CN101369047A - 光学镜头 - Google Patents
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Abstract
一种用于激光加工使用的光学fθ镜头,包括透镜组和光阑,所述光阑位于透镜组的前方,透镜组包括三个透镜,该三个透镜分别为第一、第二、第三透镜,依次排列为“负-正-正”分离的光焦度系统,其中,所述第一透镜为弯月型负透镜,第二透镜为弯月型正透镜,第三透镜为平凸型或弯月型正透镜,第一透镜、第二透镜及第三透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲,且整个光学系统的焦距为f,第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3,各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求关系:-0.6<f1/f<-0.4;0.5<f2/f<0.8;0.9<f3/f<1.2。本发明所提供的光学fθ镜头,使得系统的球差、彗差与场曲都达到较好的平衡,使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀,且该结构应用于大口径入射的fθ镜头的小型化取得较好的效果。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种激光应用的光学镜头,尤其是指在激光加工使用的F-theta(fθ)光学镜头。
【背景技术】
目前,激光应用已深入到我们现代生活的各个方面,在激光应用中便离不开为了符合各种工艺要求的各种应用光学系统。在目前市场上激光打标机,以其速度快,灵活性强,无耗材,标记永久性等特点,已逐渐地替代各种印字机,丝印机等。
fθ(F-theta)镜头是一种大视场、中小孔径、中长焦距的照相物镜,从它要负担的参数来说,选用“三片”型的照相物镜,应该是较为合适的。激光振镜打标机是因为有了fθ(F-theta)镜头才得以实现。图1是一种典型的fθ镜光学系统,光束顺次经两块绕x轴和y轴转动的振镜1、2,最后通过fθ镜3聚焦在像面4上,由振镜扫描形成图像。fθ镜头3是一种平像场的聚焦镜,在打标时,要求在成像面上像高η与X振镜1和Y振镜2的扫描角度θ成线性关系即:η=f·θ(Sr)。其中,f为fθ镜头3的焦距,θ为振镜的扫描角度(单位为弧度)。
由高斯光学成像理论知,像高η与镜头焦距f和振镜转角θ为下列关系:η=f·tgθ。它不满足η=f·θ(Sr)关系式。因此,激光打标系统用常规的镜头是不可行的,这是因为像高η与振镜的转角θ不是呈线性关系变化,所雕刻出来的图形与实物不相似,反而是一个变形的图像。
为了解决这个问题,要求在光学设计时的象差校正中,有意引入畸变Δη,使得满足下式所示关系:η=(ftgθ-Δη)=fθ。这个结论是非常重要的。虽然Δη是有意引入的,但决不意味着畸变就可以不考虑,随意大小都可以,Δη应满足下式:
Δη=f·tgθ-f·θ=f(tgθ-θ)
上式表明:畸变应为振镜转角的正切和弧度之差与镜头焦距f的乘积时才能满足要求。能满足这个条件的才能称作fθ光学系统。
光学设计的另一个特点,就是要求所有在成像范围内的聚焦点,应有相似的聚焦质量,且不允许有渐晕,以保证所有“刻出”的像点都相一致和清晰。
【发明内容】
本发明所欲解决的技术问题在于提供一种在全视场上成像均匀、没有渐晕存在的激光应用光学fθ镜头。
本发明所采用的技术方案是提供一种用于激光加工使用的光学fθ镜头,包括透镜组和光阑,所述光阑位于透镜组的前方,透镜组包括三个透镜,分别为第一、第二、第三透镜,依次排列为“负—正—正”分离的光焦度系统,其中,所述第一透镜为弯月型负透镜,第二透镜为弯月型正透镜,第三透镜为双凸型或弯月型正透镜,第一透镜与第二透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲,且整个光学系统的焦距为f,第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3,各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率以下要求:
-0.6<f1/f<-0.4
0.5<f2/f<0.8
0.9<f3/f<1.2。
其中,f1/f=-0.49;f2/f=0.69;f3/f=1.03。
其中,f1/f=-0.49;f2/f=0.58;f3/f=1.01。
其中,所述第一透镜与光阑的距离为30—80mm。
本发明所提供的光学fθ镜头,使得系统的的球差、彗差与场曲都达到较好的平衡,使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀,且该结构应用于大口径入射的fθ镜头的小型化取得较好的效果,且在系统的入射光束口径较大,采用的与一般的fθ光学系统不同的结构形式,使得该系统的产品能够与一般小入射光束口径的产品进行互换,达到小型化设计。
【附图说明】
图1是一种典型的fθ镜头光学系统示意图。
图2是本发明镜头的光学系统结构示意图。
图3为本发明fθ镜头较佳实施例1中的光线追迹图。
图4为本发明fθ镜头较佳实施例1中的像散、场曲及畸变。
图5为本发明fθ镜头较佳实施例1中的视场分别为0、0.3、0.5、0.7、0.85以及1.0各视场上的光程差图。
图6为本发明fθ镜头较佳实施例1中的光学传递函数MTF图。
图7为本发明fθ镜头较佳实施例2中的光线追迹图。
图8为本发明fθ镜头较佳实施例2中的像散、场曲及畸变。
图9为本发明fθ镜头较佳实施例2中的视场分别为0、0.3、0.5、0.7、0.85以及1.0各视场上的光程差图。
图10为本发明fθ镜头较佳实施例2中的光学传递函数MTF图。
【具体实施方式】
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一段步说明。
fθ(F-theta)镜头是一种大视场、中小孔径、中长焦距的照相物镜,从它要负担的参数来说,选用“三片”型的照相物镜,应该是较为合适的。我们采用“负—正—正”的光焦度分布型式。其入瞳在镜头外产生的畸变,正好也是fθ镜所需要的,此畸变很容易达到fθ镜要求,是一种“无变形”的打标。同时,它是一个大视场的照相物镜,与照相物镜一样,它是一个“平像场”的物镜。
如图2,本发明光学fθ镜头采用三片式“负—正—正”的光焦度分布进行设计,包括透镜组和光阑(振镜),所述光阑(振镜)1位于透镜组的前方,透镜组包括三个透镜,分别为第一、第二、第三透镜L1、L2、L3,其中第一透镜L1的光焦度1/f1为负透镜,第二透镜L2的光焦度1/f2与第三透镜L3的光焦度1/f3均为正,其中各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f的比率按以下要求:
-0.6<f1/f<-0.4
0.5<f2/f<0.8
0.9<f3/f<1.2。
其中,整个光学系统的焦距为f,第一、第二、第三透镜L1、L2、L3的焦距分别为f1、f2、f3。
其中,第一透镜L1距光阑(振镜)1的距离d0为25-60mm,第一透镜L1为弯月型的负透镜、第二透镜L2为弯月型正透镜,两个透镜的所有曲面均向着光阑(振镜)1方向弯曲,第三透镜L3为平凸型或弯月型正透镜,它们所有的曲面向着光阑(振镜)1方向弯曲,第三透镜L3到焦平面4的距离为d6。
它们的具体结构及参数表述为:系统由L1、L2、L3三个透镜构成,L1分别由曲率半径为R1、R2的两个曲面S1、S2构成,其中心厚度d1,材料光学参数为Nd1:Vd1;L2分别由曲率半径为R3、R4的两个曲面S3、S4构成,其中心厚度d3,材料光学参数为Nd3:Vd3;L3分别由曲率半径为R5、R6的两个曲面S5、S6构成,其中心厚度d5,材料光学参数为Nd5:Vd5;第一透镜L1与第二透镜L2的间隔为d2,第二透镜L2与第三透镜L3的间隔为d4。
结合以上的参数,本发明设计了两个镜头,其具体参数分别如下所示:
实例1:
第一透镜L1分别由曲率半径为R1=-38.973mm、R2=-85.54mm的两个曲面S1、S2构成,其光轴上的中心厚度d1=4.4mm,材料为Nd1:Vd1约为1.52/64;第二透镜L2分别由曲率半径为R3=-85.54mm、R4=-50.275mm的两个曲面S3、S4构成,其光轴上的中心厚度d3=9mm,材料为Nd3:Vd3约为1.8/25.4;第三透镜L3分别由曲率半径为R5=∞、R6=-162.62mm的两个曲面S5、S6构成,其光轴上的中心厚度d5=6mm,材料为Nd5:Vd5约为1.8/25.4;第一透镜L1与第二透镜L2在光轴上的间隔为d2=2.5mm,第二透镜L2与第三透镜L3在光轴上的间隔为d4=0.5mm,第三透镜L3与成象面在光轴上的距离为d6=235mm。并列表如下:
根据上表,可得出数据如下:
f=203.6mm D/f=1:10
λ=1064nm 2ω=50°
f1/f=-0.49 f2/f=0.69
f3/f=1.03
由于f1/f=-0.49满足-0.6<f1/f<-0.4,f2/f=0.69满足0.5<f2/f<0.8,f3/f=1.03满足0.9<f3/f<1.2。
图3为上例中的光线追迹图,图4为像散、场曲及畸变分布图,图5为视场分别为0、0.3、0.5、0.7、0.85以及1.0各视场上的光程差图,图6为光学传递函数MTF图。
由上以各图说明:系统的像散与场曲得到很好的较正,光程差最大也不超过0.15λ,且从光学传递函数MTF图上看,各视场的MTF值均较一致,说明在全视场上成像均匀,没有渐晕存在,且在系统的入射光束口径较大,采用的与一般的fθ光学系统不同的结构形式,使得该系统的产品能够与一般小入射光束口径的产品进行互换,达到小型化设计。
实例2:
第一透镜L1分别由曲率半径为R1=—63.66mm、R2=—156.46mm的两个曲面S1、S2构成,其光轴上的中心厚度d1=5.9mm,材料为Nd1:Vd1约为1.52/64;第二透镜L2分别由曲率半径为R3=—122.14mm、R4=—78.585mm的两个曲面S3、S4构成,其光轴上的中心厚度d3=11mm,材料为Nd3:Vd3约为1.8/25.4;第三透镜L3分别由曲率半径为R5=—744.74mm、R6=—232.62mm的两个曲面S5、S6构成,其光轴上的中心厚度d5=8mm,材料为Nd5:Vd5约为1.8/25.4;第一透镜L1与第二透镜L2在光轴上的间隔为d2=3.2mm,第二透镜L2与第三透镜L3在光轴上的间隔为d4=0.3mm,第三透镜L3与成象面在光轴上的距离为d6=485mm。并列表如下:
根据上表,可得出数据如下:
f=433.3mm D/f=1:14
λ=1064nm 2ω=50°
f1/f=-0.49 f2/f=0.58
f3/f=1.01
由于f1/f=-0.49满足-0.6<f1/f<-0.4,f2/f=0.58满足0.5<f2/f<0.8,f3/f=1.01满足0.9<f3/f<1.2。
图7为上例中的光线追迹图,图8为像散、场曲及畸变分布图,图9为视场分别为0、0.3、0.5、0.7、0.85以及1.0各视场上的光程差图,图10为光学传递函数MTF图。由上以各图说明:系统的像散与场曲得到很好的较正,光程差最大也不超过0.2λ,且从光学传递函数MTF图上看,各视场的MTF值均较一致,说明在全视场上成像均匀,没有渐晕存在,且在系统的入射光束口径较大,采用的与一般的fθ光学系统不同的结构形式,使得该系统的产品能够与一般小入射光束口径的产品进行互换,达到小型化设计。
Claims (4)
1.一种用于激光加工使用的光学fθ镜头,包括透镜组和光阑,其特征在于:所述光阑位于透镜组的前方,透镜组包括三个透镜,分别为第一、第二、第三透镜,依次排列为“负—正—正”分离的光焦度系统,其中,所述第一透镜为弯月型负透镜,第二透镜为弯月型正透镜,第三透镜为平凸型或弯月型正透镜,第一透镜、第二透镜及第三透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲,且整个光学系统的焦距为f,第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3,各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率以下要求:
-0.6<f1/f<-0.4
5<f2/f<0.8
9<f3/f<1.2。
2.如权利要求1所述光学fθ镜头,其特征在于:f1/f=-0.49;f2/f=0.69;f3/f=1.03。
3.如权利要求1所述光学fθ镜头,其特征在于:f1/f=-0.49;f2/f=0.58;f3/f=1.01。
4.如权利要求1所述光学fθ镜头,其特征在于:所述第一透镜与光阑的距离为30—80mm。
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