CN103510051A - 用于制造显示装置的加热装置 - Google Patents

Abstract

公开了一种用于制造显示装置的加热装置，即使加热件由于热量而变形,也不使加热装置损坏或毁坏，并延长加热件的更换周期，其中所述加热装置包括：加热件，释放热量以加热材料，所述材料将要被沉积到准备用于制造显示装置的基板上；用于支撑所述加热件的第一安装装置；以及设置有通孔的第二安装装置，所述加热件的另一端穿过所述通孔。

Description

用于制造显示装置的加热装置

相关申请的交叉引用

本申请要求于2012年6月20日提交的韩国专利申请第10-2012-0066405号的权益，在此通过援引将该专利申请的内容结合在此，就像在这里被全部阐述一样。

技术领域

本发明涉及用于制造显示装置的加热装置。

背景技术

有机发光二极管（OLED）、液晶显示器（LCD）、等离子显示面板（PDP）以及电泳显示器（EPD）等显示装置是通过各种工序制造的。这些工序可以包括在基板上沉积薄膜的沉积工序，以及根据预定图案去除薄膜的蚀刻工序。例如，可以通过无机或金属材料的蒸发工序在基板上沉积薄膜，来制造OLED。此处，韩国专利申请第P10-0670360号（日期为2007年1月16日）公开了用于此工序的设备。

图1是说明现有技术的沉积设备和用于该沉积设备的加热装置的截面侧视图。

参照图1，现有技术的沉积设备10包括处理室11和加热装置12，处理室11用于执行在基板100上形成薄膜的工序，加热装置12用于蒸发材料以形成薄膜。

加热装置12包括用于在其中容纳材料的容器121，以及用于对容器121中容纳的材料进行加热的加热件122。与容器121结合的加热件122覆盖容器121的外部。当对加热件122提供电力时，加热件122释放热量，从而对容器121中容纳的材料进行加热。于是，容器121中容纳的材料被蒸发，然后向基板100转移，从而在基板100上形成薄膜。加热件122以相当高的温度释放热量，以使得容器121中容纳的材料蒸发。例如，如果容器121中容纳的材料为无机或金属材料，则加热件122释放出具有高于大约1000°C温度的热量。

在现有技术的沉积设备10的情况下，沿水平方向（X轴方向）覆盖容器121的多个加热件122，沿垂直方向（Z轴方向）与容器121结合。因此，在释放高温热量的工序期间，加热件122由于重力而在向下方向（箭头A的方向）上发生变形，由此导致加热件122朝向下方向（箭头A的方向）移动。于是，由于加热件122在沉积设备10中的移动，导致加热件122与容器121结合的位置发生改变，使得难以均匀地对容器121中容纳的材料进行加热。在现有技术的沉积设备10中，用于修理或更换加热件122的周期很短。此外，在修理或更换加热件122的过程中，应该停止在基板100上沉积薄膜的工序，因此降低了制造显示装置的工序的生产率。

发明内容

本发明涉及制造显示装置的加热装置，该加热装置基本上避免了由于现有技术的局限和缺点而导致的一个或多个问题。

本发明的一方面是提供制造显示装置的加热装置，即使加热件由于热量而变形，也不使该加热装置损坏或毁坏。

将在随后的描述中部分地阐述本发明其它的优点和特征，并且这些优点和特征的一部分在本领域技术人员研习下文后，对于本领域技术人员而言将变得显而易见，或者可以从本发明的实践中获悉。通过在文字描述的说明书和它的权利要求书以及附图中具体指出的结构可以实现和获得本发明的目的和其它优点。

为了实现这些和其它优点并依照本发明的目的，如在此具体化和概括地描述的，提供了一种制造显示装置的加热装置，该加热装置包括：加热件，释放热量以加热材料，所述材料将要被沉积到准备用于制造显示装置的基板上；用于支撑所述加热件的第一安装装置，其中所述加热件的一端安装在所述第一安装装置中；以及在与所述第一安装装置相距预定距离处设置的第二安装装置，其中所述加热件的另一端安装在所述第二安装装置中，其中所述第二安装装置包括通孔，所述加热件的另一端穿过所述通孔，使得由于热量而变形的加热件相对于被所述第一安装装置支撑的部分而膨胀或收缩。

应理解本发明之前概括地描述和之后详细的描述是示例性和解释性的,并意图提供对要求保护的本发明的进一步的解释。

附图说明

被包括的附图提供对本发明的进一步理解，并且与本申请结合而构成本申请的一部分，附图图示本发明的实施例，并且与说明书文字一起用来解释本发明的原理。在附图中：

图1是图示现有技术的沉积设备和用于沉积设备的加热装置的截面侧视图；

图2是图示本发明的用于制造显示装置的加热装置的透视图；

图3是沿图2的I-I线的截面侧视图；

图4是用于解释当加热件的两端都被支撑时产生的问题的截面侧视图；

图5是图示本发明的用于制造显示装置的加热装置的分解透视图；

图6是图示本发明的用于制造显示装置的加热装置的一部分的透视图；

图7是图示图6展开的II部分的前视图；

图8是图示第一安装装置沿图5的I'-I'线的截面的平面图；

图9是图示第二安装装置沿图5的I″-I″线的截面的平面图；

图10是图示本发明的第三安装装置的平面图；以及

图11是图示本发明的间隔装置的平面图。

具体实施方式

现在将详细参考本发明的示范性实施例，附图中图示了这些实施例的示例。尽可能地，将在全部附图中使用相同的标号来表示相同或相似的部分。

以下，将参照附图描述本发明的用于制造显示装置的加热装置。

参照图2，本发明的用于制造显示装置的加热装置1（以下称为“加热装置”）是用于制造诸如有机发光二极管（OLED）、液晶显示器（LCD）、等离子显示面板（PDP）以及电泳显示器（EPD）之类的显示装置。本发明的该加热装置1可以设置在用于将薄膜沉积在基板（参见图1的“100”）上的设备中。例如，本发明的加热装置1可以设置在用于通过蒸发材料而将薄膜沉积在基板上的设备中，其中本发明的加热装置1可以对材料进行加热。通过加热而蒸发的材料转移至基板（参见图1的“100”），然后在基板（参见图1的“100”）上沉积，由此在基板（参见图1的“100”）上形成薄膜。此处，材料可以是有机材料、无机材料或用于形成阴极的金属材料。可以通过本发明的加热装置1对容器（未示出）中容纳的材料进行加热。

参照图2至图4，本发明的加热装置1包括用于释放热量以加热材料的加热件2、用于支撑加热件2的第一安装装置3、以及在与第一安装装置3相距预定间隔处设置的第二安装装置4。加热件2的一端安装在第一安装装置3中，而加热件2的另一端安装在第二安装装置4中。

在释放热量的工序中，加热件2可能会由于热量而变形，由此导致加热件2膨胀或收缩。在此情况中，如图4所示，如果加热件2是在插入第一安装装置3和第二安装装置4中的同时进行结合，则加热件2的两端分别被第一安装装置3和第二安装装置4支撑。假设加热件2由于热量而膨胀，则由于加热件2的两端都被第一安装装置3和第二安装装置4支撑，加热件2可能会像图4中的虚线示出的那样弯曲。因此，加热件2会由于部分断路或短路而损坏或毁坏，从而无法执行加热材料的工序。因为加热件2是弯曲的，所以难以均匀地保持加热件2的每个部分与材料之间的距离，即难以均匀地加热材料。

为了克服此问题，如图3所示，本发明的加热装置1设置有包括通孔41的第二安装装置4，通孔41使加热件2从其中穿过。假设在释放热量以加热材料的工序期间，加热件2由于热量而变形，则加热件2可以经由第二安装装置4的通孔41而自如地膨胀或收缩。也就是说，即使加热件2由于热量而膨胀，通过采用通孔41，膨胀的加热件2不会与第二安装装置4之间发生干扰。此外，即使加热件2由于热量而收缩，通过采用通孔41，收缩的加热件2也不会与第二安装装置4之间发生干扰。因此，本发明的加热装置1实现以下的效果。

首先，在本发明的加热装置1中，即使加热件2由于热量导致的变形而膨胀或收缩，加热件2穿过通孔41，因此防止加热件2发生弯曲。也就是说，能够防止加热件2在释放热量工序中由于部分断路或短路而损坏或毁坏。于是，本发明的加热装置1促进改善加热材料工序的稳定性，进而改善在基板（参见图1的“100”）上沉积薄膜的工序的稳定性。

此外，本发明的加热装置1防止加热件2由于热量而变形和弯曲，从而延长了用于修理或更换加热件2的周期。因此，本发明的加热装置1能够防止由于修理或更换加热件2的工序而浪费工作时间，由此促进制造显示装置的工序的生产率。

此外，本发明的加热装置1防止加热件2由于热量而变形和弯曲，这能够均匀地保持加热件2的每个部分与材料之间的距离。因此，本发明的加热装置1促进均匀地加热材料，由此改善在基板（参见图1的“100”）上沉积的薄膜的均匀性。

以下将参照附图，详细描述加热件2、第一安装装置3和第二安装装置4。

参照图2、图3和图5，加热件2释放热量以加热材料。加热件2安装在第一安装装置3和第二安装装置4中。将容器（未示出）中容纳的材料放置在加热件2内。此处，容器（未示出）可以是坩埚。加热件2是以环绕所述容器（未示出）的形状形成。例如，加热件2可以是以环绕容器（未示出）的中空圆柱形的形状形成。

加热件2可以包括与电源（未示出）连接的连接件2a。如果将电源的电力提供给连接件2a，则加热件2释放热量，由此来加热材料。加热件2可以包括连接件2a和连接件2b两个。在此情况中，一个连接件2a与电源的阳极（+）连接，而另一个连接件2b与电源的阴极（-）连接。如果加热件2被安装在第一安装装置3和第二安装装置4中，则可以将从第二安装装置4延伸的连接件2a和2b连接到电源。加热件2可以与连接到阳极（+）的连接件2a和连接到阳极（+）的连接件2b相连接。如果将电力提供给加热件2，则加热件2释放热量，其中加热件2的一个示例可以是丝状物(filament)。

当加热件2的一端安装在第一安装装置3中时，加热件2的一端被第一安装装置3支撑。加热件2的另一端经由通孔41而安装在第二安装装置4中。当加热件2由于热量而变形时，加热件2可以相对于它被第一安装装置3支撑的部分而膨胀或收缩。在此情况中，加热件2可以经由通孔41膨胀或收缩，而不会与第二安装装置4之间发生干扰。因此，本发明的加热装置1促进防止加热件2由于部分断路或短路而损坏或毁坏，并延长了加热件2的更换周期。

加热件2包括插入槽（参见图5放大部分的“21”），第一安装装置3插进所述插入槽中。插入槽21是沿着从第二安装装置4朝向第一安装装置3的方向（以下称为“第一方向”，即箭头B的方向）形成的。通过沿着加热件2的第一方向（箭头B的方向）形成槽，可以获得插入槽21。因为加热件2被插进插入槽21的第一安装装置3支撑，因此，由于热量而变形的加热件2可以相对于它被第一安装装置3支撑的部分而膨胀或收缩。插入槽21可以以矩形板的形状形成，但并不局限于此形状。例如，插入槽21可以以能够使第一安装装置3插入其中的任何形状形成。加热件2可以包括多个插入槽21。多个插入槽21可以是沿着以圆柱形形成的加热件2的侧面，以固定间隔的方式设置的。

加热件2包括分离槽（参见图5放大部分的“22”），分离槽是沿着从第一安装装置3朝向第二安装装置4的方向（以下称为“第二方向”，即箭头C的方向）形成的。通过沿着加热件2的第二方向（箭头C的方向）形成槽，可以获得分离槽22。分离槽22可以以矩形板的形状形成，但并不局限于此形状。例如，分离槽22可以以诸如椭圆形的其他形状形成。插入槽21和分离槽22可以是以相同的形状和尺寸形成，并且可以沿彼此相对的方向设置。加热件2可以包括多个分离槽22。多个分离槽22可以是沿着以圆柱形形成的加热件2的侧面，以固定间隔的方式设置的。

如图5所示，插入槽21和分离槽22是沿着加热件2的曲侧面交替布置的。多个插入槽21和多个分离槽22可以是沿着加热件2的侧面，以固定间隔的方式交替布置。因此，由多个插入槽21和多个分离槽22划分的各部分211、211'和211″具有相同的尺寸，使得在各部分211、211'和211″中的每个部分中，形成相同的电阻。于是，本发明的加热装置1促进改善从加热件2释放出的热量的温度均匀性，从而均匀地加热材料。此外，通过采用插入槽21和分离槽22，容易使加热件2变形而形成圆柱形，由此将加热件2容易地安装在第一安装装置3和第二安装装置4中。因此，本发明的加热装置1能够提高将加热件2安装在第一安装装置3和第二安装装置4中的操作简易性。通过利用具有插入槽21和分离槽22的部分，将连接至阳极（+）的连接件2a与连接至阴极（-）的连接件2b相连接，可以将加热件2形成为一体。

参照图6和图7，加热件2可以包括第一突出件23。在沿第一方向（箭头B的方向）设置的第一突出件23从第一安装装置3突出的状态下，加热件2被第一安装装置3支撑，由此将加热件2安装在第一安装装置3中。第一突出件23把通过加热件2中所形成的插入槽21划分的两个部分211和211'彼此连接起来（参见图7）。加热件2可以包括多个第一突出件23。

如图7所示，第一突出件23可以具有从第一安装装置3突出的曲面。因此，加热件2的由多个插入槽21和多个分离槽22划分的各部分211、211'和211″具有大致相同的尺寸，并且各个第一突出件23具有大致相同的尺寸，由此在加热件2的各个部分中形成大致相同的电阻。因此，本发明的加热装置1促进改善从加热件2释放的热量的温度均匀性，从而均匀地加热材料。以下将详细描述此点。

首先，如图7所示，加热件2的由多个插入槽21和多个分离槽22划分的各部分211、211'和211″具有相同的宽度（第一宽度，L1）。在此情况中，如图7的虚线所示，如果第一突出件23是以矩形的形状形成，则第一突出件23的拐角具有大于第一宽度（L1）的宽度（L2）。因此，如果第一突出件23是以矩形的形状形成，则由多个插入槽21及多个分离槽22划分的各部分211、211'和211″，与第一突出件23具有不同的尺寸，使得其中形成了不同的电阻，从而降低了加热件2释放出的热量的温度均匀性。

接下来，如图7的实线所示，如果第一突出件23形成有曲面，则第一突出件23的拐角具有与第一宽度（L1）大致相似的宽度（L3）。因此，如果第一突出件23形成有曲面，则由多个插入槽21和多个分离槽22划分的各部分211、211'及211″，与第一突出件23具有大体上相同的尺寸，使得在其中形成大体上相同的电阻，从而改善从加热件2释放的热量的温度均匀性。第一突出件23可以整体具有与第一宽度（L1）大体上相同的宽度。因此，本发明的加热装置1进一步改善了从加热件2释放的热量的温度均匀性，从而更均匀地加热材料。尽管未示出，插入槽21的与第一突出件23邻近的预定部分可以形成有曲面，该曲面的弧度与第一突出件23的弧度相同。

