CN109321883B - 一种蒸镀机 - Google Patents
一种蒸镀机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109321883B CN109321883B CN201811196945.XA CN201811196945A CN109321883B CN 109321883 B CN109321883 B CN 109321883B CN 201811196945 A CN201811196945 A CN 201811196945A CN 109321883 B CN109321883 B CN 109321883B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- baffle
- organic material
- source
- generation source
- generating source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
Abstract
本发明提供一种蒸镀机,包括发生源以及位于所述发生源的侧部的挡板,所述挡板的边侧与所述发生源触接;其中,所述挡板向远离所述发生源方向倾斜向下设置。有益效果:发生源喷射的有机材料有部分回落到挡板上后,有机材料在自身重力作用下向远离发生源方向流动到挡板底部,防止材料通过发生源与挡板之间的间隙进入高温区域的同时,防止高温使有机材料再次发生升华导致产品产生不良。
Description
技术领域
本发明涉及显示器件制造技术领域,尤其涉及一种蒸镀机。
背景技术
有机发光二极管(organic light emitting diode,OLED)具有自发光、低能耗、宽视角、色彩丰富、快速响应及可制备柔性屏等诸多优异特性,引起了科研界和产业界极大的兴趣,被认为是极具潜力的下一代显示技术。作为OLED核心制程蒸镀,用以蒸镀工艺的蒸镀机是现在OLED事业的必争之地,拥有一台量产经验的蒸镀机,可以快速实现量产。
但是现有蒸镀机在source(有机材料发生源)处的设计存在缺陷,由于发生源与挡板之间存有间隙,为了防止发生源喷出的有机材料通过间隙入高温区域,从而导致有机材料高温裂解,现有蒸镀机中,会将挡板的边缘与发生源触接,从而使有机材料回落到挡板上。
但是,由于发生源的温度较高,从而导致挡板与发生源接触的部分温度过高,有机材料回落到挡板上后会再次发生升华,从而会成为该制程中的不良因素,导致产品产生不良。
发明内容
本发明提供一种蒸镀机,以解决本有机材料回落到挡板上后会再次发生升华,从而导致产品产生不良的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
一种蒸镀机,包括:
发生源;以及
位于所述发生源的侧部的挡板,所述挡板的边侧与所述发生源触接;
其中,所述挡板向远离所述发生源方向倾斜向下设置。
优选的,所述蒸镀机还包括与所述挡板触接的冷却件。
优选的,所述冷却件位于所述挡板下方。
优选的,所述冷却件与所述发生源之间设置有间隙。
优选的,所述挡板上涂覆有隔热层。
优选的,所述隔热层由导电材料制成,所述挡板靠近所述发生源的一端配设有供电装置。
优选的,所述隔热层设置于所述挡板靠近所述发生源的一侧。
优选的,所述隔热层上涂覆有由有机材料制成的第一疏油层。
优选的,所述挡板上涂覆有由有机材料制成的第二疏油层。
优选的,所述挡板靠近所述发生源的一端的端面与所述发生源贴合。
本发明的有益效果为:采用挡板倾斜、第一疏油层和电性排斥等多种方式将回落到挡板上的有机材料迅速移动至低温区域沉积,从而有效防止有机材料沉积在高温区域引起再次升华。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一中蒸镀机的结构示意图;
图2为本发明实施例二中蒸镀机的结构示意图。
附图标记:
10、发生源;20、挡板;30、冷却件;40、隔热层;50、第一疏油层;60、第二疏油层;70、加热件。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针对现有的蒸镀机,由于发生源的温度较高,由于热传导导致挡板与发生源接触的部分温度过高,有机材料回落到挡板上后会再次发生升华,从而导致产品产生不良的技术问题,本发明可以解决该问题。
实施例一:
一种蒸镀机,如图1所示,所述蒸镀机包括发生源10以及绕所述发生源10周侧设置的挡板20,所述挡板20的边侧与所述发生源10触接。
其中,所述挡板20向远离所述发生源10方向倾斜向下设置。
发生源10喷射的有机材料有部分回落到挡板20上后,有机材料在自身重力作用下向远离发生源10方向流动到挡板20底部;可以理解的是,距发生源10的距离越远,则温度越低,而挡板20的边侧与发生源10的边侧接触,防止材料通过发生源10与挡板20之间的间隙进入高温区域的同时,防止高温使有机材料再次发生升华导致产品产生不良。
进一步的,所述蒸镀机还包括位于所述挡板20下方且与所述挡板20触接的冷却件30。
通过冷却件30降低所述挡板20的温度,从而防止回落到挡板20上的有机材料发生再次升华。
其中,所述冷却件30与所述发生源10之间设置有间隙。
增加所述冷却件30与发生源10之间的间距,保证发生源10的温度保持较高状态,从而使发生源10正常喷出有机材料,同时节约能耗。
进一步的,所述挡板20上涂覆有隔热层40,且所述隔热层40设置于所述挡板20靠近所述发生源10的一侧
通过隔热层40隔绝热传导,防止由于热传导导致挡板20的温度升高。
具体的,所述隔热层40由导电材料制成,所述挡板20靠近所述发生源10的一端配设有供电装置。
对挡板20进行电镀处理,在挡板20靠近发生源10的一侧电镀上耐热,硬度较高且导电的材料,如镍钨磷,镍钨铁;通过供电装置追加合适的电压,若有机材料带正电,则追加正电压,反之亦然,即使有机材料掉落至挡板20温度较高的位置,由于挡板20倾斜,而且在电斥力的作用下,有机材料会移动至低温区域沉积,从而防止有机材料发生再次升华。
进一步的,所述隔热层40上涂覆有由有机材料制成的第一疏油层50。
在本优选实施例中,第一疏油层50优选为纳米二氧化硅为原材料形成的涂层。
使用化学物质之间同性质排斥的原理,防止有机材料沉积在高温区域引起再次升华。
采用挡板20倾斜、第一疏油层50和电性排斥等多种方式将回落到挡板20上的有机材料迅速移动至低温区域沉积,有效防止有机材料沉积在高温区域引起再次升华。
进一步的,所述冷却件30与所述发生源10之间的间隙下方设置有加热件70,通过加热件70保证发生源10的温度。
进一步的,所述挡板20靠近所述发生源10的一端的端面与所述发生源10贴合。防止挡板20与发生源10之间存有缝隙导致有机材料沉积在缝隙中后发生再次升华。
实施二:
一种蒸镀机,如图2所示,所述蒸镀机包括发生源10以及位于所述发生源10的侧部的挡板20,所述挡板20的边侧与所述发生源10触接。
其中,所述挡板20向远离所述发生源10方向倾斜向下设置。
发生源10喷射的有机材料有部分回落到挡板20上后,有机材料在自身重力作用下向远离发生源10方向流动到挡板20底部,可以理解的是,距发生源10的距离越远,则温度越低,而挡板20的边侧与发生源10的边侧接触,防止材料通过发生源10与挡板20之间的间隙进入高温区域的同时,防止高温使有机材料再次发生升华导致产品产生不良。
进一步的,所述蒸镀机还包括位于所述挡板20下方且与所述挡板20触接的冷却件30。
通过冷却件30降低所述挡板20的温度,从而防止回落到挡板20上的有机材料发生再次升华。
其中,所述冷却件30与所述发生源10之间设置有间隙。
增加所述冷却件30与发生源10之间的间距,保证发生源10的温度保持较高状态,从而使发生源10正常喷出有机材料,同时节约能耗。
进一步的,所述挡板20上涂覆上涂覆有由有机材料制成的第二疏油层60。
在本优选实施例中,所述第二疏油层60优选为纳米二氧化硅为原材料形成的涂层。
使用化学物质之间同性质排斥的原理,防止有机材料沉积在高温区域引起再次升华,同时涂层厚度较薄,不会影响冷却件30与挡板20之间的热传递。
进一步的,所述冷却件30与发生源10之间的间隙下方设置有加热件70,通过加热件70保证发生源10的温度。
进一步的,所述挡板20靠近所述发生源10的一端的端面与所述发生源10贴合。防止挡板20与发生源10之间存有缝隙导致有机材料沉积在缝隙中后发生再次升华。
本发明的有益效果为:采用挡板20倾斜、第一疏油层50和电性排斥等多种方式将回落到挡板20上的有机材料迅速移动至低温区域沉积,从而有效防止有机材料沉积在高温区域引起再次升华。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (8)
1.一种蒸镀机,其特征在于,所述蒸镀机包括:
用于喷射有机材料的发生源;以及
位于所述发生源的侧部的挡板,所述挡板的边侧与所述发生源触接;
其中,所述挡板向远离所述发生源方向倾斜向下设置;所述蒸镀机还包括与所述挡板触接的冷却件,所述挡板上涂覆有隔热层。
2.根据权利要求1所述的蒸镀机,其特征在于,所述冷却件位于所述挡板下方。
3.根据权利要求2所述的蒸镀机,其特征在于,所述冷却件与所述发生源之间设置有间隙。
4.根据权利要求1所述的蒸镀机,其特征在于,所述隔热层由导电材料制成,所述挡板靠近所述发生源的一端配设有供电装置,所述供电装置为所述导电材料提供电压,所述电压的极性与所述有机材料所带电荷的极性相同。
5.根据权利要求1所述的蒸镀机,其特征在于,所述隔热层设置于所述挡板靠近所述发生源的一侧。
6.根据权利要求1所述的蒸镀机,其特征在于,所述隔热层上涂覆有由有机材料制成的第一疏油层。
7.根据权利要求1所述的蒸镀机,其特征在于,所述挡板上涂覆有由有机材料制成的第二疏油层。
8.根据权利要求1所述的蒸镀机,其特征在于,所述挡板靠近所述发生源的一端的端面与所述发生源贴合。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811196945.XA CN109321883B (zh) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 一种蒸镀机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811196945.XA CN109321883B (zh) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 一种蒸镀机 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109321883A CN109321883A (zh) | 2019-02-12 |
CN109321883B true CN109321883B (zh) | 2020-10-27 |
Family
ID=65261975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811196945.XA Active CN109321883B (zh) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 一种蒸镀机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109321883B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113930728A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-14 | 武汉天马微电子有限公司 | 蒸镀装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6237529B1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-05-29 | Eastman Kodak Company | Source for thermal physical vapor deposition of organic electroluminescent layers |
CN103757599A (zh) * | 2014-01-29 | 2014-04-30 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 无机材料真空蒸镀设备 |
CN103834921A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-06-04 | 上海和辉光电有限公司 | 一种蒸发源挡板结构 |
CN104762600A (zh) * | 2015-04-20 | 2015-07-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚和蒸镀装置 |
CN204752840U (zh) * | 2015-07-29 | 2015-11-11 | 海宁市粤海彩印有限公司 | 一种真空镀铝机的蒸发舟 |
CN205774774U (zh) * | 2016-06-22 | 2016-12-07 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种蒸镀装置 |
CN107338410A (zh) * | 2016-04-28 | 2017-11-10 | 佳能特机株式会社 | 真空蒸镀装置以及蒸发源的冷却方法 |
CN109082630A (zh) * | 2018-09-06 | 2018-12-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀装置 |
CN110541146A (zh) * | 2018-05-29 | 2019-12-06 | 佳能特机株式会社 | 蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 |
-
2018
- 2018-10-15 CN CN201811196945.XA patent/CN109321883B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6237529B1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-05-29 | Eastman Kodak Company | Source for thermal physical vapor deposition of organic electroluminescent layers |
CN103757599A (zh) * | 2014-01-29 | 2014-04-30 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 无机材料真空蒸镀设备 |
CN103834921A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-06-04 | 上海和辉光电有限公司 | 一种蒸发源挡板结构 |
CN104762600A (zh) * | 2015-04-20 | 2015-07-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚和蒸镀装置 |
CN204752840U (zh) * | 2015-07-29 | 2015-11-11 | 海宁市粤海彩印有限公司 | 一种真空镀铝机的蒸发舟 |
CN107338410A (zh) * | 2016-04-28 | 2017-11-10 | 佳能特机株式会社 | 真空蒸镀装置以及蒸发源的冷却方法 |
CN205774774U (zh) * | 2016-06-22 | 2016-12-07 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种蒸镀装置 |
CN110541146A (zh) * | 2018-05-29 | 2019-12-06 | 佳能特机株式会社 | 蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 |
CN109082630A (zh) * | 2018-09-06 | 2018-12-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109321883A (zh) | 2019-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106148893B (zh) | 一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板 | |
CN1831185B (zh) | 蒸发源组件及使用该组件的蒸镀装置 | |
KR20070056190A (ko) | 금속판 벨트 증발원을 이용한 선형 유기소자 양산장비 | |
CN104078626B (zh) | 用于oled材料蒸镀的加热装置 | |
CN201751427U (zh) | 一种线性蒸发源 | |
CN109321883B (zh) | 一种蒸镀机 | |
CN108140803A (zh) | 使用颗粒的基板涂覆的方法和实施该方法的装置 | |
JP2012214835A (ja) | 蒸着装置 | |
US9724735B2 (en) | Cleaning method and cleaning apparatus for a mask | |
US10109796B2 (en) | Methods of applying polymers to surfaces and surfaces coated by polymers | |
CN105648404A (zh) | 蒸镀坩埚 | |
WO2015051604A1 (zh) | 蒸镀装置 | |
JP2014067921A (ja) | 太陽電池モジュール | |
WO2019037546A1 (zh) | 蒸镀装置及蒸镀方法 | |
CN108728801A (zh) | 蒸镀装置及蒸镀方法 | |
TW201246651A (en) | Vacuum deposition device and manufacturing method of organic electroluminescent display | |
JP2012521494A (ja) | 原料供給ユニットと原料供給方法及び薄膜蒸着装置 | |
CN106654058B (zh) | 有机材料蒸镀设备和方法 | |
KR101975289B1 (ko) | 유기 발광 소자의 제조 시스템 및 제조 방법 | |
KR102228228B1 (ko) | 고해상도 oled소자 제작용 회전형 면증발원 | |
CN104372296A (zh) | 一种利用电子束蒸发制备金属薄膜的方法 | |
CN114635107A (zh) | 一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源 | |
CN207727136U (zh) | 一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 | |
CN104726839A (zh) | 基板固定装置 | |
KR101852953B1 (ko) | 유기 발광 장치의 제조 시스템과 방법 및 도너 기판 세트 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |