KR101110008B1 - 도포헤드의 조립장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 용이하면서 신속하게 도포헤드의 부품을 조립대 등으로 이동 가능하면서, 아울러 조립된 도포헤드를 용이하면서 신속하게 도포장치에 장착가능한 도포헤드의 조립장치를 제공한다.

[해결방법] 도포헤드의 조립장치로서, 도포헤드 등의 매달아 올리기용 크레인(2)과, 한쪽 도포헤드편이 재치되는 조립대(70)와, 다른쪽 도포헤드편이 재치되는 재치대(54)를 구비하며, 조립대(70)는, 한쪽 도포헤드편을 재치할 때의 제1포지션과, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로 반출할 때의 제2포지션으로 회동 가능하며, 도포헤드 조립 후, 조립대(70)를 제2포지션으로 회동시키면, 조립대(70) 상의 도포헤드가 액체도포장치에 장착하기 적합한 방향으로 향해지고, 그 상태에서 크레인(2)으로 매달아 올려 장착 가능한 도포헤드의 조립장치이다.

도포헤드

Description

도포헤드의 조립장치{AN ASSEMBLE APPARATUS OF A COATING HEAD}

본원 발명은, 반도체기판이나 액정기판 등의 도포대상물에 도포액 등의 액체를 도포하는 슬롯형의 액체도포장치에 사용되는 도포헤드의 조립, 유지관리 또는 교환 등에 사용되는 도포헤드의 조립장치, 조립방법 및 장착방법에 관한 것으로서, 특히 대형 도포헤드의 조립장치 및 장착방법에 관한 것이다.

종래, 반도체기판이나 액정기판 등의 도포대상물, 특히 각형(角形) 형상의 도포대상물에 레지스트 등의 도포액을 도포하는 경우에 사용되는 장치로서, 슬롯형의 액체도포장치(슬롯 코터)가 있다. 이 형식의 액체도포장치는, 스핀 코터와 비교하면, 도포액의 소비량이 적고, 저비용이라는 이점을 가지고 있다.

최근, 액정이나 플랫 패널 업계에서는 기판 사이즈가 대형화하고 있으며, 기판 사이즈가 대형화함에 따라, 기판 등으로의 도포액의 도포에 사용되는 도포헤드도 대형화하고 있다. 도포헤드가 소형인 경우는, 몇 명의 작업자에 의해 도포헤드를 안고 이동시킴으로써, 도포헤드의 조립이나 교환을 행하고 있었지만, 도포헤드가 대형화함에 따라, 작업자에 의한 조립이나 교환이 용이하지 않게 되어 오고 있다. 이러한 사정 때문에, 도포헤드의 교환시에 사용되는 도포용 다이 이동장치가 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).

또한, 신품의 도포헤드는, 통상, 분해된 부품 상태로 납품되므로, 납품 후, 도포헤드의 조립작업이 필요하게 된다. 도포헤드는, 보다 구체적으로는, 2개의 도포헤드 블록을 조립함으로써 조립되는 것이며, 일반적으로는, 양 블록 사이에 얇은 시임을 끼움으로써 슬릿 노즐용의 간극을 형성하는 구조로 되어 있다.

따라서 시임을 교환하여 슬릿 노즐의 폭을 변경하는 경우는, 도포헤드의 분해 및 조립을 행할 필요가 있다. 또한, 결함 대책으로서 도포헤드의 내부를 청소하기 위해, 도포헤드의 분해 및 조립을 행하는 경우가 있다. 이처럼, 도포헤드의 사용에 있어서는, 도포헤드의 조립이나 분해 작업이 필수가 되므로, 도포헤드의 조립이나 분해시에 사용되는 다이 코트의 조립장치가 제안되어 있다(특허문헌 2 참조).

[특허문헌 1] 일본특허공개 평11-138082호 공보

[특허문헌 2] 일본특허공개 2004-33882호 공보

그런데 배경기술로서 설명한 전자의 도포용 다이 이동장치는, 도포헤드의 착탈이나 이동을 위한 장치이다. 따라서 신품 도포헤드를 장착하는 경우는, 미리, 상술한 바와 같은 조립장치 등을 이용하여, 어떤 다른 장소에서 도포헤드를 조립할 필요가 있지만, 구체적인 조립방법은 개시되어 있지 않다.

또한, 후자의 다이 코트 조립장치는, 상술한 바와 같이, 도포헤드의 조립에 사용되는 장치이다. 이 조립장치는, 평면 정밀도가 높은 정반(定盤)을 구비하고 있으며, 상기 정반 상에서, 높은 조립 정밀도로 도포헤드의 조립을 행할 수 있는 것이지만, 조립하는 부품의 반입방법이나 조립한 도포헤드(다이 코터)의 반출방법 등은 구체적으로 개시되어 있지 않다.

조립된 도포헤드는, 조립 전의 각 부품에 비해 무거운 것이며, 게다가 들기 쉬운 형상이 아니므로, 반입출(搬入出) 작업이나 방향을 바꾸는 작업의 작업성은 극히 나쁘다. 특히, 대형 도포헤드는 대단히 무거운 것이며, 도포헤드의 방향을 바꾸는 작업은 극히 곤란하게 된다,

따라서 도포헤드의 조립장치나 장착장치에서는, 도포헤드를 구성하는 부품이나 도포헤드의 옮겨싣기(移載), 방향의 변경, 반입출 등의 작업을 어떻게 정확하게 또 용이하게 행할 수 있는가가 매우 중요하다. 그런데 종래의 조립장치나 이동장치에서는, 상술한 바와 같이 이들의 작업에 대해 구체적인 개시가 없다.

본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 구성된 것으로서, 적어도, 정확하게 또 용이하게 도포헤드를 조립하여 액체도포장치에 장착할 수 있는 조립장치 및 조립방법을 제공함을 과제로 하고 있으며, 또한, 별도의 이재 설비를 사용함이 없이 신속하면서도 용이하게, 조립된 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 수 있는 도포헤드의 조립장치 및 조립방법을 제공함을 과제로 한다.

상기와 같은 과제는, 본원의 각 청구항에 기재된 다음과 같은 발명에 의해 해결된다. 즉, 본 발명은, 한 쌍의 도포헤드편을 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착된 상태에서 도포대상물에 도포하는 액체를 토출하는 도포헤드의 조립장치로서, 도포헤드 또는 도포헤드편의 매달아 올리기 이동에 사용되는 크레인(매달아 올리기 기계)과, 한쪽 도포헤드편 또는 도포헤드가 재치되는 조립대와, 다른쪽 도포헤드편이 재치되는 재치대를 구비하고 있으며, 조립대는, 한쪽 도포헤드편이 재치될 때의 제1포지션과, 조립대 상에서 조립된 도포헤드를 액체도포장치에 대해 반입출할 때의 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있어, 재치대에 재치된 다른쪽 도포헤드편을, 크레인에 의해 매달아 올려, 제1포지션의 조립대에 재치된 한쪽 도포헤드편 상에 포갬으로써, 도포헤드를 조립할 수 있음과 아울러, 제2포지션으로 회동된 상태의 조립대에 재치된 도포헤드를 크레인에 의해 매달아 올려 액체도포장치에 반입하여 장착할 수 있는 것을 특징으로 하는 도포헤드의 조립장치이다.

본 발명의 도포헤드의 조립장치는, 상기와 같이 구성되어 있으며, 조립대는 제1포지션과 제2포지션으로 회동 가능하게 되어 있으므로, 한쪽 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치로 반입할 때는, 조립대를 제1포지션으로 회동시켜 둠으로써, 한쪽 도포헤드편을 조립대 상에 적절한 상태로 재치시킬 수 있고, 조립대 상에서 도포헤드를 조립한 후, 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 때는, 조립대를 제2포지션으로 회동시킴으로써, 도포헤드를 액체도포장치로의 장착에 적합한 방향으로 향하게 할 수 있다. 이처럼, 본 발명에 의하면, 도포헤드의 조립 완료 후, 조립대를 제1포지션으로부터 제2포지션으로 회동시킴으로써, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착에 적합한 상태로 할 수 있어, 정확, 용이하면서도 신속하게, 조립된 도포헤드를 반출에 적합한 상태로 하여 액체도포장치에 장착할 수 있다. 또한, 본 발명의 도포헤드의 조립장치에 의하면, 도포헤드의 조립이나 분해, 액체도포장치로의 장착?탈착을, 별도의 설비를 사용함이 없이, 본 발명의 도포헤드의 조립장치만으로 행할 수 있다. 다시 말해, 도포헤드의 조립으로부터 액체도포장치와의 사이의 반입출까지의 일련의 작업을, 본 발명의 도포헤드의 조립장치만으로 행할 수 있으므로, 극히 효율적으로 일련의 작업을 행할 수 있다.

또한, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로 반입하는 작업은, 크레인으로 매달아 올려 이동시키는 작업이나 조립대를 회동시키는 작업뿐이어서, 도포헤드를 사람 손으로 들거나 별도의 장치를 이용하여 이동시키거나 할 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 본 발명은, 도포헤드의 조립장치로서, 조립대의 제2포지션은, 상기 조립대에 재치된 도포헤드를, 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 하는 포지션으로서, 조립된 도포헤드가 재치된 조립대를 상기 제2포지션으로 회동시킴으로써, 상기 조립대에 재치된 도포헤드를 장착방향으로 향하게 할 수 있어, 상기 장착방향으로 향해진 상태의 도포헤드를 크레인에 의해 매달아 올려 액체도포장치로 반입하여 장착할 수 있는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있어, 조립대를 제2포지션으로 회동시키면, 조립대에 재치된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 할 수 있으므로, 그 후, 이 상태의 도포헤드를 크레인으로 매달아 올려 액체도포장치로 반입함으로써, 정확, 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 수 있다.

