KR102228228B1 - 고해상도 ｏｌｅｄ소자 제작용 회전형 면증발원 - Google Patents

고해상도 ｏｌｅｄ소자 제작용 회전형 면증발원 Download PDF

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황창훈
김성수
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주식회사 올레드온
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Abstract

본 발명은 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원으로서, 고진공 챔버 내에서 기판 상에 유기박막 패턴을 형성함에 있어서, 금속판, 가열판 및 냉각판을 일체로 형성하고, 이를 회전시키면서 금속판에 도너 유기박막을 증착하고 이를 재증발하는 것으로, 기판(2)에 유기박막 패턴을 형성하는 공정을 수행하는 고진공 챔버(1); 상기 고진공 챔버(1)의 내측 일면에 회전가능하게 구비된 내부회전축(72); 상기 내부회전축(72)의 단부에 구비되는 증발모듈(10); 상기 내부회전축(72)과 연결되되, 상기 고진공 챔버(1)의 외측에 구비된 외부회전축(71); 및 상기 외부회전축(71)를 회전시키는 회전모터(70);를 포함하여 구성된다. 본 발명에 따른 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원을 사용함으로써, 기판 상에 유기박막 패턴을 증착함에 있어서, 기판과 마스크 사이에 세도우 현상이 발생하지 않는다는 효과가 있다. 또한, 다수개의 챔버를 구비하지 않아 면증발원을 다수회 이송할 필요가 없고, 증착기를 설치함에 있어서 그 설비비용이 저렴하고, 기판 상에 유기박막 패턴을 형성하는 공정에 소요되는 시간이 짧다는 효과가 있다.

Description

고해상도 ＯＬＥＤ소자 제작용 회전형 면증발원{Rotatable plane evaporation source for high resolution OLED fabracation}
본 발명은 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원으로서, 고진공 챔버 내에서 기판 상에 유기박막 패턴을 형성함에 있어서, 금속판, 가열판 및 냉각판을 일체로 형성하고, 이를 회전시키면서 금속판에 도너 유기박막을 증착하고 이를 재증발하는 것이다.
OLED 디스플레이는 포스트 엘시디(Post LCD) 디스플레이로 간주되어 고해상도 디스플레이용 자체면발광 장치로서, 그 에너지성과 시장성이 입증되어 세계적으로 각광받고 있다. 최근 다양한 분야에서 OLED가 LCD를 대체하고 있으며, 스마트가전 및 스마트전자기기의 보편화와 함께 일상생활의 밀접한 곳에서 OLED 디스플레이가 사용되고 있는 실정이다.
LCD 소자는 LED와 같은 광원이 별도로 필요한 구조로서 얇게 만들거나, 휘어지게 만드는 것에 한계를 가지고 있다. 또한 LCD 소자는 액정분자의 거동이 전기장에 대하여 느리기 때문에 반응속도가 느려서 빠른 동영상 구동이 어렵다. 무엇보다도, LCD는 여러 국가에서 보편화된 공정기술이므로 생산장비만 구입하면 대량생산이 가능하여 저렵함 생산이 가능하다. 이에 점차 상품의 차별성과 고부가가치성이 떨어져가고 있는 상황이다.
반면에, OLED 소자는 유기물질에 전기를 공급하기만 하면 발광현상이 발생하는 자발광 소자로서, 반응속도가 매우 빠르고, 미세 패턴의 구성이 가능하여 back light unit이 필요없는 단순한 구조로, 스마트폰과 대형TV 등에 응용되고 있다.
OLED 소자의 핵심 공정기술 중, 고진공 상태에서 유기물 발광 재료를 기체상태로 증발시켜 기판 상에 유기물 박막을 제조하는 방법에서 열 증발 증착 공정(thermal evaporation deposition)이 주로 사용되고 있다. 열 증발 증착 공정은 유기물을 증발시키기 위한 소스로, 열 복사에 의한 기체 유동 증발 장치인 증발원과 기판을 고정해 주는 기판 홀더와 박막에 유기물을 패턴화하기 위한 오픈 마스크 및 세도우 마스크 등이 고진공 챔버 내에 구비되는 구성을 가진다.
