CN101445908A - 蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。

Description

蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置

本申请是申请日为2005年11月28日提交的第200510126935.5号发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，更详细地说，涉及用于在大面积基板上蒸镀有机物或导电性物质的蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置。

背景技术

以有机电场发光显示装置为首的有机半导体装置需要形成有机膜的工序。由于要形成所述有机膜的物质是低分子或高分子而不相同，故膜的形成方法也就不同。

在是所述高分子物质的情况下，将所述有机物质溶解在溶剂中，使用所述被溶解的有机物质形成有机膜。所述有机膜是使用旋转涂层、浸渍涂层、刮刀板和喷墨印刷等方法来形成的。

在是所述低分子物质的情况下，由于其可在200℃到400℃这样比较低的温度下蒸发，所以通过加热使其蒸发而形成有机膜。即，由所述低分子构成的有机膜，通过将成有图形的掩模排列在基板上后，把由受热蒸发的有机物分子向所述基板照射而形成。

所述这种低分子有机物质的蒸发和喷射是通过有机物蒸发源来进行的。所述有机物蒸发源具有能把有机物质加热到规定温度的坩埚(crucible)的形状。所述有机物蒸发源包括：可加热有机物质的加热部和喷射所述加热了的有机物的喷嘴部。因此，从所述加热部蒸发的有机物就通过所述喷嘴部向基板喷射，并形成规定的图形。

这种方法，与涂层法和印刷法相比其有可形成均匀薄膜的优点，适于形成有机电场发光显示装置的有机膜层和电极层。在利用线状蒸发源的情况下，由于能在大面积基板上形成厚度均匀的有机膜层或电极层，所以认为由所述蒸发源进行的蒸镀方法是适合于大面积有机电场发光显示装置制造的方法。

但这种现有的有机物蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其加热部的热向外部散发，热效率容易变低。在利用所述线状蒸发源的情况下，由于喷射材料的喷嘴部的温度比所述蒸发源的内部低，所以，材料在喷嘴部的前面凝缩，可在喷嘴处产生堵塞。

但使用现有的有机物蒸发源在大型基板上形成有机薄膜时，基板与蒸发源之间的距离都增加。但若基板与蒸发源之间的距离增加，则产生形成于基板上的有机薄膜均匀性降低的问题。

若基板与蒸发源之间的距离增加，则被蒸发源蒸发的有机物就蒸镀在基板以外的真空容器上，使有机物的损失增加，由于有机物价格非常高，所以这种有机物的损失就使得元件的制造成本上升。

为了确保有机薄膜的均匀性，将障板图形与蒸发源成规定角度而形成有机薄膜。这时，在障板图形与蒸发源成规定角度的情况下，就产生障板图形引起的影效果，具有难以得到希望形状的有机薄膜的问题点。

在现有的有机物蒸镀装置的情况下，有时有机物粒子进入到贮藏有有机物的蒸发源结构元件的间隙处，会产生有机物的泄漏。若产生这种有机物的泄漏，则发生加热器污染，这样就影响到有机发光元件的质量，最终使合格品率下降。

在加热器发生短路而更换加热器时，由于加热器与有机物蒸发源是形成一体的，所以加热器的更换非常难，因此，有该更换作业时间长的问题点。

另外，所述蒸镀装置可包括：蒸发源组件，其含有蒸发源和收容所述蒸发源的外部壳体，所述蒸发源由贮藏蒸镀物质的贮藏部、用于使所述蒸镀物质蒸发的加热部以及将所述已蒸发了的蒸镀物质进行喷射的喷嘴部构成；移送装置，其用于移动所述蒸发源组件；容器，其成为所述各个结构元件的机体。这时，在为了执行蒸镀工序而把所述蒸镀装置进行加热时，由于构成有所述蒸镀装置的零件之间热膨胀率不同，所以会产生结构的翘曲和位置变动，发生偏心。

这样，所述蒸镀装置的结构零件或破损或损伤，而必须持续地更换零件，生产成本增大。

相关现有技术在下面的专利文献1到4中被公开。

专利文献1：韩国专利申请第2004-0098270号说明书

专利文献2：韩国专利申请第2005-0013298号说明书

专利文献3：韩国专利申请第2005-0014713号说明书

专利文献4：韩国专利申请第2005-0018833号说明书

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸发源，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热度，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。

本发明的另一目的在于提供一种蒸发源，其能防止由反射板对蒸镀材料的遮断或干涉。

本发明的又一目的在于提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能防止由蒸发源产生的辐射热所引起的基板和掩模的热变形。

本发明的再一目的在于提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能防止蒸镀物质的侧面扩散，防止蒸镀装置内部的污染。

本发明的其他目的在于提供一种有机物蒸发源，其通过防止有机物从有机物蒸发源泄漏，而能防止由泄漏的有机物引起的蒸发源的结构损失。

本发明的又其他目的在于提供一种有机物蒸发源，其通过把有机物蒸发源各结构元件的厚度和体积最小化，能防止有机物的泄漏，同时能提高用于有机物蒸发的导热性，而且能更加提高蒸发效率。

本发明通过使构成蒸发源和蒸发源组件的各零件之间的连结部接触最小化，谋求所述零件之间的固定和支承，并且具有一定程度的滑动性，由此提供能防止由热膨胀引起装置损伤的蒸发源和蒸发源组件。另外，还提供具备所述蒸发源和该蒸发源组件的蒸镀装置。

为了实现所述目的，本发明一方面的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有与所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分连结并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其包围所述喷嘴部的至少一部分角部；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。

所述蒸发源还能包括罩，其位于所述反射板上并把所述反射板覆盖。

所述罩可包括向蒸镀方向突出的突出部。

所述反射板可由耐热合金构成。

所述反射板可由铬镍铁合金(inconel)构成。

所述喷嘴部可具有中央部比角部更突出的结构。

所述反射板可具有位于所述喷嘴部的非开口部且比所述喷嘴部更突出的结构。

位于所述喷嘴部的开口部周边的所述反射板的边缘部分可具有锥角。

本发明另一方面的蒸镀装置包括蒸发源和支承基板的容器，其中，所述蒸发源包含：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质，并且局部开口；喷嘴部，其与所述被开口的部分连结，且具有用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其包围所述喷嘴部的至少一部分角部；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。