参照图5至7，加热件2可以包括第二突出件（参见图6的“24”）。加热件2的第二突出件24可以从第二安装装置4突出，其中第二突出件24是沿第二方向（箭头C的方向）设置的。第二突出件24可以经由通孔（参见图6的“41”）而从第二安装装置4突出。第二突出件24把通过加热件2中所形成的插入槽21划分的两个部分211和211'彼此连接起来（参见图7）。加热件2可以包括多个第二突出件24。第二突出件24可以是以矩形的形状形成。尽管未示出，第二突出件24可以具有从第二安装装置4突出的曲面。尽管未示出，分离槽22的与第二突出件24邻近的预定部分可以形成有曲面，该曲面的弧度与第二突出件24的弧度相同。尽管未示出，如果加热件2收缩，则第二突出件24可以位于第二安装装置4内，而不是沿第二方向（箭头C的方向）从第二安装装置4突出。

参照图5至图8，第一安装装置3支撑加热件2。第一安装装置3是从第二安装装置4沿第一方向（箭头B的方向），以预定间隔的方式设置的。第一安装装置3可以与壳体（参见图8的“20”）结合。壳体20被设置为覆盖第一安装装置3。壳体20是以中空圆柱形的形状形成的，用于在其中容纳加热件2、第一安装装置3和第二安装装置4。通过采用诸如螺栓等耦接装置，将第一安装装置3与壳体20结合，由此来支撑加热件2。第一安装装置3可以由绝缘材料形成。例如，第一安装装置3可以由陶瓷形成。

第一安装装置3包括安装孔（参见图8的“31”），在所述安装孔中安装加热件2。安装孔31穿透第一安装装置3。加热件2的另一端被插进安装孔31中，然后穿过第一安装装置3而插进通孔（参见图6的“41”）中，并且第一突出件23被第一安装装置3支撑，由此将加热件2安装在第一安装装置3中。第一安装装置3可以是以圆环形的形状形成的。安装孔31沿着第一安装装置3的周边，穿透第一安装装置3。此处，安装孔31的尺寸可以大体上等同于或大于加热件2的厚度。尽管未示出，第一安装装置3可以包括多个安装孔31。在此情况中，多个安装孔31可以是沿着第一安装装置3的周边，以固定间隔的方式设置的。

第一安装装置3包括用于支撑加热件2的支撑件32。插进插入槽（参见图7的“21”）中的支撑件32支撑加热件2。当支撑件32支撑第一突出件23时，加热件2被支撑件32支撑。穿过通孔（参见图6的“41”）的第二突出件（参见图6的“24”）不被第二安装装置4支撑。因此，当加热件2由于热量而变形时，加热件2可以相对于支撑件32而膨胀或收缩。

支撑件32可以是沿着与安装孔31相交的方向形成。因此，安装孔31的、设置有支撑件32的预定部分被支撑件32阻挡，从而防止加热件2经由安装孔31而脱离。此外，支撑件32防止由插入槽21划分的各部分211和211'(参见图7)彼此接触。在本发明的加热装置1中，通过支撑件32，将位于支撑件32的两侧的各部分211和211'彼此分离开，从而能够防止由插入槽21划分的各部分211和211'彼此接触时发生短路。

支撑件32可以沿第一方向（箭头B的方向）突出。因此，支撑件32能够将第一突出件23设置在与第一安装装置3相距预定距离处。也就是说，支撑件32使得第一突出件23设置在与第一安装装置3相距预定距离处。因此，支撑件32能够减小第一突出件23与第一安装装置3之间的接触面积，从而降低对加热材料工序的影响。如果加热件2包括多个插入槽21，则第一安装装置3可以包括多个支撑件32。多个支撑件32可以沿着第一安装装置3的周边，以固定间隔的方式设置。在此情况中，多个支撑件32以这样的方式设置，即每个支撑件32之间的距离大体上等同于每个插入槽21之间的距离。第一安装装置3中包括的支撑件32的数量可以大体上等同于插入槽21的数量。

参照图5至9，第二安装装置4是从第一安装装置3沿第二方向（箭头C的方向），以预定间隔的方式设置的。可以通过采用诸如螺栓等耦接装置，将第二安装装置4与壳体（参见图8的“20”）结合。第二安装装置4可以由绝缘材料形成。例如，第二安装装置4可以由陶瓷形成。