특히 최근에는 OLED 소자의 해상도를 향상시키기 위하여, 기판 상에 증착되는 유기박막 패턴을 더욱 미세하게 제조하는 기술이 필요하게 되었다. 예를 들어, 스마트폰에 사용되는 유기박막소자의 해상도는 400ppi(pixel per inch)로서, 장래에는 1000ppi 이상의 고해상도의 유기박막 소자의 제조를 목표로 하고 있으며, 마이크로 디스플레이에는 2000ppi의 해상도를 가지는 유기박막 소자의 제작을 목표로 하고 있다.
종래의 유기물 증착장비에 사용되는 포인트 소스 또는 선행 소스로부터 분사되는 유기물 기체는 방사형으로 분사된다. 이렇게 퍼짐 각도를 가지는 유기물 기체는 기판보다 선위치하는 마스크를 통과하면서, 기판과 마스크 사이에 세도우 현상이 발생하게 된다. 이러한 세도우 현상으로 인하여 600ppi 이상의 고해상도 유기박막 소자를 제조하는 것에 한계가 있다는 문제점이 있다.
또한, 등록특허공보 제10-1206162호의 “면증발 증착기”에 의하면, 원통형의 증발원으로부터 증발된 유기물이 면증발원 상에 1차 증착되고, 면증발원 상에 증착된 유기물을 재증발하면, 유기물과 마스크 사이의 세도우 현상이 감소하여 2000ppi의 고해상도 유기박막 패턴을 형성하는 것이 가능하다고 기재되어 있다.(기술논문: 물리학과 첨단기술 2018년 4월호, “고해상도 AMOLED 제조용 고진공 증착기술”)
그러나, 이 경우 1차 증착으로 면증발원에 유기물을 증착시킨 후, 면증발원을 다른 챔버로 이송하여 면증발원을 회전시켜 면증발원의 상하방향을 바꾼 뒤, 다시 가열장치가 구비된 또다른 챔버로 이송하고, 면증발을 마친 면증발원을 재사용하기 위하여 냉각챔버로 이송하는 번거로움이 있다.
또한, 이러한 구성은 각 공정을 수행하기 위하여 다수개의 챔버가 필요하고, 면증발원을 이송하기 위한 진공 로봇 또한 구비되어야 하므로, 이러한 종래의 면증발 증착기는 그 설비비용이 상승할 뿐만 아니라 기판 상에 유기박막 패턴을 형성하는 것에 있어 많은 시간이 소요된다는 단점이 있다.
등록특허공보 제10-1206162호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 상에 유기박막 패턴을 증착함에 있어서, 기판과 마스크 사이에 세도우 현상이 발생하지 않는 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다수개의 챔버를 구비하지 않아 면증발원을 다수회 이송할 필요가 없고, 증착기를 설치함에 있어서 그 설비비용이 저렴한 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판 상에 유기박막 패턴을 형성하는 공정에 소요되는 시간이 짧은 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 회전형 면증발원은,
기판(2)에 유기박막 패턴을 형성하는 공정을 수행하는 고진공 챔버(1);
상기 고진공 챔버(1)의 내측 일면에 회전가능하게 구비된 내부회전축(72);
상기 내부회전축(72)의 단부에 구비되는 증발모듈(10);
상기 내부회전축(72)과 연결되되, 상기 고진공 챔버(1)의 외측에 구비된 외부회전축(71); 및
상기 외부회전축(71)를 회전시키는 회전모터(70);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 증발모듈(10)은,
도너 유기박막(21)이 증착되는 금속판(20);
상기 금속판(20)의 배면에 부착되는 가열판(30); 및
상기 가열판(30)의 배면에 부착되는 냉각판(40);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 가열판(30)에 전류를 공급하기 위하여, 상기 내부회전축(72)의 내측에 전원공급장치(32)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 냉각판(40)에 냉각수를 공급하기 위하여, 상기 내부회전축(72)의 내측에 냉각수 공급라인(42)이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 가열판(30)의 내부에는 가열선(31)이 지그재그 형태로 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 냉각판(40)의 내부에는 냉각수라인(41)이 지그재그 형태로 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 내부회전축(72)이 구비된 상기 고진공 챔버(1)의 내벽에는 챔버고정플랜지(50)가 구비되고, 상기 외부회전축(71)이 구비된 상기 고진공 챔버(1)의 외벽에는 외부플랜지(51)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 챔버고정플랜지(50)에는 상기 증발모듈(10)의 증발방향으로 절곡된 QCM센서 고정축(61)이 구비되며, 상기 QCM센서 고정축(61)의 단부에 QCM센서(60)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 외부플랜지(51)의 외면에는 TC포트(22), 전원포트(33), 냉각수포트(43) 및 QCM포트(62)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전형 면증발원에서,
상기 증발모듈(10)은 상기 내부회전축(72)에 의하여 축방향을 기준으로 180도 이상 회전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원을 사용함으로써, 기판 상에 유기박막 패턴을 증착함에 있어서, 기판과 마스크 사이에 세도우 현상이 발생하지 않는다는 효과가 있다.
또한, 다수개의 챔버를 구비하지 않아 면증발원을 다수회 이송할 필요가 없고, 증착기를 설치함에 있어서 그 설비비용이 저렴하다는 효과가 있다.
또한, 기판 상에 유기박막 패턴을 형성하는 공정에 소요되는 시간이 짧다는 효과가 있다.
도1은 본 발명에 따른 회전형 면증발원에 유기물이 증착되고, 면증발원에 증착된 유기물이 기판을 향하여 증발하는 과정을 도시한 도면.
도2는 본 발명에 따른 회전형 면증발원의 구조를 도시한 도면.
도3은 본 발명에 따른 회전형 면증발원이 적용된 고진공 챔버를 도시한 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
도1은 본 발명에 따른 회전형 면증발원에 유기물이 증착되고, 면증발원에 증착된 유기물이 기판을 향하여 증발하는 과정을 도시한 도면, 도2는 본 발명에 따른 회전형 면증발원의 구조를 도시한 도면, 도3은 본 발명에 따른 회전형 면증발원이 적용된 고진공 챔버를 도시한 도면이다.
도1 내지 도3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 고해상도 OLED소자 제작용 회전형 면증발원(100)은, 기판(2)에 유기박막 패턴을 형성하는 공정을 수행하는 고진공 챔버(1), 고진공 챔버(1)의 내측 일면에 회전가능하게 구비된 내부회전축(72), 내부회전축(72)의 단부에 구비되는 증발모듈(10), 내부회전축(72)과 연결되되, 고진공 챔버(1)의 외측에 구비된 외부회전축(71), 및 외부회전축(71)를 회전시키는 회전모터(70)를 포함하여 구성된다.
고진공 챔버(1)는 기판(2) 상에 유기박막 패턴을 형성하는 공정을 수행하기 위한 챔버로서, 분진 등에 의하여 유기박막 패턴의 표면이 고르게 형성되지 않는 것을 방지하기 위하여, 고진공 챔버(1)는 고진공의 상태를 유지한다.
내부회전축(72)은 고진공 챔버(1)의 내측 일면에 회전가능하도록 구비되는 것으로, 도2에는 장방형의 원기둥 형상으로 도시되어 있지만, 이에 한정하지 않고, 단면이 다각형을 가지는 어떠한 형태의 기둥형상을 가지고 있어도 무방하다.
여기서, 내부회전축(72)의 내측에는 가열판(30)에 전류를 공급하기 위하여, 전원공급장치(32)가 구비된다. 또한, 내부회전축(72)의 내측에는 냉각판(40)에 냉각수를 공급하기 위하여 냉각수 공급라인(42)이 구비되며, 금속판(20)의 온도를 측정하기 위하여, 금속판(20)의 가장자리와 접촉하는 TC라인(미도시) 또한 구비된다.
이와 같이, 내부회전축(72)의 내측에 전원공급장치(32) 및 냉각수 공급라인(42)을 구비하기 위하여, 내부회전축(72)의 내측부에는 내부회전축(72)의 축방향을 따라서 통공이 형성되며, 전원공급장치(32), 냉각수 공급라인(42) 및 TC라인(미도시)가 서로 접촉하여 구비되는 것을 방지하기 위하여 통공을 분리하기 위하여 파티션이 구비된다.
증발모듈(10)은 내부회전축(72)의 단부에 구비되는 것으로, 도1에 도시된 바와 같이 증발모듈(10)의 하부에 구비된 제1 유기물 증발원(3)으로부터 증발모듈(10)의 금속판(20)에 도너 유기박막(21)을 증착하고, 증착된 도너 유기박막(21)을 증발모듈(10)의 상부에 구비된 기판(2)으로 재증발하는 것이다.
이와 같은 증발모듈(10)은, 도너 유기박막(21)이 증착되는 금속판(20), 금속판(20)의 배면에 부착되는 가열판(30), 가열판(30)의 배면에 부착되는 냉각판(40)으로 구성되어, 금속판(20), 가열판(30), 냉각판(40)의 순서대로 구성되는 것이 특징이다.
여기서, 금속판(20)은 도너 유기박막(14)이 증착되는 것으로, 금속판(20)은 가열판(30)으로부터 발생된 열을 용이하게 전달받고, 이를 도너 유기박막(21)으로 전달하기 위하여 금속으로 형성되는 것이 바람직하다.
여기서, 도너 유기박막(21)은 제1 유기물 증발원(3)로부터 증발한 유기물이 비행하여 금속판(20)에 증착하게 되고, 금속판(20)에 증착된 도너 유기박막(21)은 기판(2)과 대향된 상태에서 가열판(30)으로부터 전달받은 열에 의하여 재증발하게 된다.
또한, 가열판(30)은 금속판(20)의 배면에 부착되는 것으로, 금속판(20) 상에 증착된 도너 유기박막(21)을 증발시키기 위하여 구비되는 것이다. 가열판(30)의 내부에는 가열선(31)이 지그재그 형태로 구비되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 구비가능하되 가열판(30)의 전체를 달굴 수 있는 형태라면 어떠한 형태를 취하여도 무방하다.
여기서, 가열판(30)의 내부에 구비된 가열선(31)의 양단은, 내부회전축(72)의 내측에 구비된 전원공급장치(32)와 연결되어, 전원공급장치(32)로부터 전달받은 전류를 이용하여 가열선(31)에서 복사열이 발생하게 된다.
또한, 냉각판(40)은 가열판(30)의 배면에 부착되는 것으로, 가열판(30)에 의하여 달구어진 금속판(20)을 냉각시키는 역할을 수행한다. 냉각판(40)의 내부에는 냉각수 라인(41)이 지그재그 형태로 구비되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 구비가능하되 냉각판(40)의 전체를 냉각시킬 수 있는 형태라면 어떠한 형태를 위하여도 무방하다.
여기서, 냉각판(40)의 내부에 구비된 냉각수 라인(41)의 양단은, 내부회전축(72)의 내측에 구비된 냉각수 공급라인(42)과 연결되어, 공급된 냉각수에 의하여 냉각판(40)이 냉각되게 된다.
외부회전축(71)은 내부회전축(72)과 연결되되, 고진공 챔버(1)의 외측에 구비되는 것으로, 외부회전축(71)과 내부회전축(72)은 일체로 형성되거나, 또는 각각 분리되어 형성될 수 있다. 허나, 각각 분리되어 형성되더라도 외부회전축(71)과 내부회전축(72)의 회전rpm은 동일하도록 한다.
내부회전축(72)이 구비된 고진공 챔버(1)의 내벽에는 챔버고정플랜지(50)가 구비되고, 외부회전축(71)이 구비된 고진공 챔버(1)의 외벽에는 외부플랜지(51)가 구비된다.
여기서, 챔버고정플랜지(50)와 외부플랜지(51)의 중심에는 내부회전축(72) 및 외부회전축(71)이 끼움결합될 수 있도록 내부회전축(72) 및 외부회전축(71)의 지름과 동일한 크기를 가지는 통공이 형성된다.
또한, 챔버고정플랜지(50)와 외부플랜지(51) 사이에는 고진공 챔버(1)의 일측 벽이 존재하는데, 이 벽에는 내부회전축(72) 및 외부회전축(71)의 지름과 동일하거나, 또는 지름의 크기가 큰 통공이 형성된다.
이때, 내부회전축(72) 및 외부회전축(71)과 고진공 챔버(1)에 형성된 홀 사이의 틈으로 외부의 분진 등이 유입될 수 있으므로, 회전피드쓰루(52)가 구비되어 고진공 챔버(1)의 진공 리크가 발생하는 것을 방지한다.
여기서, 회전피드쓰루(52)는 오링 또는 페로마그네틱실로 구성되는 것이 바람직하다.
챔버고정플랜지(50)에는 증발모듈(10)의 증발방향으로 절곡된 QCM센서 고정축(61)이 구비되며, QCM센서 고정축(61)의 단부에 QCM센서(60)가 형성된다.
여기서 QCM센서(60)는 금속판(20)에 증착된 도너 유기박막(21)이 기판(2)을 향하여 재증발하는 동안, 유기물의 증발율을 센싱하는 것으로, 도너 유기박막(21)이 기화하는 시작점과 기화가 완료되는 종료점의 신호를 알려주어, 회전모터(70)의 작동을 제어하는 것에 도움을 준다.
또한, 외부플랜지(51)의 외면에는 TC포트(22), 전원포트(33), 냉각수포트(43) 및 QCM포트(62)가 형성된다.
TC포트(22)는 금속판(20)의 가장자리와 접촉된 TC라인(미도시)과 연결되어 금속판(20)의 온도를 측정하고, 전원포트(33)는 내부회전축(72) 내측의 전원공급장치(32)와 연결되어 전류를 공급한다. 또한, 냉각수포트(43)는 내부회전축(72) 내측의 냉각수 공급라인(42)로 냉각수를 공급하는 역할을 하고, QCM포트(62)는 QCM센서(60)와 QCM신호선(미도시)으로 연결되어 도너 유기박막(21)의 기화 시작점과 종료점을 측정한다.
회전모터(70)는 외부회전축(71)과 연결되어, 외부회전축(71) 및 내부회전축(72)을 회전시킴으로써, 내부회전축(72)의 단부에 구비된 증발모듈(10)이 축방향을 따라서 회전하도록 한다.
여기서, 증발모듈(10)은 내부회전축(72)에 의하여 축방향을 기준으로 180도 이상 회전하게 된다.
또한, 내부회전축(72)의 회전 각도는, 내부회전축(72)을 기준으로 제1 유기물 증발원(3)이 구비된 위치와 기판(2)이 구비된 위치의 각도가 될 수 있거나, 그 이상의 각도가 될 수 있다.
본 발명에 따른 회전형 면증발원(100)이 적용된 고진공 챔버(1)를 살펴보면, 도3에 도시된 바와 같이 고진공 챔버(1)는 Zone A와 Zone B로 구분되도록 하는 분리벽(9)이 구비되며, Zone A의 일측면에 회전형 면증발원(100)이 고정구비된다. 그리고, 회전형 면증발원(100)의 증발모듈(10)의 하부측에 제1 유기물 증발원(12)이 구비되고, 증발모듈(10)의 상부측에는 기판(2), 기판(2)의 하부에 구비된 세도우 마스크(7) 및 기판(2)을 홀딩하는 제1 기판 고정판(5)이 구비된다.
또한, Zone B의 하부에는 제2 유기물 증발원(4)이 구비되고, 상부에는 Zone A의 공정을 마친 기판(2)을 고정하는 제2 기판 고정판(6)이 구비되며, 기판(2)의 하부에는 오픈 마스크(8)가 구비된다.
Zone A에서는 증발모듈(10)의 금속판(20)이 하부에 구비된 제1 유기물 증발원(3)과 대향하게 되면, 제1 유기물 증발원(3)으로부터 유기물들을 증발되어 금속판(20) 상에 도너 유기박막(21)이 증착되게 된다. 이후, 회전모터(70)에 의하여 증발모듈(10)은 180도 회전을 하게 되고, 증발모듈(10)의 금속판(20)이 상부에 구비된 세도우 마스크(7) 및 기판(2)을 대향하게 되면, 금속판(20) 상의 도너 유기박막(21)이 가열판(30)의 열에 의하여 재증발하게 되고, 세도우 마스크(7)를 통과한 유기물이 기판(2) 상에 유기박막 패턴을 형성하게 된다. 증발을 마친 금속면(20)은 냉각판(40)에 의하여 냉각되게 된다.
Zone B에서는 Zone A의 공정을 마친 기판(2)이 이송되어 오면, 제2 기판 고정판(6)에 의하여 고정되고, Zone B의 하부에 구비된 제2 유기물 증발원(4)에서 증발된 유기물이 오픈 마스크(8)를 통하여 유기박막 패턴이 형성된 기판(2) 상에 HTL, ETL의 유기박막을 형성하게 된다.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정이나 변형이 가능할 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특히 청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 고진공 챔버 2 : 기판
3 : 제1 유기물 증발원 4 : 제2 유기물 증발원
5 : 제1 기판 고정판 6 : 제2 기판 고정판
7 : 세도우 마스크 8 : 오픈 마스크
9 : 분리벽
10 : 증발모듈 20 : 금속판
21 : 도너 유기박막 22 : TC포트
30 : 가열판 31 : 가열선
32 : 전원공급장치 33 : 전원포트
40 : 냉각판 41 : 냉각수 라인
42 : 냉각수 공급라인 43 : 냉각수포트
50 : 챔버고정플랜지 51 : 외부플랜지
52 : 회전피드쓰루
60 : QCM센서 61 : QCM센서 고정축
62 : QCM포트
70 : 회전모터 71 : 외부회전축
72 : 내부회전축
100 : 회전형 면증발원

Claims (10)

  1. 기판(2)에 유기박막 패턴을 형성하는 공정을 수행하는 고진공 챔버(1);
    상기 고진공 챔버(1)의 내측 일면에 회전가능하게 구비된 내부회전축(72);
    상기 내부회전축(72)의 단부에 구비되는 증발모듈(10);
    상기 내부회전축(72)과 연결되되, 상기 고진공 챔버(1)의 외측에 구비된 외부회전축(71); 및
    상기 외부회전축(71)를 회전시키는 회전모터(70); 를 포함하여 구성되며,
    상기 증발모듈(10)은,
    도너 유기박막(21)이 증착되는 금속판(20);
    상기 금속판(20)의 배면에 부착되는 가열판(30); 및
    상기 가열판(30)의 배면에 부착되는 냉각판(40);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 가열판(30)에 전류를 공급하기 위하여, 상기 내부회전축(72)의 내측에 전원공급장치(32)가 구비되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 냉각판(40)에 냉각수를 공급하기 위하여, 상기 내부회전축(72)의 내측에 냉각수 공급라인(42)이 구비되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 가열판(30)의 내부에는 가열선(31)이 지그재그 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 냉각판(40)의 내부에는 냉각수라인(41)이 지그재그 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 내부회전축(72)이 구비된 상기 고진공 챔버(1)의 내벽에는 챔버고정플랜지(50)가 구비되고, 상기 외부회전축(71)이 구비된 상기 고진공 챔버(1)의 외벽에는 외부플랜지(51)가 구비되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 챔버고정플랜지(50)에는 상기 증발모듈(10)의 증발방향으로 절곡된 QCM센서 고정축(61)이 구비되며, 상기 QCM센서 고정축(61)의 단부에 QCM센서(60)가 형성되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 외부플랜지(51)의 외면에는 TC포트(22), 전원포트(33), 냉각수포트(43) 및 QCM포트(62)가 형성되는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 증발모듈(10)은 상기 내부회전축(72)에 의하여 축방향을 기준으로 180도 이상 회전하는 것을 특징으로 하는 회전형 면증발원.
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