CN101450443A - 涂敷头的组装装置及安装方法 - Google Patents

Abstract

提供一种能够容易并且迅速地将涂敷头的零部件移载到组装台等上、而且能够容易并且迅速地将组装好的涂敷头安装到液体涂敷装置中的涂敷头的组装装置。涂敷头的组装装置具有起吊涂敷头等用的吊车(20)、载置一个涂敷头片的组装台(70)、以及载置另一个涂敷头片的载置台(54)；组装台(70)能够在载置一个涂敷头片时的第1位置与将组装好的涂敷头搬出到液体涂敷装置中时的第2位置之间转动；当涂敷头组装好后将组装台(70)转动到第2位置时，组装台(70)上的涂敷头朝向适合于安装到液体涂敷装置的方向，在这种状态下能够用吊车(20)吊起安装。

Description

涂敷头的组装装置及安装方法

技术领域

本申请发明涉及将涂敷液等液体涂敷到半导体基板或液晶基板等涂敷对象物上的缝隙型液体涂敷装置所使用的涂敷头的组装、维护或更换等使用的涂敷头的组装装置、组装方法及安装方法，尤其涉及大型涂敷头的组装装置及安装方法。

背景技术

以往，作为将抗蚀剂等涂敷液涂敷到半导体基板或液晶基板等涂敷对象物，尤其是方形涂敷对象物上时使用的装置，有缝隙型液体涂敷装置(缝隙型涂敷机)。这种形式的液体涂敷装置与旋转涂敷机相比较，具有涂敷液的消耗量少、成本低的优点。

近年来，在液晶或平板显示面板领域，基板尺寸不断增大，随着基板尺寸增大，将涂敷液涂敷到基板等上所使用的涂敷头也变大。当涂敷头小时，数名作业者抱着涂敷头移动进行涂敷头的组装或更换，但随着涂敷头变大，作业者进行组装或更换变得不容易。鉴于此，提出了更换涂敷头时使用的涂敷用模(ダイ)移动装置(参照专利文献1)。

并且，由于新的涂敷头一般是在分解部件的状态下交货，因此交货后需要组装涂敷头的作业。更具体为，涂敷头为通过安装2个涂敷头组件而组装起来的装置，一般采用通过在两个组件之间夹着薄的垫片形成缝隙喷嘴用间隙的结构。因此，在更换垫片改变缝隙喷嘴的宽度的情况下，有必要进行涂敷头的分解和组装。并且，为了清扫涂敷头的内部，作为解决问题的对策有时也需要进行涂敷头的分解和组装。这样一来，由于在使用涂敷头时涂敷头的组装和分解作业是必需的，因此提出过涂敷头组装和分解时使用的模涂敷机(ダイコ—ト)的组装装置(参照专利文献2)。

但是，作为背景技术说明过的前者的涂敷用模移动装置为用来装卸或移动涂敷头的装置。因此，在安装新的涂敷头时，有必要预先用上述组装装置等在其他某个地方组装涂敷头，但没有公开具体的组装方法。

并且，后者的模涂敷机的组装装置如上所述为用于组装涂敷头的装置。该组装装置具备平面精度高的模座，能够以高的组装精度在该模座上进行涂敷头的组装，但没有具体公开组装的部件的搬入方法和组装成的涂敷头(模涂敷机)的搬出方法等。

由于组装成的涂敷头的重量比组装前各零部件的重量重，而且不是容易搬动的形状，因此搬入搬出的作业和改变方向的作业的作业性极其差。尤其是大型涂敷头是非常重的装置，改变涂敷头朝向的作业变得极其困难。

因此，涂敷头组装装置和安装装置怎样能够准确并且容易地进行构成涂敷头的零部件或涂敷头的移载、方向的改变、搬入搬出等作业是极其重要的。但是，现有技术的组装装置和移动装置如上所述对于这样的作业没有具体的公开。

[专利文献1]日本特开平11-138082号公报

[专利文献2]日本特开2004-33882号公报

发明内容

本发明就是鉴于这样的问题点，以提供一种至少能够准确并且容易地组装涂敷头、能够将涂敷头安装到液体涂敷装置中的组装装置和组装方法为课题，而且，还以提供一种不必使用另外的移载设备就能够迅速并且容易地将组装好的涂敷头安装到液体涂敷装置中的涂敷头组装装置和组装方法为课题。

上述课题通过本申请的各项权利要求所记载的如下方案解决。

即，该技术方案1记载的发明为一种涂敷头的组装装置，该涂敷头的组装装置是装配一对涂敷头片而构成的，在安装到液体涂敷装置中的状态下喷出涂敷到涂敷对象物上的液体，其特征在于，具有：起重机，用于吊起并移动涂敷头或涂敷头片；组装台，载置一个涂敷头片或涂敷头；以及，载置台，载置另一个涂敷头片；组装台能够在载置一个涂敷头片时的第1位置和将在组装台上组装好的涂敷头搬入搬出液体涂敷装置时的第2位置之间转动；通过用起重机吊起载置于载置台上的另一个涂敷头片，将另一个涂敷头片重叠到载置在第1位置的组装台上的一个涂敷头片上，能够组装涂敷头；并且能够用起重机吊起载置在转动到第2位置状态下的组装台上的涂敷头，将其搬入并安装于液体涂敷装置。

技术方案1记载的发明的涂敷头组装装置由于采用上述结构，组装台能够在第1位置与第2位置之间转动，因此当将一个涂敷头片搬入到涂敷头的组装装置中时，通过使组装台预先转动到第1位置，能够将一个涂敷头片以适当的状态载置到组装台上；在组装台上组装好涂敷头后，当将涂敷头安装到液体涂敷装置中时，通过使组装台转动到第2位置，能够使涂敷头朝向适合安装到液体涂敷装置中的方向。这样一来，如果采用本发明，在涂敷头组装完成后，通过使组装台从第1位置转动到第2位置，能够使组装好的涂敷头变成适于安装到液体涂敷装置中的状态，能够准确并且迅速地使组装好的涂敷头变成适于搬出的状态，并安装到液体涂敷装置中。并且，如果采用本发明的涂敷头的组装装置，不用使用另外的设备，仅用本发明的涂敷头的组装装置就能够进行涂敷头的组装或分解、将涂敷头安装到液体涂敷装置中或取出。即，由于仅用本发明的涂敷头的组装装置就能够进行从涂敷头的组装到与液体涂敷装置之间的搬入搬出这一连串的作业，因此能够效率极佳地进行一连串的作业。

并且，由于将组装好的涂敷头搬入到液体涂敷装置中的作业只是用起重机吊起移动的作业和使组装台转动的作业，因此不需要人工抱着涂敷头或使用其他的装置进行移动，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

本发明第2技术方案所记载的发明为技术方案1的涂敷头组装装置，组装台的第2位置是使载置到该组装台上的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向的位置，通过使载置了组装好的涂敷头的组装台转动到上述第2位置，能够使载置在该组装台上的涂敷头朝向安装的方向，能够用起重机吊起该朝向安装方向的状态下的涂敷头，将其搬入并安装于液体涂敷装置。

第2技术方案所记载的发明采用上述结构，当使组装台转动到第2位置时，能够使载置到组装台上的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置中的方向，然后通过用起重机吊起该状态下的涂敷头而搬入到液体涂敷装置中，能够准确、容易并且迅速地将涂敷头安装到液体涂敷装置中。

第3技术方案所记载的本发明为技术方案1或方案2记载的涂敷头的组装装置，载置台具有：装卸自由地设置在其两端位置上的支承组件，以及，具有旋转轴的旋转支架，该旋转轴由设置在该支承组件上的轴承以能够旋转的状态进行支承；该旋转支架能够自由装卸地安装于另一个涂敷头片的两端；通过用上述起重机吊起安装在该另一个涂敷头片的两端的旋转支架，能够吊起该另一个涂敷头片；能够用设置在上述载置台上的支承组件的轴承以能够旋转的状态支承悬吊状态下的该另一个涂敷头片的两端的旋转支架的上述旋转轴，通过使被支承着的该旋转轴旋转，能够使另一个涂敷头片的朝向向着下述方向，即装配到载置在上述组装台上的上述一个涂敷头片上的方向；通过用上述起重机吊起旋转到该朝向上的上述另一个涂敷头片，使另一个涂敷头片重叠在上述组装台上的一个涂敷头片上，能够组装上述涂敷头。