所述蒸镀装置还可包括罩，其位于所述反射板上并把所述反射板覆盖。所述罩能包括向蒸镀方向突出的突出部。

本发明又一方面的蒸发源包括：壳体，其一面开口；有机物贮藏部，其位于所述壳体的内部，在内部贮藏有机物并且一面开口；喷嘴部，其与所述有机物贮藏部开口的部分连结，喷射有机物；加热部，其位于所述有机物贮藏部与所述壳体之间。

所述蒸发源还具备位于所述加热部的一侧并且位于所述贮藏部和所述壳体之间的多个第一支承装置，所述多个第一支承装置与所述贮藏部和所述壳体的各个规定部分接触。

所述有机物贮藏部最好由石墨构成，另外，最好在所述有机物贮藏部上附有防止有机物泄漏部件。

所述防止有机物泄漏部件最好能附在所述有机物贮藏部的内部或附在其外面。

所述喷嘴部最好由石墨构成，另外，最好在所述喷嘴部上附有防止有机物泄漏部件。

所述防止有机物泄漏部件最好能附在所述喷嘴部的内部或附在其外面。

另外，所述防止有机物泄漏部件最好是镍，或是由钨、铼、钽、钼、铌、钒、铪、锆、钛这样高熔点金属中的任一种构成，或者由氧化物、碳化物、氮化物中的任一种构成。

本发明再一方面的有机物蒸发源包括：壳体，其一面开口；有机物贮藏部，其位于所述壳体的内部，在其内部贮藏有机物且一面开口；喷嘴部，其包含与所述有机物贮藏部的开口的部分连结并向基板上喷射有机物粒子的有机物喷射喷嘴，和防止所述有机物贮藏部的有机物飞散的防止飞散膜；加热部，其位于所述有机物贮藏部与所述壳体之间；热反射板，其设置在所述壳体的内壁上，把来自所述加热部的热量向所述有机物贮藏部反射；热遮断板，其安装在所述喷嘴部的基板方向的外部面上。

所述壳体最好具有1～5mm的厚度，另外，所述有机物贮藏部最好具有1～5mm的厚度。

所述有机物贮藏部最好由石墨构成，另外，最好在所述有机物贮藏部上附有防止有机物泄漏部件。

所述防止有机物泄漏部件最好能附在所述有机物贮藏部的内部或附在其外面。

所述喷嘴部最好由石墨构成，另外，最好在所述喷嘴部上附有防止有机物泄漏部件。

所述防止有机物泄漏部件最好能附在所述喷嘴部的内部或附在其外面。

所述防止有机物泄漏部件最好是镍，或是由钨、铼、钽、钼、铌、钒、铪、锆、钛这样高熔点金属中的任一种构成，或者由氧化物、碳化物、氮化物中的任一种构成。

本发明的蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，通过在蒸发源内具备反射板而防止喷嘴部的热量向外部散失，由此具有可有效提高热效率的优点。

另外，还具有如下效果，通过从所述反射板向喷嘴内部反射的热量，解决蒸镀物质在喷嘴处凝缩的问题。

由于位于喷嘴部的开口部周边区域的所述反射板的角部具有一定的形态，或所述喷嘴的中央部具有一定的形态，故由此可防止对要使用所述反射板进行蒸镀的物质的遮断或干涉。

因此，可构成具备如下的蒸发源的蒸镀装置，该蒸发源一边使用所述反射板来增加热效率，一边防止蒸镀物质在喷嘴的开口部凝缩，防止蒸镀物质喷射被遮断。

本发明的蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，通过在蒸发源上具备罩而具有可防止由所述蒸发源的辐射热造成基板和掩模温度上升的优点。因此，具有如下优点，即，通过把所述蒸发源的辐射热遮断，而防止所述基板和掩模热变形，防止由掩模热变形引起图形不良现象。

另外，通过在所述罩上具备朝向蒸镀方向的突出部，将辐射热再一次遮断，在进一步提高散热效果的同时，还具有防止蒸镀物质的侧面扩散，防止蒸镀装置内部污染的优点。

本发明的有机物蒸发源，提供具备可独立分离的加热部和与防止飞散板一体化了的喷嘴部的有机物蒸镀装置，且具有更加提高有机物贮藏部和喷嘴部的热效率，防止有机物从有机物贮藏部和喷嘴部泄漏，防止由有机物引起蒸发源结构元件损伤的效果。

本发明有机物蒸发源的各结构元件，可通过防止有机物在喷嘴部和有机物贮藏部的泄漏而使其厚度和体积最小化，具有有机物蒸发源的导热性和蒸发效率进一步提高的效果。

附图说明

图1是表示本发明的蒸发源的立体图；

图2a和图2b是表示本发明第一实施例的蒸发源的剖面图；

图3是表示本发明第二实施例的蒸发源的剖面图；

图4是表示本发明第三实施例的蒸发源的立体图；

图5是表示本发明第三实施例的蒸发源的剖面图；

图6是表示具备本发明实施例的蒸发源的蒸镀装置的剖面图；

图7是表示本发明第四实施例的有机物蒸发源的立体图；

图8是沿图2的A-A线的剖面图；

图9是把图8的B部放大表示的剖面图；

图10是把图8的C部放大表示的剖面图；

图11a～图11c是用于说明本发明第五实施例的蒸发源的图，是用于说明构成所述蒸发源的贮藏部和与所述贮藏部连结的喷嘴部与加热部的支承结构的图；

图12a～图12e是用于说明本发明第五实施例的蒸发源的图，是用于说明连结、支承加热部和壳体的支承结构的图；

图13a～图13c是用于说明具备本发明第五实施例的蒸发源的蒸发源组件的立体图或剖面图。

具体实施方式

以下参照附图详细说明本发明的最佳实施例。下面的实施例是为了能够向本领域技术人员充分传达本发明思想而作为一例提示的。因此，本发明并不限定于下面的实施例，其能有各种变形。图中的层和区域的长度和厚度，为了谋求明确性而可夸张表现。本说明书中相同的参照符合表示相同的结构元件。

图1是表示本发明第一实施例的蒸发源的立体图。

参照附图，在蒸发源100的内部构成蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质且局部被开口。而且设置有用于喷射所述蒸镀物质的具有开口部A的喷嘴部30。所述喷嘴部30的开口部A与蒸镀物质贮藏部的被开口的部分连结。在所述喷嘴部30上设置有把所述喷嘴部30的至少一部分的角部包围的反射板50。

所述反射板50使从所述喷嘴部30放出的热量的一部分进一步向所述喷嘴部30反射。因此，使用所述反射板50能降低所述喷嘴部30的热损失。最好所述反射板50的表面的辐射率(emissivity)低。

所述蒸发源100包括包围所述蒸镀物质贮藏部的壳体60。所述壳体60可包围所述反射板50的一部分。另外，加热部可位于所述壳体60与所述蒸镀物质贮藏部之间。

图2a和图2b是表示本发明第一实施例的蒸发源的剖面图，其是沿图1的切断线I-I′的剖面图。

参照图2a，蒸镀物质10位于具有开口部的蒸镀物质贮藏部20内。所述蒸镀物质10可以是有机物。并且所述蒸镀物质10还可以是导电性物质。

所述蒸镀物质贮藏部20的开口部与喷嘴部30的开口部A连结。加热部40位于所述蒸镀物质贮藏部20的一个或多个侧面上。所述加热部40也可以具备热源和热源支承体。因此，若从所述加热部40向所述蒸镀物质贮藏部20加热，则通过所述热量就使所述蒸镀物质10蒸发，所述被蒸发的蒸镀物质10通过所述喷嘴部30的开口部A向蒸发源的外部喷射。

将所述喷嘴部30的至少一部分角部包围的反射板50位于所述喷嘴部30上。

所述反射板50使从所述喷嘴部30放出的热量的一部分进一步向所述喷嘴部30反射。因此，所述反射的热量进一步向所述喷嘴部30的内部传递，由此，可降低所述喷嘴部30的热损失。因此所述反射板50的表面的辐射率最好低。

所述反射板50可由耐热合金构成。因此，具有对于所述加热部40产生的热量也稳定的热稳定性。另外，所述反射板50可由以镍为主要成分的耐热合金构成。所述反射板50可由铬镍铁合金构成。

所述铬镍铁合金，其耐热性良好，具有即使在大于或等于900℃的氧化气流中也不氧化，在含有硫的大气中也不被浸渍的特性。且伸展强度、拉伸强度、屈服点等的性质对热也具有稳定的特性，所以其机械性质优良，对于有机物和盐类溶液也不腐蚀。因此，其对于所述蒸镀物质10也具有稳定的特性。

位于所述喷嘴部30的开口部A周边的所述反射板50的角部部分B可具有锥角。位于所述喷嘴部30的开口部周边的所述反射板50表面的边缘间隔a1，比所述喷嘴部30的喷嘴宽度a2宽。因此，能有效地防止被蒸发的所述蒸镀物质10在所述反射板50的角部部分B凝缩。另外，通过所述反射板50的形态，可防止所述蒸镀物质10在所述反射板50的边缘处被遮断或被干涉。

所述蒸发源100包括包围所述蒸镀物质贮藏部20的壳体60。所述壳体60可包围所述反射板50的一部分。另外，还可包括位于所述壳体60与所述加热部40之间的反射板55。因此，能进一步减少所述加热部40的热损失，能使热向所述蒸镀物质贮藏部20内传递，增加热效率。

可具有使所述加热部40的热通过辐射而向所述反射板55传递的结构。所述反射板55可具有直接接受所述加热部40的辐射热的结构，能够在所述反射板55与所述加热部40之间设有一定的空间B。

参照图2b，则与所述图2a不同，还可包括位于所述反射板55和所述加热部40之间的导热体42。所述导热体42与所述反射板55连接，接受从所述加热部40辐射的热量，并将热量向所述反射板55传递。向所述反射板55传递的热，通过进一步朝向所述加热部40传递，能提高热效率。

可具有使所述加热部40的热通过传导而向所述反射板55传递的结构。此时，其还能包括位于所述加热部40与所述反射板55之间的导热体42。因此，加热部40产生的热量向所述导热体42传导，向所述导热体42传导的热量则向所述反射板55传导。所述热量通过所述反射板55再次向所述加热部40的方向反射，由此，能够提高热效率。另外，可以没有所述导热体42，直接连结所述加热部40和所述反射板55。

图3是表示本发明第二实施例的蒸发源的剖面图，是沿图1的I-I′线的剖面图。

参照图3，本发明的第二实施例与第一实施例不同，喷嘴部30的前面具有凹凸形状。即喷嘴部30具有中央部比角部部分更突出的结构。所述反射板50位于所述喷嘴部30的比中央部低的角部部分。

所述喷嘴部30的突出的中央部，比所述反射板50表面的高度高。因此，可将从所述喷嘴部30放出的热量有效地向所述蒸发源100内部反射，同时可有效地防止所述蒸镀物质10在所述反射板50的角部部分凝缩。

所述喷嘴部30的突出的中央部，比所述反射板50表面的高度低。因此，使所述反射板50覆盖所述喷嘴部30的面积增加，同时，可防止所述反射板50对所述蒸镀物质10在喷射方向上进出的妨碍。为了有效地喷射所述蒸镀物质10，所述喷嘴部30的突出的中央部与所述反射板50的表面，最好具有小于或等于1mm的高度差。

所述第二实施例的蒸发源，与所述第一实施例同样，也可以还包含位于所述壳体60与所述加热部40之间的反射板55，还可以通过传导或辐射将热量从所述加热部40向所述反射板55传递。另外，可以使导热体42位于所述加热部40与所述反射板55之间。

图4是表示本发明第三实施例的蒸发源的立体图。本实施例在所述实施例1的所述反射板50上还具备覆盖所述反射板50的罩70。所述罩70以不被加热部直接加热的结构安装。因此，能维持比所述喷嘴部30低的温度。所述罩70具备向蒸镀方向突出的突出部75。所述突出部75防止蒸镀物质向侧面扩散。

