JP6691764B2 - 発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents
発光表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6691764B2 JP6691764B2 JP2015227001A JP2015227001A JP6691764B2 JP 6691764 B2 JP6691764 B2 JP 6691764B2 JP 2015227001 A JP2015227001 A JP 2015227001A JP 2015227001 A JP2015227001 A JP 2015227001A JP 6691764 B2 JP6691764 B2 JP 6691764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- light emitting
- opening
- pixel defining
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 415
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 152
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 131
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 130
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims description 127
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 94
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 94
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 86
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 76
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 65
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 32
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 18
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 11
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 9
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 9
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 107
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N Cyclopentane Chemical compound C1CCCC1 RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 7
- -1 PI) Polymers 0.000 description 6
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N heptamethylene Natural products C1CCCCCC1 DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 3
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FZTLLUYFWAOGGB-UHFFFAOYSA-N 1,4-dioxane dioxane Chemical compound C1COCCO1.C1COCCO1 FZTLLUYFWAOGGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GEQBRULPNIVQPP-UHFFFAOYSA-N 2-[3,5-bis(1-phenylbenzimidazol-2-yl)phenyl]-1-phenylbenzimidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1N1C2=CC=CC=C2N=C1C1=CC(C=2N(C3=CC=CC=C3N=2)C=2C=CC=CC=2)=CC(C=2N(C3=CC=CC=C3N=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 GEQBRULPNIVQPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OSQXTXTYKAEHQV-WXUKJITCSA-N 4-methyl-n-[4-[(e)-2-[4-[4-[(e)-2-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]ethenyl]phenyl]phenyl]ethenyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(\C=C\C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(\C=C\C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=CC(C)=CC=3)C=3C=CC(C)=CC=3)=CC=2)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 OSQXTXTYKAEHQV-WXUKJITCSA-N 0.000 description 2
- YXVFYQXJAXKLAK-UHFFFAOYSA-M 4-phenylphenolate Chemical compound C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=CC=C1 YXVFYQXJAXKLAK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical compound [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- IWZZBBJTIUYDPZ-DVACKJPTSA-N (z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;iridium;2-phenylpyridine Chemical compound [Ir].C\C(O)=C\C(C)=O.[C-]1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1.