第3技术方案所记载的发明采用上述结构，由于在将另一个涂敷头片载置到载置台上后，能够容易地旋转该另一个涂敷头片，因此能够容易并且迅速地改变另一个涂敷头片的方向使其变成适合于安装到一个涂敷头片上的方向。因此，能够容易并且迅速地组装涂敷头并将组装好的涂敷头安装到液体涂敷装置中。并且，由于不需要在载置到载置台上之前预先用人工或者其他的设备改变另一个涂敷头的朝向，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

第4技术方案所记载的发明为上述方案1至方案3中的任一个方案的涂敷头组装装置，具有设置了起重机的搬送单元以及设置了载置台和组装台的组装单元；搬送单元和组装单元在能够互相靠近、离开的状态下组合；搬送单元和组装单元中的至少上述搬送单元具有使其能够在地面上移动的移动机构。

第4技术方案所记载的发明采用上述结构，由于设置了起重机的搬送单元与设置了载置台和组装台的组装单元在能够互相靠近、离开的状态下组合，因此能够将互相之间的位置关系自由地设定或改变成容易作业的位置关系，提高了涂敷头的组装或分解、与液体涂敷装置之间的装卸等一连串作业的作业性。并且，由于搬送单元能够在地面上移动，因此不是将涂敷头片搬送到涂敷头的组装装置那里，而是使搬送单元移动到涂敷头片那里，能够将该涂敷头片搬入到涂敷头的组装装置中。这样一来，由于能够将作为组装零部件的涂敷头片的移动作业抑制在最小限度内，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

第5技术方案所记载的发明为一种将一对涂敷头片在使彼此的抵接面重合的状态下装配构成的、安装到液体涂敷装置中而使用的涂敷头的组装方法，使一个涂敷头片呈抵接面水平并且朝向上侧的状态；将另一个涂敷头片在其抵接面朝向下侧的状态下重叠到一个涂敷头片上来装配两涂敷头片，由此组装涂敷头；在使组装好的该涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向后，在该安装朝向的状态下将该涂敷头搬入并安装到液体涂敷装置。

第5技术方案所记载的发明采用上述结构，由于将抵接面朝向下侧的状态下的另一个涂敷头片重叠到抵接面水平并且朝向上侧的状态下的一个涂敷头片上而进行组装，组装好涂敷头，因此能够准确、容易并且迅速地进行组装作业。

第6技术方案所记载的本发明为一种将一对涂敷头片在使彼此的抵接面重合的状态下装配构成的、安装到液体涂敷装置中而使用的涂敷头的组装方法，用起重机吊起一个涂敷头片，在使其呈抵接面水平并且朝向上侧的状态下将该一个涂敷头片载置到组装台上；在使其抵接面朝向下侧的状态下，用起重机吊起另一个涂敷头片，将另一个涂敷头片重叠到组装台上的一个涂敷头片上来装配两涂敷头片，由此组装涂敷头；在使组装好的该涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向后，在该安装朝向的状态下用起重机吊起该涂敷头，搬入并安装到液体涂敷装置。

第6技术方案所记载的发明采用上述结构，由于能够用起重机吊起涂敷头片或涂敷头进行组装，搬入、安装到液体涂敷装置中，因此能够准确、容易并且迅速地进行安装作业。并且，由于不需要预先用人工或者其他的设备改变另一个涂敷头的朝向，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装方法使用。

第7技术方案所记载的发明为方案6所记载的涂敷头的安装方法，组装台能够在载置一个涂敷头片时的第1位置和使组装台上组装好的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向的第2位置之间转动；使组装好的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向的工序通过使组装台转动到上述第2位置而进行。

第7技术方案所记载的发明采用上述结构，由于通过使组装台转动能够使在组装台上组装好的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向，因此之后通过用起重机吊起该状态下的涂敷头将涂敷头搬入到液体涂敷装置中，能够准确、容易并且迅速地将涂敷头安装到液体涂敷装置中。

第8技术方案所记载的发明为方案7所记载的涂敷头的安装方法，安装的方向为涂敷头的液体喷出口位于下侧、并且互相重合的抵接面为垂直的方向。

第8技术方案所记载的发明采用上述结构，涂敷头的液体喷出口位于下侧、并且互相重合的抵接面为朝向垂直的方向，该方向为向下方喷出液体的液体涂敷装置的涂敷头的朝向。因此，在将涂敷头安装到这样的液体涂敷装置中的情况下，能够用起重机保持该方向地吊起朝向上述方向的涂敷头，能够准确、容易并且迅速地将涂敷头搬入并安装到液体涂敷装置中。

第9技术方案所记载的发明为方案7或方案8所记载的涂敷头安装方法，在使另一个涂敷头片的抵接面朝向下侧的状态下用起重机吊起另一个涂敷头片的工序为使用旋转支架与支承组件的工序，该旋转支架能够自由装卸地安装到另一个涂敷头片的两端，该支承组件在能够使该旋转支架旋转的状态下对其进行支承；上述工序是通过下述步骤而进行的，即将旋转支架安装到在使抵接面水平并且朝向上侧的状态下载置到载置台上的另一个涂敷头片的两端，用起重机吊起该另一个涂敷头片后，将支承组件设置到载置台两端的位置上，使另一个涂敷头片下降，用支承组件支承安装在该另一个涂敷头片两端的旋转支架，然后使另一个涂敷头片旋转，使其抵接面朝向下侧，用起重机进行起吊。

第9技术方案所记载的发明采用上述结构，由于用支承组件支承安装在另一个涂敷头片两端的旋转支架，能够使另一个涂敷头片旋转，因此能够容易并且迅速地使另一个涂敷头片的抵接面朝向下侧，能够用起重机吊起。

发明效果

如上所述，如果采用本申请发明的涂敷头的组装装置，由于组装台能够在第1位置和第2位置之间转动，因此当将一个涂敷头片搬入到涂敷头的组装装置中时，通过使组装台转动到第1位置，能够将一个涂敷头片以适当的状态载置到组装台上；在组装台上组装好涂敷头后，当将涂敷头安装到液体涂敷装置中时，通过使组装台转动到第2位置上，能够使涂敷头朝向适合安装到液体涂敷装置的方向。这样一来，如果采用本发明，在涂敷头组装完成后，通过使组装台从第1位置转动到第2位置，能够使组装好的涂敷头变成适于安装到液体涂敷装置中的状态，能够准确、容易并且迅速地使组装好的涂敷头变成适于搬出的状态、安装到液体涂敷装置中。并且，如果采用本发明的涂敷头组装装置，不用使用另外的设备，仅用本发明的涂敷头组装装置就能够进行涂敷头的组装或分解、将涂敷头安装到液体涂敷装置中或取出。即，由于仅用本发明的涂敷头的组装装置就能够进行从涂敷头的组装到与液体涂敷装置之间的搬入搬出这一连串的作业，因此能够效率极佳地进行一连串的作业。

并且，由于将组装好的涂敷头搬入到液体涂敷装置中的作业只是用起重机吊起移动的作业和使组装台转动的作业，因此不需要人工抱着涂敷头或使用其他的装置进行移动，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

并且，当使组装台转动到第2位置时，能够使载置到组装台上的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置中的方向，然后通过用起重机吊起该状态下的涂敷头而搬入到液体涂敷装置中，能够准确、容易并且迅速地将涂敷头安装到液体涂敷装置中。

另外，由于在将另一个涂敷头片载置到载置台上后，能够容易地旋转该另一个涂敷头片，因此能够容易并且迅速地改变另一个涂敷头片的方向使其变成适合于安装到一个涂敷头片上的方向。因此，能够容易并且迅速地组装涂敷头并将组装好的涂敷头安装到液体涂敷装置中。并且，由于不需要在载置到载置台上之前预先用人工或者其他的设备改变另一个涂敷头的朝向，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

并且，由于设置了起重机的搬送单元与设置了载置台和组装台的组装单元在能够互相靠近、离开的状态下组合，因此能够将互相之间的位置关系自由地设定或改变成容易作业的位置关系，提高了涂敷头的组装或分解、与液体涂敷装置之间的装卸等一连串作业的作业性。并且，由于搬送单元能够在地面上移动，因此不是将涂敷头片搬送到涂敷头的组装装置那里，而是使搬送单元移动到涂敷头片那里，能够将该涂敷头片搬入到涂敷头的组装装置中。这样一来，由于能够将作为组装零部件的涂敷头片的移动作业抑制在最小限度内，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

并且，如上所述，如果采用本申请发明的涂敷头的组装方法，由于将抵接面朝向下侧的状态下的另一个涂敷头片重叠到抵接面水平并且朝向上侧的状态下的一个涂敷头片上而进行组装，组装好涂敷头，因此能够准确、容易并且迅速地进行组装作业。

并且，能够用起重机吊起涂敷头片或涂敷头进行组装，搬入、安装到液体涂敷装置中，因此能够准确、容易并且迅速地进行安装作业。并且，由于不需要预先用人工或者其他的设备改变另一个涂敷头的朝向，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装方法使用。

并且，由于通过使组装台转动能够使在组装台上组装好的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向，因此之后通过用起重机吊起该状态下的涂敷头将涂敷头搬入到液体涂敷装置中，能够准确、容易并且迅速地将涂敷头安装到液体涂敷装置中。

并且，涂敷头的液体喷出口位于下侧、并且互相重合的抵接面为朝向垂直的方向，该方向为向下方喷出液体的液体涂敷装置的涂敷头的朝向。因此，在将涂敷头安装到这样的液体涂敷装置中的情况下，能够用起重机保持该方向地吊起朝向上述方向的涂敷头，能够准确、容易并且迅速地将涂敷头搬入并安装到液体涂敷装置中。

并且，由于用支承组件支承安装在另一个涂敷头片两端的旋转支架，能够使另一个涂敷头片旋转，因此能够容易并且迅速地使另一个涂敷头片的抵接面朝向下侧，能够用起重机吊起。

附图说明

图1为表示构成作为本申请发明的实施例的涂敷头组装装置的搬送单元及组装单元的示意图。

图2为表示本申请发明的实施例的搬送单元的俯视图。

图3为表示图2所示的搬送单元的主视图。

图4为表示图2所示搬送单元的侧视图。

图5为表示图2所示搬送单元的后视图。

图6为表示搬送单元的吊车的钢丝绳顶端的吊钩的放大主视图。

图7为表示用图3所示的搬送单元悬吊涂敷头片的状态的主视图。

图8为表示用图3所示的搬送单元悬吊涂敷头的状态的主视图。

图9为表示本申请发明的实施例的组装单元的俯视图。

图10为表示图7所示组装单元的主视图。

图11为表示图7所示组装单元的侧视图。

图12为表示组装单元的组装台的旋转位置的图10的A-A线剖视图，图12(A)为表示组装台的第1位置的图，图12(B)为表示组装台的第2位置的图。

图13(A)为表示悬吊用支架安装到第2涂敷头片上的状态的立体图，图13(B)为表示旋转用支架安装到第1涂敷头片上的状态和支承旋转用支架的V形块的立体图。

图14为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图15为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图16为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图17为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图18为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图19为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图20为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图21为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图22为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图23为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图24为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图25为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图26为表示涂敷头组装作业的状态的涂敷头组装装置的侧视图。

图27为表示将位置对齐用板安装到第2涂敷头片的后端面上的状态的立体图。

图28为表示安装涂敷头的液体涂敷装置的立体图。

图29为表示安装到液体涂敷装置中的涂敷头的分解立体图。

标记说明

1.涂敷头的组装装置；2.搬送单元；3.组装单元；10.搬送单元的腿部；11.腿部框；12.小脚轮；20.吊车(起重机)；22.吊车主体；24.升降体；24a.升降部；24b.升降臂；24c.加强体；24d.轨道；26.吊车的滑动杆；26a.滑动体；26b.滑动杆主体；26c.延长杆；26d.控制杆；28.钢丝绳；28a.吊钩；29.垂吊具；30.臂升降机构；32.升降导轨；34.链条；36.支承滑轮；38.卷绕部；40.吊车操纵手柄；42.垂吊用支架；42a.止动孔；42b.卡合孔；44.旋转用支架；44a.止动孔；44b.卡合孔；44c.轴部；46.V型块(支承块)；46a.V型槽；48.位置对齐用板；49a.把手；49b.吊钩；50.组装单元的腿部；50a.腿部构件；50b.小脚轮；52.组装单元主体；52a.组件底座；54.载置台；60.转动机构；61.轴承；62.轴；63.输出轴；64.减速器；65.输入轴；66.转动手柄；70.组装台；72.支座；74.组装台座；76.搬入搬出底座；101.液体涂敷装置；102.底座；102a、102b.侧壁；103.工作台；104.基板；105a、105b.导轨；110.涂敷机构；120.涂敷头；121、122.涂敷头片；121a、122a.齿顶部；121b、122b.抵接面；123.衬垫；123a.凹陷部；124.液体注入口；125.通孔；126.空洞部；131.空气排出口；140.维护机构；141.更换滑动体；142.升降动力缸(升降装置)；148.滑动体可动部；160.保护盖；S1.空间；S2.间隙

具体实施方式

一种涂敷头的组装装置，该涂敷头的组装装置是装配一对涂敷头片而构成的，在安装到液体涂敷装置中的状态下喷出涂敷到涂敷对象物上的液体，具有用于吊起并移动涂敷头或涂敷头片的起重机、载置一个涂敷头片或涂敷头的组装台、以及载置另一个涂敷头片的载置台；组装台能够在载置一个涂敷头片时的第1位置和将在组装台上组装好的涂敷头搬入搬出液体涂敷装置时的第2位置之间转动；通过用起重机吊起载置于载置台上的另一个涂敷头片，将另一个涂敷头片重叠到载置在第1位置的组装台上的一个涂敷头片上，能够组装涂敷头；而且能够用起重机吊起载置在转动到第2位置状态下的组装台上的涂敷头，将其搬入并安装于液体涂敷装置。

组装台的第2位置是使载置到该组装台上的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向的位置，通过使载置有组装好的涂敷头的组装台转动到上述第2位置，能够使载置在该组装台上的涂敷头朝向安装的方向，能够用起重机吊起该朝向安装方向的状态下的涂敷头，将其搬入并安装到液体涂敷装置中。

并且，载置台具有装卸自由地设置在其两端位置上的支承组件，以及具有旋转轴的旋转支架，该旋转轴由设置在该支承组件上的轴承以能够旋转的状态进行支承；该旋转支架能够自由装卸地安装于另一个涂敷头片的两端；将旋转支架安装到载置在载置台上的另一个涂敷头片的两端，通过用起重机吊起该旋转支架，能够吊起另一个涂敷头片；在吊起另一个涂敷头片的状态下能够用设置在载置台两端位置上的支承组件的轴承以能够旋转的状态支承安装在该另一个涂敷头片两端的旋转支架的上述旋转轴，通过使另一个涂敷头片旋转，能够使该另一个涂敷头片的朝向向着装配到载置在组装台上的一个涂敷头片的方向；通过用起重机吊起旋转到该朝向上的另一个涂敷头片，使另一个涂敷头片重叠在转动到第1位置上的组装台上的上述一个涂敷头片上，能够组装涂敷头。

