CN106399943B - 沉积源 - Google Patents

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Abstract

本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。

Description

沉积源
技术领域
本发明涉及沉积源。
背景技术
发光显示装置中，有机发光显示装置作为自发光型显示元件，具有视角宽、对比度优异而且响应速度快的优点，因此作为新一代显示装置而受到瞩目。
有机发光显示装置包括在阳极和阴极之间由有机发光物质构成的发光层。随着在这些电极上分别施加阳极和阴极电压，从阳极注入的空穴(hole)经由空穴注入层和空穴传输层移动到发光层，而电子从阴极电极经由电子注入层和电子传输层移动至发光层，从而在发光层中电子和空穴复合。通过这种复合生成激子(exiton)，并且随着该激子从激发态跃迁至基态而从发光层放射出光，从而显示图像。
有机发光显示装置包括像素限定膜，其中该像素限定膜具有开口部以暴露以像素为单位形成的阳极电极，并且空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极电极形成在通过该像素限定膜的开口部暴露的阳极电极上。其中，阳极电极可通过各种方法形成，其中一种方式为沉积方法。
发明内容
一方面，用于执行沉积方法的沉积装置具有沉积源，其中沉积源包括存储沉积物质的坩埚、加热坩埚的加热器以及收纳坩埚和加热器的壳体。
然而，加热器在加热坩埚时可能会由于高温热而导致变形并发生弯曲、扭曲或与其它部件接触。在这种情况下，加热器可能发生损伤或破损。
对此，本发明所要解决的技术问题在于提供能够防止加热器的损伤或破坏的沉积源。
本发明的技术问题不限于以上提及的技术问题，本领域技术人员可通过下面的记载明确地理解未提及的技术问题或其它技术问题。
用于实现上述目的的、根据本发明一实施例的沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；设置在上述坩埚的外侧并且以上述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在上述坩埚的下方以连续的形态布置于上述第一加热器与上述第二加热器之间并且与上述第一加热器和上述第二加热器结合的第一防止变形部件。
上述坩埚、上述第一加热器以及上述第二加热器分别可具有沿着与上述第一加热器和上述第二加热器的布置方向交叉的第一方向延伸的形态，并且上述第一防止变形部件可设置为多个，上述多个第一防止变形部件由布置成沿着上述第一方向相隔开的桥接板构成。
上述第一防止变形部件可布置成与上述坩埚的底部相隔开。
上述第一加热器和上述第二加热器可布置成与上述坩埚的侧部相隔开。
上述第一防止变形部件可具有与上述第一加热器和上述第二加热器中的每个垂直的平面形状。
上述第一防止变形部件可在上述第一加热器与上述第二加热器之间具有斜线形态的平面形状。
上述第一防止变形部件可包括斜线形状的第一条和斜线形状的第二条，其中上述斜线形状的第一条和上述斜线形状的第二条在上述第一加热器与上述第二加热器之间彼此交叉。
此外，上述沉积源还可包括至少一个第二防止变形部件，其中上述至少一个第二防止变形部件在上述坩埚、上述第一加热器、上述第二加热器以及上述第一防止变形部件之间布置成止动件，并且与上述第一防止变形部件结合。
上述第二防止变形部件包括布置在上述坩埚、上述第一加热器以及上述第一防止变形部件之间的第一支承部、以及以上述坩埚为中心与上述第一支承部相隔开并且布置在上述坩埚、上述第二加热器以及上述第一防止变形部件之间的第二支承部。
上述第一支承部可包括布置在上述第一防止变形部件的上方与上述坩埚的底部之间的第一部分以及布置在上述第一加热器的侧部与上述坩埚的侧部之间的第二部分，上述第二支承部可包括布置在上述第一防止变形部件的上方与上述坩埚的底部之间的第一部分以及布置在上述第二加热器的侧部与上述坩埚的侧部之间的第二部分，并且上述第一支承部的第一部分和第二部分以及上述第二支承部的第一部分和第二部分可提供用于安装上述坩埚的安装空间。
上述第一支承部和上述第二支承部分别可具有沿上述第一方向延伸的形态，并且上述第二防止变形部件还可以包括第三支承部，其中上述第三支承部配置成在沿上述第一方向布置有上述第一防止变形部件的部分处连接上述第一支承部与上述第二支承部。
上述第二防止变形部件可在上述第一加热器与上述第二加热器之间布置成一个连续的止动件，并且具有沿上述第一方向延伸的形态。