또한, 본 발명은, 도포헤드의 조립장치로서, 재치대는, 그 양단위치에 착탈 가능하게 설치되는 지지블록과, 상기 지지블록의 상면에 설치된 베어링부에 의해 회전 가능한 상태로 지지되는 회전축부를 가지는 회전브라켓을 구비하고 있으며, 상기 회전브라켓은, 다른쪽 도포헤드편의 양단에 착탈 가능하게 장착 가능하고,

상기 다른쪽 도포헤드편의 양단에 장착된 회전브라켓을 상기 크레인으로 매달아 올림으로써 상기 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올릴 수 있고, 매단 상태의 상기 다른쪽 도포헤드편의 양단의 회전브라켓의 상기 회전축부를, 상기 재치대에 설치된 지지블록의 베어링부에 의해 회전 가능한 상태로 지지할 수 있어, 지지된 상기 회전축부를 회전시킴으로써, 다른쪽 도포헤드편의 방향을, 상기 조립대에 재치된 상기 한쪽 도포헤드편으로의 조립방향으로 향하게 할 수 있고, 상기 방향으로 회전된 상기 다른쪽 도포헤드편을, 상기 크레인으로 매달아 올려, 상기 조립대 상의 한쪽 도포헤드편 상에 포갬으로써 상기 도포헤드를 조립할 수 있음을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있어, 재치대 상에 다른쪽 도포헤드편을 재치한 후, 상기 다른쪽 도포헤드편을 용이하게 회전시킬 수 있으므로, 용이하면서도 신속하게 다른쪽 도포헤드편의 방향을 한쪽 도포헤드편으로의 조립에 적합한 방향으로 바꿀 수 있다. 따라서 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 조립하여 액체도포장치에 장착할 수 있다. 또한, 재치대에 재치하기 전에, 미리, 사람 손이나 별도의 설비를 사용하여 다른쪽 도포헤드의 방향을 바꾸어 놓을 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 본 발명은, 도포헤드의 조립장치로서, 크레인이 설치된 반송유닛과, 재치대 및 조립대가 설치된 조립유닛을 구비하고, 반송유닛과 조립유닛은, 서로 근접 이간 가능한 상태로 조합되어 있으며, 반송유닛과 조립유닛 중, 적어도 상기 반송유닛은, 바닥면 상의 이동을 가능하게 하는 이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있으며, 크레인이 설치된 반송유닛과, 재치대 및 조립대가 설치된 조립유닛이 근접 이간 가능한 상태로 조합된 것이므로, 상호 위치관계를, 작업하기 쉬운 위치관계로 자유롭게 설정하고, 변경할 수 있어, 도포헤드의 조립이나 분해, 액체도포장치와의 사이의 착탈 등, 일련의 작업의 작업성이 향상한다. 또한, 반송유닛이 바닥면 상을 이동 가능하므로, 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치의 위치로 반송하는 것이 아니라, 반송유닛을 도포헤드편의 위치까지 이동시켜, 상기 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치로 반입할 수 있다. 이처럼, 조립부품인 도포헤드편의 이동작업을 최소한으로 억제할 수 있으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

본 발명은, 한 쌍의 도포헤드편을 서로 접촉면을 포갠 상태로 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착되어 사용되는 도포헤드의 조립방법으로서, 한쪽 도포헤드편을, 접촉면을 수평이면서도 위쪽으로 향한 상태로 하고, 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면을 아래쪽으로 향한 상태로, 한쪽 도포헤드편 상에 포개어 양 도포헤드편을 조립하고, 이에 의해 도포헤드를 조립하며, 조립된 상기 도포헤드를, 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 한 후, 그 장착방향의 상태로 액체도포장치로 반입하여 장착함을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있으며, 접촉면이 수평이면서도 위쪽으로 향해진 상태의 한쪽 도포헤드편 상에, 접촉면이 아래쪽으로 향해진 상태의 다른쪽 도포헤드편을 포갬으로써 조립하여, 도포헤드를 조립하므로, 정확, 용이하면서도 신속하게 조립작업을 행할 수 있다.

본 발명은, 한 쌍의 도포헤드편을 서로 접촉면을 포갠 상태로 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착되어 사용되는 도포헤드의 조립방법으로서, 한쪽 도포헤드편을, 크레인에 의해 매달아 올려, 접촉면을 수평이면서도 위쪽으로 향한 상태로 조립대 상에 재치하고, 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면을 아래쪽으로 향한 상태로, 크레인에 의해 매달아 올려, 조립대 상의 한쪽 도포헤드편 상에 포갬으로써 양 도포헤드편을 조립하며, 이에 의해 도포헤드를 조립하고, 조립된 상기 도포헤드를, 액체도포장치로의 장착방향으로 향한 후, 상기 장착방향의 상태로 크레인에 의해 매달아 올려, 액체도포장치로 반입하여 장착함을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있어, 도포헤드편이나 도포헤드를 크레인에 의해 매달아 올려 조립을 행할 수 있고, 액체도포장치로의 반입, 장착을 할 수 있으므로, 정확, 용이하면서도 신속하게 장착작업을 행할 수 있다. 또한, 미리, 사람 손이나 별도의 설비를 이용하여 다른쪽 도포헤드의 방향을 바꾸어 놓을 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립방법으로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 본 발명은, 도포헤드의 장착방법으로서, 조립대는, 한쪽 도포헤드편이 재치될 때의 제1포지션과, 조립대 상에서 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 하는 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있으며, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 하는 공정은, 조립대를 상기 제2포지션으로 회동시킴으로써 행해지는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있어, 조립대를 회동시킴으로써, 조립대 상에서 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 할 수 있으므로, 그 후, 이 상태의 도포헤드를 크레인으로 매달아 올려 액체도포장치로 반입함으로써, 정확, 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 수 있다.

또한, 본 발명은, 도포헤드의 장착방법으로서, 장착방향은, 도포헤드의 액체 토출구가 아래쪽에 위치하고, 또, 서로 포개진 접촉면이 수직을 이루는 방향인 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있으며, 도포헤드는, 액체 토출구가 아래쪽에 위치하고, 또, 서로 포개진 접촉면이 수직을 이루는 방향으로 향하는바, 이 방향은, 아래쪽을 향해 액체를 토출하는 액체도포장치의 도포헤드의 방향이다. 따라서 이러한 액체도포장치에 도포헤드를 장착하는 경우, 상기 방향으로 향해진 도포헤드를, 그 방향 그대로, 크레인으로 매달아 올려, 정확, 용이하면서도 신속하게 액체도포장치로 반입하여 장착할 수 있다.

또한, 본 발명은, 도포헤드의 장착방법으로서, 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면을 아래쪽으로 향한 상태로 크레인에 의해 매달아 올리는 공정은, 다른쪽 도포헤드편의 양단에 착탈 가능하게 장착 가능한 회전브라켓과, 상기 회전브라켓을 회전 가능한 상태로 지지 가능한 지지블록을 사용하는 공정이며, 접촉면을 수평이면서도 위쪽으로 향하게 한 상태로 재치대 상에 재치된 다른쪽 도포헤드편의 양단에 회전브라켓을 장착하여, 상기 다른쪽 도포헤드편을 크레인에 의해 매달아 올린 후, 재치대의 양단위치에 지지블록을 설치하고, 다른쪽 도포헤드편을 내려, 상기 다른쪽 도포헤드편의 양단에 장착된 회전브라켓을 지지블록으로 지지하고, 그 후, 다른쪽 도포헤드편을, 회전시켜 그 접촉면을 아래쪽으로 향하게 하여, 크레인에 의해 매달아 올림으로써 행해지는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명은, 상기와 같이 구성되어 있으며, 다른쪽 도포헤드편의 양단에 장착된 회전브라켓을 지지블록으로 지지시킴으로써, 다른쪽 도포헤드편을 회전시킬 수 있도록 구성되어 있으므로, 용이하면서도 신속하게 다른쪽 도포헤드편의 접촉면을 아래쪽으로 향하게 하여, 크레인에 의해 매달아 올릴 수 있다.

상기와 같이, 본원 발명의 도포헤드의 조립장치에 따르면, 조립대는 제1포지션과 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있으므로, 한쪽 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치로 반입할 때는, 조립대를 제1포지션으로 회동시켜 놓음으로써, 한쪽 도포헤드편을 조립대 상에 적절한 상태로 재치시킬 수 있고, 조립대 상에서 도포헤드를 조립한 후, 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 때는, 조립대를 제2포지션으로 회동시킴으로써, 도포헤드를 액체도포장치로의 장착에 적합한 방향으로 향하게 할 수 있다. 이렇게, 본 발명에 의하면, 도포헤드의 조립 완료 후, 조립대를 제1포지션으로부터 제2포지션으로 회동시킴으로써, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착에 적합한 상태로 할 수 있어, 정확, 용이하면서도 신속하게, 조립된 도포헤드를 반출에 적합한 상태로 하여 액체도포장치에 장착할 수 있다. 또한, 본 발명의 도포헤드의 조립장치에 따르면, 도포헤드의 조립이나 분해, 액체도포장치로의 장착?탈착을, 별도의 설비를 사용함이 없이, 본 발명의 도포헤드의 조립장치만으로 행할 수 있다. 다시 말해, 도포헤드의 조립에서부터 액체도포장치와의 사이의 반입출까지의 일련의 작업을, 본 발명의 도포헤드의 조립장치만으로 행할 수 있으므로, 극히 효율적으로 일련의 작업을 행할 수 있다.

그리고 조립된 도포헤드를 액체도포장치로 반입하는 작업은, 크레인으로 매달아 올려 이동시키는 작업이나 조립대를 회동시키는 작업뿐이며, 도포헤드를 사람 손으로 들거나 별도의 장치를 사용하여 이동시키거나 할 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 조립대를 제2포지션으로 회동시키면, 조립대에 재치된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 할 수 있으므로, 그 후, 이 상태의 도포헤드를 크레인으로 매달아 올려 액체도포장치로 반입함으로써, 정확, 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 수 있다.

또한, 재치대 상에 다른쪽 도포헤드편을 재치한 후, 상기 다른쪽 도포헤드편을 용이하게 회전시킬 수 있으므로, 용이하면서도 신속하게 다른쪽 도포헤드편의 방향을 한쪽 도포헤드편으로의 조립에 적합한 방향으로 바꿀 수 있다. 따라서 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 조립하여 액체도포장치에 장착할 수 있다.

또한, 재치대에 재치하기 전에, 미리, 사람 손이나 별도의 설비를 사용하여 다른쪽 도포헤드의 방향을 바꾸어 놓을 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 크레인이 설치된 반송유닛과, 재치대 및 조립대가 설치된 조립유닛이 근접 이간 가능한 상태로 조합된 것이므로, 상호 위치관계를, 작업하기 쉬운 위치관계로 자유롭게 설정하고, 변경할 수 있어, 도포헤드의 조립이나 분해, 액체도포장치와의 사이의 착탈 등, 일련의 작업의 작업성이 향상한다. 또한, 반송유닛이 바닥면 상을 이동 가능하므로, 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치의 위치로 반송하는 것이 아니라, 반송유닛을 도포헤드편의 위치까지 이동시켜, 상기 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치로 반입할 수 있다. 이처럼, 조립부품인 도포헤드편의 이동작업을 최소한으로 억제할 수 있으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 상기와 같이, 본원 발명의 도포헤드의 장착방법에 따르면, 접촉면이 수평이면서도 위쪽으로 향해진 상태의 한쪽 도포헤드편 상에, 접촉면이 아래쪽으로 향해진 상태의 다른쪽 도포헤드편을 포갬으로써 조립하여, 도포헤드를 조립하므로, 정확, 용이하면서도 신속하게 조립작업을 행할 수 있다.

그리고 도포헤드편이나 도포헤드를 크레인에 의해 매달아 올려 조립을 행할 수 있고, 액체도포장치로의 반입, 장착을 할 수 있으므로, 정확, 용이하면서도 신속하게 장착작업을 행할 수 있다.

