CN211872077U - 蒸发源 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；冷却装置包括冷却箱和冷却组件；冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，坩埚一一对应设置于装配槽内；冷却组件位于冷却箱上，加热装置位于冷却箱内，其中，冷却组件设置成冷却冷却箱，加热装置设置成加热坩埚。本实用新型所提供的蒸发源能够进行多种材料蒸镀的同时，避免不同材料之间的相互掺杂。

Description

蒸发源

技术领域

本实用新型涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。构成有机电致发光器件的各膜层一般通过真空蒸发镀膜形成，真空蒸发镀膜的基本原理是将镀膜材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层。

现有蒸镀装置的蒸发源虽然能够进行有机电致发光器件的制作，但是，为了满足有机电致发光器件(OLED)的高分辨率显示及大尺寸设计等需求，需要提高应用于大面积玻璃的镀膜工艺的效率。

此外，这种对应于大面积玻璃基板的线型蒸发源的有机物材料(升华性材料、液化性材料及同时具有升华性和液化性的材料等)具有不同的物理性质和化学性质，因此，还需要避免有机材料的相互掺杂。但是现有的蒸发源设备蒸镀效率低，并且同时蒸镀多种材料存在相互掺杂，从而导致显示面板制造效率低、优质率低、成本增高等问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种蒸发源，该蒸发源能够进行多种材料的单独或同时蒸镀，同时避免源内填装的不同材料之间的交叉污染。

本实用新型提供了一种蒸发源，包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；

所述冷却装置包括冷却箱和冷却组件；

所述冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，所述坩埚一一对应设置于所述装配槽内；

所述冷却组件位于所述冷却箱上，所述加热装置位于所述冷却箱内，其中，所述冷却组件设置成冷却所述冷却箱，所述加热装置设置成加热所述坩埚。

进一步的，所述冷却箱的侧壁和底壁均设置有所述冷却组件，所述加热装置围绕所述冷却箱的侧壁设置。

进一步的，所述冷却箱包括：

箱体，所述箱体设置有多个彼此独立的所述装配槽，所述冷却组件位于所述箱体上；

多个冷却内套，所述冷却内套一一对应设置于所述装配槽内，所述坩埚与所述冷却内套之间设置有所述加热装置；

其中，所述冷却组件设置成冷却所述箱体与所述冷却内套。

进一步的，所述冷却组件包括多个彼此相互连接的冷却管，且所述冷却管设置有进口与出口。

进一步的，所述加热装置包括：

加热箱，所述坩埚与所述冷却内套之间设置有所述加热箱，且所述坩埚装配于所述加热箱上；

加热件，所述加热件设置于所述加热箱的内壁。

进一步的，所述加热件为加热电偶或者加热网。

进一步的，还包括盖板和设置于所述盖板上的喷嘴；

所述盖板可拆卸连接于所述坩埚上，所述喷嘴与所述坩埚连通。

进一步的，所述冷却装置还包括：

第一板体，所述第一板体设置于所述冷却箱的上端面，并设置成固定及密封所述加热装置。

进一步的，所述冷却装置还包括：

第二板体，所述第二板体设置于所述第一板体的上端面，并设置成固定及密封所述盖板。

进一步的，还包括控制系统，所述冷却装置和所述加热装置均与所述控制系统电连接，其中，控制系统控制所述冷却装置和所述加热装置的工作状态。

本实用新型提供的技术方案可以达到以下有益效果：

本实用新型提供了一种蒸发源，该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚，冷却装置包括冷却箱和冷却组件，具体的，冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，坩埚一一对应设置于装配槽内，冷却组件位于冷却箱上，加热装置位于冷却箱内，其中，冷却组件设置成冷却箱，加热装置设置成加热坩埚，这种结构设计，通过多个彼此独立的装配槽，进而实现坩埚之间的彼此独立，从而可以同时蒸镀多种材料，有效的避免了不同有机材料的相互掺杂，提高产品质量，同时，该蒸发源还可以用于同时蒸镀一种材料，以提高生产过程中的蒸镀效率。除此之前，加热装置和冷却组件可以对生产过程中的坩埚进行温度调节，有效的保障了蒸镀过程中所需的温度，进而更好的提高了产品的优质率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的蒸发源的爆炸图；

图2为图1中的坩埚的俯视图；

图3为本实用新型实施例所提供的盖板和喷嘴的结构示意图；

图4为图1中的冷却箱的俯视图；

图5为图1中的冷却组件的结构示意图；

图6为图1中的加热装置的俯视图。

附图标记：

1-冷却装置；

11-冷却箱；

111-箱体；

111a-装配槽；

112-冷却内套；

12-冷却组件；

121-冷却管；

121a-进口；

121b-出口；

2-加热装置；

21-加热箱；

22-加热件；

3-坩埚；

4-盖板；

5-喷嘴。

具体实施方式

下面通过具体的实施例并结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1和图2所示，本实施例提供了一种蒸发源，该蒸发源包括冷却装置1、加热装置2和多个坩埚3，冷却装置1包括冷却箱11和冷却组件 12，具体的，冷却箱11设置有多个彼此独立的装配槽111a，坩埚3一一对应设置于装配槽111a内，冷却组件12位于冷却箱11上，加热装置2 位于冷却箱11内，其中，冷却组件12设置成冷却箱11，加热装置2设置成加热坩埚3，这种结构设计，通过多个彼此独立的装配槽111a，进而实现坩埚3之间的彼此独立，从而可以同时蒸镀多种材料，有效的避免了不同有机材料的相互掺杂，提高产品质量，同时，该蒸发源还可以用于同时蒸镀一种材料，以提高生产过程中的蒸镀效率。除此之前，加热装置2和冷却组件12可以对生产过程中的坩埚3进行温度调节，有效的保障了蒸镀过程中所需的温度，进而更好的提高了产品的优质率。

装配槽111a可以为三个、四个、五个、六个等，进而对应的坩埚3 为三个、四个、五个、六个等，装配槽111a和坩埚3的具体设计数量根据实际需求选择，其中，如图1所示，在本实施例中，以装配槽111a和坩埚3均为三个进行举例及图示说明。

冷却装置1和加热装置2均可以通过人工手动的方式进行调节。在本实施例中，为了提高该蒸发源的功能性，该蒸发源还包括控制系统(未图示)，冷却装置1和加热装置2均与控制系统(未图示)电连接，控制系统(未图示)控制冷却装置1和加热装置2的工作状态，通过控制系统(未图示)对冷却装置1和加热装置2进行控制，保障蒸镀过程中的温度正常，提高了该蒸发源的功能性，使得该蒸发源具有智能化的处理方式。

其中，冷却装置1和加热装置2的工作状态信息包括温度、时间、启动、停止等信息，冷却装置1和加热装置2与控制系统(未图示)电连接的方式为现有技术中能够实现的方式，在此不做具体限定。进一步的，控制系统(未图示)实现控制冷却装置1和加热装置2的工作状态的方式有多种，在此不一一举例说明，本实施例是为了说明冷却装置1和加热装置 2应用了控制系统(未图示)的方式进行工作，以使得该蒸发源具有智能化，提高便捷性，因此，只要能够实现对冷却装置1和加热装置2的温度、时间、工作、停止等信息进行控制即可。

如图3所示，在本实施例中，该蒸发源还包括盖板4和设置于盖板4 上的喷嘴5，盖板4可拆卸连接于坩埚3上，方便坩埚3的清洗及物料的填充，盖板4能够密封整个坩埚3的蒸镀槽，避免外界的杂质进入坩埚3 的蒸镀槽，同时，也保障了坩埚3内的环境压强，更好的实现了蒸镀。其中，喷嘴5与坩埚3连通，整个坩埚3的蒸镀槽内的待加热材料(如液态或固态的有机发光材料)在被加热蒸发后能够从喷嘴5中喷出。

在本实施例中，加热装置2围绕冷却箱11的侧壁设置，通过环绕的方式能够实现均匀的加热。

或者，在本实施例中，加热装置2设置在冷却箱11的底部，底部进行加热的方式也能够保障坩埚3的蒸镀槽的加热温度，同时，通过底部加热使得加热后的物质向上运动并从喷嘴5中喷出，未加热的物质向下运动，实现快速蒸镀。

同时，在本实施例中，加热装置2还可以同时设置在冷却箱11的底部及围绕冷却箱11的侧壁设置，这种方式能够最快达到加热温度，提高加热速度。

此处需要说明的是，以上三种加热方式可以根据实际需求选择，如图 6所示，在本实施例中，以将加热装置2设置在冷却箱11的底部为例并结合图示说明。

在本实施例中，加热装置2与坩埚3之间设置有预设间距，预设间距能够使得加热装置2对该蒸发源的内部环境进行加热，进而使得蒸镀过程的温度更加均匀，避免加热装置2由于与坩埚3贴合导致热量集中，导致气态的有机发光材料在喷嘴5的顶端凝华或凝固，造成生产设备宕机。由此，不仅可以提高蒸发源的工作稳定性，防止喷嘴5堵塞，而且温度较高的气态的有机发光材料可以更均匀的分布在待蒸镀件上，以使产品上的蒸镀层更加均匀。其中，预设间距可以根据实际需求设定，在此不对预设间距的数值做具体限定。

在本实施例中，为能够对该蒸发源进行均匀且快速的冷却箱11的侧壁和底壁均设置有冷却组件12。

如图1和图4所示，在本实施例中，冷却箱11包括箱体111和多个由金属材料制成的冷却内套112，例如冷却内套112可以由铜、铁等导热性能好的材料制成，冷却组件12位于箱体111上并设置成冷却箱体11与冷却内套112，其中，箱体111设置有多个彼此独立的装配槽111a，冷却内套112一一对应设置于装配槽111a内，具体的，坩埚3与冷却内套112 之间设置有加热装置2，金属材料制成的冷却内套112能够有效的反射加热装置2的热量，进而减少加热装置2对蒸发源以外的环境造成的辐射，也可以减少加热装置2的热量流失，同时，由于冷却组件12冷却箱体11 与冷却内套112，进而还能够均匀的对加热装置2进行冷却，更好的保障了生产过程中该蒸发源的温度的正常。