而且，具有设置了起重机的搬送单元以及设置了载置台和组装台的组装单元；搬送单元和组装单元在能够互相靠近、离开的状态下组合；搬送单元和组装单元中的至少上述搬送单元具有使其能够在地面上移动的移动机构。

并且，是一种将一对涂敷头片在使彼此的抵接面重合的状态下装配构成的、安装到液体涂敷装置中而使用的涂敷头的组装方法，使一个涂敷头片呈抵接面水平并且朝向上侧的状态；将另一个涂敷头片在其抵接面朝向下侧的状态下重叠到一个涂敷头片上来装配两涂敷头片，由此组装涂敷头；在使组装好的该涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向后，在该安装朝向的状态下将该涂敷头搬入并安装到液体涂敷装置中。

并且，是一种将一对涂敷头片在使彼此的抵接面重合的状态下装配构成的、安装到液体涂敷装置中而使用的涂敷头的组装方法，用起重机吊起一个涂敷头片，在使其呈抵接面水平并且朝向上侧的状态下将一个涂敷头片载置到组装台上；在使其抵接面朝向下侧的状态下，用起重机吊起另一个涂敷头片，将另一个涂敷头片重叠到组装台上的一个涂敷头片上来装配两涂敷头片，由此组装涂敷头；在使组装好的该涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向后，在该安装朝向的状态下用起重机吊起该涂敷头，搬入并安装到液体涂敷装置。

并且，组装台能够在载置一个涂敷头片时的第1位置和使组装台上组装好的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向的第2位置之间转动；使组装好的涂敷头朝向安装到液体涂敷装置的方向的工序通过使组装台转动到上述第2位置而进行。

而且，安装的方向为涂敷头的液体喷出口位于下侧、并且互相重合的抵接面为垂直的方向。

并且，在使另一个涂敷头片的抵接面朝向下侧的状态下用起重机吊起另一个涂敷头片的工序为使用旋转支架与支承组件的工序，该旋转支架能够自由装卸地安装到另一个涂敷头片的两端，该支承组件在能够使该旋转支架旋转的状态下对其进行支承；上述工序是通过下述步骤而进行的，即将旋转支架安装到在使抵接面水平并且朝向上侧的状态下载置到载置台上的另一个涂敷头片的两端，用起重机吊起该另一个涂敷头片后，将支承组件设置到载置台两端的位置上，使另一个涂敷头片下降，用支承组件支承安装在该另一个涂敷头片两端的旋转支架，然后使另一个涂敷头片旋转，使其抵接面朝向下侧，用起重机进行起吊。

[实施例]

下面用附图详细说明本申请发明涉及的涂敷头的组装装置及安装方法的优选实施例。在该说明之前首先简单说明作为组装对象的涂敷头及安装该涂敷头的液体涂敷装置。

液体涂敷装置用于以均匀的厚度将抗蚀剂或铬涂敷液等液体涂敷到半导体基板或液晶基板等涂敷对象物的表面上。

如图28所示，液体涂敷装置101具有底座102和设置在底座102上的中央部位的工作台103，作为涂敷对象的基板104载置在该工作台103上。底座102的两侧边缘分别形成有垂直竖起的侧壁102a、102b，在这些侧壁102a、102b的上面铺设有导轨105a、105b。并且，在导轨105a、105b的上面设置有能够行走状态下的涂敷机构110，涂敷机构110具有在下端具有喷嘴的、升降自由的涂敷头120。因此，当使涂敷机构110行走并且从底座102的下端喷嘴喷出涂敷液时，喷出的涂敷液以同样的膜厚非遍布地从基板104表面的涂敷开始端涂敷到结束端。

涂敷头120在液体涂敷装置101上装卸自由，如图29所示由被分割的2片涂敷头片121、122和在被夹在两片涂敷头片121、122之间的状态下组装的衬垫123构成。2片涂敷头片121、122分别由细长的长方体形金属(不锈钢)制组件构成，在互相重叠的抵接面121b、122b(参照图27、图29)的下端，形成有突出成锐角形状的齿顶部121a、122a。

衬垫123由冲压成コ字形状的薄板制成，当衬垫123被夹在2片涂敷头片121、122之间时，该コ字形凹陷部123a在这些涂敷头片121、122的齿顶部121a、122a之间形成缝隙状的喷出口。即，喷出口缝隙的宽度由衬垫123的厚度决定。喷出口的长度由凹陷部123a的长度决定。喷出口的长度与基板104上涂敷液的涂敷宽度(基板104的宽度方向上的涂敷长度)相对应。

在第1涂敷头片121上部其长度方向(涂敷头120的宽度方向)的中央部位，形成有用来注入涂敷液的液体注入口124，在其长度方向的两端附近，分别形成有空气排出口131。并且，在同一第1涂敷头片121的中间部位，形成有用来使从液体注入口124注入的液体向宽度方向扩散的空洞部126。该空洞部126在与第2涂敷头片122相对的一侧的侧面(抵接面121b)上开口。并且，形成有用来将这些液体注入口124、空气排出口131和空洞部126连通的3个通孔125。空洞部126与喷出口连通，空洞部126内的液体被喷出口变成一定的厚度，从喷出口下方的顶端开口部喷出。该喷出口的顶端开口部形成涂敷头120下端喷嘴部的喷嘴口。

并且，如图28所示，液体涂敷装置101具有维修涂敷头120的维护机构140。维护机构140设置在底座102上比工作台103靠前的一侧(图28中的左下侧)，具有能够向维护机构的横向上拉出的滑动体可动部148。

当作业者将涂敷头120设置到液体涂敷装置101上时，首先像图28中双点划线所示那样向横向拉出维护机构140的滑动体可动部148，在这种状态下将涂敷头120载置到滑动体可动部148上(参照图28的箭头B)，使滑动体可动部148回到原来的位置。由此，涂敷头120搬入到维护机构140上。然后，使涂敷机构110移动到维护机构140的位置，使涂敷机构110位于搬入的涂敷头120正上方的位置上，在这种状态下将涂敷头120安装到涂敷机构110上。并且，当取出安装好的涂敷头120时，在将取出的涂敷头120载置到维护机构140上之后，通过与这里说明过的顺序相反的顺序能够简单地将涂敷头120搬出液体涂敷装置101之外。

下面参照附图详细说明涂敷头的组装装置。

如图1的示意图所示那样，涂敷头的组装装置1具有设置了后述的吊车20的搬送单元2和设置了后述的载置台54和组装台70的组装单元3。

如从图2到图5所示的那样，其中搬送单元2具有与地板接触的腿部10和设置在腿部10上的吊车20，搬送单元2的腿部10具有四方形腿部框11和安装到腿部框11下侧的多个小脚轮12(参照图3)。并且，吊车20的下部固定在腿部框11的上侧。

并且，搬送单元2侧视为コ字形状(参照图4)，在腿部10的上方形成腿部10和后述的升降体24之间的空间S1(参照图4)。并且，如后述那样，通过使组装单元3位于该腿部10上方的空间S1的部分内，能够装配配置搬送单元2和组装单元3(参照图15)。并且，在各腿部框11下端的位置上根据情况安装有4个作为移动机构的小脚轮12。由于具有这样的小脚轮12，因此搬送单元2能够自由地在地面上移动。

如图3所示，吊车20具有从腿部10向上垂直延伸的吊车主体22、能够升降地安装在吊车主体22上的升降体24、以能够水平移动的状态设置到升降体24上的滑动杆26、从滑动杆26的两端下垂的一对钢丝绳28，以及安装在滑动杆26的靠近中央位置上的一对垂吊具29(参照图3)。

吊车主体22的高度比组装单元3的高度高。并且，吊车主体22上设置有能够升降地保持升降体24的臂升降机构30(参照图5)。臂升降机构30具有：设置在吊车主体22两侧的一对升降导轨32；垂吊并支承升降体24的链条34；安装在吊车主体22上端的位置上，卷绕链条34的支承滑轮36；链条34的卷绕部38；以及用来使卷绕部38旋转的吊车操纵手柄40。其中，升降导轨32为引导升降体24升降移动的装置。并且，卷绕部38安装到吊车主体22上。

如图3所示，升降体24具有被设置于吊车主体22上的升降导轨32在能够升降移动的状态下卡住的升降部24a，以及从升降部24a的上端水平向前方(图4中的左方)延伸的一对升降臂24b。这样一来，升降臂24b被能够升降地安装在吊车主体22上的升降部24a悬臂支承着。并且，升降臂24b与腿部框11的长度方向D1(参照图1)平行延伸，升降臂24b的长度比后述的组装单元3的宽度尺寸W1(参照图9)长。因此，当装配搬送单元2和组装单元3时(参照图15)，能够使从滑动杆26上垂下的钢丝绳28或垂吊具29位于组装单元3的任意位置的上方。另外，标记“24c”表示增强升降部24a与升降臂24b的固定状态的加强体，标记“24d”表示设置在升降臂24b上的轨道。

滑动杆26具有：在滑动自由的状态下设置到各升降臂24b的轨道24d上的滑动体26a，沿与升降臂24b交叉的方向在滑动体26a上延伸的滑动杆主体26b，以及通过延长杆26c安装到滑动杆主体26b上的控制杆26d。滑动体26a沿进退方向D1(参照图4)在升降体24上滑动自由。于是，当直接握持控制杆26d沿进退方向D1推拉时，滑动体26a沿进退方向D1在升降体24的轨道24d上滑动，整个滑动杆26沿进退方向D1移动。这样一来，滑动杆26能够在控制杆26d的控制下滑动，由此能够改变从滑动杆26垂下的钢丝绳28的位置。

滑动杆主体26b与升降臂24b正交(参照图2)，沿水平方向延伸。并且，在滑动杆主体26b的两端分别安装有钢丝绳28，在滑动杆主体26b的靠近中央的中间位置上安装有一对垂吊具29。即，滑动杆26上分别安装有2根钢丝绳28和2个垂吊具29。

2根钢丝绳28都在向下侧延伸的顶端具有吊钩28a(参照图6)。吊钩28a具有防脱落用的爪，由此能够防止钩挂在吊钩28a上的支架等部件脱落。并且，两根钢丝绳的长度相同，主要用于悬吊图29所示的涂敷头片121(或122)(参照图7)。因此，当使用两根钢丝绳28悬吊涂敷头片121(或122)时，能够将涂敷头片121(或122)维持水平并悬吊支承涂敷头片121(或122)。

垂吊具29(参照图3)在悬吊组装好的涂敷头120时使用(参照图8)。如后面将要叙述的那样，当将涂敷头120搬入液体涂敷装置101时，吊钩49b安装到涂敷头120上。该吊钩49b钩挂垂吊具29，使用吊车20吊起涂敷头120。另外，垂吊具29的结构与吊钩28a相同，因此省略其详细说明。

这种结构的搬送单元2当使臂升降机构30的吊车操纵手柄40正向旋转(本实施例为图5中的向右旋转)时，链条34被卷绕部38卷绕，升降体24上升。或者，当使吊车操纵手柄40逆向旋转(本实施例中为图5中的左向旋转)，链条34从卷绕部38上抽出，升降体24下降。

如图9至图11所示，组装单元3具有与地面接触的腿部50(参照图10)、设置在腿部50上的组装单元主体52、设置在组装单元主体52上的载置台54和组装台70(参照图9)，以及用来使组装台70转动的转动机构60。而且，组装单元3具有能够自由脱离地安装在该组装单元3上的、后述的V型块46(参照图13)，以及自由装卸地安装在涂敷头片121、122或涂敷头120上使用的支架类42、44、49a、49b(参照图8、图13)。

组装单元3(参照图10)的腿部50具有支承组装单元的4条腿部构件50a和安装在各腿部构件50a下部的小腿轮50b。组装单元3的腿部50的高度比搬送单元2的腿部10的高度高，搬送单元2的腿部10能够插入位于组装单元3的腿部50上的组装单元主体52下侧的间隙S2内。即，通过将搬送单元2的腿部10插入组装单元主体52下侧的4条腿部构件50a之间形成的间隙S2内，能够装配配置搬送单元2和组装单元3(参照图15)。换言之，能够使组装单元主体52位于搬送单元2的腿部10上方的空间S1(参照图4)内，用组装单元3跨过搬送单元2的腿部10，通过变成这种状态能够装配配置搬送单元2和组装单元3。并且，在各腿部构件50a的下端根据情况安装有4个小腿轮50b。由于具有这样的小腿轮50b，组装单元3能够在地面上自由地移动。

并且，在组合配置搬送单元2和组装单元3的状态下(参照图15)，当向组装单元3一侧移动搬送单元2时，能够使搬送单元2与组装单元3接触，在接触的状态下能够使两个单元2、3整体地移动。反之，即使在向搬送单元2一侧移动组装单元3的情况下，同样能够使搬送单元2与组装单元3接触，在接触的状态下能够使两个单元2、3整体地移动。这样一来，能够简单地使两个单元2、3整体地移动。

载置台54和组装台70配置在组装单元3上。载置台54和组装台70都是载置涂敷头120或涂敷头片121、122等细长部件的工作台，能够沿组装单元主体52的长度方向载置涂敷头120或涂敷头片121、122。并且，在将组装单元3与搬送单元2相邻组合配置的情况下，将载置台54配置到吊车20一侧、将组装台70配置到与吊车20一侧相反的一侧地配置组装单元3(参照图15)。

载置台54固定到组装单元主体52上，载置台54的上表面为向水平方向扩宽的平面。并且，在载置台54的上表面上粘贴有缓冲材料(未图示)。因此，能够防止当将涂敷头片等载置物载置到载置台54上时损伤载置物。作为缓冲材料可以列举例如氨基甲酸乙酯制的海绵状物等。并且，如后面将要叙述的那样，本实施例中载置台54作为载置构成涂敷头120的零部件中从后面搬入的第1涂敷头片121的场所使用。并且，虽然本实施例中为了能够在2个地方支承载置的第1涂敷头片121而将载置台54隔开间隔分割配置在2个地方，但也可以设置在3个以上的地方或连成一体。

用于使组装台70(参照图9)转动的转动机构60具有：通过设置在组装单元主体52上的轴承61旋转自由地支承着的轴62，设置在组装单元主体52上、用输出轴63连接到轴62上的减速器64，安装在减速器64的输入轴65(参照图9)上的转动手柄66。因此，当转动转动手柄66时，轴62以规定的减速比减速后的转速旋转。

组装台70通过支座72一体地固定在轴62上。因此，当轴62旋转时，组装台70也一体旋转。

如果更详细说明，组装台70具有当搬入搬出第2涂敷头片122时作为承载涂敷头片的支台使用的组装台座74(参照图12)，以及在与涂敷头120的安装目的地的液体涂敷装置101之间搬入搬出涂敷头120时作为承载它的支台使用的搬入搬出底座76。

组装台座74的承载载置物的载置面(图12(A)的状态下为上表面)74a为平面。并且，载置面74a上粘贴有缓冲材料(未图示)。因此，当将第2涂敷头片122等载置物载置到组装台座74上时能够防止损伤载置物。另外，本实施例中组装台座74如后面将要叙述的那样作为载置两涂敷头片121、122中先搬入的第2涂敷头片122的场所使用。并且，虽然本实施例中为了能够在2个地方支承载置的第2涂敷头片122而将组装台座74隔开间隔分割配置在2个地方，但也可以设置在3个以上的地方或连成一体。

搬入搬出底座76如图9或图12(A)所示为配置在组装台座74的轴62端部上的部件，一体地固定到轴62上。并且，搬入搬出底座76的表面(面向组装台座74一侧的面)76a为平面，搬入搬出底座76的该表面76a与组装台座74的载置面74a之间的夹角为直角。即，组装台座74和搬入搬出底座76以互相成直角的状态配置。