第二安装装置4包括通孔（参见图9的“41”），加热件2的另一端穿过通孔41。通孔41穿过第二安装装置4。由此，如果在用于释放热量以加热材料的工序期间，加热件2由于热量而变形，则加热件2可以经由第二安装装置4的通孔41而膨胀或收缩。也就是说，通过采用通孔41，即使加热件2由于热量而膨胀，膨胀的加热件2也不会与第二安装装置4之间发生干扰。此外，通过采用通孔41，即使加热件2由于热量而收缩，收缩的加热件2也不会与第二安装装置4之间发生干扰。

在本发明的加热装置1中，即使加热件2由于热量导致的变形而膨胀或收缩，加热件2穿过通孔41，从而防止了加热件2弯曲。也就是说，能够防止加热件2在释放热量工序期间由于部分断路或短路而损坏或毁坏。因此，本发明的加热装置1促进改善加热材料工序的稳定性。此外，本发明的加热装置1防止加热件2由于热量而变形和弯曲，从而延长了用于修理或更换加热件2的周期。因此，本发明的加热装置1能够防止由于修理或更换加热件2的工序而浪费工作时间，从而促进制造显示装置的工序的生产率。

第二安装装置4可以是以圆环形的形状形成。通孔41沿着第二安装装置4的周边，穿透第二安装装置4。此处，通孔41的尺寸可以大体上等同于或大于加热件2的厚度。此外，通孔41的尺寸可以大体上等同于或大于第二突出件（参见图5的“24”）的尺寸。第二安装装置4可以包括多个通孔41。在此情况中，多个通孔41可以沿着第二安装装置4的周边，以固定间隔的方式设置。通过使连接件2a和连接件2b经由通孔41而穿过第二安装装置4，可以将连接件2a和连接件2b（参见图5）连接到电源。

当加热件2由于热量而变形，并且由于重力的影响而沿向下的方向膨胀时，膨胀的加热件2穿过通孔41。在此情况中，第二安装装置4可以是从第一安装装置3沿向下的方向，以预定间隔的方式设置的。也就是说，第二方向（箭头C的方向）可以与加热件2受重力影响的方向相同。因此，如果本发明的加热装置1由于热量而变形，并随后膨胀，则可能通过利用重力而引导加热件2相对于被第一安装装置3支撑的部分，沿通孔41的方向膨胀。于是，本发明的加热装置1促进防止加热件2由于部分断路或短路而损坏或毁坏，并延长了更换加热件2的更换周期。

第二安装装置4可以包括将被插进插入槽（参见图7的“21”）的分离件（参见图9的“42”）。分离件42可以是沿着与通孔41相交的方向形成。于是，通孔41的、设置有分离件42的预定部分被分离件42阻挡。因此，分离件42防止由插入槽21划分的各部分211和211'（参见图5）彼此接触。在本发明的加热装置1中，通过分离件42，将位于分离件42两侧的各部分211和211'彼此分离开，从而能够防止由插入槽21划分的各部分211和211'彼此接触时发生的短路。此外，分离件42使得能够以固定间隔方式来设置第二突出件24，从而防止第二突出件24彼此接触时发生的短路。

第二安装装置4可以包括多个分离件42。多个分离件42可以沿第二安装装置4的周边，以固定间隔的方式设置。在此情况中，多个分离件42以这样的方式设置，即每个分离件42之间的距离大体上等同于每个插入槽21之间的距离。第二安装装置4中包括的分离件42的数量大体上等同于插入槽21的数量。

第二安装装置4可以包括托举件（参见图9的“43”），托举件43用于支撑其中容纳有材料的容器。可以将托举件43设置在通孔41内。托举件43可以以盘的形状形成，但不局限于此形状。例如，托举件43可以以能够支撑容器的任何形状形成。

参照图5至图10，本发明的加热装置1包括将与加热件2安装在一起的第三安装装置（参见图5的“5”）。

第三安装装置5位于第一安装装置3与第二安装装置4之间。因此，第三安装装置5防止加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分由于震动或振动而移动。通过采用诸如螺栓等耦接装置，第三安装装置5可以与壳体（参见图8的“20”）结合。第三安装装置5可以由绝缘材料形成。例如，第三安装装置5可以由陶瓷形成。

第三安装装置5包括使加热件2从其中穿过的贯穿孔（参见图10的“51”）。贯穿孔51穿透第三安装装置5。因此，如果在释放热量以加热材料的工序期间，加热件2由于热量而变形，则加热件2可以经由贯穿孔51而膨胀或收缩，而不会与第三安装装置5之间发生干扰。也就是说，即使加热件2由于热量而膨胀，由于采用贯穿孔51，膨胀的加热件2并不会与第三安装装置5发生干扰。此外，即使加热件2由于热量而收缩，由于采用贯穿孔51，收缩的加热件2并不会与第三安装装置5发生干扰。因此，在本发明的加热装置1中，能够防止加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分由于震动或振动而移动，并且还防止当加热件2由于热量而膨胀或收缩时加热件2发生弯曲。

第三安装装置5可以是以圆环形的形状形成的。贯穿孔51沿着第三安装装置5的周边，穿透第三安装装置5。此处，贯穿孔51的尺寸可以大体上等同于或大于加热件2的厚度。第三安装装置5可以包括多个贯穿孔51。在此情况中，多个贯穿孔51可以沿着第三安装装置5的周边，以固定间隔的方式设置。

如图2所示，本发明的加热装置1可以包括多个第三安装装置5。多个第三安装装置5和5'可以是沿着第二方向（箭头C的方向），以固定间隔的方式设置。因此，在本发明的加热装置1中，能够把防止加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分由于震动或振动而移动的范围扩大。此外，本发明的加热装置1能够改善加热材料工序的稳定性。

参照图5至图11，本发明的加热装置1还包括设置在第一安装装置3与第二安装装置4之间的间隔装置（参见图5的“6”）。

间隔装置6覆盖加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分。因此，间隔装置6防止加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分由于震动或振动而移动。通过采用诸如螺栓等耦接装置，间隔装置6可以与壳体（参见图8的“20”）结合。间隔装置6可以是以圆环形的形状形成的。间隔装置6可以由绝缘材料形成。例如，间隔装置6可以由陶瓷形成。

间隔装置6可以包括插进插入槽（参见图7的“21”）的插入件（参见图11的“61”）。插入件61朝着设置有加热件2的内部突出。因此，由加热件2中的插入槽21划分的各部分211和211'（参见图5）由于插入件61而彼此分离开，从而防止由插入槽21划分的各部分211和211'彼此接触。因此，在本发明的加热装置1中，通过插入件61，将位于插入件61的两侧的各部分211和211'彼此分离开，从而能够防止由插入槽21划分的各部分211和211'彼此接触时发生的短路。

插入件61可以从间隔装置6突出，其中具有预定长度的插入件61可以沿着第一方向（箭头B的方向）和第二方向（箭头C的方向）中的至少一个方向来形成。因此，在本发明的加热装置1中，插入件61能够把保持由加热件2中的插入槽21划分的各部分211和211'处于彼此分离开的状态的范围扩大，从而降低短路的可能性。因此，本发明的加热装置1能够均匀地加热材料，并改善在加热材料工序中的稳定性。如果第二方向（箭头C的方向）对应于受重力影响的方向，则插入件61可以是以沿垂直方向（如图2所示的Z轴方向）竖立的矩形板的形状来形成。

间隔装置6可以包括多个插入件61。多个插入件61可以是沿着间隔装置6的周边，以固定间隔的方式设置。在此情况中，多个插入件61以这样的方式形成，即每个插入件61之间的距离大体上等同于每个插入槽21之间的距离。间隔装置6中包括的插入件61的数量大体上等同于插入槽21的数量。

如图2所示，本发明的加热装置1可以包括多个间隔装置6。多个间隔装置6和6'是沿着第二方向（箭头C的方向），以固定间隔的方式设置。因此，本发明的加热装置1降低了加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分中发生短路的可能性。此外，在本发明的加热装置1中，能够把防止加热件2的位于第一安装装置3与第二安装装置4之间的预定部分由于震动或振动而移动的范围扩大。因此，本发明的加热装置1能够均匀地加热材料，以改善在加热材料工序中的稳定性。

根据本发明，可以防止当加热件2由于热量导致的变形而膨胀或收缩时，加热件2发生弯曲，从而防止加热件2由于部分断路或短路而损坏或毁坏。

此外，能够延长用于修理或更换加热件2的周期。因此，本发明的加热装置1能够防止由于加热件2的修理或更换工序而浪费工作时间，从而促进制造显示装置的工序的生产率。

此外，加热件2与材料之间的距离被均匀地保持，从而能够均匀地加热材料，从而实现在基板上沉积的薄膜的高度均匀性。

对于本领域的技术人员将显而易见的是，在不偏离本发明的精神或范围的情况下，能够对本发明进行各种改进和变化。因此，本发明意图覆盖落入所附权利要求及其等同物的范围内的对本发明的各种改进和变化。

Claims (10)

1.一种用于制造显示装置的加热装置，包括：

加热件，用于释放热量以加热材料，所述材料将要被沉积到准备用于制造所述显示装置的基板上；

第一安装装置，用于支撑所述加热件，其中所述加热件的一端安装在所述第一安装装置中；以及

第二安装装置，在与所述第一安装装置相距预定距离处设置，其中所述加热件的另一端安装在所述第二安装装置中，

其中所述第二安装装置包括通孔，所述加热件的另一端穿过所述通孔，使得由于热量而变形的所述加热件相对于被所述第一安装装置支撑的部分而膨胀或收缩。

2.如权利要求1所述的加热装置，

其中所述第二安装装置是沿着受重力影响的向下方向，在与所述第一安装装置相距预定距离处设置的，以及

由于热量而变形、并沿着受重力影响的向下方向膨胀的所述加热件，沿所述向下方向穿过所述通孔。

3.如权利要求1所述的加热装置，

其中所述加热件包括沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向形成的插入槽，以及

所述第一安装装置包括支撑件，所述支撑件插进所述插入槽，以支撑所述加热件。

4.如权利要求1所述的加热装置，

其中所述加热件包括沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向形成的插入槽，

所述第二安装装置包括将被插进所述插入槽的分离件，以及

通过所述分离件，将所述加热件的位于所述分离件两侧的各部分彼此分离开。

5.如权利要求1所述的加热装置，还包括位于所述第一安装装置与所述第二安装装置之间的第三安装装置，其中所述第三安装装置包括用于使所述加热件从其中穿过的贯穿孔。

6.如权利要求5所述的加热装置，其中沿着从所述第一安装装置朝向所述第二安装装置的方向，以固定间隔的方式设置多个第三安装装置。

7.如权利要求1所述的加热装置，还包括位于所述第一安装装置与所述第二安装装置之间的间隔装置，

其中所述加热件包括沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向形成的插入槽，并且

其中所述间隔装置包括将被插进所述插入槽的插入件，并且通过所述间隔装置，将所述加热件的位于所述插入件两侧的各部分彼此分离开。

8.如权利要求7所述的加热装置，其中沿着所述第一安装装置朝向所述第二安装装置的方向，以固定间隔的方式设置多个间隔装置。

9.如权利要求1所述的加热装置，其中所述加热件包括沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向形成的插入槽，以及沿着从所述第一安装装置朝向所述第二安装装置的方向形成的分离槽，其中多个插入槽和多个分离槽沿所述加热件的曲侧面交替地布置。

10.如权利要求1所述的加热装置，其中所述加热件包括第一突出件，其中，沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向从所述第一安装装置突出的所述第一突出件被所述第一安装装置支撑，并且所述第一突出件具有从所述第一安装装置突出的曲面。

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