CN112877651A - 蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：储存罐和喷嘴，储存罐包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；喷嘴设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。本公开提供的蒸镀装置，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制。

Description

蒸镀装置

技术领域

本公开涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。

在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

对于蒸镀工艺而言，作为蒸发材料的蒸镀装置是其核心。现目前主流的蒸镀装置主要有坩埚及加热系统沟通。由于蒸镀膜层厚度极薄以及膜层均匀性的高要求，需要从蒸镀装置蒸出材料的速率尽可能稳定，且当出现由于切换监控速率或材料消耗导致的速率波动能够快速恢复。而在传统的蒸镀装置中，热量的动态调节能力始终存在一个瓶颈。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种蒸镀装置，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制。

根据本公开的一个方面，提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：

储存罐，包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；

喷嘴，设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。

在本公开的一种示例性实施例中，所述喷嘴包括第二电加热层与第二绝缘层，所述第二绝缘层包覆所述第二电加热层。

在本公开的一种示例性实施例中，所述蒸镀装置还包括：

冷却套，套设在所述储存罐上，所述冷却套被配置为对所述储存罐进行冷却。

在本公开的一种示例性实施例中，所述罐体设有第一导电孔，所述第一导电孔露出所述第一电加热层；所述喷嘴设有第二导电孔，所述第二导电孔露出所述第二电加热层。

在本公开的一种示例性实施例中，所述冷却套上设有第一接线端与第二接线端，所述第一接线端与所述第一导电孔处露出的所述第一电加热层抵接，所述第二接线端与所述第二导电孔处露出的所述第二电加热层抵接。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一接线端与所述第二接线端为弹性接线端。

在本公开的一种示例性实施例中，所述冷却套包括冷却套本体和设于所述冷却套本体上的第二开口，所述罐体能够通过所述第二开口设于所述冷却套本体形成的腔体中；所述冷却套本体中设有冷却回路，所述冷却回路用于冷却液流动。

在本公开的一种示例性实施例中，所述冷却套本体的材料包括：金属材料。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一电加热层的材料包括：热解石墨。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一绝缘层的材料包括：陶瓷。

本公开提供的蒸镀装置，储存罐的罐体包括第一电加热层，通过第一电加热层能够直接对储存罐的蒸镀材料进行加热，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，实现了热量的动态调节，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制，使得从蒸镀装置蒸出材料的速率更加稳定。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本公开的一种实施例提供的蒸镀装置的截面示意图。

图2为本公开的一种实施例提供的储存罐的截面示意图。

图3为本公开的一种实施例提供的喷嘴的截面示意图。

图4为本公开的一种实施例提供的冷却套的截面示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

本公开提供一种蒸镀装置，如图1-图3所示，该蒸镀装置包括：储存罐20和喷嘴10，储存罐20包括罐体和设于罐体上的第一开口，罐体包括第一电加热层210与第一绝缘层220，第一绝缘层220包覆第一电加热层210；储存罐20被配置储存蒸镀材料；喷嘴10设于储存罐20的开口上，喷嘴10被配置为将储存罐20中的蒸镀材料喷出。

本公开提供的蒸镀装置，储存罐20的罐体包括第一电加热层210，通过给第一电加热层210通电能够产生热量，进而直接对储存罐20的蒸镀材料进行加热，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，实现了热量的动态调节，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制，使得从蒸镀装置蒸出材料的速率更加稳定。

如图2所示，储存罐20的侧壁中通过夹层的方式设有第一电加热层210，第一电加热层210被第一绝缘层220包覆，从而避免第一电加热层210在通电产生热量时产生漏电，进而避免造成蒸镀工艺出现其他问题。本领域技术人员应当理解，该处的第一绝缘层220包覆第一电加热层210，并不是完全将第一电加热层210包覆，第一电加热层210需通过第一绝缘层220接出通电，因此，需至少露出部分第一电加热层210通电。

其中，第一电加热层210可为整层结构，第一电加热层210的材料可包括：热解石墨，热解石墨可在通电后产生高温热量，实现对蒸镀材料的接触式加热。第一电加热层210还可为电热丝通过盘绕形成的结构，电热丝可为铁铬铝电热丝或镍铬电热丝等，通电后产生高温热量，实现对蒸镀材料的接触式加热。

其中，储存罐20可为坩埚，坩埚可由陶瓷材料形成，第一绝缘层220即可为陶瓷材料。本公开对第一绝缘层220的材料不做限制，凡是能够实现同样技术效果的第一绝缘层220的材料，均属于本公开的保护范围。

其中，储存罐20的侧壁中通过夹层的方式设置的第一电加热层210的面积可根据实际需要进行设计，通过设置更大面积的第一电加热层210，能够提高加热速率。

其中，第一电加热层210可在罐体周向上设置完整的一圈，且在储存罐20的高度方向上，第一电加热层210的宽度可相同，以对储存罐20中的蒸镀材料实现均匀加热。

如图3所示，喷嘴10包括第二电加热层110与第二绝缘层120，第二绝缘层120包覆第二电加热层110，本领域技术人员应当理解，该处的第二绝缘层120包覆第二电加热层110，并不是完全将第二电加热层110包覆，第二电加热层110需通过第二绝缘层120接出通电，因此，需至少露出部分第二电加热层110通电。其中，第二电加热层110与第二绝缘层120配合形成喷嘴10的壳体，从而对喷嘴10整体进行加热，实现喷嘴10自发热，自发热式喷嘴10的采用，能够有效杜绝传统蒸镀方式出现的材料生长及堵孔现象，提高蒸镀的可靠性。

具体地，如图3所示，喷嘴10的壳体中通过夹层的方式设有第二电加热层110，第二电加热层110被第人绝缘层包覆，从而避免第二电加热层110在通电产生热量时产生漏电，进而避免造成蒸镀工艺出现其他问题。本领域技术人员应当理解，该处的第二绝缘层120包覆第二电加热层110，并不是完全将第二电加热层110包覆，第二电加热层110需通过第二绝缘层120接出通电，因此，需至少露出部分第二电加热层110通电。

其中，第二电加热层110可为整层结构，第二电加热层110的材料可包括：热解石墨，热解石墨可在通电后产生高温热量，实现对蒸镀材料的接触式加热。第二电加热层110还可为电热丝通过盘绕形成的结构，电热丝可为铁铬铝电热丝或镍铬电热丝等，通电后产生高温热量，实现对蒸镀材料的接触式加热。

其中，喷嘴10的壳体可由陶瓷材料形成，第二绝缘层120即可为陶瓷材料。本公开对第二绝缘层120的材料不做限制，凡是能够实现同样技术效果的第二绝缘层120的材料，均属于本公开的保护范围。

其中，喷嘴10的壳体中通过夹层的方式设置的第二电加热层110的面积可根据实际需要进行设计，通过设置更大面积的第二电加热层110，能够提高加热速率。

其中，第二电加热层110可在喷嘴10的壳体周向上设置完整的一圈，且在喷嘴10的喷射方向上，第二电加热层110的宽度可相同，以对蒸镀材料实现均匀加热。

如图1和图4所示，蒸镀装置还包括：冷却套30，套设在储存罐20上，冷却套30被配置为对储存罐20进行冷却。通过储存罐20上的电加热层与冷却套30配合，能够对蒸镀的材料进行精确的控制，进而能够对材料的蒸镀速率进行更精确地控制，提高了蒸镀速率稳定性及波动恢复速度。

其中，冷却套30包括冷却套本体310和设于冷却套本体310上的第二开口，罐体能够通过第二开口设于冷却套本体310形成的腔体中；冷却套本体310中设有冷却回路330，冷却回路330用于冷却液流动。冷却套30中通过设置中空的冷却回路330，能够防止蒸镀过程中热量散发到蒸镀装置外，且在降温时起到快速降温作用。冷却液可为水，成本低，比热容大。

其中，冷却回路330的多个管路可均匀间隔盘旋设于冷却套本体310中，冷却回路330可设置一路循环回路，也可设置多路循环回路，本公开对此不做限制。

其中，罐体设有第一导电孔，第一导电孔露出第一电加热层210；喷嘴10设有第二导电孔，第二导电孔露出第二电加热层110。如图1和图4所示，冷却套30上设有第一接线端340与第二接线端350，第一接线端340与第一导电孔处露出的第一电加热层210抵接，第二接线端350与第二导电孔处露出的第二电加热层110抵接。

通过第一接线端340与第二接线端350的设置，当储存罐20放入冷却套30时，能够直接通过第一接线端340与第二接线端350将第一电加热层210及第二电加热层110引出通电，装配简单，易于实施。

其中，第一接线端340与第二接线端350为弹性接线端，当第一接线端340与第一导电孔处露出的第一电加热层210抵接，第二接线端350与第二导电孔处露出的第二电加热层110抵接时，第一接线端340与第二接线端350可根据接触力自行调整伸缩量，以保证第一接线端340和第二接线端350分别与第一电加热层210和第二电加热层110紧密接触，提高了蒸镀装置的可靠性。

其中，弹性接线端为可伸缩的金属接触头，当不受外力试压时，弹性接线端伸出最大长度；当受外力挤压时，弹性接线端根据挤压力的大小回缩。弹性接线端的接触端部可呈圆锥形，以便于储存罐20放入冷却套30受力回缩，避免被折断。

其中，冷却套本体310的材料包括：金属材料，例如不锈钢、铁、铝、铜或其合金等，本公开对此不做限制。通过第一接线端340与第二接线端350将第一电加热层210及第二电加热层110引出通电时，将冷却套本体310设置为金属材料，冷却套30可进行导电，从而可通过冷却套30接电直接给第一电加热层210及第二电加热层110供电。

其中，如图1所示，第一接线端340设于冷却套本体310的内侧壁上，可对称设置两个，两个第一接线端340分别通过第一导电孔与第一电加热层210抵接。当然，第一接线端340可设置一个、三个或更多个，均通过第一导电孔与第一电加热层210抵接。

其中，如图1所示，第二接线端350设于冷却套本体310开口的位置处，喷嘴10设于储存罐20的开口上，可对称设置两个，两个第二接线端350分别通过第二导电孔与第二电加热层110抵接。当然，第二接线端350可设置一个、三个或更多个，均通过第二导电孔与第二电加热层110抵接。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

储存罐，包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；

喷嘴，设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴包括第二电加热层与第二绝缘层，所述第二绝缘层包覆所述第二电加热层。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：

冷却套，套设在所述储存罐上，所述冷却套被配置为对所述储存罐进行冷却。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述罐体设有第一导电孔，所述第一导电孔露出所述第一电加热层；所述喷嘴设有第二导电孔，所述第二导电孔露出所述第二电加热层。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却套上设有第一接线端与第二接线端，所述第一接线端与所述第一导电孔处露出的所述第一电加热层抵接，所述第二接线端与所述第二导电孔处露出的所述第二电加热层抵接。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一接线端与所述第二接线端为弹性接线端。

7.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却套包括冷却套本体和设于所述冷却套本体上的第二开口，所述罐体能够通过所述第二开口设于所述冷却套本体形成的腔体中；所述冷却套本体中设有冷却回路，所述冷却回路用于冷却液流动。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却套本体的材料包括：金属材料。

9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一电加热层的材料包括：热解石墨。

10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一绝缘层的材料包括：陶瓷。

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