组装台70能够在图9至图11和图12(A)所示位置的第1位置和图12(B)所示位置的第2位置之间转动。第1位置上组装台座74的载置面水平，搬入搬出底座76的载置面垂直。该第1位置为将第2涂敷头片122载置到组装台70的组装台座74上时的位置。另外，第2位置上搬入搬出底座76的载置面为水平，组装台座74的载置面垂直。该第2位置为在与安装目的地的液体涂敷装置101之间搬入搬出组装后的涂敷头120时的位置。

于是，当使转动机构60的转动手柄66正向旋转(图10中向右旋转)到限定位置时，组装台70转动，组装台座74与图中没有表示的定位块相抵接，组装台70移动到第1位置并被定位在该位置上。并且，当使转动手柄66逆向旋转(图10中向左旋转)到限定位置时，组装台70逆向转动，搬入搬出底座76与图中没有表示的其他的定位块相抵接，组装台70移动到第2位置并被定位在该位置上。

如图13所示，垂吊用支架42为安装在涂敷头片121、122两端使用的部件，具有用于安装到涂敷头片121、122上的止动孔42a和供钢丝绳28的吊钩28a钩挂的卡合孔42b。因此，在将该垂吊用支架42安装到涂敷头片121、122上的情况下，能够将螺栓(未图示)穿插到止动孔42a中连接安装。并且，由于垂吊用支架42为安装在涂敷头片121、122两端使用的部件，因此2个一组使用。另外，图13中省略了涂敷头片121、122的朝上侧的抵接面121b、122b的状态的图示。

旋转用支架44为安装到涂敷头片121、122两端使用的部件，具有用来安装到涂敷头片121、122上的止动孔44a、夹着止动孔44a形成在两侧的卡合孔44b、以及向支架外面突出的轴部44c。因此，是与垂吊用支架42一样为能够通过将螺栓(未图示)穿插到止动孔42a中进行连接来安装到涂敷头片121、122上的部件，能够2个一组使用。并且，卡合孔44b为供钢丝绳28的吊钩28a钩挂的结构，轴部44c为能够由后面说明的V型块46的V型槽46a以能够旋转的状态支承的部件。

V型块46在其上面具有V字形截面形状的V型槽46a。该V型块46为装卸自由地安装到设置在组装单元3的组装单元主体52上的一对组件底座52a上的部件，2个一组使用。在第1涂敷头片121载置到载置台54上时，组件底座52a被配置在位于该第1涂敷头片121两端位置外侧的位置上。并且，V型块46在处于使V型槽46a延伸的方向与将第1涂敷头片121载置到载置台54上时的长度方向一致的状态下安装到组件底座52a上。这样一来，一对V型块46在夹着载置台54的状态下安装到组件底座52a上。因此，如果在V型块46安装到组件底座52a上的状态下旋转用支架44使安装在两端的第1涂敷头片121下降到载置台54的位置，则通过V型块46的V型槽46a能够在使旋转用支架44的轴部44c可以旋转的状态下对其进行支承。

下面用图14到图26说明用上述结构的涂敷头组装装置组装涂敷头120的作业和将组装好的涂敷头120安装到液体涂敷装置101中的作业。另外，由于图14到图26简易地表示了涂敷头组装装置的结构，因此在说明详细结构的情况下参照图2至图13进行说明。

首先，将收容有第2涂敷头片122的壳体122c搬送到升降体24的正下方位置上(参照图14)，打开壳体122c的盖122d(参照图15)。此时，使第2涂敷头片122的与第1涂敷头片121接触的抵接面122b处于上侧、并且使成为第2涂敷头片122的喷出口的齿顶部122a朝向搬送单元2的吊车主体22一侧的状态地配置壳体122c。另外，在第2涂敷头片122较重的情况下，也可以不移动收容有第2涂敷头片122的壳体122c而直接使涂敷头组装装置移动到该壳体122c的位置。这一点在搬入第1涂敷头片121时也一样。

然后，通过螺栓固定将垂吊用支架42(参照图13(A))安装到处于收容到壳体122c的状态下的第2涂敷头片122的两端。另外，将垂吊用支架等支架安装到第2涂敷头片122上时，在第2涂敷头片122与支架之间设置用来防止损伤的图中没有表示的密封件。这一点在将支架安装到第1涂敷头片121上时也一样。

接着，使用搬送单元2的控制杆26d将滑动杆26移动到升降臂24b的顶端。然后使吊车操纵手柄40逆转，从卷绕部38中抽出链条34，使升降体24下降，使2根钢丝绳28顶端的吊钩28a钩挂在安装于第2涂敷头片122两端的垂吊用支架42的卡合孔42b中(参照图14、图6)。

然后使吊车操纵手柄40正转，用卷绕部38卷绕链条34，使升降体24上升到第2涂敷头片122的高度比组装台70高的位置。然后，用控制杆26d将升降体24的滑动杆26后退移动到升降臂24b的根部一侧(吊车主体22一侧)，使悬吊状态下的第2涂敷头片122移动到组装台70的正上方，使吊车操纵手柄40逆转，使第2涂敷头片122缓慢下降移动，移载到组装台70上(参照图15)。然后，从垂吊用支架42中取下吊钩28a。另外，当将第2涂敷头片122移载到组装台70上时，在移载之前预先使组装台70转动到第1位置(参照图12(A))。当将第2涂敷头片122移载到第1位置状态下的组装台70上时，第2涂敷头片122在抵接面122b水平并且朝上一侧的状态下移载到组装台70上。

当第2涂敷头片122的移载结束时，将收容了第1涂敷头片121的壳体121c搬送到与搬送单元2相邻的位置(参照图16)，打开壳体121c的盖121d(参照图15)。此时使第1涂敷头片121的与第2涂敷头片122接触的抵接面121b处于上侧、并且使第1涂敷头片121的齿顶部121a处于朝向与搬送单元2的吊车主体22一侧相反的一侧的状态下配置壳体121c。并且，通过螺栓紧固按与第2涂敷头片122时的顺序相同的顺序将垂吊用支架42安装到第1涂敷头片121的两端(参照图16)。

接着，使用控制杆26d将滑动杆26移动到升降体24的升降臂24b的顶端，然后使吊车操纵手柄40逆转，使升降体24下降，使2根钢丝绳28顶端的吊钩28a钩挂在安装于第1涂敷头片121两端的垂吊用支架42的卡合孔42b中。然后使吊车操纵手柄40正转，使升降体24上升到第1涂敷头片121的高度比载置台54高的位置。然后，用控制杆26d将滑动杆26移动到升降臂24b的后端一侧，使悬吊状态下的第1涂敷头片121移动到载置台54的正上方，使吊车操纵手柄40逆转，使第1涂敷头片121缓慢下降移动，移载到载置台54上(参照图17)。然后，从垂吊用支架42中取下吊钩28a。

接着，将第1涂敷头片121两端的支架由垂吊用支架42更换(参照图18)成旋转用支架44(参照图13(B))。另外，由于当将第1涂敷头片121载置到载置台54上时，第1涂敷头片121的两端变成从载置台54的端部突出的状态，变成不妨碍将支架安装到第1涂敷头片121两端的周围的状态，因此能够简单地将支架安装到第1涂敷头片121的两端。并且，通过从两端支承位于两侧的旋转用支架44的轴部44c，安装了旋转用支架44的第1涂敷头片121处于能够旋转地被支承的状态。

接着，将2个吊钩28a钩挂到安装在第1涂敷头片121两端的旋转用支架44的卡合孔44b中(参照图18、图13(B))。然后使吊车操纵手柄40正转，使升降体24上升，使第1涂敷头片121处于悬挂在载置台54上方的状态。

然后通过螺栓固定将用来能够旋转地支承第1涂敷头片121的V型块46(参照图13(B))设置到位于组装单元主体52上的载置台54两外侧的组件底座52a上(参照图19)。另外，此时使V型块46的V型槽46a的延伸方向与第1涂敷头片121的延伸方向即组装单元主体52的长度方向相同地将V型块46设置到组装单元主体52的组件底座52a上。

当使吊车操纵手柄40逆转、使升降体24下降时，由于旋转用支架44的轴部44c处于与V型块46的V型槽46a相抵接的状态，因此如果在该状态下从旋转用支架44的卡合孔44b中取出2个吊钩28a，则第1涂敷头片121经由旋转用支架44的轴部44c由V型块46被支承为能够旋转的状态(参照图20)。

当在这种状态下使第1涂敷头片121围绕轴部44c旋转180°时，第1涂敷头片121变成朝向组装到组装台70上的第2涂敷头片122的方向。然后将吊车20的2个吊钩28a分别钩挂到通过这样旋转而转到上侧的旋转用支架44的其他卡合孔44b中。接着使吊车操纵手柄40正转，使升降体24上升，使第1涂敷头片121变成悬挂在载置台54上方的状态(参照图21)。

然后从载置台54上取下V型块46，使吊车操纵手柄40逆转，使升降体24下降，再次将第1涂敷头片121载置到载置台54上。接着从第1涂敷头片121的两端取下旋转用支架44。此时，第1涂敷头片121变成朝向安装到组装台70上的第2涂敷头片122的方向的状态。并且，在此时垂吊用支架42仍安装在第2涂敷头片122上的情况下，在此从第2涂敷头片122上取下垂吊用支架42(参照图22)。然后，用带有洗净液的棉布等擦拭没有安装支架状态下的两涂敷头片121、122，进行清扫和洗净。

洗净作业后，将衬垫123(参照图27)载置到组装台70上的第2涂敷头片122的上面(即第2涂敷头片122的与第1涂敷头片121的抵接面121b重叠的抵接面122b一侧)上。另外，在将衬垫123载置到第2涂敷头片122上时，之前清扫和洗净衬垫123的与第2涂敷头片122的接触面。然后将衬垫123载置到第2涂敷头片122上，进行位置对齐，然后清扫和洗净衬垫123的与第1涂敷头片121的接触面，确认处于位置对齐的状态。

接着，通过螺栓连接将用于涂敷头片之间位置对齐的位置对齐用板48安装到载置在组装台70上的第2涂敷头片122上(参照图27)，另一方面，将垂吊用支架42安装到第1涂敷头片121的两端(参照图22)。如图所示，位置对齐用板48为安装到第2涂敷头片122的后端面上使用的部件。这样一来，如果预先将位置对齐用板48安装到第2涂敷头片122上的话，则将第1涂敷头片121组装到第2涂敷头片122上时，能够简单并且迅速地对齐两涂敷头片121、122的后端面的位置。

接着将钢丝绳28的吊钩28a钩挂到垂吊用支架42的卡合孔42b中，使吊车操纵手柄40正转、使升降体24上升，将第1涂敷头片121吊起。并且，用控制杆26d使滑动杆26移动到升降体24的顶端，使第1涂敷头片121位于第2涂敷头片122的上方，然后使吊车操纵手柄40逆转，使升降体24下降，使第1涂敷头片121的朝向下侧的抵接面121b与第2涂敷头片122的朝向上侧的抵接面122b位置对齐，并且在中间夹着衬垫123的状态下重叠，通过螺栓连接组装第2涂敷头片122和第1涂敷头片121，组装涂敷头120(参照图23)。

当通过以上的作业组装好涂敷头120时，取下安装到第2涂敷头片122上的位置对齐用板48，取下第1涂敷头片121两端的垂吊用支架42。然后将图中没有表示的保护盖160(参照图26)安装到涂敷头120的喷嘴状喷出口部分上。

然后，转动转动手柄66(参照图9)，使组装台70围绕长度方向的轴转动90°(参照图24)，从第1位置(参照图12(A))转动到第2位置。这样一来，被保护盖160保护的由齿顶部121a、122a构成的喷出口部分处于下侧，载置到组装台70上的涂敷头120在载置到保护盖160上的状态下载置到搬入搬出底座76上，朝向安装到液体涂敷装置101的方向。

在这种状态下，将把手49a、吊钩49b、安装到液体涂敷装置101上时使用的图中没有表示的附件安装到位于上侧的涂敷头120的上面(参照图8、图25)。另外，吊钩49b为用吊车20吊起涂敷头120时作为钩挂垂吊具29的部分使用的部件，把手49a为将垂吊的涂敷头120引导到所希望的状态时由作业者使用的部件。

然后，将吊车20的2个垂吊具29钩挂到吊钩49b上，使吊车操纵手柄40正转，吊起涂敷头120(参照图26)。此时，涂敷头120的高度位于比液体涂敷装置101的滑动体可动部148(参照图28)高的位置。并且，在吊起涂敷头120之前或之后移动搬送单元2，使涂敷头120与滑动体可动部148平行。然后用控制杆26d将滑动杆26移动到升降体24的顶端，将悬吊状态下的涂敷头120载置到液体涂敷装置101的、处于拉出状态下的滑动体可动部148上。

如先前说明过的那样，由于当将组装台70移动到第2位置时涂敷头120朝向安装到液体涂敷装置101的方向，因此通过使吊车20缓慢地下降、将涂敷头120载置到滑动体可动部148上，能够容易并且快速地将涂敷头120搬入液体涂敷装置101中。当涂敷头120的搬入结束时，从吊钩49b上取下垂吊具29，并且从涂敷头120上取下把手49a和吊钩49b。然后使拉出状态的滑动体可动部148回到原来的位置，如果这样，滑动体可动部148上的涂敷头120在涂敷机构110行走的范围内移动。因此，通过使涂敷机构110在涂敷头120的正上方移动，能够将涂敷头120安装到液体涂敷装置101的涂敷机构110中。另外，由于取出安装在液体涂敷装置101中的涂敷头120的顺序是将安装顺序倒过来进行就可以，因此这里省略其说明。

如从以上说明能够明白的那样，如果采用实施例的涂敷头的组装装置1，由于组装台70能够在第1位置与第2位置之间转动，因此搬入第2涂敷头片122时能够使组装台70转动到第1位置，组装涂敷头后将涂敷头120安装到液体涂敷装置101中时能够使组装台70转动到第2位置。如果使用这样的组装台，则在涂敷头组装完成后只要将组装台转动到第2位置，就能够容易并且迅速地使组装好的涂敷头朝向适合安装到液体涂敷装置的方向。因此，能够容易并且迅速地将组装好的涂敷头安装到液体涂敷装置中。

并且，如果采用本发明的涂敷头的组装装置，由于从涂敷头的组装到与液体涂敷装置之间的搬入搬出这一连串的作业都只需用本发明的涂敷头的组装装置就能够进行，因此能够效率极佳地进行一连串的作业。

并且，由于从涂敷头片搬入涂敷头组装装置的搬入工序到组装好的涂敷头搬出液体涂敷装置的搬出工序的所有作业工序都只是使用吊车的作业或转动组装台的作业，不需要人工抱着涂敷头等运输，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

并且，由于能够在载置台上使搬入的涂敷头片旋转，因此能够容易并且迅速地将涂敷头片的方向改变成适合组装时的方向。因此，能够容易并且迅速地组装涂敷头。并且，由于不需要在搬入之前预先用人工或者其他的设备改变涂敷头的朝向，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

并且，由于是设置了吊车的搬送单元与设置了载置台和组装台的组装单元在能够接近或分开的状态下组合的装置，因此能够自由地将互相之间的位置关系设定、改变成易于作业的位置关系，提高了涂敷头的组装或分解、与液体涂敷装置之间的装卸等一连串作业的作业性。并且，由于搬送单元能够在地面上移动，因此不是将涂敷头片搬送到涂敷头的组装装置那里，而是使搬送单元移动到涂敷头片那里，能够将该涂敷头片搬入到涂敷头的组装装置中。这样一来，由于能够将作为组装零部件的涂敷头片的移动作业抑制在最小限度内，因此尤其适合于作为重量较重的大型涂敷头的组装装置使用。