또한, 미리, 사람 손이나 별도의 설비를 이용하여 다른쪽 도포헤드의 방향을 바꾸어 놓을 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립방법으로서 적합하다고 할 수 있다.

삭제

또한, 조립대를 회동시킴으로써, 조립대 상에서 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 할 수 있으므로, 그 후, 이 상태의 도포헤드를 크레인으로 매달아 올려 액체도포장치로 반입함으로써, 정확, 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 수 있다.

또한, 도포헤드는, 액체 토출구가 아래쪽에 위치하고, 또, 서로 포개진 접촉면이 수직을 이루는 방향으로 향하게 되는바, 이 방향은, 아래쪽으로 향해 액체를 토출하는 액체도포장치의 도포헤드의 방향이다. 따라서 이러한 액체도포장치에 도포헤드를 장착하는 경우, 상기 방향으로 향해진 도포헤드를, 그 방향 그대로, 크레인으로 매달아 올려, 정확, 용이하면서도 신속하게 액체도포장치로 반입하여 장착할 수 있다.

또한, 다른쪽 도포헤드편의 양단에 설치된 회전브라켓을 지지블록으로 지지시킴으로써, 다른쪽 도포헤드편을 회전시킬 수 있도록 구성되어 있으므로, 용이하면서도 신속하게 다른쪽 도포헤드편의 접촉면을 아래쪽으로 향하게 하여, 크레인에 의해 매달아 올릴 수 있다.

한 쌍의 도포헤드편을 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착된 상태로 도포대상물에 도포하는 액체를 토출하는 도포헤드의 조립장치로서, 도포헤드 또는 도포헤드편의 매달아 올리기 이동에 사용되는 크레인과, 한쪽 도포헤드편 또는 도포헤드가 재치되는 조립대와, 다른쪽 도포헤드편이 재치되는 재치대를 구비하고 있으며, 조립대는, 한쪽 도포헤드편이 재치될 때의 제1포지션과, 조립대 상에서 조립된 도포헤드를 액체도포장치에 대해 반입출할 때의 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있고, 재치대에 재치된 다른쪽 도포헤드편을, 크레인에 의해 매달아 올려, 제1포지션의 조립대에 재치된 한쪽 도포헤드편 상에 포갬으로써, 도포헤드를 조립할 수 있음과 아울러, 제2포지션으로 회동된 상태의 조립대에 재치된 도포헤드를 크레인에 의해 매달아 올려 액체도포장치로 반입하여 장착할 수 있는 것으로 한다.

또한, 조립대의 제2포지션은, 상기 조립대에 재치된 도포헤드를, 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 하는 포지션이며, 조립된 도포헤드가 재치된 조립대를 상기 제2포지션으로 회동시킴으로써, 상기 조립대에 재치된 도포헤드를 장착방향으로 향하게 할 수 있고, 상기 장착방향으로 향해진 상태의 도포헤드를 크레인에 의해 매달아 올려 액체도포장치로 반입하여 장착할 수 있는 것으로 한다.

또한, 재치대는, 그 양단위치에 착탈 가능하게 설치되는 지지블록과, 상기 지지블록의 상면에 설치된 베어링부에 의해 회전 가능한 상태로 지지 가능한 회전축부를 가지는 회전브라켓을 구비하고 있으며, 상기 회전브라켓은, 다른쪽 도포헤드편의 양단에 착탈 가능하게 장착 가능하며, 재치대에 재치된 다른쪽 도포헤드편의 양단에 회전브라켓을 장착하여 상기 회전브라켓을 크레인으로 매달아 올림으로써 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올릴 수 있고, 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올린 상태로 재치대의 양단위치에 설치한 지지블록의 베어링부에 의해 다른쪽 도포헤드편의 양단에 장착된 회전브라켓의 회전축부를 회전 가능한 상태로 지지할 수 있음과 아울러, 다른쪽 도포헤드편을 회전시킴으로써, 상기 다른쪽 도포헤드편의 방향을, 조립대에 재치된 한쪽 도포헤드편으로의 조립방향으로 향하게 할 수 있고, 상기 방향으로 회전된 다른쪽 도포헤드편을, 크레인에 의해 매달아 올려, 제1포지션으로 회동된 조립대 상의 상기 한쪽 도포헤드편 상에 포갬으로써 도포헤드를 조립할 수 있는 것으로 한다.

또한, 크레인이 설치된 반송유닛과, 재치대 및 조립대가 설치된 조립유닛을 구비하고, 반송유닛과 조립유닛은, 서로 근접 이간 가능한 상태로 조합되어 있으며, 반송유닛과 조립유닛 중, 적어도 상기 반송유닛은, 바닥면 상의 이동을 가능하게 하는 이동수단을 구비하고 있는 것으로 한다.

또한, 한 쌍의 도포헤드편을 서로 접촉면을 포갠 상태로 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착되어 사용되는 도포헤드의 조립방법으로서, 한쪽 도포헤드편을, 접촉면을 수평이면서도 위쪽으로 향하게 한 상태로 하고, 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면을 아래쪽으로 향하게 한 상태로, 한쪽 도포헤드편 상에 포개어 양 도포헤드편을 조립하며, 이에 의해 도포헤드를 조립하고, 조립된 상기 도포헤드를, 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 한 후, 상기 장착방향의 상태로 액체도포장치로 반입하여 장착하는 것으로 한다.

또한, 한 쌍의 도포헤드편을 서로 접촉면을 포갠 상태로 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착되어 사용되는 도포헤드의 조립방법으로서, 한쪽 도포헤드편을, 크레인에 의해 매달아 올려, 접촉면을 수평이면서도 위쪽으로 향하게 한 상태로 조립대 상에 재치하고, 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면을 아래쪽으로 향하게 한 상태로, 크레인에 의해 매달아 올려, 조립대 상의 한쪽 도포헤드편 상에 포갬으로써 양 도포헤드편을 조립하며, 이에 의해 도포헤드를 조립하고, 조립된 상기 도포헤드를, 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 한 후, 상기 장착방향의 상태로 크레인에 의해 매달아 올려, 액체도포장치로 반입하여 장착하는 것으로 한다.

그리고 조립대는, 한쪽 도포헤드편이 재치될 때의 제1포지션과, 조립대 상에서 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 하는 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있으며, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착방향으로 향하게 하는 공정은, 조립대를 상기 제2포지션으로 회동시킴으로써 행해지는 것으로 한다.

또한, 장착방향은, 도포헤드의 액체 토출구가 아래쪽에 위치하고, 또, 서로 포개진 접촉면이 수직을 이루는 방향인 것으로 한다.

또한, 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면을 아래쪽으로 향하게 된 상태로 크레인에 의해 매달아 올리는 공정은, 다른쪽 도포헤드편의 양단에 착탈 가능하게 장착 가능한 회전브라켓과, 상기 회전브라켓을 회전 가능한 상태로 지지 가능한 지지블록을 이용하는 공정이며, 접촉면을 수평이면서도 위쪽으로 향하게 한 상태로 재치대 상에 재치된 다른쪽 도포헤드편의 양단에 회전브라켓을 장착하여, 상기 다른쪽 도포헤드편을 크레인에 의해 매달아 올린 후, 재치대의 양단위치에 지지블록을 설치하고, 다른쪽 도포헤드편을 내려, 상기 다른쪽 도포헤드편의 양단에 장착된 회전브라켓을 지지블록으로 지지하고, 그 후, 다른쪽 도포헤드편을, 회전시켜 그 접촉면을 아래쪽으로 향하게 하여, 크레인에 의해 매달아 올림으로써 행해지는 것으로 한다.

(실시예)

이하, 본원 발명에 의한 도포헤드의 조립장치 및 장착방법의 적합한 실시예를, 도면을 이용하여 상세하게 설명한다. 그리고 상기 설명 전에, 먼저, 조립대상인 도포헤드 및 상기 도포헤드가 장착되는 액체도포장치에 대해 간단히 설명한다.

액체도포장치는, 반도체기판이나 액정기판 등의 도포대상물의 표면에 균일한 막두께로 레지스트나 크롬 도포액 등의 액체를 도포하기 위해 사용된다.

도 28에 나타내는 바와 같이, 액체도포장치(101)는, 기대(基臺)(102)와, 기대(102) 상의 중앙부에 설치된 테이블(103)을 구비하고 있으며, 상기 테이블(103)의 상면에 도포대상물인 기판(104)이 재치된다. 기대(102)의 양측 테두리에는, 직각으로 기립한 측벽(側壁)(102a, 102b)이 각각 형성되어 있으며, 이들 측벽(102a, 102b)의 상면에 레일(105a, 105b)이 부설되어 있다. 그리고 레일(105a, 105b) 상에는, 도포기구부(塗布機構部)(110)가 주행 가능한 상태로 설치되어 있으며, 도포기구부(110)에, 하단에 노즐부를 구비하는 도포헤드(120)가 승강 가능하게 구비되어 있다. 따라서 도포기구부(110)를 주행시키면서, 도포헤드(120)의 하단 노즐부로부터 도포액을 토출시키면, 토출된 도포액이, 기판(104) 표면의 도포 시단부(始端部)로부터 종단부(終端部)에 이르기까지, 빈틈없이 균일한 막두께로 도포되도록 구성되어 있다.

도포헤드(120)는, 액체도포장치(101)에 대해 착탈 가능하며, 도 29에 나타내는 바와 같이, 분할된 2개의 도포헤드편(121, 122)과, 양 도포헤드편(121, 122) 사이에 끼워진 상태로 끼워 넣어지는 시임(123)으로 구성되는 것이다. 2개의 도포헤드편(121, 122)은, 각각 가늘고 긴 직방체 형상의 금속(스테인리스)제 블록으로 구성되며, 서로 포개지는 접촉면(121b, 122b)(도 27, 도 29 참조)의 하단부에, 예각(銳角) 형상으로 돌출하는 이끝부(齒先部)(121a, 122a)가 형성되어 있다.

시임(123)은, ㄷ자 모양으로 펀칭한 얇은 판으로 구성되는 것으로서, 그 ㄷ자의 오목부(123a)는, 2개의 도포헤드편(121, 122) 사이에 시임(123)이 끼워 붙여졌을 때, 이들 2개의 도포헤드편(121, 122)의 이끝부(121a, 122a) 사이에 슬릿 형상의 토출구를 형성한다. 다시 말해, 토출구의 슬릿 폭은, 시임(123)의 두께에 의해 결정된다. 토출구의 길이는,오목부(123a)의 길이에 의해 결정된다. 토출구의 길이는, 기판(104) 상에서의 도포액의 도포 폭(기판(104)의 폭방향에서의 도포 길이)에 대응하고 있다.

제1도포헤드편(121)의 상부에는, 그 길이방향(도포헤드(120)의 폭방향)의 중앙부에, 도포액을 주입하기 위한 액주입구(液注入口)(124)가 형성되고, 그 길이방향의 양단부 근처에, 공기빼기구멍(131a)이 각각 형성되어 있다. 또한, 마찬가지로 제1도포헤드편(121)의 중간부에는, 액주입구(124)로부터 주입된 액체를 폭방향으로 확산시키기 위한 공동부(空洞部)(126)가 형성되어 있다. 이 공동부(126)는, 제2도포헤드편(122)에 대향하는 쪽의 측면(접촉면(121b))에서 개구되어 있다. 그리고 이들 액주입구(124), 공기빼기구멍(131)과 공동부(126)를 연통시키기 위한 3개의 통공(通孔)(125)이 형성되어 있다. 공동부(126)는, 토출구에 연통되어 있으며, 공동부(126) 내의 액체는, 토출구에 의해 일정한 두께로 되어, 토출구의 아래쪽의 선단 개구부로부터 토출된다. 이 토출구의 선단개구부(先端開口部)는, 도포헤드(120)의 하단노즐부의 노즐 구멍을 형성한다.

그리고, 도 28에 나타내는 바와 같이, 액체도포장치(101)는, 도포헤드(120)의 메인터넌스기구(140)를 구비하고 있다. 메인터넌스기구(140)는, 기대(102) 상의 테이블(103)에서 전방측(도 28에서의 왼쪽 아래측)에 설치되어 있으며, 메인터넌스기구의 가로방향으로 인출 가능한 슬라이드 가동부(148)를 구비하고 있다.

작업자는, 액체도포장치(101)에 도포헤드(120)를 설치하는 경우, 우선, 슬라이드기구(140)의 슬라이드 가동부(148)를, 도 28에서 2점쇄선으로 나타내는 것처럼 가로방향으로 인출하고, 이 상태에서, 슬라이드 가동부(148) 상에 도포헤드(120)를 재치하여(도 28의 화살표 B 참조), 슬라이드 가동부(148)를 원위치로 되돌린다. 이에 의해, 도포헤드(120)가 슬라이드기구(140) 상에 반입된다. 그 후, 도포기구부(110)를 슬라이드기구(140)의 위치로 주행시켜, 반입된 도포헤드(120)의 바로 위에 도포기구부(110)를 위치시키고, 이 상태에서, 도포기구부(110)에 도포헤드(120)를 장착한다. 또한, 장착되어 있던 도포헤드(120)를 탈착하는 경우는, 탈착한 도포헤드(120)를 슬라이드기구(140) 상에 재치한 후, 여기서 설명한 순서와 반대 순서를 따름으로써, 간단히 도포헤드(120)를 액체도포장치(101) 밖으로 반출할 수 있다.

다음으로, 도포헤드의 조립장치에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1의 모식도에 나타내는 바와 같이, 도포헤드의 조립장치(1)는, 후술하는 크레인(20)이 설치된 반송유닛(2)과, 후술하는 재치대(54) 및 조립대(70)가 설치된 조립유닛(3)을 구비하고 있다.

도 2 내지 도 5에 나타내는 바와 같이, 이들 중, 반송유닛(2)은, 바닥면에 접지된 다리부(10)와, 다리부(10) 상에 설치된 크레인(20)을 구비하고 있으며, 반송유닛(2)의 다리부(10)는, 사각형의 다리부 프레임(11)과, 다리부 프레임(11)의 아래쪽에 장착된 복수의 캐스터(12)를 구비하고 있다(도 3 참조). 그리고 다리부 프레임(11)의 위쪽에 크레인(20)의 하부가 고정되어 있다.

또한, 반송유닛(2)은, 측면에서 보았을 때 ㄷ자 모양으로 구성되어 있으며(도 4 참조), 다리부(10) 위쪽에는, 다리부(10)와 후술하는 승강체(24) 사이의 공간(S1)(도 4 참조)이 형성되어 있다. 그리고 후술하는 바와 같이, 이 다리부(10) 위쪽의 공간(S1)부분에 조립유닛(3)을 위치시킴으로써, 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 조합하여 배치할 수 있도록 구성되어 있다(도 15 참조). 또한, 이동수단인 캐스터(12)는, 각(各) 다리부 프레임(11)의 하단부의 위치에, 모두 합해서 4개가 장착되어 있다. 이러한 캐스터(12)가 구비되어 있으므로, 반송유닛(2)은 바닥면 상을 자유롭게 이동할 수 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 크레인(20)은, 다리부(10)로부터 위쪽을 향해 수직으로 뻗은 크레인 본체(22)와, 크레인 본체(22)에 대해 승강 가능하게 장착되어 있는 승강체(24)와, 승강체(24) 상에 수평이동 가능한 상태로 설치되어 있는 슬라이드 바(26)와, 슬라이드 바(26)의 양단부로부터 아래로 늘어뜨리는 한 쌍의 와이어(28)와, 슬라이드 바(26)의 중앙 부근의 위치에 장착되는 한 쌍의 매달기 수단(29)(도 3 참조)을 구비하고 있다.

크레인 본체(22)는, 조립유닛(3)보다 높이가 높게 구성되어 있다. 그리고 크레인 본체(22)에는, 승강체(24)를 승강 가능하게 지지하는 아암 승강기구(30)(도 5 참조)가 설치되어 있다. 아암 승강기구(30)는, 크레인 본체(22)의 양측부에 설치된 한 쌍의 승강가이드(32)와, 승강체(24)를 매달아 지지하는 체인(34)과, 크레인 본체(22)의 상단위치에 장착되어, 체인(34)이 감겨 걸리는 지지 스프로킷(36)과, 체인(34)의 권취부(38)와, 권취부(38)를 회전시키기 위한 크레인 핸들(40)을 구비하고 있다. 이들 중, 승강가이드(32)는, 승강체(24)의 승강 이동을 가이드하는 것이다. 또한, 권취부(38)는, 크레인 본체(22)에 장착되어 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 승강체(24)는, 크레인 본체(22)에 설치된 승강가이드(32)에 의해 승강 이동 가능한 상태로 결합된 승강부(24a)와, 승강부(24a)의 상단부에서 전방(도 4에서 왼쪽)을 향해 수평으로 뻗은 한 쌍의 승강아암부(24b)를 구비하고 있다. 이렇게, 승강아암부(24b)는, 크레인 본체(22)에 대해 승강 가능하게 장착된 승강부(24a)에 의해 외팔보로 지지되어 있다. 그리고 승강아암부(24b)는, 다리부 프레임(11)의 길이방향(D1)(도 1 참조)과 평행하게 뻗어 있으며, 승강아암부(24b)의 길이는, 후술하는 조립유닛(3)의 폭 치수(W1)(도 9 참조)보다 길게 되어 있다. 따라서 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 조합하여 배치했을 때(도 15 참조), 슬라이드 바(26)로부터 아래로 매달린 매달기 와이어(28)나 매달기 수단(29)을, 조립유닛(3)의 임의 위치의 위쪽에 위치시킬 수 있다. 또한, 부호 「24c」은, 승강부(24a)와 승강아암부(24b)의 고정상태를 보강하기 위한 보강체를 나타내고 있으며, 부호 「24d」는, 승강아암부(24b) 위에 설치된 레일을 나타내고 있다.

슬라이드 바(26)는, 각(各) 승강아암부(24b)의 레일(24d) 상에 슬라이드 가능한 상태로 설치된 각 슬라이더(26a)와, 슬라이더(26a) 상에 승강아암부(24b)에 대해 교차하는 방향으로 뻗은 슬라이드 바 본체(26b)와, 슬라이드 바(26b)에 연장 바(26c)를 통해 장착된 레버(26d)를 구비하고 있다. 슬라이더(26a)는, 승강체(24)에 대해 진퇴방향(D1)(도 4 참조)으로 슬라이드 가능하게 구성되어 있다. 그리고 레버(26d)를 직접 파지하여 진퇴방향(D1)으로 당긴다거나 민다거나 하면, 슬라이더(26a)가 승강체(24)의 레일(24d) 상을 진퇴방향(D1)으로 슬라이딩하여, 슬라이드 바(26) 전체가 진퇴방향(D1)으로 이동한다. 이렇게, 슬라이드 바(26)는, 레버(26d)에 의해 슬라이딩시킬 수 있고, 이에 의해, 슬라이드 바(26)로부터 아래로 매달린 와이어(28)의 위치를 바꿀 수 있도록 구성되어 있다.

슬라이드 바 본체(26b)는, 승강아암부(24b)에 대해 직교하고 있으며(도 2 참조), 수평방향으로 뻗어 있다. 그리고 슬라이드 바 본체(26b)의 양단부에, 각각, 와이어(28)가 장착되어 있고, 슬라이드 바 본체(26b)의 중앙 부근의 도중의 위치에 한 쌍의 매달기 수단(29)이 장착되어 있다. 다시 말해서, 와이어(28) 및 매달기 수단(29)은, 슬라이드 바(26)에, 각각 2개씩 장착되어 있다.

양 와이어(28)는, 모두, 그 아래쪽으로 뻗은 선단부에, 훅(28a)(도 6 참조)을 구비하고 있다. 훅(28a)은 탈락방지용 갈고리를 구비하고 있으며, 이에 의해, 훅(28a)에 걸린 브라켓 등의 부재의 탈락을 방지할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 양 와이어는, 같은 길이이며, 주로, 도 29에 나타낸 도포헤드편(121)(또는 122)의 매달기에 사용되는 것이다(도 7 참조). 따라서 양 와이어(28)를 이용하여 도포헤드편(121)(또는 122)을 매달았을 때, 도포헤드편(121)(또는 122)을 수평으로 유지하면서 아래로 매달아 지지할 수 있다.

매달기 수단(29)(도 3 참조)은, 조립된 도포헤드(120)를 매달 때에 사용된다(도 8 참조). 후술하는 바와 같이, 도포헤드(120)를 액체도포장치(101)로 반입할 때에는, 도포헤드(120)에 매달기 블록(49b)이 장착된다. 이 매달기 블록(49b)에 매달기 수단(29)을 걸어, 크레인(20)을 이용하여 도포헤드(120)를 매달아 올릴 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 매달기 기구(29)의 구조는, 훅(28a)과 마찬가지이므로, 상세한 설명에 대해서는 생략한다.

이러한 구성의 반송유닛(2)에서는, 아암 승강기구(30)의 크레인 핸들(40)을 정회전(본 실시예에서는 도 5에서 우회전)시키면, 체인(34)이 권취부(38)에서 권취되어 승강체(24)가 상승한다. 또한, 크레인 핸들(40)을 역회전(본 실시예에서는 도 5에서 좌회전)시키면, 체인(34)이 권취부(38)로부터 풀려 나와, 승강체(24)가 하강한다.

도 9 내지 도 11에 나타내는 바와 같이, 조립유닛(3)은, 바닥면에 접지된 다리부(50)(도 10 참조)와, 다리부(50) 상에 설치된 조립유닛 본체(52)와, 조립유닛 본체(52) 상에 설치된 재치대(54) 및 조립대(70)(도 9 참조)와, 조립대(70)를 회동시키기 위한 회동기구(60)를 구비하고 있다. 또, 조립유닛(3)은, 상기 조립유닛(3)에 착탈 가능하게 장착 가능한 후술할 V블록(46)(도 13 참조)이나, 도포헤드편(121, 122)이나 도포헤드(120)에 착탈 가능하게 장착하여 사용되는 브라켓(42, 44, 49a，49b)(도 8, 도 13 참조) 종류를 구비하고 있다.

조립유닛(3)(도 10 참조)의 다리부(50)는, 조립유닛을 지지하는 4개의 다리부재(50a)와, 각 다리부재(50a)의 하부에 장착된 캐스터(50b)를 구비하고 있다. 조립유닛(3)의 다리부(50)의 높이는, 반송유닛(2)의 다리부(10)의 높이보다 높게 되어 있어, 조립유닛(3)의 다리부(50) 상에 위치하는 반송유닛 본체(52)의 아래쪽 간극(S2)에, 반송유닛(2)의 다리부(10)를 끼워넣을 수 있도록 구성되어 있다. 다시 말해, 조립유닛 본체(52) 아래쪽의, 4개의 다리부재(50a) 사이에 형성된 간극(S2)에, 반송유닛(2)의 다리부(10)를 끼워 넣음으로써, 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 조합하여 배치할 수 있도록 구성되어 있다(도 15 참조). 달리 말하면, 반송유닛(2)의 다리부(10)의 위쪽 공간(S1)(도 4 참조)에 조립유닛 본체(52)를 위치시켜, 조립유닛(3)에 의해 반송유닛(2)의 다리부(10)를 걸칠 수 있도록 구성되어 있으며, 이러한 상태로 함으로써 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 조합하여 배치할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고 캐스터(50b)는, 각 다리부재(50a)의 하단부에, 모두 합해 4개가 장착되어 있다. 이러한 캐스터(50b)가 구비되어 있으므로, 조립유닛(3)을 바닥면 상에서 자유롭게 이동시킬 수 있다.

또한, 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 조합하여 배치시킨 상태로(도 15 참조), 반송유닛(2)을 조립유닛(3) 측으로 향하게 하여 이동시키면, 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 접촉시킬 수 있고, 접촉시킨 상태로 양 유닛(2, 3)을 일체적으로 이동시킬 수 있다. 반대로, 조립유닛(3)을 반송유닛(2) 측으로 향하게 하여 이동시킨 경우도, 마찬가지로 반송유닛(2)과 조립유닛(3)을 접촉시킬 수 있고, 접촉시킨 상태로 양 유닛(2, 3)을 일체적으로 이동시킬 수 있다. 이렇게, 양 유닛(2, 3)은 간단히 일체적으로 이동시킬 수 있다.
재치대(54) 및 조립대(70)는, 조립유닛(3) 상에 배치되어 있다. 재치대(54) 및 조립대(70)는, 모두, 도포헤드(120)나 도포헤드편(121, 122) 등의 가늘고 긴 부재가 재치되는 대(臺)로서, 조립유닛 본체(52)의 길이방향을 따라 도포헤드(120)나 도포헤드편(121, 122)을 재치할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고 조립유닛(3)을 반송유닛(2)에 인접하게 해서 조합하여 배치하는 경우는, 재치대(54)가 크레인(20) 측에 배치되며, 조립대(70)가 크레인(20) 측과는 반대측에 위치하도록 조립유닛(3)을 배치한다(도 15 참조).

재치대(54)는, 조립유닛 본체(52)에 고정되어 있으며, 재치대(54)의 상면은 수평으로 넓어지는 평면으로 되어 있다. 그리고 재치대(54)의 상면에는 완충재(도시하지 않음)가 붙어 있다. 따라서 재치대(54) 상에 도포헤드편 등의 재치물을 재치했을 때에 재치물에 상처가 나는 것을 방지할 수 있다. 완충재로서는, 예를 들면, 우레탄제의 스펀지 등을 들 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 본 실시예에서는, 재치대(54)는, 도포헤드(120)를 구성하는 부품 중, 나중에 반입되는 제1도포헤드편(121)의 재치장소로서 사용된다. 또한, 재치대(54)는, 본 실시예에서는, 재치된 제1도포헤드편(121)을 2개소에서 지지할 수 있도록, 간격을 두고 2개소에 분할 배치되어 있는 것이지만, 3개소 이상에 설치해도 좋고, 또한 하나로 이어져 있는 일체의 것이라도 좋다.

조립대(70)(도 9 참조)를 회동시키기 위한 회동기구(60)는, 조립유닛 본체(52)에 설치된 베어링(61)을 통해 회전 가능하게 지지되는 샤프트(62)와, 조립유닛 본체(52) 상에 설치되어 있으며, 샤프트(62)에 출력축(63) 측에서 연결된 감속기(64)와, 감속기(64)의 입력축(65)(도 9 참조)에 장착된 회동 핸들(66)을 구비하고 있다. 따라서 회동 핸들(66)을 돌리면, 소정의 감속비로 감속된 회전수로 샤프트(62)가 회전한다.

조립대(70)는, 홀더(72)를 통해 샤프트(62)에 일체로 고정되어 있다. 따라서 샤프트(62)가 회전하면, 조립대(70)도 일체적으로 회동한다.

조립대(70)는, 보다 상세하게 설명하면, 제2도포헤드편(122)의 반입출시에, 이를 싣는 대로서 사용되는 조립 대좌(臺座)(74)(도 12 참조)와, 도포헤드(120)의 장착 장소인 액체도포장치(101)와의 사이에서 도포헤드(120)를 반입출할 때에, 이를 싣는 대로서 사용되는 반입출 대좌(76)를 구비하고 있다.

조립 대좌(74)는, 재치물이 재치되는 재치면(도 12(a)의 상태에서는 상면)(74a)은 평면으로 되어 있다. 그리고 재치면(74a)에는 완충재(도시하지 않음)가 붙어 있다. 따라서 조립 대좌(74) 상에 제2도포헤드편(122) 등의 재치물을 재치했을 때, 재치물에 상처가 생기는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 조립 대좌(74)는, 후술하는 바와 같이, 양 도포헤드편(121, 122) 중, 먼저 반입되는 제2도포헤드편(122)의 재치장소로서 사용된다. 또한, 조립 대좌(74)는, 본 실시예에서는, 재치된 제2도포헤드편(122)을 2개소에서 지지할 수 있도록, 간격을 두고 2개소에 분할 배치되어 있는 것이지만, 3개소 이상에 설치해도 좋고, 또한 하나로 이어져 있는 일체의 것이라도 좋다.

반입출 대좌(76)는, 도 9나 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 조립 대좌(74)의 샤프트(62) 측의 단부에 배치되어 있는 것이며, 샤프트(62)에 일체로 고정되어 있다. 그리고 반입출 대좌(76)의 표면(조립 대좌(74) 측으로 향한 면)(76a)은 평면이며, 반입출 대좌(76)의 상기 표면(76a)과 조립 대좌(74)의 재치면(74a) 사이가 이루는 각도는 직각이다. 다시 말해, 조립 대좌(74)와 반입출 대좌(76)는 서로 직각을 이루는 상태로 배치되어 있다.

조립대(70)는, 도 9 내지 도 11 및 도 12(a)에 나타내는 포지션인 제1포지션과, 도 12(b)에 나타내는 포지션인 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있다. 제1포지션에서는, 조립 대좌(74)의 재치면은 수평이며, 반입출 대좌(76)의 재치면은 수직이다. 이 제1포지션은, 제2도포헤드편(122)을 조립대(70)의 조립 대좌(74)에 재치할 때의 포지션이다. 한편, 제2포지션에서는, 반입출 대좌(76)의 재치면이 수평이고, 조립 대좌(74)의 재치면이 수직이다. 이 제2포지션은, 조립 후의 도포헤드(120)를 장착 장소인 액체도포장치(101)와의 사이에서 반입출할 때의 포지션이다.

그리고 회동기구(60)의 회동 핸들(66)을 한도까지 정회전(도 10에서 우회전)시키면, 조립대(70)가 회동하여, 조립 대좌(74)가 도시하지 않는 위치결정 블록에 맞닿아, 조립대(70)가 제1포지션으로 이동함과 아울러 상기 포지션에 위치결정된다. 또한, 회동 핸들(66)을 한도까지 역회전(도 10에서 좌회전)시키면, 조립대(70)가 반대방향으로 회동하여, 반입출 대좌(76)가 도시하지 않은 다른 위치결정 블록에 맞닿아, 조립대(70)가 제2포지션으로 이동함과 아울러 상기 포지션에 위치결정된다.

도 13에 나타내는 바와 같이, 매달기용 브라켓(42)은, 도포헤드편(121, 122)의 양단부에 장착되어 사용되는 것으로서, 도포헤드편(121, 122)으로의 장착에 사용되는 걸림구멍(42a)과, 와이어(28)의 훅(28a)에 걸리는 결합구멍(42b)을 구비하고 있다. 따라서 이 매달기용 브라켓(42)을 도포헤드편(121, 122)에 장착하는 경우는, 걸림구멍(42a)에 볼트(도시하지 않음)를 통과시켜 체결에 의해 장착할 수 있다. 또한, 매달기용 브라켓(42)은, 도포헤드편(121, 122)의 양단에 장착하여 이용되는 것이므로, 2개가 1세트로 사용된다. 또한, 도 13에서는, 위쪽으로 향해진 도포헤드편(121, 122)의 접촉면(121b, 122b) 상태의 도시를 생략했다.

회전브라켓(44)은, 도포헤드편(121, 122)의 양단부에 장착되어 사용되는 것으로서, 도포헤드편(121, 122)으로의 장착에 사용되는 걸림구멍(44a)과, 걸림구멍(44a)을 사이에 두고 양측에 형성되어 있는 결합구멍(44b)과, 브라켓의 바깥쪽으로 돌출된 축부(44c)를 구비하고 있다. 따라서 매달기용 브라켓(42)과 마찬가지로, 걸림구멍(42a)에 볼트(도시하지 않음)를 통과시켜 체결에 의해 도포헤드편(121, l22)에 장착할 수 있는 것이며, 2개가 1세트로 사용되는 것이다. 또한, 결합구멍(44b)은, 와이어(28)의 훅(28a)에 걸기 위한 것이며, 축부(44c)는, 다음에 설명하는 V블록(46)의 V홈(46a)에 의해 회전 가능한 상태로 지지할 수 있도록 하기 위한 것이다.

V블록(46)은, 그 상면에 단면 V자 형상의 V홈(46a)을 구비하고 있다. 이 V블록(46)은, 조립유닛(3)의 조립유닛 본체(52) 상에 설치된 한 쌍의 블록 대좌(52a) 상에 착탈 가능하게 장착되는 것으로서, 2개가 1세트로 사용된다. 블록 대좌(52a)는, 재치대(54) 상에 제1도포헤드편(121)이 재치되었을 때에, 상기 제1도포헤드편(121)의 양단위치의 외측에 위치하는 위치에 배치되어 있다. 그리고 V블록(46)은, V홈(46a)이 뻗은 방향과, 제1도포헤드편(121)을 재치대(54)에 재치했을 때의 길이방향이 일치하는 상태가 되도록, 블록 대좌(52a) 상에 장착된다. 이처럼, 한 쌍의 V블록(46)은, 재치대(54)를 사이에 두는 상태로 블록 대좌(52a) 상에 장착된다. 따라서 블록 대좌(52a)에 V블록(46)을 장착한 상태에서, 재치대(54)의 위치에, 회전브라켓(44)이 양단에 장착된 제1도포헤드편(121)을 내려놓으면, V블록(46)의 V홈(46a)에 의해 회전브라켓(44)의 축부(44c)를 회전 가능한 상태로 지지할 수 있다.

다음으로, 도 14 내지 도 26을 이용하여, 상술한 바와 같은 구성의 도포헤드의 조립장치에 의해 도포헤드(120)를 조립하는 작업과, 조립한 도포헤드(120)를 액체도포장치(101)에 장착하는 작업에 대해 설명한다. 또한, 도 14 내지 도 26에서는, 도포헤드의 조립장치의 구조를 간이하게 나타내고 있으므로, 상세한 구조에 대해 설명하는 경우는, 도 2 내지 도 13을 참조하면서 설명한다.

우선, 제2도포헤드편(122)이 수용된 케이스(122c)를 승강체(24)의 바로 아래 위치로 반송하여(도 14 참조), 케이스(122c)의 덮개(122d)(도 15 참조)를 연다. 이때, 제2도포헤드편(122)의 제1도포헤드편(121)과의 접촉면(122b)이 위쪽으로, 또한 제2도포헤드편(122)의 토출구가 되는 이끝부(122a)가 반송유닛(2)의 크레인 본체(22) 측으로 향한 상태가 되도록 케이스(122c)를 배치한다. 또한, 제2도포헤드(122)가 무거운 경우는, 제2도포헤드편(122)이 수용된 케이스(122c)를 이동시키는 것이 아니라, 도포헤드의 조립장치를 그 케이스(122c)의 위치까지 이동시켜도 좋다. 이 점은, 제1도포헤드편(121)을 반입하는 경우도 마찬가지이다.

그리고 케이스(122c)에 수용된 상태의 제2도포헤드편(122)의 양단에, 매달기용 브라켓(42)(도 13(a) 참조)을 볼트 고정에 의해 장착한다. 또한, 제2도포헤드편(122)에 매달기용 브라켓 등의 브라켓을 장착하는 때는, 제2도포헤드편(122)과 브라켓 사이에, 손상 방지를 위한 도시하지 않는 패킹을 개재시키고 있다. 이 점은, 제1도포헤드편(121)에 브라켓을 장착하는 경우도 마찬가지이다.

계속해서, 반송유닛(2)의 레버(26d)를 사용하여, 슬라이드 바(26)를 승강아암부(24b)의 선단측으로 이동시킨다. 그리고 크레인 핸들(40)을 역회전시켜 권취부(38)로부터 체인(34)을 풀어내어 승강체(24)를 하강시키고, 2개의 와이어(28) 선단의 훅(28a)을 제2도포헤드편(122)의 양단에 장착한 매달기용 브라켓(42)의 결합구멍(42b)에 건다(도 14, 도 6 참조).

그리고 크레인 핸들(40)을 정회전시켜 권취부(38)로 체인(34)을 권취하여, 제2도포헤드편(122)이 조립대(70)보다 높은 위치가 될 때까지 승강체(24)를 상승시킨다. 그 후, 레버(26d)로 승강체(24)의 슬라이드 바(26)를 승강아암부(24b)의 기단(基端) 측(크레인 본체(22)측)으로 후퇴 이동시켜, 매달아 올리기 상태의 제2도포헤드편(122)을 조립대(70) 바로 위로 이동시키고, 크레인 핸들(40)을 역회전시켜, 제2도포헤드편(122)을 천천히 하강 이동시키고, 조립대(70) 상에 옮겨싣는다(도 15 참조). 그 후, 매달기용 브라켓(42)으로부터 훅(28a)을 떼어낸다. 또한, 제2도포헤드편(122)을 조립대(70) 상에 옮겨실을 때는, 옮겨싣기 전에, 미리 조립대(70)를 제1포지션(도 12(a) 참조)으로 회동시켜 놓는다. 제1포지션 상태의 조립대(70)에 제2도포헤드편(122)을 재치하면, 제2도포헤드편(122)은, 접촉면(122b)이 수평이면서도 위쪽으로 향해진 상태로 조립대(70) 상에 재치된다.

제2도포헤드편(122)의 옮겨싣기가 완료하면, 제1도포헤드편(121)이 수용된 케이스(121c)를 반송유닛(2)에 인접하는 위치로 반송하여(도 16 참조), 케이스(121c)의 덮개(121d)(도 15 참조)를 연다. 이때, 제1도포헤드편(121)의 제2도포헤드편(122)과의 접촉면(122b)이 위쪽으로, 또한 제1도포헤드편(121)의 이끝부(121a)가 반송유닛(2)의 크레인 본체(22)측과는 반대측으로 향한 상태가 되도록 케이스(121c)를 배치한다. 그리고 제1도포헤드편(121)의 양단에, 제2도포헤드편(122)의 경우와 같은 순서로, 매달기용 브라켓(42)을 볼트 고정에 의해 장착한다(도 16 참조).

계속해서, 레버(26d)로 슬라이드 바(26)를 승강체(24)의 승강아암부(24b)의 선단측으로 이동시키고, 그 후, 크레인 핸들(40)을 역회전시켜 승강체(24)를 하강시키고, 2개의 와이어(28) 선단의 훅(28a)을 제1도포헤드편(121)의 양단에 장착한 매달기용 브라켓(42)의 결합구멍(42b)에 건다. 그리고 크레인 핸들(40)을 정회전시켜, 제1도포헤드편(121)이 재치대(54)보다 높은 위치가 될 때까지 승강체(24)를 상승시킨다. 그 후, 레버(26d)로 슬라이드 바(26)를 승강아암부(24b)의 후단측으로 이동시켜, 매달아 올리기 상태의 제1도포헤드편(121)을 재치대(54) 바로 위로 이동시키고, 크레인 핸들(40)을 역회전시켜, 제1도포헤드편(121)을 천천히 하강 이동시켜, 재치대(54) 상에 옮겨싣는다(도 17 참조). 그 후, 매달기용 브라켓(42)으로부터 훅(28a)을 떼어낸다.

다음으로, 제1도포헤드편(121)의 양단의 브라켓을, 매달기용 브라켓(42)으로부터 회전용 브라켓(44)(도 13(b) 참조)으로 교환한다(도 18 참조). 또한, 제1도포헤드편(121)을 재치대(54)에 재치했을 때, 제1도포헤드편(121)의 양단부는, 재치대(54)의 단부로부터 돌출된 상태가 되어, 제1도포헤드편(121)의 양단부 주위에는 브라켓 장착의 장해가 되는 것이 없는 상태가 되므로, 제1도포헤드편(121)의 양단부에, 간단히 브라켓을 장착할 있다. 그리고 회전용 브라켓(44)이 장착된 제1도포헤드편(121)은, 양측에 위치하는 회전용 브라켓(44)의 축부(44c)를 양팔보로 지지함으로써, 회전 가능하게 지지할 수 있는 상태가 된다.

계속해서, 2개의 훅(28a)을 제1도포헤드편(121)의 양단에 장착한 회전용 브라켓(44)의 결합구멍(44b)에 건다(도 18, 도 13(b) 참조). 그리고 크레인 핸들(40)을 정회전시켜 승강체(24)를 상승시키고, 제1도포헤드편(121)을 재치대(54) 위쪽에서 공중에 매달리는 상태로 한다.

그 후, 조립유닛 본체(52) 상의 재치대(54)의 양 외측에 위치하는 블록 대좌(52) 상에, 제1도포헤드편(121)을 회전 가능하게 떠받치기 위한 V블록(46)(도 13(b) 참조)을 볼트 고정에 의해 설치한다(도 19 참조). 또한, 이때, V블록(46)의 V홈(46a)의 연신(延伸)방향이 제1도포헤드편(121)이 뻗은 방향, 즉, 조립유닛 본체(52)의 길이방향과 같은 방향이 되도록, V블록(46)을 조립유닛 본체(52)의 블록 대좌(52a) 상에 설치한다.

그리고 크레인 핸들(40)을 역회전시켜 승강체(24)를 하강시키면, 회전용 브라켓(44)의 축부(44c)가 V블록(46)의 V홈(46a)에 맞닿는 상태가 되므로, 이 상태에서, 2개의 훅(28a)을 회전용 브라켓(44)의 결합구멍(44b)으로부터 떼어내면, 제1도포헤드편(121)이 회전용 브라켓(44)의 축부(44c)를 통해 V블록(46)에 의해 회전 가능한 상태로 지지된다(도 20 참조).

이 상태에서, 축부(44c) 둘레로 제1도포헤드편(121)을 180° 회전시키면, 제1도포헤드편(121)이 조립대(70) 상의 제2도포헤드편(122)으로의 조립방향으로 향하는 상태가 된다. 그리고 이러한 회전을 시킴으로써 위쪽으로 돌아온 회전용 브라켓(44)의 다른쪽 결합구멍(44b)에, 크레인(20)의 2개의 훅(28a)을 각각 건다. 그리고 크레인 핸들(40)을 정회전시켜 승강체(24)를 상승시키고, 제1도포헤드편(121)을 재치대(54) 위쪽으로 공중에 매달리는 상태로 한다(도 21 참조).

그 후, 재치대(54)로부터 V블록(46)을 떼어내고, 크레인 핸들(40)을 역회전시켜 승강체(24)를 하강시키고, 다시 제1도포헤드편(121)을 재치대(54) 상에 재치한다. 그리고 제1도포헤드편(121)의 양단으로부터 회전용 브라켓(44)을 떼어낸다. 이때, 제1도포헤드편(121)은, 조립대(70) 상의 제2도포헤드편(122)으로의 조립방향으로 향한 상태이다. 또한, 이때, 제2도포헤드편(122)에 매달기용 브라켓(42)이 아직도 장착되어 있는 경우는, 여기에서, 제2도포헤드편(122)으로부터 매달기용 브라켓(42)을 떼어낸다(도 22 참조). 그리고 브라켓이 장착되어 있지 않은 상태의 양 도포헤드편(121, 122)을, 세정액을 묻힌 코튼 등으로 닦는 등으로 하여, 청소 및 세정한다.

세정작업 후, 조립대(70) 상의 제2도포헤드편(122)의 상면(즉, 제1도포헤드편(121)의 접촉면(121b)과 포개지는 제2도포헤드편(122)의 접촉면(122b)) 측에 시임(123)(도 27 참조)을 재치한다. 또한, 제2도포헤드편(122)에 시임(123)을 재치하는 경우는, 그 전에, 시임(123)의, 제2도포헤드편(122)과의 접촉면을 청소 및 세정하여 둔다. 그리고 제2도포헤드편(122)에 시임(123)을 재치하여 위치맞춤을 행하고, 그 후, 시임(123)의, 제1도포헤드편(121)과의 접촉면을 청소 및 세정하여, 위치맞춤이 되어 있는 상태인 것을 확인한다.

계속해서, 조립대(70) 상에 재치된 제2도포헤드편(122)에, 도포헤드편끼리의 위치맞춤시에 사용하는 위치맞춤용 플레이트(48)를 볼트 체결에 의해 장착하고(도 27 참조), 한편, 제1도포헤드편(121)의 양단부에 매달기용 브라켓(42)을 장착한다(도 22 참조). 도시되는 바와 같이, 위치맞춤용 플레이트(48)는, 제2도포헤드편(122)의 후단면에 장착되어 사용되는 것이다. 이렇게, 미리, 제2도포헤드편(122)에 위치맞춤용 플레이트(48)를 장착해 놓으면, 제2도포헤드편(122)에 제1도포헤드편(121)을 조립했을 때에, 양 도포헤드편(121, 122)의 후단면의 위치를 간단하면서도 신속하게 맞출 수 있다.

다음으로, 매달기용 브라켓(42)의 결합구멍(42b)에 와이어(28)의 훅(28a)을 걸고, 크레인 핸들(40)을 정회전시켜 승강체(24)를 상승시키고, 제1도포헤드편(121)을 매달아 올린다. 그리고 레버(26d)로 슬라이드 바(26)를 승강체(24)의 선단측으로 이동시켜, 제1도포헤드편(121)을 제2도포헤드편(122)의 위쪽에 위치시키고, 그 후, 크레인 핸들(40)을 역회전시켜 승강체(24)를 하강시키고, 제1도포헤드편(121)의 아래쪽으로 향해진 접촉면(121b)을, 사이에 시임(123)을 끼우면서, 제2도포헤드편(122)의 위쪽으로 향해진 접촉면(122b)에 위치맞춤 하면서 포개고, 볼트 체결에 의해 제2도포헤드편(122)과 제1도포헤드편(121)을 조립하여 도포헤드(120)를 조립한다(도 23 참조).

이상의 작업에 의해, 도포헤드(120)를 조립하면, 제2도포헤드편(122)에 장착된 위치맞춤용 플레이트(48)를 떼어내고, 제1도포헤드편(121)의 양단부의 매달기용 브라켓(42)을 떼어낸다. 그리고 도포헤드(120)의 노즐 형상의 토출구 부분에 도시하지 않은 보호커버(160)(도 26 참조)를 장착한다.

그 후, 회동 핸들(66)(도 9 참조)을 돌려, 조립대(70)를 제1포지션(도 12(a) 참조)으로부터 제2포지션으로 90°, 길이방향의 축 둘레로 회동시킨다(도 24 참조). 그러면, 보호커버(160)로 보호된 이끝부(121a, 122a)로 이루어지는 토출구 부분이 하측이 되고, 조립대(70)에 재치된 도포헤드(120)는, 보호커버(160) 상에 재치된 상태에서, 반입출 대좌(76) 상에 재치되어, 액체도포장치(101)로의 장착방향으로 향해진다.

이 상태에서, 위쪽에 위치하는 도포헤드(120)의 상면에, 손잡이(49a)와, 매달기 블록(49b)과, 액체도포장치(101) 측으로의 장착시에 사용되는 도시하지 않은 어댑터를 장착한다(도 8, 도 25 참조). 또한, 매달기 블록(49b)은, 도포헤드(120)를 크레인(20)으로 매달아 올릴 때에, 매달기 기구(29)를 거는 부분으로서 사용되는 것이며, 손잡이(49a)는, 매달린 도포헤드(120)를 원하는 상태로 유도할 때에 작업자에 의해 사용되는 것이다.

그리고 매달기 블록(49b)에 크레인(20)의 2개의 매달기 수단(29)을 걸고 크레인 핸들(40)을 정회전시켜, 도포헤드(120)를 매달아 올린다(도 26 참조). 이때, 도포헤드(120)의 높이가 액체도포장치(101)의 슬라이더 가동부(148)(도 28 참조)보다 높은 위치가 되도록 한다. 또한, 도포헤드(120)를 매달아 올리기 전 또는 후에, 도포헤드(120)와 슬라이더 가동부(148)가 평행하게 되도록 반송유닛(2)을 이동시켜 놓는다. 그리고 그 뒤, 레버(26d)에 의해 슬라이드 바(26)를 승강체(24)의 선단측으로 이동시켜, 매달아 올리기 상태의 도포헤드(120)를 액체도포장치(101)의, 인출된 상태의 슬라이더 가동부(148) 상에 재치한다.

앞에서 설명한 바와 같이, 조립대(70)를 제2포지션으로 이동시켰을 때, 도포헤드(120)는, 액체도포장치(101)로의 장착방향으로 향해져 있으므로, 크레인(20)을 천천히 내려 슬라이더 가동부(148)에 도포헤드(120)를 재치함으로써, 용이하면서도 신속하게, 도포헤드(120)를 액체도포장치(101)로 반입할 수 있다. 그리고 도포헤드(120)의 반입이 완료하면, 매달기 블록(49b)으로부터 매달기 수단(29)을 떼어내고, 또한, 손잡이(49a) 및 매달기 블록(49b)을 도포헤드(120)로부터 떼어낸다. 그 후, 인출된 상태의 슬라이더 가동부(148)를 원위치로 되돌리면, 슬라이더 가동부(148) 상의 도포헤드(120)가 도포기구부(110)의 주행범위 내에 이동된다. 따라서 도포헤드(120)의 바로 위로 도포기구부(110)를 이동시킴으로써, 도포헤드(120)를 액체도포장치(101)의 도포기구부(110)에 장착할 수 있다. 또한, 액체도포장치(101)에 장착된 도포헤드(120)의 탈착하는 순서는, 장착순서를 반대의 순서로 행하면 좋으므로, 여기에서는 그 설명을 생략한다.

이상의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예의 도포헤드의 조립장치(1)에 의하면, 조립대(70)는 제1포지션과 제2포지션으로 회동 가능하게 구성되어 있으므로, 제2도포헤드편(122)을 반입할 때는 조립대(70)를 제1포지션으로 회동시키고, 도포헤드 조립 후, 도포헤드(120)를 액체도포장치(101)에 장착할 때는, 조립대(70)를 제2포지션으로 회동시킬 수 있다. 이러한 조립대를 이용하면, 도포헤드의 조립 완료 후, 조립대를 제2포지션으로 회동시킬 뿐이므로, 조립된 도포헤드를 액체도포장치로의 장착에 알맞은 방향으로 용이하면서도 신속하게 향하게 할 수 있다. 따라서 용이하면서도 신속하게, 조립된 도포헤드를 액체도포장치에 장착할 수 있다.

또한, 본 발명의 도포헤드의 조립장치에 의하면, 도포헤드의 조립에서부터 액체도포장치와의 사이의 반입출까지의 일련의 작업을, 본 발명의 도포헤드의 조립장치만으로 행할 수 있으므로, 극히 효율적으로 일련의 작업을 행할 수 있다.

또한, 도포헤드의 조립장치로의 도포헤드편의 반입공정에서부터 조립된 도포헤드의 액체도포장치로의 반출공정까지의 모든 작업 공정은, 크레인을 이용한 작업이나 조립대를 회동시킬 뿐인 작업이어서, 사람 손으로 도포헤드 등을 들어 운반할 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 재치대 상에서, 반입된 도포헤드편을 회전시킬 수 있으므로, 용이하면서도 신속하게 도포헤드편의 방향을 조립시에 적합한 방향으로 바꿀 수 있다. 따라서 용이하면서도 신속하게, 도포헤드를 조립할 수 있다. 또한, 반입하기 전에, 미리 사람 손이나 별도의 설비를 이용하여 도포헤드의 방향을 바꾸어 놓을 필요가 없으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 크레인이 설치된 반송유닛과, 재치대 및 조립대가 설치된 조립유닛이 근접 이간 가능한 상태로 조합된 것이므로, 상호 위치관계를, 작업하기 쉬운 위치관계로 자유롭게 설정하고, 변경할 수 있어, 도포헤드의 조립이나 분해, 액체도포장치와의 사이의 착탈 등, 일련의 작업의 작업성이 향상한다. 또한, 반송유닛이 바닥면 상을 이동 가능하므로, 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치의 위치로 반송하는 것이 아니라, 반송유닛을 도포헤드편의 위치까지 이동시켜, 상기 도포헤드편을 도포헤드의 조립장치로 반입할 수 있다. 이렇게, 조립부품인 도포헤드편의 이동작업을 최소한으로 억제할 수 있으므로, 특히, 중량이 무거운 대형 도포헤드의 조립장치로서 적합하다고 할 수 있다.

또한, 본원 발명은, 이상의 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러 가지 변형이 가능하다.

예를 들면, 도포헤드(120)나 도포헤드편(121, 122)을 매달아 올리기 위해 사용하는 결합구멍에 관해서는, 여러 가지 형태가 고려될 수 있다. 상기 실시예에서는, 도포헤드편(121, 122)은, 와이어(28)의 훅(28a)을 결합하기 위한 결합구멍을 구비하고 있지 않아, 결합구멍(42b, 44b) 등의 결합구조가 형성된 브라켓(42, 44)이나 매달기 블록(49b)이 착탈 가능하게 장착되도록 구성되어 있으며, 필요에 따라 이들을 장착하여 결합구멍 등의 결합구조를 이용할 수 있도록 구성되어 있지만, 결합구멍을 도포헤드편(121, 122) 그 자체에 형성해 놓아도 좋다. 다시 말해, 결합구멍을 포함하는 부분은, 도포헤드편(121, 122)에 일체적인 구조라도 좋고, 착탈 가능해도 좋다(착탈 가능한 것으로 형성되어 있어도 좋다).

또한, 승강체(24)에 대한 슬라이드 바(26)의 위치를 고정하기 위한 록(lock) 구조를 승강체(24)와 슬라이드 바(26) 사이에 설치해도 좋다. 예를 들면, 승강체(24) 및 슬라이드 바(26)의 서로 대향하는 슬라이드 면에 각각 삽입구멍을 형성하고, 승강체(24)의 삽입구멍과 슬라이드 바(26)의 삽입구멍의 위치를 일치시킨 상태로 양 삽입구멍에 1개의 록킹 핀을 삽입하여 슬라이드 바(26)의 위치를 록킹하도록 한 구조를 들 수 있다.

