CN110144552B - 蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，该蒸镀装置包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件和第二加热件，第一加热件和第二加热件用于围设成容纳腔，蒸发源设置在容纳腔内；至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使至少两组加热组件可替换地合围于蒸发源周侧。当一组加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件的第一加热件和第二加热件彼此分离，之后将另一组加热组件中的第一加热件和第二加热件围设在蒸发源的周围，以继续对蒸发源加热，不会终止对蒸发源的加热，进而保证生产进程。

Description

蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法。

背景技术

在显示面板的制备过程中，部分功能膜层的制备一般是通过蒸镀的方式形成的，蒸镀是将蒸镀材料放置在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片表面上而获得固体薄膜的方法，因此，如何使蒸镀材料气化，进而形成镀层成为研究的热点。

在进行蒸镀时，常通过蒸镀装置对蒸镀材料进行加热，以使蒸镀材料气化。蒸镀装置包括筒体、加热丝以及蒸发源，蒸发源设置在筒体内，加热丝设置在筒体的内壁上，并且加热丝环绕蒸发源设置。使用时，蒸镀材料放置在蒸发源内，加热丝对蒸发源进行加热，以使蒸发源内的蒸镀材料气化。

然而，在使用一段时间后，加热丝会发生损坏，此时需要更换加热丝，而停止对蒸发源加热，导致蒸镀终止。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，以解决在使用一段时间后，加热丝会发生损坏，此时需要更换加热丝，而停止对蒸发源加热，导致蒸镀终止的技术问题。

本发明提供了一种蒸镀装置，包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧。

如上所述的蒸镀装置，可选地，所述蒸镀装置还包括至少两个移动系统，每个所述移动系统与一组所述加热组件连接，以驱动所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件互相靠近或者彼此分离。

如上所述的蒸镀装置，可选地，每个所述移动系统包括第一驱动装置、第二驱动装置、至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；

所述加热组件中的所述第一加热件上设置有至少一个第一驱动螺纹孔，所述第一驱动装置与各所述第一驱动螺杆传动连接，且一个所述第一驱动螺杆与一个所述第一驱动螺纹孔配合；

所述加热组件中的所述第二加热件上设置有至少一个第二驱动螺纹孔，所述第二驱动装置与各所述第二驱动螺杆传动连接，且一个所述第二驱动螺杆与一个所述第二驱动螺纹孔配合。

如上所述的蒸镀装置，可选地，所述蒸镀装置还包括沿第一方向设置的第一滑轨和沿第二方向设置的第二滑轨，所述至少两组加热组件为两组，第一组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第一滑轨上，第二组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第二滑轨上。

如上所述的蒸镀装置，可选地，每个所述移动系统包括至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；且所述第一驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨，所述第二驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨。

如上所述的蒸镀装置，可选地，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件上均设置有容置槽，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件上的所述容置槽围设成所述容纳腔；

其中，所述容纳腔的内壁与所述蒸发源的外壁曲度匹配。

如上所述的蒸镀装置，可选地，所述蒸发源具有蒸发端，所述蒸发端与所述加热组件的顶端平齐，或者所述蒸发源的蒸发端相对于所述加热组件的顶端凸出设置。

如上所述的蒸镀装置，可选地，所述容置槽内壁上设置有加热丝，以对所述蒸发源加热。

本发明实施例还提供一种蒸镀装置的使用方法，包括：

通过蒸镀装置进行蒸镀，所述蒸镀装置包括蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧；

当一组所述加热组件发生故障时，使该所述加热组件的所述第一加热件与所述第二加热件分离，之后使另一组所述加热组件的所述第一加热件与所述第二加热件合围在所述蒸发源的周侧。

如上所述的蒸镀装置的使用方法，可选地，一组所述加热组件的所述第一加热组件和所述第二加热组件对所述蒸发源加热的同时，其余所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件进行预热。

本发明提供的蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，通过设置至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件和第二加热件，第一加热件和第二加热件用于围设成容纳腔，蒸发源设置在容纳腔内；各组加热组件分别沿不同方向可移动的设置；当一组加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件的第一加热件和第二加热件彼此分离，之后将另一组加热组件中的第一加热件和第二加热件围设在蒸发源的周围，以继续对蒸发源加热，不会终止对蒸发源的加热，蒸镀不会停止。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的蒸镀装置中各第一加热件和第二加热件彼此远离时的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的蒸镀装置中一组加热组件中的第一加热件和第二加热件彼此靠近时的结构示意图。