[C-]1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 IWZZBBJTIUYDPZ-DVACKJPTSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMQPLEYEXDZOJF-UHFFFAOYSA-N 1-naphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(C4=CC5=CC=CC=C5C=C4)=CC=CC3=CC2=C1 KMQPLEYEXDZOJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFTIPCRZWILUIY-UHFFFAOYSA-N 2,5,8,11-tetratert-butylperylene Chemical group CC(C)(C)C1=CC(C2=CC(C(C)(C)C)=CC=3C2=C2C=C(C=3)C(C)(C)C)=C3C2=CC(C(C)(C)C)=CC3=C1 BFTIPCRZWILUIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBAJPWYDYFEBTF-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-9,10-dinaphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC(C3=C4C=CC=CC4=C(C=4C=C5C=CC=CC5=CC=4)C4=CC=C(C=C43)C(C)(C)C)=CC=C21 OBAJPWYDYFEBTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=NC2=C1C=CC1=C(C=3C=CC=CC=3)C=CN=C21 DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWXGSYPUMWKTBR-UHFFFAOYSA-N 4-carbazol-9-yl-n,n-bis(4-carbazol-9-ylphenyl)aniline Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2N1C1=CC=C(N(C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=C1 AWXGSYPUMWKTBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIZUPBYFLORCRA-UHFFFAOYSA-N 9,10-dinaphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C12=CC=CC=C2C(C2=CC3=CC=CC=C3C=C2)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=C(C=CC=C2)C2=C1 VIZUPBYFLORCRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- XUIOOQQEWYAHPG-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)C1=CC2=C(C3=CC=CC=C3C(=C2C=C1)C1=CC2=CC=CC=C2C=C1)C1=CC2=CC=CC=C2C=C1.C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12 Chemical compound C(C)(C)(C)C1=CC2=C(C3=CC=CC=C3C(=C2C=C1)C1=CC2=CC=CC=C2C=C1)C1=CC2=CC=CC=C2C=C1.C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12 XUIOOQQEWYAHPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGOUKRYGVJIDFF-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)N1C(=NC2=C1C=CC=C2)C2=CC(=CC(=C2)C2=NC1=C(N2C2=CC=CC=C2)C=CC=C1)C1=NC2=C(N1C1=CC=CC=C1)C=CC=C2.C2=CC=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C(=NC2=C1C=CC=C2)C2=CC(=CC(=C2)C2=NC1=C(N2C2=CC=CC=C2)C=CC=C1)C1=NC2=C(N1C1=CC=CC=C1)C=CC=C2.C2=CC=CC=C2 YGOUKRYGVJIDFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KESRRRLHHXXBRW-UHFFFAOYSA-N C1=CC=NC2=C3C(O)=CC=CC3=CC=C21 Chemical compound C1=CC=NC2=C3C(O)=CC=CC3=CC=C21 KESRRRLHHXXBRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000837344 Homo sapiens T-cell leukemia translocation-altered gene protein Proteins 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100028692 T-cell leukemia translocation-altered gene protein Human genes 0.000 description 1
- CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N acetylacetonate Chemical compound CC(=O)[CH-]C(C)=O CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 125000005605 benzo group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFVXQDWNSAGPHN-UHFFFAOYSA-K bis[(2-methylquinolin-8-yl)oxy]-(4-phenylphenoxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CC=C([O-])C2=NC(C)=CC=C21.C1=CC=C([O-])C2=NC(C)=CC=C21.C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=CC=C1 UFVXQDWNSAGPHN-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CECAIMUJVYQLKA-UHFFFAOYSA-N iridium 1-phenylisoquinoline Chemical compound [Ir].C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12.C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12.C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12 CECAIMUJVYQLKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 1
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/191—Deposition of organic active material characterised by provisions for the orientation or alignment of the layer to be deposited
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
105 基板
110 第1電極
120 画素定義膜
130a、230a、330a 第1撥液パターン
130b、230b、330b 第2撥液パターン
130c、230c、330c 第3撥液パターン
OL11、OL21、OL31 第1有機層
OL12、OL22、OL32 第2有機層
OL13、OL23、OL33 第3有機層
140a、240a、340a 第1正孔注入層
140b、240b、340b 第2正孔注入層
140c、240c、340c 第3正孔注入層
150a、250a、350a 第1正孔輸送層
150b、250b、350b 第2正孔輸送層
150c、250c、350c 第3正孔輸送層
160a、260a、360a 第1発光層
160b、260b、360b 第2発光層
160c、260c、360c 第3発光層
170a 第1電子輸送層
170b 第2電子輸送層
170c 第3電子輸送層
180a 第1電子注入層
180b 第2電子注入層
180c 第3電子注入層
190 第2電極
Claims (11)
- 複数の画素を含む基板と、
前記基板上に前記複数の画素別に配置される第1電極と、
前記第1電極を露出する開口部を有するように前記基板上に配置され、第1部分と、前記第1部分より上に位置する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する境界部分を含む側面を含む画素定義膜と、
前記画素定義膜の前記開口部の内部において、前記画素定義膜の前記側面のうち前記境界部分に配置される撥液パターンと、
前記第1電極上に、この順で積層されて配置される正孔注入層、正孔輸送層、及び発光層を含む有機層と、
前記有機層上に形成される第2電極と、を含み、
前記正孔注入層、前記正孔輸送層及び前記発光層の周縁は、これらを囲む前記撥液パターンの下縁部に接するか、または近接して配置される発光表示装置。 - 前記有機層中には、前記発光層の上に、電子輸送層が含まれ、
前記電子輸送層の周縁部が、前記撥液パターンを覆う、請求項1に記載の発光表示装置。 - 前記有機層中には、前記発光層の上に、この順で積層される電子輸送層及び電子注入層が含まれ、前記電子輸送層、前記電子注入層、及び前記第2電極は、前記各開口部の周縁に近い領域にて、当該開口部の内側へと傾いた斜め上方に向かって、膨出状に形成される請求項1または2に記載の発光表示装置。
- 前記撥液パターンは、フルオリンを含む絶縁物質で形成される請求項1に記載の発光表示装置。
- 前記画素定義膜は、有機物質または無機物質で形成される請求項1に記載の発光表示装置。
- 複数の画素を含む基板上に前記複数の画素別に第1電極を形成する段階と、
前記基板上に前記第1電極を露出する開口部を有し、第1部分と、前記第1部分より上に位置する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する境界部分を含む側面を含む画素定義膜を形成する段階と、
前記画素定義膜の前記開口部の内部において、前記画素定義膜の前記側面のうち前記境界部分に撥液パターンを形成する段階と、
前記画素定義膜の前記開口部の内部で前記撥液パターンの下部に配置される発光層を含む有機層を、前記第1電極上に形成する段階と、
前記有機層上に第2電極を形成する段階を含み、
前記撥液パターンを形成する段階は、
前記画素定義膜の前記開口部の内部で前記第1部分と前記境界部分との間の第1位置まで第1溶媒を満たす過程と、
前記第1溶媒上にフルオリンを含む絶縁物質が混合された第2溶媒を吐出する過程と、
前記第2溶媒を乾燥させて前記フルオリンを含む前記絶縁物質を前記第1位置に凝集させる過程と、
前記第1溶媒を乾燥させて前記第1位置に形成される前記撥液パターンによるピニングポイントを形成する過程を含む発光表示装置の製造方法。 - 複数の画素を含む基板上に前記複数の画素別に第1電極を形成する段階と、
前記基板上に前記第1電極を露出する開口部を有し、第1部分と、前記第1部分より上に位置する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する境界部分を含む側面を含む画素定義膜を形成する段階と、
前記画素定義膜の前記開口部の内部において、前記画素定義膜の前記側面のうち前記境界部分に撥液パターンを形成する段階と、
前記画素定義膜の前記開口部の内部で前記撥液パターンの下部に配置される発光層を含む有機層を、前記第1電極上に形成する段階と、
前記有機層上に第2電極を形成する段階を含み、
前記複数の画素は、第1画素と第2画素を含み、前記画素定義膜の前記開口部は、前記第1画素に形成される前記第1電極を露出する第1開口部と、前記第2画素に形成される前記第1電極を露出する第2開口部に区分され、
前記撥液パターンを形成する段階は、
前記画素定義膜の前記第1開口部の内部であって、前記画素定義膜の前記側面のうち前記画素定義膜の高さを基準とする第1位置までと、前記画素定義膜の前記第2開口部の内部で前記画素定義膜の前記側面のうち前記画素定義膜の高さを基準とする第2位置まで、第1溶媒を満たす過程と、
前記第1溶媒上にフルオリンを含む絶縁物質が混合された第2溶媒を吐出する過程と、
前記第2溶媒を乾燥させて前記フルオリンを含む前記絶縁物質を前記第1位置と前記第2位置のそれぞれに凝集させる過程と、
前記第1溶媒を乾燥させて、前記第1位置に形成される第1撥液パターンによって第1ピニングポイントを形成すると共に、前記第1溶媒を乾燥させて、前記第2位置に形成される第2撥液パターンによって第2ピニングポイントを形成する過程を含む発光表示装置の製造方法。 - 前記有機層の発光層を形成する段階は、前記第1開口部の内部で前記第1ピニングポイントと第1発光溶液の表面との間の最大高さと、前記第2開口部の内部で前記第2ピニングポイントと第2発光溶液の表面との間の最大高さが同じとなるように、前記第1発光溶液の体積と前記第2発光溶液の体積を調整し、前記第1発光溶液を前記第1開口部に吐出し、前記第2発光溶液を前記第2開口部に吐出する過程を含む請求項7に記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記第1溶媒は非極性であり、前記第2溶媒は極性である請求項6〜8のいずれかに記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記第2溶媒は、前記第1溶媒よりも、沸点及び密度が高い、請求項6〜9のいずれかに記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記の第2溶媒を吐出する過程にて、フルオリンを含む絶縁物質が混合された第2溶媒は、前記撥液パターンに対する接触角が40°以上である、請求項6〜10のいずれかに記載の発光表示装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150040551A KR102377490B1 (ko) | 2015-03-24 | 2015-03-24 | 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR10-2015-0040551 | 2015-03-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016181498A JP2016181498A (ja) | 2016-10-13 |
JP6691764B2 true JP6691764B2 (ja) | 2020-05-13 |
Family
ID=56974294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015227001A Active JP6691764B2 (ja) | 2015-03-24 | 2015-11-19 | 発光表示装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9704935B2 (ja) |
JP (1) | JP6691764B2 (ja) |
KR (1) | KR102377490B1 (ja) |