图5是表示本发明第三实施例的蒸发源的剖面图，是沿图4的I-I线的剖面图。

本实施例在所述实施例1的所述反射板50上还具备覆盖所述反射板50的罩70。所述罩70以不被所述加热部40直接加热的结构安装，这样，能维持比所述喷嘴部30低的温度。因此，所述罩70在不放出高温热量的同时，可将从所述喷嘴部30和所述反射板50放出的辐射热遮断。因此，可防止所述蒸发源100要蒸镀的基板和位于所述基板上的掩模由于所述辐射热而引起的变形。

所述罩70可具备向蒸镀方向突出的突出部75。所述突出部75通过防止所述蒸镀物质10向侧面扩散，而能够防止所述蒸发源100的外部污染。另外，所述突出部75还可有效地从所述蒸发源100散热。

图6是表示包含有本发明实施例的蒸发源的蒸镀装置的剖面图，如图6所示，其具备：成为有机物蒸镀装置500机体的容器300、用于把有机物粒子向基板S上喷射的至少一个有机物蒸发源100。

具有要蒸镀的图形的掩模250位于所述基板S上。所述掩模250可以是高精密金属掩模(fine metal mask)。

容器300通过未图示的真空泵而使内部维持真空状态。在容器300的内部设置有使有机物蒸发源100可在垂直方向上移动的有机物蒸发源移送装置150，使有机物蒸发源100在蒸镀方向上移动。

该有机物蒸发源移送装置150，是适合于在维持真空的容器300中使用的垂直移送装置，其可根据工序条件而调节有机物蒸发源100的移动速度。

该结构具备滚珠丝杠151和使该滚珠丝杠151旋转的电机153，为了引导有机物蒸发源100，还具备导向件152。该有机物蒸发源移送装置150，作为其他实施例使用直线电动机以定速驱动。

而位于容器300内部的基板S，为了进行有机物的蒸镀而位于大致垂直的方向上。其最好相对地面维持大致70°～110°的角度。

在基板S的前面，即有机物蒸发源100与基板S之间，设置有决定被蒸镀的有机物形状的掩模图形M。因此，从有机物蒸发源100蒸发的有机物经由掩模图形M而蒸镀在基板S上，在基板S上形成规定形状的有机膜。

有机物蒸发源100具有如下功能：收容要向容器300内部的基板S上进行蒸镀的有机物，在把收容的有机物进行加热使其蒸发后把它向基板S上喷射，并在基板S上形成有机膜。所述蒸发源100可以是本发明第一实施例～所述第三实施例的蒸发源。

所述蒸发源100，根据本发明的第三实施例，还具备罩70。因此，如前所述，所述罩70能维持比所述喷嘴部30低的温度。因此，由于所述罩70在不放出大量热的同时，可将从所述喷嘴部30和所述反射板50放出的辐射热遮断，所以能减少所述掩模250和所述基板200的温度上升量。由此，可防止所述基板200和所述掩模250由所述蒸发源100的辐射热而引起的变形。

所述蒸发源100可具备在所述罩70上向蒸镀方向突出的突出部75。因此，可使来自所述蒸发源100的散热更有效地进行。即，通过所述突出部75将向所述基板200行进的辐射热再一次遮断，由此能更加提高散热效果。

通过使用所述突出部75防止所述蒸镀物质10向侧面扩散，故可防止所述容器300的内部污染。

图12是表示本发明第四实施例的有机物蒸发源的立体图。图13是沿图12的有机物蒸发源的A-A线的剖面图。

如图所示，有机物蒸发源100具备贮藏有机物且一面开口的壳体60，在壳体60的内部设置有有机物贮藏部20(或叫做坩埚)。

在此，壳体60以大致1～5mm左右的厚度T₂形成。该壳体60具有包围有机物贮藏部20的形态，其起到将有机物贮藏部20与外部环境进行隔离的作用。

有机物贮藏部20为小于壳体60的尺寸，设置在壳体60的内部，确保在与壳体60的开口面同一方向上开口的开口面。

有机物贮藏部20贮藏要向基板S上进行蒸镀的有机薄膜的原材料、即有机物。该有机物贮藏部20由导热性优良的石墨形成，该石墨具有使通过后述加热部40加热的有机物贮藏部20的内部温度维持均匀的优点。即，以工序温度迅速加热的同时，在维持均匀温度的情况下，通过有机物蒸发源100的有效加热来进行薄膜蒸镀。

石墨是六方晶系多孔性物质，其隔热效率非常优良。因此，能稳定维持有机物贮藏部20内部的加热温度，但也可发生有机物的泄漏。

为了防止这点，如图9所示，在有机物贮藏部20上附有防止有机物泄漏部件21。该防止有机物泄漏部件21可附在有机物贮藏部20的内面或外面上，或者内面和外面两面上。可有选择地采用该防止有机物泄漏部件21的涂附面。

这时的防止有机物泄漏部件21可由镍和高熔点金属构成。所谓的高熔点金属是指具有比铁的熔点高的熔点的金属，该高熔点金属中能举出：钨(熔点：3400℃)、铼(3147℃)、钽(2850℃)、钼(2620℃)、铌(1950℃)、钒(1717℃)、铪(2227℃)、锆(1900℃)、钛(1800℃)等。本发明采用它们中的任一种。

防止有机物泄漏部件21可使用氧化物、碳化物、氮化物中的任一种。氧化物更正确地是指除与去了氟元素以外元素的化合物。

本发明对酸性氧化物和碱性氧化物都能采用，最好是使用酸性氧化物。其不易溶于液体，对热具有强的难溶性。碳化物可采用碳化钙及其他种类，氮化物可采用与碳化物进行了合成的物质。

有机物贮藏部20，与壳体60同样地，是由厚度T₄是1～5mm左右的厚度形成的。这样，把壳体60和有机物贮藏部20的厚度设定为小于或等于5mm，是为了进一步提高壳体60和有机物贮藏部20的导热性。