또한, 조립대(70)의 반입출 대좌(76)는, 액체도포장치(101)와의 사이에서 도포헤드(120)를 반입출할 때의 도포헤드(120)의 재치 장소이지만, 반드시 재치용 대좌일 필요는 없고, 도포헤드(120)를 액체도포장치로의 장착방향으로 정확하게 향하게 하는 수단이면 좋다. 예를 들면, 본 실시예와 같이, 조립대(70)를 제2포지션으로 이동시켰을 때에, 반입출 대좌(76)만으로 도포헤드(120)를 액체도포장치로의 장착방향으로 정확하게 향하게 할 수 있는 구성이라도 좋고, 반입출 대좌(76)와 조립 대좌(74)의 협동에 의해, 도포헤드(120)를 액체도포장치로의 장착방향으로 정확하게 향하게 할 수 있는 구성이라도 좋다. 본 실시예에서는, 도포헤드(120)의 액체도포장치(101)로의 장착방향은, 토출구 부분이 아래쪽으로 향해진 자세이지만, 예를 들면, 비스듬하게 향한 상태가 액체도포장치로의 장착방향일 경우, 반입출 대좌(76)에 상당하는 부재는, 재치용 대좌가 아닐지도 모르지만, 도포헤드(120)를 소정의 장착방향으로 향하게 하기 위한 수단이다. 이렇게, 반입출 대좌(76)는, 조립대(70)를 제2포지션으로 이동시켰을 때에, 도포헤드(120)를 장착방향으로 향하게 하여 그 방향으로 지지하는 반입출 위치 지지부재의 일 실시예라고 할 수 있다.

도 1은 본원 발명의 실시예인 도포헤드의 조립장치를 구성하는 반송유닛 및 조립유닛을 나타내는 모식도이다.

도 2는 본원 발명의 실시예의 반송유닛을 나타내는 평면도이다.

도 3은 도 2에 나타낸 반송유닛을 나타내는 정면도이다.

도 4는 도 2에 나타낸 반송유닛을 나타낸 측면도이다.

도 5는 도 2에 나타낸 반송유닛을 나타내는 배면도이다.

도 6은 반송유닛의 크레인의 와이어 선단의 훅을 나타내는 확대 정면도이다.

도 7은 도 3에 나타낸 반송유닛에 의해 도포헤드편을 매단 상태를 나타내는 정면도이다.

도 8은 도 3에 나타낸 반송유닛에 의해 도포헤드를 매단 상태를 나타내는 정면도이다.

도 9는 본원 발명의 실시예의 조립유닛을 나타내는 평면도이다.

도 10은 도 7에 나타낸 조립유닛을 나타내는 정면도이다.

도 11은 도 7에 나타낸 조립유닛을 나타내는 측면도이다.

도 12는 조립유닛의 조립대의 회전위치를 나타내는 도 10의 A-A 측단면도이며, (a)은 조립대의 제1포지션을 나타내는 도면이며, (b)는 조립대의 제2포지션을 나타내는 도면이다.

도 13(a)은, 제2도포헤드편에 매달기용 브라켓을 장착한 상태를 나타내는 사시도이며, (b)는, 제1도포헤드편에 회전용 브라켓을 장착한 상태와, 회전용 브라켓을 지지하는 V블록을 나타내는 사시도이다.

도 14는 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 15는 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 16은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 17은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 18은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 19는 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 20은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 21은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 22는 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 23은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면 도이다.

도 24는 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 25는 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 26은 도포헤드 조립작업의 상태를 나타내는 도포헤드의 조립장치의 측면도이다.

도 27은 제2도포헤드편의 후단면에 위치맞춤용 플레이트를 장착한 상태를 나타내는 사시도이다.

도 28은 도포헤드가 장착되는 액체도포장치를 나타내는 사시도이다.

도 29는 액체도포장치에 장착되는 도포헤드를 나타내는 분해 사시도이다.

[부호의 설명]

1…도포헤드의 조립장치 2…반송유닛

3…조립유닛 l0…반송유닛의 다리부

11…다리부 프레임 12…캐스터

20…크레인 22…크레인 본체

24…승강체 24a…승강부

24b…승강아암부 24c…보강체

24d…레일 26…크레인의 슬라이드 바

26a…슬라이더 26b…슬라이드 바 본체

26c…연장 바 26d …레버

28…와이어 28a…훅

29…매달기 수단 30…아암 승강기구

32…승강가이드 34…체인

36…지지풀리 38…권취부

40…크레인 핸들 42…매달기용 브라켓

42a…걸림구멍 42b…결합구멍

44…회전용 브라켓 44a…걸림구멍

44b…결합구멍 44c…축부

46…V블록(지지블록) 46a…V홈

48…위치맞춤용 플레이트 49a…손잡이

49b…매달기 블록 50…조립유닛의 다리부

50a…다리부재 50b…캐스터

52…조립유닛 본체 52a…블록 대좌

54…재치대 60…회동기구

61…베어링 62…샤프트

63…출력축 64…감속기

65…입력축 66…회동 핸들

70…조립대 72…홀더

74…조립 대좌 76…반입출 대좌

101…액체도포장치 102…기대

102a, 102b…측벽 103…테이블

104…기판 105a, 105b…레일

110…도포기구부 120…도포헤드

121, 122…도포헤드편 121a, 122a…이끝부

121b, 122b…접촉면 123…시임

123a…오목부 124…액주입구

125…통공 126…공동부

131 …공기빼기구멍 140…메인터넌스기구

141…교환 슬라이더 142…승강실린더(승강수단)

148…슬라이더 가동부 160…보호커버

S1…공간 S2…간극

Claims (9)

1. 가늘고 긴 한 쌍의 도포헤드편을, 서로 접촉면을 겹쳐 맞춘 상태로 조립하여 구성되는 것이며, 액체도포장치에 장착된 상태로 도포대상물에 도포하는 액체를 토출하는 도포헤드의 조립장치로서,

   상기 도포헤드 또는 상기 도포헤드편의 매달아 올리기 이동에 사용되는 크레인과,

   한쪽 도포헤드편이 그 접촉면을 수평이면서 위쪽으로 향한 상태로 재치되며, 상기 한쪽 도포헤드편을 길이방향과 평행한 축 둘레로 회동시키는 조립대(組立臺)와,

   다른쪽 도포헤드편이 그 접촉면을 수평이면서 위쪽으로 향한 상태로 재치되며, 상기 다른쪽 도포헤드편을 길이방향과 평행한 축 둘레로 회동 가능하게 지지하는 재치대(載置臺)를 구비하고 있고,

   상기 조립대는, 상기 한쪽 도포헤드편이 접촉면을 수평이면서 위쪽으로 향한 상태로 재치될 때의 제1포지션과, 조립대 상에서 조립되며, 액체 토출구가 아래쪽에 위치하고, 또한, 상호 겹쳐 맞춰진 접촉면이 수직으로 향한 상태의 도포헤드를 상기 액체도포장치에 대해 반입출(搬入出)할 때의 제2포지션으로 90°회동 가능하게 구성되어 있으며,

   상기 재치대는, 접촉면이 수평이면서 위쪽으로 향해진 상태로 재치된 상기 다른쪽 도포헤드편을, 그 접촉면이 아래쪽으로 향해진 상태로 180°회동 가능하게 구성되어 있고,

   상기 크레인은, 상기 접촉면이 아래쪽으로 향해진 상태로 상기 재치대에 재치된 상기 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올려 상기 조립대에 이동시키는 동작과, 상기 토출구가 아래쪽에 위치하고, 또한 조립에 의해 상호 겹쳐 맞춰진 접촉면이 수직으로 향한 상태로 상기 조립대에 재치된 상기 도포헤드를 매달아 올려 상기 액체도포장치에 반입하는 동작을 행하는 것이며,

   접촉면이 수평이면서 위쪽으로 향해진 상태로 상기 재치대에 재치된 후, 회동에 의해 상기 접촉면이 아래쪽으로 향해진 상기 다른쪽 도포헤드편을 상기 크레인에 의해 매달아 올려, 접촉면이 수평이면서 위쪽으로 향해진 상태로 상기 조립대에 재치된 상기 한쪽 도포헤드편 상에 겹쳐 맞춤으로써 상기 도포헤드를 조립할 수 있고, 조립 후, 상기 토출구가 아래쪽에 위치하며, 또한, 상호 겹쳐 맞춰진 접촉면이 수직으로 향한 상태로 회동된 도포헤드를, 상기 크레인에 의해 매달아 올려 상기 액체도포장치에 반입하여 장착할 수 있는 것을 특징으로 하는 도포헤드의 조립장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 재치대는, 그 양단위치(兩端位置)에 착탈 가능하게 설치되는 지지블록과, 상기 지지블록의 상면에 설치된 베어링부에 의해 회전 가능한 상태로 지지 가능한 회전축부를 갖는 회전브라켓을 구비하고 있으며,

   상기 회전브라켓은, 상기 다른쪽 도포헤드편의 양단(兩端)에 착탈 가능하게 장착 가능하며,

   상기 크레인은, 양단에 상기 회전브라켓이 장착된 상태로 상기 재치대에 재치된 상기 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올린 후, 상기 지지블록이 설치된 재치대에 다시 재치하는 동작을 행하는 것이며,

   상기 재치대에 재치된 상기 다른쪽 도포헤드편의 양단에 상기 회전브라켓을 장착하여 상기 회전브라켓을 상기 크레인으로 매달아 올림으로써 상기 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올릴 수 있고, 다른쪽 도포헤드편을 매달아 올린 상태로 상기 재치대의 양단위치에 설치한 상기 지지블록의 베어링부에 의해 상기 다른쪽 도포헤드편의 양단에 장착된 상기 회전브라켓의 상기 회전축부를 회전 가능한 상태로 지지할 수 있음과 아울러, 상기 다른쪽 도포헤드편을 회전시킴으로써, 상기 다른쪽 도포헤드편의 방향을, 상기 조립대에 재치된 상기 한쪽 도포헤드편으로의 조립방향으로 향하게 할 수 있으며, 상기 방향으로 회전된 상기 다른쪽 도포헤드편을, 상기 크레인에 의해 매달아 올려, 상기 제1포지션으로 회동된 상기 조립대 상의 상기 한쪽 도포헤드편 상에 겹쳐 맞춤으로써 상기 도포헤드를 조립할 수 있는 것을 특징으로 하는 도포헤드의 조립장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 크레인이 설치된 반송(搬送)유닛과, 상기 재치대 및 상기 조립대가 설치된 조립유닛을 구비하며,

   상기 반송유닛과 상기 조립유닛은, 상호 근접 이간(離間) 가능한 상태로 조합되어 있으며,

   상기 반송유닛과 상기 조립유닛 중, 적어도 상기 반송유닛은, 바닥면 상의 이동을 가능하게 하는 이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포헤드의 조립장치.
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