KR20060110451A - 증착용기를 구비하는 증착장치 - Google Patents

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KR20060110451A
KR20060110451A KR1020050032569A KR20050032569A KR20060110451A KR 20060110451 A KR20060110451 A KR 20060110451A KR 1020050032569 A KR1020050032569 A KR 1020050032569A KR 20050032569 A KR20050032569 A KR 20050032569A KR 20060110451 A KR20060110451 A KR 20060110451A
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Abstract

본 발명은, 증착원을 수용할 수 있는 하나 이상의 증착용기가 마련되고 이동 가능한 구조로 구성된 구동수단, 증착용기와 분리되어 상기 증착용기를 가열하는 가열수단, 상기 구동수단과 마주보는 피증착 기판, 상기 피증착 기판을 외부와 격리시키는 챔버를 포함하여, 다양한 모양의 증착용기 구현이 가능하고, 증착원을 담는 증착용기가 회전 및 직선운동 하므로 균일하게 증착원을 증발시킬 수 있으며 보다 효율적이고 빠르게 증착용기를 가열할 수 있는 증착장치를 제공한다.
또한 본 발명은, 피증착 기판의 저면에 결합되어 구동수단의 상측에 위치되는 마스크와, 마스크를 피증착 기판의 저면에 고정시키는 고정클립을 더 포함하여, 피증착 기판에 형성된 증착막의 손상을 방지할 수 있는 증착장치를 제공한다.
증착장치, 증착용기, 불순물용기, 회전, 램프히터

Description

증착용기를 구비하는 증착장치{Evaporation equipment including deposits vessel}
도 1은 종래 증착장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 의한 증착장치 제 1 실시예의 내부 구성을 도시하는 개략도이다.
도 3은 도 2에 도시된 구동수단의 평면도이다.
도 4는 구동수단이 상승된 본 발명에 의한 증착장치 제 1 실시예의 개략도이다.
도 5는 가열수단이 챔버 내부로 위치된 본 발명에 의한 증착장치 제 2 실시예의 개략도이다.
도 6은 구동수단에 불순물용기가 추가된 본 발명에 의한 증착장치 제 3 실시예의 개략도이다.
도 7은 도 6에 도시된 구동수단의 평면도이다.
도 8은 증착용기 내부에 불순물용기가 형성된 본 발명에 의한 증착장치 제 4 실시예의 개략도이다.
도 9는 도 8에 도시된 구동수단의 평면도이다.
도 10은 증착용기가 십자 형상으로 형성된 구동수단의 평면도이다.
도 11은 외주면으로 갈수록 증착용기의 폭이 넓게 형성되는 구동수단의 평면도이다.
도 12는 외주면으로 갈수록 지름이 커지는 다수의 증착용기가 마련되는 구동수단의 평면도이다.
도 13은 구동수단과 피증착기판과 마스크가 수직으로 세워지는 본 발명에 의한 증착장치 제 5 실시예의 개략도이다.
도 14는 도 13에 도시된 증착용기의 사시도이다.
도 15는 구동수단이 피증착기판의 상측에 위치하는 본 발명에 의한 증착장치 제 6 실시예의 개략도이다.
도 16은 열차폐용 벨로우즈가 마련된 본 발명에 의한 증착장치 제 7 실시예의 개략도이다.
도 17은 도 15에 도시된 증착용기와 벨로우즈의 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 구동수단 110 : 증착용기
120 : 불순물용기 200 : 피증착 기판
300 : 마스크 400 : 고정클립
500 : 램프 히터 600 : 챔버
본 발명은 피증착 기판에 증착원을 균일하게 증착시킬 수 있는 이동식 가열용기를 구비하는 증착장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 증착원을 담는 증착용기를 회전 및 직선운동 시킴으로써 피증착 기판에 증착원을 균일하게 증착시킬 수 있도록 구성되는 증착장치에 관한 것이다.
증착원을 증착시키는 공정은 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)나 반도체 웨이퍼 제조 시 패턴 형성을 위해 유기물질을 증착시킬 때에도 많이 활용되고, 액정표시장치나 반도체 웨이퍼뿐만 아니라 코팅이나 전자회로 패턴 형성이 요구되는 각종 제품의 제조공정에도 널리 활용되고 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래의 증착장치의 실시예를 설명한다.
도 1은 종래 증착장치의 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래의 증착장치는, 회전 가능한 구조로 구성되는 베이스 지그(10)와, 베이스 지그(10)의 저면에 결합되는 피증착 기판(20)과, 피증착 기판의 저면에 결합되는 마스크(30)와, 베이스 지그(10)와 피증착 기판(20)과 마스크(30)를 고정시키는 고정클립(40)과, 내부에 열선(52)이 구비되어 내측에 담겨진 증착원(D)을 증발시켜 피증착 기판(20)에 증착시키는 증착용기(50)를 포함하여 구성된다.
증발된 증착원이 효과적으로 피증착 기판(20)에 증착되도록 하기 위하여 상기 각 부는 챔버(60)에 의해 외부와 격리되고, 열선(52)은 피드스루 (Feedthrough)(50)를 통하여 챔버 외부와 회로적으로 연결되는 전선(54)에 의해 전원을 인가받도록 구성된다.
증착용기(50)에 의해 증발된 증착원(D)은 마스크(30)의 패턴에 따라 피증착 기판(20)에 증착되는데, 피증착 기판(20)의 저면에 증착원(D)이 균일하게 증착될 수 있도록 피증착 기판(20)과 증착용기(50) 중 어느 하나가 수직축을 중심으로 회전하거나 수평방향으로 직선운동을 하도록 구성됨이 바람직하다. 그러나 증착용기(50)는 열선(52)에 전기를 공급하는 전선(54)을 끌고 다니기 때문에 회전 운동이 불가하며 직선운동 시에는 많은 파티클을 발생시킨다는 문제점이 있으므로, 증착용기(50)는 고정되고 피증착 기판(20)이 회전하거나 이동하는 구조로 구성된다.
그러나, 이와 같이 피증착 기판(20)이 회전을 하거나 이동을 하는 경우, 약간의 흔들림만 발생되더라도 피증착 기판(20)과 마스크(30)의 위치가 변경되어 피증착 기판(20)에 도포된 증착원(D)이 손상된다는 문제점이 있었다.
또한, 증착용기(50)는 열선(52)에 의해 가열되는 구성되어 있으므로 각 부위의 온도를 균일하게 유지하기 어려울 뿐만 아니라 증착원(D)을 증발시킬 수 있는 온도까지 가열되는데 많은 시간이 소요되며, 이와 같은 문제 때문에 증착용기(50)의 형상에도 많은 제약이 발생된다.
또한, 종래의 증착장치는 피증착 기판(20)과 마스크(30)를 베이스 지그(10)에 결합시켜야 하고 챔버(60) 내부에 있는 증착용기(50)에 전원을 인가해야 하므로, 그 구조가 복잡해지고 제조 방법이 어렵다는 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 증착원을 가열하기 위한 증착용기가 회전 및 직선운동이 가능하도록 구성되어 보다 균일하게 증착원을 증발시킬 수 있으고, 증착용기를 보다 빠르게 가열할 수 있으며, 피증착 기판에 증착된 증착막이 손상되지 아니하도록 구성되는 증착장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의한 증착장치는, 증착원을 수용할 수 있는 하나 이상의 증착용기가 마련되고, 이동 가능한 구조로 구성된 구동수단; 증착용기와 분리되어 상기 증착용기를 가열하는 가열수단; 상기 구동수단과 마주보는 피증착 기판; 상기 피증착 기판을 외부와 격리시키는 챔버를 포함한다.
상기 가열수단은 램프 히터로 적용되고, 상기 구동수단은 회전운동하며, 증착용기는 상기 구동수단의 회전축으로부터 이격되도록 마련됨이 바람직하다.
증착용기의 장축은 상기 구동수단 회전축에 방사선방향으로 형성되고, 상기 증착용기는 상기 구동수단 회전축과 멀어질수록 폭이 넓어지게 형성된다.
또한 상기 구동수단은, 수평 또는 수직 회전운동하며 상기 구동수단의 회전운동시, 상기 증착용기의 개구부는 항상 상부를 향하도록 구성할 수 있다.
또한 구동수단은 상기 증착원의 입출입이 가능한 내부공간과 상기 피증착 기 판을 향해 다수의 방출구가 형성되며 상기 구동수단의 내부 공간으로 캐리어가스를 유입시키기 위하여, 상기 구동수단의 회전축 내부에 가스유입구가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 구동수단은 수평직선운동 할 수 있으며 차폐수단이 상기 가열수단과 상기 피증착기판 사이에 설치되며, 상기 증착용기의 입구만을 노출시킬 수 있다.
상기 증착용기는 상기 구동수단의 운동방향과 직각을 이루도록 선형으로 형성되고, 상기 가열수단은 상기 구동수단의 운동방향과 직각을 이루도록 선형으로 나란히 배열되는 것이 바람직하다.
또한 상기 가열수단은 상기 증착용기와 대응되는 일부에만 전원이 인가되도록 구성됨이 바람직하다.
상기 가열수단은 상기 챔버 외부의 측부, 상부, 하부 중 최소한 하나 이상에 설치할 수 있으며 상기 챔버는 증착용기와 가열수단 사이에 가열수단의 열이 투과 가능한 투과창이 마련될 수 있다.
상기 구동수단은 상기 피증착 기판에 증착되는 불순물을 담기 위한 하나 이상의 불순물용기를 더 포함할 수 있으며 상기 구동수단과 상기 증착 기판은 상호 간격이 조절 가능한 구조로 구성된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 증착장치의 실시예를 설명한다.
도 2는 본 발명에 의한 증착장치 제 1 실시예의 내부 구성을 도시하는 개략 도이고, 도 3은 도 2에 도시된 구동수단의 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 증착장치는, 증착원을 수용할 수 있는 증착용기(110)의 개구부가 상면에 마련되어 피증착 기판(200)의 하측에 위치되는 구동수단(100)과, 구동수단(100)의 하측으로 일정 간격 이격되도록 위치되어 구동수단(100)을 가열하는 가열수단을 포함하여 구성된다. 증착원을 용이하게 공급하기 위해서는 증착용기가 구동수단에 분리될 수 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 의한 증착장치는 상기 증착장치와, 피증착 기판(200)과 구동수단(100) 사이에 위치되는 마스크(300)와, 마스크(300)를 피증착 기판(200)의 저면에 고정시키는 고정클립(400)과, 증착용기(110)와 피증착 기판(200)을 외부와 격리시키는 챔버(600)를 포함하여 구성된다.
가열수단은, 온도 조절에 의한 발열량 변화가 빠르기 때문에 증착시간을 단축시킬 수 있고 전력 및 증착원의 낭비를 절감시킬 수 있으며 유지 및 보수 시 증착용기(110)의 냉각시간을 단축시킬 수 있는 램프히터(500)로 적용됨이 바람직하다. 상기와 같이 가열수단이 램프히터(500)로 적용되면, 부위별로 온도 조절이 가능하므로 증착용기(110)를 가열하는데 소요되는 에너지 효율을 증대시킬 수 있고 증착원을 증발시키는 방법을 다양하게 구현할 수 있으며, 증착용기(110)와 가열수단을 분리시킬 수 있으므로 증착용기(110)의 형상을 보다 다양하게 구현할 수 있다는 장점이 있다. 이와 같이 가열수단이 챔버 외부에 램프히터(500)로 적용되는 경우, 램프히터(500)로부터 발산되는 빛이 증착용기(110)로 전달될 수 있도록 챔버(600)는 증착용기(110)와 램프히터(500) 사이에 글래스(Glass)나 석영판과 같은 재 질의 투과창(610)이 구비된다. 또한, 램프히터(500)는 증착용기(110)의 위치에 관계없이 증착용기(110)를 균일하게 가열할 수 있도록 구동수단(100)의 회전축을 중심으로 방사형으로 배열됨이 바람직하다.
램프히터(500)에 의해 증착용기(110)가 가열되면, 증착용기(110) 내부에 담겨진 증착원은 증발되어 마스크(300)를 거쳐 피증착 기판(200)에 증착되고, 이에 따라 피증착 기판(200)의 저면에는 증착막이 형성된다. 마스크(300)는 피증착 기판(200)에 형성될 패턴에 맞게 천공되도록 형성되므로, 사용자는 마스크(300)를 교체함으로써 피증착 기판(200)의 저면에 형성되는 증착막의 형상을 변경시킬 수 있다.
증착용기(110)가 고정되고 피증착 기판(200)과 마스크(300)가 회전되는 종래의 증착장치와는 반대로, 본 발명에 의한 증착장치는 피증착 기판(200)과 마스크(300)가 고정되고 증착용기(110)가 마련된 구동수단(100)이 수직 중심축을 회전축으로 회전하도록 구성되어 있으므로, 피증착 기판(200)에 형성된 증착막이 손상될 우려가 없다. 이때, 증착용기(110)가 구동수단(100)의 중앙부에 형성되면, 구동수단(100)이 회전을 하더라도 증착용기(110)에서 증발되는 증발원이 피증착 기판(200)의 중심부위에만 집중적으로 증착되므로 증착막의 전체 두께가 균일하게 형성되지 않을 수 있다. 따라서 증착용기(110)는 도 3에 도시된 바와 같이 구동수단(100)의 회전중심과 끝단 사이에 마련됨이 바람직하다.
도 3에 도시된 바와 같이 구동수단(100)의 회전중심과 끝단 사이에 증착용기(110)가 마련되면 증착용기(110)는 구동수단(100)의 회전축을 중심으로 공전을 하므로, 피증착 기판(200)은 저면 전체에 증착원이 균일하게 증착된다. 또한, 본 발 명에 의한 증착장치의 구동수단(100)은 회전운동뿐만 아니라 수평방향으로의 이송도 가능하도록 구성될 수 있다. 증착원이 증발되는 동안 구동수단(100)이 회전 및 수평방향으로 이송 가능하도록 구성되면 증착용기(110)의 위치 궤적은 더욱 다양해지므로, 사용자는 더욱 균일하게 피증착 기판(200) 저면에 증착원을 증착시킬 수 있게 된다.
본 실시예에서는 고정클립(400)이 피증착 기판(200)의 상면 끝단과 마스크(300)의 저면 끝단을 움켜쥐도록 구성되어 있으나, 고정클립(400)의 구조는 이에 한정되지 아니하고 피증착 기판(200)과 마스크(300)의 위치를 고정시킬 수 있는 구조라면 다양하게 변경될 수 있다.
도 4는 구동수단이 상승된 본 발명에 의한 증착장치 제 1 실시예의 개략도이다.
피증착 기판(200)과 증착용기(110) 사이의 거리가 너무 먼 경우 증착효율이 저하되고, 피증착 기판(200)과 증착용기(110) 사이의 거리가 너무 가까운 경우에는 증착원의 증착이 한군데에 집중될 수 있으므로, 피증착 기판(200)과 증착용기(110) 사이의 거리는 증착 조건에 따라 조절될 수 있어야 한다. 본 발명에 의한 증착장치는 증착막 보호를 위해 피증착 기판(200)이 고정되므로, 피증착 기판(200)과 증착용기(110) 사이의 거리조절이 가능하도록 도 4에 도시된 바와 같이 구동수단(100)이 수직 방향으로 승하강될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.
따라서 사용자는 본 발명에 의한 증착장치를 사용하면, 증착조건에 따라 구 동수단(100)을 승하강시킴으로써 피증착 기판(200)과 증착용기(110) 사이의 거리를 용이하게 조절할 수 있으므로, 보다 효율적이고 정밀하게 증착공정을 수행할 수 있다.
도 5는 가열수단이 챔버 내부로 위치된 본 발명에 의한 증착장치 제 2 실시예의 개략도이다.
증착용기(110)를 가열하기 위한 가열수단은 도 2에 도시된 제 1 실시예와 같이 챔버(600) 외부에 위치될 수도 있고, 도 5에 도시된 제 2 실시예와 같이 챔버(600) 내부에 위치될 수도 있다.
도 2에 도시된 제 1 실시예와 같이 가열수단이 챔버(600) 외부에 위치되면 가열수단의 설치가 간단해진다는 장점이 있고, 도 5에 도시된 제 2 실시예와 같이 가열수단이 챔버(600) 내부에 위치되면 가열수단에 전원을 인가하기 위한 전선이 챔버(600)를 관통하여 인입되어야 하므로 그 구조가 복잡해지기는 하지만 증착용기(110)가 열효율을 증대시킬 수 있다는 장점이 있다. 따라서 가열수단이 설치되는 위치는 사용자의 선택에 따라 변경될 수 있다.
도 6은 구동수단에 불순물용기가 추가된 본 발명에 의한 증착장치 제 3 실시예의 개략도이고, 도 7은 도 6에 도시된 구동수단의 평면도이다.
반도체 제조 시에는 화학적 불순물이 추가되어야 하는데, 제 1 실시예에 따른 증착장치의 경우에는 구동수단(100)에 하나의 증착용기(110)만이 마련되어 증착 원 이외의 물질을 함께 증착할 수 없다. 따라서 본 발명에 의한 증착장치는 화학적 불순물 즉, 증착원과 다른 물질을 증착원과 함께 피증착 기판(200)에 증착시킬 수 있도록 도 6 및 도 7에 도시된 제 3 실시예와 같이 구동수단(100) 상면에 불순물용기(120)가 추가로 마련될 수 있다.
이때 불순물용기(120)는 불순물의 종류나 양에 따라 개수가 증감될 수 있으며, 도 7에 도시된 바와 같이 다수의 불순물용기(120)가 마련되는 경우 피증착 기판(200)의 저면에 균일하게 불순물을 증착시킬 수 있도록 각 불순물용기(120)는 구동수단(100)의 중심으로부터의 거리가 서로 다른 지점에 형성됨이 바람직하다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이 증착용기(110)가 구동수단(100)의 중심점과 이격되도록 형성되는 경우에는 피증착 기판(200)의 저면에 균일하게 증착원을 증착시키기 어렵다. 따라서 증착용기(110)는 피증착 기판(200)의 저면에 증착원을 균일하게증착시킬 수 있도록 구동수단(100)의 중심점을 관통하여 구동수단(100)의 지름을 따라 길게 형성되거나, 도 7에 도시된 바와 같이 구동수단(100)의 중심점부터 반지름을 따라 길게 형성될 수도 있다. 이와 같이 증착용기(110)의 수평단면이 구동수단(100)의 반지름 또는 지름을 따라 길게 형성되면 증착원을 보다 균일하게 피증착 기판(200)의 저면에 증착시킬 수 있게 된다.
도 8은 증착용기 내부에 불순물용기가 형성된 본 발명에 의한 증착장치 제 4 실시예의 개략도이고, 도 9는 도 8에 도시된 구동수단의 평면도이다.
구동수단(100)에 마련되는 물순물 도가니는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같 이 증착용기(110)와 분리되도록 형성될 수도 있고, 도 8 및 도 9에 도시된 제 4 실시예와 같이 증착용기(110) 내부에 형성될 수도 있다.
이와 같이 불순물용기(120)가 증착용기(110) 내부에 형성되면, 증착원과 불순물이 피증착 기판(200)에 증착되기 이전에 잘 혼합된다는 장점이 있다.
이때 불순물용기(120)의 위치 및 개수는 상기 언급된 실시예에 한정되지 아니하고 증착조건에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
도 10은 증착용기가 십자 형상으로 형성된 구동수단의 평면도이고, 도 11은 외주면으로 갈수록 증착용기의 폭이 넓게 형성되는 구동수단의 평면도이며, 도 12는 외주면으로 갈수록 지름이 커지는 다수의 증착용기가 마련되는 구동수단의 평면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이 증착용기(110)가 구동수단(100)의 반지름을 따라 길게 형성되는 경우에는 증착원의 증발량이 부족할 수 있고, 도 9에 도시된 바와 같이 증착용기(110)가 구동수단(100)의 상면 전체에 형성되는 경우에는 증착원의 증발량이 과도할 수 있으므로, 본 발명에 적용되는 증착용기(110)의 형상은 정사각형 또는 정사각형뿐만 아니라 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이 다양한 형상으로 변경될 수 있다.
도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이 증착용기(110)의 수평단면 즉, 구동수단(100) 회전축과 직각 방향의 단면이 방사형을 이루도록 형성되면, 증착원의 증발량이 과도해지는 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피증착 기판(200) 저면에 균일하게 증착원을 증착시킬 수 있게 된다.
또한, 증착원이 증착용기(110)의 각 부위에서 동일한 양으로 증발된다 하더라도 구동수단(100)이 회전축에 가까운 부위보다 외측 끝단에 가까운 부위가 빠른 각속도로 회전하므로, 피증착 기판(200)은 증착용기(110)와 마주보는 시간이 긴 지점 즉, 구동수단(100)의 회전축에 가까운 지점일수록 더 많은 양의 증착원이 증착된다. 따라서 도 10에 도시된 바와 같이 증착용기(110)가 '+'자 형상으로 형성되는 경우, 피증착 기판(200)의 중심부에 증착원이 다량 증착될 수도 있다.
상기와 같은 우려를 해소하기 위하여, 증착용기(110)는 피증착 기판(200)의 각 부위와 마주보는 시간이 모두 동일하도록 도 11에 도시된 바와 같이 수평단면이 외측으로 갈수록 폭이 넓어지게 형성될 수 있다.
이와 같이 증착용기(110)의 수평단면이 외측으로 갈수록 폭이 넓어지면, 피증착 기판(200) 각 지점과 증착용기(110)가 마주보는 시간이 동일해지므로, 피증착 기판(200)의 저면에 증착원이 균일하게 증착된다.
또한, 증착용기(110)는 도 12에 도시된 바와 같이 외주면으로 갈수록 지름이 커지도록 구동수단(100)의 상면에 다수 개 마련될 수도 있다. 이와 같이 증착용기(110)를 다수 형성시키면 각 증착용기(110)에 보다 많은 종류의 증착원을 각각 수용할 수 있으므로, 보다 다양한 증착효과를 얻을 수 있다는 장점이 있다.
도 13는 구동수단과 피증착기판과 마스크가 수직으로 세워지는 본 발명에 의한 증착장치 제 5 실시예의 개략도이고, 도 14은 도 13에 도시된 증착용기의 사시 도이다.
구동수단(100)과 피증착기판(200)과 마스크(300)가 수직으로 세워지도록 구성되는 경우, 증착용기(110)는 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이 외측면 상측 양단에 걸림돌기(114)가 형성되고, 구동수단(100)은 내부공간의 측벽에 걸림돌기(114)의 지름보다 큰 돌기홈(103)이 형성되도록 구성된다. 구동수단(100)은 증착용기(110)의 인입이 가능한 내부공간이 마련되고, 증발된 증착원이 피증착 기판(200)으로 전달될 수 있도록 피증착 기판(200)을 향한 측벽에 다수의 방출구(101)가 형성된다.
증착용기(110)는 걸림돌기(114)가 돌기홈(103)에 삽입됨으로써 구동수단(100) 내부공간에 결합되고, 걸림돌기(114)은 돌기홈(103)에 삽입된 상태에서 회전 가능하므로 구동수단(100)이 회전을 하더라도 증착용기(110)의 개구부는 항상 상측을 향하게 되므로 증착원이 증착용기(110) 외부로 쏟아지지 아니하게 된다.
구동수단(100) 내부공간에 결합되는 증착용기(110)의 개수 및 결합위치는 사용자의 편의 및 증착조건에 따라 자유롭게 변경될 수 있다.
도 15는 구동수단이 피증착기판의 상측에 위치하는 본 발명에 의한 증착장치 제 6 실시예의 개략도이다.
본 발명에 의한 증착장치는 도 15에 도시된 바와 같이 구동수단(100)이 피증착 기판(200)의 상측에 위치되도록 구성될 수 있는데, 이때 구동수단(100)은 내부 공간이 마련되고 내부 공간의 바닥면에 다수의 방출구(101)가 형성되며, 증착용기 (110)는 구동수단(100)의 내부 공간에 장착된다. 또한, 램프히터(500)는 증착용기(110)와 가까운 측 즉, 챔버(600)의 상단에 위치됨이 바람직하다.
증착용기(110)에서 증발된 증착원은 확산에 의해 방출구(101)를 거쳐 피증착 기판(200)에 증착되는데, 증착원의 확산속도 및 증착효율을 증가시키기 위하여 도 17에 도시된 바와 같이 캐리어가스가 구동수단(100) 내부로 공급될 수 있다. 이때 캐리어가스는 구동수단(100)의 회전축 내부에 형성된 가스유입구(104)를 통해 구동수단(100) 내부로 인입된 후 방출구(101)를 통해 구동수단(100) 외부로 방출되며, 증착원은 상기 캐리어가스를 따라 빠른 속도로 증착원을 향해 이송된다.
도 16은 열차폐용 벨로우즈가 마련된 본 발명에 의한 증착장치 제 7 실시예의 개략도이고, 도 17은 도 16에 도시된 증착용기와 벨로우즈의 평면도이다.
본 발명에 의한 증착장치는 증착용기(110)를 직선으로 왕복시키기는 이송수단(미도시)과 증착용기(110)의 외측면에 결합되어 램프히터(500)의 열이 확산되지 아니하고 효과적으로 증착용기(110)를 가열시킬 수 있도록 열을 차폐하는 벨로우즈(116)가 추가로 결합될 수 있다.
상기와 같은 구조로 결합되는 벨로우즈(116)는, 증착용기(110)가 보다 빠르게 가열되도록 램프히터(500)로부터 발생되는 열이 벨로우즈(116)의 상측으로 빠져나가는 현상을 방지할 뿐만 아니라, 증착용기(110)의 이송경로를 가이드하는 역할도 함께 한다. 이때, 증착용기(110)는 증착원이 보다 균일하게 피증착 기판(200)에 증착되도록 이송방향과 직각 방향으로 길게 형성되고, 램프히터(500)는 증착용기 (110)를 균일하게가열할 수 있도록 증착용기(110)와 평행하게 마련됨이 바람직하다.
또한 램프히터(500)는 에너지 절약을 위하여, 증착용기(110)가 이동함에 따라 증착용기(110) 저면과 대응하게 되는 일부의 램프히터(500)만이 점등될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.
챔버(600) 내부에는 증착용기(110)의 이송방향을 따라 가이드레일(620)이 마련되고, 증착용기(110)는 이송방향과 직각인 방향으로 돌출되어 가이드레일(620)을 따라 슬라이딩되는 가이드돌기(118)를 구비한다. 따라서 증착용기(110)는 가이드레일(620)을 따라서 이송되며, 이때 증착용기(110)는 이송방향과 직각 방향으로 소정거리만큼 위치 조정이 가능하도록 구성됨이 바람직하다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
본 발명에 의한 회전식 증착장치는, 증착원을 가열하기 위한 가열수단이 증착용기와 분리되어 있어 다양한 모양의 증착용기 구현이 가능하고, 증착용기가 회 전 및 직선운동 되므로 균일하게 증착원을 증발시킬 수 있으며, 램프 히터를 이용하므로 보다 효율적이고 빠르게 증착용기를 가열할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 의한 증착장치를 사용하면, 피증착 기판이 고정되므로 피증착 기판에 형성된 증착막의 손상을 방지할 수 있다는 장점이 있다.

Claims (20)

  1. 증착원을 수용할 수 있는 하나 이상의 증착용기가 마련되고, 이동 가능한 구동수단;
    상기 증착용기와 분리되어 상기 증착용기를 가열하는 가열수단;
    상기 구동수단과 마주보는 피증착 기판;
    상기 피증착 기판을 외부와 격리시키는 챔버;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가열수단은 램프 히터인 것을 특징으로 하는 증착장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동수단은 회전 운동 하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 증착용기는 상기 구동수단의 회전축으로부터 이격되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 증착용기의 장축은 상기 구동수단 회전축에 방사선 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 증착용기는,
    상기 구동수단 회전축과 멀어질수록 폭이 넓어지게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 구동수단은 수평 또는 수직 회전 운동하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 구동수단은,
    상기 증착용기의 입출이 가능한 내부공간과, 상기 피증착 기판을 향해 다수의 방출구가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 구동수단의 회전운동 시, 상기 증착용기의 개구부는 항상 상부를 향하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 구동수단의 내부 공간으로 캐리어가스를 유입시키기 위하여, 상기 구동수단의 회전축 내부에 가스유입구가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동수단은 수평 직선운동 하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 가열 수단과 상기 피증착 기판 사이에 설치되며, 상기 증착용기의 입구만을 노출시키는 차폐수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 차폐수단은 주름판인 것을 특징으로 하는 증착장치.
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 증착용기는 상기 구동수단의 운동방향과 직각을 이루도록 선형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  15. 청구항 11에 있어서,
    상기 도가니와 가열수단은 상기 구동수단의 운동방향과 직각을 이루도록 선형으로 나란히 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 가열수단은 상기 증착용기와 대응되는 일부에만 전원이 인가되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  17. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동수단은 상기 피증착 기판에 증착되는 불순물을 담기 위한 하나 이상의 불순물용기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  18. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동수단과 상기 증착 기판은 상호 간격이 조절 가능한 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  19. 청구항 1에 있어서,
    상기 가열수단은 상기 챔버 외부의 측부, 상부, 하부 중 최소한 하나 이상에 설치되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 챔버는 상기 증착용기와 상기 가열수단 사이에 상기 가열수단의 열이 투과 가능한 투과창이 마련되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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