即，该壳体60和有机物贮藏部20的厚度越小就越提高导热性。但小于或等于1mm的厚度，其耐久性恶化，且制造困难，所以在现实上不容易实施。

该壳体60和有机物贮藏部20的厚度即使小，也由于如前所述在有机物贮藏部20上附有防止泄漏部件21，所以在有效地遮断有机物泄漏的同时，进一步提高了导热性。

在有机物贮藏部20的开设口的面的内侧，设置有将从有机物贮藏部20的内部蒸发排出的有机物进行喷射的喷嘴部30，加热部40设置在有机物贮藏部20与壳体60之间。

喷嘴部30起到将从有机物贮藏部20蒸发的有机物粒子向大致垂直设置的基板S上喷射，使有机物粒子蒸镀在基板S上，并决定其分布形态的作用。

喷嘴部30将有机物喷射流路31与防止飞散膜32一体化，其中，有机物喷射流路31把从有机物贮藏部20蒸发的有机物粒子向基板S上喷射；防止飞散膜32防止有机物不作为有机物粒子从机物贮藏部20蒸发，而是组束形态进行飞散。该喷嘴部30由导热性优良的石墨构成。

有机物喷射流路31，向喷射方向侧旁延伸地形成有多个，且该有机物喷射流路31，从喷嘴部30的中央部分越向两侧去则其数字就形成得越密，这样来把有机物向基板S上进行密度均匀的喷射和蒸镀。

石墨如已经说明的那样，能把排出的有机物的温度维持稳定。如图10所示，为了防止有机物泄漏，在喷嘴部30上附有防止有机物泄漏部件33。该防止有机物泄漏部件33，是在喷嘴部30的内面或外面、或内面和外面这两面上附上防止有机物泄漏部件33。

该防止有机物泄漏部件33的涂附面能有选择地采用，其组成与附在所述有机物贮藏部20上的防止泄漏部件21相同。即能使用高熔点金属、氧化物、碳化物、氮化物中的任一种。

喷嘴部30，根据开口的形状能调节有机物粒子喷射的形态，能控制有机物贮藏部20内有机物均匀地蒸发。

加热部40位于有机物贮藏部20与壳体60之间，其起到加热所述有机物贮藏部20的有机物可使其蒸发的作用。这时，加热部40包括：热线，其是能使有机物蒸发的热源；热线支承体，虽然未图示，但其由一种加强肋的形式构成，防止热线下垂而将其收容。

即，加热部40是由热线和热线支承体构成的一种加热通道结构，是加热通道包围有机物贮藏部20的形状。因此，加热部40，不是与有机物蒸发源100的其他结构元件，特别是有机物贮藏部20成为一体，或是安装在其他结构元件上，所以其能独立地进行分离和更换。

有机物蒸发源100还可具备安装在壳体60内壁上的内部热反射板50。该内部热反射板50，用于反射加热部40产生的热，使加热部40的热效率增加。该内部热反射板50的厚度T₃是1～5mm左右。

有机物蒸发源100还可具备安装在喷嘴部30的基板S方向的外部面上的热遮断板80。该热遮断板80通过喷嘴部30放出热量，防止对基板S造成影响。

有机物蒸发源100还可具备设置在壳体60外壁上的隔热部件90。该隔热部件90，防止加热部40产生的热量经由壳体60而向外部放出。该隔热部件90的厚度T₁是1～5mm左右。

该热反射板50、热遮断板80和隔热部件90具有进一步提高有机物蒸发源100热效率的功能。

有机物蒸发源100还可具备未图示的测量装置，其具有测量基板S上蒸镀的有机物的蒸镀率和有机物蒸镀厚度的功能。

如前所述，所述有机物蒸镀装置500为如下结构，即，使有机物贮藏部20位于加热通道结构的加热部40之间，在有机物贮藏部20被开口的部分处插入喷嘴部30，而加热部40插入在壳体60内，是有机物贮藏部20、喷嘴部30和加热部40的分解·组装容易的结构。

利用所述的有机物蒸镀装置500而进行有机膜形成的方法，在以下进行说明。

首先，将基板S相对于地面大致垂直地安装在有机物蒸镀装置500的容器300内，最好其可相对于地面维持70°～100°。

然后，通过加热部40对收容有要向有机物蒸发源100的基板S上蒸镀的有机物的有机物贮藏部20进行加热。这时，贮藏在有机物贮藏部20中的有机物通过加热部40而被加热，以有机物粒子的状态被蒸发。

被蒸发的有机物粒子向喷嘴部30流入，并通过喷嘴部30喷射而蒸镀在基板S上。这时，被蒸镀在基板S上的有机物粒子通过掩模图案M来决定蒸镀形状。

能够通过移送装置150来移动输送有机物蒸发源100，使有机物蒸镀在基板S上，进行更均匀的有机物蒸镀。

喷嘴部30，由于将有机物喷射流路31和防止飞散膜32一体化，所以能防止有机物不作为有机物粒子从有机物贮藏部20蒸发出，而是以组束形态飞散的情况。

由于喷嘴部30是由石墨这样导热性优良的物质构成，所以即使不另外设置加热装置，也能防止通过喷嘴部30喷射的有机物粒子的凝缩。

在有机物粒子向基板S上进行蒸镀时，可根据有机物喷射喷嘴部30的开口形状来调节在所述基板S上进行蒸镀的有机物粒子的形态。在由这种有机物蒸发源100进行有机物蒸镀时，在有机物贮藏部20和喷嘴部30上都附有防止有机物泄漏部件21、353，可有效地防止有机物的泄漏。

这样，本发明的有机物蒸发源由于还具备测量装置(未图示)，故可在把有机物向所述基板S上进行蒸镀期间，测量所述基板S上蒸镀的有机物的蒸镀率和有机物的蒸镀厚度。该测量装置可采用激光传感器等，也可使用其他的各种传感器和处理这些传感器测量数据值的数据处理部和显示测量状态的显示装置。

因此，使用测量装置，在有机薄膜形成期间，通过控制有机物粒子的蒸镀率和有机物的蒸镀厚度，能够实现具有均匀厚度的有机薄膜的再现性。

图11a～图11c是用于说明本发明第五实施例的所述蒸发源的图，是用于说明构成所述蒸发源的贮藏部以及连接在所述贮藏部上的喷嘴部和加热部的支承结构的图。

图11a是限定表示利用支承装置对构成所述蒸发源的贮藏部20、连接在所述贮藏部20上的喷嘴部30以及加热部30进行支承的结构的立体图，其是把上、下部反转表示的图。

参照图11a，本发明的蒸发源包括：贮藏部20，其贮藏蒸镀物质，且一部分被开口；喷嘴部20，其连接在所述贮藏部20上；加热部30，其具有把所述喷嘴部包围的通道形状。在此，所述加热部30能把所述喷嘴部20整体和所述贮藏部的规定部分包围。在此，所述加热部具备：位于一侧面，且支承所述喷嘴部和所述贮藏部的第一支承装置。这时，所述第一支承装置最好与所述贮藏部的规定部分接触。图中，所述第一支承装置是以线状的支承台和点状的支承销相组合的方式表示的，但所述第一支承装置可以由线状的支承台或点状的支承销构成。

这样，通过由所述第一支承装置支承所述贮藏部的规定部分，可把所述第一支承装置引起的损失最小化，所以能维持所述贮藏部整个面的温度均匀性。

在此，图中表示的是，所述贮藏部20通过所述加热部的三个第一支承装置300而被连接支承，但并不限定于此，其也可以具备大于或等于三个的多个第一支承装置。这时，所述贮藏部20在规定部分上形成有凹凸部310。在此，所述凹凸部310最好位于相对所述贮藏部的长度方向的中央部。这时，所述多个第一支承装置中的任一个第一支承装置是可插入在所述贮藏部20的凹凸部310内进行连接和固定的固定-第一支承装置。

所述贮藏部20是贮藏要向所述被蒸镀基板的一个面上进行蒸镀的形成薄膜的蒸镀材料的部分，一般由坩埚构成。所述贮藏部20可由导热度优良的石墨或其等价物来构成，但本发明并不限定其材质。

所述喷嘴部20包括：喷射喷嘴，其把从所述贮藏部20蒸发的蒸镀物质粒子向大致垂直地竖立设置的基板S上喷射，使所述蒸镀物质粒子在所述基板S上进行蒸镀、分布；防止飞散膜，其防止有机物不作为蒸镀物质粒子从贮藏部蒸发，而是以组束的形态飞散，喷嘴部20把喷射喷嘴和防止飞散膜一体化。

所述加热部30起到加热所述贮藏部的蒸镀物质使其能蒸发的作用。所述加热部30，至少具备大于或等于三个的第一支承装置300，起到支承并固定所述贮藏部20和所述喷嘴部20的作用。

图11b是详细地表示图11a的加热部和位于所述加热部一侧的第一支承装置的立体图。

参照图11b，所述加热部30包括：热线41，其是可将所述蒸镀物质蒸发的热源；热线支承体42，其由一种加强肋的形式构成，防止所述热线下垂而将其收容；三个第一支承装置300，其连结在所述热线支承体上，用于支承所述贮藏部。图中表示了三个第一支承装置，但并不限定于此，可以由大于或等于三个的多个第一支承装置构成。

所述加热部30的热线41为了对所述蒸镀物质的蒸发有效地传递热量，而持续反复地形成锯齿状或S字状，并利用所述热线支承体42而被收容，其形状是一种通道形式，所述喷嘴部(图11a的30)以及所述贮藏部(图11a的20)的规定部分则位于通道的内部。

所述第一支承装置300包括：线状的支承台301a、301b、301c，其分别连接在所述热线支承体42的一侧上，能使与所述贮藏部(图11a的20)的接触面积最小化；两个点状的支承销302a、302b、302c、303a、303b、303c，其固定在所述支承台301a、301b、301c上。这时本实施例是作为两个支承销进行说明的，但并不限定于此。在此，所述支承销302a、302b、302c、303a、303b、303c，可具有从圆柱、长方体、圆锥台、三角锥、四角锥构成的群中选择一个的形状。

所述第一支承装置300中任一个第一支承装置，即对在所述贮藏部的长度方向上位于中央的中央部进行支承的第一支承装置300c，最好还具备与支承所述贮藏部的支承销302c不同的，位于所述加热部的热线41内并且支承所述喷嘴部的至少一个支承销303c。这时，可通过不是所述支承销303c的其他支承装置来支承所述喷嘴部。这样，能防止由所述第一支承装置300支承的所述加热部和所述喷嘴部向一个方向倾斜。

固定-第一支承装置的支承销302b、303c最好与位于左右的第一支承装置300a、300b的支承销不同，在所述支承销上具有凹凸部302c。

参照图12a，在所述支承销上形成的凹凸部302c可插入并固定在位于所述贮藏部20中央部的凹凸部310内。或者与附图不同，位于所述贮藏部20中央部的凹凸部310能插入固定在所述支承销上形成的凹凸部302c上。

所述第一支承装置为了防止由连接部热损失的差异而引起的温度不均匀，而由导热率低的物质构成。例如所述第一支承装置最好是由氧化锆或石英(Quartz)构成。

图11c是表示在图11a的后面观察的所述加热部和所述贮藏部以及所述喷嘴部支承形态的概略图。

参照图11c，位于固定-第一支承装置300c的所述支承销302c上的凹凸部304c，插入固定在形成于所述贮藏部20中央部的凹凸部310内，而位于左右的第一支承装置300a、300b具有与所述贮藏部20的一个面接触的结构。即，所述固定-第一支承装置300c插入在所述凹凸部内而被约束，位于左右的第一支承装置300a、300b支承所述贮藏部20的重量，可滑动。这样，所述贮藏部即使由加热而膨胀，所述贮藏部也不会产生翘曲，能防止发生破损。

