CN114987064A - 喷涂设备 - Google Patents

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CN114987064A CN202210806802.6A CN202210806802A CN114987064A CN 114987064 A CN114987064 A CN 114987064A CN 202210806802 A CN202210806802 A CN 202210806802A CN 114987064 A CN114987064 A CN 114987064A
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Abstract

本申请公开了一种喷涂设备,具有用于在盖板上喷涂对位标记的喷涂工位,所述喷涂设备包括:输送装置,包括输送载台、掩膜以及驱动组件,所述输送载台具有用来直接或者间接的承载所述盖板的工作面,所述掩膜与所述工作面相对设置、并可拆卸地固定在所述输送载台上,所述驱动组件用来带动所述输送载台沿第一方向进入或者离开所述喷涂工位;以及,喷涂装置,对应所述喷涂工位布设,当所述输送载台进入所述喷涂工位后,所述喷涂装置用来从所述掩膜远离所述工作面的一侧向所述盖板喷射用于形成所述对标记的喷涂材料。本申请的喷涂设备,能解决现有盖板的对位标记制作成本较高的问题。

Description

喷涂设备
技术领域
本申请涉及显示面板制备技术领域,尤其涉及一种用于制作对位标记的喷涂设备。
背景技术
现有的刚性OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)产品需要盖板玻璃(Cover Glass)进行保护。在OLED工艺中,盖板玻璃和TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)基板需要进行对组贴合后,通过玻璃胶黏附在一起。上述对组贴合精度会影响后续切割工艺,即将大板玻璃切割成可供后端模组工艺的小片玻璃(即通常看到的TV orNB的产品)的切割过程。通常情况下,上述盖板玻璃要和TFT基板的对组,需要借助对位标记抓取进行对位。而盖板玻璃需要用激光进行对位标记制作,工艺成本较高。
由此,亟需设计一种喷涂设备,以解决上述问题。
发明内容
本申请提供一种喷涂设备,以解决现有盖板的对位标记制作成本较高的问题。
为达上述目的,一方面,本申请提供的一种喷涂设备,具有用于在盖板上喷涂对位标记的喷涂工位,所述喷涂设备包括:
输送装置,包括输送载台、掩膜以及驱动组件,所述输送载台具有用来直接或者间接的承载所述盖板的工作面,所述掩膜与所述工作面相对设置、并可拆卸地固定在所述输送载台上,所述驱动组件用来带动所述输送载台沿第一方向进入或者离开所述喷涂工位;以及,
喷涂装置,对应所述喷涂工位布设,当所述输送载台进入所述喷涂工位后,所述喷涂装置用来从所述掩膜远离所述工作面的一侧向所述盖板喷射用于形成所述对标记的喷涂材料。
可选地,在本申请的一些实施例中,在所述输送载台的工作面上设有承载区及支撑件,其中:
所述承载区位于所述工作面的中心处,用来直接或者间接的承载所述盖板;
所述支撑件位于所述承载区的外围、且固定在所述输送载台上,用于支撑所述掩膜。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述掩膜具有镂空图案和定位结构,其中:
所述镂空图案用于形成所述对位标记;
所述定位结构与所述支撑件插接配合。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述喷涂设备还包括基台;
所述驱动组件包括至少一条主动输送线,所述主动输送线设置在所述基台上并沿所述第一方向的延伸方向延伸,用来承载并带动所述输送载台沿所述第一方向移动。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述喷涂设备还包括基台,所述输送载台以能相对所述基台沿所述第一方向移动的方式设置在所述基台上;
所述喷涂装置包括两个安装支架和分别对应两个所述安装支架的两个喷头组,其中:
两个所述安装支架以能沿所述第一方向相互靠近或者远离方式设置在所述基台上,每一所述安装支架沿垂直于所述第一方向的第二方向的跨设于所述输送载台的输送路径的宽度方向两侧;以及,
每一所述喷头组包括至少两个喷头,每一所述喷头以能相对所述安装支架沿所述第二方向移动的方式安装在所述安装支架上。
可选地,在本申请的一些实施例中,在所述基台上设有两条移动导轨,两条所述移动导轨沿所述第一方向延伸、且沿所述第二方向间隔排布于所述输送载台的输送路径的宽度方向两侧;
所述安装支架沿所述第二方向跨设于所述输送载台的输送路径的两侧并可滑动地安装在两个所述移动导轨上。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述喷涂设备还包括至少一组测试组件,所述测试组件包括:
测试基板,沿所述第一方向设置在所述输送载台的一侧;以及,
至少一清洁件,用来清洁所述测试基板上的喷涂材料。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述测试组件的数目为两组,两组所述测试组件沿所述第一方向分别设置在所述输送载台的相对两侧。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述喷涂设备还包括至少一喷涂材料存储装置,所述喷涂材料存储装置与所述喷涂装置流体连接,以向所述喷涂装置提供喷涂材料。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述喷涂设备还具有更换盖板的换料工位,所述喷涂设备还包括换料装置,所述换料装置对应所述换料工位布设,所述驱动组件用来带动所述输送载台沿所述第一方向移动并途径所述喷涂工位和所述换料工位;
所述换料装置具有换料组件和切换组件,其中:
所述切换组件用于使所述掩膜在第一位置和第二位置之间切换,在所述第一位置,所述掩膜与所述工作面相对设置、且固定在所述输送载台,在所述第二位置,所述掩膜避让所述工作面;
所述换料组件用于在所述掩膜处于所述第二位置时更换所述工作面上的盖板。
与现有技术相比,本申请所述喷涂设备,通过喷涂装置和输送装置的相互配合,可以在所述盖板上喷涂形成对位标记,由此能取代现有的在盖板上蚀刻制作对位标记的方法,进而能克服现有盖板上对位标记的制作工艺复杂、且制造成本较高的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为依据本申请一实施例提供的喷涂设备的结构示意图。
本申请说明书附图中的主要附图标记说明如下:
1 喷涂设备
10 基台 32 移动支架
20 输送装置 33 移动导轨
21 输送载台 40 喷涂材料存储装置
22 掩膜 50 测试组件
23 驱动组件 51 测试基板
30 喷涂装置 52 清洁件
31 喷头 32 移动支架
221 镂空图案 211 工作面
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
如图1所示,本申请实施例提供一种喷涂设备1,具有用于在盖板上喷涂对位标记的喷涂工位,所述喷涂设备1包括输送装置20和喷涂装置30。所述输送装置20包括输送载台21、掩膜22以及驱动组件23。所述掩膜22与所述工作面211相对设置、并可拆卸地固定在所述输送载台21上。所述驱动组件23用来带动所述输送载台21沿第一方向X移动、并进入或者离开所述喷涂工位。所述喷涂装置30对应于所述喷涂工位布设,当所述输送载台21进入所述喷涂工位后,所述喷涂装置30用来从所述掩膜22远离所述工作面211的一侧向所述盖板喷射用于形成所述对标记的喷涂材料。
在本申请的方案中:在所述喷涂工位上,沿所述喷涂装置30的喷射方向Z观察,所述盖板是位于所述掩膜22和所述工作面211之间、且直接或者间接的放置在所述工作面211上。此时,所述喷涂装置30沿所述喷射方向Z向所述盖板喷涂用于形成所述对位标记的喷涂材料,实质上是向所述自所述掩膜22的远离所述工作面211的一侧喷涂所述喷涂材料,从而利用所述掩膜22在所述盖板上获得目标图案,即所述对位标记。当所述输送载台21离开所述喷涂工位后,可以卸除所述掩膜22和已经喷涂完成的盖板,还可以进一步向所述工作面211上放置新的待喷涂的盖板,即可以卸除或更换盖板。
本申请的喷涂设备1,通过所述喷涂装置30和所述输送装置20的相互配合,在所述盖板上喷涂形成对位标记,由此能取代现有的在盖板上蚀刻制作对位标记的方法,进而能克服现有盖板上对位标记的制作工艺复杂、且制造成本较高的问题。再者,由于所述输送载台21能选择性地进入或者离开所述喷涂工位,便于所述喷涂装置30和所述输送装置20的维护和检修;同时所述掩膜22可拆卸设置,所述掩膜22能比较方便的避让开所述工作面211,也便于所述工作面211检修和维护,防止损伤放置在所述工作面211上的盖板。
示意性的,在本实施例中,所述输送载台21为一平板状构件。所述输送载台21在其厚度方向上具有所述工作面211和与所述工作面211相对的背面。在所述输送载台21的所述工作面211上设有承载区及支撑件。所述承载区位于所述工作面211的中心处,用来直接或者间接(例如通过盖板托盘)地承载所述盖板。所述支撑件环绕在所述承载区的外围、且固定在所述输送载台21上,用于支撑所述掩膜22。
在具体实施时,为了实现承载不同尺寸的所述盖板的目的,在所述输送载台21设置有调整件。所述调整件以环绕所述承载区的周缘的方式设置、并活动地安装在所述输送载台21上。在具体实施时,通过调整所述调整件的位置,可以适应性调整所述承载区的平面尺寸,使得所述承载区可以适用不同尺寸的所述盖板或者不同尺寸的盖板托盘,还便于所述盖板或所述盖板托盘的取放和更换。而且,在输送过程中,所述调整件还可以对所述盖板或承载所述盖板托盘的进行定位和限位,确保所述盖板和所述掩膜22的对位精度。
具体地,所述支撑件的数目为多个。多个所述支撑件沿所述输送载台21的外周缘间隔设置。在具体实施时,所述支撑件可以为支撑针(pin)。更为优选地,所述支撑件为相对所述工作面211可升降设置的升降针。如此,便于顺畅地将所述盖板放置在所述承载区内,防止所述支撑件划伤所述盖板。
基于上述输送载台21的实施方式,所述掩膜22具有镂空图案221和定位结构。当所述掩膜22安装在所述输送载台21上时,所述镂空图案221在承载于所述工作面211上的盖板上的正投影落在所述盖板的待形成所述对位标记的区域,而所述定位结构和所述支撑件相互插接固定。
其中所述镂空图案221用于形成所述对位标记。更为具体来说,所述镂空图案221贯穿所述掩膜22的厚度,从而允许所述喷涂装置30喷射的喷涂材料通过,从而能在所述盖板的相应区域内形成与所述镂空图案221一致的目标图案,即所述对位标记。示意性的,在本实施例中,所述镂空图案221的平面形状为“十”字型。但需要指出的是,本申请所述镂空图案221的平面形状并未限定于此。例如,在其中一些实施例中,所述镂空图案221还可以为矩形、正方形或者“T”字型等规则图形,还可以为不规则图形。
