层表面的防护栏及制备方法
CN106008285A (zh) * 2016-05-30 2016-10-12 柳州百韧特先进材料有限公司 一种甲基磺酸亚锡固体的保护处理方法
CN108103540A (zh) * 2018-01-24 2018-06-01 永星化工(上海)有限公司 锡合金电镀液
CN111188069A (zh) * 2019-12-31 2020-05-22 大连长丰实业总公司 一种镀锡铋合金溶液及其制备方法
US10927475B2 (en) 2017-11-01 2021-02-23 Lam Research Corporation Controlling plating electrolyte concentration on an electrochemical plating apparatus
CN112962128A (zh) * 2021-01-29 2021-06-15 山东金宝电子股份有限公司 一种高抗剥铜箔的粗化工艺方法
CN115305537A (zh) * 2022-09-06 2022-11-08 蔡杰 一种铜锡合金环保电镀工艺

Cited By (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9404194B2 (en) 2010-12-01 2016-08-02 Novellus Systems, Inc. Electroplating apparatus and process for wafer level packaging
US10309024B2 (en) 2010-12-01 2019-06-04 Novellus Systems, Inc. Electroplating apparatus and process for wafer level packaging
TWI625766B (zh) * 2010-12-01 2018-06-01 諾菲勒斯系統公司 電鍍裝置及晶圓級封裝製程
US9982357B2 (en) 2010-12-01 2018-05-29 Novellus Systems, Inc. Electroplating apparatus and process for wafer level packaging
CN102534740B (zh) * 2010-12-01 2016-09-28 诺发系统有限公司 晶片级封装的电镀设备和工艺
CN102534740A (zh) * 2010-12-01 2012-07-04 诺发系统有限公司 晶片级封装的电镀设备和工艺
CN104093889B (zh) * 2012-02-14 2018-07-13 三菱综合材料株式会社 Sn合金电解电镀方法及Sn合金电解电镀装置
CN104093889A (zh) * 2012-02-14 2014-10-08 三菱综合材料株式会社 Sn合金电解电镀方法及Sn合金电解电镀装置
CN103469266B (zh) * 2012-06-05 2016-09-14 诺发系统公司 合金镀敷系统中保护阳极免受钝化作用
US10106907B2 (en) 2012-06-05 2018-10-23 Novellus Systems, Inc. Protecting anodes from passivation in alloy plating systems
US10954605B2 (en) 2012-06-05 2021-03-23 Novellus Systems, Inc. Protecting anodes from passivation in alloy plating systems
US9534308B2 (en) 2012-06-05 2017-01-03 Novellus Systems, Inc. Protecting anodes from passivation in alloy plating systems
CN103469266A (zh) * 2012-06-05 2013-12-25 诺发系统公司 合金镀敷系统中保护阳极免受钝化作用
CN103102290B (zh) * 2012-11-09 2015-03-04 柳州百韧特先进材料有限公司 一种避免甲基磺酸亚锡发黄的处理方法
CN103102290A (zh) * 2012-11-09 2013-05-15 柳州百韧特先进材料有限公司 一种避免甲基磺酸亚锡发黄的处理方法
CN103114315B (zh) * 2013-03-11 2015-03-25 福建清景铜箔有限公司 一种铜箔的无铬钝化方法
CN103114315A (zh) * 2013-03-11 2013-05-22 福建清景铜箔有限公司 一种铜箔的无铬钝化方法
CN103215624B (zh) * 2013-04-18 2016-03-23 江门市瑞期精细化学工程有限公司 一种酸性无氰铜锡合金电镀液
CN103215624A (zh) * 2013-04-18 2013-07-24 江门市瑞期精细化学工程有限公司 一种酸性无氰铜锡合金电镀液
CN104878420A (zh) * 2014-02-28 2015-09-02 应用材料公司 使用阳离子渗透性阻挡层进行多成分焊料的电化学沉积的方法
CN104028781B (zh) * 2014-06-23 2016-06-22 上海应用技术学院 一种制备铜钼合金粉末的方法
CN104028771B (zh) * 2014-06-23 2016-08-24 上海应用技术学院 一种制备铜钨合金粉末的方法
CN104028771A (zh) * 2014-06-23 2014-09-10 上海应用技术学院 一种制备铜钨合金粉末的方法
CN104988544A (zh) * 2015-06-26 2015-10-21 吕小方 一种电镀锡添加剂
CN104894537B (zh) * 2015-07-01 2018-04-06 常德鑫睿新材料有限公司 一种单面导电的聚酰亚胺复合材料及其制备方法
CN104894537A (zh) * 2015-07-01 2015-09-09 常德鑫鸿金属材料有限公司 一种单面导电的聚酰亚胺复合材料及其制备方法
CN105463529A (zh) * 2015-12-23 2016-04-06 苏州市金星工艺镀饰有限公司 一种装饰性铜锌合金镀液
CN105755513A (zh) * 2016-04-28 2016-07-13 四川昊吉科技有限公司 一种镀锡防腐剂
CN105970216A (zh) * 2016-05-23 2016-09-28 江苏固格澜栅防护设施有限公司 表面涂覆镀锡涂层表面的防护栏及制备方法
CN106008285A (zh) * 2016-05-30 2016-10-12 柳州百韧特先进材料有限公司 一种甲基磺酸亚锡固体的保护处理方法
US10927475B2 (en) 2017-11-01 2021-02-23 Lam Research Corporation Controlling plating electrolyte concentration on an electrochemical plating apparatus
US11401623B2 (en) 2017-11-01 2022-08-02 Lam Research Corporation Controlling plating electrolyte concentration on an electrochemical plating apparatus
US11859300B2 (en) 2017-11-01 2024-01-02 Lam Research Corporation Controlling plating electrolyte concentration on an electrochemical plating apparatus
CN108103540A (zh) * 2018-01-24 2018-06-01 永星化工(上海)有限公司 锡合金电镀液
CN111188069A (zh) * 2019-12-31 2020-05-22 大连长丰实业总公司 一种镀锡铋合金溶液及其制备方法
CN112962128A (zh) * 2021-01-29 2021-06-15 山东金宝电子股份有限公司 一种高抗剥铜箔的粗化工艺方法
CN115305537A (zh) * 2022-09-06 2022-11-08 蔡杰 一种铜锡合金环保电镀工艺

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