图12a～图12e是表示本发明第二实施例蒸发源的图，是用于说明连接和支承加热部和所述壳体的支承结构的图。

图12a是概略地表示把所述加热部通过第一支承装置固定连接在所述壳体内部的立体图。

参照图12a，加热部40被收容在局部开口的壳体60内。这时，所述壳体60还具备第二支承装置320，其与所述第一支承装置接触或连结并支承、连接所述加热部。这时，位于所述壳体中央部的第二支承装置320c上，形成有凹凸部。这样，连结在所述加热部上的所述固定-第一支承装置就插入固定在其上。位于左右的第二支承装置320a、320b具有与所述第一支承装置接触并支承其重量的结构。结果，所述加热部40的中央部被所述壳体60的规定部分限制，而左右侧仅支承所述加热部的重量，可滑动。这样，在所述加热部40由于热而膨胀时，可以被防止产生翘曲或发生破损。

虽然未图示，但喷嘴部和与该喷嘴部连结的贮藏部能插入到所述加热部的内部，根据需要，任何时候都能进行分离和更换。

图12b是限定表示图12a的壳体的图。

如图12b所示，所述壳体60具备用于支承所述加热部40的第二支承装置320。

在此，所述第二支承装置320最好与所述加热部的接触面积小。这样，所述第二支承装置320可由线状的支承台321a和/或固定在所述支承台上的点状支承销322a构成。另外，所述第二支承装置为了防止由连接部热损失的差异而引起的温度不均匀，而由导热率低的物质构成。例如所述第二支承装置最好是由氧化锆或石英构成。

这时，位于所述壳体中央的第二支承装置320c的所述支承台321a或所述支承销322a最好具有凹凸部。这时，被固定在所述壳体内部的加热部具有突出部，所述突出部插入固定在所述支承销的凹凸部内。这样，所述加热部具有中央部分被约束固定，左右仅支承重量且可滑动的结构，由此，能防止由热膨胀引起的翘曲现象。

图12c是关于本发明第一实施例的蒸发源的图，是详细表示固定在所述壳体内部的加热部的图。

参照图12c，所述加热部40包括：热线41，其为了对所述蒸镀物质的蒸发有效地传递热，而持续反复地形成锯齿状或S字曲线；热线支承体42，其支承并收容所述热线。

所述加热部40的形状具有一种通道形式，虽然未图示，但喷嘴部或贮藏部的规定部分能位于通道的内部。

在此，所述喷嘴部和与该喷嘴部连接的贮藏部，被收容在所述加热部内，可根据需要而进行分离和更换。即，所述喷嘴部和所述贮藏部通过与所述热线支承体42连接的第一支承装置330而被固定和连结。

所述各个第一支承装置330与位于所述壳体内部的各个第二支承装置320接触，把所述加热部40固定支承在所述壳体60上。

这时，连结在所述加热部的中央部上的固定-第一支承装置330c最好在下部具有凹凸部。这样，就能插入固定在位于所述壳体中央部上的第二支承装置320c上。

在所述壳体的内壁上还可具备内部热反射板55。所述内部热反射板55可插入在所述第二支承装置两侧上形成的沟道内来进行组装。在此，所述内部热反射板55起到将所述加热部产生的热反射而使所述加热部热效率增加的作用。

图12d是图12c的P区域的放大立体图，是用于说明所述壳体和所述加热部的中央地点的支承结构的立体图。

参照图12d，位于所述壳体中央部的第二支承装置320c由线状的支承台321c和在其上部形成有凹凸部的支承销322c构成。另外，位于所述加热部一侧的中央部上的固定-第一支承装置330c在其下部形成有凹凸部335c。这样，所述第二支承装置320c与固定-第一支承装置330c相互插入而固定。

在所述第二支承装置320c的侧面上形成有用于组装内部热反射板的沟道323。

图12e是图12c的Q区域的放大立体图，是用于说明所述壳体和所述加热部的左右地点的支承结构的立体图。

参照图12e，位于所述壳体左侧或右侧的第二支承装置320a由线状的支承台321a和在其上部形成的支承销322a构成。在位于所述加热部一侧的中央部上的固定-第一支承装置330c的下部，设有所述第二支承装置320a，其支承所述加热部的重量。

在所述第二支承装置320a的侧面上形成有用于组装内部热反射板的沟道323。

这样，所述加热部的结构如下，其中央部分被所述壳体的第二支承装置320c和固定-第一支承装置330c约束，其两侧与所述壳体的第二支承装置320a、320b和第一支承装置330a、330b接触而仅支承所述加热部重量，并且能够滑动。这样，能防止由所述加热部热膨胀引起的翘曲。通过使所述加热部与所述壳体的接触面积最小化，能防止由接触部热损失引起的所述加热部的温度不均匀。

图13a～图13c是用于说明具备本发明第二实施例的蒸发源的蒸发源组件的图。

参照图13a，所述蒸发源组件600具备：蒸发源100和收容所述蒸发源的外部壳体62，所述外部壳体具备支承并连结所述蒸发源的第三支承装置。

虽然未图示，但所述蒸发源100由贮藏部、连结在所述贮藏部上的喷嘴部、把所述喷嘴部和所述贮藏部的规定部分包围的加热部以及将上述部件收容的壳体构成，并且具备连接并支承所述结构元件的多个支承部。

在所述外部壳体62上形成有第三支承装置330。在此，所述第三支承装置330由用于防止所述蒸发源100的热损失的最小程度的形状构成，可为线状、点状、或是点、线组合的形状。

为了防止由与所述蒸发源100的连接部的热损失的差异而引起的温度不均匀，由导热率低的物质构成。例如所述第三支承装置最好是由氧化锆或石英构成。

在所述蒸发源100的形成有开口部的下端面规定部分上形成有突起部350。这时，相对于所述蒸发源长度方向在所述突起部350的中央部形成有凹凸部。在此，所述第三支承装置330中的任一个第三支承装置可以是插入在所述凹凸部内并被固定的固定-第三支承装置330c。

这样，所述蒸发源100的中央部就被固定-第三支承装置330c固定，而两侧则由其他的第三支承装置来支承所述蒸发源的重量，能够滑动。这样，在所述蒸发源100由热而膨胀时，就能防止产生翘曲和发生破损的现象。

所述外部壳体62能够由冷却板构成，该冷却板使用制冷剂来防止从位于其内部的蒸发源放出的热向外部放出。

所述外部壳体可分成多个单元，而所述多个单元的各个可具备蒸发源。这样，由于所述各个蒸发源内部具有相同的蒸镀物质并垂直地进行移动，可在基板上蒸镀均匀的薄膜，特别是在适用于大型基板时是有利的。另外，所述各个蒸发源分别在其内部具有相互不同的蒸镀物质时，能够在蒸镀工序期间把两个蒸镀物质混合而蒸镀在所述基板上。

图13b是把图13a的蒸发源组件沿I-I′线剖切的剖面图，即，是所述蒸发源相对于长度方向的中央部的剖面图。

参照图13b，所述蒸发源100通过固定-第三支承装置330c而支承并固定在所述外部壳体62上。

这时，所述蒸发源100在被开口的前面下端的规定部分上形成有突起部350，所述外部壳体的第三支承装置的凹凸部331c则插入固定在所述凹凸部内。在此，通过调整位于所述蒸发源后面的第三支承装置330c′的高度或位于前面的第三支承装置330c的高度，就能调节所述蒸发源的倾斜。由此，能够调节从所述蒸发源放出的蒸镀物质的蒸镀方向。

图13c是把图13a的蒸发源组件沿II-II′线剖切的剖面图，是所述蒸发源左侧部或右侧部的剖面图。

参照图13c，所述蒸发源100通过第三支承装置330b而支承并固定在所述外部壳体62上。这时，所述蒸发源可通过第三支承装置330b来进行接触并支承其重量。

如上所述，如位于所述蒸发源中央部的中心-三支承装置那样，通过调整位于后面的第三支承装置330b′的高度或位于前面的第三支承装置330b的高度，就能调节所述蒸发源100的倾斜。由此，能够调节从所述蒸发源100放出的蒸镀物质的蒸镀方向。

这样，所述蒸发源相对于长度方向的中央部被所述外部壳体的固定-第三支承装置330c约束，其两侧部通过所述外部壳体的第三支承装置330a、330b而仅支承所述蒸发源的重量，能够滑动。由此，能够防止所述蒸发源由热膨胀而引起的翘曲。通过使所述蒸发源和所述外部壳体的接触面积最小化，可防止由接触部热损失引起的所述加热部的温度不均匀。

以上说明的本发明，只要是具有本发明所属技术领域一般知识的人，就能在不脱离本发明技术思想的范围内进行各种置换、变形和变更，所以，其并不限定于上述的实施例和附图内。

Claims (35)

1、一种蒸发源，其特征在于，包括：

壳体，其一面开口；

贮藏部，其位于所述壳体的内部，在其内部贮藏有机物且一面开口；

喷嘴部，其与所述贮藏部的开口的部分连接，喷射蒸镀物；

加热部，其位于所述贮藏部与所述壳体之间。

2、如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述贮藏部由石墨构成。

3、如权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述贮藏部上附有防止泄漏部件。

4、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件附在所述贮藏部的内部。

5、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件附在所述贮藏部的外面。

6、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是镍。

7、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件由钨、铼、钽、钼、铌、钒、铪、锆、钛中的任一种高熔点金属构成。

8、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是氧化物。

9、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是碳化物。

10、如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是氮化物。

11、如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述喷嘴部由石墨构成。

12、如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述喷嘴部上附有所述防止泄漏部件。

13、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件附在所述喷嘴部的内部。

14、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件附在所述喷嘴部的外面。

15、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是镍。

16、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是由钨、铼、钽、钼、铌、钒、铪、锆、钛中的任一种高熔点金属构成。

17、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是氧化物。

18、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是碳化物。

19、如权利要求12所述的蒸发源，其特征在于，所述防止泄漏部件是氮化物。

20、如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述喷嘴部包括：蒸镀物喷射喷嘴，其把蒸镀物粒子喷射在所述基板上；防止飞散膜，其防止所述贮藏部的蒸镀物飞散。

21、如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源还具备安装在所述壳体内壁上的内部热反射板。

22、如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源还具备安装在所述喷嘴部的基板方向外部面上的热遮断板。

23、如权利要求21所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源还具备位于所述加热部的一侧并位于所述贮藏部与所述壳体之间的多个第一支承装置，所述多个第一支承装置与所述贮藏部和所述壳体的各个规定部分接触。

24、如权利要求23所述的蒸发源，其特征在于，所述多个第一支承装置由线状形态、点状形态或是它们的组合形态构成。

25、如权利要求23所述的蒸发源，其特征在于，所述多个第一支承装置中至少一个第一支承装置是固定在所述贮藏部的一侧面中央部的固定-第一支承装置。

26、如权利要求25所述的蒸发源，其特征在于，在所述贮藏部的长度方向上的中央部设置有凹凸部。

27、如权利要求25所述的蒸发源，其特征在于，所述固定-第一支承装置被约束并固定在所述壳体的规定部分上。

28、如权利要求23所述的蒸发源，其特征在于，所述壳体还包括分别与所述多个第一支承装置连结的第二支承装置。

29、如权利要求28所述的蒸发源，其特征在于，所述多个第一支承装置中配置于中央的第一支承装置与所述第二支承装置相互约束并固定。

30、如权利要求28所述的蒸发源，其特征在于，所述第二支承装置还包括：在两侧面部上形成有沟道且通过所述沟道而插入组装的内部热反射板。

31、如权利要求23所述的蒸发源，其特征在于，所述多个第一支承装置还包括支承所述喷嘴部的支承装置。

32、一种蒸发源组件，其特征在于，包括：

如权利要求23所述的蒸发源；

外部壳体，其至少收容一个该蒸发源。

33、如权利要求32所述的蒸发源组件，其特征在于，所述蒸发源组件还包括：位于所述蒸发源与所述外部壳体之间，且把所述蒸发源连结并支承在所述外部壳体上的多个第三支承装置。

34、如权利要求33所述的蒸发源组件，其特征在于，所述多个第三支承装置与所述蒸发源的规定部分接触。

35、如权利要求33所述的蒸发源组件，其特征在于，所述多个第三支承装置包括：固定在所述蒸发源的长度方向上的中央部的固定-第三支承装置。

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