CN (1) | CN106024827B (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106356396B (zh) * | 2016-11-24 | 2021-03-26 | 深圳市Tcl高新技术开发有限公司 | 适用于印刷工艺制备显示器的像素Bank结构及其制备方法 |
JP2018147599A (ja) * | 2017-03-01 | 2018-09-20 | 株式会社Joled | 有機電界発光素子、有機電界発光パネルおよび発光装置 |
CN108630728B (zh) | 2017-03-24 | 2020-07-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素界定层、有机电致发光器件及其制备方法和显示装置 |
JP6995489B2 (ja) * | 2017-04-13 | 2022-01-14 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
KR20180131679A (ko) * | 2017-05-30 | 2018-12-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JP6768616B2 (ja) * | 2017-09-19 | 2020-10-14 | 株式会社Joled | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP7102131B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2022-07-19 | キヤノン株式会社 | トップエミッション型の有機el素子およびその製造方法 |
JP6805221B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2020-12-23 | 株式会社Joled | 有機el表示パネル、有機el表示装置、および、その製造方法 |
US10720478B2 (en) | 2017-12-15 | 2020-07-21 | Joled Inc. | Organic EL display panel, organic EL display device, and organic EL display panel manufacturing method |
KR102491882B1 (ko) * | 2017-12-20 | 2023-01-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광표시장치 및 이의 제조방법 |
JP6808662B2 (ja) * | 2018-01-15 | 2021-01-06 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、および、有機el表示パネル、有機el表示装置 |
KR20190090902A (ko) * | 2018-01-25 | 2019-08-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
CN108470752A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-08-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素界定层及其制造方法和显示基板 |
CN108538886B (zh) * | 2018-03-28 | 2020-08-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素界定层及制造方法、显示基板、显示装置 |
CN108630734B (zh) * | 2018-05-11 | 2021-01-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素界定结构及其制备方法以及显示面板和显示装置 |
US11251244B2 (en) | 2018-06-01 | 2022-02-15 | Int Tech Co., Ltd. | Light-emitting device |
US10581011B2 (en) * | 2018-06-01 | 2020-03-03 | Int Tech Co., Ltd. | Light emitting device with different light emitting material overlapping width |
US11730017B2 (en) | 2018-11-13 | 2023-08-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and method of fabricating the same |
CN109698221B (zh) * | 2018-12-25 | 2021-04-30 | 武汉天马微电子有限公司 | 一种有机发光显示面板及装置 |
JP2020181190A (ja) | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 表示装置及びその製造方法 |
TWI693711B (zh) * | 2019-04-25 | 2020-05-11 | 創王光電股份有限公司 | 電流驅動顯示器及其製造方法 |
CN110098352B (zh) | 2019-05-17 | 2023-01-13 | 合肥京东方卓印科技有限公司 | 界定溶液、显示基板、显示装置和制备像素界定层方法 |
CN111009568B (zh) * | 2019-12-27 | 2022-10-11 | 武汉天马微电子有限公司 | 一种显示面板及显示装置 |
CN112885872B (zh) * | 2020-01-21 | 2023-01-13 | 创王光电股份有限公司 | 发光元件 |
CN113314685A (zh) * | 2021-06-24 | 2021-08-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板、显示基板及其制备方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3646510B2 (ja) * | 1998-03-18 | 2005-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜形成方法、表示装置およびカラーフィルタ |
KR100834344B1 (ko) | 2001-12-29 | 2008-06-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 능동행렬 유기전기발광소자 및 그의 제조 방법 |
KR100426680B1 (ko) | 2002-02-26 | 2004-04-13 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 잉크젯 프린팅 방식 유기전계발광 소자 및 그의 제조방법 |
KR100993826B1 (ko) | 2003-11-19 | 2010-11-12 | 삼성전자주식회사 | 표시장치 및 이의 제조 방법 |
KR20050087115A (ko) | 2004-02-25 | 2005-08-31 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
JP4161956B2 (ja) * | 2004-05-27 | 2008-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタ基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 |