附图标记说明：

10：第一加热件；

20：第二加热件；

30：蒸发源；

40：第一滑轨；

50：第二滑轨；

60：容置槽；

401：第一驱动装置；

402：第二驱动装置。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

图1为本发明实施例提供的蒸镀装置中各第一加热件和第二加热件彼此远离时的结构示意图；图2为本发明实施例提供的蒸镀装置中一组加热组件中的第一加热件和第二加热件彼此靠近时的结构示意图。

请参照图1和图2。本实施例提供一种蒸镀装置，包括：蒸发源30以及至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件10和第二加热件20，第一加热件10和第二加热件20用于围设成容纳腔，蒸发源30设置在容纳腔内，至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使至少两组加热组件可替换地合围于蒸发源30周侧。

本实施例中对第一加热件10和第二加热件20的形状不做限制，只要能够保证第一加热件10和第二加热件20组合时，第一加热件10和第二加热件20能够围成用于容置蒸发源30的容纳腔即可，以对蒸发源30进行加热。

在一个可实现的方式中，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上均设置有容置槽60，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60围设成容纳腔，蒸发源30设置在容纳腔内；其中容纳腔的内壁与蒸发源30的外壁曲度匹配。以保证蒸发源30的受热均匀。示例性的，蒸发源30可以呈长方体状，相应的容纳腔也呈长方体状，并且蒸发源30的一个侧面与容纳腔的一个侧面对应。

在其他实现方式中，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上均设置有容置槽60，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60围设成容纳腔；每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60侧壁均为曲面，以使容纳腔的侧壁为曲面，以向蒸发源30反射热量。第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60侧壁均为曲面，容置槽60的侧壁可以向蒸发源30反射热量，以进一步提高加热效率。

值得说明的是，第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60侧壁为曲面时，第一加热件10和第二加热件20合围在蒸发源30周侧，第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60构成的容纳腔呈圆柱状；或者，第一加热件10和第二加热件20合围在蒸发源30周侧时，第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60构成的容纳腔呈鼓形或者类似鼓形，也就是说，沿着气体流动的方向，容纳腔的周长为中间大于两端。

本实施例中，第一加热件10和第二加热件20也可以均呈半圆柱状，即第一加热件10的第一侧面和第二加热件20的第二侧面贴合后，第一加热件10和第二加热件20构成圆柱，相应的，在第一侧面和第二侧面上形成容置槽60，以在第一侧面和第二侧面贴合时，两个容置槽60构成呈圆柱状的容纳腔；呈圆柱状的蒸发源30设置在容纳腔内，此时，容纳腔的内壁也可以与蒸发源30的外壁曲度匹配，以对蒸发源进行较为均匀的加热。

本实施例中，第一加热件10和第二加热件20用于对蒸发源30进行加热，可以理解的，第一加热件10和第二加热件20上设置用于加热的结构，例如：第一加热件10和第二加热件20上设置有燃烧系统，燃烧系统用于燃烧天然气，通过燃烧系统对蒸发源30进行加热。本实施例优选地，第一加热件10和第二加热件20上设置有加热丝，通过加热丝对蒸发源30进行加热，加热温度容易控制；进一步地，加热丝设置在第一加热件10和第二加热件20上容置槽60的侧壁上。具体地，加热丝可以为电阻丝，在电流流经电阻丝时，电阻丝发热。

本实施例中蒸发源30用于盛装固体或者液体的蒸镀材料，以在蒸镀装置工作时，蒸发源30受热后，使蒸镀材料气化，以实现膜层的蒸镀。优选地，蒸发源30可以为蒸发坩埚，由石英或者铸铁等材料构成的蒸发坩埚结构简单且便于制造。当然本实施例中蒸发源30还可以为其他的能够盛装蒸镀材料的容器；值得说明的是，蒸发源30的蒸发端需设有开口，以便于向蒸发源30内放置蒸镀材料，并且在蒸镀装置工作时，气化后的蒸镀材料由开口内逸出。

本实施例优选地，蒸发源30的蒸发端与加热组件的顶端平齐，或者蒸发源30的蒸发端相对于加热组件的顶端凸出设置。与蒸发源30位于容纳腔内部相比，可以避免第一加热件10和第二加热件20的顶端影响气化后的蒸镀材料逸出，进而导致的蒸镀效果不佳。

本实施例提供的蒸镀装置的使用过程为：将盛装有蒸镀材料的蒸发源30放置在由第一加热件10和第二加热件20构成的容纳腔内，或将第一加热件10第二加热件20围合在盛装有蒸镀材料的蒸发源30周围，之后使位于两个容置槽60侧壁上的加热丝发热，以对蒸发源30加热，使蒸发源30内的蒸镀材料气化，进而形成膜层。当第一加热件10或者第二加热件20上的加热丝损坏时，只需更换损坏的加热丝即可，与更换所有的加热丝相比，减小了更换的加热丝长度，进而减小加热丝材料的浪费。

进一步地，由于加热丝随着使用时间的增长，电阻会发生变化，只更换发生故障的加热丝时，更换后的加热丝与未更换的加热丝发热功率不同，容易导致蒸发源30受热不均，影响蒸镀效果。因此，可以在第一加热件10或者第二加热件20上的加热丝损坏时，第一加热件10和第二加热件20上的加热丝同时更换，但是保存未损坏的加热丝，并记录工作时长；工作时长相同或相近的两个加热丝可以再次安装在第一加热件10和第二加热件20上，以保证蒸发源30的受热均匀。

示例性的，当第一加热件10上的加热丝损坏时，将第一加热件10上的第一加热丝和第二加热件20上的第二加热丝均拆卸下来，保存第二加热丝，并记录第二加热丝的工作时长；之后在第一加热件10和第二加热件20上的安装新的加热丝；或者，当保存的加热丝中，具有使用时间与第二加热丝的使用时间相同或者相近的第三加热丝时，将第三加热丝安装在第一加热件10上，此时，第一加热件10上的第三加热丝和第二加热件20上的第二加热丝的发热功率相同，可以保证蒸发源30受热均匀。

当对蒸发源30进行加热的加热组件中的第一加热件10或者第二加热件20发生故障时，使该加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此分离；并将另一加热组件中的第一加热件10和第二加热件20合围地设置在蒸发源30的周侧进行加热，避免因一组加热组件发生故障时，导致的蒸发源30加热终止。

本实施例提供的蒸镀装置，通过设置至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件10和第二加热件20，第一加热件10和第二加热件用于围设成容纳腔，蒸发源30设置在容纳腔内；各组加热组件分别沿不同方向可移动的设置；当一组加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件的第一加热件10和第二加热件20彼此分离，之后将另一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20围设在蒸发源30的周围，以继续对蒸发源30加热。

本实施例中，蒸镀装置还包括至少两个移动系统，移动系统与一组加热组件的第一加热件10和第二加热件20连接，以驱动加热组件的第一加热件10和第二加热件20互相靠近或者彼此分离。通过移动系统驱动加热组件的第一加热件10和第二加热件20移动，操作简单且省力。

可选地，加热组件可以与移动系统相对固定设置，具体地，可以通过机械手分别推动第一加热件10和第二加热件20，以使得第一加热件10与第二加热件20彼此靠近或者彼此分离。

本实施例中，移动系统可以有多种，只要能够驱动加热组件的第一加热件10和第二加热件20产生相对靠近或远离的移动即可；例如:移动系统包括：第一移动电机、第二移动电机、第一移动齿轮、第二移动齿轮以及第一移动齿条；第一移动齿条的延伸方向与第一加热件10和第二加热件20的移动方向平行，第一移动电机设置在第一加热件10上，第一移动电机的主轴与第一移动齿轮传动连接；第二移动电机设置在第二加热件20上，第二移动电机的主轴与第二移动齿轮传动连接，第一移动齿轮和第二移动齿轮均与第一移动齿条啮合。第一移动电机带动第一移动齿轮转动，进而带动第一加热件10移动；相同的，第二移动电机带动第二移动齿轮转动，进而带动第二加热件20移动。或者移动系统包括两个机械手臂，一个机械手臂与第一加热件10连接，另一机械手臂与第二加热件20连接，以通过机械手臂移动第一加热件10和第二加热件20，以使第一加热件10和第二加热件20彼此靠近或者彼此分离。

可选地，移动系统包括第一驱动驱动装置401、第二驱驱动装置402、至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆，加热组件中的第一加热件10上设置有第一驱动螺纹孔，第一驱动驱动装置401与各第一驱动螺杆传动连接，且一个第一驱动螺杆与第一驱动螺纹孔配合；加热组件中的第二加热件20上设置有至少一个第二驱动螺纹孔，第二驱动驱动装置402与各第二驱动螺杆传动连接，且一个第二驱动螺杆与一个第二驱动螺纹孔配合。与通过齿轮和齿条来带动加热组件中的第一加热件10和第二加热件20移动相比，通过第一驱动螺杆带动第一加热件10移动，通过第二驱动螺杆带动第二加热件20移动，运动较为平稳。