另外，本申请发明并不局限于以上的实施例，在不脱离其宗旨的范围内可以进行种种变形。

例如，用于吊起涂敷头120或涂敷头片121、122的卡合孔可以考虑各种各样的形态。虽然上述实施例中涂敷头片121、122不具备用于卡住钢丝绳28的吊钩28a的卡合孔，而是装卸自由地安装形成有卡合孔42b、44b等卡合结构的支架42、44或吊钩49b，根据需要安装它们能够利用卡合孔等卡合结构，但也可以在涂敷头片121、122自身上预先形成卡合孔。即，包含卡合孔的部分既可以是与涂敷头片121、122成为一体的结构，也可以是装卸自由的结构(也可以是形成在装卸自由的构件上)。

并且，也可以将用来固定滑动杆26相对于升降体24的位置的锁定结构设置在升降体24与滑动杆26之间。例如，可以列举分别在升降体24与滑动杆26的相对置的滑动面上形成插入孔，在使升降体24的插入孔和滑动杆26的插入孔的位置一致的状态下，将1根锁定销插入两插入孔中，锁定滑动杆26的位置这样的结构。

并且，虽然组装台70的搬入搬出底座76为在与液体涂敷装置101之间搬入搬出涂敷头120时载置涂敷头120的地方，但不一定需要载置台用的底座，只要是使涂敷头120准确地朝向安装到液体涂敷装置的方向的部件就可以。例如，既可以是本实施例这样的当使组装台70移动到第2位置时，仅用搬入搬出底座76就能够使涂敷头120准确地朝向安装到液体涂敷装置的方向的结构，也可以是通过搬入搬出底座76与组装台座74协调动作能够使涂敷头120准确地朝向安装到液体涂敷装置的方向的结构。虽然本实施例中涂敷头120安装到液体涂敷装置101的方向为喷出口部分朝下的姿势，但在例如朝向斜方向的状态为安装到液体涂敷装置的方向的情况下，相当于搬入搬出底座76的部件也许不是载置用的底座，但是使涂敷头120朝向规定的安装方向的部件。这样一来，搬入搬出底座76可以说是当使组装台70移动到第2位置时，使涂敷头120朝向安装方向并保持在该方向上的搬入搬出位置保持部件的一个实施例。

Claims (9)

1.一种涂敷头的组装装置，该涂敷头的组装装置是装配一对涂敷头片而构成的，在安装到液体涂敷装置的状态下喷出涂敷到涂敷对象物上的液体，其特征在于，具有：

起重机，用于吊起并移动上述涂敷头或上述涂敷头片；

组装台，载置一个涂敷头片或上述涂敷头；以及，

载置台，载置另一个涂敷头片；

上述组装台能够在载置上述一个涂敷头片时的第1位置和将上述涂敷头搬入搬出上述液体涂敷装置时的第2位置之间转动；

通过用上述起重机吊起载置于上述载置台上的上述另一个涂敷头片，将上述另一个涂敷头片重叠到载置在上述第1位置的上述组装台上的上述一个涂敷头片上，能够组装上述涂敷头；并且能够用上述起重机吊起载置在转动到上述第2位置的状态下的上述组装台上的上述涂敷头，将其搬入并安装于上述液体涂敷装置。

2.如权利要求1所述的涂敷头的组装装置，其特征在于，

上述组装台的第2位置是使载置到该组装台上的上述涂敷头朝向安装到上述液体涂敷装置的方向的位置；

通过使载置了组装好的上述涂敷头的上述组装台转动到上述第2位置，能够使载置到该组装台上的上述涂敷头朝向上述安装方向；能够用上述起重机吊起朝向该安装方向的状态下的上述涂敷头，将其搬入并安装于上述液体涂敷装置。

3.如权利要求1或2所述的涂敷头的组装装置，其特征在于，

上述载置台具有：装卸自由地设置在其两端位置上的支承组件，以及，具有旋转轴的旋转支架，该旋转轴由设置在该支承组件上面的轴承以能够旋转的状态进行支承；

该旋转支架能够自由装卸地安装于上述另一个涂敷头片的两端；

通过用上述起重机吊起安装在该另一个涂敷头片的两端的旋转支架，能够吊起该另一个涂敷头片；能够用设置在上述载置台上的支承组件的轴承以能够旋转的状态支承悬吊状态下的该另一个涂敷头片的两端的旋转支架的上述旋转轴，通过使被支承着的该旋转轴旋转，能够使另一个涂敷头片的朝向向着下述方向，即装配到载置在上述组装台上的上述一个涂敷头片上的方向；通过用上述起重机吊起旋转到该朝向上的上述另一个涂敷头片，使上述另一个涂敷头片重叠在上述组装台上的一个涂敷头片上，能够组装上述涂敷头。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的涂敷头的组装装置，其特征在于，

该涂敷头的组装装置具有：设置了上述起重机的搬送单元，以及，设置了上述载置台和上述组装台的组装单元；

上述搬送单元和上述组装单元在能够互相靠近、离开的状态下组合；

上述搬送单元和上述组装单元中的至少上述搬送单元具有使其能够在地面上移动的移动机构。

5.一种涂敷头的组装方法，所述涂敷头将一对涂敷头片在使彼此的抵接面重合的状态下装配构成，安装到液体涂敷装置中而使用，其特征在于，

使一个涂敷头片呈抵接面水平并且朝向上侧的状态；

将另一个涂敷头片在其抵接面朝向下侧的状态下重叠到上述一个涂敷头片上来装配两涂敷头片，由此组装上述涂敷头；

在使组装好的该涂敷头朝向安装到上述液体涂敷装置的方向后，在该安装朝向的状态下将该涂敷头搬入并安装到上述液体涂敷装置。

6.一种涂敷头的组装方法，所述涂敷头将一对涂敷头片在使彼此的抵接面重合的状态下装配构成，安装到液体涂敷装置中而使用，其特征在于，

用起重机吊起一个涂敷头片，在使其呈抵接面水平并且朝向上侧的状态下将该一个涂敷头片载置到组装台上；

在使其抵接面朝向下侧的状态下，用起重机吊起另一个涂敷头片，将该另一个涂敷头片重叠到上述组装台上的上述一个涂敷头片上来装配两涂敷头片，由此组装上述涂敷头；

在使组装好的该涂敷头朝向安装到上述液体涂敷装置的方向后，在该安装朝向的状态下用起重机吊起该涂敷头，搬入并安装到上述液体涂敷装置。

7.如权利要求6所述的涂敷头的组装方法，其特征在于，

上述组装台能够在载置上述一个涂敷头片时的第1位置和使组装台上组装好的上述涂敷头朝向安装到上述液体涂敷装置的方向的第2位置之间转动；

使组装好的上述涂敷头朝向安装到上述液体涂敷装置的方向的工序通过使上述组装台转动到上述第2位置而进行。

8.如权利要求7所述的涂敷头的组装方法，其特征在于，

上述安装的方向为涂敷头的液体喷出口位于下侧、并且互相重合的抵接面为垂直的方向。

9.如权利要求7或8所述的涂敷头的组装方法，其特征在于，

在使上述另一个涂敷头片的抵接面朝向下侧的状态下用起重机吊起上述另一个涂敷头片的工序为使用旋转支架与支承组件的工序，该旋转支架能够自由装卸地安装到上述另一个涂敷头片的两端，该支承组件在能够使该旋转支架旋转的状态下对其进行支承；

上述工序是通过下述步骤而进行的，即将上述旋转支架安装到在使抵接面水平并且朝向上侧的状态下载置到载置台上的上述另一个涂敷头片的两端，用起重机吊起该另一个涂敷头片后，将上述支承组件设置到上述载置台两端的位置上，使上述另一个涂敷头片下降，用上述支承组件支承安装在该另一个涂敷头片两端的上述旋转支架，然后使上述另一个涂敷头片旋转，使其抵接面朝向下侧，用起重机进行起吊。

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