KR100683693B1 (ko) * | 2004-11-10 | 2007-02-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 |
JP2006228649A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法、蒸着ボート |
JP4876415B2 (ja) * | 2005-03-29 | 2012-02-15 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置の製造方法、デバイスの製造方法 |
JP4857688B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-01-18 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
EP2175504A4 (en) * | 2007-07-31 | 2012-08-22 | Sumitomo Chemical Co | ORGANIC ELECTROLUMINESCENE ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
US8130177B2 (en) * | 2008-03-13 | 2012-03-06 | Panasonic Corporation | Organic EL display panel and manufacturing method thereof |
KR101097319B1 (ko) | 2009-11-30 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
JP2011146184A (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-28 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
TWI508279B (zh) * | 2012-01-19 | 2015-11-11 | Joled Inc | 顯示器及其製造方法,單元,轉印方法,有機電致發光單元及其製造方法,以及電子裝置 |
-
2015
- 2015-03-24 KR KR1020150040551A patent/KR102377490B1/ko active IP Right Grant
- 2015-10-16 US US14/884,800 patent/US9704935B2/en active Active
- 2015-11-19 JP JP2015227001A patent/JP6691764B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-04 CN CN201610078503.XA patent/CN106024827B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102377490B1 (ko) | 2022-03-22 |
US9704935B2 (en) | 2017-07-11 |
CN106024827B (zh) | 2021-02-02 |
CN106024827A (zh) | 2016-10-12 |
KR20160114754A (ko) | 2016-10-06 |
JP2016181498A (ja) | 2016-10-13 |
US20160284776A1 (en) | 2016-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6691764B2 (ja) | 発光表示装置及びその製造方法 | |
KR102413938B1 (ko) | 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2016157678A (ja) | 発光表示装置及びその製造方法 | |
KR102457596B1 (ko) | 발광 표시 장치의 제조 방법 | |
US11211437B2 (en) | Method of manufacturing organic EL display panel, organic EL display panel, and organic EL display device | |
KR102181978B1 (ko) | 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
KR20180115387A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
KR20140100357A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 | |
TWI628823B (zh) | 發光顯示器裝置及其製造方法 | |
US11700734B2 (en) | Organic el element, and organic el display panel including light- emitting layer and functional layer with specific hole and electron mobilities relationship | |
KR20160079975A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 | |
KR20170002740A (ko) | 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
US9620744B2 (en) | Optical patterning mask and method for fabricating display device using the same | |
KR102349697B1 (ko) | 유기 발광 소자와 그 제조 방법 및 그를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치 | |
KR102258673B1 (ko) | 유기 발광 소자와 그 제조 방법 및 그를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치 | |
KR102368768B1 (ko) | 발광 표시 장치 | |
JP2019133835A (ja) | 有機el表示パネル及び有機el表示パネルの製造方法 | |
US20220199930A1 (en) | Organic el element, organic el display panel, and organic el element manufacturing method | |
KR102337319B1 (ko) | 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2022076273A (ja) | 自発光型表示パネル、及び自発光型表示パネルの製造方法 | |
JP2022102056A (ja) | 自発光パネル、および、自発光パネルの製造方法 | |
CN111952465A (zh) | 有机el元件及其制造方法、有机el显示面板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20170425 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190702 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6691764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |