CN104294219A - 蒸镀线源 - Google Patents

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Abstract

本发明属于蒸镀领域，公开了一种蒸镀线源，包括外壳和设置在外壳中的坩埚，所述坩埚包括锅体和喷嘴，所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置，所述外壳和锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置，可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗，由于外壳内壁减少了受加热装置的热辐射，使用寿命延长。

Description

蒸镀线源
技术领域
本发明涉及蒸镀领域，特别是涉及一种蒸镀线源。
背景技术
现有OLED面板的生产中通常采用蒸镀工艺使发光材料附着到基板上，在量产中蒸镀发光材料需要使用到线性蒸发源(简称线源)。现有的蒸镀线源在蒸镀前先将发光材料装填在坩埚中，密封好。蒸镀时保持线源内外部的真空状态，由加热装置对坩埚进行加热蒸发内部的材料，同时冷却装置冷却坩埚外壁，防止热量太高损坏线源外部的设备。
但是现有线源的设计存在如下问题：
1.加热装置的加热能量有部分损失在与冷却装置的热交换中；
2.长期蒸镀后，线源内壁内外直接受温差大的热辐射和冷却装置作用，容易导致线源内壁的损坏。
发明内容
为了解决现有蒸镀线源存在导致线源内壁损坏的问题，本发明提供了一种减少线源外壳损坏的蒸镀线源。
本发明采用的技术方案是：一种蒸镀线源，包括外壳和设置在外壳中的坩埚，所述坩埚包括锅体和喷嘴，所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置，所述外壳和锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。
优选地，所述隔热装置在朝向锅体的方向设有反射层。
优选地，所述反射层上设有用于防止变形的间隙孔。
优选地，所述隔热装置围绕在所述锅体的周围，所述隔热装置在与喷嘴对应位置设有一开口。
优选地，所述隔热装置还包括一承载所述反射层的基底。
优选地，所述反射层包括热反射材料层和用于将热反射材料层附着到基底上的膜层。
优选地，所述热反射材料包括氧化镧系金属共铝或者氧化铝掺杂的NaZn(PO4)。
优选地，所述掺杂的氧化镧系金属占热反射材料的0.1％～1％，掺杂的铝或氧化铝占热反射材料的0.5～2％。
优选地，所述反射层与所述坩埚的距离大于2cm。
优选地，还包括一用于对外壳进行冷却的冷却装置，所述冷却装置设置在所述外壳靠近锅体的一侧、背离锅体的一侧或者外壳腔室中。
本发明的有益效果是：本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置，可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗，由于外壳内壁减少了受加热装置的热辐射，使用寿命延长。
附图说明
图1为本发明一种实施例的蒸镀线源的结构示意图；
图2为图1的截面图；
图3为本发明一种实施例的蒸镀线源上的隔热装置的间隙孔的分布图；
图4为本发明一种实施例的蒸镀线源上的隔热装置的截面图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如图1-4所示，为本发明一种实施例的蒸镀线源的结构示意图，本实施例的蒸镀线源包括外壳100和设置在外壳中的坩埚200，所述坩埚200包括锅体201和喷嘴202，所述锅体201的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置300，所述外壳100和锅体201之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置400。
本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置，可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗，由于外壳内壁减少了受加热装置的热辐射，使用寿命延长。
本发明的隔热装置用于阻挡加热装置向外壳散发热量，优选地，隔热装置在朝向锅体的方向设有反射层401，从而将热量反射回锅体方向，避免了热量损失。隔热装置在背离坩埚方向设置有一基底402，通过底座403固定在线源底部，基底402为铝或铜合金。更优地，所述反射层上设有用于防止变形的间隙孔404。由于反射层在加热装置的作用下会造成膨胀，从而导致破裂，影响到使用寿命。为此，本发明在反射层上设置多条间隙孔，间隙孔均匀分布，从而避免了反射层的膨胀破裂。更优地，隔热装置的基底在与反射层上间隙孔对应位置也设置有空隙，使得隔热装置上形成了通孔，通孔的大小和形状可以根据需要进行设定。如图3所示，间隙孔为条形，对称分布在隔热装置上。本发明在隔热装置上形成了间隙孔，大大减小了隔热装置受热造成的破裂。当然，如果隔热装置采用强度足够大的材料，也可以不设置间隙孔。此时，需要的成本会有所增加。
再次参阅图2，本实施例的隔热装置400围绕在所述锅体的周围，所述隔热装置在与坩埚的喷嘴202对应位置设有一开口，从而与坩埚的锅体相匹配。本实施例的坩埚的锅体可以是方形、圆形等形状，本实施例的隔热装置400为板状结构，包括板状基底402和形成在板状基底上的反射层401，该板状隔热装置由多个弧形面组成，如图4所示，本实施例的板状隔热装置与锅体形成相匹配的结构。本实施例的隔热装置的反射层包括热反射材料层和用于将热反射材料层附着到基底上的膜层。热反射材料层由热反射材料制成，从而对接收的来自坩埚的热量进行反射，优选地，所述热反射材料包括氧化镧系金属共铝或者氧化铝掺杂的NaZn(PO4)。优选地，反射层和坩埚的距离大于2cm，从而可以减少坩埚中的热量辐射到隔热装置上。当然，本发明的反射层和坩埚的距离可以根据具体线源的尺寸进行设计，还可以根据需要进行距离的调整。
本实施例的热反射材料采用甲基或乙基或丙基或异丙基或丁基或叔丁基或异丁基丙烯酸乳液为膜层成型基底，从而将热反射材料附着到基底上。镧系金属优选镧、铕、铈、釹，掺杂的氧化镧系金属占热反射材料的0.1％～1％，掺杂的铝或氧化铝占热反射材料的0.5～2％。
再次参阅图1，本发明的蒸镀线源还包括一用于对外壳进行冷却的冷却装置500，冷却装置500可以选用各种适合能够给外壳进行冷却的结构，本实施采用液体冷却袋，液体冷却袋可以设置在外壳靠近坩埚的一侧、背离坩埚的一侧或者外壳的腔室中。优选地，液体冷却袋为循环液体，从而可以对外壳进行持续冷却。循环液体可以是水或者冷却油等液体，从而对外壳进行循环冷却，降低温度。
上述技术方案在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置，可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗，由于外壳内壁减少了受加热装置的热辐射，使用寿命延长。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀线源，其特征在于，包括外壳和设置在外壳中的坩埚，所述坩埚包括锅体和喷嘴，所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置，所述外壳和锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。
2.根据权利要求1所述的蒸镀线源，其特征在于，所述隔热装置在朝向锅体的方向设有反射层。
3.根据权利要求2所述的蒸镀线源，其特征在于，所述反射层上设有用于防止变形的间隙孔。
4.根据权利要求3所述的蒸镀线源，其特征在于，所述隔热装置围绕在所述锅体的周围，所述隔热装置在与喷嘴对应位置设有一开口。
5.根据权利要求3所述的蒸镀线源，其特征在于，所述隔热装置还包括一承载所述反射层的基底。
6.根据权利要求5所述的蒸镀线源，其特征在于，所述反射层包括热反射材料层和用于将热反射材料层附着到基底上的膜层。
7.根据权利要求6所述的蒸镀线源，其特征在于，所述热反射材料包括氧化镧系金属共铝或者氧化铝掺杂的NaZn(PO4)。
8.根据权利要求7所述的蒸镀线源，其特征在于，所述掺杂的氧化镧系金属占热反射材料的0.1％～1％，掺杂的铝或氧化铝占热反射材料的0.5～2％。
9.根据权利要求2-8任何一项所述的蒸镀线源，其特征在于，所述反射层与所述坩埚的距离大于2cm。
10.根据权利要求2-8任何一项所述的蒸镀线源，其特征在于，还包括一用于对外壳进行冷却的冷却装置，所述冷却装置设置在所述外壳靠近锅体的一侧、背离锅体的一侧或者外壳腔室中。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111455322A (zh) * 2020-05-09 2020-07-28 Tcl华星光电技术有限公司 坩埚装置、蒸镀装置
CN112609160A (zh) * 2020-12-29 2021-04-06 尚越光电科技股份有限公司 一种cigs共蒸法的蒸发源加热结构

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1782120A (zh) * 2004-11-26 2006-06-07 三星Sdi株式会社 蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置
CN101144933A (zh) * 2006-09-13 2008-03-19 苏州璨宇光学有限公司 背光模组
CN102040210A (zh) * 2010-10-21 2011-05-04 华南理工大学 一种高紫外及高红外反射材料及其制备方法
CN103556118A (zh) * 2013-10-12 2014-02-05 深圳市华星光电技术有限公司 蒸镀装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4262186A (en) * 1977-10-27 1981-04-14 Rohr Industries, Inc. Laser chem-milling method, apparatus and structure resulting therefrom
US4451514A (en) * 1981-12-24 1984-05-29 Hunt Brion L Automotive heat reflector shield
US6708687B2 (en) * 2001-06-12 2004-03-23 James B. Blackmon, Jr. Thermally controlled solar reflector facet with heat recovery
KR100666574B1 (ko) * 2005-01-31 2007-01-09 삼성에스디아이 주식회사 증발원
JP2007039791A (ja) * 2005-06-29 2007-02-15 Fujifilm Corp リフレクタ、それを備えた加熱用るつぼおよび放射線像変換パネルの製造方法
KR100645689B1 (ko) * 2005-08-31 2006-11-14 삼성에스디아이 주식회사 선형 증착원
KR101104802B1 (ko) * 2009-05-06 2012-01-12 (주)알파플러스 하향식 노즐형 진공 증발원 장치 및 이를 이용한 하향식 노즐형 진공 증착 장치
EP2523802A1 (en) * 2010-01-13 2012-11-21 3M Innovative Properties Company Optical films with microstructured low refractive index nanovoided layers and methods therefor
JP5492120B2 (ja) * 2011-03-08 2014-05-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 蒸発源および蒸着装置
CN102268642A (zh) * 2011-07-22 2011-12-07 上海奕瑞光电子科技有限公司 电阻加热式蒸发源

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1782120A (zh) * 2004-11-26 2006-06-07 三星Sdi株式会社 蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置
CN101144933A (zh) * 2006-09-13 2008-03-19 苏州璨宇光学有限公司 背光模组
CN102040210A (zh) * 2010-10-21 2011-05-04 华南理工大学 一种高紫外及高红外反射材料及其制备方法
CN103556118A (zh) * 2013-10-12 2014-02-05 深圳市华星光电技术有限公司 蒸镀装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111455322A (zh) * 2020-05-09 2020-07-28 Tcl华星光电技术有限公司 坩埚装置、蒸镀装置
CN111455322B (zh) * 2020-05-09 2022-04-26 Tcl华星光电技术有限公司 坩埚装置、蒸镀装置
CN112609160A (zh) * 2020-12-29 2021-04-06 尚越光电科技股份有限公司 一种cigs共蒸法的蒸发源加热结构

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