上述第二防止变形部件可布置成与上述坩埚的底部接触。
上述坩埚可包括收纳上述沉积物质的内部坩埚和包裹上述内部坩埚的外侧以支承上述内部坩埚的外部坩埚。
用于实现上述目的的、根据本发明又一实施例的沉积源包括：配置成收纳沉积物质并且沿着第一方向延伸的线型坩埚；在与上述第一方向交叉的第二方向上布置于上述线型坩埚的外侧并且以上述线型坩埚为中心彼此相隔开且沿着上述第一方向延伸的第一加热板和第二加热板；以及在上述线型坩埚的下方以连续的形态布置于上述第一加热板与上述第二加热板之间并且与上述第一加热板和上述第二加热板结合的桥接板。
上述桥接板可设置为多个，并且上述多个桥接板可布置成沿上述第一方向彼此相隔开。
上述桥接板可布置成与上述坩埚的底部相隔开。
此外，上述沉积源还可包括布置在上述线型坩埚、上述第一加热板、上述第二加热板以及上述桥接板之间的止动件。
上述止动件包括布置在上述坩埚、上述第一加热板以及上述桥接板之间的第一支承部、以及以上述坩埚为中心在上述第二方向上与上述第一支承部相隔开并且布置在上述坩埚、上述第二加热板以及上述桥接板之间的第二支承部。
上述止动件可布置成与上述坩埚的底部接触。
其它实施例的具体事项包含在具体实施方式以及附图中。
根据本发明实施例，至少具有如下效果。
通过根据本发明一实施例的沉积源，能够减少加热器在加热坩埚时因高温热而变形并发生弯曲、扭曲或与其它部件接触的情况，其结果能够减少加热器发生损伤或破损的情况。
根据本发明的效果不限于以上例示的内容，并且更加多样的效果包含在本说明书中。
附图说明
图1为根据本发明一实施例的沉积源的立体图。
图2为沿图1的I-I'线取得的剖视图。
图3为加热器、第一防止变形部件以及第二防止变形部件的平面图。
图4为图3的第一防止变形部件的平面图。
图5为图3的第二防止变形部件的平面图。
图6为沿图3的A-A'线的剖视图。
图7至图11为示出第一防止变形部件的多种实施例的平面图及剖视图。
图12为根据本发明另一实施例的沉积源中与图3相对应的部分的平面图。
图13为图12的第二防止变形部件的平面图。
图14为沿图12的C-C'线取得的剖视图。
图15为根据本发明又一实施例的沉积源中与图3相对应的部分的平面图。
图16为图15的第二防止变形部件的平面图。
图17为沿图15的D-D'线取得的剖视图。
图18为概略地示出适用了图1的沉积源的沉积装置的剖视图。
图19为示出利用图18的沉积装置制造的发光显示装置的剖视图。
具体实施方式
参照下文中结合附图详细描述的实施例，可以明确本发明的优点和特征以及实现所述优点和特征的方法。但是，本发明不限定于以下公开的实施例，而是可以实现为彼此不同的多种形态，这些实施例只是为了使本发明的公开完整，并且为了将发明的范围完整地告知给本发明所属技术领域的技术人员而提供的，并且本发明仅由权利要求书的范围来定义。
当元件(element)或层被称为在其它元件或层“上(on)”时，该元件或层直接位于其它元件或层上、或者在中间插入有其它层或其它元件。在整篇说明书中相同附图标记指示相同的构成要素。
应明确，虽然第一、第二等用于叙述多种构成要素，但这些构成要素并不受这些措辞限制。这些措辞仅用于将一个构成要素与其它构成要素区分开。因此，应明确，在不背离本发明的技术思想的情况下，下文中提及的第一构成要素也可称为第二构成要素。
下面，将参照附图对本发明实施例进行说明。
图1为根据本发明一实施例的沉积源的立体图，图2为沿图1的I-I'线取得的剖视图，图3为加热器、第一防止变形部件以及第二防止变形部件的平面图，图4为图3的第一防止变形部件的平面图，图5为图3的第二防止变形部件的平面图，并且图6为沿图3的A-A'线取得的剖视图。
参考图1至图6，根据本发明一实施例的沉积源100包括坩埚110、喷嘴部113、加热器120、反射器130、保护部件140、第一防止变形部件150、第二防止变形部件160以及壳体170。
坩埚110配置成使上侧开口并且在内部空间中收纳沉积物质DM。坩埚110可包括内部坩埚111和外部坩埚112。在本实施例中示出了坩埚110被配置成具有沿第一方向X延伸的形态的线型坩埚的示例。
内部坩埚111作为配置成使上侧开口并且实质上在内部空间中收纳沉积物质DM的部件，例如其可形成为上侧被开口的箱子形态。内部坩埚111的上侧内部可形成有用于提供与喷嘴部113结合的空间的段差部111a。内部坩埚111具有沿第一方向X延伸的形态。内部坩埚111可由导热性优异的物质(例如石墨(graphite))形成。这种内部坩埚111可提高利用从加热器120提供的热量来加热沉积物质DM的效率。
另外，收纳在内部坩埚111的内部空间中的沉积物质DM可为例如发光显示装置的阴极物质，但不限于此。
外部坩埚112布置在内部坩埚111的外侧以包裹并支承内部坩埚111中除了内部坩埚111的上侧开口部以外的部分。这时，外部坩埚112可形成为从内部坩埚111的被开口的部分向外侧延伸。外部坩埚112可由耐久性优异的物质(例如，钽(tantalum))形成。这种外部坩埚112能够在内部坩埚111由于高温热而破碎时防止沉积物质DM流出并与其它结构接触。
喷嘴部113配置成与内部坩埚111的被开口的上侧结合。具体而言，喷嘴部113可以包括与内部坩埚111的段差部111a结合的喷嘴主体113a和用于朝着上侧排放在内部坩埚111内气化或升华的沉积物质DM的开口形态的至少一个喷嘴113b。喷嘴部113可由与形成内部坩埚111的物质相同的物质形成，但不限于此。
加热器120可设置在坩埚110的外侧，更具体而言，可设置在外部坩埚112的外侧，并且加热器120可由沿第一方向X延伸的加热板构成。加热器120可设置为多个。例如，加热器120可包括在与第一方向X相交的第二方向Y上以坩埚110为中心彼此相隔开的第一加热器121和第二加热器122。第一加热器121和第二加热器122可布置成与坩埚110的侧部相隔开，更具体而言，可布置成与外部坩埚112的侧部相隔开。第一加热器121可由第一加热板构成，并且第二加热器122可由第二加热板构成。这种第一加热器121和第二加热器122可提供用于加热坩埚110的热量(例如，辐射热)，并且可通过加热器驱动部HD来驱动。
虽未示出，但是第一加热器121和第二加热器122的底部可形成有槽，以与待后述的、形成于下述壳体170的底部171上的突起结合。与使用额外的结合部件的情况相比，这种第一加热器121和第二加热器122与壳体170的结合力可能较低。
反射器130可在第二方向Y上布置在加热器120的外侧，具体而言，可布置在第一加热器121和第二加热器122的外侧，并且反射器130可布置成沿第一加热器121和第二加热器122的延伸方向(即，第一方向X)延伸。此外，反射器130可布置在内部坩埚111的上方外侧，并且可布置成沿内部坩埚111的延伸方向(即，第一方向X)延伸。
反射器130可由通过隔热材质形成的多个板构成。这种反射器130可防止加热器120的热量或者内部坩埚111的上侧热量向外排放。
保护部件140可以布置在反射器130的外侧。保护部件140可包括第一保护板141、第二保护条142以及第三保护板143。
第一保护板141可在布置于第一加热器121和第二加热器122外侧的反射器130的外侧布置成沿第一加热器121和第二加热器122的延伸方向(即，第一方向X)延伸。
第二保护条142可在布置于第一加热器121和第二加热器122外侧的反射器130与第一保护板141之间设置为多个。多个第二保护条142可布置成沿与第二方向Y垂直的第三方向Z相隔开并且沿第一方向X延伸。
第三保护板143可布置在设置于内部坩埚111上方的反射器130外侧，并且延伸成与第一保护板141的一端重叠。
保护部件140可由金属材质或隔热材质形成。这种保护部件140可防止在内部坩埚111内气化或升华的沉积物质DM流入到反射器130的外部。此外，保护部件140可防止从内部坩埚111排出的沉积物质DM附着在反射器130的外表面上或流入到反射器130的内表面上。
第一防止变形部件150在坩埚110的下方布置在第一加热器121与第二加热器122之间。具体而言，第一防止变形部件150可在外部坩埚112的下方在第一加热器121与第二加热器122之间布置成连续的桥接板。第一防止变形部件150可设置为多个，并且多个第一防止变形部件150可沿着作为第一加热器121和第二加热器122的延伸方向的第一方向X相隔开。第一防止变形部件150可具有分别与第一加热器121以及第二加热器122垂直的平面形状。
第一防止变形部件150可由石墨材质形成，并且可通过螺丝等结合部件10分别与第一加热器121和第二加热器122结合。这种第一防止变形部件150恒定地维持第一加热器121与第二加热器122之间的间隔，因此能够减少在沉积源100的制造工艺中第一加热器121和第二加热器122之间的间隔由于组装而脱离预定范围的情况。此外，第一防止变形部件150能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚110以使得沉积物质DM气化或升华时减少第一加热器121和第二加热器122由于高温热而导致变形并发生弯曲、扭曲或与其它部件接触的情况。
另外，第一防止变形部件150可布置成与坩埚110的底部相隔开，更具体而言，可布置成与外部坩埚112的底部相隔开。由此，能够在第一防止变形部件150由热导性优异的石墨材质形成时减少从加热器120提供的热量不均匀地传递到坩埚110的情况。
第二防止变形部件160可由布置在坩埚110(更具体为外部坩埚112)、加热器120以及第一防止变形部件150之间的止动件构成。第二防止变形部件160可包括第一支承部161和第二支承部162。
第一支承部161可布置在外部坩埚112、第一加热器121以及第一防止变形部件150之间。第一支承部161可包括布置在第一防止变形部件150的上方与外部坩埚112的底部之间的第一部分161a以及布置在第一加热器121的侧部与外部坩埚112的侧部之间的第二部分161b。第一支承部161可通过螺丝等结合部件11与第一防止变形部件150结合。
第二支承部162可在第二方向Y上与第一支承部161相隔开，并且可布置在外部坩埚112、第二加热器122以及第一防止变形部件150之间。第二支承部162可包括布置在第一防止变形部件150的上方和外部坩埚112的底部之间的第一部分162a以及布置在第二加热器122的侧部与外部坩埚112的侧部之间的第二部分162b。第二支承部162可通过螺丝等结合部件11与第一防止变形部件150结合。
第一支承部161和第二支承部162可由耐久性优异的材料(例如，陶瓷材质)形成，并且提供用于安装坩埚110的安装空间SS，更具体而言，提供用于安装外部坩埚112的安装空间SS。这种第一支承部161和第二支承部162可在结构上稳定坩埚110，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚110以使得沉积物质DM气化或升华时通过减少坩埚110发生变形的情况来减少其与第一加热器121和第二加热器122发生接触的情况。
另外，第二防止变形部件160可布置成与坩埚110的底部接触，更具体而言，可布置成与外部坩埚112的底部接触。这是因为在第二防止变形部件160由热导性低的陶瓷材质形成的情况下不会将从加热器120提供的热量大量地传递到坩埚110。因此，即使第二防止变形部件160布置成与坩埚110的底部接触，也不会出现从加热器120提供的热量通过第二防止变形部件160不均匀地传递到坩埚110的情况。
壳体170配置成能够收纳坩埚110、喷嘴部113、加热器120、反射器130、保护部件140、第一防止变形部件150、第二防止变形部件160。例如，壳体170可形成为上侧被开口的箱子形态。即，壳体170可包括底部171和从底部171向上侧延伸的侧部172。这种壳体170起到保护收纳在内部的结构免受外部影响的作用。另外，壳体170可由隔热材料形成，并且配置成防止内部的热量向外部流出。例如，壳体170的内部可内置有提供能够供冷却水流动的路径的冷却管。
如上所述，根据本发明一实施例的沉积源100包括布置在第一加热器121与第二加热器122之间的第一防止变形部件150，因此能够恒定地维持第一加热器121与第二加热器122之间的间隔从而减少了在沉积源100的制造工艺中第一加热器121与第二加热器122之间的间隔由于组装而脱离预定范围的情况，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚110以使得沉积物质DM气化或升华时减少第一加热器121和第二加热器122因高温热而导致变形并发生弯曲、扭曲、或与其它部件的接触的情况。
因此，能够减少加热器120在加热坩埚110时因高温热而导致变形并发生损伤或破损的情况。
此外，如上所述，根据本发明一实施例的沉积源100包括布置在坩埚110、加热器120以及第一防止变形部件150之间的第二防止变形部件160，因此能够通过提供用于安装坩埚110的安装空间SS而在结构上稳定坩埚110，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚110以使得沉积物质DM气化或升华时减少坩埚110变形的情况从而减少与第一加热器121和第二加热器122接触情况。
图7至图11为示出第一防止变形部件的各种实施例的平面图及剖视图。
图7和图8示出了第一防止变形部件150a布置在第一加热器121与第二加热器122之间并且具有斜线形态的平面形状的示例。这种第一防止变形部件150a在第一方向X上增加了支承第一加热器121和第二加热器122的区域，因此能够更加坚固地、恒定地维持第一加热器121与第二加热器122之间的间隔，从而减少在沉积源100的制造工艺中第一加热器121与第二加热器122之间的间隔由于组装而脱离预定范围的情况，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚(图2中的110)以使得沉积物质(图2中的DM)气化或升华时更加有效地减少第一加热器121和第二加热器122因高温热而导致变形并发生弯曲、扭曲、或与其它部件接触的情况。
另外，第一防止变形部件150a与第二防止变形部件160的重叠区域可能根据第一防止变形部件150a的形状而不同。在这种情况下，如图8中所示，用于结合第一防止变形部件150a与第二防止变形部件160的结合部件11的布置位置可能发生变化。
图9示出了第一防止变形部件150b布置在第一加热器121与第二加热器122之间并且在与图7的第一防止变形部件150a不同的方向上具有斜线形态的示例。这种第一防止变形部件150b可提供与图7和图8的第一防止变形部件150a的效果相同的效果。
图10示出了第一防止变形部件150c布置在第一加热器121与第二加热器122之间并且包括彼此交叉的斜线形态的第一条150d和斜线形态的第二条150e。这种第一防止变形部件150c通过第一条150d和第二条150e的双重结构能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚(图2的110)以使得沉积物质(图2的DM)气化或升华时更加有效地减少第一加热器121和第二加热器122因高温热导致变形并发生弯曲、扭曲、或与其它部件的接触的情况。
图11示出了第一防止变形部件150f在第一加热器121与第二加热器122之间布置成一个连续的桥接板以在第一加热器121与第二加热器122之间具有大的面积并且第一防止变形部件150f沿第一方向X延伸的示例。第一防止变形部件150f可在第一方向X上具有与第一加热器121的长度相同或比其略小的长度。这种第一防止变形部件150f能够更加坚固地、恒定地维持第一加热器121与第二加热器122之间的间隔，从而减少在沉积源100的制造工艺中第一加热器121与第二加热器122之间的间隔由于组装而脱离预定范围的情况，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚(图2中的110)以使得沉积物质(图2中的DM)气化时更加有效地减少第一加热器121和第二加热器122因高温热而导致变形并发生弯曲、扭曲、或与其它部件接触的情况。
图12为根据本发明另一实施例的沉积源中与图3相对应的部分的平面图，图13为图12的第二防止变形部件的平面图。并且图14为沿图12的C-C'线取得的剖视图。
参考图12至图14，根据本发明另一实施例的沉积源除了第二防止变形部件260不同以外，其具有与图2的沉积源100相同的结构。因此，对于根据本发明另一实施例的沉积源，将仅对第二防止变形部件260进行描述。
第二防止变形部件260与图5和图6的第二防止变形部件160相似。只是，第二防止变形部件260包括第一支承部261、第二支承部262以及第三支承部263。
第一支承部261包括布置在第一防止变形部件150的上方与外部坩埚112的底部之间的第一部分261a以及布置在第一加热器121的侧部与外部坩埚112的侧部之间的第二部分261b，并且第一支承部261与图3和图6的第一支承部161相似。只是，第一支承部261可具有沿着作为第一加热器121的延伸方向的第一方向X延伸的形态。
第二支承部262包括布置在第一防止变形部件150的上方与外部坩埚112的底部之间的第一部分262a和布置在第二加热器122的侧部与外部坩埚112的侧部之间的第二部分262b，并且第二支承部262与图3及图6的第二支承部162相似。只是，第二支承部262可具有沿着作为第二加热器122的延伸方向的第一方向X延伸的形态。
第三支承部263配置成在沿第一方向X布置有第一防止变形部件150的部分处连接第一支承部261与和第二支承部262。
如上所述配置的第二防止变形部件260能够在结构上使坩埚(图2的110)更加稳定，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚(图2的110)以使得沉积物质(图2的DM)气化或升华时减少坩埚(图2的110)发生变形的情况，进而更加有效地减少其与第一加热器121和第二加热器122发生接触的情况。
图15为根据本发明又一实施例的沉积源中与图3相对应的部分的平面图，图16为图15的第二防止变形部件的平面图。并且图17为沿图15的D-D'线取得的剖视图。
参考图15至图17，根据本发明又一实施例的沉积源除了第二防止变形部件360不同以外，其具有与图2的沉积源100相同的结构。因此，对于根据本发明又一实施例的沉积源，将仅对第二防止变形部件360进行描述。
第二防止变形部件360与图5和图6的第二防止变形部件160相似。只是，第二防止变形部件360在第一加热器121与第二加热器122之间布置成一个连续的止动件以在第一加热器121与第二加热器122之间具有大的面积，并且具有沿第一方向X延伸的形态。具体而言，第二防止变形部件360包括布置在第一防止变形部件150的上方与外部坩埚112的底部之间的第一部分360a、和布置在第一加热器121的侧部与外部坩埚112的侧部之间并且布置在第二加热器122的侧部与外部坩埚112的侧部之间的第二部分360b。
这种第二防止变形部件360在第一加热器121和第二加热器122之间布置成大的面积，因此能够在结构上使坩埚(图2的110)更加稳定，并且能够在第一加热器121和第二加热器122加热坩埚(图2的110)以使得沉积物质(图2的DM)气化或升华时减少坩埚(图2的110)发生变形的情况，进而更加有效地减少其与第一加热器121和第二加热器122发生接触的情况。
图18为概略地示出适用了图1的沉积源的沉积装置的剖视图。
参考图18，根据本发明一实施例的沉积装置包括沉积源100、固定衬底S的固定部件400以及掩模框架组件500。
沉积源100作为起到收纳沉积物质(图2的DM)，加热沉积物质(图2的DM)以使之气化或升华，随后将沉积物质(图2的DM)喷射到衬底S上的作用的部件，由于已在上文中对沉积源100的具体结构进行了详细说明，因此将省略对其的重复说明。
在通过沉积源100将气化或升华的沉积物质(图2的DM)沉积到衬底S上时，固定部件400起到将衬底S固定在沉积源100上方的作用。固定部件400可为如静电吸盘的部件。
掩模框架组件500可布置在沉积源100与衬底S之间，并且可与衬底S紧贴。掩模框架组件500包括掩模M和框架MF，其中，掩模M具有与将气化或升华的沉积物质(图2的DM)沉积到衬底S上而形成的薄膜的图案相对应的图案，并且框架MF支承掩模M。掩模M中与上述薄膜的图案相对应的部分中形成有开口。
这种掩模框架组件500通过将由沉积源100气化或升华的沉积物质(图2的DM)沉积到衬底S的期望位置处，而能够在衬底S上形成期望图案的薄膜。
图19为利用图18的沉积装置制造的发光显示装置的剖视图。
参考图19，利用图18的沉积装置制造的发光显示装置包括衬底S、第一电极10、像素限定膜20、空穴注入层30、空穴传输层40、发光层50、电子传输层60、电子注入层70以及第二电极80。在本发明实施例中示出发光显示装置中的第一电极10利用图18的沉积装置形成的示例。
衬底S可由透明的绝缘性物质形成。例如，衬底S可由玻璃、石英、陶瓷、塑料等形成。衬底S可以是平坦的板状。根据若干实施例，衬底S也可由能够容易因外力而弯曲的材质形成。衬底S能够支承布置在衬底S上的其它构成。虽然没有图示，但衬底S可以包括多个薄膜晶体管。多个薄膜晶体管中的至少一部分的漏极能够与第一电极10电连接。
第一电极10可以各个像素为单位布置在衬底S上。第一电极10可以是接收施加到薄膜晶体管的漏极上的信号而向发光层50提供空穴的阳极或者提供电子的阴极。
第一电极10可使用为透明电极、反射电极或半透射电极。当第一电极10使用为透明电极时，第一电极10可由铟锡氧化物(Indium Tin Oxide；ITO)、铟锌氧化物(IndiumZinc Oxide；IZO)、锌氧化物(Zinc Oxide；ZnO)或In2O3形成。当第一电极10使用反射电极时，第一电极10可通过在由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr及它们的化合物等形成反射膜后在其上形成ITO、IZO、ZnO或In2O3来构成。当第一电极10使用为半透射电极时，第一电极10可通过在由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr及它们的化合物等以薄的厚度形成反射膜之后在其上形成ITO、IZO、ZnO或In2O3来构成。第一电极10可通过沉积方法利用图18的沉积装置来形成，但并不限于此。
像素限定膜20布置在衬底S上并且具有暴露第一电极10的开口部21，并且在衬底S上划分各个像素。像素限定膜20可由绝缘物质构成。例如，像素限定膜20可配置成包括选自苯并环丁烯(Benzocyclobutene；BCB)、聚酰亚胺(polyimide；PI)、聚酰胺(polyamide；PA)、丙烯酸树脂和酚醛树脂等中的至少一种有机物质。作为另一示例，像素限定膜20也可配置成包括如硅氮化物等的无机物质。像素限定膜20可通过光刻工艺形成，但并不限于此。
空穴注入层30形成在通过像素限定膜20的开口部21暴露的第一电极10上，其也可形成为覆盖像素限定膜20的整体。空穴注入层30作为降低第一电极10与空穴传输层40之间的势垒的缓冲层，其起到使得从第一电极10提供的空穴容易注入到空穴传输层40中的作用。空穴注入层30可由例如4,4',4"-三(3-甲基苯基苯基氨基)三苯氨(MTDATA(4,4',4"-tris(3-methylphenylphenylamino)triphenylamine))、铜酞菁(CuPc(copperphthalocyanine))或聚(3,4-亚乙二氧基噻吩/聚苯乙烯磺酸酯)(PEDOT/PSS(poly(3,4-ethylenedioxythiophene,polystyrene sulfonate)))等的有机化合物构成，但并不限于此。
空穴传输层40形成在空穴注入层30上。空穴传输层40起到将通过空穴注入层30提供的空穴传递至发光层50的作用。这种空穴传输层40可由例如N,N'-二苯基-N,N'-二(3-甲基苯基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(TPD(N,N'-diphenyl-N,N'-bis(3-methylphenyl)-1,1'-bi-phenyl-4,4'-diamine))或N,N'-二(萘-1-基)-N,N'-二苯基-联苯胺(NPB(N,N'-di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine))等的有机化合物构成，但并不限于此。
发光层50形成在空穴传输层40上。发光层50通过使从第一电极10提供的空穴与从第二电极80提供的电子复合来发光。更详细地，当空穴和电子提供至发光层50时，空穴与电子结合从而生成激子，而这种激子在从激发态变化至基态的同时放射光。这种发光层50可包括放射红色的红色发光层、放射绿色的绿色发光层以及放射蓝色的蓝色发光层。
所述红色发光层可形成为包括一种红色发光物质、或者包括主体和红色掺杂物。所述红色发光层的主体可使用例如三(8-羟基喹啉)铝(Alq3(tris(8-hydroxyquinolinato)aluminium))、4,4'-N,N'-二咔唑-联苯(CBP(4,4'-N,N'-dicarbazol-biphenyl))、聚(n-乙烯基咔唑)(PVK(ploy(n-vinylcarbazole)))、9,10-二(萘-2-基)蒽(AND(9,10-Di(naphthyl-2-yl)anthracene))、1,3,5-三(N-苯基苯并咪唑-2-基)苯(TPBI(1,3,5-tris(N-phenylbenzimidazol-2-yl)benzene))、3-叔丁基-9,10-二(萘-2-基)蒽(TBADN(3-tert-butyl-9,10-di(naphth-2-yl)anthracene))、联苯乙烯亚芳基(DSA(distyrylarylene))等，但并不限于此。此外，所述红色掺杂物可利用PtOEP、Ir(piq)3、Btp2Ir(acac)等，但并不限于此。
所述绿色发光层可形成为包括一种绿色发光物质、或者包括主体和绿色掺杂物。此外，所述绿色掺杂物可利用Ir(ppy)3、Ir(ppy)2(acac)、Ir(mpyp)3等，但并不限于此。
所述蓝色发光层可形成为包括一种蓝色发光物质、或者包括主体和蓝色掺杂物。所述红色发光层的主体可使用作为所述蓝色发光层的主体。此外，所述蓝色掺杂物可利用F2Irpic、(F2ppy)2Ir(tmd)、Ir(dfppz)3、三芴(ter-fluorene)、4,4'-双(4-二对甲苯基氨基苯乙烯基)联苯(DPAVBi(4,4'-bis(4-di-p-tolylaminostyryl)biphenyl))、2,5,8,11-四叔丁基二萘嵌苯(TBPe(2,5,8,11-tetra-tert-butyl perylene))等，但并不限于此。