而所述定位结构位于所述镂空图案221的外围,所述定位结构可供所述支撑件插接。在具体实施时,所述掩膜22在所述第二位置时通过所述定位结构和所述支撑件的插接配合固定所述输送载台21上。通过插接配合的方式,既可以在所述输送载台21的移动过程中使所述掩膜22相对所述输送载台21固定,提高所述掩膜22和所述盖板的对位精度,同时还便于所述掩膜22的取卸和安装。
在具体实施时,所述定位结构为可供所述支撑件的顶部全部或者部分插入的盲孔或者通孔。
请参考图1,在一些实施例中,所述喷涂设备1还包括基台10,此时,所述基台10用于承载整个所述喷涂设备1,即所述基台10用于承载所述输送装置20和所述喷涂装置30。如此,既可以简化整个所述喷涂设备1的结构,还可以提高所述输送装置20和所述喷涂装置30的相对稳定性。
其中所述基台10具有长度方向、宽度方向和厚度方向。其中所述长度方向与所述第一方向X(即所述输送载台21的移动方向)一致,所述宽度方向与所述输送载台21的输送路径的宽度方向Y一致。所述厚度方向与所述喷涂装置30的喷射涂料的方向Z一致。
基于上述基台10的实施例,所述驱动组件23至少一条主动输送线,所述主动输送线设置在所述基台10上并沿所述第一方向X延伸,用来承载并带动所述输送载台21沿所述第一方向移动。示意性的,所述主动输送线用来承载并带动所述输送载台21进入或者远离所述喷涂工位。在具体实施时,所述主动输送线可以为传送带,还可以为主动式滚筒输送线。
以上,仅示意性列举了所述驱动组件23的部分实施方式。但需要指出的是,本申请所述驱动组件23的具体实施方式并未限定于此,在另外一些实施例中,所述驱动组件23包括形成于所述基台10上的滑轨、与所述滑轨配合且形成于所述输送载台21的背面的滑槽、以及与所述输送载台21驱动连接的驱动件。
具体到本实施例中,所述驱动组件23包括两条所述主动输送线。两条所述主动输送线沿所述第一方向X延伸、且沿垂直于所述第一方向X的第二方向Y(即所述输送载台21的输送路径的宽度方向)间隔排布。通过设置两条所述主动输送线可以提高对所述输送载台21的输送稳定性,防止损伤盖板,还可以防止盖板和掩膜22发生错位,确保所述对位标记的位置精度。
请参考图1,基于上述基台10的实施例,所述喷涂装置30包括两个安装支架32和两个喷头组。其中两个所述安装支架32以能沿所述第一方向X相互靠近或者远离方式设置在所述基台10上,每一所述安装支架32沿垂直于所述第一方向X的第二方向Y(即所述输送载台21的输送路径的宽度方向)的跨设于所述输送载台21的输送路径的两侧。每一所述喷头组包括至少两个喷头31,每一所述喷头31以能相对所述安装支架32沿所述第二方向Y移动的方式安装在所述安装支架32上。如此设置,所述安装支架32沿第一方向X的位置可以实时调整,所述喷头31沿所述第二方向Y的位置可以实时调整,从而实现在多种规格的不同规格的盖板上制作对位标记的目的,提高所述喷涂设备1的实用性和适用范围。
在所述基台10上设有两条移动导轨33,两条所述移动导轨33沿所述第一方向X延伸、且沿所述第二方向Y间隔排布于所述输送载台21的输送路径宽度方向的两侧(即两条所述主动输送线的两侧)。所述安装支架32沿所述第二方向Y跨设于所述输送载台21的输送路径的宽度方向的两侧(即两条所述主动输送线的两侧)并可滑动地安装在两个所述移动导轨33上。
具体到本实施例中,每一所述喷头组的喷头31的数目为两个。在每一所述安装支架32上,两个所述喷头31沿所述第二方向Y间隔排布,并且两个所述喷头31可以受控地沿所述第二方向Y相互靠近或者相互远离。
优选地,所述安装支架32为龙门架。
请参考图1,所述喷涂设备1还包括至少一喷涂材料存储装置40,所述喷涂材料存储装置40用来存储喷涂材料。进一步地,所述喷涂材料存储装置40与所述喷涂装置30流体连接,以向所述喷涂装置30提供喷涂材料。
