JP3024906B2 - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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Description
副走査方向にのみ集光させてポリゴンミラーのミラー面
上で結像させ、そのポリゴンミラーによって反射偏向さ
れた光ビームによりfθレンズおよびアナモルフィック
レンズを介して被走査面を主走査方向に走査する光走査
装置に関する。
して用いた光走査装置、例えばレーザプリンタでは、光
源から出射された光ビームを所定の副走査方向に平行な
回転軸回りに回転するポリゴンミラーに入射して当該光
ビームを偏向し、さらにfθレンズを介してフィルム
(被走査面)を主走査方向に走査して、所望の画像を記
録可能となっている。
ラーを用いた場合には、面倒れを考慮する必要がある。
すなわち、ポリゴンミラーのミラー面は、本来、その回
転軸と完全に平行となるように製造される必要がある
が、製作精度には一定の限界があり、各ミラー面がそれ
ぞれポリゴンミラーの回転軸に対してわずかながら傾斜
し、その傾斜角度にばらつきがあるため、フィルム上に
形成される光スポットが走査面に対して垂直な方向にミ
ラー面の傾き角度に相当する量だけずれて、その結果、
当該垂直方向にピッチむらが生じて、画像品質が低下す
る。
昭58−179813号公報では光源とポリゴンミラー
との間にシリンドリカルレンズを配置するとともに、f
θレンズとフィルム(被走査面)との間に走査端部で走
査面に近づくように湾曲させたシリンドリカルレンズを
配置する構成が開示されている。これにより、面倒れを
補正することができ、良好な画像品質で描画することが
できる。なお、この従来例のように湾曲シリンドリカル
レンズを用いた場合には、面倒れ補正と同時に、像面湾
曲の影響を除去することができる。
装置を構成するfθレンズとして適用可能なものとして
は、例えば特開昭55−53308号公報に記載された
fθレンズがある。このfθレンズは5群5枚構成であ
り、その全長は焦点距離との比(=L/f)で表現する
と0.2程度にもなり、光走査装置を構成するにあたっ
て、このような大型で多枚数構成のfθレンズを使用し
なければならず、コスト低減が困難で、しかも光走査装
置全体の大型化を招くといった問題がある。なお、従来
より周知の他のfθレンズを採用したとしても、同様で
ある。
長の半導体レーザが商品化されてきている点や半導体レ
ーザでは高速で直接変調可能である点などに鑑み、光走
査装置の光源として半導体レーザを採用するケースが増
えている。しかしながら、半導体レーザを光源として用
いた場合には、外気温変化によるモードホップや出力パ
ワーの変化による発振波長の多モード化などが生じるこ
とがあり、良好な画像品質を維持するためには、fθレ
ンズにおいて、±10nm程度の色収差の補正が必要と
なる。しかしながら、従来のfθレンズでは、この点ま
で考慮されていない。
ためになされたもので、良好な画像品質で描画すること
ができる小型で、しかも安価な光走査装置を提供するこ
とを第1の目的とする。
え、さらに色収差を抑えて、画像品質をさらに向上させ
ることができる光走査装置を提供することを第2の目的
とする。
からの光ビームを副走査方向にのみ集光させてポリゴン
ミラーのミラー面上で結像させ、そのポリゴンミラーに
よって反射偏向された光ビームによりfθレンズおよび
アナモルフィックレンズを介して被走査面を主走査方向
に走査する光走査装置であって、上記第1の目的を達成
するため、前記fθレンズが、前記ポリゴンミラー側よ
り順に、負のパワーを有する第1レンズと、正のパワー
を有する第2および第3レンズとを配列してなる3群3
枚構成であり、以下の不等式
前記fθレンズの焦点距離、r1は前記第1レンズの前
記ポリゴンミラー側を向いた面の曲率半径、r3は前記
第2レンズの前記ポリゴンミラー側を向いた面の曲率半
径、を満足し、さらに、前記第1レンズを波長632.
8nmに対する屈折率n NG で、しかもd線(=587.
56nm)とC線(=656.27nm)との部分分散
比θ NG の硝材で形成する一方、前記第2および第3レン
ズを波長632.8nmに対する屈折率n PS で、しかも
d線とC線との部分分散比θ PS の硝材で形成するととも
に、次の不等式 1.027 ≦ θ PS /θ NG ≦ 1.043 …(数4) 0.00930 ≦ n PS −n NG ≦ 0.05036 …(数5) を満足している。
距離の絶対値、を満足している。
離、を満足している。
モルフィックレンズ側を向いた面の曲率半径、|f1|
は前記第1レンズの焦点距離の絶対値、f2は前記第2
レンズの焦点距離、を満足している。
レンズと、正のパワーを有する第2および第3レンズと
からなる3群3枚構成のfθレンズがポリゴンミラーと
被走査面との間に設けられる。このfθレンズのレンズ
構成は、いわゆる凹凸タイプの光学系であり、第1レン
ズで生じた収差、特に非点収差、歪曲収差を第2レンズ
および第3レンズで打ち消すことにより、良好な性能を
発揮する。
という)を満足しない場合には、次のような不都合が生
じる。すなわち、条件1の下限より小さくなった場合
は、歪曲収差の補正が不足となり、コマ収差が発生して
スポット径が大きくなる。逆に、上限を越えた場合は、
fθレンズの全長が大きくなり、レンズ口径も大きくな
ることから、コストアップに直結することになる。
いう)は歪曲収差を適正に保つと同時に、第1レンズの
ポリゴンミラー側を向いた面で発生する非点収差を第2
レンズのポリゴンミラー側を向いた面で補正し、平坦な
メリディオナル像面を保つための条件である。したがっ
て、比(r1/r3)が上限を越えると、メリディオナル
像面はプラス側にオーバーとなり、下限を越えると、マ
イナス側にアンダーとなる。また、請求項1の発明で
は、数4および数5も満足されており、±10nm程度
の色収差の補正が行われている。ここで、通常の正レン
ズと負レンズとを組み合わせたレンズ系を考えると、例
えばBK7、F2の組み合わせのように、屈折率が小さ
く、分散が小さい正レンズと、屈折率が大きく、分散が
大きい負レンズを組み合わせることが多い。しかし、こ
の発明では、正レンズ(第2および第3レンズ)と負レ
ンズ(第1レンズ)の屈折率を近いものにして、かつ双
方の部分分散比θ PS ,θ NG を近いものにすることで、波
長幅±10nm程度の色収差を良好に補正している。な
お、以下の説明の便宜から、数4および数5に示す条件
をそれぞれ「条件4」、「条件5」と称する。また、こ
の発明にかかる光走査装置を構成するfθレンズは、3
群3枚のレンズ構成を有しており、通常のレンズ系のよ
うに多種の硝材の組み合わせで色収差の補正を行なって
はおらず、しかも2種類の硝材の組み合わせで色収差を
補正し、レンズの曲率で歪曲収差や、他の諸収差の補正
を行なっている。
の範囲が数3で示す範囲に限定されており、球面収差の
状態が良好となっている。なお、この数3に示す条件
(以下「条件3」という)の上限を越えると、球面収差
は後述する第3実施例のように若干オーバー気味とな
り、スポット径が増大するが、走査光学系の性能として
は、若干低下する程度であり、条件2を満足する限りに
おいては実使用に十分耐えうるものである。
下「条件6」という)が満足されている。この条件6
は、球面収差、コマ収差を補正し、像面の平坦性を良好
にするための適度なPetzval和(ペッツヴァル和)を保
つため、第1レンズの負のパワーを規定する条件であ
る。仮に、値(|f1|/f)が条件6の上限を越える
と、Petzval和が大きくなりすぎて、像面が大きくふく
らんでしまう。逆に、下限を越えると、高次収差によっ
て画角周辺部の像面が大きく変化してしまう。
下「条件7」という)、つまり第3レンズのパワーに関
する条件が満足されている。すなわち、この条件7は、
負のパワーを有する第1レンズで発生する諸収差を補正
するために必要な正のパワー第2および第3レンズに適
切に分配し、無理なく収差補正するための条件である。
えると、第2および第3レンズのどちらか一方のレンズ
に負担がかかり、歪曲収差と他の諸収差とのバランスが
とれなくなる。
下「条件8」という)が満足されている。この条件8
は、歪曲収差、他の諸収差に大きな影響を与える条件で
ある。すなわち、第1レンズの被走査面側を向いた面で
正の歪曲収差が発生し、第2レンズのポリゴンミラー側
を向いた面でそれを補正することにより、最終的に良好
な歪曲収差が与えられる。すなわち、比(r3/r2)が
上限、下限を越えると、歪曲収差と他の諸収差のバラン
スがとれなくなり、良好な補正が困難になる。
みならず、数9に示す条件(以下「条件9」という)が
満足されているが、この条件9は第1レンズの被走査面
側を向いた面が平面あるいは平面に近い大きな曲率半径
を有する場合を考慮したものである。というのも、この
ような場合、曲率半径r2は無限大、あるいは無限大と
みなすことができ、比(r3/r2)=0となり、条件8
では曲率半径r3の条件を規定できなくなるためであ
る。そこで、条件9により、第1レンズと第2レンズの
曲率半径をバランス良く制限している。
例を示す図であり、前者は主走査方向Yに切った断面に
おける構成を、また後者は副走査方向Xに切った断面に
おける構成をそれぞれ示している。
ータレンズ12とからなる光源10を有している。この
半導体レーザ11は装置全体を制御する制御部(図示省
略)からの信号に基づき直接変調駆動され、被走査面S
上において、記録を行うべき画素では半導体レーザ11
から光ビームを出力し、被照射面S上に照射して露光す
る一方、記録を行わない画素では半導体レーザ11から
の光ビームの出力を停止させる。こうして半導体レーザ
11から出力された光ビームはコリメータレンズ12で
ビーム整形された後、シリンドリカルレンズ20に向け
て出力される。なお、光源10は、例えばヘリウムネオ
ンレーザ,アルゴンレーザなどの直接変調できない光源
と、その光源からの光ビームを変調する変調器とで構成
してもよい。また、半導体レーザ11の代わりに、LE
D(Light Emitting Diode)を用いてもよい。
にのみパワーを有しており、図1および図2に示すよう
に、それを通過した光ビームをYZ平面で平行光のまま
とし、XZ平面でポリゴンミラー30のミラー面31に
集光させてY方向に伸びる線像を形成する。
平行に伸びる回転軸32回りに回転し、ミラー面31で
入射光ビームを、被走査面S側に反射偏向する。
間には、後述するように3群3枚のレンズ構成を有する
fθレンズ40およびアナモルフィックレンズ50が配
置されており、ポリゴンミラー30からの光ビームを被
走査面Sに導光する。ここで、アナモルフィックレンズ
50とは、円筒表面を有し、主走査方向Yにおける屈折
率と副走査方向Xにおけるそれとが異なるレンズの意で
あり、図1および図2に示す湾曲シリンドリカルレン
ズ、本願出願人が特開平3−249722号公報に開示
したレンズ、さらには従来より周知のシリンドリカルレ
ンズなどを含むものである。
通常の光走査装置と同様に、主走査方向Yで切った断
面、つまりYZ平面(図1)の光ビーム(メリディオナ
ル光束)の走査範囲におけるビームウエスト位置の平坦
性、つまりメリディオナル像面の像面湾曲を良好に補正
することが重要である。
では、アナモルフィックレンズ50を、光軸方向Zに前
後移動させることで、サジッタル像面の像面湾曲を補正
し、また像面全体を移動してメリディオナル像面と合致
させることが可能であるため、副走査方向Xで切った断
面、つまりXZ平面(図2)の光ビーム(サジッタル光
束)の集光位置、走査範囲におけるビームウエスト位置
の平坦性(つまり、サジッタル像面の像面湾曲)および
メリディオナル像面との合致性などについては、メリデ
ィオナル像面に関する補正に比べてその重要度は低い。
したがって、fθレンズ40については、まず第1に、
メリディオナル像面で補正を重要視する必要がある。そ
れに加えて、半導体レーザ11を用いることを考慮して
波長±10nm程度の範囲で色収差を補正することが必
要である。
の第1ないし第10実施例について詳説する。
fθレンズ40は、同図に示すように、ポリゴンミラー
30側(同図の左手側)から被走査面S側(同図の右手
側)に配列された第1ないし第3レンズ41,42,4
3で構成されており、第1レンズ41は負のパワーを有
している。また、第2および第3レンズ42,43は同
一硝材で形成され、ともに正のパワーを有している。な
お、後述する第2ないし第10実施例についても、第1
実施例と同一の基本的構成を有している。
0のレンズデータを示すものである。
において、欄「r」は上から順に第1面ないし第6面の
曲率半径を示し、欄「d」は第i面と第(i+1)面と
の光軸OA上の面間距離を示し、欄「nd」はd線に対
する各レンズの屈折率を示すものであり、上から順にレ
ンズ41,42,43の屈折率をそれぞれ示し、さらに
欄「νd」はd線に対する各レンズのアッベ数を示すも
のであり、上から順にレンズ41,42,43のアッベ
数をそれぞれ示している。
Fナンバーは30であり、焦点距離fは100であり、
画角は24゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
面収差および非点収差を示す図である。なお、同図(a)
において、1点鎖線は波長623.0nmに対する球面
収差を、また実線は波長633.0nmに対する球面収
差を、さらに点線は波長643.0nmに対する球面収
差を、それぞれ示している。そして、同図(b)におい
て、実線はサジッタル像面での非点収差を、また点線は
メリディオナル像面での非点収差をそれぞれ示してい
る。なお、これらの点に関しては、後述する実施例の球
面収差図および非点収差図においても同様である。
切った断面の光ビーム(メリディオナル光束)の走査範
囲におけるビームウエストの位置が良好に平坦化されて
おり、優れた光学特性が得られ、しかも±10nm程度
の波長範囲で十分に収差補正されている。
表2は第2実施例にかかるfθレンズ40のレンズデー
タを示すものである。
Fナンバーは25であり、焦点距離fは100であり、
画角は26゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
面収差および非点収差を示す図である。この図からわか
るように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メリ
ディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエストの
位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得ら
れ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補正
されている。
表3は第3実施例にかかるfθレンズ40のレンズデー
タを示すものである。
Fナンバーは30であり、焦点距離fは100であり、
画角は25゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
2,数4ないし数9が満足され、条件3を除く条件、つ
まり条件1,2,4〜9を満たすことがわかる。
面収差および非点収差を示す図である。この図からわか
るように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メリ
ディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエストの
位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得ら
れ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補正
されている。
表4は第4実施例にかかるfθレンズ40のレンズデー
タを示すものである。
Fナンバーは30であり、焦点距離fは100であり、
画角は25゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
球面収差および非点収差を示す図である。この図からわ
かるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メ
リディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエスト
の位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得
られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補
正されている。
た、表5は第5実施例にかかるfθレンズ40のレンズ
データを示すものである。
Fナンバーは31.5であり、焦点距離fは100であ
り、画角は24゜である。また、第1レンズ41を構成
する硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよ
びd線(=587.56nm)とC線(=656.27
nm)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
球面収差および非点収差を示す図である。この図からわ
かるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メ
リディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエスト
の位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得
られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補
正されている。
た、表6は第6実施例にかかるfθレンズ40のレンズ
データを示すものである。
Fナンバーは20であり、焦点距離fは100であり、
画角は25゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
球面収差および非点収差を示す図である。この図からわ
かるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メ
リディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエスト
の位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得
られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補
正されている。
た、表7は第7実施例にかかるfθレンズ40のレンズ
データを示すものである。
Fナンバーは30であり、焦点距離fは100であり、
画角は24゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
球面収差および非点収差を示す図である。この図からわ
かるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メ
リディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエスト
の位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得
られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補
正されている。
た、表8は第8実施例にかかるfθレンズ40のレンズ
データを示すものである。
Fナンバーは25であり、焦点距離fは100であり、
画角は26゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
球面収差および非点収差を示す図である。この図からわ
かるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メ
リディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエスト
の位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得
られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補
正されている。
た、表9は第9実施例にかかるfθレンズ40のレンズ
データを示すものである。
Fナンバーは35であり、焦点距離fは100であり、
画角は28゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満たす
ことがわかる。
球面収差および非点収差を示す図である。この図からわ
かるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム(メ
リディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエスト
の位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性が得
られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収差補
正されている。
た、表10は第10実施例にかかるfθレンズ40のレ
ンズデータを示すものである。
Fナンバーは28であり、焦点距離fは100であり、
画角は25゜である。また、第1レンズ41を構成する
硝材の波長632.8nmに対する屈折率nNGおよびd
線(=587.56nm)とC線(=656.27n
m)との部分分散比θNGは、それぞれ
43を構成する硝材の波長632.8nmに対する屈折
率nPSおよびd線とC線との部分分散比θPSは、それぞ
れ
1,42,43の焦点距離f1,f2,f3は、それぞれ
し数9がすべて満足され、条件1ないし9をすべて満た
すことがわかる。
の球面収差および非点収差を示す図である。この図から
わかるように、主走査方向Yで切った断面の光ビーム
(メリディオナル光束)の走査範囲におけるビームウエ
ストの位置が良好に平坦化されており、優れた光学特性
が得られ、しかも±10nm程度の波長範囲で十分に収
差補正されている。
レンズ40によれば、少ない構成枚数で、しかも全長を
抑えながら優れた特性を有するfθレンズ40が得ら
れ、このfθレンズ40を光走査装置に用いることで、
装置の小型化および低コスト化を図ることができる。
によれば、光走査装置を構成するfθレンズを、ポリゴ
ンミラー側より順に、負のパワーを有する第1レンズ
と、正のパワーを有する第2および第3レンズとを配列
してなる3群3枚構成とし、所定の不等式を満足するよ
うにしているため、優れた特性を有するfθレンズを少
ない構成枚数で、しかもコンパクトに形成することがで
き、良好な画像品質で描画することができる小型で、し
かも安価な光走査装置を提供することができる。
成することで、±10nm程度の色収差の補正を行うこ
とができ、画像品質をさらに向上させることができる。
図である。
図である。
び非点収差を示す図である。
び非点収差を示す図である。
び非点収差を示す図である。
よび非点収差を示す図である。
よび非点収差を示す図である。
よび非点収差を示す図である。
よび非点収差を示す図である。
よび非点収差を示す図である。
よび非点収差を示す図である。
および非点収差を示す図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 光源からの光ビームを副走査方向にのみ
集光させてポリゴンミラーのミラー面上で結像させ、そ
のポリゴンミラーによって反射偏向された光ビームによ
りfθレンズおよびアナモルフィックレンズを介して被
走査面を主走査方向に走査する光走査装置において、前
記fθレンズが、前記ポリゴンミラー側より順に、負の
パワーを有する第1レンズと、正のパワーを有する第2
および第3レンズとを配列してなる3群3枚構成であ
り、以下の不等式 0.100 ≦ L/f ≦ 0.108 0.207 ≦ r1/r3 ≦ 0.395 ただし、Lは前記fθレンズの全長、 fは前記fθレンズの焦点距離、 r1は前記第1レンズの前記ポリゴンミラー側を向いた
面の曲率半径、 r3は前記第2レンズの前記ポリゴンミラー側を向いた
面の曲率半径、を満足し、さらに、前記第1レンズが波
長632.8nmに対する屈折率n NG で、しかもd線
(=587.56nm)とC線(=656.27nm)
との部分分散比θ NG の硝材で形成される一方、前記第2
および第3レンズが波長632.8nmに対する屈折率
n PS で、しかもd線とC線との部分分散比θ PS の硝材で
形成されるとともに、前記fθレンズが、次の不等式 1.027 ≦ θ PS /θ NG ≦ 1.043 0.00930 ≦ n PS −n NG ≦ 0.05036 を満足する ことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項2】 前記fθレンズが、次の不等式 0.207 ≦ r1/r3 ≦ 0.300 を満足する請求項1記載の光走査装置。
- 【請求項3】 前記fθレンズが、次の不等式 0.292 ≦ |f1|/f ≦ 0.345 ただし、|f1|は前記第1レンズの焦点距離の絶対
値、を満足する請求項1ないし3のいずれか記載の光走
査装置。 - 【請求項4】 前記fθレンズが、次の不等式 0.446 ≦ f3/f ≦ 0.491 ただし、f3は前記第3レンズの焦点距離、を満足する
請求項1ないし4のいずれか記載の光走査装置。 - 【請求項5】 前記fθレンズが、次の不等式 −0.010 ≦ r3/r2 ≦ 0.185 2.221 ≦ f2/|f1| ≦ 2.470 ただし、r2は前記第1レンズの前記アナモルフィック
レンズ側を向いた面の曲率半径、 |f1|は前記第1レンズの焦点距離の絶対値、 f2は前記第2レンズの焦点距離、を満足する請求項1
ないし5のいずれか記載の光走査装置。
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三宅和夫、「幾何光学」、共立出版株式会社、昭和54年11月1日、pp.91 |
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