电子传输层60形成在发光层50上，并且起到将从第二电极80提供的电子传输至发光层50的作用。这种电子传输层60可使用有机化合物例如4,7-二苯基-1,10-邻二氮杂菲(Bphen(4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline))、双(2-甲基-8-羟基喹啉)4-苯基苯酚铝(III)(BAlq(aluminum(III)bis(2-methyl-8-hydroxyquinolinato)4-phenylphenolate))、三(8-羟基喹啉)铝(Alq3(Tris(8-quinolinolato)aluminum))、铍双(10-羟基苯并喹啉)(Bebq2(berylliumbis(benzoquinolin-10-olate))、1,3,5-三(N-苯基苯并咪唑-2-基)苯(TPBI(1,3,5-tris(N-phenylbenzimidazol-2-yl)benzene))等的材料，但并不限于此。
电子注入层70形成在电子传输层60上，并且作为降低电子传输层60与第二电极80之间的势垒的缓冲层，其起到使得从第二电极80提供的电子容易注入到电子传输层60的作用。这种电子注入层70可由例如LiF或CsF等形成，但并不限于此。
第二电极80可布置在电子注入层70的上方。第二电极80可由与第一电极10的材质相同的材质形成，但并非必须限于此。根据若干实施方式，第二电极80可为布置在包括于发光显示装置中的多个像素上的公共电极。根据若干实施方式，第二电极80也可布置在电子注入层70的上方和像素限定膜20的上方的整个表面上。发光层50的发光可通过在第一电极10与第二电极80之间流动的电流来控制。
虽然在上文中参照附图对本发明的实施例进行了说明，但在本发明所属技术领域的技术人员可以理解，在不改变本发明的技术思想或必要特征的情况下，也能够以其它具体方式实施。因此，应理解为，以上说明的实施例在所有方面是用于例示的，而非用于限定。
符号说明
100：沉积源 111：内部坩埚
112：外部坩埚 113：喷嘴部
120：加热器 121：第一加热器
122：第二加热器 130：反射器
140：保护部件
150、150a、150b、150c、150f：第一防止变形部件
160、260、360：第二防止变形部件
170：壳体

Claims (10)

1.一种沉积源，包括
坩埚，收纳沉积物质，并且包括内部坩埚和布置在所述内部坩埚外侧的外部坩埚；
第一加热器和第二加热器，布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开；以及
第一防止变形部件，在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间，并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合。
2.根据权利要求1所述的沉积源，其中，
所述坩埚、所述第一加热器以及所述第二加热器分别具有沿着与从所述第一加热器朝向所述第二加热器的方向垂直的第一方向延伸的形态，以及
所述第一防止变形部件设置为多个，并且所述多个第一防止变形部件由布置成沿着所述第一方向相隔开的桥接板构成。
3.根据权利要求1所述的沉积源，其中，
所述第一防止变形部件布置成与所述坩埚的底部相隔开。
4.根据权利要求1所述的沉积源，其中，
所述第一加热器和所述第二加热器布置成与所述坩埚的侧部相隔开。
5.根据权利要求1所述的沉积源，其中，
所述第一防止变形部件具有与所述第一加热器和所述第二加热器中的每个垂直的平面形状。
6.根据权利要求1所述的沉积源，其中，
所述第一防止变形部件为所述第一加热器以及所述第二加热器之间呈斜线形态的平面形状。
7.根据权利要求1所述的沉积源，其中，
所述第一防止变形部件包括斜线形态的第一条和斜线形态的第二条，其中所述斜线形态的第一条和所述斜线形态的第二条在所述第一加热器与所述第二加热器之间彼此交叉。
8.根据权利要求1或2所述的沉积源，还包括：
至少一个第二防止变形部件，所述至少一个第二防止变形部件在所述坩埚、所述第一加热器、所述第二加热器以及所述第一防止变形部件之间布置成止动件，并且与所述第一防止变形部件结合。
9.根据权利要求8所述的沉积源，其中，所述第二防止变形部件包括：
第一支承部，布置在所述坩埚、所述第一加热器以及所述第一防止变形部件之间；以及
第二支承部，以所述坩埚为中心与所述第一支承部相隔开，并且布置在所述坩埚、所述第二加热器以及所述第一防止变形部件之间。
10.根据权利要求8所述的沉积源，其中，
所述第二防止变形部件布置成与所述坩埚的底部接触。
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