具体到本实施例中,所述喷涂材料可以为油漆。所述喷涂材料存储装置40以油漆供液瓶的形式实现。基于所述喷头设置方式,所述喷涂材料存储装置40的数目为四个,四个所述喷涂材料存储装置40分别与四个所述喷头31通过四个相互独立连通管路连接,以向相应的喷头31提供油漆。但需要指出的是,本申请并未限定所述喷涂材料存储装置40的数目,也并未限定所述喷涂材料的种类。例如,在另外一些实施例中,所述喷涂材料可以为油墨。所述喷涂材料存储装置40数目可以为一个,此时该喷涂材料存储装置40可以同时向四个所述喷头提供油墨。
请参考图1,在其中一些实施例中,所述喷涂设备1还包括至少一组测试组件50,所述测试组件50可用于检测所述喷头31的喷涂效果。
具体地,所述测试组件50包括测试基板51和至少一清洁件52。其中所述测试基板51沿所述输送载台21的移动方向(即所述第一方向X)设置在所述输送载台21的一侧。所述清洁件52用来清洁所述测试基板51上的喷涂材料。
可以理解的是,为了同时对两个所述安装支架32上的所述喷头31进行测试,所述测试组件50的数目为两组,两组所述测试组件50沿所述第一方向X分别设置在所述输送载台21的两侧。
在一些实施例中,可以手动操作所述清洁件52,以清除所述测试基板51上的喷涂材料。但需要指出的是,本申请并未限制所述清洁件52的设置方式。例如,在另外一些实施例中,还可以通过一伸缩机构操控所述清洁件52。
在其中一些实施例中,为了实现自动更换所述盖板的目的,所述喷涂设备1还具有用来更换盖板的换料工位。基于此,所述喷涂设备1还包括换料装置,所述换料装置对应所述换料工位布设。
示意性的,所述卸料工位及所述喷涂工位沿第一方向设置在所述基台10上。具体到本实施例中,所述换料装置和所述喷涂装置沿所述第一方向间隔设置在所述基台10上。
其中所述驱动组件23用来带动所述输送载台21沿所述第一方向X移动并途径所述喷涂工位和所述换料工位。具体到本实施例中,所述主动输送线用来承载并带动所述输送载台21沿所述第一方向移动并途径所述喷涂工位和所述换料工位。
示意性的,所述换料装置具有换料组件和切换组件。所述切换组件用于使所述掩膜22在所述第一位置和所述第二位置之间切换,所述换料组件用于在所述掩膜处于所述第二位置时更换所述工作面上的盖板。如此设置,能提高所述喷涂设备1的自动化程度,提高作业效率,能缩短制程时间。
在其中一些实施例中,所述切换组件包括抓取件、机械手臂和驱动件。其中所述抓取件与所述机械手臂连接,所述驱动件与所述机械手臂驱动连接,以驱动所述机械手臂运动,从能控制所述抓取件将所述掩膜22从所述支撑件上移开,或者将所述掩膜22放置在所述支撑件上。
相似地,所述换料组件包括吸盘、机械手臂和驱动件。其中所述吸盘与所述机械手臂连接,所述驱动件与所述机械手臂驱动连接,以驱动所述机械手臂运动,从能控制所述吸盘将完成对位标记喷涂的盖板从所述工作面211上取下并放置在接料位置上,或者将待制作对位标记的盖板放置在所述工作面211上。
以上基于所述喷涂设备1包括换料装置的实施例对所述喷涂设备1的卸料、换料的方式以及掩膜22的位置切换的实施方式进行了示意性介绍。
但本申请喷涂设备1的具体实施方式并未限定于此。例如,在另外一些实施例中,还可以手动切换所述掩膜22的位置或者手动更换盖板。
具体地,所述喷涂设备1还包括控制器,所述控制器与所述驱动组件23、每一所述安装支架32的驱动件、每一所述喷头31的驱动件、所述换料组件、所述切换组件以及每一所述喷头31的连通管路连接。具体实施时,所述控制器为PLC控制器或者单片机。
在本说明书的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述,仅为本申请的具体实施方式,但本申请的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此,本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。此外,说明书中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想,本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种喷涂设备,其特征在于,具有用于在盖板上喷涂对位标记的喷涂工位,所述喷涂设备包括:
输送装置,包括输送载台、掩膜以及驱动组件,所述输送载台具有用来直接或者间接的承载所述盖板的工作面,所述掩膜与所述工作面相对设置、并可拆卸地固定在所述输送载台上,所述驱动组件用来带动所述输送载台沿第一方向进入或者离开所述喷涂工位;以及,
喷涂装置,对应所述喷涂工位布设,当所述输送载台进入所述喷涂工位后,所述喷涂装置用来从所述掩膜远离所述工作面的一侧向所述盖板喷射用于形成所述对标记的喷涂材料。
2.如权利要求1所述的喷涂设备,其特征在于,在所述输送载台的工作面上设有承载区及支撑件,其中:
所述承载区位于所述工作面的中心处,用来直接或者间接的承载所述盖板;
所述支撑件位于所述承载区的外围、且固定在所述输送载台上,用于支撑所述掩膜。
3.如权利要求2所述的喷涂设备,其特征在于,所述掩膜具有镂空图案和定位结构,其中:
所述镂空图案用于形成所述对位标记;
所述定位结构与所述支撑件插接配合。
4.如权利要求1所述的喷涂设备,其特征在于,所述喷涂设备还包括基台;
所述驱动组件包括至少一条主动输送线,所述主动输送线设置在所述基台上并沿所述第一方向的延伸方向延伸,用来承载并带动所述输送载台沿所述第一方向移动。
5.如权利要求1所述的喷涂设备,其特征在于,所述喷涂设备还包括基台,所述输送载台以能相对所述基台沿所述第一方向移动的方式设置在所述基台上;
所述喷涂装置包括两个安装支架和分别对应两个所述安装支架的两个喷头组,其中:
两个所述安装支架以能沿所述第一方向相互靠近或者远离方式设置在所述基台上,每一所述安装支架沿垂直于所述第一方向的第二方向的跨设于所述输送载台的输送路径的宽度方向两侧;以及,
每一所述喷头组包括至少两个喷头,每一所述喷头以能相对所述安装支架沿所述第二方向移动的方式安装在所述安装支架上。
6.如权利要求5所述的喷涂设备,其特征在于,在所述基台上设有两条移动导轨,两条所述移动导轨沿所述第一方向延伸、且沿所述第二方向间隔排布于所述输送载台的输送路径的宽度方向两侧;
所述安装支架沿所述第二方向跨设于所述输送载台的输送路径的两侧并可滑动地安装在两个所述移动导轨上。
7.如权利要求1所述的喷涂设备,其特征在于,所述喷涂设备还包括至少一组测试组件,所述测试组件包括:
测试基板,沿所述第一方向设置在所述输送载台的一侧;以及,
至少一清洁件,用来清洁所述测试基板上的喷涂材料。
8.如权利要求7所述的喷涂设备,其特征在于,所述测试组件的数目为两组,两组所述测试组件沿所述第一方向分别设置在所述输送载台的相对两侧。
9.如权利要求1所述的喷涂设备,其特征在于,所述喷涂设备还包括至少一喷涂材料存储装置,所述喷涂材料存储装置与所述喷涂装置流体连接,以向所述喷涂装置提供喷涂材料。
10.如权利要求1所述的喷涂设备,其特征在于,所述喷涂设备还具有更换盖板的换料工位,所述喷涂设备还包括换料装置,所述换料装置对应所述换料工位布设,所述驱动组件用来带动所述输送载台沿所述第一方向移动并途径所述喷涂工位和所述换料工位;
所述换料装置具有换料组件和切换组件,其中:
所述切换组件用于使所述掩膜在第一位置和第二位置之间切换,在所述第一位置,所述掩膜与所述工作面相对设置、且固定在所述输送载台,在所述第二位置,所述掩膜避让所述工作面;
所述换料组件用于在所述掩膜处于所述第二位置时更换所述工作面上的盖板。
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