进一步地，本实施例中第一驱动螺杆和第二驱动螺杆可以为多个，以阻止因第一驱动螺杆和第二驱动螺杆转动导致的第一加热件10和第二加热件20转动。

本实施例优选地，第一驱动装置401可以为转动电机，当第一驱动装置401为转动电机时，转动电机的主轴可以与第一驱动螺杆的轴线共线设置，或者转动电机的主轴与第一驱动螺杆的轴线平行设置。当然第一驱动装置401还可以与第一驱动螺杆连接的转动摇臂连接，转动摇臂包括与第一驱动螺杆同轴设置的第一轴颈，以及与第一轴颈平行且间隔设置的第二轴颈，第一轴颈和第二轴颈之间通过第三轴颈连接，第一轴颈与第一驱动螺杆传动连接，通过摇转第二轴颈，即可带动第一驱动螺杆转动。相同地，本实施例中第二驱动装置402与第一驱动装置401的结构大体相同，在此不再赘述。

本实施提供的蒸镀装置，蒸镀装置还包括沿第一方向设置第一滑轨40和沿第二方向设置的第二滑轨50，加热组件为两组，第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20滑设在所述第一滑轨40上，第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20滑设在第二滑轨50上。第一加热件10和第二加热件20在对应的滑轨上滑动，进一步提高了第一加热件10和第二加热件20移动的平稳性。第一加热件10和第二加热件20在对应的滑轨上滑动，以使各加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此靠近或者互相远离，在加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此靠近时，第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60构成容纳腔，当第一加热件10和第二加热件20互相远离时，便于在第一加热件10和第二加热件20上拆卸和安装加热丝。当然本实施例中的加热组件并不限于两组，也可以为三组、四组等。可选地，第一方向与第二方向互相交。优选地，第一方向与第二方向相垂直。相应的，第一滑轨40和第二滑轨50互相垂直，且处于同一水平面内，以保证第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20、以及第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20共面设置。

每个所述移动系统包括至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；且第一驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨，第二驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨。

具体地，第一驱动螺杆复用为滑轨，一方面，通过与第一驱动螺纹孔配合，使得第一加热件10在第一方向上可滑动设置，另一方面，由于第一驱动螺杆具有支撑作用，因此，可省略第一滑轨40的使用，也就是第一驱动螺杆中的至少一个复用为与第一加热件10配合使用的第一滑轨40。其中，当第一驱动螺杆数量为两个时，可不再设置第一滑轨40，直接将两个第一驱动螺杆复用为第一滑轨40使用即可，同理，第二驱动螺杆中的至少一个可复用为与相应加热件配合使用的第二滑轨50。

本实施例提供的蒸镀装置的使用过程：通过移动系统驱动第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此靠近，以使第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60构成容纳腔，此时第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此分离；之后将蒸发源30放置在容纳腔内，控制容置槽60内的加热丝释放热量，以对蒸发源30加热，实现膜层的蒸镀。当第一组加热组件中的第一加热件10或者第二加热件20上的加热丝发生故障时，通过移动系统驱动第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此远离，进而更换损坏的加热丝；与此同时，通过移动系统驱动第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此靠近，以使第二组加热组件中的第一加热件10上和第二加热件20的容置槽60构成容置蒸发源30的容纳腔，之后通过第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的加热丝继续对蒸发源30加热。

优选地，当第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20对蒸发源30加热时，可以使第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的加热丝工作，实现对第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20的预热，在第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20对蒸发源30加热时可以快速的达到蒸发源30内蒸镀材料的气化温度，提高了加热速率。相同的，在第二组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20对蒸发源30加热时，使第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的加热丝工作，以对第一组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20进行预热。

实施例2

继续参照图1和图2。本实施例提供一种蒸镀装置的使用方法，包括：通过蒸镀装置进行蒸镀，蒸镀装置包括蒸发源30以及至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件10和第二加热件20，第一加热件10和第二加热件20用于围设成容纳腔，蒸发源30设置在容纳腔30内；至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置；当一组加热组件发生故障时，使该加热组件的第一加热件10与第二加热件20分离，之后使另一组加热组件的第一加热件10与第二加热件20合围在蒸发源30的周侧。

其中，蒸镀装置与实施例1中的蒸镀装置大体相同，在此不再赘述。

本实施例提供的蒸镀装置的使用方法，当正在对蒸发源30进行加热的加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此分离，同时，使另一加热组件的第一加热件10和第二加热件20合围在蒸发源30的周围，以继续对蒸发源30进行加热，与只具有一组加热组件相比，避免了因加热件组件发生故障而导致终止对蒸发源30加热，进而使得蒸镀终止。

本实施例提供蒸镀装置的使用方法，还包括：一组加热组件的第一加热组件和第二加热组件对蒸发源30加热的同时，其余加热组件中的第一加热件10和第二加热件20进行预热。当正在对蒸发源30进行加热的加热组件发生故障，而使发生故障的加热组件中的第一加热件10和第二加热件20彼此分离，并且另一加热组件的第一加热件10和第二加热件20合围在蒸发源30的周围时，另一加热组件中的第一加热件10和第二加热件20可以快速的达到蒸发源30内蒸镀材料的气化温度，提高了加热速率。

进一步地，本实施例提供的蒸镀装置的使用方法还包括：通过设置在第一加热件10和第二加热件20上的加热丝对蒸发源30进行加热；当一组加热组件发生故障时，记录该组加热组件的工作时长，以将该组加热组件中未发生故障的加热丝与工作时长相等的加热丝配对使用。

由于加热丝随着使用时间的增长，电阻会发生变化，只更换发生故障的加热丝时，更换后的加热丝与未更换的加热丝发热功率不同，容易导致蒸发源30受热不均，影响蒸镀效果。因此，可以在第一加热件10或者第二加热件20上的加热丝损坏时，第一加热件10和第二加热件20上的加热丝同时更换，但是保存未损坏的加热丝，并记录工作时长；工作时长相同或相近的两个加热丝可以再次安装在第一加热件10和第二加热件20上，以保证蒸发源30的受热均匀。

示例性的，当第一加热件10上的加热丝损坏时，将第一加热件10上的第一加热丝和第二加热件20上的第二加热丝均拆卸下来，保存第二加热丝，并记录第二加热丝的使用时间；之后在第一加热件10和第二加热件20上的安装新的加热丝；或者，当保存的加热丝中，具有使用时间与第二加热丝的使用时间相同或者相近的第三加热丝时，将第三加热丝安装在第一加热件10上，此时，第一加热件10上的第三加热丝和第二加热件20上的第二加热丝的发热功率相同，可以保证蒸发源30受热均匀。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

需要说明的是，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于方便描述不同的部件，而不能理解为指示或暗示顺序关系、相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本发明中，除非另有明确的规定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸的连接，或一体成型，可以是机械连接，也可以是电连接或者彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒体间接连接，可以是两个元件内部的连通或者两个元件的互相作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧，所述蒸镀装置还包括至少两个移动系统，每个所述移动系统与一组所述加热组件连接，以驱动所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件互相靠近或者彼此分离。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述移动系统包括第一驱动装置、第二驱动装置、至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；

所述加热组件中的所述第一加热件上设置有至少一个第一驱动螺纹孔，所述第一驱动装置与各所述第一驱动螺杆传动连接，且一个所述第一驱动螺杆与一个所述第一驱动螺纹孔配合；

所述加热组件中的所述第二加热件上设置有至少一个第二驱动螺纹孔，所述第二驱动装置与各所述第二驱动螺杆传动连接，且一个所述第二驱动螺杆与一个所述第二驱动螺纹孔配合。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括沿第一方向设置的第一滑轨和沿第二方向设置的第二滑轨，所述至少两组加热组件为两组，第一组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第一滑轨上，第二组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第二滑轨上。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述移动系统包括至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；且所述第一驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨，所述第二驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件上均设置有容置槽，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件上的所述容置槽围设成所述容纳腔；

其中，所述容纳腔的内壁与所述蒸发源的外壁曲度匹配。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源具有蒸发端，所述蒸发端与所述加热组件的顶端平齐，或者所述蒸发源的蒸发端相对于所述加热组件的顶端凸出设置。

7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述容置槽内壁上设置有加热丝，以对所述蒸发源加热。

8.一种蒸镀装置的使用方法，其特征在于，包括：

通过蒸镀装置进行蒸镀，所述蒸镀装置包括蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧；

当一组所述加热组件发生故障时，使该所述加热组件的所述第一加热件与所述第二加热件分离，之后使另一组所述加热组件的所述第一加热件与所述第二加热件合围在所述蒸发源的周侧。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置的使用方法，其特征在于，一组所述加热组件的所述第一加热组件和所述第二加热组件对所述蒸发源加热的同时，其余所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件进行预热。

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