如图5所示，在本实施例中提供一种冷却组件12的设计方式，其中，冷却组件12包括多个彼此相互连接的冷却管121，冷却管121可以迂回弯绕以增加冷却面积，提高冷却效果，冷却管121也可以交错设置形成冷却网，进一步，冷却管121设置有进口121a与出口121b，冷却管121内充满冷却液或者其他液冷物质，通过进口121a与出口121b实现循环冷却，保障了整个冷却组件12的持续冷却。

如图6所示，其中，在本实施例中，加热装置2包括加热箱21和设置于加热箱21的内壁上的加热件22，具体的，加热为网状并设置在加热箱21的底部，坩埚3与冷却内套112之间设置有加热箱21，且坩埚3装配于加热箱21内，通过设置在加热箱21内壁的加热件22能够对坩埚3 进行加热，具体的加热箱21的内部与坩埚3之间设置有预设间距，其中，加热件22可以为加热电偶或者加热网等。

在本实施例中，冷却装置1还包括第一板体(未图示)，其中，第一板体(未图示)设置于冷却箱11的上端面，且第一本体设置成固定及密封加热装置2，具体的，第一本体设置成固定及密封加热箱21，通过第一板体(未图示)能够保障加热装置2装配的稳定性，同时，避免加热装置 2产生的热量流失，更好的保障了该蒸发源的加热温度，降低经由喷嘴5 喷出的气体(即气态有机发光材料)在喷嘴5处凝固或凝华导致喷孔堵塞的概率，进而使气态的有机发光材料的流动性更好，提高有机发光材料的材料利用率，从而提高了蒸发源的工作稳定性。

在本实施例中，冷却装置1还包括第二板体(未图示)，第二板体(未图示)设置于第一板体(未图示)的上端面，并且第二板体(未图示)设置成固定及密封盖板4，通过第二板体(未图示)实现对盖板4的密封及固定，进而更好的保障整个蒸发源的密封性。进一步的，通过第一板体(未图示)和第二板体(未图示)两者的双重密封及固定，更好的提高了该蒸发源工作的稳定性，提高该蒸发源的功能性。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发源，其特征在于，包括冷却装置(1)、加热装置(2)和多个坩埚(3)；

所述冷却装置(1)包括冷却箱(11)和冷却组件(12)；

所述冷却箱(11)设置有多个彼此独立的装配槽(111a)，所述坩埚(3)一一对应设置于所述装配槽(111a)内；

所述冷却组件(12)位于所述冷却箱(11)上，所述加热装置(2)位于所述冷却箱(11)内，其中，所述冷却组件(12)设置成冷却所述冷却箱(11)，所述加热装置(2)设置成加热所述坩埚(3)。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述加热装置(2)围绕所述冷却箱(11)的侧壁设置和/或设置于所述冷却箱(11)的底部；

所述冷却箱(11)的侧壁和底壁均设置有所述冷却组件(12)。

3.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却箱(11)包括：

箱体(111)，所述箱体(111)设置有多个彼此独立的所述装配槽(111a)，所述冷却组件(12)位于所述箱体(111)上；

多个冷却内套(112)，所述冷却内套(112)一一对应设置于所述装配槽(111a)内，所述坩埚(3)与所述冷却内套(112)之间设置有所述加热装置(2)；

其中，所述冷却内套(112)为金属材料制成，所述冷却组件(12)设置成冷却所述箱体(111)与所述冷却内套(112)。

4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却组件(12)包括多个彼此相互连接的冷却管(121)，且所述冷却管(121)设置有进口(121a)与出口(121b)。

5.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述加热装置(2)包括：

加热箱(21)，所述坩埚(3)与所述冷却内套(112)之间设置有所述加热箱(21)，且所述坩埚(3)装配于所述加热箱(21)内；

加热件(22)，所述加热件(22)设置于所述加热箱(21)的内壁。

6.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在于，所述加热件(22)为加热电偶或者加热网。

7.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括盖板(4)和设置于所述盖板(4)上的喷嘴(5)；

所述盖板(4)可拆卸连接于所述坩埚(3)上，所述喷嘴(5)与所述坩埚(3)连通。

8.根据权利要求7所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却装置(1)还包括：

第一板体，所述第一板体设置于所述冷却箱(11)的上端面，并设置成固定及密封所述加热装置(2)。

9.根据权利要求8所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却装置(1)还包括：

第二板体，所述第二板体设置于所述第一板体的上端面，并设置成固定及密封所述盖板(4)。

10.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括控制系统，所述冷却装置(1)和所述加热装置(2)均与所述控制系统电连接，其中，控制系统控制所述冷却装置(1)和所述加热装置(2)的工作状态。

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